TWI583868B - 壓電氣動閥驅動型分配泵及用所述泵分配黏性液體的方法 - Google Patents

Description

壓電氣動閥驅動型分配泵及用所述泵分配黏性液體的方法

本發明是有關於一種分配泵以及一種方法，並且更特定地說，涉及一種用於電子產品的生產過程中以在高速下分配確切量的黏性液體（諸如液態合成樹脂）的壓電氣動閥驅動型分配泵，以及一種通過使用所述分配泵來分配黏性液體的方法。

分配器供應諸如預定量的水、油或樹脂的液體溶液，並且用於多種多樣的領域中，例如，用於半導體工藝中或用於醫學領域中。

特別地，分配器經常用於半導體工藝的底部填充過程中，即，用樹脂來填充半導體裝置的封裝。在製造發光二極體（LED）裝置的過程中，分配器用於將磷光材料與樹脂的混合物的磷光溶液塗布於LED晶片的過程中。

在如上文所描述的分配器中，收納黏性液體並且將固定量的黏性液體分配在確切位置處的泵用作核心裝置。

當前，開發了使用各種驅動方法的分配泵。舉例來說，KR 10-1041067（2011年6月13日公佈）揭示了一種通過經由旋轉凸輪與凸輪從動件之間的交互來提升或降低閥而分配樹脂的泵。KR 10-1100828（2012年1月2日公佈）揭示了一種通過使用包含電動機、線性運動（LM）導引件和導塊的提升單元來提升或降低活塞而分配溶液的泵。另外，KR 10-1301107（2013年8月27日公佈）揭示了一種使用壓電元件作為致動器的壓電泵。

如上文所描述，儘管已開發了具有各種結構的分配泵，但不斷地進行用於改進分配泵的結構的各種研究和開發，以彌補根據現有技術的分配泵的缺點並且改進所述分配泵的操作效率。

一或多個示範性實施例包含一種具有增加的分配速度和簡化結構的壓電氣動閥驅動型分配泵，以及一種通過使用所述分配泵來分配黏性液體的方法。

額外方面將在以下描述中予以部分地闡述並且將通過所述描述變得顯而易見，或可通過所呈現實施例的實踐予以獲悉。

根據一或多個示範性實施例，一種壓電氣動閥驅動型分配泵包含：閥體，閥體包含從外部供應黏性液體所穿過的入口、存儲穿過入口而接收的黏性液體的貯存器，以及排出存儲在貯存器中的黏性液體而讓黏性液體穿過的排出出口；閥杆，閥杆插入到貯存器中，以便使存儲在閥體的貯存器中的黏性液體加壓以穿過排出出口排出黏性液體；泵體，泵體包含被緊密地密封的氣室，以及連接到氣室以向氣室傳輸氣壓的第一流道和第二流道，其中泵體耦合到閥體；活塞，活塞至少具有容納在泵體的氣室中的部分，活塞根據穿過第一流道和第二流道的至少其中一個所傳輸的氣壓而相對於泵體可移動地安裝在氣室中；第一壓電閥，第一壓電閥包含長度根據外加電壓而變化的第一壓電致動器，並且根據第一壓電致動器的操作而打開或關閉第一流道；以及第二壓電閥，第二壓電閥包含長度根據外加電壓而變化的第二壓電致動器，並且根據第二壓電致動器的操作而打開或關閉第二流道。

根據一或多個示範性實施例，一種方法，適於通過移動連接到安裝在泵體的氣室中的活塞的閥杆而穿過形成於閥體中的排出出口分配存儲在閥體的貯存器中的黏性液體，所述方法包含：步驟（a）向閥體的貯存器供應黏性液體，閥杆插入到貯存器中；步驟（b）控制包含長度根據外加電壓而變化的第一壓電致動器並且經由第一壓電致動器的操作而打開或關閉連接到氣室的第一流道的第一壓電閥，以便打開第一流道，並且控制包含長度根據外加電壓而變化的第二壓電致動器並且經由第二壓電致動器的操作而打開或關閉連接到氣室的第二流道的第二壓電閥，以便阻塞第二流道；步驟（c）穿過第一流道向氣室傳輸氣壓以便在第一方向上移動活塞和閥杆；步驟（d）控制第一壓電閥以阻塞第一流道，並且控制第二壓電閥以打開第二流道；以及步驟（e）通過穿過第二流道從氣室排出空氣來縮減氣室的氣壓而在第一方向相反的第二方向上移動活塞和閥杆。

為讓本發明的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。

現在將參考附圖來更充分地描述本發明概念，在所述附圖中展示了本發明概念的示範性實施例。

圖1是說明根據本發明概念的示範性實施例的壓電氣動閥驅動型分配泵100的主要組件的透視圖。圖2是根據本發明概念的示範性實施例的壓電氣動閥驅動型分配泵100的部分的橫截面圖。圖3是沿著圖1的線I-I所切割的壓電氣動閥驅動型分配泵100的橫截面圖。圖4是沿著圖1的線II-II所切割的壓電氣動閥驅動型分配泵100的橫截面圖。

參考圖1到圖4，根據本發明概念的示範性實施例的壓電氣動閥驅動型分配泵100包含閥體110、閥杆116、泵體120、活塞134、第一壓電閥140和第二壓電閥142，以及控制器147。閥體110與泵體120經由連接部件149而彼此連接。

閥體110包含貯存器111、入口112以及噴嘴113。貯存器111是以向上打開的容器的形式而形成，並且閥杆116插入到貯存器111中以緊密地密封貯存器111的上部部分。入口112連接到貯存器111。穿過入口112從外部供應的黏性液體被傳輸到貯存器111。貯存器111的黏性液體穿過噴嘴113的排出出口114被排出到外部。

泵體120包含被安裝有活塞134的活塞外殼121，以及被安裝有第一壓電閥140和第二壓電閥142的壓電閥外殼128。活塞外殼121包含氣室122、第一流道123以及第二流道124。頂蓋125和底蓋126分別耦合到活塞外殼121的上部部分和下部部分以便緊密地密封氣室122的上部部分和下部部分。第一流道123連接到氣室122以便允許空氣流動到氣室122中。第二流道124連接到氣室122以便從氣室122排放空氣。

壓電閥外殼128耦合到活塞外殼121以便覆蓋活塞外殼121的第一流道123和第二流道124。壓電閥外殼128包含連接到活塞外殼121的第一流道123的第一連接室129、連接到活塞外殼121的第二流道124的第二連接室130、連接到第一連接室129的第一通道131，以及連接到第二連接室130的第二通道132。

參考圖3和圖4，活塞134根據穿過第一流道123和/或第二流道124所傳輸的氣壓而相對於泵體120可移動地安裝在氣室122中。活塞134包含頭部部分135以及從頭部部分135向下延伸的杆部分136。活塞134的頭部部分135的外圓周表面緊密地黏附到活塞外殼121的內圓周表面，使得頭部部分135將氣室122分割成兩個空間：上部空間以及下部空間。沒有空氣在由活塞134的頭部部分135分割的兩個空間之間流動。如圖4所說明，第一流道123和第二流道124以流體方式連接到由活塞134的頭部部分135分割的兩個空間當中的下部空間。穿過第一流道123所注入的空氣填充在頭部部分135下方的下部空間中。活塞134的杆部分136插入到底蓋126中間的通孔中以緊密地密封通孔並且從氣室122突出到外部。活塞134的杆部分136經由耦合部件137而耦合到閥杆116。因此，閥杆116與活塞134一起移動。

彈性部件138安裝在活塞外殼121的氣室122中。彈性部件138安裝在氣室122內部由活塞134的頭部部分135分割的兩個空間當中的上部空間中。彈性部件138在閥杆116朝向閥體110的排出出口114被加壓的方向上提供相對於活塞134的彈性力。因此，活塞134歸因於氣室122的氣壓和彈性部件138的彈性力而在氣室122中垂直地往復運動。氣室122中由頭部部分135分割的兩個空間的大小根據如上文所描述的活塞134的移動而改變。當空氣穿過第一流道123注入到氣室122中以提升活塞134時，活塞134下方的下部空間延伸，並且當活塞134由彈性部件138降低時，活塞134下方的下部空間縮減。

參考圖5和圖6，第一壓電閥140安裝在壓電閥外殼128的第一連接室129中以打開或關閉活塞外殼121的第一流道123。第二壓電閥142安裝在第二連接室130中以打開或關閉活塞外殼121的第二流道124。第一壓電閥140包含長度根據外加電壓而變化的第一壓電致動器141，並且第二壓電閥142包含長度根據外加電壓而變化的第二壓電致動器143。即，第一壓電閥140和第二壓電閥142各自是由壓電元件形成，壓電元件的長度根據施加到壓電元件上的電壓的電勢差而增加或縮減。第一壓電致動器141和第二壓電致動器143可具有多堆疊結構，其中多個壓電元件堆疊以便增加其總變形量。

第一壓電閥140和第二壓電閥142的操作由控制器147控制。控制器147根據時間而將具有各種脈衝波形的電壓施加到第一壓電致動器141和第二壓電致動器143，由此控制第一壓電致動器141和第二壓電致動器143中的每一個的變形。

參考圖1和圖2，第一位置調整器144和第二位置調整器145分別佈置在第一壓電閥140和第二壓電閥142的相應上端處。第一位置調整器144和第二位置調整器145螺旋耦合到壓電閥外殼128，而第一位置調整器144和第二位置調整器145的相應端與第一壓電致動器141和第二壓電致動器143的相應端接觸。通過使用第一位置調整器144和第二位置調整器145，可調整第一位置調整器144和第二位置調整器145的相應位置。當通過拉緊第一位置調整器144而使第一壓電致動器141加壓時，第一壓電致動器141降低。第二位置調整器145也以與第一位置調整器144相同的方式調整第二壓電致動器143的位置。

第一壓電致動器141和第二壓電致動器143通常是由陶瓷材料形成。歸因於材料在長時間段使用之後的特性，第一壓電致動器141和第二壓電致動器143根據外加電壓的膨脹位移可從其初始膨脹位移改變。在這種情況下，可通過使用第一位置調整器144和第二位置調整器145來調整第一壓電致動器141和第二壓電致動器143的位置而維持第一壓電致動器141和第二壓電致動器143相對於泵體120的第一流道123和第二流道124的打開和關閉特性。

如圖2所說明，位移感測器150連接到第一壓電致動器141和第二壓電致動器143。位移感測器150檢測第一壓電致動器141和第二壓電致動器143中的每一個的變形量以向控制器147提供對應於第一壓電致動器141和第二壓電致動器143中的每一個的變形量的檢測信號。控制器147從位移感測器150接收檢測信號以控制待施加到第一壓電致動器141和第二壓電致動器143的電壓，由此根據第一壓電致動器141和第二壓電致動器143的操作而調整泵體120的第一流道123和第二流道124的打開和關閉特性。第一壓電閥140可包含耦合到第一壓電致動器141以便穩定緊密地密封第一流道123的密封部件。同樣地，第二壓電閥142可包含耦合到第二壓電致動器143以便穩定緊密地密封第二通道124的密封部件。

參考圖1和圖2，壓電閥外殼128的第一通道131經由壓電閥外殼128中的第一連接室129而連接到泵體120的第一流道123。如圖2所說明，壓電閥外殼128的第二通道132經由第二連接室130而連接到泵體120的第二流道124。第一泵152連接到壓電閥外殼128的第一通道131，並且第二泵154連接到壓電閥外殼128的第二通道132。第一泵152穿過第一通道131、第一連接室129和第一流道123向泵體120的氣室122供應經壓縮空氣以由此向氣室122傳輸正氣壓。第二泵154穿過第二通道132、第二連接室130和第二流道124向泵體120的氣室122傳輸負氣壓。雖然氣室122的氣壓隨著經壓縮空氣注入到泵體120的氣室122中而升高，但當打開泵體120的第二流道124時，氣室122的空氣自發地排出到外部。當在打開泵體120的第二流道124時使用第二泵154來吸收氣室122的空氣時，空氣可從氣室122快速地排出。

在下文中，將參考圖1到圖7來描述根據本示範性實施例的通過使用壓電氣動閥驅動型分配泵100來分配黏性液體的方法。

首先，將待分配的黏性液體穿過閥體110的入口112供應到貯存器111（S10，步驟（a））。

在黏性液體填充在貯存器111中時，控制器147控制待施加到第一壓電閥140和第二壓電閥142的電壓以調整第一壓電致動器141和第二壓電致動器143的變形量，以由此打開泵體120的第一流道123並且阻塞泵體120的第二流道124（S20，步驟（b））。即，如圖5所說明，控制器147控制待施加到第一壓電閥140的電壓以收縮第一壓電致動器141的長度，由此打開泵體120的第一流道123。同時，控制器147控制待施加到第二壓電閥142的電壓以增加第二壓電致動器143的長度，由此阻塞泵體120的第二流道124。

如圖5所說明，當打開泵體120的第一流道123時，第一泵152穿過第一流道123向氣室122傳輸正壓以便在第一方向上操作活塞134和閥杆116（S30，步驟（c））。即，通過將經壓縮空氣注入到氣室122中而將氣室122的氣壓增加到預定水準或高於預定水準，克服了彈性部件138的彈性力並且在第一方向上提升了活塞134和閥杆116。第一方向代表閥杆116遠離閥體110的排出出口114的方向（即，圖5的向上方向）。

緊接著，控制器147控制待分別施加到第一壓電閥140和第二壓電閥142的電壓以便阻塞泵體120的第一流道123並且打開泵體120的第二流道124（S40，步驟（d））。即，如圖6所說明，控制器147控制待施加到第一壓電閥140的電壓以增加第一壓電致動器141的長度，由此阻塞泵體120的第一流道123。同時，控制器147控制待施加到第二壓電閥142的電壓以收縮第二壓電致動器143的長度，由此打開泵體120的第二流道124。

在如上文所描述而打開泵體120的第二流道124之後，第二泵154從氣室122強制地排放空氣以縮減氣室122的壓力，由此在第二方向上操作活塞134和閥杆116（S50，步驟（e））。當第二泵154排出氣室122的空氣以縮減氣室122的氣壓時，已被壓縮的彈性部件138彈性地復原以説明活塞134和閥杆116的移動。第二方向與上文所描述的第一方向相反，並且代表閥杆116朝向閥體110的排出出口114被加壓的方向（圖6的向下方向）。關於氣室122的空氣穿過泵體120的第二流道124的排放，當第二泵154向氣室122傳輸負壓時，空氣可從氣室122快速地排出。結果，活塞134在第二方向上的移動被加速。

如上文所描述，通過使活塞134和閥杆116在閥體110的貯存器111中往復運動而排出黏性液體。上文所描述的相應操作由控制器147控制。控制器147控制（例如）每次待注入到氣室122中的空氣量、空氣注入速度、第一流道123經由第一壓電閥140的閥打開程度，以及第二流道124經由第二壓電閥142的閥打開程度。隨著控制器147調整活塞134和閥杆116的移動位移或移動速度，可不同地修改黏性液體的分配特性，諸如黏性液體的排出量或排出速度等等。

同時，在分配黏性液體期間，控制器147即時地接收第一壓電致動器141和第二壓電致動器143的變形量，以由此控制待施加到第一壓電致動器141和第二壓電致動器143的電壓。當長時間段使用時，歸因於第一壓電致動器141和第二壓電致動器143的元件損壞或性能降級，第一壓電致動器141和第二壓電致動器143的變形量可根據外加電壓而從其初始變形量改變。控制器147可接收對應於第一壓電致動器141和第二壓電致動器143的變形量的檢測信號，並且如果第一壓電致動器141和第二壓電致動器143的變形量不同於其初始變形量，那麼控制器147可通過（例如）調整外加電壓而維持第一壓電致動器141和第二壓電致動器143的初始變形量。此外，控制器147可從位移感測器150接收對應於第一壓電致動器141和第二壓電致動器143的變形量的檢測信號，並且如果第一壓電致動器141和第二壓電致動器143的性能過度地降級或第一壓電致動器141和第二壓電致動器143不再操作，那麼控制器147可停止黏性液體的分配操作以由此防止操作物件歸因於黏性液體的不正確分配而被廢棄。

如上文所描述，根據本示範性實施例的壓電氣動閥驅動型分配泵100，可通過使用氣壓來使插入到存儲黏性液體的貯存器111中的閥杆116往復運動（提升或降低）而容易地分配黏性液體。特別地，可通過使用壓電元件類的第一壓電閥140和第二壓電閥142來打開或關閉第一流道123和第二流道124而精確地控制氣壓。根據示範性實施例，可在高速下精確地操作閥杆116，使得在高速下分配黏性液體，並且可精確地調整黏性液體的排出量。

雖然上文已描述本發明概念的示範性實施例，但本發明概念的範圍不限於所描述和所說明的示範性實施例。

舉例來說，儘管將彈性部件138說明為安放在泵體120上以便在與活塞134已被移動的方向相反的方向上移動已通過傳輸到泵體120的氣室122的氣壓而移動的活塞134，但可省略彈性部件138。在這種情況下，正氣壓可經由第一泵而傳輸到氣室以便提升活塞，並且負氣壓可經由第二泵而傳輸到氣室以便降低活塞。

此外，儘管在圖式中將第一流道123和第二流道124說明為都以流體方式連接到活塞外殼121的由活塞134分割的兩個內部空間當中的在活塞134下方的空間，但第一流道和第二流道也可分別連接到由活塞分割的不同空間。在這種情況下，第一泵可穿過第一流道向氣室傳輸氣壓以便在一個方向上移動活塞，並且第二泵可穿過第二流道向氣室傳輸氣壓以便在與上述一個方向相反的方向上移動活塞。在此經修改示範性實施例中，可省略彈性部件。

此外，雖然在圖式中將活塞134說明為通過使用氣室122的氣壓遠離排出出口114而移動閥杆116，並且將活塞134說明為在閥杆116朝向排出出口114被加壓的方向上經由彈性部件138而移動閥杆116，但可交換活塞134歸因於氣室122的氣壓的移動方向與活塞134歸因於彈性部件138的彈性力的移動方向。即，氣室的氣壓可使閥杆朝向排出出口移動，並且彈性部件可使閥杆在遠離排出出口的方向上移動。

此外，雖然在圖式中將泵120說明為具有兩個殼體121和128，但泵體還可具有包含被安裝有活塞和壓電閥兩者的單個外殼的結構。

另外，雖然在圖式中將第一流道123和第二流道124說明為隨著第一壓電閥140和第二壓電閥142的長度增加而被阻塞，並且將第一流道123和第二流道124說明為隨著第一壓電閥140和第二壓電閥142的長度縮減而被打開，但相反配置也是可能的。即，通過適當地修改第一壓電閥和第二壓電閥的結構和佈置，每當壓電閥的長度增加時就可分別打開第一流道和第二流道，並且每當壓電閥的長度縮減時就可分別阻塞第一流道和第二流道。

此外，雖然上文將空氣描述為通過使用第二泵154而從泵體120的氣室122被強制地排放，但也可在不使用第二泵的情況下通過打開或關閉第二流道而自發地排放氣室122的空氣。

另外，連接到泵體120的氣室122的空氣通道的結構不限於圖式中所說明的結構，而可被修改成各種結構。舉例來說，泵體160可具有如圖8所展示的流道結構。在圖8所說明的泵體160中，連接到氣室122（參見圖2）的一個通孔162形成於被安裝有活塞134（參見圖2）的活塞外殼161中，並且經形成使得第一流道164和第二流道165延伸直到壓電閥外殼163中的通孔162。第一壓電閥140和第二壓電閥142安裝在壓電閥外殼163中以分別打開或關閉第一流道164和第二流道165。泵體160可穿過形成於活塞外殼161中的通孔162向氣室122供應經壓縮空氣或從氣室122排放空氣。

根據示範性實施例的壓電氣動閥驅動型分配泵，通過使用氣壓來使插入到存儲黏性液體的貯存器中的閥杆往復運動，可容易地分配黏性液體。特別地，可通過使用基於壓電元件的壓電閥來打開或關閉允許空氣進入或離開的流道而精確地控制氣壓。因此，隨著在高速下精確地操作閥杆，可在高速下分配確切量的黏性液體。

此外，示範性實施例的壓電氣動閥驅動型分配泵具有簡單結構，並且因此縮減了泵的故障可能性，並且耐用性高。

應理解，本文中所描述的示範性實施例應被認為僅具有描述性意義，而非出於限制目的。每個示範性實施例內的特徵或方面的描述通常應被視為可用於其它示範性實施例中的其它相似特徵或方面。

雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本發明的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。

100‧‧‧壓電氣動閥驅動型分配泵
110‧‧‧閥體
111‧‧‧貯存器
112‧‧‧入口
113‧‧‧噴嘴
114‧‧‧排出出口
116‧‧‧閥杆
120、160‧‧‧泵體
121、161‧‧‧活塞外殼
122‧‧‧氣室
123、164‧‧‧第一流道
124、165‧‧‧第二流道
125‧‧‧頂蓋
126‧‧‧底蓋
128、163‧‧‧壓電閥外殼
129‧‧‧第一連接室
130‧‧‧第二連接室
131‧‧‧第一通道
132‧‧‧第二通道
134‧‧‧活塞
135‧‧‧活塞的頭部部分
136‧‧‧活塞的杆部分
137‧‧‧耦合部件
138‧‧‧彈性部件
140‧‧‧第一壓電閥
141‧‧‧第一壓電致動器
142‧‧‧第二壓電閥
143‧‧‧第二壓電致動器
144‧‧‧第一位置調整器
145‧‧‧第二位置調整器
147‧‧‧控制器
149‧‧‧連接部件
150‧‧‧位移感測器
152‧‧‧第一泵
154‧‧‧第二泵
162‧‧‧通孔
S10、S20、S30、S40、S50‧‧‧步驟

圖1是說明根據本發明概念的示範性實施例的壓電氣動閥驅動型分配泵的主要元件的透視圖。 圖2是根據本發明概念的示範性實施例的壓電氣動閥驅動型分配泵的部分的橫截面圖。 圖3是沿著圖1的線I-I所切割的壓電氣動閥驅動型分配泵的橫截面圖。 圖4是沿著圖1的線II-II所切割的壓電氣動閥驅動型分配泵的橫截面圖。 圖5和圖6是用於描述根據本發明概念的示範性實施例的壓電氣動閥驅動型分配泵的操作的圖解。 圖7是根據本發明概念的示範性實施例的通過使用壓電氣動閥驅動型分配泵來分配黏性液體的方法的流程圖。 圖8說明根據另一示範性實施例的泵體。

110‧‧‧閥體

112‧‧‧入口

120‧‧‧泵體

121‧‧‧活塞外殼

123‧‧‧第一流道

124‧‧‧第二流道

128‧‧‧壓電閥外殼

131‧‧‧第一通道

132‧‧‧第二通道

137‧‧‧耦合部件

144‧‧‧第一位置調整器

145‧‧‧第二位置調整器

149‧‧‧連接部件

Claims (9)

1. 一種壓電氣動閥驅動型分配泵，包括：閥體，所述閥體包含從外部供應黏性液體所穿過的入口、存儲穿過所述入口而接收所述黏性液體的貯存器，以及排出存儲在所述貯存器中的所述黏性液體而讓所述黏性液體穿過的排出出口；閥杆，所述閥杆插入到所述貯存器中，以便使存儲在所述閥體的所述貯存器中的所述黏性液體加壓以穿過所述排出出口排出所述黏性液體；泵體，所述泵體包含被緊密地密封的氣室，以及連接到所述氣室以向所述氣室傳輸氣壓的第一流道和第二流道，其中所述泵體耦合到所述閥體；活塞，所述活塞至少具有容納在所述泵體的所述氣室中的部分，所述活塞根據穿過所述第一流道和所述第二流道的至少其中一個所傳輸的所述氣壓而相對於所述泵體可移動地安裝在所述氣室中；第一壓電閥，所述第一壓電閥包含長度根據外加電壓而變化的第一壓電致動器，並且根據所述第一壓電致動器的操作而打開或關閉所述第一流道；以及第二壓電閥，所述第二壓電閥包含長度根據外加電壓而變化的第二壓電致動器，並且根據所述第二壓電致動器的操作而打開或關閉所述第二流道。
2. 如申請專利範圍第1項所述的壓電氣動閥驅動型分配泵，進一步包括彈性部件，所述彈性部件安裝在所述泵體中以在與所述活塞已被移動的方向相反的方向上向已通過所述氣室的所述氣壓而移動的所述活塞施加彈性力。
3. 如申請專利範圍第1項所述的壓電氣動閥驅動型分配泵，進一步包括：位移感測器，所述位移感測器用於檢測所述第一壓電致動器和所述第二壓電致動器中的每一個的位移以產生檢測信號；以及控制器，所述控制器用於接收所述位移感測器的所述檢測信號以控制待施加到所述第一壓電致動器和所述第二壓電致動器的電壓。
4. 如申請專利範圍第1項所述的壓電氣動閥驅動型分配泵，進一步包括：第一泵，所述第一泵連接到所述第一流道以穿過所述第一流道向所述泵體的所述氣室傳輸正壓；以及第二泵，所述第二泵連接到所述第二流道以穿過所述第二流道向所述泵體的所述氣室傳輸負壓。
5. 如申請專利範圍第1項所述的壓電氣動閥驅動型分配泵，進一步包括：第一連接室，所述第一連接室以流體方式連接到所述第一流道； 第二連接室，所述第二連接室以流體方式連接到所述第二流道；第一通道，所述第一通道以流體方式連接到所述第一連接室；以及第二通道，所述第二通道以流體方式連接到所述第二連接室，其中所述第一壓電閥安裝在所述第一連接室中，並且所述第二壓電閥安裝在所述第二連接室中。
6. 一種使用壓電氣動閥驅動型分配泵分配黏性液體的方法，適於通過移動連接到安裝在泵體的氣室中的活塞的閥杆而穿過形成於閥體中的排出出口分配存儲在所述閥體的貯存器中的黏性液體，所述方法包括：步驟(a)向所述閥體的所述貯存器供應黏性液體，所述閥杆插入到所述貯存器中；步驟(b)控制包含長度根據外加電壓而變化的第一壓電致動器並且經由所述第一壓電致動器的操作而打開或關閉連接到所述氣室的第一流道的第一壓電閥，以便打開所述第一流道，並且控制包含長度根據外加電壓而變化的第二壓電致動器並且經由所述第二壓電致動器的操作而打開或關閉連接到所述氣室的第二流道的第二壓電閥，以便阻塞所述第二流道；步驟(c)穿過所述第一流道向所述氣室傳輸氣壓以便在第一方向上移動所述活塞和所述閥杆； 步驟(d)控制所述第一壓電閥以阻塞所述第一流道，並且控制所述第二壓電閥以打開所述第二流道；以及步驟(e)通過穿過所述第二流道從所述氣室排出空氣來縮減所述氣室的所述氣壓而在與所述第一方向相反的第二方向上移動所述活塞和所述閥杆。
7. 如申請專利範圍第6項所述的使用壓電氣動閥驅動型分配泵分配黏性液體的方法，其中在步驟(e)中，通過使用安裝在所述泵體中的彈性部件在所述第二方向上向所述活塞施加彈性力而在所述第二方向上移動所述活塞。
8. 如申請專利範圍第6項所述的使用壓電氣動閥驅動型分配泵分配黏性液體的方法，其中在步驟(b)中，從連接到所述第一壓電致動器和所述第二壓電致動器的位移感測器接收所述第一壓電致動器和所述第二壓電致動器的相應變形量，以便控制待分別施加到所述第一壓電致動器和所述第二壓電致動器的電壓，其中在步驟(d)中，從連接到所述第一壓電致動器和所述第二壓電致動器的所述位移感測器接收所述第一壓電致動器和所述第二壓電致動器的相應變形量，以便控制分別施加到所述第一壓電致動器和所述第二壓電致動器的電壓。
9. 如申請專利範圍第6項所述的使用壓電氣動閥驅動型分配泵分配黏性液體的方法，其中在步驟(e)中，通過使用產生負壓的第二泵穿過所述第二流道向所述泵體的所述氣室傳輸負壓而從所述氣室強制地排出所述空氣。