KR102355593B1 - 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 점성 용액을 디스펜싱하는 장치의 노즐을 세정액으로 세정할 수 있는 기능을 가진 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치 에 관한 것이다.
본 발명의 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치는 노즐에 묻을 수 있는 점성 용액을 효과적으로 세정하면서 세정액을 원활하게 공급하고 관리할 수 있는 효과가 있다.

Description

노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치{Dispensing Apparatus Having Function of Cleaning Nozzle}
본 발명은 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 점성 용액을 디스펜싱하는 장치의 노즐을 세정액으로 세정할 수 있는 기능을 가진 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치에 관한 것이다.
반도체 공정 또는 반도체 부품을 제작하는 공정에서 점성 용액을 디스펜싱하는 공정은 널리 사용된다.
이와 같은 디스펜싱 공정에 사용되는 점성 용액은 종류가 매우 다양하다. 이와 같은 점성 용액을 디스펜싱하는 경우에는 노즐 끝부분에서 점성 용액이 굳어서 디스펜싱 공정의 품질에 영향을 미치는 경우가 종종 발생한다.
특히, 경화 속도가 매우 빠른 접착액을 점성 용액으로서 디스펜싱하는 경우에는 접착액 도포 공정 진행중에 노즐의 하면이나 측면에 접착액이 묻어서 경화가 진행되는 현상이 발생할 확률이 높아진다.
이와 같이 노즐에 접착액이 묻어서 경화가 진행되면 접착액 도포 공정의 품질이 저하되는 문제가 발생한다. 이와 같은 문제의 발생을 방지하기 위해 노즐에 묻은 접착액을 효과적으로 세정하고 닦아 줄 수 있는 장치가 필요하다.
등록특허공보 제10-1806033호 (2018.1.11.)
본 발명은 상술한 바와 같은 필요성을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 효과적으로 노즐을 세정하면서 세정액을 용이하게 관리할 수 있는 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 바와 같은 목적을 해결하기 위한 본 발명의 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치는, 액상 수지 재질의 점성 용액을 도포하는 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치에 있어서, 노즐을 통해 상기 점성 용액을 디스펜싱하는 디스펜싱 펌프; 상기 디스펜싱 펌프를 이송하는 펌프 이송 유닛; 상기 펌프 이송 유닛에 의해 이송된 상기 디스펜싱 펌프의 노즐이 세정액에 잠기도록 상기 세정액을 분출하는 디핑부와, 상기 디핑부에서 분출되어 흐르는 상기 세정액을 받아 수용하는 디핑 저장부와, 상기 디핑부로 공급할 상기 세정액이 저장되는 저장 탱크와, 상기 저장 탱크와 디핑부를 연결하는 공급 유로와, 상기 저장 탱크에 저장된 상기 세정액을 상기 디핑부로 공급할 수 있도록 상기 공급 유로에 설치되는 공급 펌프와, 상기 디핑 저장부에 수용된 상기 세정액을 상기 저장 탱크로 전달할 수 있도록 상기 디핑 저장부와 상기 저장 탱크를 연결하는 회수 유로를 구비하는 세정 유닛; 및 상기 디스펜싱 펌프와 펌프 이송 유닛과 세정 유닛의 작동을 제어하는 제어부;를 포함하는 점에 특징이 있다.
본 발명의 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치는 노즐에 묻을 수 있는 점성 용액을 효과적으로 세정하면서 세정액을 원활하게 공급하고 관리할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치의 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치의 세정 유닛에 대한 사시도이다.
도 4은 도 3에 도시된 세정 유닛에 대한 좌측면도이다.
도 5는 도 3에 도시된 세정 유닛의 작동을 설명하기 위한 개략도이다.
이하, 본 발명에 따른 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치의 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치의 정면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시예의 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치는 디스펜싱 펌프(100)와 펌프 이송 유닛(200)과 세정 유닛(300)을 포함하여 이루어진다.
디스펜싱 펌프(100)는 노즐(110)을 구비한다. 디스펜싱 펌프(100)는 노즐(110)을 통해 접착제와 같은 액상 수지 재질의 점성 용액을 도포한다. 디스펜싱 펌프(100)를 통해 반도체 부품, 전자 장치, 패키지 등에 점성 용액을 도포한다.
점성 용액을 도포하는 디스펜싱 펌프(100)는 공지된 다양한 구조의 펌프가 사용될 수 있다.
펌프 이송 유닛(200)은 디스펜싱 펌프(100)를 이송하도록 구성된다. 본 실시예의 펌프 이송 유닛(200)은 디스펜싱 펌프(100)를 수평 방향 및 수직 방향으로 이송한다. 디스펜싱 펌프(100)의 하측에는 트레이(20)에 거치된 다수의 자재(10)가 배열된다. 펌프 이송 유닛(200)은 각각의 자재(10)에 순차적으로 점성 용액이 도포되도록 디스펜싱 펌프(100)를 순차적으로 이송한다. 펌프 이송 유닛(200)은 리니어 모터와 같은 공지된 구성을 이용하여 필요에 따라 다양하게 구성될 수 있다.
세정 유닛(300)은 디스펜싱 펌프(100)의 노즐(110)을 세정하거나 노즐(110) 끝부분의 점성 용액이 경화되는 것을 방지하기 위한 것이다. 노즐(110) 끝부분에 묻거나 ?셜? 점성 용액이 공기 또는 공기중의 수분과 접촉하여 경화될 수 있다. 세정 유닛(300)은 세정액을 이용하여 이와 같은 현상의 발생을 방지한다.
세정 유닛(300)이 에탄올과 같은 세정액의 흐름을 발생시키면, 펌프 이송 유닛(200)이 디스펜싱 펌프(100)를 이송하여 노즐(110)이 흐르는 세정액에 잠기도록 하여 노즐(110)을 세정하거나 점성 용액의 경화를 방지한다. 미리 정해진 시간 간격이나 미리 정해진 회수의 디스펜싱 작업 이후에 펌프 이송 유닛(200)은 디스펜싱 펌프(100)를 세정 유닛(300)으로 이송하여 노즐(110)이 세정되도록 한다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 실시예의 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치에 있어서 세정 유닛(300)은 디핑부(310)와 디핑 저장부(320)와 저장 탱크(370)와 공급 펌프(330)를 포함한다.
세정액은 저장 탱크(370)에 저장된다. 저장 탱크(370)에 저장된 세정액은 디핑부(310)로 공급된다. 공급 유로(340)는 저장 탱크(370)와 디핑부(310)를 연결한다. 공급 유로(340)에는 공급 펌프(330)가 설치된다. 공급 펌프(330)는 저장 탱크(370)에 저장된 세정액을 공급 유로(340)를 통해 디핑부(310)로 공급하여 세정액이 디핑부(310)를 통해 분출되도록 한다. 본 실시예의 경우 공급 펌프(330)로서 멤브레인 펌프 형태의 펌프가 사용된다.
디핑부(310)는 공급 유로(340)를 통해 공급된 세정액이 분출하여 흐르도록 형성된다. 디스펜싱 펌프(100)의 노즐(110)은 디핑부(310)에서 흐르는 세정액에 잠기도록 배치된 상태에서 세정된다. 본 실시예의 경우 디핑부(310)는 상측으로 세정액을 분출하도록 형성된다.
도 2에 도시한 것과 같이 디핑 저장부(320)는 디핑부(310)의 외측을 감싸는 용기 형태로 형성된다. 디핑부(310)에서 분출되어 노즐(110)을 세정한 세정액은 하측으로 흘러서 디핑 저장부(320)에 모이게 된다. 디핑 저장부(320)는 저장 탱크(370)보다 상측에 배치된다.
회수 유로(360)은 디핑 저장부(320)와 저장 탱크(370)를 연결한다. 디핑 저장부(320)에 저장된 세정액은 회수 유로(360)을 통해 하측의 저장 탱크(370)로 흐르게 된다. 이와 같은 구조로 인해 세정액은 공급 유로(340)와 회수 유로(360)을 통해 순환하게 된다. 즉, 공급 유로(340)를 통해 저장 탱크(370)에서 디핑부(310)로 공급된 세정액은 디핑 저장부(320)로 흘러 회수 유로(360)을 통해 다시 저장 탱크(370)로 전달되면서 공급 펌프(330)에 의해 순환하게 된다.
공급 펌프(330)와 디핑부(310) 사이의 공급 유로(340)에는 유량 조절 밸브(350)가 설치된다. 유량 조절 밸브(350)는 디핑부(310)에 공급되는 세정액의 유량을 수동으로 조절할 수 있도록 구성된다. 본 실시예의 경우 유량 조절 밸브(350)는 도 3에 도시한 것과 같이 볼트 형태의 조절부(351)를 수동으로 조작하여 공급 유로(340)의 유로의 크기를 조절하도록 형성된다. 즉, 조절부(351)를 조이면 유량이 감소하고 조절부(351)를 풀면 유량이 증가하도록 유량 조절 밸브(350)는 작동한다.
세정 유닛(300)은 보충 유로(361)를 더 포함한다. 본 실시예의 경우 도 4에 도시한 것과 같이 보충 유로(361)는 회수 유로(360)에 연결되도록 형성된다. 보충 유로(361)는 평상시에 마개가 씌워져 막혀 있다. 저장 탱크(370)에 세정액을 보충할 필요가 있는 경우에는 마개를 열고 보충 유로(361)를 통해 세정액을 추가 공급하게 된다. 보충 유로(361)로 공급된 세정액은 회수 유로(360)를 통해 저장 탱크(370)로 흐르게 된다.
경우에 따라서는 디핑 저장부(320)를 통해 세정액을 보충하거나 공급할 수도 있다. 이를 위해 도 3에 도시한 것과 같이 세정 유닛(300)은 디핑 저장부(320)에 착탈 가능하게 설치되는 리필 보조 부재(363)를 포함한다. 리필 보조 부재(363)는 깔때기 형태로 형성된다. 세정액의 보충이 필요한 경우에는 리필 보조 부재(363)를 디핑 저장부(320)에 끼우고 리필 보조 부재(363)의 도움을 받아 세정액을 디핑 저장부(320)에 부어서 보충한다. 디핑 저장부(320)로 공급된 세정액은 회수 유로(360)를 통해 저장 탱크(370)로 흐르게 된다. 세정액을 보충하는 경우 이외에는 리필 보조 부재(363)는 디핑 저장부(320)에서 분리하여 별도로 보관하게 된다.
제어부(400)는 디스펜싱 펌프(100)와 펌프 이송 유닛(200)과 세정 유닛(300)의 작동을 제어한다.
세정 유닛(300)의 저장 탱크(370)에는 레벨 센서(381)가 설치된다. 레벨 센서(381)는 저장 탱크(370)에 저장되는 세정액의 수위를 감지한다. 저장 탱크(370)의 세정액의 수위가 정해진 수준 이하로 떨어지면 레벨 센서(381)는 이를 감지하여 제어부(400)로 전달한다.
본 실시예의 경우 세정 유닛(300)은 스피커 형태의 경보 유닛(390)을 구비한다. 레벨 선서로부터 저장 탱크(370)의 세정액의 양이 부족하다는 신호가 제어부(400)에 감시되면, 제어부(400)는 경보 유닛(390)을 작동시켜 경보음을 발생하는 방법으로 이와 같은 사실을 사용자에게 알린다.
세정 유닛(300)은 누수 센서(382)를 더 포함한다. 누수 센서(382)는 세정액이 누설되는지 여부를 감지하여 제어부(400)로 전달한다. 본 실시예의 경우 누수 센서(382)는 유량 조절 밸브(350)의 하측에 배치된다. 다양한 종류의 센서가 누수 센서(382)로 사용될 수 있다. 본 실시예의 경우 세정액의 누출을 광학적으로 감지하여 누수 여부를 파악하는 센서가 사용된다. 누수 센서(382)로부터 세정액의 누출 신호가 발생하여 제어부(400)에 전달되면, 제어부(400)는 경보 유닛(390)을 작동시켜 경보음을 발생시킨다. 이와 같은 방법으로 제어부(400)는 세정액의 누출을 사용자에게 알리게 된다.
한편, 제어부(400)는 세정 유닛(300)의 공급 펌프(330)를 다양한 방법으로 작동시킨다. 상술한 바와 같이 멤브레인 펌프 형태의 공급 펌프(330)를 제어부(400)가 비교적 높은 주파수로 작동시키면 디핑부(310)에서 세정액은 균일한 유량으로 흐르게 된다. 필요에 따라서, 제어부(400)는 디핑부(310)에서 세정액이 일정 주기로 펄스 유동하도록 공급 펌프(330)를 작동시킬 수도 있다. 예를 들어, 펌프 이송 유닛(200)에 의해 디스펜싱 펌프(100)의 노즐(110)이 디핑부(310)에 배치될 때, 제어부(400)는 디핑부(310)에서 세정액의 펄스 유동을 발생시킬 수 있다. 즉, 제어부(400)는 디핑부(310)에서 분출되는 세정액의 유량을 일정 주기로 증가시키고 감소시키는 방식으로 공급 펌프(330)의 작동을 제어할 수 있다.
이와 같이 제어부(400)가 공급 펌프(330)를 작동시킴으로써, 노즐(110)의 세정 기능이나 점성 용액 굳음 방지 기능을 더욱 효과적으로 달성하는 것이 가능하다.
이하, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예의 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치의 작동에 대해 설명한다.
먼저, 세정 유닛(300)의 저장 탱크(370)에 세정액을 채운다. 저장 탱크(370)에 세정액을 채우는 방법은 두가지 방법이 가능하다. 첫째, 보충 유로(361)를 이용하여 세정액을 저장 탱크(370)에 공급할 수 있다. 보충 유로(361)에 세정액 공급관을 연결하여 세정액을 공급하면, 세정액은 저장 탱크(370)로 흘러서 저장 탱크(370)에 채워진다. 필요에 따라 보충 유로(361)를 개방하여 세정액을 공급할 수도 있고, 보충 유로(361)에 세정액 공급관이 연결되도록 장치를 구성하여 밸브를 개폐하는 방법으로 세정액을 공급할 수도 있다. 둘째, 도 3에 도시한 것과 같이 리필 보조 부재(363)를 사용하여 세정액을 공급할 수도 있다. 리필 보조 부재(363)를 디핑 저장부(320)에 장착하고 세정액을 부으면, 세정액이 회수 유로(360)를 따라 흐르면서 저장 탱크(370)에 저장된다. 제어부(400)는 레벨 센서(381)를 통해, 저장 탱크(370)에 세정액이 충분히 채워졌는지 여부를 파악할 수 있다.
저장 탱크(370)에 세정액이 충분히 채워지면, 제어부(400)는 세정 유닛(300)의 공급 펌프(330)를 작동시킨다. 공급 펌프(330)가 작동하면, 저장 탱크(370)의 세정액은 공급 유로(340)를 통해 디핑부(310)로 전달되어 분출된다. 사용자는 공급 유로(340)에 설치된 유량 조절 밸브(350)의 조절부(351)를 조작하여 디핑부(310)로 분출되는 세정액의 유량을 미세 조절한다. 사용자가 볼트 형태로 형성된 조절부(351)를 조이면 공급 유로(340)가 좁아지면서 세정액의 유량이 감소하고, 사용자가 조절부(351)를 풀면 공급 유로(340)가 넓어지면서 세정액의 유량이 증가한다. 주위 온도, 세정액의 점성, 저장 탱크(370)에 남은 세정액의 용량 등의 인자에 따라 동일 조건에서도 미세하게 세정액의 유량이 변할 수 있는데, 사용자가 유량 조절 밸브(350)를 조작함으로써 세정액의 유량을 용이하게 조절할 수 있다.
제어부(400)는 일정 시간 간격 또는 소정 개수의 자재(10)에 대한 디스펜싱 작업 완료시마다 펌프 이송 유닛(200)을 작동시켜, 디스펜싱 펌프(100)를 디핑부(310)로 이송한다. 디스펜싱 펌프(100)의 노즐(110)이 디핑부(310)에 근접하면 노즐(110)의 점성 용액이 세정액에 의해 세정되거나 경화가 방지된다. 상술한 바와 같이 제어부(400)는 필요에 따라 펄스 파동 등 다양한 패턴으로 세정액이 디핑부(310)에서 분출되도록 공급 펌프(330)의 작동을 제어한다. 또한, 디프펜싱 펌프가 디스펜싱 작업을 수행하지 않는 유휴 상태일 때에도 제어부(400)는 펌프 이송 유닛(200)에 의해 디스펜싱 펌프(100)를 디핑부(310)로 이송하여 노즐(110)을 세정액에 디핑한다.
상술한 바와 같이 디핑부(310)를 통해 분출된 세정액은 디핑 저장부(320)로 흐르고, 다시 회수 유로(360)를 통해 저장 탱크(370)로 흐르게 된다. 따라서, 세정액은 저장 탱크(370)와 디핑부(310) 사이를 연속적으로 순환하면서 계속적으로 사용된다.
본 실시예의 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치는 디핑부(310) 하부에 설치된 디핑 저장부(320)와 저장 탱크(370)가 별도로 구성됨으로써 다양한 장점을 가지게 된다. 세정액은 특성상 에탄올과 같은 휘발성 용액을 사용하는 경우가 많으므로, 사용중에도 공기중으로 증발하여 양이 감소하게 된다. 본 실시예의 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치는 디핑 저장부(320)와 별도로 저장 탱크(370)가 마련되므로 저장 탱크(370)에 비교적 많은 양의 세정액을 저장하고 사용할 수 있는 장점이 있다. 따라서, 세정액이 증발하여 점차적으로 감소하더라도 비교적 장기간 세정액을 리필하지 않고 사용할 수 있는 장점이 있다. 즉, 세정액을 리필하기 위하여 장비를 세움으로 인한 손실의 발생을 최소화할 수 있는 장점이 있다. 또한, 디스펜싱 작업을 수행하지 않을 때에 제어부(400)가 공급 펌프(330)의 작동을 멈추면, 디핑부(310) 주변의 세정액은 저장 탱크(370)로 흘러서 저장 탱크(370)에 머물게 된다. 결과적으로 세정액이 공기와 접할 공간 또는 면적이 감소하여 세정액이 손실되는 것을 막을 수 있다.
한편, 상술한 바와 같이 저장 탱크(370)의 세정액의 수위가 레벨 센서(381)보다 낮아지면, 제어부(400)가 이를 감지하게 된다. 제어부(400)는 경보 유닛(390)을 작동시켜 사용자에게 세정액의 부족 상태를 알리게 된다.
또한, 유량 조절 밸브(350)의 하측에 설치된 누수 센서(382)는 세정액의 누설 여부를 감지한다. 상술한 바와 같이 볼트 형태의 조절부(351)를 구비하는 구조로 구성된 유량 조절 밸브(350)의 구조상 유량 조절 밸브(350)의 주변에서 누수의 발생 가능성이 존재할 수 있는데, 누수 센서(382)는 이와 같은 상황을 대비하는 구성이다. 유량 조절 밸브(350) 또는 그 주위의 구성으로부터 세정액이 누설되면 누수 센서(382)를 이를 감지하여 제어부(400)로 전달한다. 제어부(400)는 누설이 감지되면 경보 유닛(390)을 작동시켜 세정액의 누설 상황을 사용자에게 알리게 된다.
이상, 본 발명에 대해 바람직한 예를 들어 설명하고 도시하였으나, 본 발명의 범위가 앞에서 설명하고 도시한 형태로 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 도면에는 도시하지 않았으나, 세정액에 디핑된 디스펜싱 펌프(100)의 노즐(110)에 묻은 세정액을 닦아 내기 위해 부직포, 클리닝 시트, 솔 등의 구성을 사용하는 별도의 구성을 더 포함하는 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치를 구성하는 것도 가능하다.
또한, 저장 탱크(370)의 외벽에는 육안으로 세정액의 잔량을 확인할 수 있도록 수직으로 배치되는 투명 유로를 추가로 설치하는 것도 가능하다.
또한, 경우에 따라서는 유량 조절 밸브(350)를 구비하지 않는 구조의 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치를 구성하는 것도 가능하다.
또한, 공급 펌프(330) 역시 멤브레인 펌프 이외에 다른 다양한 구조의 펌프를 사용하는 것이 가능하다.
또한, 레벨 센서(381), 누수 감지 센서, 경보 유닛(390) 등의 구성의 일부 또는 전부를 구비하지 않는 구조의 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치를 구성하는 것도 가능하다.
또한, 앞에서 보충 유로(361)는 회수 유로(360)에 연결되도록 구성하는 것으로 설명하였으나, 보충 유로(361)가 저장 탱크(370)에 직접 연결되는 구조의 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치를 구성하는 것도 가능하다. 보충 유로(361)를 구비하지 않는 구조의 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치를 구성하는 것도 가능하다.
100: 디스펜싱 펌프 110: 노즐
200: 펌프 이송 유닛 300: 세정 유닛
310: 디핑부 320: 디핑 저장부
330: 공급 펌프 340: 공급 유로
350: 유량 조절 밸브 351: 조절부
360: 회수 유로 370: 저장 탱크
381: 레벨 센서 382: 누수 센서
390: 경보 유닛 361: 보충 유로
363: 리필 보조 부재 400: 제어부

Claims (13)

  1. 액상 수지 재질의 점성 용액을 도포하는 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치에 있어서,
    노즐을 통해 상기 점성 용액을 디스펜싱하는 디스펜싱 펌프;
    상기 디스펜싱 펌프를 이송하는 펌프 이송 유닛;
    상기 펌프 이송 유닛에 의해 이송된 상기 디스펜싱 펌프의 노즐이 세정액에 잠기도록 상기 세정액을 분출하는 디핑부와, 상기 디핑부에서 분출되어 흐르는 상기 세정액을 받아 수용하는 디핑 저장부와, 상기 디핑부로 공급할 상기 세정액이 저장되는 저장 탱크와, 상기 저장 탱크와 디핑부를 연결하는 공급 유로와, 상기 저장 탱크에 저장된 상기 세정액을 상기 디핑부로 공급할 수 있도록 상기 공급 유로에 설치되는 공급 펌프와, 상기 디핑 저장부에 수용된 상기 세정액을 상기 저장 탱크로 전달할 수 있도록 상기 디핑 저장부와 상기 저장 탱크를 연결하는 회수 유로를 구비하는 세정 유닛; 및
    상기 디스펜싱 펌프와 펌프 이송 유닛과 세정 유닛의 작동을 제어하는 제어부;를 포함하고,
    상기 세정 유닛의 공급 펌프는, 멤브레인 펌프로 구성되며,
    상기 제어부는, 상기 펌프 이송 유닛에 의해 상기 디스펜싱 펌프의 노즐이 상기 세정 유닛의 디핑부에 배치될 때, 상기 디핑부에서 상기 세정액이 일정 주기로 펄스 유동하도록 상기 세정 유닛의 공급 펌프를 작동시키는 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 세정 유닛의 저장 탱크는 상기 디핑 저장부보다 하측에 배치되는 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 세정 유닛은, 상기 디핑부에 공급되는 상기 세정액의 유량을 조절할 수 있도록 상기 공급 유로에 설치되는 유량 조절 밸브를 더 포함하는 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 세정 유닛의 유량 조절 밸브는, 볼트 형태의 조절부를 수동으로 조작하여 상기 공급 유로의 유로의 크기를 조절하도록 형성되는 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 세정 유닛의 유량 조절 밸브는, 상기 공급 펌프와 디핑부 사이의 공급 유로에 설치되는 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 세정 유닛은, 상기 저장 탱크에 저장되는 상기 세정액의 수위를 감지하여 상기 제어부에 전달하도록 상기 저장 탱크에 설치되는 레벨 센서를 더 포함하는 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 세정 유닛은, 상기 저장 탱크의 수위가 낮아지는 것을 알릴 수 있도록 경보를 발생하는 경보 유닛을 더 포함하고,
    상기 제어부는, 상기 레벨 센서에 의해 수위가 낮아지는 것이 감지되면 상기 경보 유닛을 작동시키는 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 세정 유닛은, 상기 저장 탱크에 상기 세정액을 보충할 수 있도록 상기 저장 탱크에 연결되는 보충 유로를 더 포함하는 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 세정 유닛은, 깔때기 형태로 형성되어 상기 디핑 저장부에 착탈 가능하게 설치되는 리필 보조 부재를 더 포함하는 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치.
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 세정 유닛은, 세정액의 누수를 감지하도록 상기 유량 조절 밸브의 하측에 배치되고 누수 감지 신호를 상기 제어부에 전달하는 누수 센서;를 더 포함하는 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 세정 유닛은, 세정액이 누수되는 것을 알릴 수 있도록 경보를 발생하는 경보 유닛을 더 포함하고,
    상기 제어부는, 상기 누수 센서에서 상기 세정액의 누수가 감지되면 상기 경보 유닛을 작동시키는 노즐 세정이 가능한 디스펜싱 장치.
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