JP6505165B2

JP6505165B2 - 洗浄装置

Info

Publication number: JP6505165B2
Application number: JP2017137903A
Authority: JP
Inventors: 宣一篠田; 貴大田中
Original assignee: Chugai Ro Co Ltd
Current assignee: Chugai Ro Co Ltd
Priority date: 2017-07-14
Filing date: 2017-07-14
Publication date: 2019-04-24
Anticipated expiration: 2037-07-14
Also published as: JP2019018139A

Description

本発明は、密閉可能な洗浄室内に洗浄液を収容させ、この洗浄室内を不活性雰囲気にした状態で前記の洗浄液中に被洗浄物を浸漬させて、被洗浄物を洗浄させる洗浄装置に関するものである。特に、凹凸等を有する複雑な形状になった被処理物に対しても十分な洗浄が行えるようにすると共に、炭化水素系洗浄液等の低引火点の洗浄液を用いた場合においても、被洗浄物を安全に洗浄できるようにした点に特徴を有するものである。

洗浄室内に収容させた洗浄液中に被洗浄物を浸漬させて、前記の被洗浄物を洗浄させる洗浄装置としては、従来から様々な洗浄装置が使用されている。

そして、近年においては、特許文献１に示されるように、洗浄液を収容させた浸漬洗浄槽内に被洗浄物を浸漬させた状態で、洗浄液や圧縮空気及びこれらの混合流体を噴射させる複数の液体噴射ノズルを設け、これらの液体噴射ノズルから前記の洗浄液や圧縮空気等を前記の被洗浄物に吹付けて洗浄するようにしたものが示されている。

しかし、特許文献１に示されるものにおいては、前記の浸漬洗浄槽の上面が開放された状態になっているため、例えば、炭化水素系洗浄液等の引火点の低い洗浄液を用いた場合、この洗浄液の低引火点の炭化水素成分が浸漬洗浄槽の上面から放出され、環境や安全性の点で問題があった。

また、特許文献２においては、密閉させた洗浄室内に被洗浄物を収容させ、この被洗浄物に対して、炭化水素系の洗浄液を用いてシャワー洗浄や浸漬洗浄や高温噴射洗浄させるようにしたものが示されており、また被洗浄物を浸漬洗浄させるにあたり、被処理物の下に設けたバブリングノズルからＮ_２ガスを噴射させて、被洗浄物を洗浄液中で洗浄させるようにしたものが示されている。

しかし、特許文献２に示されるものにおいては、被洗浄物を洗浄液中に浸漬させた状態で、被処理物の下に設けたバブリングノズルからＮ_２ガスを噴射させて洗浄させるだけであるため、特に上面に凹凸等の様々な形状を有する被洗浄物に対して十分な洗浄を行うことが困難であり、またＮ_２ガスの噴射量を洗浄室内の圧力等に適応するようにして適切に調整することが面倒になる等の問題があった。

また、特許文献３においては、炭化水素系の洗浄液を噴射させる複数のノズルが設けられた噴霧器を洗浄室内の様々な位置に設け、これらの噴霧器を移動させたりして、洗浄室内に収容させた被洗浄物に対して炭化水素系の洗浄液を噴射させて、被洗浄物を洗浄させるようにしたものが示されている。

しかし、特許文献３に示されるように、複数のノズルが設けられた噴霧器を洗浄室内の様々な位置に設け、これらの噴霧器を移動させて、洗浄室内に収容させた被洗浄物に対して炭化水素系の洗浄液を噴射させるためには、装置の構造が複雑になると共に、各噴霧器を移動させる操作の制御も面倒であり、コストが高くつくと共に、被洗浄物に対して各噴霧器を移動させて炭化水素系の洗浄液を適切に噴射させて洗浄させる操作も困難になるという問題があった。

特開平７−３２８５６７号公報特開２００６−２３１２７２号公報特開２０１３−１９８９０４号公報

本発明は、特許文献２等に示されるように、密閉可能な洗浄室内に洗浄液を収容させ、この洗浄室内を不活性雰囲気にした状態で前記の洗浄液中に被洗浄物を浸漬させて、被洗浄物を洗浄させるようにした洗浄装置に関するものである。

特に、本発明は、前記のような洗浄装置において、凹凸等の様々な形状を有する被洗浄物に対して吹付けノズルから洗浄液などを適切に吹付けて、前記のような被洗浄物を簡単かつ十分に洗浄できるようにすると共に、炭化水素系洗浄液等の低引火点の洗浄液を用いた場合においても、被洗浄物を安全に適切に洗浄できると共に、吹付けノズルから洗浄液などを被洗浄物に向けて吹付ける吹付け速度を簡単に制御できるようにすることを課題とするものである。

本発明に係る洗浄装置においては、前記のような課題を解決するため、密閉可能な洗浄室内に洗浄液を収容させ、この洗浄室内を不活性雰囲気にした状態で前記の洗浄液中に被洗浄物を浸漬させて、被洗浄物を洗浄させる洗浄装置において、被洗浄物を浸漬させた洗浄室内における洗浄液を、循環経路を通して循環用ポンプにより循環させて洗浄液中に設けた吹付けノズルに供給すると共に、この吹付けノズルに不活性ガス供給装置から不活性ガスを供給し、前記の吹付けノズルから前記の洗浄液と不活性ガスとを洗浄室内における被洗浄物に向けて吹付けるにあたり、前記の洗浄室内のガス圧力を調整する圧力調整手段を設け、洗浄室内における洗浄液を前記の循環用ポンプによって前記の吹付けノズルに送る量及び／又は前記の不活性ガス供給装置から前記の吹付けノズルに送る不活性ガスの量を変更させて、前記の吹付けノズルから前記の洗浄液と不活性ガスとを被洗浄物に向けて吹付ける吹付け圧力を変更させるようにした。

そして、本発明に係る洗浄装置において、前記のように洗浄室内に収容させた洗浄液を、循環経路を通して前記の循環用ポンプによって循環させて洗浄液中に設けた吹付けノズルに供給すると共に、この吹付けノズルに前記の不活性ガス供給装置から不活性ガスを供給し、前記の吹付けノズルから前記の洗浄液と不活性ガスとを被洗浄物に向けて吹付けるようにすると、前記のように循環される洗浄液と不活性ガスとが一緒になって被洗浄物における凹凸の、凹んだ部分や狭い隙間や穴にも適切に吹付けられるようになり、様々な形状を有する被洗浄物が、前記の吹付けノズルから吹き付けられる循環経路により循環される洗浄液と不活性ガスとによって強力に洗浄されるようになる。

また、本発明に係る洗浄装置においては、前記の圧力調整手段により洗浄室内のガス圧力を調整すると共に、洗浄室内における洗浄液を前記の循環用ポンプによって前記の吹付けノズルに送る量及び／又は前記の不活性ガス供給装置から前記の吹付けノズルに送る不活性ガスの量を変更させて、洗浄液中に浸漬させた前記の被洗浄物に対して、前記の吹付けノズルから前記の洗浄液と不活性ガスとを被洗浄物に向けて吹付ける吹付け圧力を変更させるようにしたため、循環経路により循環される洗浄液と不活性ガスとを、洗浄室内における被洗浄物に対して吹付ける吹付け力を適切に調整できると共に、この吹付け力に変化をもたせて、被洗浄物に対する洗浄効果を高めることも簡単にできるようになった。

ここで、本発明に係る洗浄装置において、前記の洗浄液としては、様々な洗浄液を用いることができるが、被洗浄物から加工油や塵等を十分に除去して、被洗浄物を洗浄させるためには、炭化水素系の洗浄液を用いることが好ましい。

また、本発明に係る洗浄装置においては、前記の不活性雰囲気の洗浄室内を減圧状態にして、被洗浄物を洗浄させるようにすることが好ましい。このようにすると、洗浄液として、前記のように炭化水素系洗浄液等の低引火点の洗浄液を用いた場合においても、洗浄室内において低引火点の洗浄液が気化した場合でも燃焼反応が起きることなく、安全性に問題が生じたりするのが抑制される。

また、本発明に係る洗浄装置においては、前記の不活性ガスに窒素（Ｎ_２）ガスを用いることが好ましい。このように、不活性ガスにＮ_２ガスを用いるとコストが低減されると共に、低引火点の洗浄液を用いた場合に、この洗浄液から気化したガスと燃焼反応するのが防止され、安価に安全性を確保することができる。

本発明における洗浄装置においては、前記のように洗浄室内に収容させた洗浄液を前記の循環用ポンプによって前記の吹付けノズルに送る量及び／又は前記の不活性ガス供給装置から前記の吹付けノズルに送る不活性ガスの量を変更させ、洗浄液中に浸漬させた前記の被洗浄物に対して、前記の吹付けノズルから前記の洗浄液と不活性ガスとを被洗浄物に向けて吹付ける吹付け圧力を変更させて、洗浄液中に設けた前記の吹付けノズルから前記の洗浄液と不活性ガスとを被洗浄物に向けて吹付けるようにしたため、前記のように循環される洗浄液と不活性ガスが一緒になって被洗浄物における凹凸等の部分に適切に吹付けられて、様々な形状を有する被洗浄物が、循環経路により循環される洗浄室内における洗浄液と不活性ガスとによって強力に洗浄されるようになる。

本発明の一実施形態に係る洗浄装置において、被洗浄物を洗浄室内にセットさせた状態を示した概略断面説明図である。前記の実施形態に係る洗浄装置において、洗浄室内にセットさせた被洗浄物に対して、被洗浄物の上に設けたシャワーノズルから洗浄液を供給して、被洗浄物を粗洗浄する状態を示した概略断面説明図である。前記の実施形態に係る洗浄装置において、被洗浄物を粗洗浄した後の洗浄室内における汚れた洗浄液を、洗浄室の底部に設けられた洗浄液排出パイプから排出させる状態を示した概略断面説明図である。前記の実施形態に係る洗浄装置において、被洗浄物を粗洗浄した後の洗浄室内に前記のシャワーノズルから洗浄液を供給し、洗浄室内における被洗浄物を洗浄液に浸漬させた状態を示した概略断面説明図である。前記の実施形態に係る洗浄装置において、前記の被洗浄物を洗浄液に浸漬させた洗浄室内の圧力を調整しながら、吹付けノズルから洗浄液と不活性ガスとを被洗浄物に向けて吹付ける状態を示した概略断面説明図である。前記の実施形態に係る洗浄装置において、前記の洗浄室内の圧力を調整しながら、吹付けノズルから洗浄液と不活性ガスとを被洗浄物に向けて吹付ける状態を示し、（Ａ）は洗浄室内の圧力を低くして吹付けノズルから噴出される洗浄液と不活性ガスの量を少なくした状態を示した概略断面説明図、（Ｂ）は洗浄室内の圧力を高くして吹付けノズルから噴出される洗浄液と不活性ガスの量を多くした状態を示した概略断面説明図である。前記の実施形態に係る洗浄装置において、洗浄室内の洗浄液に浸漬させた被洗浄物に対して、吹付けノズルから洗浄液と不活性ガスとを吹き付けて被洗浄物を洗浄させた後、洗浄室内における洗浄液を洗浄室の底部に設けられた洗浄液排出パイプから排出させる状態を示した概略断面説明図である。前記の実施形態に係る洗浄装置において、前記の吹付けノズルを洗浄室の両側の壁部に対向するようにして設けるようにした変更例を示した概略断面説明図である。

以下、本発明の実施形態に係る洗浄装置を添付図面に基づいて具体的に説明する。なお、本発明に係る洗浄装置は、下記の実施形態に示したものに限定されず、発明の要旨を変更しない範囲において、適宜変更して実施できるものである。

ここで、この実施形態における洗浄装置においては、図１等に示すように、被洗浄物Ｗを洗浄させる洗浄室１０内に洗浄室１０に設けた出入り口（図示せず）を通して導入させ、この洗浄室１０内に設けた載置台１１の上に被洗浄物Ｗをセットするようにしている。

また、この実施形態における洗浄装置においては、洗浄液供給装置２０から洗浄室１０内に洗浄液ｘを供給する洗浄液供給パイプ２１に、洗浄液ｘの供給と停止とを切り換える洗浄液供給用バルブ２２を設けると共に、この洗浄液供給パイプ２１を洗浄室１０の上部１０ａを貫通させて洗浄室１０内に導き、この洗浄液供給パイプ２１の先端部に洗浄液ｘを噴出させるシャワーノズル２３を設けている。

なお、図ではシャワーノズル２３は被洗浄物Ｗの上部に水平方向に延伸しているが、それを上下方向に複数設置したり、垂直方向に延伸させて被洗浄物Ｗの側面に洗浄液ｘを当てるようにしてもよい。

また、洗浄室１０内のガス圧力を調整する圧力調整手段３０として、洗浄室１０の上部１０ａにガス吸引パイプ３１を設けると共に、このガス吸引パイプ３１と洗浄室１０内のガスを吸引する真空ポンプ３２との間に圧力調整バルブ３３を設け、この圧力調整バルブ３３により、前記の真空ポンプ３２によってガス吸引パイプ３１を通して洗浄室１０内から吸引するガスの圧力を調整するようにしている。

また、洗浄室１０の上部１０ａに洗浄室１０内に不活性ガスとしてＮ_２ガスを供給する不活性ガス供給パイプ４１を設け、この不活性ガス供給パイプ４１に洗浄室１０内への不活性供給ガスの供給と停止とを切り換える不活性ガス供給用バルブ４２を設けている。

また、前記の洗浄室１０の底部１０ｂに、洗浄室１０内における洗浄液ｘを排出させる洗浄液排出パイプ５１を設け、この洗浄液排出パイプ５１の途中の位置に、洗浄液ｘの排出と停止とを切り換える第１排出バルブ５２と第２排出バルブ５３とを所要間隔を介して設け、洗浄室１０内から洗浄液排出パイプ５１に導かれた洗浄液ｘを、前記の第１排出バルブ５２と第２排出バルブ５３とを開けて、下に位置する第２排出バルブ５３から排出させるようにしている。

また、前記の第１排出バルブ５２を開けた状態にする一方、前記の第２排出バルブ５３を閉じた状態にし、前記の洗浄室１０から洗浄液排出パイプ５１を通して前記の第１排出バルブ５２と第２排出バルブ５３との間に導かれた洗浄液ｘを洗浄液排出パイプ５１から洗浄室１０に戻す循環経路として、第１排出バルブ５２と第２排出バルブ５３との間における洗浄液排出パイプ５１から洗浄室１０に向かう循環用パイプ６１を設け、この循環用パイプ６１に洗浄液ｘを洗浄室１０に戻すための循環用ポンプ６２と、この循環用パイプ６１による洗浄液ｘの循環と停止とを切り換える循環用バルブ６３とを設けると共に、この循環用パイプ６１の先端部に前記のように循環させる洗浄液ｘを洗浄室１０内に噴射させる吹付けノズル６４を、洗浄室１０の片側の壁部１０ｃから洗浄液ｘに浸漬させた被洗浄物Ｗに向けて洗浄液ｘ中に設けている。

また、前記の吹付けノズル６４に対して、不活性ガス供給装置７１から不活性ガスを案内する不活性ガス案内管７２を設けると共に、この不活性ガス案内管７２の途中の位置に不活性ガスの案内と停止とを切り換える不活性ガス供給用バルブ７３を設けている。

そして、前記の不活性ガス案内管７２における不活性ガス供給用バルブ７３を開け、不活性ガスを不活性ガス案内管７２から前記の吹付けノズル６４に供給し、この吹付けノズル６４から前記のように循環される洗浄液ｘと一緒に不活性ガスを噴射させるようにしている。なお、図示していないが、前記の不活性ガス供給装置７１から不活性ガスを前記の不活性ガス案内管７２に供給させる他に、この不活性ガス供給装置７１から不活性ガスを洗浄室１０内の上部１０ａに不活性ガスを供給する前記の不活性ガス供給パイプ４１に供給させるようにすることもできる。

ここで、この実施形態における洗浄装置においては、図１に示すように、前記の洗浄室１０内に設けた載置台１１の上に被洗浄物Ｗをセットした後、図２に示すように、前記の洗浄液供給パイプ２１に設けた洗浄液供給用バルブ２２を開けて、前記の洗浄液供給装置２０から洗浄液ｘを洗浄液供給パイプ２１の先端部に設けたシャワーノズル２３に導くようにする共に、前記の洗浄室１０内のガスを吸引するガス吸引パイプ３１に設けた圧力調整バルブ３３を開けて、洗浄室１０内におけるガスを真空ポンプ３２によりガス吸引パイプ３１を通して吸引し、洗浄室１０内を減圧させた状態で、前記のシャワーノズル２３から洗浄液ｘを被洗浄物Ｗに噴出させて被洗浄物Ｗを粗洗浄し、粗洗浄させた後の洗浄液ｘを洗浄室１０の底部１０ｂに貯留させるようにする。

そして、このように被洗浄物Ｗを粗洗浄させた後、図３に示すように、前記の洗浄液供給用バルブ２２と圧力調整バルブ３３とを閉じで、シャワーノズル２３から洗浄液ｘを噴出させないようにすると共に、洗浄室１０内を減圧させないようにする。また、この状態で、不活性ガス供給パイプ４１に設けた前記の不活性ガス供給用バルブ４２を開けて、不活性ガス供給パイプ４１を通して洗浄室１０の上部１０ａから洗浄室１０内に不活性ガスを供給すると共に、前記の洗浄液排出パイプ５１に設けた第１排出バルブ５２と第２排出バルブ５３とを開けて、洗浄室１０の底部１０ｂに溜まった粗洗浄後の洗浄液ｘを、前記の洗浄液排出パイプ５１を通して下に位置する第２排出バルブ５３から排出させるようにする。

その後、図４に示すように、前記の不活性ガス供給用バルブ４２を閉じると共に、前記の洗浄液排出パイプ５１に設けた第１排出バルブ５２と第２排出バルブ５３とを閉じた状態で、前記の洗浄液供給パイプ２１に設けた洗浄液供給用バルブ２２を開けて、前記の洗浄液供給装置２０から洗浄液ｘを洗浄液供給パイプ２１の先端部に設けたシャワーノズル２３に導く共に、前記の洗浄室１０内のガスを吸引するガス吸引パイプ３１に設けた圧力調整バルブ３３を開けて、洗浄室１０内におけるガスを真空ポンプ３２によりガス吸引パイプ３１を通して吸引し、洗浄室１０内を減圧させた状態で、前記のシャワーノズル２３から洗浄液ｘを洗浄室１０内に供給する。そして、このように洗浄室１０内に供給された洗浄液ｘの中に、載置台１１の上にセットされた被洗浄物Ｗを浸漬させると共に、前記のように循環される洗浄液ｘと不活性ガスとを噴射させる洗浄室１０の片側の壁部１０ｃに設けた吹付けノズル６４の先端部を浸漬させるようにする。

次いで、図５に示すように、前記の洗浄液供給パイプ２１に設けた洗浄液供給用バルブ２２を閉じて、洗浄室１０内に前記のシャワーノズル２３から洗浄液ｘを供給させないようにする一方、真空ポンプ３２によりガス吸引パイプ３１を通して洗浄室１０内から吸引するガス量を前記の圧力調整バルブ３３により調整して、洗浄室１０内におけるガス圧力を調整させるようにする。そして、この状態で、前記の洗浄液排出パイプ５１に設けた第１排出バルブ５２と第２排出バルブ５３とにおける第１排出バルブ５２だけを開け、洗浄室１０内における洗浄液ｘを洗浄液排出パイプ５１から洗浄室１０に戻す循環用パイプ６１に導くと共に、この循環用パイプ６１に設けられた前記の循環用バルブ６３を開け、循環用ポンプ６２を作動させて、洗浄液排出パイプ５１から循環用パイプ６１に導かれた洗浄液ｘを、この循環用パイプ６１の先端部に設けた前記の吹付けノズル６４に導くようにする。

また、同図に示すように、前記の不活性ガス供給装置７１から不活性ガスを案内する不活性ガス案内管７２に設けた不活性ガス供給用バルブ７３を開け、不活性ガスを不活性ガス案内管７２から前記の吹付けノズル６４に導くようにし、この吹付けノズル６４において前記のように循環される洗浄液ｘと不活性ガスとを一緒にして、この吹付けノズル６４から、洗浄室１０内において洗浄液ｘに浸漬された前記の被洗浄物Ｗに向けて前記の洗浄液ｘと不活性ガスのバブルＧｂとを適当な圧力で吹付け、このように被洗浄物Ｗに吹付けた前記の洗浄液ｘと不活性ガスのバブルＧｂとによって被洗浄物Ｗを洗浄させるようにする。このようにすると、前記のように循環される洗浄液ｘと不活性ガスのバブルＧｂとが一緒になって被洗浄物Ｗにおける凹凸の凹んだ部分や狭い隙間や穴にも適切に吹付けられ、様々な形状を有する被洗浄物Ｗが、循環用パイプ６１を通して循環される洗浄室１０内における洗浄液ｘと不活性ガスのバブルＧｂとによって強力に洗浄されるようになる。

なお、洗浄室１０内においては、このバブルＧｂが洗浄液ｘの液面ではじけて出てくる不活性ガスを真空ポンプ３２で吸引しながら圧力調整バルブ３３を調整することで吸引量を調整している。そうすることによって、洗浄液ｘの液面上の空間のガスの圧力が一定になる。

ここで、前記のように吹付けノズル６４から、洗浄室１０内において洗浄液ｘに浸漬された被洗浄物Ｗに向けて前記の洗浄液ｘと不活性ガスのバブルＧｂとを吹付ける場合において、前記の吹付けノズル６４から前記の洗浄液ｘと不活性ガスとを被洗浄物に向けて吹付ける吹付け圧力を変更させるにあたっては、前記の圧力調整バルブ３３によって洗浄室１０内におけるガス圧力を調整すると共に、前記の洗浄室１０内における洗浄液ｘを循環用ポンプ６２によって循環用パイプ６１から前記の吹付けノズル６４に送る量や、前記の不活性ガス供給装置７１から不活性ガス案内管７２を通して前記の吹付けノズル６４に送る不活性ガスの量を変更させ、洗浄液ｘ中に浸漬させた前記の被洗浄物Ｗに対して、前記の吹付けノズル６４から前記の洗浄液ｘと不活性ガスとを被洗浄物に向けて吹付ける吹付け圧力を変更させるようにする。そして、洗浄室１０内におけるガスの圧力を調整し、図６（Ａ）に示すように、前記の循環用ポンプ６２から循環用パイプ６１を通して吹付けノズル６４に導かれる洗浄液ｘの量や、不活性ガス案内管７２を通して吹付けノズル６４に導かれる不活性ガスの圧力を少なくすると、吹付けノズル６４から前記の洗浄液ｘと不活性ガスのバブルＧｂとを被洗浄物Ｗに向けて吹付ける力が小さくなる。一方、洗浄室１０内におけるガスの圧力を調整し、図６（Ｂ）に示すように、前記の循環用ポンプ６２から循環用パイプ６１を通して吹付けノズル６４に導かれる洗浄液ｘの量や、不活性ガス案内管７２を通して吹付けノズル６４に導かれる不活性ガスの圧力を大きくすると、吹付けノズル６４から前記の洗浄液ｘと不活性ガスのバブルＧｂとを被洗浄物Ｗに向けて吹付ける力が大きくなる。

しかし、吹付力を調整するにあたりこのような方法と比較すると、前述のような洗浄室１０内のガスの圧力を変化させる方法のほうが、機構の複雑性回避や附属機器類不要となる低コスト化という点で優れている。

そして、前記のように吹付けノズル６４から洗浄室１０との間で循環される洗浄液ｘと不活性ガスのバブルＧｂとを適当な圧力で洗浄室１０内における被洗浄物Ｗに吹付けて被洗浄物Ｗを洗浄させた後は、図７に示すように、前記の圧力調整バルブ３３を閉じで洗浄室１０内を減圧させないようにすると共に、循環用パイプ６１に設けられた循環用バルブ６３及び不活性ガス案内管７２に設けた不活性ガス供給用バルブ７３を閉じて、前記の吹付けノズル６４に洗浄液ｘと不活性ガスとを供給させないようにする。また、この状態で、前記の不活性ガス供給パイプ４１に設けた不活性ガス供給用バルブ４２を開けて、不活性ガス供給パイプ４１を通して洗浄室１０の上部１０ａから洗浄室１０内に不活性ガスを供給すると共に、前記の洗浄液排出パイプ５１におけるもう一方の第２排出バルブ５３も開けて、洗浄室１０内における洗浄液ｘを、前記の洗浄液排出パイプ５１を通して第２排出バルブ５３から排出させるようにする。

また、この実施形態においては、循環用パイプ６１を通して洗浄液ｘが循環されると共に、不活性ガス供給装置７１から不活性ガス案内管７２を通して不活性ガスが供給される前記の吹付けノズル６４を、洗浄室１０の片側の壁部１０ｃに設けるようにしただけであるが、図８に示すように、前記のような吹付けノズル６４を、洗浄室１０の両側の壁部１０ｃに対向するようにして設け、各吹付けノズル６４から洗浄室１０との間で循環される洗浄液ｘと不活性ガスのバブルＧｂとを適当な圧力で洗浄室１０内における被洗浄物Ｗに吹付けて、被洗浄物Ｗを洗浄させるようにすることができ、また洗浄室１０の壁部１０ｃに対してさらに多くの吹付けノズル６４を設けるようにすることも可能である。

また、被洗浄物Ｗの形状に応じて吹付ノズル６４の位置や向きを変更できるようにしたり、吹付ノズル６４を交換可能とし、ノズルの穴の径や形状を異なるものに変更できるようにしたりすることも可能である。

１０：洗浄室
１０ａ：上部
１０ｂ：底部
１０ｃ：壁部
１１：載置台
２０：洗浄液供給装置
２１：洗浄液供給パイプ
２２：洗浄液供給用バルブ
２３：シャワーノズル
３０：圧力調整手段
３１：ガス吸引パイプ
３２：真空ポンプ
３３：圧力調整バルブ
４１：不活性ガス供給パイプ
４２：不活性ガス供給用バルブ
５１：洗浄液排出パイプ
５２：第１排出バルブ
５３：第２排出バルブ
６１：循環用パイプ
６２：循環用ポンプ
６３：循環用バルブ
６４：吹付けノズル
７１：不活性ガス供給装置
７２：不活性ガス案内管
７３：不活性ガス供給用バルブ
Ｇｂ：バブル
Ｗ：被洗浄物
ｘ：洗浄液

Claims

密閉可能な洗浄室内に洗浄液を収容させ、この洗浄室内を不活性雰囲気にした状態で前記の洗浄液中に被洗浄物を浸漬させて、被洗浄物を洗浄させる洗浄装置において、被洗浄物を浸漬させた洗浄室内における洗浄液を、循環経路を通して循環用ポンプにより循環させて洗浄液中に設けた吹付けノズルに供給すると共に、この吹付けノズルに不活性ガス供給装置から不活性ガスを供給し、前記の吹付けノズルから前記の洗浄液と不活性ガスとを洗浄室内における被洗浄物に向けて吹付けるにあたり、前記の洗浄室内のガス圧力を調整する圧力調整手段を設け、洗浄室内における洗浄液を前記の循環用ポンプによって前記の吹付けノズルに送る量及び／又は前記の不活性ガス供給装置から前記の吹付けノズルに送る不活性ガスの量を変更させて、前記の吹付けノズルから前記の洗浄液と不活性ガスとを被洗浄物に向けて吹付ける吹付け圧力を変更させることを特徴とする洗浄装置。
請求項１に記載した洗浄装置において、前記の洗浄液として、炭化水素系の洗浄液を用いたことを特徴とする洗浄装置。
請求項１又は請求項２に記載した洗浄装置において、前記の不活性雰囲気の洗浄室内を減圧状態にして、被洗浄物を洗浄させることを特徴とする洗浄装置。
請求項１〜請求項３の何れか１項に記載した洗浄装置において、前記の不活性ガスに窒素（Ｎ₂）ガスを用いたことを特徴とする洗浄装置。