TWI566040B - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

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Description

感光性樹脂組成物
本發明為關於一種感光性樹脂組成物。
近年來在液晶顯示裝置方面，光間隔物及保護層等樹脂圖案之形成，係使用感光性樹脂組成物。此類感光性樹脂組成物，已知係包含樹脂、聚合性化合物、聚合起始劑及溶劑之組成物(JP2008-181087-A)。
在先前提案之感光性樹脂組成物方面，以半色調光罩在同一基板上同時形成高度不同之樹脂圖案時，會有得到之樹脂圖案的高度差距小，不易得到期待之高度的樹脂圖案之情形。
本發明，係包含以下之發明。
[1]一種感光性樹脂組成物，係包含(A)、(B)、(C)及(D)。
(A)共聚物，其包含：源自於選自不飽和羧酸及不飽和羧酸酐所成群組中之至少1種的構造單位、及源自於具有碳數2至4之環醚構造及乙烯性不飽和鍵之單體的構造單位；(B)聚合性化合物； (C)聚合起始劑，其包含肟化合物，且肟化合物之含量相對聚合起始劑之總量，為30質量%以上100質量%以下；(D)通式(1)所示之化合物 [通式(1)中，R1表示碳數1至6之烷基；A1至A4各為獨立，表示氫原子或碳數1至6之烷基]。
[2]如[1]項中記載之感光性樹脂組成物，其中(C)之含量，相對於(A)與(B)之合計含量100質量份，為0.1質量份以上30質量份以下。
[3]如[1]或[2]項中記載之感光性樹脂組成物，其中(D)之含量，相對於(A)與(B)之合計含量100質量份，為0.02質量%以上1質量%以下。
[4]一種樹脂圖案，係由如[1]至[3]中任一項記載之感光性樹脂組成物所形成。
[5]一種光間隔物，係由如[1]至[3]中任一項記載之感光性樹脂組成物所形成。
[6]一種顯示裝置，係包含選自如[4]項中記載之樹脂圖案及如[5]項中記載之光間隔物所成群組中的至少1種。
以本發明之感光性樹脂組成物，以半色調光罩在同一基板上同時形成高度不同之樹脂圖案時，可使得 到之樹脂圖案的高度差距大。
(發明之實施形態)
本說明書中，所例舉各成分之化合物，除特別限定，均可單獨或以複數種組合使用。
本發明之感光性樹脂組成物，係包含(A)、(B)、(C)及(D)。
(A)共聚物，其包含：源自於選自不飽和羧酸及不飽和羧酸酐所成群組中之至少1種的構造單位、及源自於具有碳數2至4之環醚構造及乙烯性不飽和鍵之單體的構造單位(以下有時稱為「樹脂(A)」。)；(B)聚合性化合物；(C)聚合起始劑，其包含肟化合物，且肟化合物之含量相對於聚合起始劑之總量，為30質量%以上100質量%以下(以下有時稱為「聚合起始劑(C)」。)；(D)通式(1)所示之化合物(以下有時稱為「化合物(1)」。)。
同時，本發明之感光性樹脂組成物，又以包含選自溶劑(E)及界面活性劑(H)所成群組中之至少1種者為佳。
<樹脂(A)>
樹脂(A)係包含：源自於選自不飽和羧酸 及不飽和羧酸酐所成群組中之至少1種(以下有時稱為「(a)」)的構造單位、及源自於具有碳數2至4之環醚構造及乙烯性不飽和鍵之單體(以下有時稱為「(b)」)的構造單位之共聚物，而且，亦可包含：可與(a)共聚，且源自於不具碳數2至4之環醚構造的單體(以下有時稱為「(c)」)之構造單位。
樹脂(A)之例，可列舉如：樹脂「K1」及樹脂「K2」。
樹脂「K1」：僅包含源自於(a)的構造單位及源自於(b)的構造單位之共聚物；樹脂「K2」：包含源自於(a)的構造單位及源自於(b)的構造單位及源自於(c)的構造單位之共聚物。
(a)方面，具體之例，可列舉如：丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、鄰-、間-、對-乙烯基苯甲酸等之不飽和單羧酸類；順丁烯二酸、反丁烯二酸、檸康酸、中康酸、伊康酸、3-乙烯基苯二甲酸、4-乙烯基苯二甲酸、3,4,5,6-四氫苯二甲酸、1,2,3,6-四氫苯二甲酸、二甲基四氫苯二甲酸及1,4-環己烯二甲酸等之不飽和二羧酸類；甲基-5-降莰烯-2,3-二羧酸、5-羧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二羧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-乙基雙環[2.2.1]庚-2-烯等之含羧基的二環不飽和化合物類；順丁烯二酸酐、檸康酸酐、伊康酸酐、3-乙烯基苯二 甲酸酐、4-乙烯基苯二甲酸酐、3,4,5,6-四氫苯二甲酸酐、1,2,3,6-四氫苯二甲酸酐、二甲基四氫苯二甲酸酐及去水5,6-二羧基雙環[2.2.1]庚-2-烯等之不飽和二羧酸類酸酐；琥珀酸單〔2-(甲基)丙烯醯氧基乙基〕酯及苯二甲酸單〔2-(甲基)丙烯醯氧基乙基〕酯等之2價以上的多元羧酸之不飽和單〔(甲基)丙烯醯氧基烷基〕酯類；如α-(羥甲基)丙烯酸之類，同一分子中含羥基及羧基的不飽和丙烯酸酯類等。
該等之中，由共聚反應性及對鹼水溶液之溶解性之點而言，以(甲基)丙烯酸及順丁烯二酸酐等較佳，(甲基)丙烯酸更佳。
又，本說明書中，所謂「(甲基)丙烯醯基」，係表示選自丙烯醯基及甲基丙烯醯基所成群組中的至少1種。「(甲基)丙烯酸」及「(甲基)丙烯酸酯」等之表示，亦具有同樣之意。
(b)之碳數2至4之環醚構造之例，可列舉如：環氧乙烷環、環氧丙烷環及四氫呋喃環。(b)係以含碳數2至4之環醚及(甲基)丙烯醯氧基的單體較佳。
(b)之例，可列舉如：具有環氧乙基及乙烯性不飽和鍵的單體(b1)(以下有時稱為「(b1)」)、具有環氧丙基及乙烯性不飽和鍵的單體(b2)(以下有時稱為「(b2)」)及具有四氫呋喃基及乙烯性不飽和鍵的單體(b3)(以下有時稱為「(b3)」)。
(b1)，可為如：具有由直鏈狀或分支鏈狀之 不飽和脂族烴經過環氧化之構造的單體(b1-1)(以下有時稱為「(b1-1)」)、及具有不飽和脂環烴經過環氧化之構造的單體(b1-2)(以下有時稱為「(b1-2)」)。
(b1-1)之例，可列舉如：(甲基)丙烯酸環氧丙酯、(甲基)丙烯酸-β-甲基環氧丙酯、(甲基)丙烯酸-β-乙基環氧丙酯、環氧丙基乙烯基醚、鄰-乙烯基苯甲基環氧丙基醚、間-乙烯基苯甲基環氧丙基醚、對-乙烯基苯甲基環氧丙基醚、α-甲基-鄰-乙烯基苯甲基環氧丙基醚、α-甲基-間-乙烯基苯甲基環氧丙基醚、α-甲基-對-乙烯基苯甲基環氧丙基醚、2,3-二(環氧丙基氧甲基)苯乙烯、2,4-二(環氧丙基氧甲基)苯乙烯、2,5-二(環氧丙基氧甲基)苯乙烯、2,6-二(環氧丙基氧甲基)苯乙烯、2,3,4-三(環氧丙基氧甲基)苯乙烯、2,3,5-三(環氧丙基氧甲基)苯乙烯、2,3,6-三(環氧丙基氧甲基)苯乙烯、3,4,5-三(環氧丙基氧甲基)苯乙烯及2,4,6-三(環氧丙基氧甲基)苯乙烯等。
(b1-2)之例，可列舉如：乙烯基環己烯單環氧化物(vinylcyclohexene monoxide)、1,2-環氧基-4-乙烯基環己烷(如：Celloxide 2000；Daicel公司製造)、3,4-環氧環己基甲基(甲基)丙烯酸酯(如：Cyclomer A400；Daicel公司製造)、3,4-環氧環己基甲基(甲基)丙烯酸酯(如：Cyclomer M100；Daicel公司製造)、通式(I)表示之化合物及通式(II)表示之化合物等。
[通式(I)及通式(II)中，Rb1及Rb2表示：氫原子、或碳數1至4之烷基，且該烷基中所含之氫原子亦可為羥基取代。
Xb1及Xb2表示：單鍵、-Rb3-、＊-Rb3-O-、＊-Rb3-S-或＊-Rb3-NH-。
Rb3，表示碳數1至6之烷二基。
＊，表示與O之鍵結基。]
碳數1至4的烷基之例，可列舉如：甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、第二丁基、第三丁基等。
氫原子為羥基所取代之烷基之例，可列舉如：羥甲基、1-羥乙基、2-羥乙基、1-羥丙基、2-羥丙基、3-羥丙基、1-羥基-1-甲基乙基、2-羥基-1-甲基乙基、1-羥丁基、2-羥丁基、3-羥丁基、4-羥丁基等。
Rb1及Rb2，以氫原子、甲基、羥甲基、1-羥乙基及2-羥乙基較佳，以氫原子及甲基更佳。
烷二基之例，可列舉如：亞甲基、伸乙基、丙烷-1,2-二基、丙烷-1,3-二基、丁烷-1,4-二基、戊烷-1,5-二基、己烷-1,6-二基等。
Xb1及Xb2以單鍵、亞甲基、伸乙基、＊-CH2-O-及＊-CH2CH2-O-較佳，以單鍵、＊-CH2CH2-O-更佳(＊表示與O之鍵結基)。
通式(I)表示之化合物，可舉如通式(I-1)至通式(I-15)之任一者表示之化合物等。當中，又以通式(I-1)、通式(I-3)、通式(I-5)、通式(I-7)、通式(I-9)或通式(I-11)至通式(I-15)表示之化合物較佳，通式(I-1)、通式(I-7)、通式(I-9)或通式(I-15)表示之化合物更佳。
通式(II)表示之化合物，可列舉如：通式(II-1)至通式(II-15)之任一者表示之化合物等。當中，以通式(II-1)、通式(II-3)、通式(II-5)、通式(II-7)、通式(II-9)或通式(II-11)至通式(II-15)表示之化合物較佳，以通式(II-1)、通式(II-7)、通式(II-9)或通式(II-15)表示之化合物更佳。
通式(I)表示之化合物及通式(II)表示之化合物，可各單獨使用，亦可與通式(I)表示之化合物及通式(II)表示之化合物併用。在併用之情形時，通式(I)表示之化合物及通式(II)表示之化合物之所含比例以莫耳基準，係以5：95至95：5為佳，以10：90至90：10更佳，以20：80至80：20再更佳。
(b2)係以具有環氧丙基及(甲基)丙烯醯氧基之單體更佳。(b2)之例，可列舉如：3-甲基-3-甲基丙烯醯氧基甲基環氧丙烷、3-甲基-3-丙烯醯氧基甲基環氧丙烷、3-乙基-3-甲基丙烯醯氧基甲基環氧丙烷、3-乙基-3-丙烯醯氧基甲基環氧丙烷、3-甲基-3-甲基丙烯醯氧基乙基環氧丙烷、3-甲基-3-丙烯醯氧基乙基環氧丙烷、3-乙基-3-甲基丙烯醯氧基乙基環氧丙烷、3-乙基-3-丙烯醯氧基乙基環氧丙烷等。
(b3)係以具有四氫呋喃基及(甲基)丙烯醯氧基之單體更佳。(b3)方面，具體上可例舉如：丙烯酸四氫呋喃酯(如：Viscoat V#150，大阪有機化學工業公司製造)、甲基丙烯酸四氫呋喃酯等。
(b)方面，由可使得到之樹脂圖案及硬化膜的耐熱性、耐藥品性等的信賴性更高之點而言，以(b1)較佳。同時，由使感光性樹脂組成物的保存安定性優良之點而言，以(b1-2)更佳。
(c)之例，可列舉如：(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸第二 丁酯、(甲基)丙烯酸第三丁酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸十二烷酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯、(甲基)丙烯酸環戊酯、(甲基)丙烯酸環己酯、2-甲基環己基(甲基)丙烯酸酯、三環[5.2.1.02.6]癸烷-8-基(甲基)丙烯酸酯(在本技術範疇中，慣用名為「(甲基)丙烯酸二環戊酯」。又，有時亦稱為「(甲基)丙烯酸三環癸酯」。)、三環[5.2.1.02.6]癸烯-8-基(甲基)丙烯酸酯(在本技術範疇中，慣用名為「(甲基)丙烯酸二環戊烯酯」。)、(甲基)丙烯酸二環戊氧基乙酯、(甲基)丙烯酸異莰酯、(甲基)丙烯酸金剛烷酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸炔丙酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯等之(甲基)丙烯酸酯類；(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基丙酯等之含羥基之(甲基)丙烯酸酯類；順丁烯二酸二乙酯、反丁烯二酸二乙酯、伊康酸二乙酯等之二羧酸二酯；雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-乙基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-(2’-羥基乙基)雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-甲氧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-乙氧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二羥基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(羥基甲基)雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(2’-羥基乙基)雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二甲氧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二乙氧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基-5-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基-5-乙基 雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基甲基-5-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-第三丁氧基羰基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-環己氧基羰基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-苯氧基羰基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(第三丁氧基羰基)雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(環己氧基羰基)雙環[2.2.1]庚-2-烯等之雙環不飽和化合物類；N-苯基順丁烯二醯亞胺、N-環己基順丁烯二醯亞胺、N-苯甲基順丁烯二醯亞胺、N-琥珀醯亞胺基-3-順丁烯二醯亞胺苯甲酸酯(N-succinimidyl-3-maleimidobenzoate)、N-琥珀醯亞胺基-4-順丁烯二醯亞胺丁酸酯、N-琥珀醯亞胺基-6-順丁烯二醯亞胺己酸酯、N-琥珀醯亞胺基-3-順丁烯二醯亞胺丙酸酯及N-(9-吖啶基)順丁烯二醯亞胺等之二羰基醯亞胺衍生物類；苯乙烯、α-甲基苯乙烯、鄰乙烯基甲苯、間乙烯基甲苯、對乙烯基甲苯、對甲氧基苯乙烯、丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、氯亞乙烯、丙烯醯胺、甲基丙烯醯胺、乙酸乙烯酯、1,3-丁二烯、異戊二烯及2,3-二甲基-1,3-丁二烯等。
該等之中，由共聚反應性及耐熱性之點而言，以苯乙烯、乙烯基甲苯、N-苯基順丁烯二醯亞胺、N-環己基順丁烯二醯亞胺、N-苯甲基順丁烯二醯亞胺及雙環[2.2.1]庚-2-烯等較佳。
樹脂「K1」中，源自於各個單體之構造單位的比例，相對於構成樹脂「K1」之全構造單位，係以源自於(a)之構造單位：1至70莫耳%源自於(b)之構造單位：30至99莫耳% 為佳，以源自於(a)之構造單位：10至50莫耳%源自於(b)之構造單位：50至90莫耳%
更佳。
構成樹脂「K1」之構造單位的比例，如在上述範圍內時，有使感光性樹脂組成物之保存安定性、得到之樹脂圖案及硬化膜之耐藥品性、耐熱性及機械強度更佳的傾向。
樹脂「K1」，可參考文獻「高分子合成實驗法」(大津隆行著 發行者 化學同人 第1版第1刷1972年3月1日印行)中記載之方法及該文獻中記載之引用文獻製造。
具體上可列舉如，將預定量之(a)及(b)、聚合起始劑及溶劑等置入反應容器中，例如藉由以氮氣取代氧氣而成為去氧環境，一邊進行攪拌，並同時加熱及保溫之方法。而且，其中所使用之聚合起始劑及溶劑等，並無特別之限定，可使用該範疇中一般所使用者。例如：聚合起始劑，可列舉如：偶氮化合物(2,2'-偶氮二異丁腈、2,2'-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)等)及有機過氧化物(過氧化苯甲醯等)；溶劑，只要為可溶解各單體者即可，可舉如在感光性樹脂組成物中使用的後述之溶劑等。
又，該得到之樹脂，可將反應後之溶液直接使用，亦可使用經濃縮或稀釋之溶液，亦可使用以再沉澱等方法所取出之固體(粉體)。特別是，聚合溶劑，作為本發明之感光性樹脂組成物中所用之溶劑使用時，反應後之 溶液可直接使用於感光性樹脂組成物的製造，因此可使感光性樹脂組成物的製造步驟簡化。
樹脂[K2]中，源自於各個構造單位的比例，構成樹脂[K2]之全構造單位中，係以源自於(a)之構造單位：2至40莫耳%源自於(b)之構造單位：30至95莫耳%源自於(c)之構造單位：1至65莫耳%為佳，以源自於(a)之構造單位：5至35莫耳%源自於(b)之構造單位：35至80莫耳%源自於(c)之構造單位：1至60莫耳%
更佳。
再者，源自於(a)之構造單位與源自於(b)之構造單位的合計量，相對於構成樹脂「K2」之全構造單位的合計莫耳數，係以70至99莫耳%為佳，90至99莫耳%更佳。
樹脂[K2]之構造單位的比例，如在上述範圍內時，係有使感光性樹脂組成物之保存安定性、得到之樹脂圖案及硬化膜之耐藥品性、耐熱性及機械強度更佳之傾向。
樹脂[K2]，可以與樹脂[K1]同樣之方法製造。
樹脂[K1]之具體例，可列舉如：(甲基)丙烯酸/通式(I-1)表示之化合物(以下有時簡稱為「通式(I-1)」。通式(I-2)等、其他亦相同。)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-2)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-3)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-4)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-5) 之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-6)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-7)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-8)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-9)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-10)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-11)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-12)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-13)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-14)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-15)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-1)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-2)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-3)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-4)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-5)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-6)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-7)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-8)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-9)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-10)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-11)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-12)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-13)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-14)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-15)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/通式(II-1)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-2)/通式(II-2)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-3)/通式(II-3)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-4)/通式(II-4)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-5)/通式(II-5)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-6)/通式(II-6)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-7)/通式(II-7)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-8)/通式(II-8)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式 (I-9)/通式(II-9)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-10)/通式(II-10)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-11)/通式(II-11)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-12)/通式(II-12)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-13)/通式(II-13)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-14)/通式(II-14)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-15)/通式(II-15)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/通式(I-7)之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/通式(II-7)之共聚物、巴豆酸/通式(I-1)之共聚物、巴豆酸/通式(I-2)之共聚物、巴豆酸/通式(I-3)之共聚物、巴豆酸/通式(I-4)之共聚物、巴豆酸/通式(I-5)之共聚物、巴豆酸/通式(I-6)之共聚物、巴豆酸/通式(I-7)之共聚物、巴豆酸/通式(I-8)之共聚物、巴豆酸/通式(I-9)之共聚物、巴豆酸/通式(I-10)之共聚物、巴豆酸/通式(I-11)之共聚物、巴豆酸/通式(I-12)之共聚物、巴豆酸/通式(I-13)之共聚物、巴豆酸/通式(I-14)之共聚物、巴豆酸/通式(I-15)之共聚物、巴豆酸/通式(II-1)之共聚物、巴豆酸/通式(II-2)之共聚物、巴豆酸/通式(II-3)之共聚物、巴豆酸/通式(II-4)之共聚物、巴豆酸/通式(II-5)之共聚物、巴豆酸/通式(II-6)之共聚物、巴豆酸/通式(II-7)之共聚物、巴豆酸/通式(II-8)之共聚物、巴豆酸/通式(II-9)之共聚物、巴豆酸/通式(II-10)之共聚物、巴豆酸/通式(II-11)之共聚物、巴豆酸/通式(II-12)之共聚物、巴豆酸/通式(II-13)之共聚物、巴豆酸/通式(II-14)之共聚物、巴豆酸/通式(II-15)之共聚物、順丁烯二酸/通式(I-1)之共聚物、順丁烯二 酸/通式(I-2)之共聚物、順丁烯二酸/通式(I-3)之共聚物、順丁烯二酸/通式(I-4)之共聚物、順丁烯二酸/通式(I-5)之共聚物、順丁烯二酸/通式(I-6)之共聚物、順丁烯二酸/通式(I-7)之共聚物、順丁烯二酸/通式(I-8)之共聚物、順丁烯二酸/通式(I-9)之共聚物、順丁烯二酸/通式(I-10)之共聚物、順丁烯二酸/通式(I-11)之共聚物、順丁烯二酸/通式(I-12)之共聚物、順丁烯二酸/通式(I-13)之共聚物、順丁烯二酸/通式(I-14)之共聚物、順丁烯二酸/通式(I-15)之共聚物、順丁烯二酸/通式(II-1)之共聚物、順丁烯二酸/通式(II-2)之共聚物、順丁烯二酸/通式(II-3)之共聚物、順丁烯二酸/通式(II-4)之共聚物、順丁烯二酸/通式(II-5)之共聚物、順丁烯二酸/通式(II-6)之共聚物、順丁烯二酸/通式(II-7)之共聚物、順丁烯二酸/通式(II-8)之共聚物、順丁烯二酸/通式(II-9)之共聚物、順丁烯二酸/通式(II-10)之共聚物、順丁烯二酸/通式(II-11)之共聚物、順丁烯二酸/通式(II-12)之共聚物、順丁烯二酸/通式(II-13)之共聚物、順丁烯二酸/通式(II-14)之共聚物、順丁烯二酸/通式(II-15)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(I-1)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(I-2)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(I-3)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(I-4)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(I-5)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(I-6)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順 丁烯二酸酐/通式(I-7)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(I-8)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(I-9)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(I-10)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(I-11)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(I-12)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(I-13)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(I-14)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(I-15)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(II-1)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(II-2)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(II-3)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(II-4)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(II-5)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(II-6)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(II-7)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(II-8)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(II-9)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(II-10)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(II-11)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(II-12)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(II-13)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(II-14)之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(II-15)之共聚物等。
樹脂[K2]之具體例，可列舉如：(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/ 通式(I-2)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-3)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-4)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-5)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-6)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-7)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-8)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-9)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-10)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-11)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-12)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-13)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-14)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-15)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-1)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-2)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-3)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-4)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-5)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-6)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-7)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-8)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-9)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-10)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/ 通式(II-11)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-12)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-13)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-14)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-15)/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/(甲基)丙烯酸二環戊酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-1)/(甲基)丙烯酸二環戊酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/通式(II-1)/(甲基)丙烯酸二環戊酯之共聚物、巴豆酸/通式(I-1)/(甲基)丙烯酸二環戊酯之共聚物、順丁烯二酸/通式(I-1)/(甲基)丙烯酸二環戊酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(I-1)/(甲基)丙烯酸二環戊酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/(甲基)丙烯酸二環戊酯之共聚物、巴豆酸/通式(II-1)/(甲基)丙烯酸二環戊酯之共聚物、順丁烯二酸/通式(II-1)/(甲基)丙烯酸二環戊酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(II-1)/(甲基)丙烯酸二環戊酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/(甲基)丙烯酸二環戊酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/(甲基)丙烯酸苯酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-1)/(甲基)丙烯酸苯酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/通式(II-1)/(甲基)丙烯酸苯酯之共聚物、巴豆酸/通式(I-1)/(甲基)丙烯酸苯酯之共聚物、順丁烯二酸/通式(I-1)/(甲基)丙烯酸苯酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(I-1)/(甲基)丙烯酸苯酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式 (I-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/(甲基)丙烯酸苯酯之共聚物、巴豆酸/通式(II-1)/(甲基)丙烯酸苯酯之共聚物、順丁烯二酸/通式(II-1)/(甲基)丙烯酸苯酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(II-1)/(甲基)丙烯酸苯酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/(甲基)丙烯酸苯酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/順丁烯二酸二乙酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-1)/順丁烯二酸二乙酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/通式(II-1)/順丁烯二酸二乙酯之共聚物、巴豆酸/通式(I-1)/順丁烯二酸二乙酯之共聚物、順丁烯二酸/通式(I-1)/順丁烯二酸二乙酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(I-1)/順丁烯二酸二乙酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/順丁烯二酸二乙酯之共聚物、巴豆酸/通式(II-1)/順丁烯二酸二乙酯之共聚物、順丁烯二酸/通式(II-1)/順丁烯二酸二乙酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(II-1)/順丁烯二酸二乙酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/順丁烯二酸二乙酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-1)/(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/通式(II-1)/(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯之共聚物、巴豆酸/通式(I-1)/(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯之共聚物、順丁烯二酸/通式(I-1)/(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(I-1)/(甲基)丙烯 酸-2-羥基乙酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯之共聚物、巴豆酸/通式(II-1)/(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯之共聚物、順丁烯二酸/通式(II-1)/(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(II-1)/(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/雙環[2.2.1]庚-2-烯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-1)/雙環[2.2.1]庚-2-烯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/通式(II-1)/雙環[2.2.1]庚-2-烯之共聚物、巴豆酸/通式(I-1)/雙環[2.2.1]庚-2-烯之共聚物、順丁烯二酸/通式(I-1)/雙環[2.2.1]庚-2-烯之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(I-1)/雙環[2.2.1]庚-2-烯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/雙環[2.2.1]庚-2-烯之共聚物、巴豆酸/通式(II-1)/雙環[2.2.1]庚-2-烯之共聚物、順丁烯二酸/通式(II-1)/雙環[2.2.1]庚-2-烯之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(II-1)/雙環[2.2.1]庚-2-烯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/雙環[2.2.1]庚-2-烯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-1)/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/通式(II-1)/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物、巴豆酸/通式(I-1)/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物、順丁烯二酸/通式(I-1)/N-環己基順丁 烯二醯亞胺之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(I-1)/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物、巴豆酸/通式(II-1)/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物、順丁烯二酸/通式(II-1)/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(II-1)/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/苯乙烯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-1)/苯乙烯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/通式(II-1)/苯乙烯之共聚物、巴豆酸/通式(I-1)/苯乙烯之共聚物、順丁烯二酸/通式(I-1)/苯乙烯之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸/通式(I-1)/苯乙烯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/苯乙烯之共聚物、巴豆酸/通式(II-1)/苯乙烯之共聚物、順丁烯二酸/通式(II-1)/苯乙烯之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(II-1)/苯乙烯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/苯乙烯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/N-環己基順丁烯二醯亞胺/苯乙烯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-1)/N-環己基順丁烯二醯亞胺/苯乙烯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/通式(II-1)/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物、巴豆酸/通式(I-1)/N-環己基順丁烯二醯亞胺/苯乙烯之共聚物、順丁烯二酸/通式(I-1)/N-環己基順丁烯二醯亞胺/苯乙烯之共聚物、(甲 基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(I-1)/N-環己基順丁烯二醯亞胺/苯乙烯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(I-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/N-環己基順丁烯二醯亞胺/苯乙烯之共聚物、巴豆酸/通式(II-1)/N-環己基順丁烯二醯亞胺/苯乙烯之共聚物、順丁烯二酸/通式(II-1)/N-環己基順丁烯二醯亞胺/苯乙烯之共聚物、(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/通式(II-1)/N-環己基順丁烯二醯亞胺/苯乙烯之共聚物、(甲基)丙烯酸/通式(II-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/N-環己基順丁烯二醯亞胺/苯乙烯之共聚物等。
樹脂(A)換算聚苯乙烯之重量平均分子量，以3,000至100,000為佳，5,000至50,000更佳，5,000至20,000又更佳，特別以5,000至15,000又再更佳。樹脂(A)之重量平均分子量在前述範圍內時，有使感光性樹脂組成物的塗布性更佳之傾向。
樹脂(A)之分子量分布[重量平均分子量(Mw)/數量平均分子量(Mn)]，以1.1至6.0為佳，1.2至4.0更佳。分子量分布在前述範圍內時，有使得到之樹脂圖案及硬化膜之耐藥品性更佳之傾向。
樹脂(A)之酸價，以30mg-KOH/g以上180mg-KOH/g以下為佳，40mg-KOH/g以上150mg-KOH/g以下更佳，特別以50mg-KOH/g以上135mg-KOH/g以下又更佳。當中之酸價指中和樹脂1g所必須的氫氧化鉀之量(mg)之測定之值，而可使用氫氧化鉀水溶液滴定求出。樹脂(A)之酸價在前述範圍內時，有使得到之樹脂圖案 及硬化膜與基板之密接性更佳之傾向。
樹脂(A)之含量，相對於本發明之感光性樹脂組成物的固形物分，以30至90質量%為佳，35至80質量%更佳，40至70質量%又更佳，特別以52至70質量%又再更佳，樹脂(A)之含量在前述範圍內時，有使得到之樹脂圖案及硬化膜的耐熱性更佳，且與基板之密接性及耐藥品性更佳之傾向。當中，感光性樹脂組成物的固形物分，指由本發明之感光性樹脂組成物的總量減去溶劑(E)含量之量。
<聚合性化合物(B)>
聚合性化合物(B)，係可藉由聚合起始劑(C)所產生之活性自由基聚合的化合物，可例舉如：具有聚合性之乙烯性不飽和鍵的化合物等，而以(甲基)丙烯酸酯化合物較佳。
具有1個乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物(B)之例，可舉如前述(a)、(b)及(c)所例舉化合物之相同者，當中，以(甲基)丙烯酸酯類較佳。
具有2個乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物之例，可列舉如：1,3-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,3-丁二醇(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、雙酚A之二(丙烯醯氧乙基)醚、乙氧化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、丙氧化新戊 二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧化新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、3-甲基戊二醇二(甲基)丙烯酸酯等。
具有3個以上乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物之例，可列舉如：三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸新戊四醇酯、三(2-羥基乙基)異三聚氰酸酯三(甲基)丙烯酸酯、乙氧化三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、丙氧化三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、四(甲基)丙烯酸新戊四醇酯、五(甲基)丙烯酸二新戊四醇酯、六(甲基)丙烯酸二新戊四醇酯、四(甲基)丙烯酸三新戊四醇酯、五(甲基)丙烯酸三新戊四醇酯、六(甲基)丙烯酸三新戊四醇酯、七(甲基)丙烯酸三新戊四醇酯、八(甲基)丙烯酸三新戊四醇酯、三(甲基)丙烯酸新戊四醇酯與酸酐之反應物、五(甲基)丙烯酸二新戊四醇酯與酸酐之反應物、七(甲基)丙烯酸三新戊四醇酯與酸酐之反應物、己內酯改質三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、己內酯改質三(甲基)丙烯酸新戊四醇酯、己內酯改質三(2-羥基乙基)異三聚氰酸酯三(甲基)丙烯酸酯、己內酯改質四(甲基)丙烯酸新戊四醇酯、己內酯改質五(甲基)丙烯酸二新戊四醇酯、己內酯改質六(甲基)丙烯酸二新戊四醇酯、己內酯改質四(甲基)丙烯酸三新戊四醇酯、己內酯改質五(甲基)丙烯酸三新戊四醇酯、己內酯改質六(甲基)丙烯酸三新戊四醇酯、己內酯改質七(甲基)丙烯酸三新戊四醇酯、己內酯改質八(甲基)丙烯酸三新戊四醇酯、己內酯改質三(甲基)丙烯酸新戊四醇酯與酸酐之反應物、己內酯改質五(甲基)丙烯酸二新戊四醇酯與酸酐之反應物、己 內酯改質七(甲基)丙烯酸三新戊四醇酯與酸酐之反應物等。
其中，以具有3個以上乙烯性不飽和鍵之聚合性化合物較佳，以六(甲基)丙烯酸二新戊四醇酯更佳。
又，聚合性化合物(B)之重量平均分子量，以150以上2,900以下為佳，250至1,500以下更佳。
聚合性化合物(B)之含量，相對於樹脂(A)及聚合性化合物(B)之合計量，以5至95質量%為佳，以20至80質量%更佳，以40至80質量%又更佳，特別以46至70質量%又再更佳。聚合性化合物(B)之含量，如在前述範圍內時，有使樹脂圖案製作時之感度、及得到之樹脂圖案及硬化膜之強度、平滑性及信賴性更佳之傾向。
<聚合起始劑(C)>
肟化合物，可舉如O-醯基肟化合物，係具有通式(d1)表示的部分構造之化合物。以下，＊表示鍵結基。
前述O-醯基肟化合物之例，可列舉如：N-苯甲醯氧基-1-(4-苯基氫硫基苯基)丁烷-1-酮-2-亞胺、N-苯甲醯氧基-1-(4-苯基氫硫基苯基)辛烷-1-酮-2-亞胺、N-苯甲醯氧基-1-(4-苯基氫硫基苯基)-3-環戊基丙烷-1-酮-2-亞胺、N-乙醯氧基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9H-咔唑-3-基]乙烷-1-亞胺、N-乙醯氧基-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(3,3-二甲基-2,4- 二氧雜環戊基甲基氧基)苯甲醯基}-9H-咔唑-3-基]乙烷-1-亞胺、N-乙醯氧基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9H-咔唑-3-基]-3-環戊基丙烷-1-亞胺、N-苯甲醯氧基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9H-咔唑-3-基]-3-環戊基丙烷-1-酮-2-亞胺等。亦可使用Irgacure(註冊商標)OXE 01、OXE 02(以上，為BASF公司製造)、N-1919(ADEKA公司製造)等之商品。
聚合起始劑(C)，亦可含肟化合物以外之聚合起始劑。此類聚合起始劑，只要為可藉由光及熱之作用而產生活性自由基、酸等，使聚合開始之化合物即可並無特別之限定，可使用一般已知之聚合起始劑，可列舉如：烷基苯酮化合物、三化合物、氧化醯基膦化合物及聯咪唑化合物。
前述烷基苯酮化合物，係具有如通式(d2)所示之部分構造或如通式(d3)所示之部分構造的化合物。此類部分構造中，苯環可具有取代基。
具有如通式(d2)所示之部分構造的化合物，可例舉如：2-甲基-2-N-嗎福啉基-1-(4-甲基氫硫基苯基)丙烷-1-酮、2-二甲基胺基-1-(4-N-嗎福啉基苯基)-2-苯甲基丁烷-1-酮、2-(二甲基胺基)-2-[(4-甲基苯基)甲基]-1-[4-(4-嗎福啉基)苯基]丁烷-1-酮等。可使用Irgacure(註冊商標) 369、907及379(以上，為BASF公司製造)等之商品。再者，亦可使用JP2002-544205-A中記載的具有可引起鏈轉移之基的聚合起始劑。
具有如通式(d3)所示之部分構造的化合物，可例舉如：2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、2-羥基-2-甲基-1-〔4-(2-羥基乙氧基)苯基〕丙烷-1-酮、1-羥基環己基苯基酮、2-羥基-2-甲基-1-(4-異丙烯基苯基)丙烷-1-酮之寡聚物、α,α-二乙氧基苯乙酮、苯甲基二甲基縮酮等。
在感度之點方面，烷基苯酮化合物，以具有通式(d2)所示之部分構造的化合物較佳。
前述三化合物，可例舉如：2,4-二(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯基)-1,3,5-三、2,4-二(三氯甲基)-6-(4-甲氧基萘基)-1,3,5-三、2,4-二(三氯甲基)-6-胡椒基-1,3,5-三、2,4-二(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯乙烯基)-1,3,5-三、2,4-二(三氯甲基)-6-〔2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基〕-1,3,5-三、2,4-二(三氯甲基)-6-〔2-(呋喃-2-基)乙烯基〕-1,3,5-三、2,4-二(三氯甲基)-6-〔2-(4-二乙基胺基-2-甲基苯基)乙烯基〕-1,3,5-三、2,4-二(三氯甲基)-6-〔2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基〕-1,3,5-三等。
前述氧化醯基膦化合物，可例舉如：氧化-2,4,6-三甲基苯甲醯基二苯基膦等。可使用Irgacure(註冊商標)819(BASF公司製造)等之商品。
前述聯咪唑化合物之例，可列舉如：2,2’-二(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基聯咪唑、2,2’-二(2,3-二 氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基聯咪唑(可參考如：JPH06-75372-A、JPH06-75373-A等。)、2,2’-二(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基聯咪唑、2,2’-二(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(烷氧基苯基)聯咪唑、2,2’-二(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(二烷氧基苯基)聯咪唑、2,2’-二(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(三烷氧基苯基)聯咪唑(可參考如：JPS48-38403-B、JPS62-174204-A等。)、4,4’,5,5’-位之苯基為烷氧羰基所取代之咪唑化合物(可參考如：JPH07-10913-A等)等。
同時聚合起始劑，又可列舉如：苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻異丙基醚、苯偶姻異丁基醚等之苯偶姻化合物；二苯甲酮、鄰苯甲醯基苯甲酸甲酯、4-苯基二苯甲酮、-4-苯甲醯基-4’-甲基二苯基硫化物、3,3’,4,4’-四(第三丁基過氧羰基)二苯甲酮、2,4,6-三甲基二苯甲酮等之二苯甲酮化合物；9,10-菲醌、2-乙基蒽醌、樟腦醌等之醌化合物；10-丁基-2-氯吖啶酮、二苯甲醯、苯基乙醛酸甲酯、二茂鈦化合物等。該等以與後述之聚合起始助劑(C1)(特別是胺類)組合使用為佳。
酸產生劑之例，可列舉如：對甲苯磺酸-4-羥基苯基二甲基鋶、六氟銻酸-4-羥基苯基二甲基鋶、對甲苯磺酸-4-乙醯氧基苯基二甲基鋶、六氟銻酸-4-乙醯氧基苯基/甲基/苯甲基鋶、對甲苯磺酸三苯基鋶、六氟銻酸三苯基鋶、對甲苯磺酸二苯基錪、六氟銻酸二苯基錪等之鎓鹽類、及甲苯磺酸硝基苯甲酯類、甲苯磺酸苯偶姻酯類等。
與肟化合物組合之聚合起始劑，以烷基苯酮化合物及聯咪唑化合物較佳。
肟化合物之含量，相對於聚合起始劑(C)之總量，以30質量%以上100質量%以下為佳，以50質量%以上100質量%以下更佳，以70質量%以上100質量%以下又更佳。在肟化合物與前述之化合物組合，或肟化合物之含量在前述範圍內時，除了本發明之效果之外，進一步使用具有不同大小之透光部的二元式光罩，在同一基板上同時形成高度不同之樹脂圖案時，可使得到之樹脂圖案的高度差距變大。
肟化合物之含量，相對於樹脂(A)及聚合性化合物(B)之合計含量100質量份，以0.1至10質量份為佳，以0.2至6質量份更佳，以0.3至3質量份又更佳。
聚合起始劑(C)之含量，相對於樹脂(A)及聚合性化合物(B)之合計含量100質量份，以0.1質量份以上30質量份以下為佳，以0.2質量份以上15質量份以下更佳，以0.3質量份以上8質量份以下又更佳，特別以0.5質量份以上3質量份以下又再更佳。聚合起始劑(C)之含量，在前述範圍內時，除了本發明之效果之外，又有高感度化而使曝光時間縮短之傾向而可提高生產性，亦有使得到之樹脂圖案的可見光透光度提高之傾向。
<聚合起始助劑(C1)>
聚合起始助劑(C1)，可與聚合起始劑(C)同時使用，係可促進藉由聚合起始劑(C)使聚合開始的化合物(例如，聚合性化合物(B))之聚合所使用的化合 物、或增敏劑。
聚合起始助劑(C1)，可例舉如：噻唑啉化合物、胺化合物、烷氧基蒽化合物、硫雜蒽酮(thioxanthone)化合物及羧酸化合物。
前述噻唑啉化合物，可例舉如：通式(III-1)至通式(III-3)所示之化合物、JP2008-65319-A記載之化合物等。
前述胺化合物之例，可列舉如：三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三異丙醇胺、4-二甲基胺基苯甲酸甲酯、4-二甲基胺基苯甲酸乙酯、4-二甲基胺基苯甲酸異戊酯、苯甲酸-2-二甲基胺基乙酯、4-二甲基胺基苯甲酸-2-乙基己酯、N,N-二甲基對甲苯胺、4,4’-二(二甲基胺基)二苯甲酮(通稱為米其勒酮)、4,4’-二(二乙基胺基)二苯甲酮、4,4’-二(乙基甲基胺基)二苯甲酮等，其中以4,4’-二(二乙基胺基)二苯甲酮較佳。亦可使用EAB-F(保土谷化學工 業公司製造)等之商品。
前述烷氧基蒽化合物之例，可列舉如：9,10-二甲氧基蒽、2-乙基-9,10-二甲氧基蒽、9,10-二乙氧基蒽、2-乙基-9,10-二乙氧基蒽、9,10-二丁氧基蒽、2-乙基-9,10-二丁氧基蒽等。
前述硫雜蒽酮化合物之例，可列舉如：2-異丙基硫雜蒽酮、4-異丙基硫雜蒽酮、2,4-二乙基硫雜蒽酮、2,4-二氯硫雜蒽酮、1-氯-4-丙氧基硫雜蒽酮等。
前述羧酸化合物之例，可列舉如：苯基氫硫基乙酸、甲基苯基氫硫基乙酸、乙基苯基氫硫基乙酸、甲基乙基苯基氫硫基乙酸、二甲基苯基氫硫基乙酸、甲氧基苯基氫硫基乙酸、二甲氧基苯基氫硫基乙酸、氯苯基氫硫基乙酸、二氯苯基氫硫基乙酸、N-苯基甘胺酸、苯氧基乙酸、萘基硫乙酸、N-萘基甘胺酸、萘氧基乙酸等。
本發明之感光性樹脂組成物在含聚合起始助劑(C1)時，其含量相對於樹脂(A)及聚合性化合物(B)的合計含量100質量份，係以0.1至30質量份為佳，以0.2至10質量份更佳。聚合起始助劑(C1)之量在該範圍內時，可使樹脂圖案在形成時，有更高感度之傾向。
<化合物(1)>
化合物(1)，係如通式(1)所示。
[通式(1)中，R1表示碳數1至6之烷基。
A1至A4各為獨立，表示氫原子或碳數1至6之烷基。]
R1及A1至A4之烷基，可列舉如：甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、第二丁基、第三丁基、戊基、己基等。
R1，以甲基或乙基較佳，以甲基更佳。
A1至A4，各為獨立，以氫原子或第三丁基較佳。
化合物(1)之例，可列舉如：甲氧基酚、乙氧基酚、2,5-第三丁基甲氧基酚等。
以本發明之感光性樹脂組成物而達成本發明之效果者，係因藉由包含合併化合物(1)及含有肟化合物之聚合起始劑(C)所致。
化合物(1)之含量，相對於樹脂(A)及聚合性化合物(B)的合計含量100質量份，以0.02質量份以上1質量份以下為佳，以0.03質量份以上0.4質量份以下更佳。化合物(1)之含量在前述範圍內時，以半色調光罩在同一基板上同時形成高度不同之樹脂圖案時，使得到之樹脂圖案的高度差距大，而可形成期待之高度的樹脂圖案。在化合物(1)之含量大為超過前述範圍時，會使感度顯著降低，因此有不易得到期待之線寬的樹脂圖案之虞慮；在化合物(1)之含量較前述範圍少時，會有不易充分得到本發明之效果的虞慮。
<界面活性劑(H)>
界面活性劑(H)之例，可列舉如：矽氧系 界面活性劑、氟系界面活性劑、具有氟原子之矽氧系界面活性劑等。
矽氧系界面活性劑，可列舉如：具有矽氧烷鍵之界面活性劑等。具體之例，可列舉如：Toray Silicone(商品名)DC3PA、同系列SH7PA、同系列DC11PA、同系列SH21PA、同系列SH28PA、同系列SH29PA、同系列SH30PA、同系列SH8400(Dow Corning Toray公司製造)、KP321、KP322、KP323、KP324、KP326、KP340、KP341(信越化學工業公司製造)、TSF400、TSF401、TSF410、TSF4300、TSF4440、TSF4445、TSF-4446、TSF4452、TSF4460(Momentive Performance Materials聯合日本公司製造)等。
前述氟系界面活性劑，可舉如具有氟碳鏈之界面活性劑等。具體之例，可列舉如：Fluorad(註冊商標)FC430、同系列FC431(住友3M公司製造)、MEGAFAC(註冊商標)F142D、同系列F171、同系列F172、同系列F173、同系列F177、同系列F183、同系列F554、同系列R30、同系列RS-718-K(DIC公司製造)、EFTOP(註冊商標)EF301、同系列EF303、同系列EF351、同系列EF352(三菱材料電子化成公司製造)、Surflon(註冊商標)S381、同系列S382、同系列SC101、同系列SC105(旭玻璃公司製造)、E5844(Daikin特用化學品研究所製造)等。
前述具有氟原子之矽氧系界面活性劑，可舉如具有矽氧烷鍵及氟碳鏈之界面活性劑等。具體之例，可列舉如：MEGAFAC(註冊商標)R08、同系列BL20、同系 列F475、同系列F477、同系列F443(DIC公司製造)等。
本發明之感光性樹脂組成物包含界面活性劑 (H)時，該含量，相對於本發明之感光性樹脂組成物之總量，以0.001質量%以上0.2質量%以下為佳，以0.002質量%以上0.1質量%以下更佳，以0.01質量%以上0.05質量%以下又更佳。界面活性劑(H)之含量在前述範圍內時，可使組成物層之平坦性更佳，因此會有縮小樹脂圖案中之高度不齊，提高硬化膜中的平坦性之傾向。
<溶劑(E)>
溶劑(E)，並無特別之限定，可使用該範疇中一般使用之溶劑。可由例如：酯溶劑(分子內含-COO-，不含-O-之溶劑)、醚溶劑(分子內含-O-，不含-COO-之溶劑)、醚酯溶劑(分子內含-COO-及-O-之溶劑)、酮溶劑(分子內含-CO-，不含-COO-之溶劑)、醇溶劑(分子內含OH，不含-O-、-CO-及-COO-之溶劑)、芳族烴溶劑、醯胺溶劑、二甲基亞碸等之中選擇使用。
酯溶劑之例，可列舉如：乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、2-羥基異丁酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、甲酸戊酯、乙酸異戊酯、丙酸丁酯、丁酸異丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯、環己醇乙酸酯、γ-丁內酯等。
醚溶劑之例，可列舉如：乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單丙醚、乙二醇單丁醚、二乙二醇單 甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單丙醚、丙二醇單丁醚、3-甲氧基-1-丁醇、3-甲氧基-3-甲基丁醇、四氫呋喃、四氫吡喃、1,4-二烷、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇甲基乙醚、二乙二醇二丙醚、二乙二醇二丁醚、苯甲醚、苯乙醚、甲基苯甲醚等。
醚酯溶劑之例，可列舉如：甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯、乙酸-3-甲氧基丁酯、乙酸-3-甲基-3-甲氧基丁酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單丙醚乙酸酯、乙二醇單甲醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇單丁醚乙酸酯等。
酮溶劑之例，可列舉如：4-羥基-4-甲基-2-戊酮、丙酮、2-丁酮、2-庚酮、3-庚酮、4-庚酮、4-甲基-2-戊酮、環戊酮、環己酮、異佛酮等。
醇溶劑之例，可列舉如：甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、己醇、環己醇、乙二醇、丙二醇、丙三醇等。
芳族烴溶劑之例，可例舉如：苯、甲苯、二甲苯、三甲苯等。
醯胺溶劑之例，可例舉如：N,N-二甲基甲醯胺、N,N-二甲基乙醯胺、N,N-甲基吡咯烷酮等。
上述溶劑中，由塗布性、乾燥性之點而言，以在1atm下之沸點為120℃以上180ºC以下的有機溶劑較佳。當中，該有機溶劑，以丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、二乙二醇甲基乙醚、乙酸-3-甲氧基丁酯及3-甲氧基-1-丁醇較佳。溶劑(E)，以包含該等之混合溶劑較佳。
溶劑(E)之含量，相對於本發明之感光性樹脂組成物的總量，以60至95質量%為佳，以70至95質量%更佳。換言之，本發明之感光性樹脂組成物的固形物分，以5至40質量%為佳，以5至30質量%更佳。溶劑(E)之含量在前述範圍內時，會有使以本發明之感光性樹脂組成物所形成的組成物層之平坦性更佳之傾向，因此會有縮小樹脂圖案中之高度不齊，提高硬化膜中的平坦性之傾向。
<其他成分>
本發明之感光性樹脂組成物方面，視其必要，亦可再含填充劑、其他之高分子化合物、熱自由基產生劑、紫外線吸收劑、鏈轉移劑、密接促進劑等，該技術範疇中可含習知之添加劑。
填充劑方面，可列舉如：玻璃、氧化矽、氧化鋁等。
其他之高分子化合物方面，可列舉如：順丁二醯亞胺樹脂等之熱硬化性樹脂及聚乙烯醇、聚丙烯酸、聚乙二醇單烷基醚、丙烯酸多氟烷酯、聚酯、聚胺酯等之熱塑性樹 脂等。
熱自由基產生劑之具體例可列舉如：2,2’-偶氮二(2-甲基戊腈)、2,2’-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)等。
紫外線吸收劑之具體例可列舉如：2-(3-第三丁基-2-羥基-5-甲基苯基)-5-氯苯并三唑、烷氧基二苯甲酮等。
鏈轉移劑方面，可列舉如：十二烷基硫醇、2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯等。
密接促進劑方面，可列舉如：乙烯基三甲氧矽烷、乙烯基三乙氧矽烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)矽烷、3-環氧丙氧基丙基三甲氧矽烷、3-環氧丙氧基丙基甲基二甲氧矽烷、3-環氧丙氧基丙基甲基二甲氧矽烷、3-環氧丙氧基丙基甲基二乙氧矽烷、2-(3,4-乙氧基環己基)乙基三甲氧矽烷、3-氯丙基甲基二甲氧矽烷、3-氯丙基三甲氧矽烷、3-甲基丙烯醯氧基丙基三甲氧矽烷、3-巰基丙基三甲氧矽烷、3-氫硫基丙基三甲氧矽烷、3-異氰酸酯基丙基三乙氧矽烷、N-2-(胺基乙基)-3-胺基丙基甲基二甲氧矽烷、N-2-(胺基乙基)-3-胺基丙基甲基二乙氧矽烷、N-2-(胺基乙基)-3-胺基丙基三甲氧矽烷、N-2-(胺基乙基)-3-胺基丙基甲基二乙氧矽烷、3-胺基丙基三甲氧矽烷、3-胺基丙基三乙氧矽烷、N-苯基-3-胺基丙基三甲氧矽烷、N-苯基-3-胺基丙基三乙氧矽烷等。
本發明之感光性樹脂組成物，實質上不含顏料及染料等之著色劑。亦即，本發明之感光性樹脂組成物中，相對於組成物全體著色劑之含量，例如未達1質量%， 以未達0.5質量%為佳。
再者，本發明之感光性樹脂組成物，係填充於光徑長度為1cm之石英槽，使用分光光度計，在測量波長400至700nm之條件下測定透光度時，以平均透光度在70%以上為佳，80%以上更佳。
本發明之感光性樹脂組成物，在為硬化膜時，硬化膜之平均透光度以90%以上為佳，以95%以上更佳。該平均透光度，係對加熱硬化(如：100至250℃、5分鐘至3小時)後之厚度2μm之硬化膜，使用分光光度計，在測量波長400至700nm之條件下所測定之平均值。如此，可提供在可見光區域下之透明性優良之樹脂圖案及硬化膜。
<感光性樹脂組成物之製造方法>
本發明之感光性樹脂組成物，可將：樹脂(A)、聚合性化合物(B)、聚合起始劑(C)及化合物(1)，以及，視必要使用之：溶劑(E)、界面活性劑(H)及其他之成分，以一般已知之方法混合製造。混合後，又以再經過孔徑0.05至1.0μm左右之濾膜過濾為佳。
<樹脂圖案之製造方法>
以本發明之感光性樹脂組成物所形成的樹脂圖案，係例如，以下述之步驟(1)至(4)進行製造。步驟(4)之後，以再進行步驟(5)為佳。
步驟(1) 將本發明之感光性樹脂組成物塗布在基板上之步驟
步驟(2) 將塗布後之感光性樹脂組成物乾燥，形成組成物層之步驟
步驟(3) 將組成物層隔著光罩曝光之步驟
步驟(4) 將曝光後之組成物層顯像之步驟
步驟(5) 將顯像後之組成物層加熱之步驟
步驟(1)，係將本發明之感光性樹脂組成物塗布在基板上之步驟。
基板方面，可列舉如：玻璃、金屬、塑料等，亦可再於基板上形成濾光片、絕緣膜、導電膜及/或驅動電路等。
在基板上之塗布，宜使用如：旋塗機、細縫式旋轉塗布機、細縫塗布機、噴墨塗布機、輥塗機、含浸塗布機等之塗布裝置進行。
步驟(2)，係使塗布後之感光性樹脂組成物乾燥而形成組成物層之步驟。藉由進行該步驟，可將感光性樹脂組成物中之溶劑等揮發成分去除。乾燥之方法，可列舉如：加熱乾燥(預焙)及減壓乾燥。
在進行加熱乾燥時，乾燥溫度，最好在30至120℃，更好在50至110℃之範圍；乾燥時間，最好在10秒至60分鐘，更好在30秒至30分鐘。加熱乾燥，一般係使用烘箱及加熱台等之加熱裝置進行。
進行減壓乾燥時，以在50至150Pa之壓力下、20至25℃之溫度範圍下進行為佳。
步驟(3)，係將以步驟(2)所形成之組成物層，隔著光罩曝光之步驟。該光罩係使用對應組成物層欲 去除的部分而形成遮光部者。遮光部之形狀，並無特別之限定，可依照目的之用途選擇。特別，在使用半色調光罩或灰階光罩時，可在同一基板上同時形成高度不同之樹脂圖案。半色調光罩，為具有2種以上互相不同之透光度的透光部之光罩，以具有透光度100%之透光部、及透光度10至60%之範圍的透光部者較佳。如使用此類半色調光罩，可形成尺寸及高度之精密度高的樹脂圖案。
曝光所使用之光源，以產生250至450nm波長之光的光源為佳。例如，未達350nm之光，可將使用將該波長區域濾除之濾光器濾除，亦可將436nm附近、408nm附近、365nm附近之光，使用可透過此等波長區域之帶通濾波器選擇性地透過。具體上可例舉如：汞燈、發光二極體、金屬鹵化物燈、鹵素燈等。
為了可在曝光面全體均一地照射平行光線，或進行對準光罩與組成物層之正確位置，以使用光罩對準曝光機(mask aligner)及步進機等曝光裝置為佳。
步驟(4)，係將曝光後之組成物層顯像之步驟。曝光後之組成物層藉由與顯像液接觸顯像，將組成物層之未曝光部分在顯像液中溶解而去除，即可在基板上形成著色圖案。
顯像液之較佳例，可列舉如：氫氧化鉀、碳酸氫鈉、碳酸鈉、氫氧化四甲基銨等鹼性化合物之水溶液。此等鹼性化合物在水溶液中之濃度，以0.01至10質量%為佳，0.03至5質量%更佳。同時，顯像液中，亦可再含界面活性劑。
顯像之方法，可為槳法(paddle method)、浸漬法及噴霧法等之任一者。在顯像時基板亦可傾斜成任意之角度。
顯像後，又以再經過水洗為佳。
步驟(5)，係將顯像後之組成物層加熱(後焙)之步驟。藉由進行加熱可使樹脂圖案之耐久性，例如提高耐熱性、耐藥品性及機械特性等。加熱，一般係使用烘箱及加熱台等之加熱裝置進行。加熱之溫度，以120至250℃為佳，以150至235℃更佳。加熱之時間，以1至180分鐘為佳，以10至60分鐘更佳。
以本發明之感光性樹脂組成物，亦可以下述 之步驟製造無圖案化之硬化膜。當中各步驟的較佳之條件，可與樹脂圖案之製造方法相同。
步驟(1)將本發明之感光性樹脂組成物塗布在基板上之步驟
步驟(2)將塗布後之感光性樹脂組成物乾燥，形成組成物層之步驟
步驟(5)將顯像後之組成物層加熱之步驟
視必要，亦可在步驟(2)之後進行步驟(3’)組成物層不隔著光罩曝光之步驟。同時，在進行步驟(3’)時，亦可進行
步驟(4)將曝光後之組成物層顯像之步驟。
如此操作得到之樹脂圖案，可使用作為如：構成濾光片基板及/或陣列基板之部分的光間隔、可圖案化之保護層、層間絕緣膜、液晶定向控制用凸出物、微透鏡、 作為膜厚調整之塗布層等，觸控面板用之構件、構成濾光片基板及/或陣列基板之部分的保護層。特別是，由於在同一基板上同時形成高度不同之樹脂圖案時的高度之控制優異，因此在同一基板上同時形成高度不同之光間隔時，可使用在同一基板上以同時形成光間隔及液晶定向控制用凸出物。前述之濾光片基板及陣列基板，適於使用在液晶顯示裝置、有機EL顯示裝置、電子紙等。
實施例
以下，再舉實施例更詳細地說明本發明。例中之「%」及「份」，除非特別註明，係質量%及質量份。
合成例1
在具備回流冷凝器、滴下漏斗及攪拌機之燒瓶內將氮氣以0.02L/分鐘通入使其成為氮氣環境，再加入3-甲氧基-1-丁醇200質量份及乙酸-3-甲氧基丁酯105質量份，並於攪拌之同時加熱至70℃。其次，再將甲基丙烯酸60質量份、3,4-環氧基三環〔5.2.1.02.6〕癸基丙烯酸酯(通式(I-1)所示之化合物及通式(II-1)所示之化合物的含量比(莫耳比)為50：50)240質量份，溶解在乙酸-3-甲氧基丁酯140質量份中調製成溶液，再將該溶液，使用滴下漏斗以4小時滴入在70℃中保溫之燒瓶內。
另一方面，再將以聚合起始劑2,2’-偶氮二(2,4-二甲 基戊腈)30質量份溶解在3-甲氧基丁基乙酸酯225質量份中之溶液，使用另外之滴下漏斗以4小時滴入燒瓶內。在聚合起始劑之溶液滴入終了後，再於70℃中保持4小時，之後冷卻至室溫，而得到固形物分32.6質量%、酸價110mg-KOH/g(換算為固形物分)的共聚物(樹脂Aa)之溶液。該得到之樹脂Aa的重量平均分子量Mw為13,400、分子量分布為2.50。樹脂Aa，具有下述之構造單位。
得到之樹脂的重量平均分子量(Mw)及數量平均分子量(Mn)之測定，係使用GPC法，並以以下之條件進行。
裝置：K2479(島津製作所製造)
管柱：SHIMADZU Shim-pack GPC-80M
管柱溫度：40℃
溶劑：THF(四氫呋喃)
流速：1.0mL/min
檢測器：RI
校正用標準品：TSK STANDARD POLYSTYRENE F-40、F-4、F-288、A-2500、A-500(東曹公司製造)
並以上述中所得到換算聚苯乙烯的重量平均分子量及數量平均分子量之比(Mw/Mn)作為分子量分布。
實施例1至7及比較例1 <感光性樹脂組成物之調製>
將表1所示之各成分以表1所示之比例混合，得到感光性樹脂組成物。
又，表1中，樹脂(A)的所含之份數，係表示換算固形物份之質量份。
樹脂(A)：樹脂Aa
聚合性化合物(B)；六丙烯酸二新戊四醇酯(KAYARAD(註冊商標)DPHA：日本化藥公司製造)
聚合起始劑(C)；Ca；N-乙醯氧基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9H-咔唑-3-基]乙烷-1-亞胺(Irgacure(註冊商標)OXE 02：BASF公司製造：O-醯基肟化合物)
聚合起始劑(C)；Cb；N-苯甲醯氧基-1-(4-苯基氫硫基苯基)辛烷-1-酮-2-亞胺(Irgacure(註冊商標)OXE 01：BASF公司製造：O-醯基肟化合物)
聚合起始劑(C)；Cc；2-苯甲基-2-二甲基胺基-1-(4-N-嗎福啉基苯基)-丁烷-1-酮(Irgacure(註冊商標)369：BASF日本公司製造：烷基苯酮化合物)
聚合起始劑(C)；Cd；2,2’-二(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-聯咪唑(B-CIM：保土谷化學公司製造：聯咪唑化合物)
化合物(1)；1a；4-甲氧基酚(東京化成工業公司製造)
界面活性劑(H)；聚醚改質矽油(Toray Silicone SH8400：Dow Corning Toray公司製造)
溶劑(E)；Ea；二乙二醇乙基甲醚
溶劑(E)；Eb；丙二醇單甲醚乙酸酯
溶劑(E)；Ec；3-甲氧基-1-丁醇
溶劑(E)；Ed；3-甲氧基丁基乙酸酯
溶劑(E)；Ee；3-乙氧基乙基丙酸酯
溶劑(E)，係將感光性樹脂組成物之固形物份量成為表1之「固形物份量(%)」進行混合。溶劑(E)中之各成分Ea至Ee之值，表示溶劑(E)中之質量比(%)。
<組成物透光度之測定>
之後再對得到之感光性樹脂組成物，分別以紫外線可見光紅外線分光光度計(V-650：日本分光公司製造)(石英槽，光徑長度：1cm)，測定400至700nm下之平均透光度(%)。其結果如表2所示。
<硬化膜之製作>
先將2吋方形玻璃基板(EAGLE XG：Corning公司製造)，依序以中性洗潔劑、水及酒精洗淨並乾燥。之後該玻璃基板上，再將感光性樹脂組成物，使後焙後之膜厚成為3.0μm之方式旋塗，之後再以減壓乾燥機(MICROTEK公司製造)以至減壓度為66Pa減壓乾燥後，在加熱台上以90℃下預焙80秒使之乾燥，而形成組成物層。在將其放冷後，再使用曝光機(TME-150RSK；TOPCON公司製造，光源：超高壓汞燈)，於大氣環境下，以曝光量60mJ/cm2(365nm基準)曝光。而且，此時對組成物層之照射，係使超高壓汞燈之放射光通過光學濾光器(UV-33：朝日分光公司製造)進行。在照射光之後，再於含非離子系界面活性劑0.12%及氫氧化鉀0.04%之水系顯像液中將曝光後之組成物層在25℃下搖動60秒之同時將其浸漬，再經過水洗。之後，再於烘箱中，於235℃下加熱15分鐘而得到硬化膜。
<硬化膜透光度之測定>
該得到之硬化膜，再以顯微分光測定裝置(OSP-SP200：OLYMPUS公司製造)，測定在400至700nm下之平均透光度(%)。其結果如表2所示。
<樹脂圖案之形成1>
先將2吋方形玻璃基板(EAGLE XG：Corning公司製造)，依序以中性洗潔劑、水及異丙醇洗淨並乾燥。之後再於該玻璃基板上，以感光性樹脂組成物旋塗，其次，在減壓乾燥機中減壓至66Pa後，在加熱台上以90℃預焙80秒，而形成組成物層。在放冷後，再以該已形成組成物層之基板與石英玻璃製光罩之間隔為150μm，使用曝光機(TME-150RSK：TOPCON公司製造，光源：超高壓汞燈)，於大氣環境下，以曝光量60mJ/cm2(365nm基準)之光照射。而且，此時對組成物層之照射，係使超高壓汞燈之放射光通過光學濾光器(UV-33：朝日分光公司製造)而進行。而且，光罩方面，係使用透光部之形狀為20μm方形之正方形，該正方形係以100μm間隔配置，且透光部之透光度為100%及25%的2種半色調光罩。
在照射光之後，再於含非離子系界面活性劑0.12%及氫氧化鉀0.04%之水系顯像液中將前述塗膜在23℃下搖動60秒之同時將其浸漬顯像，再經過水洗。之後，再於烘箱中，於235℃下進行後焙15分鐘，而得到樹脂圖案。
<樹脂圖案之形成2>
先將2吋方形玻璃基板(EAGLE XG：Corning公司製造)，依序以中性洗潔劑、水及異丙醇洗淨並乾燥。之後再於該玻璃基板上，以感光性樹脂組成物旋塗，其次，在減壓乾燥機中至減壓至66Pa，在加熱台上以90℃預焙80秒，而形成組成物層。在放冷後，再以該已形成組成物 層之基板與石英玻璃製光罩之間隔為200μm，使用曝光機(TME-150RSK：TOPCON公司製造，光源：超高壓汞燈)，於大氣環境下，以曝光量60mJ/cm2(365nm基準)曝光。而且，此時對組成物層之曝光，係使超高壓汞燈之放射光通過光學濾光器(UV-33：朝日分光公司製造)而進行。再者，光罩方面，係使用透光部之形狀為20μm方形之正方形及12μm方形之正方形，各正方形並以100μm間隔配置，且透光部之透光度為100%之二元式光罩。
在光照射之後，再於含非離子系界面活性劑0.12%及氫氧化鉀0.04%之水系顯像液中將前述塗膜在23℃下搖動60秒並同時浸漬顯像，再經過水洗。之後，再於烘箱中，於235℃下進行後焙15分鐘，而得到樹脂圖案。
<評估：樹脂圖案之寬度及高度之測定>
將得到之樹脂圖案之寬度及高度，再以三維非接觸表面形狀測量裝置(Micromap MM527N-PS-M100：菱化Systems公司製造)測定。樹脂圖案之寬度，係以面對基板面，由樹脂圖案高度之5%的高度之位置測定。
在樹脂圖案之形成1中，由透光度100%之透光部所形成的樹脂圖案之高度(以下稱為「H100」)、及由透光度25%之透光部所形成的樹脂圖案之高度(以下稱為「H25」)之測定值，求出兩者之差「H100-H25」。在同一基板上同時形成高度不同之樹脂圖案時，該高度差越大越為有利。
在樹脂圖案之形成2中，由20μm正方形之透光部所形成的樹脂圖案之高度(以下稱為「HS20」)、由12μm正 方形之透光部所形成的樹脂圖案之高度(以下稱為「HS12」)之測定值，求出兩者之差「HS20-HS12」。在同一基板上同時形成高度不同之樹脂圖案時，該高度差越大越為有利。其結果如表2所示。
由表2之結果，可確定以本發明之感光性樹脂組成物，在使用半色調光罩時，有利於在同一基板上同時形成高度不同之樹脂圖案。
因此以本發明之感光性樹脂組成物，使用半色調光罩可在同一基板上同時形成高度不同之樹脂圖案時，得到高度差距大之樹脂圖案。

Claims (6)

  1. 一種感光性樹脂組成物，係包含下述(A)、(B)、(C)及(D)者，(A)共聚物，其包含：源自於選自不飽和羧酸及不飽和羧酸酐所成群組中之至少1種的構造單位、及源自於具有碳數2至4之環醚構造及乙烯性不飽和鍵之單體的構造單位；(B)聚合性化合物；(C)聚合起始劑，其包含肟化合物、以及選自烷基苯酮化合物及聯咪唑化合物中之至少1種的化合物，且肟化合物之含量相對聚合起始劑之總量，為30質量%以上75質量%以下；(D)通式(1)所示之化合物 通式(1)中，R1表示碳數1至6之烷基；A1至A4各為獨立，表示氫原子或碳數1至6之烷基。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其中(C)之含量，相對於(A)與(B)之合計含量100質量份，為0.1質量份以上30質量份以下。
  3. 如申請專利範圍第1或2項所述之感光性樹脂組成物，其中(D)之含量，相對於(A)與(B)之合計含量100質量份，為0.02質量%以上1質量%以下。
  4. 一種樹脂圖案，係由如申請專利範圍第1至3中任一項所述之感光性樹脂組成物所形成。
  5. 一種光間隔物係由如申請專利範圍第1至3中任一項所述之感光性樹脂組成物所形成。
  6. 一種顯示裝置，係包含選自如申請專利範圍第4項所述之樹脂圖案及如申請專利範圍第5項所述之光間隔物所成群組中的至少1種。
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