TWI558260B - A heating unit, a fan filter unit, and a substrate processing device - Google Patents

Description

加熱單元、風扇過濾單元及基板處理裝置

本發明之實施形態係有關加熱單元，使用此加熱單元之風扇過濾單元，使用此風扇過濾單元之基板處理裝置。

在半導體晶圓或液晶基板等之基板處理工程中，為了基板處理時之不良產生防止而有必要在抑制基板處理裝置內的塵埃的環境進行基板處理。基板處理裝置內之塵埃的抑制係經由將使用過濾器捕集塵埃之清淨空氣供給至基板處理裝置內而加以進行。

另外，在基板處理工程中，可經由提昇處理環境的溫度而使處理反應活化加快處理速度，而可使生產性提昇者。

因此，將產生溫風的溫風產生裝置，與基板處理裝置個別地設置，將在溫風產生裝置產生的溫風供給至基板處理裝置內之同時，使用過濾器而捕集供給至基板處理裝置內之溫風中的塵埃。然而，溫風產生裝置係具備框體，和收納於框體內之加熱器，和送入空氣至框體內之風扇，於溫風產生裝置與基板處理裝置之間連接有送風導管。對於送風導管之基板處理裝置之入口部分，係設置有捕集塵埃之過濾器。

另一方面，作為未個別設置溫風產生裝置與基板處理裝置，而呈於基板處理裝置內供給清淨的溫風之裝置，係 知道有將具備風扇與加熱器與過濾器之風扇過濾單元，設置於基板處理裝置之上部的構成。

但個別設置溫風產生裝置與基板處理裝置，將在溫風產生裝置產生的溫風，藉由送風導管而供給至基板處理裝置內之方式係必須有設置溫風產生裝置之空間，包含基板處理裝置與溫風產生裝置之裝置全體的設置空間則變大。

另外，對於連接於溫風產生裝置之基板處理裝置則有複數之情況，連接溫風產生裝置與各基板處理裝置之送風導管的長度則對於各基板處理裝置有不同之情況，經由送風導管之長度不同之情況，供給至各基板處理裝置之溫風的溫度則容易產生不均。當供給至各基板處理裝置之溫風的溫度產生不均時，在各基板處理裝置內所處理之半導體晶圓等之品質產生不均。

另外，對於使用含有加熱器之風扇過濾單元之情況，係加熱器的熱容易傳導至過濾器。過濾器之耐熱溫度係為60℃程度之故，經由來自加熱器的熱傳導至過濾器之時，過濾器產生變形等而劣化，塵埃的捕集性能則下降。

本發明係有鑑於上述所作為之構成，其目的為提供可均一效率佳地加熱通過加熱單元之空氣同時，可抑制來自對於配置於加熱單元周圍之構件之加熱器的熱傳達之加熱單元，使用此加熱單元之風扇過濾單元，使用此風扇過濾單元之基板處理裝置。

有關本發明之實施形態之第1特徵係在加熱單元中，具備將線狀之發熱體圍上成平面狀加以形成之平面狀加熱器，和以熱傳導性高的材料形成為網狀，於平面狀加熱器之至少單面側，對向於此平面狀加熱器加以配置之第1網狀體，和以較第1網狀體為熱傳導性低的材料加以形成為網狀，於對向於在第1網狀體之平面狀加熱器的面之相反側的面，加以對向所配置之第2網狀體者。

有關本發明之實施形態之第2特徵係在風扇過濾單元中，具備具有將空氣送風之風扇的風扇單元，和具有捕集加以送風之空氣中的塵埃之過濾器的過濾單元，和使設置有第1網狀體與第2網狀體側的面對向於過濾單元而配置於風扇單元與過濾單元之間的有關第1特徵之加熱單元者。

有關本發明之實施形態之第3特徵係在基板處理裝置中，具備於內部設置有為了基板處理之機構的框體，和安裝於此框體，將空氣供給至框體內之有關第2特徵之風扇過濾單元者。

(第1實施形態)

對於有關本發明之第1實施形態之基板處理裝置1，依據圖1乃至圖7加以說明。

基板處理裝置1係如圖1所示，具備有於內部設置為了基板處理之機構的框體之處理箱2，和設置於處理箱2 內之杯體3，和設置於杯體3內，將基板W以水平狀態保持之保持台4，和使保持台4，在水平面內旋轉之旋轉機構5，和對於保持台4上之基板W而言，從上方供給處理液之供給噴嘴6，和將供給噴嘴6沿著基板W表面移動於水平方向之移動機構7，和設置於處理箱2的頂部之風扇過濾單元8。旋轉機構5係具備使保持台4旋轉之馬達9，移動機構7係具備使供給噴嘴6移動於水平方向之馬達10。對於供給噴嘴6係連接有配管11，12之一端側，一方的配管11之另一端側係連接於供給處理液之處理液供給部(未圖示)，另一方之配管12之另一端側係連接於供給氣體之氣體供給部(未圖示)。杯體3係作為接受從旋轉的基板W上飛散之處理液的功用。

風扇過濾單元8係如圖2所示，具備風扇單元13，和過濾單元14，和配置於此等風扇單元13與過濾單元14之間的加熱單元15。

風扇單元13係具有殼體16，於此殼體16內收容有為風扇之螺旋槳風扇17。另外，殼體16係延伸至被覆加熱單元15與過濾單元14之外周部之位置。

過濾單元14係具有過濾器保持框18，於此過濾器保持框18內保持有折疊成蛇紋狀之過濾器19。

加熱單元15係具有加熱器框20與加熱器框蓋21，經由此等加熱器框20與加熱器框蓋21而保持加熱單元15之構成構件。

如圖3及圖4所示，平面狀加熱器22，和以熱傳導性 高之材料的鋁而形成為網狀之第1網狀體的一對鋁製網23，和將熱傳導率較鋁低約1/10之不鏽鋼作為材料而形成為網狀之第1個之第2網狀體的一對不鏽鋼製網24，和將熱傳導率較鋁低約1/200之玻璃纖維作為材料而形成為網狀之第2個之第2網狀體的一對玻璃纖維製網25，則加以包含於加熱單元15。

平面狀加熱器22係經由將線狀之發熱體，例如鄰接位置套式加熱器26之部分的間隔，則呈成為一定地圍繞呈漩渦狀而形成為平面狀。然而，套式加熱器26係如圖5所示，於不鏽鋼等之金屬製之管材27內通過發熱線28，經由於管材27與發熱線28之間充填絕緣物29而加以形成。返回至圖3，對於平面狀加熱器22之兩端係連接有通電用導引線30之一端側，而對於平面狀加熱器22之表面係安裝有測定平面狀加熱器22之溫度之第1溫度測定部的加熱器溫度測定用熱電偶31。

一對之鋁製網23係配置於將平面狀加熱器22從兩面側夾持之位置，鋁製網23之一方的面係對於平面狀加熱器22而言，點接觸在複數處(參照圖4)。對於鋁製網23的表面係安裝有測定此鋁製網23之溫度之第2溫度測定部的網溫度測定用熱電偶32。另外，對於鋁製網23外周側之一部分係形成有缺口部33，對於缺口部33內係配置有恆溫器34。

一對之不鏽鋼製網24係使其對向於接觸在鋁製網23之平面狀加熱器22的面之相反側的面，加以配置於夾持 平面狀加熱器22與一對之鋁製網23之位置。對於此不鏽鋼製網24係接合在恆溫器34之熱傳導性高的部份之感熱面34a，經由恆溫器34而監視不鏽鋼製網24之溫度上升。

一對之玻璃纖維製網25係使其對向於對向在不鏽鋼製網24之鋁製網23的面之相反側的面，加以配置於夾持平面狀加熱器22與一對之鋁製網23與一對之不鏽鋼製網24之位置。

此等鋁製網23與不鏽鋼製網24與玻璃纖維製網25之周緣部係如圖4所示，經由加熱器框20與加熱器框蓋21所夾持，加熱器框20與加熱器框蓋21係經由複數之固定螺絲35加以固定。更且，於鋁製網23與不鏽鋼製網24與玻璃纖維製網25之網目部分係插通有固定螺絲36。對於固定螺絲36的前端部係拴合有螺帽37，緊固此等網23~25。

鋁製網23與玻璃纖維製網25係具有可撓性之剛性低的網。對此，不鏽鋼製網24係剛性高的網。經由層積此等鋁製網23與不鏽鋼製網24與玻璃纖維製網25而使用固定螺絲35，36固定之時，不鏽鋼製網24則作為補強構件而發揮機能，防止鋁製網23與玻璃纖維製網25之彎曲。

接著，依據圖6說明加熱單元15之電性連接構造。

將一端側連接於平面狀加熱器22之兩端的通電用導引線30之另一端側，係連接於控制對於平面狀加熱器22 之通電狀態之溫度控制部的加熱控制單元38。另外，對於此加熱控制單元38，係連接有測定平面狀加熱器22之溫度的加熱溫度測定用熱電偶31。並且，加熱控制單元38係加熱溫度測定用熱電偶31之測定值呈成為設定值地控制對於平面狀加熱器22之通電狀態。

測定鋁製網23之溫度的網溫度測定用熱電偶32係連接於控制風扇過濾單元8全體之主控制器39。對於此主控制器39係連接有加熱控制單元38與通知部40。通知部40係於網溫度測定用熱電偶32之測定值成為設定值以上之情況，發佈警報。另外，對於主控制器39內係設置有通電遮斷部41，此通電遮斷部41係於網溫度測定用熱電偶32之測定值成為設定值以上之情況，將遮斷對於平面狀加熱器22之通電的信號，對於加熱控制單元38而言加以輸出。

恆溫器34係連接於加熱控制單元38。對於恆溫器34之內部係設置有電性接點(未圖示)，此電性接點係於不鏽鋼製網24之溫度的測定值成為設定值以上之情況，成為關閉。經由恆溫器34的電性接點成為關閉之時，遮斷對於平面狀加熱器22之通電。

接著，依據圖7說明含有加熱單元15之風扇過濾單元8之電性連接構造。然而，省略在圖6說明之部分。

對於風扇單元13係設置有控制螺旋槳風扇17之旋轉的風扇控制器42，而風扇控制器42係連接於主控制器39。從風扇控制器42對於主控制器39而言係輸出通知螺旋 槳風扇17之旋轉狀態之信號。例如，於螺旋槳風扇17之旋轉狀態為異常狀態之情況，輸出信號。從主控制器39對於風扇控制器42而言係輸出控制經由螺旋槳風扇17之風量之信號。例如，於遮斷對於平面狀加熱器22之通電的情況，從其遮斷一定時間經過後或網溫度測定用熱電偶32之測定值降低至設定值以下之後，輸出停止螺旋槳風扇17之旋轉的信號。

在如此之構成中，在基板處理裝置1之處理箱2內，對於保持台4上之基板W而言，從供給噴嘴6供給處理液，進行基板處理。對於此處理箱2內，供給經由風扇過濾單元8而加以清淨化所加熱之空氣。因此，處理箱2內則成為未有塵埃之環境，防止空氣中的塵埃成為原因之基板處理時的不良產生。更且，經由加熱供給至處理箱2內之空氣之時，促進在處理箱2內之基板處理，生產性則提昇。

接著，對於供給至處理箱2內之空氣之加熱加以說明。對於基板處理時係通電於平面狀加熱器22與螺旋槳風扇17。經由通電於平面狀加熱器22而平面狀加熱器22產生發熱，此熱係熱傳導於以接觸於平面狀加熱器22所配置之熱傳導性高的鋁加以形成之鋁製網23，平面狀加熱器22與鋁製網23的溫度則上升。另一方面，經由對於螺旋槳風扇17之通電而螺旋槳風扇17產生旋轉，伴隨著螺旋槳風扇17的旋轉而空氣則朝向平面狀加熱器22與鋁製網23加以送風。所送風的空氣係在通過平面狀加熱器22與 鋁製網23時加以加熱，所加熱的空氣係通過過濾器19而供給至處理箱2內。

在此，平面狀加熱器22係將線狀的套式加熱器26圍繞成漩渦狀而形成為平面狀，於此平面狀加熱器22接觸有熱傳導性高的鋁製網23，鋁製網23則在加熱單元15內之全域均一地加以加熱。因此，通過加熱單元15之空氣則經由來自鋁製網23的熱而在加熱單元15內之範圍全域略均一地加以加熱，通過過濾器19而供給至處理箱2內之空氣的溫度則在處理箱2內之各部成為均一。經由此，可使在處理箱2內之基板處理性能安定，可使所處理之基板W的品質安定化者。

然而，平面狀加熱器22的熱係對於熱傳導性高的鋁製網23而言良好地進行傳導之故，在於平面狀加熱器22發熱狀態有不勻之情況，鋁製網23係均一地加以加熱之故，可均一地加熱通過加熱單元15之空氣。

另外，在加熱單元15中，平面狀加熱器22與一對之鋁製網23成為高溫，通過加熱單元15之空氣係成為經由平面狀加熱器22與一對之鋁製網23加以3次加熱者。因此，在抑制平面狀加熱器22之發熱溫度之情況，亦可促進通過加熱單元15之空氣的加熱，可降低對於平面狀加熱器22之通電量而謀求省能源之同時，可效率佳地加熱通過加熱單元15之空氣。

另一方面，對於夾持平面狀加熱器22與一對之鋁製網23之位置係配置有不鏽鋼製網24，此不鏽鋼製網24係 以熱傳導率為低之鋁的約1/10的不鏽鋼加以形成。因此，在接觸有鋁製網23與不鏽鋼製網24之情況，亦抑制從鋁製網23至不鏽鋼製網24的熱傳導。更且，對於夾持一對之不鏽鋼製網24的位置係配置有玻璃纖維製網25，此玻璃纖維製網25係以熱傳導率為低之鋁的約1/200的玻璃纖維加以形成。隨之，經由設置此等之不鏽鋼製網24與玻璃纖維製網25之時，可抑制在平面狀加熱器22產生的熱則熱傳達至配置於加熱單元15之周圍之構件的過濾器19者，可防止經由加熱過濾器19而產生變形等而劣化，塵埃之捕集性能下降之事態產生。

然而，加熱單元15係為設置有將線狀的套式加熱器26圍繞成漩渦狀之平面狀加熱器22，和網狀之構件的鋁製網23，不鏽鋼製網24，玻璃纖維製網25之構造之故，可縮小抑制對於經由螺旋槳風扇17所送風之空氣而言之阻抗，而經由螺旋槳風扇17所送風之空氣係平順地通過在加熱單元15內。因此，可防止所送風的空氣則局部滯留在加熱單元15內，經由其滯留而加熱單元15內之空氣部分變高溫之事態，或處理箱2內之溫度局部變高而在處理箱2內之基板處理性能變為不安定之事態的產生。

接著，對於在加熱單元15之溫度控制加以說明。對於平面狀加熱器22之表面係安裝有測定此平面狀加熱器22之溫度的加熱溫度測定用熱電偶31，此加熱溫度測定用熱電偶31係連接於加熱控制單元38。並且，加熱控制單元38係加熱溫度測定用熱電偶31之測定值呈成為設定 值地控制對於平面狀加熱器22之通電。因此，將平面狀加熱器22的溫度維持為設定值，而可將供給至處理箱2內之空氣的溫度維持為設定值。

另外，對於鋁製網23的表面係安裝有測定此鋁製網23之溫度之網溫度測定用熱電偶32。此網溫度測定用熱電偶32係連接於主控制器39。並且，對於此主控制器39，係於網溫度測定用熱電偶32之測定值成為設定值以上之情況，連接有發佈警報之通知部40。因此，基板處理作業之作業員係經由從通知部40所發佈之警報而知道鋁製網23的溫度上升至設定值以上之情況，而可尋求必要之對策。更且，對於網溫度測定用熱電偶32之測定值成為設定值以上之情況，係從主控制器39的通電遮斷部41對於加熱控制單元38而言，輸出遮斷對於平面狀加熱器22之通電的信號，遮斷對於平面狀加熱器22之通電。由此，可防止鋁製網23之溫度保持上升至設定值以上之狀態，繼續基板處理作業之事態的發生。

另外，設置有測定不鏽鋼製網24之溫度的恆溫器34，於不鏽鋼製網24的溫度成為設定值以上之情況，恆溫器34內之電性接點則關閉，而經由電性接點成為關閉之時，遮斷對於平面狀加熱器22之通電。由此，可防止不鏽鋼製網24之溫度保持上升至設定值以上之狀態，繼續基板處理作業之事態的發生。特別是，經由設置有此恆溫器34之時，柔和地進行動作之機器產生事故之故而未柔和地進行對於平面狀加熱器22之通電遮斷之情況，對於 不鏽鋼製網24之溫度上升至設定值以上之情況，係亦可自動地遮斷對於平面狀加熱器22之通電，而可提高基板處理裝置1之安全性。

然而，在第1實施形態中，使平面狀加熱器22與鋁製網23接觸而配置之情況，以舉例說明過，但未必使此等接觸，而使其平行地對向加以接近配置亦可。經由未使平面狀加熱器22與鋁製網23接觸而平行地對向加以接近配置之時，熱傳導性高之鋁製網23係經由來自平面狀加熱器22的熱加以充分加熱。

另外，在第1實施形態中，作為第1網狀構件，第2網狀構件，舉例說明過經由編織線狀構件而形成之鋁製網23及不鏽鋼製網24，但在此網狀構件不限於此等，而於平板狀的構件打穿複數的孔之構成亦包含於網狀構件。

另外，在第1實施形態中，舉例說明過於平面狀加熱器22的兩面側配置鋁製網23與不鏽鋼製網24與玻璃纖維製網25之情況，但此等網23~25係在平面狀加熱器22之單面側，僅對向於過濾單元14的側加以配置亦可。

另外，在第1實施形態中，舉例說明過作為第2網狀體而設置不鏽鋼製網24與玻璃纖維製網25之情況，但僅設置不鏽鋼製網24與玻璃纖維製網25之任一方亦可。

另外，在第1實施形態中，於網溫度測定用熱電偶32之測定值成為設定值以上之情況，舉例說明過設置發佈警報之通知部40，和將遮斷對於平面狀加熱器22之通電之信號對於加熱控制單元38輸出之通電遮斷部41之情況， 但僅設置通知部40與通電遮斷部41之任一方亦可。

另外，在第1實施形態中，分開加熱控制單元38與主控制器39，但亦可為一體的控制器。

另外，網溫度測定用熱電偶32係測定鋁製網23之溫度，但安裝於與套式加熱器26之加熱溫度測定用熱電偶31不同處之表面，測定套式加熱器26之表面溫度亦可。

關於恆溫器34之設置位置係在第1實施形態中，舉例說明過設置於平面狀加熱器22之外周面的情況，但對於此恆溫器34之設置位置係無特別限制，例如，設置於平面狀加熱器22之中央部側亦可。恆溫器34係如具有於設置其恆溫器34處之溫度上升至設定值以上之情況，遮斷對於平面狀加熱器22之通電的機能即可，可任意設定對應於恆溫器34之設置位置而遮斷通電之溫度。另外，使用複數之恆溫器而檢測複數處之溫度上升情況係作為串聯配置配線等，哪一個恆溫器到達至通電遮斷溫度之情況，呈可遮斷對於平面狀加熱器22之通電之電路構成即可。

(第2實施形態)

依據圖8說明有關本發明之第2實施形態之風扇過濾單元51。然而，在第2實施形態及以下說明之其他實施形態中，對於與先前說明之實施形態的構成要素相同之構成要素係附上相同符號，省略重複之說明。

有關第2實施形態之風扇過濾單元51之基本的構成 係與圖2及圖7所示之風扇過濾單元8相同，具備風扇單元52與過濾單元14與加熱單元15。

第2實施形態之風扇單元52與第1實施形態之風扇單元13之不同點係所使用的風扇取代螺旋槳風扇17而為多葉片風扇53的點，和於沿著經由多葉片風扇53所送風的空氣的送風方向之加熱單元15之上流側，作為均一化通過加熱單元15的空氣之流速與風向之整流體而設置整流板54的點。整流板54係經由於平板55打開複數的孔56而加以形成。

在如此之構成，經由驅動多葉片風扇53而殼體16外的空氣則吸入至多葉片風扇53內，所吸入的空氣則從形成於多葉片風扇53之外周部的開口部57吹出。從開口部57吹出的空氣係一旦儲留於以多葉片風扇53之殼體16與整流板54所隔開之空間內，壓力上升，通過孔56而吹出於加熱單元15側。從孔56吹出的空氣係將流速與風向加以均一化，通過加熱單元15。

由此，通過加熱單元15的空氣則均一地加以加熱，及過濾器19之通過狀態亦成為均一。並且，供給通過過濾器19之空氣之處理箱2內的溫度則在處理箱2內的各部成為均一，可使在處理箱2內的基板處理性能安定，進而可使所處理之基板W的品質安定化。

(第3實施形態)

依據圖9說明有關本發明之第3實施形態之風扇過濾 單元61。

有關第3實施形態之風扇過濾單元61之基本的構成係與圖8所示之風扇過濾單元51相同，具備風扇單元62與過濾單元14與加熱單元15。風扇單元62與風扇單元52之不同處係對於在風扇單元52中作為整流體而設置整流板54之情況而言，在風扇單元62中作為整流體而設置螺旋槳風扇63。螺旋槳風扇63係在多葉片風扇53中心側配置於多葉片風扇53與加熱單元15之間，螺旋槳風扇63與多葉片風扇53係共有馬達64。

在如此之構成中，經由驅動多葉片風扇53而送風至加熱單元15側的空氣係在多葉片風扇53之中心側變少。經由流速變小之時，由加熱單元15所加熱之空氣則停滯在多葉片風扇53之下部，或有從加熱單元15上升之情況。因此，經由於多葉片風扇53之中心側設置螺旋槳風扇63之時，將在多葉片風扇53之中心側所加熱的空氣送風至加熱單元15側，或與未加熱周邊部之空氣攪拌。

由此，均一地加熱通過加熱單元15之空氣，供給通過過濾器19之空氣之處理箱2內的溫度則在處理箱2內的各部成為均一，可使在處理箱2內的基板處理性能安定，進而可使所處理之基板W的品質安定化。

然而，作為整流體係設置在第2實施形態說明之整流板54，和在第3實施形態說明過之螺旋槳風扇63之雙方亦可。

(第4實施形態)

依據圖10說明有關本發明之第4實施形態之加熱單元71。加熱單元71之基本構造係與圖6所示之加熱單元15相同。加熱單元71與加熱單元15之不同處係對於加熱單元15具有將套式加熱器26圍繞成漩渦狀而形成為平面狀之平面狀加熱器22而言，加熱單元71係將套式加熱器26圍繞成往返折返狀而形成為平面狀之平面狀加熱器72。

平面狀加熱器72係在管材27(參照圖5)之鄰接加以位置之部分彼此的間隔呈成為略一定地加以圍繞。

在如此之構成中，平面狀加熱器72係將線狀之套式加熱器26圍繞成往返折返狀而形成為平面狀。因此，通過加熱器單元71之空氣則在加熱器單元71內之範圍全體略均一地加以加熱，可將通過過濾器19(參照圖7)而供給至處理箱2(參照圖1)內之空氣溫度，在處理箱2內作為均一。經由此，可使在處理箱2內之基板處理性能安定，可使所處理之基板W的品質安定化者。

(其他之實施形態)

對於本發明之其他實施形態，依據圖11乃至圖13加以說明。

圖11係將套式加熱器26(參照圖5)圍繞成漩渦狀而形成為平面狀之平面狀加熱器81之一形態，圖12係將套式加熱器26圍繞成往返折返狀而形成為平面狀之平面 狀加熱器82之一形態。在圖11所示之平面狀加熱器81及圖12所示之平面狀加熱器82中，將套式加熱器26折返成二個之狀態進行圍繞，接近一對之通電導引線30加以位置之故，可簡單化通電導引線30之配線處理。圖13係作為線狀的發熱體而使用帶狀加熱器83，經由將帶狀加熱器83圍繞成折返狀之時而形成平面狀加熱器84。

如根據以上說明之至少一個之實施形態，因加熱單元具有將線狀的發熱體圍繞成平面狀所形成之平面狀加熱器，和以熱傳導性高的材料形成為網狀，使其接觸於平面狀加熱器之至少單面側加以配置之第1網狀體，和以較第1網狀體為熱傳導性低之材料形成為網狀，使其對向於對向在第1網狀體之平面狀加熱器的面之相反側的面加以配置之第2網狀體之故，可經由平面狀加熱器與第1網狀體，均一及效率佳地加熱通過加熱單元內之空氣。更且，可經由第2網狀體抑制來自加熱單元的熱而熱傳達至配置於加熱單元周圍之構件，例如過濾單元內之過濾器者，可防止配置於加熱單元周圍之構件受到來自加熱單元的熱之影響而產生不良狀況者。

以上，雖說明過本發明之幾個實施形態，但此等實施形態係作為例而提示之構成，未意圖限定發明之範圍。此等新穎的實施形態係可以其他種種形態而實施，在不脫離發明之內容，可進行種種省略，置換，變更。此等實施形態或其變形係含於發明之範圍或內容同時，含於記載於申請專利範圍之發明與其均等之範圍。

1‧‧‧基板處理裝置

2‧‧‧處理箱

3‧‧‧杯體

4‧‧‧保持台

5‧‧‧旋轉機構

6‧‧‧供給噴嘴

7‧‧‧移動機構

8，51，61‧‧‧風扇過濾單元

9，10‧‧‧馬達

11，12‧‧‧配管

13，52，62‧‧‧風扇單元

14‧‧‧過濾單元

15‧‧‧加熱單元

16‧‧‧殼體

17，63‧‧‧螺旋槳風扇

18‧‧‧過濾器保持框

19‧‧‧過濾器

20‧‧‧加熱器框

21‧‧‧加熱器框蓋

22，72，82，84‧‧‧平面狀加熱器

23‧‧‧鋁製網

24‧‧‧不鏽鋼製網

25‧‧‧玻璃纖維製網

26‧‧‧套式加熱器

27‧‧‧管材

28‧‧‧發熱線

29‧‧‧絕緣物

30‧‧‧導引線

31‧‧‧加熱溫度測定用熱電偶

32‧‧‧網溫度測定用熱電偶

33‧‧‧缺口部

34‧‧‧恆溫器

34a‧‧‧感熱面

36‧‧‧固定螺絲

37‧‧‧螺帽

38‧‧‧加熱控制單元

39‧‧‧主控制器

40‧‧‧通知部

41‧‧‧通電遮斷部

53‧‧‧多葉片風扇

54‧‧‧整流板

55‧‧‧平板

56‧‧‧孔

57‧‧‧開口部

83‧‧‧帶狀加熱器

圖1係顯示關於本發明之第1實施形態之基板處理裝置之概略構成的模式圖。

圖2係顯示風扇過濾單元之分解斜視圖。

圖3係顯示加熱單元之分解斜視圖。

圖4係顯示加熱單元之一部分的剖面圖。

圖5(a)係顯示套式加熱器之縱剖側面圖，(b)係顯示套式加熱器之縱剖正面圖。

圖6係顯示加熱單元之電性連接構造的模式圖。

圖7係顯示風扇加熱單元之電性連接構造的模式圖。

圖8係顯示有關本發明之第2實施形態之風扇過濾單元之剖面圖。

圖9係顯示有關本發明之第3實施形態之風扇過濾單元之剖面圖。

圖10係顯示有關本發明之第4實施形態之平面狀加熱器的平面圖。

圖11係顯示有關本發明之其他實施形態之平面狀加熱器之圍繞構成之平面圖。

圖12係顯示有關本發明之其他實施形態之平面狀加熱器之圍繞構成之平面圖。

圖13係顯示使用有關本發明之其他實施形態之帶狀加熱器之平面狀加熱器之平面圖。

15‧‧‧加熱單元

21‧‧‧加熱器框蓋

25‧‧‧玻璃纖維製網

24‧‧‧不鏽鋼製網

23‧‧‧鋁製網

22‧‧‧平面狀加熱器

26‧‧‧套式加熱器

33‧‧‧缺口部

20‧‧‧加熱器框

31‧‧‧加熱溫度測定用熱電偶

30‧‧‧導引線

32‧‧‧網溫度測定用熱電偶

34‧‧‧恆溫器

Claims (9)

1. 一種加熱單元，其特徵為具備：將線狀之發熱體繞成平面狀加以形成之平面狀加熱器；和以熱傳導性高的材料形成為網狀，於前述平面狀加熱器之至少單面側，對向於此平面狀加熱器加以配置之第1網狀體；和以較前述第1網狀體為熱傳導性低的材料加以形成為網狀，配置於對向於在前述第1網狀體之前述平面狀加熱器的面之相反側的同時，接觸於前述第1網狀體之第2網狀體者。
2. 如申請專利範圍第1項記載之加熱單元，其中，前述第1網狀體係將鋁作為材料所形成之鋁製網，前述第2網狀體係由將不鏽鋼作為材料所形成，配置於對向於在前述鋁製網之前述平面狀加熱器的面之相反側之不鏽鋼製網，和將玻璃纖維作為材料所形成，配置於對向於在前述不鏽鋼製網之前述鋁製網的面之相反側之玻璃纖維製網所成者。
3. 如申請專利範圍第1項記載之加熱單元，其中，具備：測定前述平面狀加熱器之溫度的第1溫度測定部；和前述第1溫度測定部之測定值呈成為設定值地控制對於前述平面狀加熱器之通電的溫度控制部者。
4. 如申請專利範圍第1項記載之加熱單元，其中，具備：測定前述第1網狀體之溫度的第2溫度測定部；和前述第2溫度測定部之測定值成為設定值以上之情 況，通知前述第2溫度測定部之測定值成為設定值以上之情況的通知部與遮斷對於前述平面狀加熱器之通電之通電遮斷部之至少一方者。
5. 如申請專利範圍第1項記載之加熱單元，其中，具備於測定前述第2網狀體之溫度，測定值成為設定值以上之情況，遮斷對於前述平面狀加熱器之通電之恆溫器者。
6. 一種風扇過濾單元，其特徵為具備：具有將空氣送風之風扇的風扇單元；和具有捕集被送風之空氣中的塵埃之過濾器的過濾單元；和使設置有第1網狀體與第2網狀體側的面對向於前述過濾單元而配置於前述風扇單元與前述過濾單元之間的記載於申請專利範圍第1項乃至第5項任一項記載之加熱單元者。
7. 如申請專利範圍第6項記載之風扇過濾單元，其中，於沿著經由前述風扇所送風之空氣的送風方向的前述加熱單元之上流側，具備將通過前述加熱單元之空氣之流速與風向作為均一化之整流體者。
8. 一種基板處理裝置，其特徵為具備：於內部設置有為了基板處理之機構的框體；和安裝於此框體，將空氣供給至此框體內之申請專利範圍第6項記載之風扇過濾單元者。
9. 如申請專利範圍第8項記載之基板處理裝置，其中，前述風扇過濾單元係具備： 於沿著經由前述風扇所送風之空氣的送風方向的前述加熱單元之上流側，將通過前述加熱單元之空氣之流速與風向作為均一化之整流體者。