TWI583934B - Helium leak detector - Google Patents
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Description
本發明涉及一種氦氣檢漏儀( helium leak detector )。
例如專利文獻1 所示, 如下的密閉容器檢查方法為眾所周知,即,將氦氣氣體加壓封入於密閉容器中,通過檢測從密閉容器漏出的氦氣而發現熔接缺陷。當檢查環境氣體中的氦氣濃度高時無法正常進行檢查,但氦氣為無味無臭,人體察覺不到濃度變化。
[現有技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]日本專利特開2010-159974
[發明所要解決的問題]
在專利文獻1記載的發明中,無法管理檢查環境氣體中的氦氣濃度。
[解決問題的技術手段]
(1)本發明的優選實施方式的氦氣檢漏儀將檢測部位的氣體導入至分析管中而測定氦氣。氦氣檢漏儀包括:模式(mode)設定部,設定對來自測試體的氦氣洩漏進行測定的洩漏測定模式、與對設置有測試體的室內的氦氣進行測定的室內測定模式的任一個;及控制部,對應於所設定的測定模式而使由分析管測定的檢測結果儲存在儲存部中。
(2)在更優選實施方式中,控制部使洩漏測定模式或室內測定模式與測定結果建立關聯地儲存在儲存部中。
(3)在更優選實施方式中,本發明的氦氣檢漏儀還包括:閾值設定部,設定判斷測試體的良品、不良品的良品不良品閾值,及設定判斷洩漏測定的可靠性的可靠性閾值;及報告部,當在洩漏測定模式時測定結果超過良品不良品閾值時判定為不良品並報告,且當在室內測定模式時測定結果超過可靠性閾值時判定為不合適環境並報告。
(4)在更優選實施方式中,控制部在啟動時設定室內測定模式,在分析管的測定結果低於可靠性閾值之前禁止切換至洩漏測定模式,且當測定結果低於可靠性閾值時允許切換至洩漏測定模式。
(5)在更優選實施方式中,本發明的氦氣檢漏儀包括:第1埠(port),供安裝測試體;第2埠,供安裝經由節流體將室內的氦氣測定區域的氣體導入至分析管的配管;及通路切換部,以將來自第1埠及第2埠中的任一個的氣體導入至分析管的方式切換氣體通路。
(6)在更優選實施方式中,控制部在選擇洩漏測定模式時,以將來自第1埠的氣體導入至分析管的方式,控制通路切換部;且控制部在選擇室內測定模式時,以將來自第2埠的氣體導入至分析管的方式,控制通路切換部。
(7)在更優選實施方式中,控制部在以洩漏測定模式測定規定次數時,或以洩漏測定模式測定規定時間時,進行向室內測定模式的設定切換,或使用報告部進行報告來提醒切換至室內測定模式。
(8)本發明的優選實施方式的氦氣檢漏儀將檢測部位的氣體導入至分析管中而測定氦氣。氦氣檢漏儀包括:第1埠,供安裝測試體;第2埠,供安裝經由節流體將室內的氦氣測定區域的氣體導入至分析管的配管;及通路切換部,以將來自第1埠及第2埠中的任一個的氣體導入至分析管的方式切換氣體通路。
(9)在更優選實施方式中,本發明的氦氣檢漏儀還包括:指示部,指示通路切換部的切換;及驅動部,當從指示部輸出切換指示時,對通路切換部進行切換驅動。
(10)在更優選實施方式中,本發明的氦氣檢漏儀還包括控制部,在選擇洩漏測定模式時,以將來自第1埠的氣體導入至分析管的方式,控制通路切換部;且在選擇室內測定模式時,以將來自第2埠的氣體導入至分析管的方式,控制通路切換部。
[發明的效果]
根據本發明,可管理檢查環境氣體中的氦氣濃度。
本發明提供一種氦氣檢漏儀, 通過測量並管理測試環境的氦氣濃度而提高測試的可靠性與測試的效率。以下, 基於實施方式詳細地進行說明。
以下,參照圖1~圖6對本發明的氦氣檢漏儀的一實施方式進行說明。
圖1是表示氦氣檢漏儀10的構成的方塊圖。氦氣檢漏儀10包括:控制部11;顯示部12,對操作員(operator)提示資訊;輸入部13,對控制部11傳輸操作員的輸入;儲存部14;報告部15;氣體處理部19,包含泵(pump)及閥(valve)、分析管。
控制部11包括中央處理器(Central Processing Unit,CPU)、唯讀記憶體(Read Only Memory,ROM)及隨機存取記憶體(Random Access Memory,RAM),通過將ROM中保存的程式在RAM展開並執行而進行後述的處理。控制部11利用信號線與顯示部12、輸入部13、儲存部14、報告部15連接,且發送資訊的輸入輸出或動作指令。控制部11也與氣體處理部19的若干構成元件連接,下文進行詳細說明。
顯示部12例如為液晶面板,顯示從控制部11輸出的資訊。輸入部13包含多個按鈕,所述多個按鈕包含環境測定按鈕13a、測試體測定開始按鈕13b、測試體測定結束按鈕13c及電源按鈕13d,且將操作員的輸入輸出至控制部11。當操作環境測定按鈕13a時,設定對室內的氦氣濃度進行測定的環境測定模式(可靠性測定模式)。當操作測試體測定開始按鈕13b時,設定對測試體的氦氣洩漏量進行測定的模式(測試體測定模式)。當操作測試體測定結束按鈕13c時,將測定結束輸入至控制部11。電源按鈕13d供在使用氦氣檢漏儀10時操作,通過操作電源按鈕而對各部供給電源。
儲存部14例如為快閃記憶體(flash memory),在儲存部14中儲存有:環境日誌(log)14a,儲存環境測定模式下的氦氣檢測量與檢測時刻;測試體日誌14b,儲存測試體測定模式下的氦氣檢測量與檢測時刻;及閾值一覽14c,包含各種閾值。
作為閾值一覽14c中所保存的閾值,保存有例如作為測試結果的良否判定基準即良品不良品判定基準的閾值、及作為室內的氦氣濃度相對於測量感度正常或異常的判定基準的可靠性閾值。這些閾值能夠從輸入部13的使用者介面(user interface)畫面變更。當使用者根據測試精度、所要求的檢測感度等而變更這些閾值時,將變更後的值保持在閾值一覽14c中。
報告部15例如為數位類比(Digital Analog,DA)轉換器及揚聲器(speaker),通過依照從控制部11輸出的資訊鳴響而對操作員進行某報告。報告部15可通過音色、音量、音程等而鳴響多種聲音,例如操作員可判斷是在環境測定模式與測試體測定模式的哪一模式下氦氣檢測量超過閾值。除報告部15利用聲音報告以外,或者代替利用聲音報告,也可在顯示部12以文字或圖示(icon)等顯示報告內容。
參照圖2對氣體處理部19進行說明。圖2是表示氣體處理部19、即從氦氣檢漏儀10的氣體入口至分析管21為止的管路的圖。氣體處理部19包括分析管21、渦輪分子泵(turbomolecular pump)22、牽引泵(drag pump)23、油旋轉泵(oil rotary pump)24、及檢測管路內的真空度的真空計PM1、真空計PM2。根據真空計PM1或真空計PM2的檢測值而控制各泵的啟動、停止、或者後述的閥的開閉。氣體處理部19包括:閥FV、閥BV、閥TV、閥LV、閥SFV1、閥SFV2,上述閥為附有致動器的通路切換部,用以對排氣路徑及氦氣導入路徑即氦氣流通通路進行開閉;埠EXP1、埠EXP2;配管25,用以測定環境氦氣;及毛細管(capillary tube)CAP。
控制部11利用信號線與分析管21、渦輪分子泵22、牽引泵23、油旋轉泵24、真空計PM1、真空計PM2、及所有閥連接,此處省略信號線。
分析管21經由渦輪分子泵22、牽引泵23、閥FV而配管連接於油旋轉泵24。在氦氣檢漏儀10所具有的兩個連接埠中的埠EXP1連接測試體。且在另一埠EXP2連接配管25,且在配管25的前端連接有毛細管CAP。配管25以吸入對設置有測試體的室內的氦氣濃度進行檢測的空間的氣體的方式環繞。例如,配管25可使用撓性的金屬管、樹脂管、橡膠管等。
埠EXP1及埠EXP2經由開閉閥SFV1、SFV2而連接於分析通路,即便在連接有測試體的狀態下也能夠變更測定物件。即,通過開閉閥SFV1、SFV2的開閉控制而可從測試體洩漏測定變更為室內環境濃度測定。這些開閉控制是與環境測定按鈕13a及測試體測定開始按鈕13b的操作聯動地進行。當對環境測定按鈕13a進行接通操作時,開閉閥SFV1關閉,且開閉閥SFV2打開。當對測試體測定開始按鈕13b進行接通操作時,開閉閥SFV1打開,且開閉閥SFV2關閉。
閥LV為排氣閥(vent valve),當打開閥LV時管路內成為大氣壓,可更換與埠EXP1連接的測試體。閥TV配管連接於渦輪分子泵22的排氣口。閥FV設置在牽引泵23與油旋轉泵24之間。閥BV設置在連接埠EXP1及連接埠EXP2與油旋轉泵24之間。
可將周圍環境的空氣從毛細管CAP導入至管路內並利用分析管21檢測氦氣,且根據空氣的流量與氦氣檢測量而算出環境的氦氣濃度。毛細管CAP吸入的室內空氣的流量是根據大氣壓與真空計測定的管路內的壓力的差、及既知的毛細管CAP的電導(conductance)而算出。
使用氦氣檢漏儀10的測試體的檢查方法有各式各樣,例如,在真空吹送法中以如下方式進行。將密閉容器的測試體連接於埠EXP1,一面利用渦輪分子泵22等對測試體的內部進行真空排氣,一面對測試體吹送氦氣氣體,可根據由分析管21檢測的氦氣的檢測量而判斷有無熔接缺陷。
(假定的使用場景)
使用圖3對使用本實施方式的氦氣檢漏儀10的場景進行說明。
圖3表示使用氦氣檢漏儀10通過真空吹送法檢查測試體50的熔接不良的場景。具有多個同一形狀的測試體50,操作員依次變換測試體而進行檢查。氦氣瓶60用於操作員利用真空吹送法進行的檢查中。與氦氣檢漏儀10的埠EXP2連接的配管25,以可將測試體50附近的空氣從毛細管CAP前端導入至氦氣檢漏儀10中的方式彎曲。
操作員在開始測試體的檢查之前,或者在檢查中途,測定檢查環境即室內的氦氣濃度以確認為對檢查無影響的狀態。其原因在於,當室內的氦氣濃度高時,儘管不吹送氦氣,分析管21也會檢測出氦氣,從而無法與氦氣檢漏儀10的異常區別開。
當環境的氦氣濃度為閾值以下時,操作員開始測試體50的檢查。然後,當開始檢查並經過規定時間,例如經過1小時時,操作員再次測定測試環境的氦氣濃度,確定環境的氦氣濃度為閾值以下後繼續測試體50的檢查。該閾值為判定測試體是良品還是不良品的基準值,且保存在所述閾值一覽14c中。
(流程圖)
使用圖4~圖6說明氦氣檢漏儀10的控制部11進行的處理。圖4是表示當氦氣檢漏儀10啟動時通過控制部11執行的程式(以下稱為主程式)的處理內容的流程圖。該主程式呼叫下述副程式,即,動作由圖5的流程圖所表示的環境測定用副程式、及動作由圖6的流程圖所表示的測試體測定用副程式。在執行這些副程式的期間,停止主程式的處理。
(主程式)
在步驟S101中,控制部11開始主計時器(main timer)t1的計時,並且進入步驟S102。此後主計時器t1在氦氣檢漏儀10的電源切斷之前持續計數(count)時間。
在步驟S102中,控制部11進行下文使用圖5所說明的環境測定,當環境測定結束時進入步驟S103。
在步驟S103中,控制部11判斷主計時器t1計數的時間是否超過規定時間Tm,例如1小時。控制部11在判定超過規定時間Tm的情況下進入步驟S104,且在判定未超過規定時間Tm的情況下進入步驟S106。
在步驟S104中,與步驟S102同樣地,控制部11進行下文使用圖5所說明的環境測定,當環境測定結束時進入步驟S105。
在步驟S105中,控制部11對主計時器t1計數的時間進行重設(reset)而使時間恢復至零,並且進入步驟S106。
在步驟S106中,控制部11判斷是否已由操作員按下環境測定按鈕13a,在判定已按下環境測定按鈕13a的情況下進入步驟S107,且在判定未按下環境測定按鈕13a的情況下進入步驟S108。
在步驟S107中,控制部11如所述般進行下文使用圖5所說明的環境測定,當環境測定結束時進入步驟S108。
在步驟S108中,控制部11判斷是否已由操作員按下測試體測定開始按鈕13b。在判定已按下測試體測定開始按鈕13b的情況下進入步驟S109,且在判定未按下測試體測定開始按鈕13b的情況下進入步驟S110。
在步驟S109中,控制部11進行下文使用圖6所說明的測試體測定,當測試體測定結束時進入步驟S110。
在步驟S110中,控制部11判斷是否已由操作員按下電源按鈕13d。在判定已按下電源按鈕13d的情況下,結束動作由圖4來表示的程式,在判定未按下電源按鈕13d的情況下返回至步驟S103。
(環境測定用副程式)
參照圖5對從主程式呼叫的環境測定用副程式的動作進行說明。
在步驟S201中,控制部11進行以下處理以使分析管21的內部為規定真空度以下。打開閥FV且關閉除此以外的所有閥,使渦輪分子泵22、牽引泵23、及油旋轉泵24運轉而進行真空排氣。當真空計PM2檢測的真空度成為小於或等於規定的真空度時,關閉閥FV,使所有泵停止而進入步驟S202。
在步驟S202中,控制部11打開閥SFV2而進入步驟S203。
在步驟S203中,控制部11為了進行氦氣檢漏儀10的管路內的粗抽而打開閥BV,通過油旋轉泵24進行真空排氣。當真空計PM1檢測的真空度成為小於或等於規定的真空度時進入步驟S204。
在步驟S204中,控制部11為了形成進行粗測試(gross test)的構成而打開閥FV,使牽引泵23及渦輪分子泵22運轉而進行真空排氣。當真空計PM2檢測的真空度成為小於或等於規定的真空度時進入步驟S205。
在步驟S205中,控制部11為了形成進行精測試(fine test)的構成而打開閥TV且關閉閥BV。當真空計PM2檢測的真空度成為小於或等於規定的真空度時進入步驟S206。
在步驟S206中,控制部11開始利用環境計時器t2的計時,並且進入步驟S207。
在步驟S207中,控制部11取得分析管21檢測的氦氣檢測量,並且進入步驟S208。
在步驟S208中,控制部11將步驟S207中取得的氦氣檢測量及當前的時刻保存在環境日誌14a中,並且進入步驟S209。
在步驟S209中,控制部11將步驟S207中取得的氦氣檢測量與閾值一覽14c的環境測定用閾值進行比較,判斷所取得的氦氣檢測量是否大於環境測定用閾值。在判定氦氣檢測量大於環境測定用閾值的情況下進入步驟S210,且在判定氦氣檢測量小於或等於環境測定用閾值的情況下進入步驟S211。
環境設定用閾值由使用者在測試開始前根據所要求的測試精度、檢測感度而從輸入部13輸入數值並保存在閾值一覽14c中。也可對已保存的閾值進行覆寫更新,也可保存在新資料區域中以用於下次的測試。
在步驟S210中,控制部11使用報告部15進行報告來表示環境測定存在問題,並且進入步驟S211。
在步驟S211中,控制部11判斷環境計時器t2計數的時間是否超過規定時間Te,例如5秒。當判定超過時進入步驟S212,且當判定未超過時返回至步驟S207。
在步驟S212中,控制部11使所有泵停止,在等待規定時間以使管路內恢復至大氣壓之後關閉環境測定用的閥SFV2,使動作由圖5來表示的程式結束,返回至動作由圖4來表示的主程式。
(測試體測定用副程式)
參照圖6對從主程式呼叫的測試體測定用副程式的動作進行說明。
步驟S301~步驟S310的處理中許多處理與步驟S201~步驟S210的處理重複,僅說明處理的不同點而省略相同處理的說明。
在步驟S202中打開閥SFV2,但在步驟S302中打開閥SFV1。通過該處理,安裝在埠EXP1前端的測試體與氦氣檢漏儀10的管路連接,在步驟S303中對測試體的內部也進行真空排氣。在步驟S206中為了對進行環境測定的時間計數而開始環境計時器t2的計數,但在步驟S306中為了在每一規定時間進行環境測定而開始測試體計時器t3的計數。在步驟S209及步驟S210中將檢測量與環境測定用閾值進行比較,在檢測量大於環境測定用閾值的情況下進行環境測定用的報告,但在步驟S309及步驟S310中,將檢測量與測試體測定用閾值進行比較,在檢測量大於測試體測定用閾值的情況下進行測試體測定用的報告。即,報告來自測試體的氦氣洩漏量大而為不良品。
測試體測定用閾值由使用者在測試開始前根據所要求的測試精度、檢測感度而從輸入部13輸入數值並保存在閾值一覽14c中。也可對已保存的閾值進行覆寫更新,也可保存在新資料區域中以用於下次的測試。
在步驟S311中,控制部11判斷測試體計時器t3計數的時間是否超過規定時間Tt,例如1小時。當判定超過時進入步驟S312,且當判定未超過時進入步驟S316。
在步驟S312中,控制部11為了進行環境測定而打開閥SFV2且關閉閥SFV1,並且進入步驟S313。
即便在測試開始起初室內氦氣濃度低的環境下,當連續規定時間以上地進行測試時,有室內空氣中的氦氣濃度上升的擔憂,因此這些步驟是用於定期地測定室內氦氣濃度。
在步驟S313中,控制部11執行環境測定的核心處理即步驟S206~步驟S211後,進入步驟S314。另外,在使用圖2所說明的環境測定的流程圖中,在開始測定之前進行管路內的粗抽等,但在本流程圖中已在步驟S301~步驟S305中進行,因此省略。
在步驟S314中,控制部11為了返回至測試體測定而打開閥SFV1且關閉閥SFV2而進入步驟S315。
在步驟S315中,控制部11對測試體計時器t3計數的時間進行重設而使時間恢復至零,並且進入步驟S316。
在步驟S316中,控制部11判斷是否已由操作員按下測試體測定結束按鈕13c。在判定已按下測試體測定結束按鈕13c的情況下進入步驟S317,且在判定未按下測試體測定結束按鈕13c的情況下返回至步驟S307。
在步驟S317中,控制部11使所有泵停止,打開排氣閥LV以卸載與埠EXP1連接的測試體。然後,使動作由圖6來表示的程式結束,返回至動作由圖4來表示的主程式。
根據所述實施方式,可獲得以下作用效果。
(1)以往,在本發明的氦氣檢漏儀中,可通過稱為嗅探法(sniffer method)的測定法測定環境氦氣濃度。然而,環境氦氣濃度的測定及測試體的測定均以同一測定模式進行。即,氦氣檢漏儀未安裝測定環境氦氣濃度而管理測試體的測定的模式。在以往的氦氣檢漏儀中,未導入管理氦氣濃度的測定管理程式(management)。在測試環境的氦氣濃度為大於或等於規定值的情況下,氦氣分析管檢測出大於或等於規定值的氦氣,從而無法保證測量可靠性。或者,有時當檢測的濃度高時警報鳴響而事實上無法進行測定。
本發明的氦氣檢漏儀包括:模式設定部即輸入部13,設定對來自測試體的氦氣洩漏進行測定的洩漏測定模式、與對設置有測試體的室內的氦氣進行測定的室內測定模式的任一個;及控制部11,對應於所設定的測定模式而使由分析管測定的檢測結果儲存在儲存部14中。
根據本發明的氦氣檢漏儀,可在洩漏測定模式的測定之前,或者在洩漏測定模式的測定中途,選擇室內測定模式而測定室內的氦氣濃度。因此,可抑制在室內的氦氣濃度高的情況下進行測試體的洩漏測定,從而測定作業效率提高,測定精度的可靠性也提高。
(2)控制部11構成為將以洩漏測定模式測定的測定資料儲存在測試體日誌14b中,且將以室內測定模式測定的測定資料儲存在環境日誌14a中。即,測定結果與測定模式建立關聯地儲存在儲存部14中。
因此,可容易地辨別測定結果為以何種模式測定的結果。
(3)氦氣檢漏儀10還包括:閾值設定部即輸入部13,設定判斷測試體為良品、不良品的良品不良品閾值,及設定判斷洩漏測定的可靠性的可靠性閾值;及報告部15,當在洩漏測定模式時測定結果超過良品不良品閾值時判定為不良品並報告,且當在室內測定模式時測定結果超過可靠性閾值時判定為不合適環境並報告。
因此,在洩漏測定模式中,可立即辨別從測定部位產生洩漏。當在設定室內測定模式時從報告部15進行報告時,可立即辨別為在不合適環境下的測定,且可立即辨別為在不具有可靠性的環境下的測定。其結果,可在進行使室內的氦濃度降低的作業行後轉移至測定模式,因此可高效地進行可靠性高的測定。
(4)氦氣檢漏儀10構成為包括:第1埠即埠EXP1,供安裝測試體;第2埠即埠EXP2,供安裝經由節流體CAP(毛細管CAP)將室內的氦氣測定區域的氣體導入至分析管21的配管25;及通路切換部即閥SFV1及閥SFV2,以將來自第1埠及第2埠中的任一個的氣體導入至分析管21的方式切換氣體通路。
能通過手動或自動地將來自兩個埠中的任一個的氣體導入至分析管21,因此可簡單地切換室內氦氣濃度測定與測試體洩漏測定,從而作業性提高。
(5)控制部11當選擇洩漏測定模式時以將來自第1埠的氣體導入至分析管21的方式控制通路切換部,且當選擇室內測定模式時以將來自第2埠的氣體導入至分析管21的方式控制通路切換部。其結果,不必由使用者進行室內氦氣濃度測定與測試體洩漏測定的埠切換,從而作業性提高。
(變形例1)
在所述實施方式中,氦氣檢漏儀10具有測試體測定模式與環境測定模式的兩種模式,但測定模式並不限定於此。也可設置檢查氣體測定模式。
在檢查氣體測定模式中,也可測定用於檢查的氣體即氦氣的濃度而判斷氦氣的濃度是否處在規定的濃度範圍內。在氦氣氣體的濃度比規定的濃度範圍濃的情況下,通過降低濃度後使用而可節約高價的氦氣氣體的使用量。在氦氣氣體的濃度比規定的濃度範圍淡的情況下,無法檢測洩漏的可能性高,通過預先使氦氣氣體的濃度處在適當範圍內而可防止檢測遺漏。進而在檢查氣體測定模式中,在檢測的氦氣氣體的濃度包含在規定的濃度範圍的情況下使用報告部15報告,因此通過操作員將氦氣氣體的濃度調整為適當而可管理氦氣氣體的消耗量。
(變形例2)
也可針對測試體的每一種類而設置測定模式。例如為要求高檢測感度或高精度的高品質測定模式、及與高品質測定模式相比要求低的檢測感度或低精度的低品質測定模式。通過針對測試體的每一種類而設置測定模式,而可針對測試體的每一種類而設定不同的閾值,因此無需針對測試體的每一種類而熟記閾值,從而可減輕操作員的負擔。
例如,在高品質測定模式中,與低品質測定模式相比將良品不良品判定閾值設定得低,但可構成為如果使用者預先輸入各模式的閾值,則也與模式選擇聯動地自動設定良品不良品判定基準即閾值。
(變形例3)
在所述實施方式中,當由操作員按下測試體測定開始按鈕13b時,進行測試體測定模式的測定,但也可設置用以向測試體測定模式切換的條件。
例如,也可在通過環境測定模式的測定而檢測出的氦氣檢測量成為小於或等於環境測定用閾值之前禁止切換至測試體測定模式。即,也可為當由操作員按下測試體測定開始按鈕13b時,首先進行環境測定模式的測定,且當氦氣檢測量成為小於或等於環境測定用閾值時切換為環境測定模式。
根據該變形例3,可獲得以下作用效果:
(1)控制部在啟動時設定室內測定模式,在分析管21的測定結果低於可靠性閾值之前禁止切換至洩漏測定模式,且當測定結果低於可靠性閾值時允許切換至洩漏測定模式。具體而言,當以室內測定模式測定的氦氣檢測量低於可靠性閾值時自動將設定變更為洩漏測定模式。因此,測試效率提高。
(變形例4)
在所述實施方式中,氦氣檢漏儀10包括兩個測定埠,但氦氣檢漏儀所包括的測定埠的數量並不限定於此。也可僅包括一個測定埠,且由操作員切換測定模式。也可包括三個以上的測定埠,且在選擇洩漏測定模式時選擇是否將來自任一埠的氣體導入至分析管21。
(變形例5)
在所述實施方式中,構成為在氦氣檢漏儀10剛啟動後、及每經過規定時間就進行環境測定模式的測定,但進行環境測定模式的測定的時序(timing)並不限定於此。
也可每當由操作員按下測試體測定開始按鈕13b或測試體測定結束按鈕13c的次數達到規定次數時進行環境測定模式的測定。其原因在於,在測試體的容積小,1處的檢查僅需要很少時間的情況下,有環境內的氦氣濃度在短時間根據測定次數而上升的擔憂。
(變形例6)
在所述實施方式中,構成為在氦氣檢漏儀10剛啟動後、及每經過規定時間就進行環境測定模式的測定,但也可代替進行環境測定模式的測定,而使用報告部15提醒切換至環境測定模式而進行測定。
(變形例7)
在所述實施方式中,僅在打開閥TV、閥FV且關閉閥BV的精測試時,記錄、評估分析管21檢測的氦氣量。然而,在開始精測試之前的狀態即打開閥BV、閥FV且關閉閥TV的粗測試時,也可記錄檢測的氦氣量與檢測時刻。
(變形例8)
在實施方式中,將儲存環境測定模式下的氦氣檢測量與檢測時刻的環境日誌14a、與儲存測試體測定模式下的氦氣檢測量與檢測時刻的測試體日誌14b設定為不同的記憶體區域。然而,也可將環境日誌14a與測試體日誌14b設定為一個記憶體區域,在該情況下,可通過對設置氦氣檢測量與檢測時刻的檢測結果附上每一測定模式的旗標(flag)而進行資料識別。
(變形例9)
在實施方式中,開閉閥SFV1、SFV2的開閉控制是設為與環境測定按鈕13a及測試體測定開始按鈕13b的操作聯動者來進行說明。然而,開閉閥SFV1、SFV2的開閉控制也可由使用者手動進行。
(變形例10)
在實施方式中,說明了以洩漏測定模式與室內測定模式的設定為前提的氦氣檢漏儀。然而,省略模式設定的概念的以下的氦氣檢漏儀也在本發明的範圍內。
即,如下的氦氣檢漏儀也在本發明的範圍內,即該氦氣檢漏儀包括:第1埠,供安裝測試體;第2埠,供安裝經由節流體將室內的氦氣測定區域的氣體導入至分析管的配管;及通路切換部,以將來自第1埠及第2埠中的任一個的氣體導入至分析管的方式切換氣體通路。
(變形例11)
進而也能以如下方式構成變形例9的氦氣檢漏儀。也能以如下方式構成氦氣檢漏儀,即包括:指示部,指示所述通路切換部的切換;及驅動部,當從指示部輸入切換指示時,對通路切換部進行切換驅動。驅動部包含手動與自動的兩個概念。即,可在從兩個埠至分析管通路為止的通路設置手動開閉閥或利用致動器驅動的開閉閥。
(變形例12)
進而也能以如下方式構成變形例10的氦氣檢漏儀。也能以如下方式構成氦氣檢漏儀,即包括控制部,當選擇洩漏測定模式時以將來自第1埠的氣體導入至分析管的方式控制通路切換部,且當選擇室內測定模式時以將來自第2埠的氣體導入至分析管的方式控制通路切換部。
所述各實施方式及變形例分別也可組合。
在所述中說明了各種實施方式及變形例,但本發明並不限定於這些內容。在本發明的技術性思想的範圍內想到的其他形態也包含在本發明的範圍內。
10‧‧‧氦氣檢漏儀
11‧‧‧控制部
12‧‧‧顯示部
13‧‧‧輸入部
13a‧‧‧環境測定按鈕
13b‧‧‧測試體測定開始按鈕
13c‧‧‧測試體測定結束按鈕
13d‧‧‧電源按鈕
14‧‧‧儲存部
14a‧‧‧環境日誌
14b‧‧‧測試體日誌
14c‧‧‧閾值一覽
15‧‧‧報告部
19‧‧‧氣體處理部
21‧‧‧分析管
22‧‧‧渦輪分子泵
23‧‧‧牽引泵
24‧‧‧油旋轉泵
25‧‧‧配管
50‧‧‧測試體
60‧‧‧氦氣瓶
CAP‧‧‧節流體(毛細管)
EXP1、EXP2‧‧‧埠
SFV1、SFV2、BV、TV、LV、FV‧‧‧閥
PM1、PM2‧‧‧真空計
S101~S110‧‧‧主程式的處理內容各步驟
S201~S212‧‧‧環境測定用副程式各步驟
S301~S317‧‧‧測試體測定用副程式各步驟
11‧‧‧控制部
12‧‧‧顯示部
13‧‧‧輸入部
13a‧‧‧環境測定按鈕
13b‧‧‧測試體測定開始按鈕
13c‧‧‧測試體測定結束按鈕
13d‧‧‧電源按鈕
14‧‧‧儲存部
14a‧‧‧環境日誌
14b‧‧‧測試體日誌
14c‧‧‧閾值一覽
15‧‧‧報告部
19‧‧‧氣體處理部
21‧‧‧分析管
22‧‧‧渦輪分子泵
23‧‧‧牽引泵
24‧‧‧油旋轉泵
25‧‧‧配管
50‧‧‧測試體
60‧‧‧氦氣瓶
CAP‧‧‧節流體(毛細管)
EXP1、EXP2‧‧‧埠
SFV1、SFV2、BV、TV、LV、FV‧‧‧閥
PM1、PM2‧‧‧真空計
S101~S110‧‧‧主程式的處理內容各步驟
S201~S212‧‧‧環境測定用副程式各步驟
S301~S317‧‧‧測試體測定用副程式各步驟
圖1 是表示氦氣檢漏儀的構成的方塊圖。圖2是氣體處理部的構成圖。圖3是說明使用氦氣檢漏儀的場景的圖。圖4是表示主程式(mainprogram)的處理內容的流程圖。圖5是表示環境測定用副程式(subprogram)的處理內容的流程圖。圖6是表示測試體測定用副程式的處理內容的流程圖。
10‧‧‧氦氣檢漏儀
11‧‧‧控制部
12‧‧‧顯示部
13‧‧‧輸入部
13a‧‧‧環境測定按鈕
13b‧‧‧測試體測定開始按鈕
13c‧‧‧測試體測定結束按鈕
13d‧‧‧電源按鈕
14‧‧‧儲存部
14a‧‧‧環境日誌
14b‧‧‧測試體日誌
14c‧‧‧閾值一覽
15‧‧‧報告部
19‧‧‧氣體處理部
Claims (10)
- 一種氦氣檢漏儀,將檢測部位的氣體導入至分析管中而測定氦氣,其特徵在於包括: 模式設定部,設定洩漏測定模式以及室內測定模式中任一個,其中所述洩漏測定模式對來自測試體的氦氣洩漏進行測定,所述室內測定模式對設置有所述測試體的室內的氦氣進行測定;及 控制部,對應於所述設定的測定模式而使由所述分析管測定的檢測結果儲存在儲存部中。
- 如申請專利範圍第1項所述的氦氣檢漏儀,其中所述控制部使所述洩漏測定模式或所述室內測定模式與所述測定結果建立關聯地儲存在所述儲存部中。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述的氦氣檢漏儀,更包括: 閾值設定部,設定良品不良品閾值以及可靠性閾值,其中所述良品不良品閾值判斷所述測試體為良品或不良品,所述可靠性閾值判斷洩漏測定的可靠性;及 報告部,當在所述洩漏測定模式時所述測定結果超過所述良品不良品閾值時判定為不良品並報告,且當在所述室內測定模式時所述測定結果超過所述可靠性閾值時判定為不合適環境並報告。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述的氦氣檢漏儀,其中所述控制部在啟動時設定所述室內測定模式,在所述分析管的測定結果低於所述可靠性閾值之前禁止切換至所述洩漏測定模式,且當所述測定結果低於所述可靠性閾值時允許切換至所述洩漏測定模式。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述的氦氣檢漏儀,包括: 第1埠,供安裝所述測試體; 第2埠,供安裝配管,所述配管經由節流體將所述室內的氦氣測定區域的氣體,導入至所述分析管;及 通路切換部,以將來自所述第1埠及所述第2埠中任一個的氣體導入至所述分析管的方式,切換氣體通路。
- 如申請專利範圍第5項所述的氦氣檢漏儀,其中所述控制部在選擇所述洩漏測定模式時,以將來自所述第1埠的氣體導入至所述分析管的方式,控制所述通路切換部;且所述控制部在選擇所述室內測定模式時,以將來自所述第2埠的氣體導入至所述分析管的方式,控制所述通路切換部。
- 如申請專利範圍第3項所述的氦氣檢漏儀,其中所述控制部在以所述洩漏測定模式測定規定次數時,或以所述洩漏測定模式測定規定時間時,進行向所述室內測定模式的設定切換,或使用所述報告部進行報告來提醒切換至所述室內測定模式。
- 一種氦氣檢漏儀,將檢測部位的氣體導入至分析管中而測定氦氣,其特徵在於包括: 第1埠,供安裝測試體; 第2埠,供安裝配管,所述配管經由節流體將室內的氦氣測定區域的氣體,導入至所述分析管;及 通路切換部,以將來自所述第1埠及所述第2埠中任一個的氣體導入至所述分析管的方式,切換氣體通路。
- 如申請專利範圍第8項所述的氦氣檢漏儀,更包括: 指示部,指示所述通路切換部的切換;及 驅動部,當從所述指示部輸出切換指示時,對所述通路切換部進行切換驅動。
- 如申請專利範圍第9項所述的氦氣檢漏儀,更包括: 控制部,在選擇洩漏測定模式時,以將來自所述第1埠的氣體導入至所述分析管的方式,控制所述通路切換部;且在選擇室內測定模式時,以將來自所述第2埠的氣體導入至所述分析管的方式,控制所述通路切換部。
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- 2014-09-10 JP JP2014184534A patent/JP6425206B2/ja active Active
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- 2015-08-26 TW TW104127787A patent/TWI583934B/zh active
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