JP6127114B2 - 圧電空圧バルブ駆動型ディスペンシングポンプおよびこれを用いた溶液ディスペンシング方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 19
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 34
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 239000006193 liquid solution Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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- F04B49/00—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
- F04B49/22—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00 by means of valves
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0225—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work characterised by flow controlling means, e.g. valves, located proximate the outlet
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0225—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work characterised by flow controlling means, e.g. valves, located proximate the outlet
- B05C5/0237—Fluid actuated valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B53/00—Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
- F04B53/10—Valves; Arrangement of valves
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B9/00—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent material, without essentially mixing with gas or vapour
- B05B9/03—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent material, without essentially mixing with gas or vapour characterised by means for supplying liquid or other fluent material
- B05B9/04—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent material, without essentially mixing with gas or vapour characterised by means for supplying liquid or other fluent material with pressurised or compressible container; with pump
- B05B9/0403—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent material, without essentially mixing with gas or vapour characterised by means for supplying liquid or other fluent material with pressurised or compressible container; with pump with pumps for liquids or other fluent material
- B05B9/0413—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent material, without essentially mixing with gas or vapour characterised by means for supplying liquid or other fluent material with pressurised or compressible container; with pump with pumps for liquids or other fluent material with reciprocating pumps, e.g. membrane pump, piston pump, bellow pump
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
- F16K31/122—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston
- F16K31/1221—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston one side of the piston being spring-loaded
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
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Description
110 バルブボディ
111 貯留部
112 流入口
113 ノズル
114 吐出口
116 バルブロッド
120、160 ポンプボディ
121、161 ピストンハウジング
122 空気チャンバー
123、164 第1流路
124、165 第2流路
128、163 圧電バルブハウジング
129、130 第1、第2連結チャンバー
131、132 第1、第2通路
134 ピストン
135 ヘッド部
136 ロッド部
137 結合部材
138 弾性部材
140、142 第1、2圧電バルブ
141、143 第1、2圧電アクチュエータ
144、145 第1、2位置調節器
147 コントローラ
149 連結部材
150 変位センサー
152 第1ポンプ
154 第2ポンプ
162 貫通孔
Claims (9)
- 外部から溶液の供給を受ける流入口、前記流入口を介して供給された溶液が貯留される貯留部、および前記貯留部に貯留された溶液が吐き出される吐出口を備えるバルブボディと;
前記バルブボディの貯留部に貯留された溶液を加圧して前記吐出口を介して吐き出すことができるように前記貯留部に挿入されるバルブロッドと;
密閉された空気チャンバー、および前記空気チャンバーに連結されてそれぞれ空気圧を伝達する第1流路および第2流路を備え、前記バルブボディに結合されるポンプボディと;
前記ポンプボディの空気チャンバーの内部に少なくとも一部分が収容され、前記第1流路および/または前記第2流路を介して伝達される空気圧に応じて前記ポンプボディに対して移動できるように前記空気チャンバーに設置され、前記バルブロッドに連結されるピストンと;
印加電圧に応じて長さが変わる第1圧電アクチュエータを備え、前記第1圧電アクチュエータの作動によって前記第1流路を開閉して、前記空気チャンバーに空気圧を伝達することで前記バルブロッドを第1方向に動かす第1圧電バルブと;
印加電圧に応じて長さが変わる第2圧電アクチュエータを備え、前記第2圧電アクチュエータの作動によって前記第2流路を開閉して、前記空気チャンバーから空気を排出することで前記空気チャンバーの空気圧を低くすることによって前記バルブロッドを前記第1方向とは反対の第2方向に動かす第2圧電バルブと;を含むことを特徴とする、圧電空圧バルブ駆動型ディスペンシングポンプ。 - 前記空気チャンバーの空気圧によって動いた前記ピストンに対して反対方向に弾性力を加えるために前記ポンプボディに設置される弾性部材をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の圧電空圧バルブ駆動型ディスペンシングポンプ。
- 前記第1圧電アクチュエータおよび前記第2圧電アクチュエータそれぞれの変位を検出して検出信号を発生する変位センサーと、
前記変位センサーの検出信号のフィードバックを受けて前記第1圧電アクチュエータおよび前記第2圧電アクチュエータに対する印加電圧を制御するコントローラとをさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の圧電空圧バルブ駆動型ディスペンシングポンプ。 - 前記第1流路を介して前記ポンプボディの空気チャンバーに正圧を伝達するために前記第1流路に連結される第1ポンプと、
前記第2流路を介して前記ポンプボディの空気チャンバーに負圧を伝達するために前記第2流路に連結される第2ポンプとをさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の圧電空圧バルブ駆動型ディスペンシングポンプ。 - 前記第1流路と空気流動可能に連結される第1連結チャンバーと、
前記第2流路と空気流動可能に連結される第2連結チャンバーと、
前記第1連結チャンバーと空気流動可能に連結される第1通路と、
前記第2連結チャンバーと空気流動可能に連結される第2通路とをさらに含み、
前記第1圧電バルブは前記第1連結チャンバーに設置され、前記第2圧電バルブは前記第2連結チャンバーに設置されることを特徴とする、請求項1に記載の圧電空圧バルブ駆動型ディスペンシングポンプ。 - バルブボディの貯留部に貯留された溶液を、ポンプボディの空気チャンバーに設置されたピストンに連結されたバルブロッドを動かして前記バルブボディの吐出口を介して吐き出させる溶液ディスペンシング方法において、
(a)前記バルブロッドが挿入された前記バルブボディの貯留部に溶液を供給する段階と;
(b)印加電圧に応じて長さが変わる第1圧電アクチュエータを備え、前記第1圧電アクチュエータの作動によって、前記空気チャンバーに連結された第1流路を開閉する第1圧電バルブを制御して前記第1流路を開放し、印加電圧に応じて長さが変わる第2圧電アクチュエータを備え、前記第2圧電アクチュエータの作動によって、前記空気チャンバーに連結された第2流路を開閉する第2圧電バルブを制御して前記第2流路を遮断する段階と;
(c)前記第1流路を介して前記空気チャンバーに空気圧を伝達して前記ピストンおよび前記バルブロッドを第1方向に動かす段階と;
(d)前記第1圧電バルブを制御して前記第1流路を遮断し、前記第2圧電バルブを制御して前記第2流路を開放する段階と;
(e)前記第2流路を介して前記空気チャンバーから空気を排出して前記空気チャンバーの空気圧を低めることにより、前記ピストンおよび前記バルブロッドを前記第1方向と反対の方向である第2方向に動かす段階と;を含むことを特徴とする、溶液ディスペンシング方法。 - 前記(e)段階は、前記ポンプボディに設置される弾性部材によって前記ピストンに対して前記第2方向に弾性力を加えて前記ピストンを前記第2方向に動かすことを特徴とする、請求項6に記載の溶液ディスペンシング方法。
- 前記(b)段階は、前記第1圧電アクチュエータおよび前記第2圧電アクチュエータに連結された変位センサーから前記第1圧電アクチュエータおよび前記第2圧電アクチュエータそれぞれの変形量のフィードバックを受けて前記第1圧電アクチュエータおよび前記第2圧電アクチュエータそれぞれの印加電圧を制御し、
前記(d)段階は、前記変位センサーから前記第1圧電アクチュエータおよび前記第2圧電アクチュエータそれぞれの変形量のフィードバックを受けて前記第1圧電アクチュエータおよび前記第2圧電アクチュエータそれぞれの印加電圧を制御することを特徴とする、請求項6に記載の溶液ディスペンシング方法。 - 前記(e)段階は、負圧を発生する第2ポンプによって前記第2流路を介して前記ポンプボディの空気チャンバーに負圧を伝達して前記空気チャンバーから空気を強制排出することを特徴とする、請求項6に記載の溶液ディスペンシング方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2014-0160690 | 2014-11-18 | ||
KR1020140160690A KR101610197B1 (ko) | 2014-11-18 | 2014-11-18 | 압전 공압 밸브 구동형 디스펜싱 펌프 및 이를 이용한 용액 디스펜싱 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016098827A JP2016098827A (ja) | 2016-05-30 |
JP6127114B2 true JP6127114B2 (ja) | 2017-05-10 |
Family
ID=55908051
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015225797A Active JP6127114B2 (ja) | 2014-11-18 | 2015-11-18 | 圧電空圧バルブ駆動型ディスペンシングポンプおよびこれを用いた溶液ディスペンシング方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9573157B2 (ja) |
JP (1) | JP6127114B2 (ja) |
KR (1) | KR101610197B1 (ja) |
CN (1) | CN105604926B (ja) |
MY (1) | MY178962A (ja) |
TW (1) | TWI583868B (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105710003B (zh) * | 2016-01-22 | 2018-09-11 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种物料涂布设备及其控制方法 |
JP6793026B2 (ja) * | 2016-12-13 | 2020-12-02 | 株式会社堀場エステック | バルブ装置及びバルブ制御装置 |
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CN110573263B (zh) * | 2017-04-21 | 2021-12-14 | 诺信公司 | 分配系统 |
CN107917261B (zh) * | 2017-12-06 | 2024-04-19 | 曾祥虎 | 带有自动排气装置的阀装置 |
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-
2014
- 2014-11-18 KR KR1020140160690A patent/KR101610197B1/ko active IP Right Grant
-
2015
- 2015-11-16 MY MYPI2015704134A patent/MY178962A/en unknown
- 2015-11-17 TW TW104137782A patent/TWI583868B/zh active
- 2015-11-17 CN CN201510792191.4A patent/CN105604926B/zh active Active
- 2015-11-18 US US14/945,209 patent/US9573157B2/en active Active
- 2015-11-18 JP JP2015225797A patent/JP6127114B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9573157B2 (en) | 2017-02-21 |
TW201619501A (zh) | 2016-06-01 |
TWI583868B (zh) | 2017-05-21 |
MY178962A (en) | 2020-10-26 |
CN105604926A (zh) | 2016-05-25 |
CN105604926B (zh) | 2017-08-25 |
US20160136664A1 (en) | 2016-05-19 |
JP2016098827A (ja) | 2016-05-30 |
KR101610197B1 (ko) | 2016-04-08 |
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