TWI549133B - Semiconductor memory device - Google Patents

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TWI549133B
TWI549133B TW103137070A TW103137070A TWI549133B TW I549133 B TWI549133 B TW I549133B TW 103137070 A TW103137070 A TW 103137070A TW 103137070 A TW103137070 A TW 103137070A TW I549133 B TWI549133 B TW I549133B
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transistor
inverter
data latches
memory device
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Inventor
Hiromitsu Komai
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Toshiba Kk
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Description

半導體記憶裝置
本實施形態係關於半導體記憶裝置。
作為半導體記憶裝置,已知有例如NAND型快閃記憶體等。
本發明之實施形態係提供電路構成經改良之半導體記憶裝置。
根據實施形態之半導體記憶裝置,包含複數個資料閂鎖、及於上述複數個資料閂鎖共有之逆變器。上述逆變器係插入至夾持上述複數個資料閂鎖之相輔匯流排之間。
1‧‧‧NAND型快閃記憶體(半導體記憶裝置)
10‧‧‧記憶體單元陣列
11‧‧‧列解碼器
12‧‧‧感測模組
13‧‧‧行解碼器
14‧‧‧磁蕊驅動器
15‧‧‧寄存器
16‧‧‧輸入輸出電路
17‧‧‧電壓產生電路
18‧‧‧控制電路
20~22‧‧‧電晶體
31‧‧‧電晶體
40~51‧‧‧電晶體
52‧‧‧電容器元件
600‧‧‧電晶體
n600‧‧‧電晶體
60’0‧‧‧電晶體
n60’0‧‧‧電晶體
60’1‧‧‧電晶體
n60’1‧‧‧電晶體
60m-1‧‧‧電晶體
n60m-1‧‧‧電晶體
610‧‧‧電晶體
n610‧‧‧電晶體
61’0‧‧‧電晶體
n61’0‧‧‧電晶體
61’1‧‧‧電晶體
n61’1‧‧‧電晶體
61m-1‧‧‧電晶體
n61m-1‧‧‧電晶體
620‧‧‧電晶體
n620‧‧‧電晶體
62’0‧‧‧電晶體
n62’0‧‧‧電晶體
62’1‧‧‧電晶體
n62’1‧‧‧電晶體
62m-1‧‧‧電晶體
n62m-1‧‧‧電晶體
63‧‧‧電晶體
63’0‧‧‧電晶體
n63’0‧‧‧電晶體
63’1‧‧‧電晶體
n63’1‧‧‧電晶體
64‧‧‧電晶體
APC‧‧‧控制信號
BA、BB、BBb‧‧‧匯流排
BDC‧‧‧控制信號
BL‧‧‧位元線
BLC‧‧‧控制信號
BLQ‧‧‧控制信號
BLS‧‧‧控制信號
BLX‧‧‧控制信號
BPC‧‧‧控制信號
BSW0‧‧‧控制信號
BSW1‧‧‧控制信號
CLK‧‧‧時脈信號
DL‧‧‧節點(第1節點)
nDL‧‧‧節點(第2節點)
DL0‧‧‧節點
nDL0‧‧‧節點
DL’0‧‧‧節點
nDL’0‧‧‧節點
DL1‧‧‧節點
nDL1‧‧‧節點
DL’1‧‧‧節點
nDL’1‧‧‧節點
DLm-1‧‧‧節點
nDLm-1‧‧‧節點
GND‧‧‧接地電位
HLL‧‧‧控制信號
IN‧‧‧逆變器
LAT‧‧‧資料閂鎖
LAT0~LATm-1‧‧‧資料閂鎖
LAT’0、LAT’1‧‧‧資料閂鎖
LSL‧‧‧控制信號
LTC‧‧‧閂鎖電路
MT‧‧‧記憶體單元電晶體
PA‧‧‧頁面緩衝器
SA‧‧‧感測電路
SCOM‧‧‧節點
SEN‧‧‧節點
SG‧‧‧選擇閘極線
SRCGND‧‧‧節點
SSRC‧‧‧節點
ST‧‧‧選擇電晶體
STB‧‧‧控制信號
SU‧‧‧感測單元
SU0~SUn-1‧‧‧感測單元
SW0‧‧‧控制信號
nSW0‧‧‧控制信號
SWm-1‧‧‧控制信號
nSWm-1‧‧‧控制信號
S11~S15n‧‧‧步驟
S15y~S17‧‧‧步驟
VDD‧‧‧電源電壓
WL‧‧‧字元線
XXL‧‧‧控制信號
圖1係顯示一實施形態之半導體記憶裝置之方塊構成之例。
圖2係顯示一實施形態之感測模組之基本構成之例。
圖3係顯示一實施形態之感測單元之電路構成之例。
圖4係顯示比較例之自資料閂鎖輸出資料之動作。
圖5係顯示比較例之對資料閂鎖輸入資料之動作。
圖6係顯示一實施形態之自資料閂鎖輸出資料之動作流程。
圖7係顯示一實施形態之自資料閂鎖輸出資料之動作。
圖8係顯示一實施形態之對資料閂鎖輸入資料之動作流程。
圖9係顯示一實施形態之對資料閂鎖輸入資料之動作。
NAND型快閃記憶體等半導體記憶裝置具備例如資料閂鎖。資料 閂鎖係暫時保持關於記憶體單元之資料。於各個資料閂鎖中,設置有例如確保資料閂鎖動作容限之電晶體等。
於半導體記憶裝置中,設置複數個資料閂鎖,對資料閂鎖之晶片面積帶來之影響較大。
根據以下所述之實施形態,可一面確保動作容限,一面削減資料閂鎖所佔之面積。即,實施形態之半導體裝置具備複數個資料閂鎖、與於複數個資料閂鎖共有之逆變器。逆變器係插入至夾持複數個資料閂鎖之相輔匯流排之間。
針對該實施形態,參照圖式於以下進行說明。於圖式中,對相同部分標註相同之參照符號。又,重複之說明係根據需要而進行。
<一實施形態>
以下,對本實施形態之半導體記憶裝置進行說明。本實施形態之半導體記憶裝置係例如NAND型快閃記憶體。
(1)半導體記憶裝置之構成例
使用圖1,對作為本實施形態之半導體記憶裝置之NAND型快閃記憶體1之構成例進行說明。圖1係顯示本實施形態之半導體記憶裝置之方塊構成之例。
如圖1所示,NAND型快閃記憶體1包含:記憶體單元陣列10、列解碼器11、感測模組12、行解碼器13、磁蕊驅動器14、寄存器(register)15、輸入輸出電路16、電壓產生電路17、及控制電路18。NAND型快閃記憶體1係至少包含1組以上之記憶體陣列10與感測模12之組。NAND型快閃記憶體1亦可包含複數該等組。
記憶體單元陣列10包含複數個位元線BL、源極線SL、及正交於位元線BL之複數個字元線WL。位元線BL延伸於行方向,字元線WL延伸於列方向。於各個位元線BL與源極線SL之間,連接有於列方向排列之複數個NAND字串。各個NAND字串包含串聯連接之複數個記 憶體單元電晶體MT、與串聯連接於其等之兩端之選擇電晶體ST之組。NAND字串係經由兩端之選擇電晶體ST連接於位元線BL及源極線SL。各個字元線WL係連接於於列方向排列之記憶體單元電晶體MT之閘極。於列方向排列之選擇電晶體ST之閘極,連接有選擇閘極線SG。如此,於記憶單元陣列10內,平面矩陣狀地排列複數個記憶體單元電晶體MT。於NAND型快閃記憶體1中,記憶體單元電晶體MT係作為記憶體單元發揮功能。
記憶體單元電晶體MT包含例如控制閘極電極與浮動閘極電極之積層構造。於該積層構造中,對浮動閘極電極注入電荷。記憶體單元電晶體MT係藉由所注入之電荷使其閾值變化,並記憶2值、或多值資料。記憶體單元電晶體MT亦可代替上述積層構造,而包含MONOS(Metal-Oxide-Nitride-Oxide-Silicon:金屬氧化氮氧化矽)構造。於MONOS構造中,電子截留於氮化膜。
列解碼器11係於列方向中選擇記憶體單元電晶體MT。具體而言,列解碼器11係於資料之寫入及讀出時,選擇任一個字元線WL。又,列解碼器11係對選擇之字元線WL及非選擇之字元線WL,施加必要之電壓。
感測模組12包含感測單元SU。感測單元SU係對應於位元線BL設置複數個。感測單元SU係於資料之讀出時,進行於位元線BL讀出之資料之感測及放大。感測單元SU係於資料之寫入時,進行對位元線BL之寫入資料之傳送。
行解碼器13係於行方向選擇記憶體單元電晶體MT。具體而言,行解碼器13係於寫入資料及讀出資料之傳送時,選擇任一個感測單元SU。
電壓產生電路17應答於例如控制電路18之命令,產生資料寫入、讀出、及消去所必要之電壓。電壓產生電路17係將產生之電壓供 給至磁蕊驅動器14。
磁蕊驅動器14應答於例如控制電路18之命令,於自電壓產生電路17供給之電壓中,將必要之電壓供給至列解碼器11及感測模組12。自磁蕊驅動器14供給之電壓係藉由列解碼器11傳送至字元線WL,藉由感測模組12施加於位元線BL。
輸入輸出電路16控制對NAND型快閃記憶體1進行存取之控制器或主機機器之間信號之輸入輸出。
寄存器15保持自控制器或主機機器接收之指令或位址等。又,寄存器15係將例如列位址傳送至列解碼器11及磁蕊驅動器14,將行位址傳送至行解碼器13。
控制電路18係按照自記憶體控制器或主機機器接收之指令,控制NAND型快閃記憶體1整體之動作。以下說明之各種控制信號係例如藉由控制電路18產生。
(2)感測模組之構成例
使用圖2及圖3,對NAND型快閃記憶體1之感測模組12之構成例進行說明。
[感測模組之基本構成]
圖2係顯示本實施形態之感測模組之基本構成之例。
如圖2所示,感測模組12包含對每各個位元線BL設置之複數個感測單元SU(SU0、SU1......SUn-1)。感測單元SU包含感測電路SA與閂鎖電路LTC。閂鎖電路LTC包含複數個資料閂鎖LAT(LAT0、LAT1......LATm-1)、與於複數個資料閂鎖LAT共有之逆變器IN。即,每個感測單元SU設置1個感測電路SA。又,每個感測電路SA設置複數個資料閂鎖LAT、及1個逆變器IN。具體而言,感測模組12包含例如16個(n=16)感測單元SU。感測單元SU包含例如5個(m=5)資料閂鎖LAT。
感測電路SA進行於位元線BL讀出之資料之感測及放大。資料閂鎖LAT係暫時保持來自位元線BL之讀出資料、及對位元線BL之寫入資料。
[感測單元之構成]
圖3係顯示本實施形態之感測單元之電路構成之例。
如圖3所示,於感測單元SU內外,藉由匯流排BA、BB連接各構成要素。匯流排BB係配線於感測單元SU內之內部匯流排,匯流排BA係連接感測單元SU(SU0、SU1......SUn-1)之間之匯流排。
於感測單元SU內,感測電路SA及複數個資料閂鎖LAT連接於匯流排BB。感測電路SA與複數個資料閂鎖LAT係經由匯流排BB進行資料之發送接收。複數個資料閂鎖LAT係又連接於匯流排BBb。匯流排BBb係經由逆變器IN配置於匯流排BB之相反側,係與匯流排BB相輔之匯流排。複數個資料閂鎖LAT係夾持於相輔之匯流排BB、BBb間。
複數個感測單元SU係連接於匯流排BA。於匯流排BA,又連接有與感測單元SU相同數量之頁面緩衝器PA。即,n個感測電路SA與n個頁面緩衝器PA共有1個匯流排BA。頁面緩衝器PA係以被稱為“頁面”之資料單位暫時保持讀出資料及寫入資料。感測單元SU與頁面緩衝器PA係經由匯流排BA進行資料之發送接收。又,感測單元SU與圖1之輸入輸出電路16,係經由匯流排BA進行資料之接收發送。
匯流排BB與匯流排BA係經由電晶體20連接。於匯流排BB連接有電晶體21、22。於匯流排BA連接有電晶體31。該等電晶體20~21、31係作為例如低耐壓n通道MOS(Metal Oxide Semiconductor:金屬氧化物半導體)電晶體而構成。
複數個感測單元SU藉由電晶體20連接於匯流排BA。對電晶體20之閘極,賦予控制信號BSW。此處,感測單元SU以逐個連接於匯流排BA之方式,對每個感測單元SU(SU0、SU1......SUn-1)分配不同之控 制信號BSW((BSW0、BSW1......BSWn-1)。如此,電晶體20作為匯流排開關電路發揮功能。
電晶體21係電流路徑之一端連接於電源電壓(VDD),另一端連接於匯流排BB,於閘極接受控制信號BPC。電晶體22係電流路徑之一端連接於接地電位(GND,例如0V),另一端連接於匯流排BB,於閘極接受控制信號BDC。電晶體21、22係分別作為對匯流排BB充電之預充電電路、及使匯流排BB放電之放電電路發揮功能。
電晶體31係電流路徑之一端連接於電源電壓(VDD),另一端連接於匯流排BA,於閘極接受控制信號APC。電晶體31係作為對匯流排BA充電之預充電電路發揮功能。
(感測電路)
感測電路SA包含電晶體40~51、及電容器元件52。電晶體40係作為例如高耐壓n通道MOS電晶體構成。電晶體41~50係作為例如低耐壓n通道MOS電晶體構成。電晶體51係作為例如低耐壓p通道MOS電晶體構成。
電晶體40係電流路徑之一端連接於對應之位元線BL,另一端連接於電晶體41之電流路徑之一端,於閘極接受控制信號BLS。電晶體41係電流路徑之另一端連接於節點SCOM,於閘極接受控制信號BLC。電晶體41係將對應之位元線BL箝位於與控制信號BLC對應之電位。
電晶體42~45、51係作為位元線控制電路發揮功能。位元線控制電路控制位元線BL之電位,且感測資料。
電晶體51係電流路徑之一端連接於電源電壓(VDD),另一端連接於節點SSRC,於閘極連接於節點DL0。電晶體42係電流路徑之一端連接於節點SSRC,另一端連接於節點SCOM,於閘極接受控制信號BLX。電晶體44係電流路徑之一端連接於節點SSRC,另一端連接於 節點SEN,於閘極接受控制信號HLL。電晶體43係電流路徑之一端連接於節點SEN,另一端連接於節點SCOM,於閘極接受控制信號XXL。電晶體45係電流路徑之一端連接於節點SCOM,另一端連接於節點SRCGND(例如0V),於閘極連接於節點DL0
電容器元件52係一電極連接於節點SEN,另一電極接受時脈信號CLK。
電晶體46~50係作為選通電路發揮功能。選通電路係經由匯流排BB將讀出資料傳送至閂鎖電路LTC。
電晶體46係電流路徑之一端連接於節點SEN,另一端連接於匯流排BB,於閘極接受控制信號BLQ。電晶體48係電流路徑之一端連接於匯流排BB,另一端連接於電晶體47之電流路徑之一端,於閘極接受控制信號STB。電晶體47係電流路徑之另一端連接於接地電位(GND),閘極連接於節點SEN。電晶體49係電流路徑之一端連接於節點SEN,另一端連接於電晶體50之電流路徑之一端,於閘極接受控制信號LSL。電晶體50係電流路徑之另一端連接於接地電位(GND),閘極連接於匯流排BB。
(閂鎖電路)
閂鎖電路LTC包含電晶體60(600、601、......60m-1)~62(620、621、......62m-1)、電晶體n60(n600、n601、......n60m-1)~n62(n620、n621、......n62m-1)、及電晶體63、64。電晶體600、n600、610、n610、620、n620係包含於資料閂鎖LAT0。電晶體601、n601、611、n611、621、n621係包含於閂鎖資料LAT1。以下同樣,電晶體60m-1、n60m-1、61m-1、n61m-1、62m-1、n62m-1係包含於資料閂鎖LATm-1。電晶體63、64係包含於逆變器IN。該等電晶體60、n60、61、n61、63係作為例如耐壓n通道MOS電晶體構成。電晶體62、n62、64係作為例如低耐壓p通道MOS電晶體而構成。
於各個資料閂鎖LAT(LAT0、LAT1、......LATm-1)中,作為第1傳送電晶體之電晶體60將資料閂鎖LAT之一端連接於匯流排BB。作為第2傳送電晶體之電晶體n60將資料閂鎖LAT之另一端連接於匯流排BBb。
具體而言,電晶體60係電流路徑之一端連接於匯流排BB,另一端連接於作為第1節點之節點DL(DL0、DL1、......DLm-1),於閘極接受控制信號SW(SW0、SW1、......SWm-1)。電晶體n60係電流路徑之一端連接於匯流排BBb,另一端連接於作為第2節點之節點nDL(nDL0、nDL1、......nDLm-1),於閘極接受控制信號nSW(nSW0、nSW1、......nSWm-1)。
各個資料閂鎖LAT具備包含電晶體61、62之第1逆變器、與包含電晶體n61、n62之第2逆變器。又,藉由互相交叉耦合第1、第2逆變器之輸入與輸出,構成正反器(flip-flop)。
更具體而言,電晶體62係電流路徑之一端連接於電源電壓(VDD),另一端連接於節點DL,閘極連接於節點nDL。電晶體61係電流路徑之一端連接於節點DL,另一端連接於接地電位(GND),閘極連接於節點nDL。電晶體n62係電流路徑之一端連接於電源電壓(VDD),另一端連接於節點nDL,閘極連接於節點DL。電晶體n61係電流路徑之一端連接於節點nDL,另一端連接於接地電位(GND),閘極連接於節點DL。如此,第1逆變器之輸出及第2逆變器之輸入(節點DL)經由資料傳送用之電晶體60連接於匯流排BB。又,第1逆變器之輸入及第2逆變器之輸出(節點nDL)經由資料傳送用之電晶體n60連接於匯流排BBb。
藉由以上,各個資料閂鎖LAT係以節點DL保持資料,以節點nDL保持其相輔之資料(反相資料)。
逆變器IN具備包含電晶體63、64之逆變器之構成。即,逆變器 IN係作為包含n通道MOS電晶體(電晶體63)、與p通道MOS電晶體(電晶體64)之CMOS(Complementary Metal-Oxide Semiconductor:互補金屬氧化物半導體)逆變器而構成。
更具體而言,電晶體64係電流路徑之一端連接於電源電壓(VDD),另一端連接於匯流排BBb,閘極連接於匯流排BB。電晶體63係電流路徑之一端連接於匯流排BBb,另一端連接於接地電位(GND),閘極連接於匯流排BB。
藉由以上,夾持逆變器IN之兩側匯流排BB、BBb為相輔關係。 即,例如於匯流排BB保持“0”資料時,於匯流排BBb保持與“0”資料相輔之“1”資料。
(3)感測模組之動作例
使用圖4至圖9,對NAND型快閃記憶體1之感測模組12之動作例進行說明。
以下係自感測模組12之1個資料閂鎖LAT將資料傳送至另一資料閂鎖LAT之動作之說明。即,於所述之動作中,資料自1個資料閂鎖LAT輸出至匯流排BB,且該輸出之資料輸入至另一資料閂鎖LAT。將該動作與比較例之感測模組之動作對比進行說明。
以下,將“H”位準(例如VDD)之電位、電壓或信號顯示為“1”資料,將“L”位準(例如GND)之電位、電壓或信號顯示為“0”資料。又,於以下之圖4、圖5、圖7、圖9中,分別對主要動作對象之電晶體中,接通之電晶體標註○標記,對斷開之電晶體標註×標記。
[比較例之感測模組之動作例]
圖4係顯示比較例之自資料閂鎖輸出資料之動作。圖5係顯示比較例之對資料閂鎖輸入資料之動作。
如圖4所示,比較例之資料閂鎖LAT’包含電晶體60’、n60’、61’、n61’、62’、n62’、63’、n63’。電晶體60’、n60’係使資料閂鎖 LAT’之各端共同連接於匯流排BB。以電晶體61’、62’構成第1逆變器,以電晶體n61’、n62’構成第2逆變器。又,藉由互相交叉耦合第1、第2逆變器之輸入與輸出,構成正反器。此時,第1、第2逆變器之一端,即電晶體62’、n62’之電流路徑之一端分別經由電晶體63’、n63’連接於電源電壓(VDD)。電晶體63’、n63’係作為抑制貫通電流於第1、第2逆變器流動之控制電晶體發揮功能。
例如,自資料閂鎖LAT’0對資料閂鎖LAT’1傳送“0”資料。重設傳送端資料閂鎖LAT’1,於節點DL’1保持“1”資料。於該狀態,接通資料閂鎖LAT’0之電晶體63’0、n63’0與資料閂鎖LAT’1之電晶體63’1、n63’1
首先,接通電晶體21,對匯流排BB預充電,於匯流排BB保持“1”資料。
接著,接通資料閂鎖LAT’0之電晶體60’0,自資料閂鎖LAT’0之節點DL’0將“0”資料輸出至匯流排BB。
如圖5所示,接著,接通資料閂鎖LAT’1之電晶體60’1。藉此,自資料閂鎖LAT’0輸出之“0”資料,輸入至資料閂鎖LAT’1之節點DL’1。 此時,斷開電晶體63’1,抑制貫通電流透過電晶體63’1、62’1、61’1自電源電壓(VDD)流向接地電位(GND)。此外,抑制貫通電流自電晶體63’1、62’1,經過匯流排BB及電晶體60’0,透過電晶體61’0,自電源電壓(VDD)流向接地電位(GND)。節點DL’1上之“0”資料係經由第2逆變器使節點nDL’1保持“1”資料。電晶體n60’1為斷開狀態。
[本實施形態之感測模組之動作例]
圖6係顯示本實施形態之自資料閂鎖輸出資料之動作之流程。圖7係顯示本實施形態之自資料閂鎖輸出資料之動作。圖8係顯示本實施形態之對資料閂鎖輸入資料之動作之流程。圖9係顯示本實施形態之對資料閂鎖輸入資料之動作。
以下係例如自資料閂鎖LAT0對資料閂鎖LAT1傳送“0”資料之情形之說明。
如圖6及圖7所示,藉由預充電對匯流排BB充電(S11)。即,對電晶體21賦予“H”位準之控制信號BPC,接通電晶體21。藉此,對匯流排BB充電,於匯流排BB保持“1”資料。於匯流排BBb中,保持與匯流排BB之“1”資料相輔之“0”資料。
接著,重設資料閂鎖LAT1,於節點DL1保持“1”資料(S12)。具體而言,如上述於匯流排BB預充電之狀態,接通電晶體601、n601。對節點DL1充電後斷開電晶體601、n601
藉由上述動作,於節點DL1保持“1”資料,於節點nDL1保持與節點DL1之“1”資料相輔之“0”資料。藉此,對第1逆變器之電晶體611、621之各閘極,施加“L”位準之電壓。因此,電晶體611斷開,電晶體621接通。又,對第2逆變器之電晶體n611、n621之各閘極,施加“H”位準之電壓。因此,電晶體n611接通,電晶體n621斷開。
接著,對資料閂鎖LAT0之電晶體600賦予“H”位準之控制信號SW0,接通電晶體600(S13)。此時,電晶體n600為斷開狀態。
動作流程係根據節點DL0所保持之資料進行分支(S14)。於本說明中,節點DL0保持之資料係“0”。因此,節點DL0之“0”資料輸出至匯流排BB(S15y)。於節點DL0所保持之資料為“1”時,節點DL0之“1”資料輸出至匯流排BB(S15n)。
於上述(S15y)中,即使接通資料閂鎖LAT0之電晶體600,節點DL0所保持之“0”資料亦不直接傳送至匯流排BB。此係由於與節點DL0比較匯流排BB之距離更長,與節點DL0比較匯流排BB之電容更大之故。因此,節點DL0之電位暫時上升。故,以下之流程係於匯流排BB、bBB之值變化為資料閂鎖LAT0所保持之資料之值後進行。
如圖8及圖9所示,接著,對資料閂鎖LAT1之電晶體601、n601分 別賦予“H”位準之控制信號SW1、nSW1,接通電晶體601、n601(S16)。 藉此,自資料閂鎖LAT0輸出之“0”資料經由匯流排BB輸入至資料閂鎖LAT1之節點DL1。對節點nDL1,經由匯流排BBb輸入與節點DL1之“0”資料相輔之“1”資料(S17)。
於該狀態即使接通資料閂鎖LAT1之電晶體601、n601,資料閂鎖LAT1之節點DL1、nDL1之資料亦不立即切換為“0”資料、或“1”資料。 此外,資料閂鎖LAT1之節點DL1、nDL1之電位係自兩側被推至具有相輔資料之匯流排BB、BBb之電位,暫時變為中間電位。
節點DL1所具有之中間電位係較電源電壓(VDD)更低之電位,係無法使例如電晶體n611完全接通,但未完全斷開程度之電位。即,節點DL1所具有之中間電位係使電晶體n611完全接通之電位、與完全斷開之電位之間之電位。藉此,電晶體n611之電流驅動力降低。因此,抑制貫通電流經由電晶體n621、n611自電源電壓(VDD)流向接地電位(GND)。此外,抑制貫通電流自電晶體64,經過匯流排BBb、電晶體n601,透過電晶體n611,自電源電壓(VDD)流向接地電位(GND)。即,電晶體n611係作為控制電晶體發揮功能。
節點nDL1所具有之中間電位係較接地電壓(GND)更高之電位,係無法使例如電晶體621完全接通,但未完全斷開程度之電位。即,節點DL1所具有之中間電位係使電晶體621完全接通之電位、與完全斷開之電位之間之電位。藉此,電晶體621之電流驅動力降低。因此,抑制貫通電流經由電晶體621、611自電源電壓(VDD)流向接地電位(GND)。此外,抑制貫通電流自電晶體621,經過匯流排BB及電晶體600,透過電晶體610,自電源電壓(VDD)流向接地電位(GND)。即,電晶體621係作為控制電晶體發揮功能。
節點DL1之電位係藉由自匯流排BB輸入之“0”資料之電位,經由中間電位靠向“0”資料之電位。節點DL1之該電位係使電晶體n611慢慢 斷開,使電晶體n621慢慢接通。藉此,節點nDL1之電位靠向“1”資料之電位。
節點nDL1之電位亦係藉由自匯流排BBb輸入之“1”資料之電位,經由中間電位靠向“1”資料之電位。節點nDL1之該電位係使電晶體611慢慢接通,使電晶體621慢慢斷開。藉此,節點DL1之電位係進而靠向“0”資料之電位。
如此,藉由自資料閂鎖LAT0輸出至匯流排BB、BBb之資料,節點DL1、nDL1之電位分別開始變化。開始變化之節點DL1、nDL1之電位係進而分別促進另一節點DL1、nDL1之電位變化。經過某期間後,節點DL1、nDL1之電位分別轉移為“0”資料之電位、及“1”資料之電位,且固定已轉移之狀態。
如以上般,資料閂鎖LAT0之節點DL0之“0”資料傳送至資料閂鎖LAT1之節點DL1並保持。
另,於資料閂鎖LAT1之節點DL1保持“0”資料之情形,即對節點DL1輸入“1”資料之情形時,上述各電晶體61、n61、62、n62之接通與斷開係相反。
具體而言,於節點DL1保持“0”資料之情形時,電晶體61、n62接通,電晶體n61、62斷開。
於節點DL1自“0”資料切換至“1”資料時,若節點DL1、nDL1暫時成為中間電位,則電晶體61、n62之電流驅動力降低,抑制貫通電流。即,於該情形時,電晶體61、n62作為控制電晶體發揮功能。
如此,根據節點DL1最初所保持之資料,電晶體61、n61、62、n62任一者均可作為控制電晶體發揮功能。即,最初接通之電晶體於切換資料時,作為控制電晶體發揮功能。
(4)本實施形態之效果
根據本實施形態,可獲得以下1個或複數個效果。
(A)根據本實施形態,NAND型快閃記憶體1包含複數個資料閂鎖LAT、及於複數個資料閂鎖LAT共有之逆變器IN。逆變器IN係插入至夾持複數個資料閂鎖LAT之相輔匯流排BB、BBb之間。藉此,可一面確保資料閂鎖LAT之動作容限,一面削減資料閂鎖LAT之電晶體數量。
例如,上述比較例之資料閂鎖LAT’包含控制電晶體,即電晶體63’、n63’。控制電晶體係藉由於對資料閂鎖LAT’輸入資料時斷開,而抑制貫通電流於資料閂鎖LAT’之第1、第2逆變器流動。又,抑制貫通電流經過匯流排BB,於例如資料閂鎖LAT’0、LAT’1之2個第1、第2逆變器之間流動。
根據本實施形態,於對資料閂鎖LAT之資料輸入時,包含於資料閂鎖LAT之第1逆變器之任一個電晶體62、61及包含於第2逆變器之任一個電晶體n62、n61之電流驅動力降低,抑制貫通電流。即,該等電晶體作為控制電晶體發揮功能。因此,可抑制貫通電流於第1、第2逆變器流動,可獲得資料閂鎖LAT之動作容限。
又,根據本實施形態,包含於資料閂鎖LAT之第1逆變器之任一個電晶體62、61及包含於第2逆變器之任一個電晶體n62、n61作為控制電晶體發揮功能。因此,無需另外設置控制電晶體即可獲得資料閂鎖LAT之動作容限,可削減資料閂鎖LAT之電晶體數量。因此,削減資料閂鎖LAT所佔之面積。
(B)根據本實施形態,NAND型快閃記憶體1係藉由於複數個資料閂鎖LAT共有之逆變器IN、與夾持複數個資料閂鎖LAT之相輔匯流排BB、BBb,獲得資料閂鎖LAT之動作容限。
於比較例之資料閂鎖LAT’中,於僅排除控制電晶體之情形,為了提高資料閂鎖LAT’之動作容限,必須增大例如電晶體61’、n61’、62’、n62’之通道長度L。藉此,提高電晶體61’、n61’、62’、n62’之 閾值電壓(絕對值),易因節點DL’、nDL’電位(絕對值)之降低引起電流驅動力之降低。然而,藉此,有難以使電晶體61’、n61’、62’、n62’小型化,或難以使各個電晶體61’、n61’、62’、n62’之間尺寸一致之情形。
根據本實施形態,以相輔匯流排BB、BBb夾持資料閂鎖LAT,使第1、第2逆變器之電晶體61、n61、62、n62具備控制電晶體之功能。 因此,即使例如將電晶體61、n61、62、n62之通道長度設為最小尺寸,亦可確保資料閂鎖LAT充分之動作容限。因此,可進而削減資料閂鎖LAT所佔之面積。
又,根據本實施形態,電晶體61、n61、62、n62之尺寸不受到至少確保動作容限之目的之制約。因此,可比較自由地選擇電晶體61、n61、62、n62之尺寸,可例如使電晶體61、n61、62、n62構成為全部單一之尺寸。因此,電路設計及製造較容易。
又,根據本實施形態,藉由縮小電晶體61、n61、62、n62之通道寬度W,易於因節點DL、nDL電位(絕對值)之降低引起電晶體61、n61、62、n62之電流驅動力之降低。因此,可進一步獲得資料閂鎖LAT之動作容限。進而削減資料閂鎖LAT所佔之面積。
(C)根據本實施形態,資料閂鎖LAT包含:包含於第1逆變器之2個電晶體62、61;包含於第2逆變器之2個電晶體n62、n61;及連接相輔匯流排BB、BBb與資料閂鎖LAT之2個電晶體60、n60。
相對於此,比較例之資料閂鎖LAT’除了包含第1逆變器之電晶體62’、61’;第2逆變器之電晶體n62’、n61’;及連接匯流排BB與資料閂鎖LAT’之電晶體60’、n60’以外,尚包含作為控制電晶體之電晶體63’、n63’。即,資料閂鎖LAT’之電晶體數量係例如8個。
根據本實施形態,可將資料閂鎖LAT之電晶體數量削減為例如6個。
(D)根據本實施形態,於將感測電路SA之個數設為n個,將包含於閂鎖電路LTC之資料閂鎖LAT之個數設為m個時,感測模組12包含(6m+2)×n個電晶體。
相對於此,於比較例中,將感測電路、資料閂鎖LAT’分別設為包含與上述相同數量時,包含8m×n個電晶體。如上述般,若設為m=5、n=16,則於比較例中,整體包含640個電晶體。
根據本實施形態,感測模組12所包含之電晶體數量為例如512個。於該例中,本實施形態之電晶體數量較比較例削減20%。如此,根據本實施形態,較例如使用比較例之資料閂鎖LAT’,可削減電晶體數量。因此,可削減NAND型快閃記憶體1之晶片面積。於NAND型快閃記憶體1包含有複數個資料閂鎖LAT,資料閂鎖LAT對晶片面積帶來之影響較大。
(E)根據本實施形態,於將資料輸入至資料閂鎖LAT時,電晶體60、n60共同接通。節點DL、nDL成為第1、第2逆變器之電晶體61、n61、62、n62中接通之電晶體維持接通之電位與斷開之電位之間的電位。
藉此,包含於資料閂鎖LAT之第1逆變器之電晶體62、61中任一個接通之電晶體、及包含於第2逆變器之電晶體n62、n61中任一個接通之電晶體之電流驅動力降低,並抑制貫通電流。
<其他實施形態>
如以上般,已對實施形態進行說明,但該等實施形態係作為舉例提示者,該等實施形態等之技術思想係並非限定構成構件之材質、形狀、構造、配置等者。該等新穎之實施形態係可以其他各種形態實施,於實施階段中在不脫離其主旨之範圍,可進行各種省略、置換、變更。進而,可藉由上述實施形態等各種階段所包含、揭示之複數個構成要件之適當組合提取各種實施形態。
於上述實施形態中,對感測模組12以包含圖3所示之感測電路SA之例進行說明,但不限定於此。感測電路之電路構成等係可適當選擇。又,包含於感測模組之感測電路及閂鎖電路之個數、包含於閂鎖電路之資料閂鎖及逆變器之個數係任意。例如,可於閂鎖電路包含複數個逆變器。若逆變器之個數少於資料閂鎖之個數,則可獲得削減包含於資料閂鎖之電晶體數量之效果。
於上述實施形態中,對複數個記憶體單元(記憶體單元電晶體MT)平面配置於記憶體單元陣列10內之例進行說明,但不限定於此。實施形態之半導體記憶裝置係可為2維排列記憶體單元之NAND型快閃記憶體,亦可為3維積層記憶體單元之NAND型快閃記憶體。
於上述實施形態中,對半導體記憶裝置為NAND型快閃記憶體之例進行說明,但不限定於此。半導體記憶裝置可不為快閃記憶體,亦可為例如其他之DRAM(Dynamic Random Access Memory:動態隨機存取記憶體)等。
20~22‧‧‧電晶體
31‧‧‧電晶體
40~51‧‧‧電晶體
52‧‧‧電容器元件
600‧‧‧電晶體
n600‧‧‧電晶體
60m-1‧‧‧電晶體
n60m-1‧‧‧電晶體
610‧‧‧電晶體
n610‧‧‧電晶體
61m-1‧‧‧電晶體
n61m-1‧‧‧電晶體
620‧‧‧電晶體
n620‧‧‧電晶體
62m-1‧‧‧電晶體
n62m-1‧‧‧電晶體
63‧‧‧電晶體
64‧‧‧電晶體
APC‧‧‧控制信號
BA、BB、BBb‧‧‧匯流排
BDC‧‧‧控制信號
BL‧‧‧位元線
BLC‧‧‧控制信號
BLQ‧‧‧控制信號
BLS‧‧‧控制信號
BLX‧‧‧控制信號
BPC‧‧‧控制信號
BSW0‧‧‧控制信號
BSW1‧‧‧控制信號
CLK‧‧‧時脈信號
DL0‧‧‧節點
nDL0‧‧‧節點
DLm-1‧‧‧節點
nDLm-1‧‧‧節點
GND‧‧‧接地電位
HLL‧‧‧控制信號
IN‧‧‧逆變器
LAT0~LATm-1‧‧‧資料閂鎖
LSL‧‧‧控制信號
LTC‧‧‧閂鎖電路
PA‧‧‧頁面緩衝器
SA‧‧‧感測電路
SCOM‧‧‧節點
SEN‧‧‧節點
SRCGND‧‧‧節點
SSRC‧‧‧節點
SW0‧‧‧控制信號
nSW0‧‧‧控制信號
SWm-1‧‧‧控制信號
nSWm-1‧‧‧控制信號
SU0、SU1‧‧‧感測單元
STB‧‧‧控制信號
VDD‧‧‧電源電壓
XXL‧‧‧控制信號

Claims (20)

  1. 一種半導體記憶裝置,其特徵在於包含:複數個資料閂鎖;及於上述複數個資料閂鎖共有之逆變器;且上述逆變器係插入至夾持上述複數個資料閂鎖之相輔匯流排之間。
  2. 如請求項1之半導體記憶裝置,其中包含:記憶體單元;讀出上述記憶體體單元之資料之感測電路;及可暫時保持關於上述記憶體單元之資料之閂鎖電路;且上述閂鎖電路包含:上述複數個資料閂鎖及上述逆變器。
  3. 如請求項1之半導體記憶裝置,其中上述複數個資料閂鎖各者包含:可保持某資料之第1節點;可保持與上述資料相輔之資料之第2節點;且上述複數個資料閂鎖之各個上述第1、第2節點,係分別連接於上述相輔匯流排。
  4. 如請求項3之半導體記憶裝置,其中上述複數個資料閂鎖各者包含:使上述第1節點連接於上述相輔匯流排之一者之第1傳送電晶體;使上述第2節點連接於上述相輔匯流排之另一者之第2傳送電晶體。
  5. 如請求項1之半導體記憶裝置,其中上述複數個資料閂鎖各者包 含:第1逆變器;及第2逆變器;且於上述複數個資料閂鎖各者中,耦合上述第1逆變器之輸入與上述第2逆變器之輸出,耦合上述第1逆變器之輸出與上述第2逆變器之輸入。
  6. 如請求項5之半導體記憶裝置,其中上述複數個資料閂鎖各者之上述第1逆變器包含:p通道MOS電晶體;及n通道MOS電晶體;上述複數個資料閂鎖各者之上述第2逆變器包含:p通道MOS電晶體;及n通道MOS電晶體。
  7. 如請求項1之半導體記憶裝置,其中上述複數個資料閂鎖各自包含:包含於第1逆變器之2個電晶體;包含於第2逆變器之2個電晶體;及將上述複數個資料閂鎖逐一連接於上述相輔匯流排之2個傳送電晶體。
  8. 如請求項1之半導體記憶裝置,其中上述逆變器包含:p通道MOS電晶體;及n通道MOS電晶體。
  9. 如請求項1之半導體記憶裝置,其中上述逆變器包含2個電晶體。
  10. 如請求項2之半導體記憶裝置,其中於將上述感測電路之個數設為n個,將包含於上述閂鎖電路之上述複數個資料閂鎖之個數設 為m個時,包含(6m+2)×n個電晶體。
  11. 如請求項4之半導體記憶裝置,其中於自上述複數個資料閂鎖之1個輸出資料時,於上述複數個資料閂鎖之1個中,接通上述第1傳送電晶體、與上述第2傳送電晶體中任一個。
  12. 如請求項4之半導體記憶裝置,其中對上述複數個資料閂鎖之1個輸入資料時,於上述複數個資料閂鎖之1個中,接通上述第1傳送電晶體、與上述第2傳送電晶體。
  13. 如請求項12之半導體記憶裝置,其中上述複數個資料閂鎖各者包含:包含電晶體之第1逆變器;及包含電晶體之第2逆變器;且於上述複數個資料閂鎖之1個中,於接通上述第1傳送電晶體、與上述第2傳送電晶體時,上述複數個資料閂鎖之1個之上述第1、第2節點成為如下電位:上述複數個資料閂鎖之1個的上述第1、第2逆變器接通之電晶體,係成為維持接通之電位與斷開之電位之間的電位。
  14. 如請求項1之半導體記憶裝置,其中上述半導體記憶裝置係2維排列記憶體單元之NAND型快閃記憶體。
  15. 如請求項1之半導體記憶裝置,其中上述半導體記憶裝置係3維積層記憶體單元之NAND型快閃記憶體。
  16. 一種半導體記憶裝置,其特徵在於包含:記憶體單元;讀出記憶體單元之資料之感測電路;及可暫時保持關於上述記憶體單元之資料之閂鎖電路;且上述閂鎖電路包含: 複數個資料閂鎖;及於上述複數個資料閂鎖共有之逆變器;且上述逆變器係插入至夾持上述複數個資料閂鎖之相輔匯流排之間。
  17. 如請求項16之半導體記憶裝置,其中上述複數個資料閂鎖各者包含:可保持某資料之第1節點;可保持與上述資料相輔之資料之第2節點;使上述第1節點連接於上述相輔匯流排一者之第1傳送電晶體;及使上述第2節點連接於上述相輔匯流排另一者之第2傳送電晶體。
  18. 如請求項16之半導體記憶裝置,其中於將上述感測電路之個數設為n個,將包含於上述閂鎖電路之上述複數個資料閂鎖之個數設為m個時,包含(6m+2)×n個電晶體。
  19. 如請求項17之半導體記憶裝置,其中於對上述複數個資料閂鎖之1個輸入資料時,於上述複數個資料閂鎖之1個中,接通上述第1傳送電晶體、與上述第2傳送電晶體。
  20. 如請求項16之半導體記憶裝置,其中上述半導體記憶裝置係2維排列上述記憶體單元之NAND型快閃記憶體,或3維積層上述記憶體單元之NAND型快閃記憶體。
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