TWI573945B - A rotary output unit for sealing, and a motor unit for sealing - Google Patents

A rotary output unit for sealing, and a motor unit for sealing Download PDF

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Description

密封用旋轉輸出單元及密封用馬達機組
本發明是關於一種將配置於大氣中的交流(AC)伺服馬達等的馬達之旋轉輸出，使用於為了從如真空室、潔淨室等的大氣側導入至被密封的區劃室內的密封用旋轉輸出單元，及裝載該密封用旋轉輸出單元的密封用馬達機組。
在半導體製造裝置等的領域中，在被保持在真空狀態或是預定減壓狀態的區劃室內進行著各種處理。從配置於區劃室的外側之大氣中的馬達導入處理操作用的旋轉驅動力時，必須確實地進行貫通區劃室之隔間壁而從大氣側延伸至真空側的旋轉輸出軸之封口。作為此些之密封機構眾所周知有非接觸型的磁性流體封口。
在非專利文獻1，揭示著磁性流體封口，及於交流伺服馬達組裝有磁性流體封口之構成的磁性封口單元。此種內裝方式的磁性封口單元，是變更既有的交流伺服馬達之凸緣等的規格而必須重新地加以設計。
仍然利用既有的交流伺服馬達時，在例如仍然使用被揭示於非專利文獻2的中空型之既有的交流伺服馬達時，必須經由藉由磁性流體封口被密封之構成的接頭，來連結真空側的旋轉構件及大氣側的馬達軸。但是，在這時候，起因於接頭之扭曲或滑動等，而無法高精度地控制旋轉輸出軸之旋轉位置。
非專利文獻1：“使用磁性流體的真空封口”，日本理學機械電子股份有限公司，[2010年4月23日檢索]，網際網路<URL：http：//www.rigaku-mechatronics.com/old_product/customize.html>
非專利文獻2：“直接傳動馬達kdu”，日本調諧傳動系統股份有限公司，[2010年4月23日檢索]，網際網路<URL：http：//hds.co.jp./products/ddm/kdu/index.html>
本發明的課題是鑑於此些事項，提案一種馬達尤其是適用於被連結於中空型馬達所使用的密封用旋轉輸出單元，及該密封用旋轉輸出單元被連結固定於中空馬達之構成的密封用馬達機組。
為了解決上述課題，本發明的一種密封用旋轉輸出單元，其特徵為：具有：筒狀的單元殼體，及同軸狀態地被配置於上述單元殼體之內側的圓筒軸，及在上述單元殼體之內周面與上述圓筒軸之外周面之間，配置於相距此些單元殼體及圓筒軸之軸線方向的位置，而將此些單元殼體及圓筒軸保持在相對旋轉自如之狀態的第1軸承及第2軸承，及被配置於：藉由上述單元殼體之內周面、上述第1軸 承、上述第2軸承及上述圓筒軸之外周面所包圍的圓筒狀空間，而氣密狀態地保持上述單元殼體及上述圓筒軸之間的磁性流體封口，及同軸狀態地貫通上述圓筒軸之中空部而延伸的旋轉輸出軸，以及氣密狀態地保持上述旋轉輸出軸之外周面及上述圓筒軸之內周面之間的彈性密封構件。
在此構成的密封用旋轉輸出單元中，旋轉輸出軸之一方的軸端例如配置成突入於真空側之狀態，而相反側之軸端為例如緊固固定於被配置於大氣側的馬達軸。旋轉輸出軸是貫通圓筒軸之內側而延伸，而這些之間是藉由彈性密封構件被保持成氣密狀態。圓筒軸是經由第1、第2軸承並藉由單元殼體被支承成旋轉自如之狀態，圓筒軸與單元殼體之間是藉由磁性流體封口被保持成氣密狀態。
旋轉輸出軸是可直接地緊固固定於馬達軸。因此，與經由接頭等使得旋轉輸出軸被連結於馬達軸之情形不相同，可確保旋轉輸出軸之旋轉定位精度。即使在直接地連結於馬達軸之旋轉輸出軸上發生芯偏移，該旋轉輸出軸之芯偏移，是可藉由密封旋轉輸出軸與圓筒軸之間的彈性密封構件的彈性變形來吸收。正因為如此，在馬達軸之軸承的一側，或是在支承旋轉輸出軸所貫通的圓筒軸之第1、第2軸承的一側也不會發生作用著無理的應力，此些之軸承部分過剩地摩耗，降低壽命等的弊害。
又，圓筒軸是藉由第1、第2軸承以旋轉自如之狀態被 支承之故，因而圓筒軸是與旋轉輸出軸一起旋轉，而密封此些之間的彈性密封構件也與圓筒軸與旋轉輸出軸一起旋轉。正因為如此，在彈性密封構件不會發生由滑動摩擦所致之摩耗之故，因而，由彈性密封構件所致之密封狀態被確保，而且也可防止彈性密封構件的壽命藉由滑動摩耗會降低之情形。
在此，作為上述彈性密封構件可使用O形環。
又，本發明的密封用旋轉輸出單元，是除了上述構成以外，還具有：於上述單元殼體的上述軸線方向的前端部被緊固固定之圓盤狀的前端凸緣，及將上述單元殼體及上述前端凸緣之互相接合的端面之間保持氣密狀態的接合面間密封構件，上述前端凸緣是具備有使上述旋轉輸出軸之軸前端部貫通而延伸的凸緣軸孔，為其特徵者。
在此構成的密封用旋轉輸出單元中，例如，在形成於從大氣側隔開真空室的隔間壁的軸孔來定位凸緣軸孔，在此狀態，有單元殼體之前端凸緣被安裝於該隔間壁的大氣側之側面。在將密封用旋轉輸出單元安裝於隔間壁的狀態下，真空側與大氣側之間，藉由彈性密封構件、磁性流體封口及接合面間封口，確實地被密封。
又，本發明的密封用旋轉輸出單元，是除了上述構成以外，還具有：同軸狀態地緊固固定於上述旋轉輸出軸的軸後端部的後端凸緣，將上述旋轉輸出軸與上述後端凸緣的緊固固定位置，成為可朝向與上述軸線方向正交之方向能夠移位一預定量，為其特徵者。
將密封用旋轉輸出單元之旋轉輸出軸，及對於馬達軸同軸狀態地被緊固固定之後端凸緣之間的緊固固定位置，藉由朝向正交於軸線方向進行微調整，就可將旋轉輸出軸對於馬達軸連結成不會產生芯偏移之狀態，而可確實地防止旋轉輸出軸之芯偏移。
其次，本發明的一種密封用馬達機組，其特徵為：具有：朝向軸線方向有中空部貫通於中心而延伸的中空馬達，及同軸狀態地被配置於上述中空部的上述構成的密封用旋轉輸出單元，上述密封用旋轉輸出單元的上述單元殼體，是被緊固固定於上述中空馬達的馬達殼體，上述密封用旋轉輸出單元的上述旋轉輸出軸，是同軸狀態地被緊固固定於：藉由上述中空馬達的上述馬達殼體以旋轉自如之狀態所支承的中空馬達軸。
利用中空馬達之中空部，配置有具備磁性流體封口的密封用旋轉輸出單元之故，因而不會導致增加尺寸，而可構築密封用馬達機組。又，對於中空馬達軸有旋轉輸出軸直接地被連結之故，因而與經由接頭被連結的情形不相同，而可防止降低旋轉輸出軸之旋轉位置定位精度。
在此，上述密封用旋轉輸出單元是具有：於上述單元殼體的上述軸線方向的前端部被緊固固定之圓盤狀的前端凸緣，及將上述單元殼體及上述前端凸緣之互相接合的端 面之間保持於氣密狀態的接合面間密封構件，上述前端凸緣是具備有使上述旋轉輸出軸之軸前端部貫通而延伸的凸緣軸孔的情形。在此情形，上述前端凸緣是被緊固固定於上述中空馬達的馬達殼體。
又，上述密封用旋轉輸出單元是具有同軸狀態地被緊固固定於上述旋轉輸出軸之軸後端部的後端凸緣，上述旋轉輸出軸與上述後端凸緣的緊固固定位置是可朝向與上述軸線正交之方向能夠變更一預定量的情形。在此情形，上述後端凸緣是同軸狀態地被緊固固定於上述中空馬達的上述中空馬達軸。
又，上述中空馬達的上述馬達殼體是具備：位於其軸線方向的前端側的固定側馬達殼體，及位於其後端側的旋轉側馬達殼體，該旋轉側馬達殼體是一體形成或是被連結固定於上述中空馬達軸，藉由上述固定側馬達殼體，上述中空馬達軸是在旋轉自如之狀態下被支承的情形。在此情形，上述密封用旋轉輸出單元之上述前端凸緣是被緊固固定於上述固定側馬達殼體，上述密封用旋轉輸出單元之上述後端凸緣是被緊固固定於上述旋轉側馬達殼體。
在本發明中，在於藉由磁性流體封口使外周面被密封的圓筒軸之內側，配置於貫通旋轉輸出軸之狀態，而藉由O形環之彈性密封構件進行密封此些圓筒軸與旋轉輸出軸之間。依照此構成，直結於馬達軸時的旋轉輸出軸之芯偏 移可由彈性密封構件所吸收之故，因而在馬達軸之軸承側或是磁性流體封口之軸承側不會發生無理的應力。又，圓筒軸是與旋轉輸出軸一起進行旋轉之故，因而密封此些之間的彈性密封構件不會有滑動摩耗而降低密封性。因此，依照本發明，可實現不經由接頭而直結於馬達，例如直結於既有的馬達來加以使用之具高旋轉精度的密封用旋轉輸出單元。又，利用中空馬達的中空部來配置具備磁性流體封口的密封用旋轉輸出單元，藉此，不會導致增加尺寸而可實現高旋轉精度的密封用馬達機組。
以下，參照圖式來說明適用本發明的密封用馬達機組的實施形態。
參照第1圖加以說明，本實施形態的密封用馬達機組1是具備中空馬達2與密封用旋轉輸出單元3。在中空馬達2的中心部貫通有朝向馬達之軸線4的方向延伸的中空部5而延伸，在此同軸狀態地裝設有密封用旋轉輸出單元3。
中空馬達2是由前端側的固定部6與後端側的旋轉部7所構成。固定部6是成為從其後端側同軸狀地組裝有圓筒狀的固定側馬達殼體6a，及圓筒狀的編碼器蓋6b，及圓盤狀的安裝用凸緣6c的構成。旋轉部7是具備沿蓄固定部6與旋轉部7之中心延伸的中空馬達軸9。在中空馬達軸9的後端部一體形成有朝向半徑方向外方擴展的圓盤狀的後端側端板7a。在後端側端板7a的外周緣部一體形成有朝向前端 側延伸的圓筒狀的旋轉側馬達殼體7b。藉由固定側馬達殼體6a與旋轉側馬達殼體7b構成有中空馬達2的馬達殼體。
旋轉側馬達殼體7b與中空馬達軸9之間的圓筒狀空間，配置有被固定於固定側馬達殼體6a之內側的定子芯與被捲裝於該定子芯的驅動線圈所成的定子部(未予以圖示)，該定子部是經由一定間隙對峙於同軸狀態地固定在中空馬達軸9之外周的轉子磁鐵7c。又，固定部6與旋轉部7是藉由配置於此些之間的橫向滾子軸承8被保持在相對旋轉自如之狀態。在藉由編碼器蓋6b所覆蓋的中空馬達軸9之外周部分組裝有編碼器單元10，成為可檢測出中空馬達軸9之旋轉位置。
(密封用旋轉輸出單元)
其次，密封用旋轉輸出單元3是具備圓筒狀的單元殼體11。在單元殼體11之前端部一體形成有朝向半徑方向的外方及內側擴展的圓筒狀的前端側端板11a，而在單元殼體11之後端部一體形成有朝向半徑方向的內側延伸的圓環狀的後端側端板11b。
在此形狀的單元殼體11之內側同軸狀態地配置有圓筒軸12，此圓筒軸12之軸前端部12a是從前端側端板11a稍突出於前端側，在軸前端部12a之外周面部分與前端側端板11a之圓形的內周面之間形成有微小之圓環狀間隙。同樣地，在圓筒軸12之軸後端部12b是從後端側端板11b稍突出於後端側，在軸後端部12b之外周面部分與後端側端板11b 之圓形的內周面之間形成有微小之圓環狀間隙。
在單元殼體11之內側，有前端側之軸承(第1軸承)15與後端側之軸承(第2軸承)16分別組裝於其前端側端板11a之後側位置與後端側端板11b之前側位置，而經由此些之軸承15、16，圓筒軸12是以旋轉自如之狀態被支承於單元殼體11之圓形的內周面11c。
在藉由此些單元殼體11之圓形的內周面11c、軸承15、16及圓筒軸12之圓形的外周面12c所包圍的圓筒狀空間，裝設有磁性流體封口13。磁性流體封口13是交互地朝向圓筒軸的軸線方向積層排列有永久磁鐵環與磁性環，而在各磁性環之內周面與磁性材料所成的圓筒軸12之圓形的外周面12c之間，成為藉由磁力保持著磁性流體的構成。磁性流體封口13之構造是眾所周知之故，因而省略了圖示。藉由磁性流體封口13，氣密狀態地保持著圓筒軸12與單元殼體11之間。
在圓筒軸12之中空部同軸狀態地貫通著旋轉輸出軸14而延伸。圓筒軸12之圓形的內周面12d與旋轉輸出軸14之圓形的外周面14c間是形成有微小之環狀間隙。又，在圓筒軸12之圓形的內周面12d中，在對峙於前端側之軸承15之位置及對峙於後端側之軸承16之位置，分別形成有矩形斷面的圓環溝，而在此些之圓環溝作為彈性密封構件裝設有O形環17、18。O形環17、18是在經彈性變形而被壓扁之狀態下，氣密狀態地保持圓筒軸12之圓形的內周面12d與旋轉輸出軸14之圓形的外周面14c之間。又，視情形， 代替O形環17、18，也可使用可彈性變形的樹脂製或是橡膠製的密封環。
其次，在單元殼體11之前端側端板11a的前端側之端面11e，圓盤狀的前端凸緣21藉由緊固螺栓22被緊固固定成同軸狀態。形成於前端凸緣21之中心的凸緣軸孔21a是前端側成為小徑開口部，而後端側成為大徑開口部，有單元殼體11之前端側端板11a從後側被裝設於大徑開口部，而藉由緊固螺栓22被緊固固定。凸緣軸孔21a之圓環狀的端面21b，及接觸於此的前端側端板11a之前端側的端面11e之間，是藉由接合面間密封構件例如O形環23氣密狀態地被保持。旋轉輸出軸14之軸前端部14a貫通前端凸緣21之凸緣軸孔21a，而朝向前端側突出。
另一方面，在旋轉輸出軸14之軸後端部14b有圓盤狀的後端凸緣24藉由緊固螺栓25被緊固固定成同軸狀態。在旋轉輸出軸14之軸後端部14b，形成有大徑的圓盤狀的輪轂14d，而在位於輪轂14d之後端面14e之中心更後方突出有圓柱狀之凸部14f。對於此，後端凸緣24是具備：大徑圓盤部分24a，及從此圓盤部分24a的前端側之端面的中心朝向前端側突出的圓柱狀的輪轂24b。輪轂24b是與輪轂14d具有同一直徑者，而在其前端面24c之中心形成有圓形凹部24d。
旋轉輸出軸14的輪轂14d之後端面14e，及後端凸緣24之輪轂24b的前端面24c，是成為連結旋轉輸出軸14及後端凸緣24之際的定位用之相合面。又，圓形凹部24d之內徑 是比輪轂14d之外徑稍大，在此些之間有游隙，旋轉輸出軸14與後端凸緣24，是朝向正交於此些之軸線的方向相對地可稍微移動。
在此，密封用旋轉輸出單元3是其前端凸緣21藉由緊固螺栓26由後側被緊固固定於中空馬達2之固定部6的安裝用凸緣6c。又，其後端凸緣24之圓盤部分24a，是藉由緊固螺栓27被緊固固定於中空馬達2的中空馬達軸9之後端部。
此構成的密封用馬達機組1，是例如，前端凸緣21之前端面21c藉由未予圖示之緊固螺栓被緊固固定於與真空室30分隔之大氣側的隔間壁31的大氣側側面32。在隔間壁31之大氣側側面32與前端凸緣21之前端面21c之間，裝設有彈性密封構件，例如O形環33，使得此些之間氣密狀態地被保持。旋轉輸出軸14之軸前端部14a是經隔間壁31的軸孔35成為突出於真空室側的狀態。在此狀態下真空側與大氣側是形成有藉由O形環33、及密封用旋轉輸出單元3之O形環23、磁性流體封口13、及O形環17、18所密封之狀態。
在本實施形態的密封用馬達機組1中，使用磁性流體封口13，來密封固定側之單元殼體11與旋轉側之圓筒軸12之間。使用非接觸型之磁性流體封口13之故，因而可減低由中空馬達2所致的旋轉輸出軸14之旋轉的摩擦力。又，密封用旋轉輸出單元3的前端凸緣21、後端凸緣24以外之部分，亦即，將形成有磁性流體封口13的部分配置於中空 馬達2的中空部5內。正因為如此，不會隨著既有的中空馬達2之軸長、外徑的大幅地增加，可安裝密封用旋轉輸出單元3。因此，可實現小型又精緻的密封用馬達機組1。
又，旋轉輸出軸14是不經由接頭而被緊固固定於中空馬達軸9之故，因而扭轉、滑動等不會發生於雙方的構件之間。因此，可確保旋轉輸出軸14之旋轉定位精度。
又，在磁性流體封口13的旋轉軸之圓筒軸12，及此內側的旋轉輸出軸14之間有微小的圓環狀間隙，此圓環狀間隙藉由前後地配置的O形環17、18被密封。圓筒軸12與旋轉輸出軸14是被連動旋轉之故，因而滑動摩耗不會發生於此些之間的O形環17、18，而被維持著確實的密封狀態。
又，即使有芯偏移發生於圓筒軸12與旋轉輸出軸14之間，也藉由被配置於此些之間的O形環17、18的彈性變形吸收芯偏移。
另一方面，旋轉輸出軸14與中空馬達軸9之間是經由後端凸緣24被連結固定。旋轉輸出軸14與後端凸緣24，是藉由精度優異所形成的互相之相合之前、後面(24c、14e)精度優異地組裝成直角。又，後端凸緣24是對於旋轉輸出軸14朝向正交於軸線的方向可稍微移動之故，因而經由後端凸緣24對於中空馬達軸9以無芯偏移之狀態可連結固定旋轉輸出軸14。正因為如此，也可避免起因於旋轉輸出軸14與中空馬達軸9之間的芯偏移，有過剩的應力發生在磁性流體封口13側的軸承15、16，或是中空馬達軸2側的軸承(未予圖示)，造成降低此些之壽命等的弊害。
又，在上述的中空馬達2中，馬達殼體是由固定側馬達殼體6a與旋轉側馬達殼體7b所構成，惟也可使用有中空馬達軸以旋轉自如之狀態下同軸狀態地被配置於單一的圓筒狀之馬達殼體內的一般性構成的中空馬達。在此情形，在固定側的馬達殼體直接或是間接性地連結固定單元殼體11於固定側的馬達殼體，而直接或是間接性地連結固定旋轉輸出軸14於中空馬達軸就可以。
1‧‧‧密封用馬達機組
2‧‧‧中空馬達
3‧‧‧密封用旋轉輸出單元
4‧‧‧軸線
5‧‧‧中空部
6‧‧‧固定部
6a‧‧‧固定側馬達殼體
6b‧‧‧編碼器蓋
6c‧‧‧安裝用凸緣
7‧‧‧旋轉部
7a‧‧‧後端側端板
7b‧‧‧旋轉側馬達殼體
7c‧‧‧轉子磁鐵
8‧‧‧橫向滾子軸承
9‧‧‧中空馬達軸
10‧‧‧編碼器單元
11‧‧‧單元殼體
11a‧‧‧前端側端板
11b‧‧‧後端側端板
11c‧‧‧內周面
11e‧‧‧端面
12‧‧‧圓筒軸
12a‧‧‧軸前端部
12b‧‧‧軸後端部
12c‧‧‧外周面
12d‧‧‧內周面
13‧‧‧磁性流體封口
14‧‧‧旋轉輸出軸
14a‧‧‧軸前端部
14b‧‧‧軸後端部
14c‧‧‧外周面
14d‧‧‧輪轂
14e‧‧‧後端面
14f‧‧‧凸部
15‧‧‧軸承(第1軸承)
16‧‧‧軸承(第2軸承)
17、18、33‧‧‧O形環(彈性密封構件)
21‧‧‧前端凸緣
21a‧‧‧凸緣軸孔
21b‧‧‧端面
21c‧‧‧前端面
22‧‧‧緊固螺栓
23‧‧‧O形環(接合面間密封構件)
24‧‧‧後端凸緣
24a‧‧‧圓盤部分
24b‧‧‧輪轂
24c‧‧‧前端面
24d‧‧‧圓形凹部
25、26、27‧‧‧緊固螺栓
30‧‧‧真空室
31‧‧‧隔間壁
32‧‧‧大氣側側面
35‧‧‧軸孔
第1圖是表示適用本發明的密封用馬達機組的概略構成圖，以縱斷面表示一部分，而將剩餘表示作為側面。
1‧‧‧密封用馬達機組
2‧‧‧中空馬達
3‧‧‧密封用旋轉輸出單元
4‧‧‧軸線
5‧‧‧中空部
6‧‧‧固定部
6a‧‧‧固定側馬達殼體
6b‧‧‧編碼器蓋
6c‧‧‧安裝用凸緣
7‧‧‧旋轉部
7a‧‧‧後端側端板
7b‧‧‧旋轉側馬達殼體
7c‧‧‧轉子磁鐵
8‧‧‧橫向滾子軸承
9‧‧‧中空馬達軸
10‧‧‧編碼器單元
11‧‧‧單元殼體
11a‧‧‧前端側端板
11b‧‧‧後端側端板
11c‧‧‧內周面
11e‧‧‧端面
12‧‧‧圓筒軸
12a‧‧‧軸前端部
12b‧‧‧軸後端部
12c‧‧‧外周面
12d‧‧‧內周面
13‧‧‧磁性流體封口
14‧‧‧旋轉輸出軸
14a‧‧‧軸前端部
14b‧‧‧軸後端部
14c‧‧‧外周面
14d‧‧‧輪轂
14e‧‧‧後端面
14f‧‧‧凸部
15‧‧‧軸承(第1軸承)
16‧‧‧軸承(第2軸承)
17、18、33‧‧‧O形環(彈性密封構件)
21‧‧‧前端凸緣
21a‧‧‧凸緣軸孔
21b‧‧‧端面
21c‧‧‧前端面
22‧‧‧緊固螺栓
24‧‧‧後端凸緣
23‧‧‧O形環(接合面間密封構件)
24a‧‧‧圓盤部分
24b‧‧‧輪轂
24c‧‧‧前端面
24d‧‧‧圓形凹部
25、26、27‧‧‧緊固螺栓
30‧‧‧真空室
31‧‧‧隔間壁
32‧‧‧大氣側側面
35‧‧‧軸孔

Claims (9)

  1. 一種密封用旋轉輸出單元(3)，其特徵為：具有：筒狀的單元殼體(11)，及同軸狀態地被配置於上述單元殼體(11)之內側的圓筒軸(12)，及在上述單元殼體(11)之內周面(11c)與上述圓筒軸(12)之外周面(12c)之間，配置於相距此些之軸線方向的位置，而將此些保持在相對旋轉自如之狀態的第1軸承(15)及第2軸承(16)，及被配置於：藉由上述單元殼體(11)之內周面(11c)、上述第1軸承(15)、上述第2軸承(16)及上述圓筒軸(12)之外周面(12c)所包圍的圓筒狀空間，而氣密狀態地保持上述單元殼體(11)及上述圓筒軸(12)之間的磁性流體封口(13)，及同軸狀態地貫通上述圓筒軸(12)之中空部而延伸的旋轉輸出軸(14)，以及氣密狀態地保持上述旋轉輸出軸(14)之外周面(14c)及上述圓筒軸(12)之內周面(12d)之間的彈性密封構件。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的密封用旋轉輸出單元(3)，其中，上述彈性密封構件是O形環(17、18)。
  3. 如申請專利範圍第1項所述的密封用旋轉輸出單元 (3)，其中，具有：於上述單元殼體(11)的上述軸線方向的前端部被緊固固定之圓盤狀的前端凸緣(21)，及將上述單元殼體(11)及上述前端凸緣(21)之互相接合的端面(11e、21b)之間保持於氣密狀態的接合面間密封構件，上述前端凸緣(21)是具備有使上述旋轉輸出軸(14)之軸前端部(14a)貫通而延伸的凸緣軸孔(21a)。
  4. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的密封用旋轉輸出單元(3)，其中，具有：同軸狀態地緊固固定於上述旋轉輸出軸(14)的軸後端部(14b)的後端凸緣(24)，上述旋轉輸出軸(14)與上述後端凸緣(24)的緊固固定位置，是可朝向與上述軸線正交之方向能夠變更一預定量。
  5. 一種密封用馬達機組(1)，其特徵為：具有：朝向軸線(4)方向有中空部(5)貫通於中心而延伸的中空馬達(2)，及同軸狀態地被配置於上述中空部(5)的如申請專利範圍第1項所述的密封用旋轉輸出單元(3)，上述密封用旋轉輸出單元(3)的上述單元殼體(11)，是被緊固固定於上述中空馬達(2)的馬達殼 體，上述密封用旋轉輸出單元(3)的上述旋轉輸出軸(14)，是同軸狀態地被緊固固定於：藉由上述中空馬達(2)的上述馬達殼體以旋轉自如之狀態所支承的中空馬達軸(9)。
  6. 如申請專利範圍第5項所述的密封用馬達機組(1)，其中，上述密封用旋轉輸出單元(3)是具有：於上述單元殼體(11)的上述軸線方向的前端部被緊固固定之圓盤狀的前端凸緣(21)，及將上述單元殼體(11)及上述前端凸緣(21)之互相接合的端面(11e、21b)之間保持氣密狀態的接合面間密封構件，上述前端凸緣(21)是具備有使上述旋轉輸出軸(14)之軸前端部(14a)貫通而延伸的凸緣軸孔(21a)，上述前端凸緣(21)是被緊固固定於上述中空馬達(2)的馬達殼體。
  7. 如申請專利範圍第6項所述的密封用馬達機組(1)，其中，上述密封用旋轉輸出單元(3)是具有同軸狀態地被緊固固定於上述旋轉輸出軸(14)之軸後端部(14b)的後端凸緣(24)，上述旋轉輸出軸(14)與上述後端凸緣(24)的緊固固定位置是可朝向與上述軸線正交之方向能 夠變更一預定量，上述後端凸緣(24)是同軸狀態地被緊固固定於上述中空馬達(2)的上述中空馬達軸(9)。
  8. 如申請專利範圍第7項所述的密封用馬達機組(1)，其中，上述中空馬達(2)的上述馬達殼體是具備：位於其軸線方向的前端側的固定側馬達殼體(6a)，及位於其後端側的旋轉側馬達殼體(7b)，該旋轉側馬達殼體(7b)是一體形成或是被連接固定於上述中空馬達軸(9)，藉由上述固定側馬達殼體(6a)，上述中空馬達軸(9)是在旋轉自如之狀態下被支承，上述密封用旋轉輸出單元(3)之上述前端凸緣(21)是被緊固固定於上述固定側馬達殼體(6a)，上述密封用旋轉輸出單元(3)之上述後端凸緣(24)是被緊固固定於上述旋轉側馬達殼體(7b)。
  9. 如申請專利範圍第5項至第8項中任一項所述的密封用馬達機組(1)，其中，上述密封用旋轉輸出單元(3)之上述彈性密封構件是O形環(17、18)。
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