TWI514505B - 定位裝置 - Google Patents

定位裝置 Download PDF

Info

Publication number
TWI514505B
TWI514505B TW102119779A TW102119779A TWI514505B TW I514505 B TWI514505 B TW I514505B TW 102119779 A TW102119779 A TW 102119779A TW 102119779 A TW102119779 A TW 102119779A TW I514505 B TWI514505 B TW I514505B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
buffer
wafer
positioning
space
elastically
Prior art date
Application number
TW102119779A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201448100A (zh
Inventor
Hsin Chieh Wang
Yu Wen Hsu
Ching Min Yang
Chih Chieh Wu
Ching Ho Wu
Original Assignee
Motech Ind Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Motech Ind Inc filed Critical Motech Ind Inc
Priority to TW102119779A priority Critical patent/TWI514505B/zh
Publication of TW201448100A publication Critical patent/TW201448100A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI514505B publication Critical patent/TWI514505B/zh

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

Description

定位裝置
本發明是有關於一種定位裝置,特別是指一種太陽能電池的製造過程中用於定位晶片的定位裝置。
一般太陽能電池在製造時,主要是透過上料機將晶片一片一片地送至輸送帶上,並透過輸送帶沿著一軸線將晶片依序送往各種加工機器以對晶片進行加工作業,例如:擴散、蝕刻、網印、烘乾、燒結、封裝等,進而製得該太陽能電池。其中,因為加工機器對晶片進行加工時,是設定晶片的對稱中心線位於該軸線上的位置來進行加工,因此在前述加工作業的過程中,晶片難免會因為震動或移動而使其對稱中心線偏離該軸線。如此一來,後續的加工機器對晶片加工的位置便會偏離原本設定的位置而成為不良品,因而降低製程的精密度,還會因為不良品的增加而增加製造成本。
為了改善前述問題,通常會配合定位裝置推抵來校正或調整晶片的位置,藉以定位晶片。然而實際上,由於晶片的厚度較薄且具有一定的硬度,若該定位裝置的硬度不足時,定位裝置推抵晶片的過程中,晶片的邊緣容 易嵌插入該定位裝置內,不僅無法定位晶片的位置,甚至造成晶片及定位裝置的損壞而增加製造成本,且為了更換定位裝置需要停止產線,因而降低生產效率。倘若該定位裝置的材質硬度太高時,定位裝置推抵晶片的過程中,晶片的邊緣容易因定位裝置推抵時的衝擊力而壞損、破裂,因而提高晶片的破片率而增加生產成本。
因此當定位裝置定位晶片的位置時,若能降低定位裝置或晶片的壞損機率,除了可增加製程的精密度與製造良率以外,亦可增加定位裝置的使用壽命,減少定位裝置的耗材經常更換之成本,從而可降低生產成本。
因此,本發明之目的,即在提供一種可增加製程的精密度與製造良率,進而降低生產成本的定位裝置。
於是,本發明定位裝置,用於定位一晶片,並包含:至少一定位單元。
該定位單元包括一固定件、一安裝於該固定件上的緩衝件組,以及一位於該固定件與該緩衝件組之間的緩衝空間,該緩衝件組靠抵所述晶片時可彈性地朝該緩衝空間擺動以彈性地定位所述晶片。
本發明之功效在於:在該固定件與該緩衝件組之間形成該緩衝空間的創新結構,同時配合該緩衝件組可彈性擺動的嶄新設計,使得本發明在定位該晶片的位置時,該緩衝件組可彈性地朝該緩衝空間擺動以吸收碰觸該晶片時的衝擊力,藉此降低該晶片的破片率並增加本發明的 使用壽命,同時還可增加製程的精密度與製造良率,進而降低生產成本。
1‧‧‧定位裝置
2‧‧‧定位單元
20‧‧‧定位空間
21‧‧‧固定件
211‧‧‧基壁
212‧‧‧側壁
213‧‧‧開口
22‧‧‧緩衝件組
221‧‧‧緩衝件
23‧‧‧緩衝空間
7‧‧‧軸線
811‧‧‧吹嘴
812‧‧‧抬升裝置
813‧‧‧搬運裝置
821‧‧‧送料裝置
822‧‧‧移動裝置
823‧‧‧移動架
831‧‧‧移動裝置
832‧‧‧移動架
84‧‧‧輸送帶
84’‧‧‧輸送帶
9‧‧‧晶片
9’‧‧‧晶片
本發明之其他的特徵及功效,將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現,其中:圖1是本發明定位裝置之一第一較佳實施例之一俯視示意圖;圖2是該第一較佳實施例之一立體示意圖;圖3是一剖視示意圖,說明該第一較佳實施例與一上料機及數個晶片的使用狀態;圖4是一立體示意圖,說明本發明定位裝置之一第二較佳實施例與一網印機及一晶片的使用狀態;圖5是一側視示意圖,同樣說明該第二較佳實施例與該網印機及該晶片的使用狀態;圖6是一立體示意圖,說明本發明定位裝置之一第三較佳實施例與一烘箱及一晶片的使用狀態;圖7是一側視示意圖,同樣說明該第三較佳實施例與該烘箱及該晶片的使用狀態;圖8是一動作流程示意圖,說明該第三較佳實施例將該晶片由一輸送帶移送至另一輸送帶的前半段過程;及圖9是一動作流程示意圖,說明該第三較佳實施例將該晶片由一輸送帶移送至另一輸送帶的後半段過程。
在本發明被詳細描述之前,應當注意在以下的說明內容中,類似的元件是以相同的編號來表示。
參閱圖1、2、3,本發明定位裝置1之一第一較佳實施例用於容裝數個晶片9,其為一上料機的構件之一。該上料機為太陽能電池的製造過程中用於搬運晶片9的機器,並還包含兩個分別可噴出氣體的吹嘴811、一可上下移動地穿設該定位裝置1且可將該數個晶片9向上抬升的抬升裝置812,以及一可利用吸取方式吸取晶片9並將晶片9一片一片地放置於一輸送帶(圖未示)上的搬運裝置813。
使用時,該抬升裝置812可抬升該數個晶片9而使其位於對應該兩個吹嘴811的高度,此時便可透過該兩個吹嘴811吹出氣體而使位於上方的晶片9’往上飄移,同時配合該定位裝置1定位前述晶片9’,使前述晶片9’能順利地被該搬運裝置813取出。由於該上料機的結構與動作原理皆非本發明的重點,不再說明,於圖中也僅為簡單示意。
而該定位裝置1包含:一定位單元2,以及一位於該定位單元2內且供所述晶片9容置的定位空間20。
本實施例的定位單元2包括一固定件21、一安裝於該固定件21上的緩衝件組22,以及一位於該固定件21與該緩衝件組22之間的緩衝空間23。該緩衝件組22靠抵所述晶片9時可彈性地朝該緩衝空間23擺動以彈性地定位所述晶片9,而該緩衝空間23連通該定位空間20。
該固定件21具有一供該緩衝件組22設置且與該緩衝件組22共同界定出該定位空間20的基壁211,以及一由該基壁211向上延伸且與該緩衝件組22相間隔的側壁212,而該側壁212與該緩衝件組22分別位於該緩衝空間23的相反側。該基壁211供該抬升裝置812可移動地穿設,而該側壁212具有兩個分別供該上料機的吹嘴811設置且連通該緩衝空間23的開口213。
本發明的緩衝件組22具有至少一個設置於該固定件21的基壁211上且與該固定件21的側壁212相間隔的緩衝件221。在本實施例中,該緩衝件組22具有數個彼此間隔設置且分別呈柱狀的緩衝件221,該數個緩衝件221圍繞該數個晶片9而分別可彈性地朝該緩衝空間23擺動,藉以彈性地定位該數個晶片9。
在本實施例中,該數個緩衝件221的材料可為聚酯纖維或樹脂,而所述樹脂具體可為丙烯腈-丁二烯-苯乙烯樹脂(acrylonitrile-butadiene-styrene resin,簡稱ABS樹脂)、苯乙烯丙烯腈樹脂(styrene-acrylonitrile resin,簡稱SAN樹脂)、聚苯乙烯樹脂(polystyrene resin,簡稱PS樹脂)、聚碳酸酯樹脂(polycarbonate resin,簡稱PC樹脂)、聚醯胺樹脂(polyamide resin,簡稱PA樹脂)、強化聚醯胺MXD6樹脂(polyamide MXD6 resin,簡稱PA-MXD6樹脂)、Iupiace改性聚次苯基醚樹脂(modified PPE resin,簡稱M-PPE樹脂)、LEMALLOY改性聚次苯基醚樹脂(modified PPE resin,簡稱M-PPE樹脂)、熱塑性彈性體 (thermoplastic elastomers,簡稱TPE)、丙烯酸樹脂(acrylic resin,或稱壓克力樹脂)、甲基丙烯酸甲酯-苯乙烯共聚物(methyl methacrylate-Styrene copolymer,簡稱MS樹脂)或丙烯晴-苯乙烯-丙烯酸脂共聚物(acrylonitrile styrene-acrylate copolymer,簡稱ASA樹脂)等,但不限於前述舉例。
在實施上,該數個緩衝件221也可呈片狀或其他形狀,並不限於本實施例所揭露的柱狀。進一步說明的是,該緩衝件組22也可僅具有一個呈片狀且彈性地圍繞該定位空間20的緩衝件221,此時,前述片狀的緩衝件221將具有兩個分別對應該兩個開口213的通氣口,以使該緩衝空間23與該定位空間20連通,並且透過前述片狀的緩衝件221圍繞該數個晶片9而分別可彈性地朝該緩衝空間23擺動以彈性地定位該數個晶片9。因此,該數個緩衝件221的數量與結構,不限於本實施例所揭露的形式。
在使用時,透過該上料機的吹嘴811分別由該兩個開口213朝該緩衝空間23送氣,又因為該緩衝空間23連通該定位空間20,因此該兩個吹嘴811所吹送出的氣體便可吹向該數個晶片9,再加上該搬運裝置813的吸取力量,進而使位於上方的晶片9’往上飄移。並在所述晶片9’向上飄移的過程中,難免會因為氣體的流動而使其左右晃動,而本實施例將該數個緩衝件221圍繞所述晶片9的設計,同時透過該數個緩衝件221具有可撓性,而該緩衝空間23可提供該數個緩衝件221向後擺動的空間,因此當所 述晶片9’靠抵該數個緩衝件221時,該數個緩衝件221分別可彈性地朝該緩衝空間23擺動以吸收衝擊力,因而能減緩所述晶片9’晃動的狀況,進而彈性地定位所述晶片9’,使所述晶片9’能順利地被該搬運裝置813取出,以放置於輸送帶上進行後續加工作業。
參閱圖4、5,本發明定位裝置1之一第二較佳實施例為一個網印機的構件之一,該網印機為太陽能電池的製造過程中用於在一晶片9上網印導電漿料的機器,而該網印機還包含一沿著一軸線7輸送該晶片9的送料裝置821,以及一位於該送料裝置821上方且供該定位裝置1安裝的移動裝置822。該移動裝置822具有兩個彼此可相對移近或遠離的移動架823,該兩個移動架823可帶動該定位裝置1移動以定位該送料裝置821輸送而來的該晶片9,避免該晶片9在運送過程因震動而使其對稱中心線偏離該軸線7,從而可提升網印導電漿料的精準度。由於該網印機的結構與動作原理皆非本發明的重點,不再說明,於圖中也僅為簡單示意。
而該定位裝置1包含:數個彼此間隔且兩兩一組而分別對應地設置於該兩個移動架823上的定位單元2,以及一位於該數個定位單元2之間且供該晶片9容置的定位空間20。
本實施例的每一定位單元2皆包括一安裝於該兩個移動架823的其中一個上的固定件21、一安裝於該固定件21上的緩衝件組22,以及一位於該固定件21與該緩 衝件組22之間的緩衝空間23,該緩衝件組22靠抵該晶片9時可彈性地朝該緩衝空間23擺動以彈性地定位所述晶片9。
每一定位單元2的固定件21皆具有一個安裝於該兩個移動架823的其中一個上的側壁212,以及一個由該側壁212朝該定位空間20突出且供該緩衝件組22設置的基壁211,而該側壁212與該緩衝件組22間隔且分別位於該緩衝空間23的相反側。
本發明的每一定位單元2的緩衝件組22皆具有至少一個設置於該固定件21的基壁211上且往下延伸的緩衝件221,所述緩衝件221與該固定件21的側壁212相間隔。在本實施例中,每一緩衝件組22皆具有數個彼此間隔設置且分別呈柱狀的緩衝件221,該數個緩衝件221分別可彈性地朝與其對應的緩衝空間23擺動,藉以彈性地定位所述晶片9。在本實施例中,該數個緩衝件221的材料皆為尼龍或碳纖維。
在實施上,該數個緩衝件221也可呈片狀或其他形狀,而不限於本實施例所揭露的柱狀。進一步說明的是,每一緩衝件組22也可僅具有一個呈片狀的緩衝件221,透過前述片狀的緩衝件221同樣可彈性地朝該緩衝空間23擺動以彈性地定位所述晶片9。因此,該數個緩衝件221的數量與結構,不限於本實施例所揭露的形式。
在使用時,該網印機的送料裝置821沿著該軸線7依序輸送晶片9,並當晶片9移向該定位裝置1時,該 移動裝置822的該兩個移動架823會相向移近,進而帶動兩兩一組且分別對應地設置於該兩個移動架823上的該數個定位單元2相向移動,使該數個緩衝件組22的緩衝件221分別朝該晶片9移動。並當該數個緩衝件221靠抵該晶片9時,透過該數個緩衝件221具有可撓性,以及該數個緩衝空間23分別可提供該數個緩衝件221向後擺動的空間,透過前述設計使該數個緩衝件221分別可彈性地朝與其對應的緩衝空間23擺動以吸收推抵該晶片9時的衝擊力,進而可彈性地定位該晶片9,確保該晶片9的對稱中心線位於該軸線7上,因而使該網印機可順利且精準地在該晶片9預定的部位網印導電漿料。之後,該兩個移動架823帶動該數個定位單元2相對遠離,以對下一晶片進行校正或調整位置的定位作業。
參閱圖6、7,本發明定位裝置1之一第三較佳實施例為一個烘箱的構件之一,該烘箱為太陽能電池的製造過程中用於烘乾網印於一晶片9上的導電漿料的機器,並當一輸送帶84將該晶片9輸送而來時,該烘箱可將該晶片9由該輸送帶84取出以進行烘乾作業,之後再將該晶片9放置於另一輸送帶84’(見圖9)上,以進行後續的加工作業。而該烘箱還包含一可在該輸送帶84與該輸送帶84’之間移動的移動裝置831。該移動裝置831具有兩個可供該定位裝置1安裝的移動架832,該兩個移動架832可帶動該定位裝置1移動以定位並輸送該晶片9。由於該烘箱的結構與動作原理皆非本發明的重點,不再說明,於圖中也僅 為簡單示意。
而該定位裝置1包含:數個彼此間隔且兩兩一組而分別對應地設置於該兩個移動架832上的定位單元2,以及一位於該數個定位單元2之間且供該晶片9容置的定位空間20。
本實施例的每一定位單元2皆包括一安裝於該兩個移動架832的其中一個上的固定件21、一安裝於該固定件21上的緩衝件組22,以及一位於該固定件21與該緩衝件組22之間的緩衝空間23,該緩衝件組22靠抵該晶片9時可彈性地朝該緩衝空間23擺動以彈性地定位所述晶片9。
每一定位單元2的固定件21皆具有一個安裝於該兩個移動架832的其中一個上的側壁212,以及一個由該側壁212之底緣朝該定位空間20突出且供該緩衝件組22設置的基壁211,而該側壁212與該緩衝件組22間隔且分別位於該緩衝空間23的相反側,而該基壁211供該晶片9的側緣放置。
每一定位單元2的緩衝件組22皆具有至少一個設置於該固定件21的基壁211上且往上延伸的緩衝件221,所述緩衝件221與該固定件21的側壁212相間隔。在本實施例中,每一緩衝件組22皆具有數個彼此間隔設置且分別呈柱狀的緩衝件221,該數個緩衝件221分別可彈性地朝與其對應的緩衝空間23擺動,藉以彈性地定位所述晶片9。在本實施例中,該數個緩衝件221的材料皆為尼龍或碳 纖維。
在實施上,該數個緩衝件221也可呈片狀或其他形狀,而不限於本實施例所揭露的柱狀。進一步說明的是,每一緩衝件組22也可皆僅具有一個呈單一片狀的緩衝件221,透過前述片狀的緩衝件221同樣可彈性地朝該緩衝空間23擺動以彈性地定位所述晶片9。因此,該數個緩衝件221的數量與結構,不限於本實施例所揭露的形式。
參閱圖6、7、8,在使用時,當該輸送帶84將晶片9輸送至該烘箱時,該烘箱的該兩個移動架832一起向下移動後再分別朝該晶片9的方向移動。當該數個定位單元2分別靠抵該晶片9時,透過該數個緩衝件221具有可撓性,以及該數個緩衝空間23分別可提供該數個緩衝件221向後擺動的空間,前述設計使該數個緩衝件221分別可彈性地朝與其對應的緩衝空間23擺動以吸收衝擊力,進而可彈性地定位所述晶片9。之後,該兩個移動架832一起向上移動,使該晶片9的相反兩側緣分別承載於該數個定位單元2的固定件21的基壁211上,此時就能將該晶片9由該輸送帶84取出以進行烘乾作業。
參閱圖6、7、9,當烘乾作業完成時,該兩個移動架832一起朝另一輸送帶84’移動,並將該晶片9放置於該輸送帶84’之後,該兩個移動架832便分別朝遠離該晶片9的方向移動,進而帶動該數個定位單元2相對遠離,此時該晶片9便可透過該輸送帶84’的輸送以進行後續加工作業。在此同時,該兩個移動架832一起向上移動並由該 輸送帶84’朝該輸送帶84移動,以對下一晶片9’進行烘乾作業。
綜上所述,本發明在所述定位單元的固定件與緩衝件組之間形成所述緩衝空間的創新結構,同時配合所述緩衝件組可彈性擺動的嶄新設計,使得本發明在校正、調整所述晶片的位置以進行定位作業時,所述緩衝件組可彈性地朝所述緩衝空間擺動以吸收碰觸所述晶片時的衝擊力,除了能避免所述晶片的邊緣壞損、破裂的問題而降低破片率之外,同時也可增加本發明的使用壽命,此外還能確實地定位所述晶片的位置,因此可增加製程的精密度與製造良率,進而降低生產成本。
惟以上所述者,僅為本發明之較佳實施例而已,當不能以此限定本發明實施之範圍,即凡依本發明申請專利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾,皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。
1‧‧‧定位裝置
2‧‧‧定位單元
20‧‧‧定位空間
21‧‧‧固定件
211‧‧‧基壁
212‧‧‧側壁
213‧‧‧開口
22‧‧‧緩衝件組
221‧‧‧緩衝件
23‧‧‧緩衝空間
811‧‧‧吹嘴
812‧‧‧抬升裝置
813‧‧‧搬運裝置
9‧‧‧晶片
9’‧‧‧晶片

Claims (10)

  1. 一種定位裝置,用於定位一晶片,並包含:至少一定位單元,包括一固定件、一安裝於該固定件上的緩衝件組,以及一位於該固定件與該緩衝件組之間的緩衝空間,該緩衝件組靠抵所述晶片時可彈性地朝該緩衝空間擺動以彈性地定位所述晶片。
  2. 如請求項1所述的定位裝置,還包含一位於該定位單元內且供該晶片容置的定位空間,而該定位空間連通該緩衝空間,該固定件具有一供該緩衝件組設置且與該緩衝件組共同界定出該定位空間的基壁,以及一由該基壁向上延伸且與該緩衝件組相間隔的側壁,而該側壁與該緩衝件組分別位於該緩衝空間的相反側。
  3. 如請求項2所述的定位裝置,其中,該緩衝件組具有至少一個設置於該固定件的基壁上且與該固定件的側壁相間隔的緩衝件,該緩衝件圍繞所述晶片而可彈性地朝該緩衝空間擺動以彈性地定位所述晶片。
  4. 如請求項3所述的定位裝置,其中,該緩衝件組的緩衝件的材料為聚酯纖維或樹脂。
  5. 如請求項3或4所述的定位裝置,其中,該緩衝件組具有數個分別呈柱狀的緩衝件,該數個緩衝件彼此間隔地圍繞所述晶片而分別可彈性地朝該緩衝空間擺動以彈性地定位所述晶片。
  6. 如請求項1所述的定位裝置,包含數個定位單元,以及一位於該數個定位單元之間且供該晶片容置的定位空 間,每一定位單元的固定件皆具有一個供該緩衝件組設置的基壁,以及一個連接該基壁且與該緩衝件組相間隔的側壁,而該側壁與該緩衝件組分別位於該緩衝空間的相反側。
  7. 如請求項6所述的定位裝置,其中,每一定位單元的緩衝件組皆具有至少一個設置於該固定件的基壁上且與該固定件的側壁相間隔的緩衝件,每一緩衝件皆可彈性地朝每一緩衝空間擺動以彈性地定位所述晶片。
  8. 如請求項7所述的定位裝置,其中,每一緩衝件組的緩衝件的材料皆為尼龍或碳纖維。
  9. 如請求項7或8所述的定位裝置,每一緩衝件組皆具有數個分別呈柱狀或片狀的緩衝件。
  10. 如請求項1所述的定位裝置,其中,該定位單元的固定件具有一個供該緩衝件組設置的基壁,以及一個連接該基壁且與該緩衝件組相間隔的側壁,而該側壁與該緩衝件組分別位於該緩衝空間的相反側,該緩衝件組具有至少一個設置於該固定件的基壁上且與該固定件的側壁相間隔的緩衝件,該緩衝件可彈性地朝該緩衝空間擺動以彈性地定位所述晶片。
TW102119779A 2013-06-04 2013-06-04 定位裝置 TWI514505B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW102119779A TWI514505B (zh) 2013-06-04 2013-06-04 定位裝置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW102119779A TWI514505B (zh) 2013-06-04 2013-06-04 定位裝置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201448100A TW201448100A (zh) 2014-12-16
TWI514505B true TWI514505B (zh) 2015-12-21

Family

ID=52707596

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW102119779A TWI514505B (zh) 2013-06-04 2013-06-04 定位裝置

Country Status (1)

Country Link
TW (1) TWI514505B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI545067B (zh) * 2015-01-26 2016-08-11 茂迪股份有限公司 一種基板載具之載體

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWM442351U (en) * 2012-04-20 2012-12-01 Schmid Yaya Technology Co Ltd Substrate storage device
TW201320237A (zh) * 2008-01-21 2013-05-16 Applied Materials Inc 用以在處理腔室內支撐、定位及旋轉基板的設備與方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW201320237A (zh) * 2008-01-21 2013-05-16 Applied Materials Inc 用以在處理腔室內支撐、定位及旋轉基板的設備與方法
TWM442351U (en) * 2012-04-20 2012-12-01 Schmid Yaya Technology Co Ltd Substrate storage device

Also Published As

Publication number Publication date
TW201448100A (zh) 2014-12-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5148469B2 (ja) 包装機への袋供給方法及び装置
CN1408625A (zh) 搬运设备以及装箱系统
JP2006182560A (ja) 基板搬送装置
TWI657027B (zh) 物品供應裝置
TW201350411A (zh) 基板之垂直搬送裝置
JPWO2019103051A1 (ja) 電子部品取付装置及び電子装置の製造方法
TWI514505B (zh) 定位裝置
JP2004083180A (ja) シート状基板の搬送装置及び搬送方法
JP2016050107A (ja) 紙葉類供給装置および紙葉類処理装置
JP2008162783A (ja) 吸着保持装置および吸着保持方法
JP2008091696A (ja) 半導体チップトレイ
JP2017084498A (ja) 電極箔の搬送装置および積層型電池の製造装置
JP5764575B2 (ja) 通気性搬送用テーブル
US11648787B2 (en) Supply device, processing device, control method and program
CN110482278A (zh) 分片整料机构、上料装置及自动化生产设备
CN110718492A (zh) 盘体收集模块及其方法
JP2012148475A (ja) はんだペースト用印刷装置
KR101261313B1 (ko) 평판 이송물 정렬픽업 이송장치
JP2014172702A (ja) 給紙装置、および画像形成装置
KR101493913B1 (ko) 시트 커팅 장치
JP5405267B2 (ja) 電子部品搬送装置
JP2016102024A (ja) 半導体チップの整列方法およびその装置
CN111348430A (zh) 一种转运平台及传送装置
CN216189507U (zh) 一种电池片下料机构及电池片处理装置
JP2014011184A (ja) チップ搬送システムおよびチップトレイ

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees