KR101369289B1 - 유리 기판의 열처리장치용 지지부재 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 유리기판의 열처리 장치용 지지부재는 유리기판과 대면하는 상부베이스부재와, 유리기판을 지지하기 위한 기판지지부재와, 상기 기판지지부재에 지지된 유리기판을 가열하기 위한 기판가열부재와, 상기 상부베이스부재와 대면하는 하부베이스부재와를 포함하며, 상기 상부베이스부재와 하부베이스부재는 분할가능하게 구성되며, 상기 기판가열부재는 상기 상부베이스부재 상으로 돌출되도록 설치되되 가로와 세로 방향으로 복수개 배치된다.
본 발명에 의해, 유리 기판의 각 부분을 고루 가열하고 신속히 냉각할 수 있다.
또한, 유리기판의 지지부재 세척이 용이하고 유지 보수 작업을 단순화할 수 있으며, 기판가열을 위한 램프에 전원을 공급하기 위한 각종 커넥터 및 전선을 열로부터 보호할 수 있다.

Description

유리 기판의 열처리장치용 지지부재{SUPPORTING MEMBER OF HEAT TREATMENT APPARATUS FOR GLASS SUBSTRATE}
본 발명은 유리 기판을 열처리하기 위한 열처리장치에 이용되는 지지부재에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 지지부재의 세척 및 유지보수가 용이하면서도 커넥터와 각종 배선을 열로부터 보호할 수 있도록 구성되는 유리기판의 열처리장치용 지지부재에 관한 것이다.
일반적으로 열처리장치는, 고속열처리(Rapid Thermal Anealing), 고속 열세정(Rapid Thermal Cleaning), 고속 열화학 증착(Rapid Thermal Chemical Vap. or Deposition)등의 열처리를 위한 장비이다.
유리기판의 열처리 공정 중 하나인 어닐링 공정은 유리기판 상에 증착된 비정질 실리콘을 폴리실리콘으로 결정화시키는 공정이다.
상기 열처리 공정을 위한 장치는, 유리기판을 지지하기 위한 기판지지부재와 상기 유리기판을 향해 복사열을 조사하는 다수의 히터를 포함한다.
이러한 열처리장치는 유리기판의 승온 및 감온이 되도록 짧은 시간에 넓은 온도범위에서 이루어지도록 구성되는 것이 바람직하며, 유리기판의 각 부분에서의 고른 가열과 정밀한 온도제어가 매우 중요한 문제가 된다.
상기와 같은 유리기판의 승온 및 감온과 정밀한 온도제어에 앞서 필수적으로 선행되어야 하는 것은 바로 유리기판을 지지하면서도 열을 균일하게 가열하기 위한 기판지지부재의 설계이다.
또한, 유리기판 전체에 열을 균일하게 가열하면서도 열처리 공정이 종료된 후에는 신속하게 기판을 냉각시킬 수 있어야 하며, 전체 열처리 장치의 구성이 단순하며, 유지 보수가 용이하도록 설계되는 것이 바람직하다.
본 발명의 목적은, 유리 기판의 각 부분을 고루 가열하고 신속히 냉각할 수 있도록 구성되는 유리기판의 가열장치용 지지부재를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 유리기판의 지지부재 세척이 용이하고 유지 보수 작업을 단순화할 수 있는 유리기판의 가열장치용 지지부재를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 기판가열을 위한 램프에 전원을 공급하기 위한 각종 커넥터 및 전선을 열로부터 보호할 수 있도록 구성되는 유리기판의 가열장치용 지지부재를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유리기판의 열처리 장치용 지지부재는 유리기판과 대면하는 상부베이스부재와, 유리기판을 지지하기 위한 기판지지부재와, 상기 기판지지부재에 지지된 유리기판을 가열하기 위한 기판가열부재와, 상기 상부베이스부재와 대면하는 하부베이스부재와를 포함하며, 상기 상부베이스부재와 하부베이스부재는 분할가능하게 구성되며, 상기 기판가열부재는 상기 상부베이스부재 상으로 돌출되도록 설치되되 가로와 세로 방향으로 복수개 배치된다.
바람직하게는, 냉각수 유입 및 유출을 위한 유입부와 유출부를 추가적으로 포함한다.
또한, 상기 하부베이스부재에 형성되는 냉각수 유로부를 추가적으로 포함할 수 있다.
여기서, 상기 하부베이스부재에는 상기 기판가열부재에 전원을 공급하기 위한 커넥터가 설치되며, 상기 기판가열부재는 "ㄷ" 형 램프로 구성될 수 있다.
한편, 상기 기판지지부재는 상기 하부베이스부재에 고정되되 상기 상부베이스부재를 관통하여 배치될 수 있다.
바람직하게는, 상기 기판지지부재에 의해 지지되는 유리기판의 온도를 감지하기 위한 온도감지부재를 추가적으로 포함한다.
본 발명에 의해, 유리 기판의 각 부분을 고루 가열하고 신속히 냉각할 수 있다.
또한, 유리기판의 지지부재 세척이 용이하고 유지 보수 작업을 단순화할 수 있다.
또한, 기판가열을 위한 램프에 전원을 공급하기 위한 각종 커넥터 및 전선을 열로부터 보호할 수 있다.
도 1 은 본 발명에 따른 유리기판의 열처리장치용 지지부재의 사시도이며,
도 2 는 본 발명에 따른 유리기판의 열처리장치용 지지부재에서 상부베이스부재가 제거된 상태를 도시하는 사시도이며,
도 3 은 본 발명에 따른 유리기판의 열처리장치용 지지부재의 일측부를 도시하는 부분사시도이며,
도 4 는 본 발명에 따른 유리기판의 열처리장치용 지지부재의 이면을 도시하는 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세히 설명하기로 한다.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로 한정 해석되어서는 아니되며, 발명자는 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절히 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 존재할 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1 은 본 발명에 따른 유리기판의 열처리장치용 지지부재의 사시도이며, 도 2 는 본 발명에 따른 유리기판의 열처리장치용 지지부재에서 상부베이스부재가 제거된 상태를 도시하는 사시도이며, 도 3 은 본 발명에 따른 유리기판의 열처리장치용 지지부재의 일측부를 도시하는 부분사시도이며, 도 4 는 본 발명에 따른 유리기판의 열처리장치용 지지부재의 이면을 도시하는 사시도이다.
도 1 내지 4 를 참조하면, 본 발명에 따른 유리기판의 열처리 장치용 지지부재는 유리기판과 대면하는 상부베이스부재(10)와, 유리기판(미도시)을 지지하기 위한 기판지지부재(20)와, 상기 기판지지부재(20)에 지지된 유리기판을 가열하기 위한 기판가열부재(30)와, 상기 상부베이스부재(10)와 대면하는 하부베이스부재(40)를 포함하며, 상기 상부베이스부재(10)와 하부베이스부재(40)는 분할가능하게 구성되며, 상기 기판가열부재(30)는 상기 상부베이스부재(10) 상으로 돌출되도록 설치되되 가로와 세로 방향으로 복수개 배치된다.
상기 상부베이스부재(10)는 본 발명에 따른 유리기판의 열처리 장치용 지지부재의 상면을 이루는 구성으로서, 상기 상부베이스부재(10) 상으로 상기 기판가열부재(30) 및 기판지지부재(20)가 돌출되어 설치된다.
상기 상부베이스부재(10)는 복수 개의 사각 판형으로 구성되어, 필요 시 분할 해체가 용이하도록 구성되어, 상기 상부베이스부재(10)에 유리기판의 공정 처리에 따른 여러 물질 부착 시에 용이하게 해체하여 세척하거나 파손될 경우 용이하게 교체가능하도록 구성된다.
상기 기판지지부재(20)는 상기 하부베이스부재(40)에 설치되어 상기 상부베이스부재(10)를 관통하여 돌출되도록 설치되며, 상기 기판지지부재(20) 상에 공정 처리 대상인 유리기판이 지지된다.
상기 기판가열부재(30)는 예를 들어 "ㄷ" 형상의 램프로 구성되어, 상기 하부베이스부재(40)에 마련되는 커넥터에 접속된 상태로 상기 상부베이스부재(10)로부터 돌출되도록 설치된다.
즉, 상기 램프를 접속하기 위한 커넥터와 각종의 전선들은 상기 하부베이스부재(40) 상에 설치된 상태에서 상기 "ㄷ" 형상 램프의 단부를 상기 상부베이스부재(10)에 마련된 관통개구를 통과시켜 상기 커넥터에 접속되도록 결합시킨다.
그리하여, 유리기판을 가열하기 위한 상기 램프(30)와 각종 전선들 사이에 상기 상부베이스부재(10)가 배치되도록 함으로써, 상기 기판가열부재(30)에서 발생되는 열로부터 상기 커넥터 및 각종 전선들을 보호할 수 있다.
상기와 같이 각종 전선 및 커넥터들을 열로부터 보호하기 위해 상기 상부베이스부재(10)는 세라믹재질로 구성될 수 있다.
상기 하부베이스부재(40)는 상기 상부베이스부재(10)와 대면하여 배치되며, 상기 상부베이스부재(10)와 하부베이스부재(40)가 이루는 공간의 측면을 폐쇄하는 측면패널(60)에는 냉각수의 유입 및 유출을 위한 냉각수유입부(42)와 냉각수유출부(44)가 설치된다.
또한, 상기 측면패널(60)에는 세라믹 재질의 커넥터(70)가 설치되어 외부 전원으로부터 상기 기판가열부재(30) 등에 전력을 공급하도록 구성된다.
또한, 상기 하부베이스부재(40)에는 냉각수의 유동을 위한 냉각수유로부(50)가 설치된다.
그리하여, 상기 상부베이스부재(10) 상으로 돌출되도록 가로와 세로 방향으로 복수개 설치되는 기판가열부재(30)들에 의해 유리기판이 고루 가열되면서도, 상기 냉각수유입부(42)와 냉각수유출부(44) 및 냉각수유로부(50)를 통한 냉각수의 유동에 의해 유리기판의 신속한 냉각을 이룰 수 있다.
한편, 상기 하부베이스부재(40)에는 유리기판의 온도를 감지하기 위한 온도감지부재(80)가 상기 상부베이스부재(10)를 관통하여 돌출되도록 설치된다.
그리하여, 상기 온도감지부재(80)를 통해 가열되는 유리기판의 온도를 감지할 수 있도록 구성된다.
이상, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명의 기술적 사상은 이러한 것에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해, 본 발명의 기술적 사상과 하기 될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 실시가 가능할 것이다.
10: 상부베이스부재 20: 기판지지부재
30: 기판가열부재 40: 하부베이스부재
50: 냉각수유로부 60: 측면패널

Claims (6)

  1. 유리기판과 대면하는 상부베이스부재와;
    유리기판을 지지하기 위한 기판지지부재와;
    상기 기판지지부재에 지지된 유리기판을 가열하기 위한 기판가열부재와;
    상기 상부베이스부재와 대면하는 하부베이스부재와;
    상기 기판지지부재에 의해 지지되는 유리기판의 온도를 감지하기 위한 온도감지부재를 포함하며,
    상기 상부베이스부재와 하부베이스부재는 분할가능하게 구성되고,
    상기 기판가열부재는 상기 상부베이스부재 상으로 돌출되도록 설치되되 가로와 세로 방향으로 복수개 배치되고,
    상기 상부베이스부재는 복수 개의 사각 판형으로 구성되어 분할이 가능하도록 구성되며,
    상기 상부베이스부재는 세라믹재질로 형성되고,
    상기 상부베이스부재와 하부베이스부재가 이루는 공간의 측면을 폐쇄하는 측면패널에는 세라믹 재질의 커넥터와 냉각수 유입 및 유출을 위한 유입부와 유출부가 설치되며,
    상기 하부베이스부재에는 냉각수 유로부가 형성되고,
    상기 하부베이스부재에는 상기 기판가열부재에 전원을 공급하기 위한 커넥터가 설치되며, 상기 기판가열부재는 "ㄷ" 형 램프로 구성되어 상기 상부베이스부재로부터 돌출되도록 설치되며,
    상기 기판지지부재는 상기 하부베이스부재에 고정되되 상기 상부베이스부재를 관통하여 배치되고,
    상기 온도감지부재는 상기 상부베이스부재를 관통하여 돌출되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 유리기판의 열처리 장치용 지지부재.
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