TWI545067B - 一種基板載具之載體 - Google Patents

Description

一種基板載具之載體

本發明是有關於一種基板載具之載體，特別是指一種太陽能電池的製造過程中用於裝載晶片的基板載具之載體。

參閱圖1、2，以往用於裝載晶片900的基板載具91通常包含一個基座911、一個由該基座911界定且供晶片900容置的承裝空間912，及數個與基座911一體成型並設於其底部邊緣的緩衝件913，於緩衝件913靠抵晶片900時可彈性擺動以避免晶片900因碰撞而破碎。

基板載具91係用於太陽能電池製程中的上料機，上料機為搬運晶片900的機器，其包含兩個朝向承裝空間912的吹嘴92、一個可上下移動的抬升裝置93，及一個搬運裝置94。

使用時，搬運裝置94的吸力可使上方的晶片900’上移，但上方的幾個晶片900’常因靜電而彼此吸附。因此，透過吹嘴92朝上方幾個晶片900’吹氣，使吸附的晶片900’彼此分離，以便搬運裝置94僅吸走最上方的一片。但，晶片900’上移時常因氣體擾流而左右晃動 碰觸到基座911側壁，此時可透過緩衝件913的彈性擺動來吸收衝擊力，以減緩晶片900’的晃動並避免因碰撞而破片。

此外，因晶片900’上移且碰觸基座911側壁時，晶片900’的邊緣易與緩衝件913產生摩擦，進而使緩衝件913的表面產生磨損甚至斷裂，此磨損或斷裂處易對晶片900’產生傷害甚至破片，而為避免晶片900的損傷，最好是發現緩衝件913有磨損或是斷裂時，即進行整個基板載具91的更換，但如此將有成本增加的問題。

此外，基板載具91是以一體射出成型的方式來製作基座911與緩衝件913，但在射出後的冷卻過程中，因緩衝件913是細長條的形狀，故容易有彎曲變形的情形，如圖3所示，其中越靠近基座911側面中央處的緩衝件913的前傾變形越明顯，這是因緩衝件913為細長形且僅單一端連接於基座911底部的邊緣，致使脫模後不易使緩衝件913垂直排列，另外也因為節省材料的成本，基座911底部常製作的較薄(例如2mm)，如此更使得這些細長形的緩衝件913其底端的支撐性不足，導致傾斜變形的情況更加嚴重。

由此可知，因緩衝件913有前傾的問題，將使晶片900的側邊無法抵靠在每一根緩衝件913上來分散受力，而出現僅是抵靠在傾斜最嚴重的那根緩衝件913，使晶片900邊緣易因受力不均而破裂。同時，緩衝件913的前傾問題也會使操作人員在放入和取出晶片時，更容易碰 到傾斜的緩衝件913而有不便甚至破片的問題。

因此，本發明之目的，在提供一種可單獨拆換局部結構而降低設備成本的基板載具之載體。

於是，本發明第一種基板載具之載體，包括數個可相互組配的第一結構；各該第一結構包括一底板和一側板，該底板上靠近該側板處設有數個彈性元件；該數個第一結構可被組配定位並由該數個側板相對於該數個底板圍繞出一承載空間。

其功效在於：將載體區分成數個第一結構的設計，當其中一個第一結構的彈性元件磨損、斷裂時，只需更換這個第一結構無需淘汰整個載體，可降低成本。

本發明第二種基板載具之載體，包含數個緩衝結構。該載體包括一底板和數個側板，該數個側板相對於該底板圍繞出一承載空間。每一側板設有該數個緩衝結構中之至少一個，每一緩衝結構有數個彈性元件，該數個彈性元件的一端接觸該底板，各該彈性元件的另一端與各該側板的頂部之間以一結合單元可拆離地定位安裝，各該彈性元件於靠近該結合單元處彎折形成一彈性簧片。

其功效在於：各該彈性元件的另一端與各該側板的頂部之間以一結合單元可拆離地定位安裝，當其中一個緩衝結構上的彈性元件磨損、斷裂時，只需更換這個緩衝結構無需淘汰整個基板載具，可降低成本。

本發明第三種基板載具之載體，包含數個緩衝 結構。該載體包含一底板和數個側板，該數個側板相對於該底板圍出一承載空間。每一緩衝結構有數個彈性元件，該數個緩衝結構設於該底板上並對應靠近該數個側板，該數個緩衝結構與該底板間以一結合單元可拆離地定位安裝，該數個彈性元件一端遠離底板且無接觸對應的側板。

其功效在於：各該彈性元件的另一端與該底板之間以一結合單元可拆離地定位安裝，當其中一個緩衝結構的彈性元件磨損、斷裂時，只需更換這個緩衝結構無需淘汰整個基板載具，可降低成本。

本發明之目的，即在提供一種結構強度佳且可降低破片率的基板載具之載體。

本發明的第四種基板載具之載體，包含數個緩衝結構。該載體包含一底板和數個側板，該數個側板相對於該底板圍出一承載空間。各該緩衝結構設於該底板上並靠近各該側板，各該緩衝結構有數個彈性元件，該數個彈性元件一端遠離該底板延伸。該數個彈性元件中之至少兩個以一連接部連接，連接部的位置不高於該數個彈性元件的高度的2/3。

其功效在於：該數個彈性元件中之至少兩個以一連接部連接，以避免彈性元件的前傾並形成共平面排列，從而使晶片側邊均勻抵靠於每根彈性元件而均勻受力，以降低晶片的破片率並便於晶片的拿取或置入。

1‧‧‧基板載具

11‧‧‧載體

110‧‧‧承載空間

12‧‧‧外殼

120‧‧‧容置空間

13‧‧‧第一定位單元

131‧‧‧第一凸部

132‧‧‧第一凹部

14‧‧‧第二定位單元

141‧‧‧第二凸部

142‧‧‧第二凹部

15‧‧‧緩衝結構

151‧‧‧彈性簧片

16‧‧‧結合單元

161‧‧‧結合凸部

162‧‧‧結合凹部

2‧‧‧第一結構

201‧‧‧底壁

202‧‧‧側壁

3‧‧‧底板

31‧‧‧角落

4‧‧‧側板

5‧‧‧彈性元件

51‧‧‧彈性棒

511‧‧‧表面

52‧‧‧彎折部

53‧‧‧連接部

530‧‧‧貫穿孔

71‧‧‧吹嘴

72‧‧‧抬升裝置

73‧‧‧搬運裝置

8、8’‧‧‧晶片

d‧‧‧間距

h‧‧‧高度

本發明之其他的特徵及功效，將於參照圖式的 實施方式中清楚地呈現，其中：圖1是以往基板載具之立體圖；圖2是圖1基板載具承載數個晶片的使用狀態剖視圖；圖3是圖1的基板載具之俯視圖；圖4是本發明基板載具之第一實施例之立體圖；圖5是第一實施例之立體分解圖；圖6是第一實施例之俯視圖；圖7是第一實施例之圖6的A-A位置的局部剖視圖；圖8是第一實施例之圖6的B-B位置的使用狀態剖視圖；圖9是本發明基板載具之第二實施例之俯視圖；圖10是第二實施例之載體之立體分解圖；圖11是本發明基板載具之第三實施例第一結構之立體圖；圖12是本發明基板載具之第四實施例第一結構之立體圖；圖13是本發明基板載具之第五實施例第一結構之立體圖；圖14是本發明基板載具之第六實施例之立體分解圖；圖15是第六實施例之局部的立體分解圖；圖16是第六實施例之俯視圖；圖17是第六實施例之圖16的C-C位置的局部剖視圖；圖18是第六實施例之圖16的D-D位置使用狀態剖視圖；圖19是本發明基板載具之第七實施例局部的立體分解圖；圖20是本發明基板載具之第八實施例之局部立體分解圖；圖21是本發明基板載具之第九實施例之立體分解圖；圖22是第九實施例之不完整的立體分解圖；圖23是第九實施例之俯視圖； 圖24是第九實施例之圖23的E-E位置使用狀態剖視圖；圖25是本發明基板載具之第十實施例之局部立體分解圖；圖26是本發明基板載具之第十一實施例局部立體分解圖；圖27是本發明基板載具之第十二實施例之立體分解圖；圖28是本發明基板載具之第十三實施例之立體分解圖；及圖29是本發明基板載具之第十四實施例之立體分解圖。

在本發明被詳細描述之前，應當注意在以下的說明內容中，類似的元件是以相同的編號來表示。

參閱圖4、5、6，本發明基板載具1之載體11之一第一實施例，包含：一外殼12、至少一第一定位單元13，以及至少一第二定位單元14。

該載體11包括數個可相互組配或稱組合的第一結構2。各該第一結構2包括一底板3和一側板4，該底板3上靠近該側板4處設有數個彈性元件5。該數個第一結構2可被組配定位並由該數個側板4相對於該數個底板3圍繞出一承載空間110，而該數個第一結構2的彈性元件5是圍繞地設置於該承載空間110內。

該外殼12具有一容置空間120，該數個第一結構2設置於該容置空間120並分別定位於該外殼12內，其中，於實施上，該外殼12和第一結構2為矩形或類似矩形，或是可為正方形。而且於進一步的實施上，係可將容置空間120區分為四等分並將相對應的四個第一結構2組合於該外殼12的容置空間120中。

參閱圖5、6、7，各該側板4與該外殼12之間以至少一第一定位單元13來定位。每一第一定位單元13包括一設於該側板4與該外殼12的其中之一個上的第一凸部131，及一個設置於該側板4與該外殼12的其中之另一個上且可拆離地與該第一凸部131組裝的第一凹部132。

在本實施例中，第一凸部131為凸塊並設於側板4上；第一凹部132為卡孔而可供第一凸部131插卡定位並設於該外殼12上。在實施上，只要第一凸部131與第一凹部132能夠可拆離地相互結合即可，不需限制第一凸部131與第一凹部132的形式。另外，第一凸部131與第一凹部132的設置位置可互換，不限於本實施例的舉例。

底板3與外殼12間以至少一第二定位單元14定位。每一第二定位單元14包括一設於底板3與外殼12其中一個上的第二凸部141，及一設於底板3與外殼12其中另一個上且可拆離地與該第二凸部141組裝的第二凹部142。

在本實施例中，第二凸部141為凸塊並設於底板3上；第二凹部142為卡孔而供第二凸部141插卡定位，並設於該外殼12上。在實施上，只要第二凸部141與第二凹部142能夠可拆離地相互結合即可，不需限制第二凸部141與第二凹部142的形式。另外，第二凸部141與第二凹部142的設置位置可互換，不限於本實施例的舉例。

在本實施例中，該載體11雖是透過該數個第一定位單元13或/及該數個第二定位單元14而組裝固定於該 外殼12的容置空間120內，不過在實施上，載體11和外殼12間也可採緊配合方式固定，所以載體11組裝固定於外殼12內的手段並不限於本實施例所揭露的態樣。

每一彈性元件5皆具有一個朝遠離該底板3方向延伸且可彈性擺動的彈性棒51(或稱彈性桿)，以及一個位於彈性棒51遠離底板3的一端彎曲形成的彎折部52。在本實施例中，每一彈性元件5的彈性棒51與彎折部52整體呈L形。彈性棒51與底板3可為一體成型連接，彈性棒51於平行底板3方向的斷面呈矩形。

該數個第一結構2相互組配而構成該該載體11後，如圖6俯視圖所示，各該第一結構2的底板3相互配合構成一個略呈四邊形的板體，該板體具有四個角落31，越靠近角落31處的彈性元件5間之間距d為漸減，此設計可供晶片受吹拂而分離漂浮時，晶片與周圍彈性元件5的碰撞位置常出現在角落31處，因此將靠近角落31處的彈性元件5的間距縮小或排列更為密集時，增加受力的接觸面積，有利於緩和晶片邊緣轉角處的碰撞問題。

參閱圖4、7、8，本實施例在使用上，該基板載具1的承載空間110用於容裝數個晶片8、8’，基板載具1置放於一個上料機上，上料機為太陽能電池製造過程用於搬運晶片8、8’的機器，且上料機包含兩個分別可噴出氣體的吹嘴71、一個可上下移動地穿設該基板載具1且可使晶片8上升的抬升裝置72，以及一個可吸取晶片8、8’並將晶片8、8’放置於一個輸送帶(圖未示)上的搬運裝置 73。其中，該抬升裝置72使晶片8位於兩個吹嘴71的高度，並透過吹嘴71吹氣使上方的晶片8’彼此分離，再以搬運裝置73吸取最上方的晶片8’以完成取件的動作。

前述上方的晶片8’因受氣流吹拂而彼此分離時，易因氣體擾流而左右晃動並接觸到周圍的彈性元件5，但長期使用後，若彈性元件5的彈性棒51受到晶片8’邊緣之切削而形成刻痕、凹溝甚至斷裂時，可視耗損的彈性元件5是屬於哪一個第一結構2，再即時替換掉這個有損壞的第一結構2即可，以避免如傳統的方式直接替換掉整個基板載具1而有成本過高之問題。

另外，在本實施例中，每一彈性元件5的彈性棒51於靠近彎折部52的寬度較靠近底板3的寬度為小，藉此提升彈性元件5鄰近頂端處的彈性。換句話說，透過這種由下而上寬度漸減(或稱周長漸小)的設計，可使彈性棒51的整體在結構強度與彈性之間達到最適當的搭配，從中可再提升彈性棒51的彈性抵接效果。而且上述彎折部52是朝背離該承載空間110方向所形成。

另外，於實施上，彈性元件5在其彈性棒51的末端即遠離該底板3處彎曲形成該彎折部52，從而可增強彈性棒51上方處的結構強度，這樣的設計也可與上述的彈性棒51寬度漸減(或稱周長漸小)的設計互相搭配。

在本實施例中，彈性棒51與底板3為一體成型。在其他實施方式上，彈性元件5的彈性棒51可採插設方式固定於底板3上。此時，彈性元件5的彈性棒51於平 行該底板3方向的斷面呈非圓形例如矩形的設計為佳。此因若彈性棒51為圓形時，其對應插設的底板3孔洞也需圓形，如此易使彈性棒51於其中產生旋轉，進而使原本欲朝外設置的彎折部52轉而向內，如此將產生取放片之不便甚或導致晶片8、8’之撞擊而破裂。

參閱圖6、7、8，在本實施例中，彈性元件5於平行底板3方向的斷面呈矩形，彈性元件5的彈性棒51具有一面向承載空間110且可供晶片8、8’抵靠的表面511，透過這些表面511以面的形式供晶片8、8’邊緣抵靠，兩者接觸面積較大而可減低碰觸衝擊力，以避免晶片8、8’產生破片或彈性棒51的表面511產生損傷等問題。

在本實施例中，靠近角落31處的彈性元件5之間的間距d為漸減，此設計可供晶片8’受吹拂而分離漂浮時，晶片8’與周圍彈性元件5的碰撞位置常出現在角落31處，因此將靠近角落31處的彈性元件5的間距d縮小或排列更為密集時，增加受力的接觸面積，有利於緩和晶片8’邊緣轉角處的碰撞問題。

參閱圖4、5、8，透過以上的設計，可提高基板載具1的載體11的使用壽命，但若長時間使用下而彈性元件5仍出現磨損、斷裂時，可將彈性元件5損壞的那個第一結構2進行替換，以免因未更換而使晶片8、8’受到彈性元件5的影響而破裂。

由上可知，本實施例將該載體11設計成由數個第一結構2組合的創新設計，可在某個第一結構2上的彈 性元件5磨損、斷裂時，更換這個第一結構2即可，無需如傳統方式淘汰整個載體11，可降低成本。

參閱圖9、10，本發明基板載具1之載體11之第二實施例，其與第一實施例大致相同，本實施例的載體11呈放射狀地區分出數個第一結構2，其與第一實施例的差別在於第一結構2的數量不同。在本實施例中，第一結構2的數量為八個，如此之設計，可供替換時，最少只要替換整個載體11的八分之一的部份即可，比例較低，相對可節省成本。此外於實施上，本發明的載體11可區分成幾個第一結構2，其分割方式與數量並不限於本實施例以上之舉例，只要能符合本發明之精神與目的皆在本案保護範圍內。

參閱圖11，本發明基板載具之載體11之第三實施例與第一實施例大致相同，兩者的差別在於該數個彈性元件5中之至少兩個以一連接部53連接，其中連接部53是連接於至少兩個彈性棒51之間。連接部53的位置不高於彈性棒51的高度h的三分之二(即2/3)。更佳地，連接部53的位置不超出彈性棒51的高度h的1/2~2/3的範圍外。其中，本實施例所述的高度h，是從底板3的表面起算到彈性棒51的頂端。

承上，透過連接部53連接於彈性棒51之間的設計，可讓透過射出成型製作的第一結構2的彈性元件5於模具內或脫模後的冷卻過程中受到拘束而使其呈現垂直挺立的結果，避免傳統方式衍生的前傾問題。同時這樣的 設計也可讓數根彈性棒51的表面511皆位於同一平面上，可令晶片抵靠時的受力更均勻地分散，有效減少因單點受力或受力面積過小時的破片問題。

另外，上述連接部53的位置也不宜太高，此因上方晶片分離飄浮而碰觸周圍的彈性棒51時，若連接部53的位置過高時，將使得本來良好的彈性擺動效果受到影響，從而使原本供晶片抵靠緩衝的效果降低，因此，連接部53的位置以高度h的2/3或以下為佳。

又，若連接部53設置的位置過低而接近底板3時，將可能產生原本傳統設計的傾斜問題，此係因位於連接部53上方的彈性棒51的整體比例過高，從而同樣容易發生傾斜變形的問題，因此，連接部53的位置不宜低於彈性棒51高度h的1/2。但，若靠近底板3處的連接部53的上方仍有設置其他的連接部53時，透過兩者間的相互拘束，則能避免掉此處所談及之傾斜問題。

參閱圖12，本發明基板載具之第四實施例，與該第三實施例大致相同，該數個彈性元件5中之至少兩個以一連接部53連接。兩者的差別在於連接部53延伸連接到底板3處，其中係呈現X形。

參閱圖13，本發明基板載具之第五實施例，與該第四實施例大致相同，兩者差別在於連接部53由彈性棒51高度h的2/3位置處往下延伸到該底板3處，使整體呈現一個片體狀，且連接部53具有至少一個貫穿孔530，而於實施上如圖13所示，是設計有複數個貫穿孔530，此設 計除可節省材料成本外，也可讓造成擾流之氣流自貫穿孔530流出，以減緩晶片的左右晃動碰撞的情形。且圖13如此之設計也可有效提高彈性元件5下方的結構強度，從而可減少操作人員徒手拿取載體11而碰觸彈性元件5時的損壞情形，以延長使用壽命。

參閱圖14、15、16、17，本發明基板載具1之載體11的第六實施例，尚包含一外殼12、至少一第一定位單元13、至少一第二定位單元14、數個緩衝結構15，以及數個結合單元16。

載體11包括一底板3和數個側板4，數個側板4相對於底板3圍繞出一承載空間110，緩衝結構15圍繞設於承載空間110內的周圍。外殼12具有一容置空間120，載體11設於容置空間120並定位於該外殼12。

側板4與外殼12間以第一定位單元13來定位。 第一定位單元13包括一設於側板4與外殼12的其中之一上的第一凸部131，及一設於側板4與外殼12的其中之另一上且可拆離地與第一凸部131組裝的第一凹部132。

在本實施例中，第一凸部131為凸塊並設於側板4上；第一凹部132為卡孔而供第一凸部131插，卡定位並設於外殼12上。實施上，只要第一凸部131與第一凹部132能夠可拆離地相互結合即可，不需限制第一凸部131與第一凹部132的形式。另外，第一凸部131與第一凹部132的設置位置可互換，不限於本實施例的舉例。

底板3與外殼12之間以至少一第二定位單元14 來定位。每一第二定位單元14包括一設於底板3與外殼12的其中之一上的第二凸部141，以及一個設於底板3與外殼12的其中之另一上且可拆離地與第二凸部141組裝的第二凹部142。

在本實施例中，第二凸部141為凸塊並設於底板3上；第二凹部142為卡孔而供第二凸部141插卡定位並設於該外殼12上。在實施上，只要第二凸部141與第二凹部142能夠可拆離地相互結合即可，不需限制第二凸部141與第二凹部142的形式。另外，第二凸部141與第二凹部142的設置位置可互換，不限於本實施例的舉例。

在本實施例中，載體11雖透過數個第一定位單元13與數個第二定位單元14而組裝固定於外殼12的容置空間120內，但在實施上，兩者間也可為緊配合的固定形式，所以載體11固定於外殼12內的手段並不限於本實施例所揭露的態樣。

每一側板4設有數個緩衝結構15中之至少一個，且每一緩衝結構15具有數個彈性元件5，數個彈性元件5的一端接觸底板3(見圖17)。各彈性元件5的另一端與各側板4的頂部之間以一結合單元16可拆離地定位安裝。 各彈性元件5於靠近結合單元16處彎折形成一彈性簧片151，甚至各彈性簧片151彼此間為一體成型連接。

每一結合單元16包括一設於緩衝結構15與側板4的其中之一上的結合凸部161，及一設於緩衝結構15與側板4的其中之另一上且可拆離地與結合凸部161組裝 的結合凹部162。

在本實施例中，結合凸部161為凸塊並設於緩衝結構15上；結合凹部162為卡孔而供該結合凸部161插卡定位並設於該側板4上。在實施上，只要結合凸部161與結合凹部162能夠可拆離地相互結合即可，不需限制結合凸部161與結合凹部162的形式。另外，結合凸部161與結合凹部162的設置位置可互換，不限於本實施例的舉例。

每一彈性元件5皆具有一個朝遠離底板3的方向延伸且可彈性擺動的彈性棒51，以及一個由彈性棒51遠離該底板3的一端彎曲形成且連接彈性簧片151的彎折部52。在本實施例中，每一彈性元件5的彈性棒51與彎折部52呈L形。每一彈性棒51於平行底板3方向的斷面呈矩形，每一彈性棒51於靠近彎折部52處的寬度較靠近該底板3處的寬度為小，其中之寬度可以周長來替換。

該載體11的底板3為一個略呈四邊形的板體，該板體具有四個角落31(見圖16)，該數個緩衝結構15透過該數個結合單元16而組裝於該載體11後，越靠近該數個角落31處的彈性元件5間之間距d為漸減，此設計可供晶片受吹拂而分離漂浮時，因晶片與周圍彈性元件5的碰撞位置常出現在角落31處，所以將靠近角落31處的彈性元件5的間距縮小或排列更為密集時，增加受力的接觸面積，有利於緩和晶片邊緣轉角處的碰撞問題。

參閱圖14、16、17、18，本實施例在使用上， 基板載具1的承載空間110容裝有數個晶片8、8’，基板載具1置放於一個上料機上，上料機為太陽能電池製造過程用於搬運晶片8、8’的機器，且上料機包含兩個分別可噴出氣體的吹嘴71、一個可上下移動地穿設該基板載具1且可使晶片8向上的抬升裝置72，以及一個可吸取晶片8、8’並將晶片8、8’放置於一個輸送帶(圖未示)上的搬運裝置73。其中，該抬升裝置72使晶片8上升並位於兩個吹嘴71的高度，並透過該吹嘴71吹氣使位於上方的晶片8’彼此分離，再以該搬運裝置73吸取最上方的晶片8’以完成取件的動作。

前述上方的晶片8’因受氣流吹拂而彼此分離時，易因氣體擾流而左右晃動並接觸到周圍的彈性元件5，其中彈性棒51受晶片8’碰觸時的衝擊力，可經彈性棒51和彈性簧片151的形變設計來吸收，以避免晶片8’因碰撞衍生的破裂情形。此外，長期使用後，若彈性棒51受到晶片8’邊緣之切割而形成刻痕、凹溝甚至斷裂時，可視耗損的彈性元件5是屬於哪一個緩衝結構15，再替換掉有損壞的緩衝結構15即可，如此可避免傳統方式直接替換整個基板載具1而有成本過高之問題。

另外，在本實施例中，每一彈性元件5的彈性棒51於靠近彎折部52的寬度較靠近底板3處的寬度為小，藉此提升彈性元件5鄰近頂端處的彈性。換句話說，透過這種由下而上寬度漸減(或稱周長漸小)的設計，可使彈性棒51的整體在結構強度與彈性之間達到最適當的搭配，從 中可再提升彈性棒51的彈性緩衝效果。而且上述彎折部52是朝背離該承載空間110方向所形成。

另外，於實施上，彈性元件5在其彈性棒51的末端即遠離該底板3處彎曲形成該彎折部52，從而可增強彈性棒51上方末端處的結構強度，這樣的設計也可與上述的彈性棒51寬度漸減或稱周長漸小的設計互相搭配。

在本實施例中，彈性元件5於平行底板3方向的斷面呈矩形，彈性元件5的彈性棒51具有一個面向承載空間110且可供晶片8、8’靠抵的表面511。透過這些表面511以面的形式供晶片8、8’的邊緣抵靠，可使兩者間的接觸面積增加，以減低單點接觸時因應力過大所產生之破片或彈性棒51的表面511產生損傷等問題。

進一步地，在本實施例中，靠近角落31處的彈性元件5間之間距d為漸減，此設計可供晶片8’受吹拂而分離漂浮時，因晶片8’與周圍彈性元件5的碰撞位置常出現在角落31處，故將靠近角落31處的彈性元件5的間距d縮小或排列更為密集時，可增加此處的受力面積，有利於緩和晶片8’邊緣轉角處的碰撞問題。

參閱圖15、17、18，透過以上的設計，可提高基板載具1的載體11的使用壽命，但若長時間使用下而彈性元件5仍出現磨損、斷裂時，可將彈性元件5損壞的那個緩衝結構15進行替換，以免因未更換而使晶片8、8’受到彈性元件5的影響而破裂。

由上可知，本實施例各該緩衝結構15的另一端 與各該側板4的頂部之間以一結合單元16可拆離地定位安裝，而當某個緩衝結構15上的彈性元件5磨損、斷裂時，更換這個緩衝結構15即可，無需如傳統方式淘汰整個載體11，可降低成本。

參閱圖19，本發明基板載具1之載體11之第七實施例與第六實施例大致相同，兩者的差別在於每一緩衝結構15中，該數個彈性元件5中之至少兩個以一連接部53連接。

連接部53是連接於至少兩個彈性棒51之間。連接部53的位置不高於彈性棒51的高度h的三分之二(即2/3)。更佳地，連接部53的位置不超出彈性棒51的高度h的1/2~2/3的範圍外。本實施例所述的高度h，是從彈性棒51鄰近該底板3之底端往上起算到彈性棒51的頂端。

承上，透過連接部53連接於彈性棒51之間的設計，可讓透過射出成型製作的第一結構2的彈性元件5於模具內或脫模後的冷卻過程中，受到拘束而使其呈現垂直挺立的結果，避免傳統方式衍生的前傾問題。同時這樣的設計也可讓數根彈性棒51的表面511皆位於同一平面上，可令晶片抵靠時的受力更均勻地分散，有效減少因單點受力或受力面積過小時的破片問題。

另外，上述連接部53的位置也不宜太高，此因上方晶片分離飄浮而碰觸周圍的彈性棒51時，若連接部53的位置過高時，易使彈性棒51上方的形變空間變小，連帶影響了彈性棒51的彈性擺動效果，從而降低了原本供 晶片抵靠緩衝的效果，因此，連接部53的位置以高度h的2/3或以下為佳。

又，若連接部53設置的位置過低而接近底板3時，將可能產生原本傳統設計的傾斜問題，此係因位於連接部53上方的彈性棒51的整體比例過高，於製作上無法受到連接部53確實的拘束，而容易發生傾斜變形的問題，因此，連接部53的位置不宜低於彈性棒51高度h的1/2。 但，若靠近底板3處有設置連接部53，且其上方也仍有設置其他連接部53時，透過兩者間的相互拘束，則能避免掉此處所談及之傾斜問題。

參閱圖20，本發明基板載具1之載體11之第八實施例，與第六實施例大致相同，兩者的差別在於：該載體11包括數個可相互組配或稱組合的第一結構2。各該第一結構2包括一底壁201和一側壁202，該數個第一結構2可被組配定位後，各該第一結構2的底壁201構成該底板3，各該第一結構2的側壁202構成各該側板4，而該數個緩衝結構15分別透過該數個結合單元16而可拆離地定位安裝於各該第一結構2的側壁202上。

各該第一結構2的側壁202與該外殼12之間分別以一第一定位單元13來定位。在本實施例中，各該第一定位單元13的第一凸部131設於側壁202上；各該第一定位單元13的第一凹部132可供該第一凸部131插卡定位，並設於該外殼12上。

各該第一結構2的底壁201與該外殼12之間分 別以一第二定位單元14來定位。在本實施例中，各該第二定位單元14的第二凸部141置於底壁201上；各該第二定位單元14的第二凹部142可供該第二凸部141插卡定位，並置於該外殼12上。

本實施例將該載體11設計成由數個第一結構2組合的創新設計，可在某第一結構2損壞時，更換這個第一結構2即可，無需如傳統方式淘汰整個載體11而可降低成本。本發明的載體11可區分成幾個第一結構2，其分割方式與數量並不限於本實施例以上之舉例，只要能符合本發明之精神與目的皆在本案保護範圍內。

參閱圖21、22、23、24，本發明基板載具1之載體11之第九實施例，與第六實施例大致相同，兩者的差別在於：緩衝結構15安裝載體11的位置，及緩衝結構15的構造。

在本實施例中，緩衝結構15設於該底板3上並對應靠近側板4，緩衝結構15與底板3之間以一結合單元16可拆離地定位安裝。在本實施例中，結合單元16的結合凸部161為凸塊並設於緩衝結構15上；結合單元16的結合凹部162為卡孔而供該結合凸部161插卡定位並設於該底板3上。在實施上，結合凸部161與結合凹部162的設置位置可互換，不限於本實施例的舉例。

每一緩衝結構15具有數個彈性元件5，彈性元件5的一端遠離底板3延伸且無接觸所對應的側板4。每一彈性元件5皆具有一個朝遠離該底板3方向延伸且可彈性 擺動的彈性棒51(或稱彈性桿)，以及一個位於彈性棒51遠離底板3的一端彎曲形成的彎折部52，彎折部52可增強彈性棒51上方處的結構強度。

每一彈性元件5的彈性棒51於靠近彎折部52的寬度較靠近底板3的寬度為小，藉此提升彈性元件5鄰近頂端處的彈性，透過這種由下而上寬度漸減(或稱周長漸小)的設計，可使彈性棒51的整體在結構強度與彈性之間達到最適當的搭配，從中可再提升彈性棒51的彈性抵接效果。而且上述彎折部52是朝背離該承載空間110方向所形成。

在本實施例中，彈性元件5於平行底板3方向的斷面呈矩形，彈性棒51具有一個面向承載空間110且可供晶片8、8’抵靠的表面511。透過這些表面511以面的形式供晶片8、8’邊緣抵靠，且兩者接觸面積較大，可降低碰觸的衝擊力以避免所述晶片8、8’產生破片或彈性棒51的表面511產生損傷等問題。

緩衝結構15透過結合單元16而組裝於載體11後，靠近角落31處的彈性元件5之間的間距d為漸減，此設計可供晶片受吹拂而分離漂浮時，晶片與周圍彈性元件5的碰撞位置常出現在角落31處，因此將靠近角落31處的彈性元件5的間距縮小或排列更為密集時，增加受力的接觸面積，有利於緩和晶片邊緣轉角處的碰撞問題。

進一步說明的是，當某個緩衝結構15上的其中至少一個彈性元件5因使用而磨損、斷裂時，更換這個緩 衝結構15即可，無需如傳統方式淘汰整個載體11而可降低成本。

參閱圖25，本發明基板載具1之載體11之第十實施例，與第九實施例大致相同，兩者的差別在於該數個彈性元件5中之至少兩個以一連接部53連接，其中連接部53是連接於至少兩個彈性棒51之間。連接部53的位置不高於彈性棒51的高度h的三分之二(2/3)。更佳地，連接部53的位置不超出彈性棒51的高度h的1/2~2/3的範圍外。其中，本實施例所述的高度h，是從彈性棒51鄰近該底板3之底端往上起算到彈性棒51的頂端。此處所指的彈性棒51的頂端與本文前後處所指的末端的意思相同。

承上，透過連接部53連接於彈性棒51之間的設計，可讓透過射出成型製作的第一結構2的彈性元件5於模具內或脫模後的冷卻過程中受到拘束而使其呈現垂直挺立的結果，避免傳統方式衍生的前傾問題。同時這樣的設計也可讓數根彈性棒51的表面511皆位於同一平面上，可令晶片抵靠時的受力更均勻地分散，有效減少因單點受力或受力面積過小時的破片問題。另外，上述連接部53的位置也不宜太高，此因上方晶片分離飄浮而碰觸周圍的彈性棒51時，若連接部53的位置過高時，將使得本來良好的彈性擺動效果受到影響，從而使原本供晶片抵靠緩衝的效果降低，因此，連接部53的位置以高度h的2/3或以下為佳。

又，若連接部53設置的位置過低而接近底板3 時，將可能產生原本傳統設計的傾斜問題，此係因位於連接部53上方的彈性棒51的整體比例過高，而同樣容易發生傾斜變形的問題，因此，連接部53的位置不宜低於彈性棒51高度h的1/2。但，若靠近底板3處的連接部53的上方仍有設置其他的連接部53時，透過兩者間的相互拘束，則能避免掉此處所談及之傾斜問題。

參閱圖26，本發明載體11之第十一實施例，與第九實施例大致相同，兩者的差別在於該基板載具1包括數個可相互組配或稱組合的第一結構2。各該第一結構2包括一底壁201和一側壁202，該數個第一結構2可被組配定位後，各該第一結構2的底壁201構成該底板3，各該第一結構2的側壁202構成該各該側板4，而該數個緩衝結構15分別透過該數個結合單元16而可拆離地定位安裝於各該第一結構2的底壁201上。

各該第一結構2的側壁202與該外殼12之間分別以一第一定位單元13來定位。在本實施例中，各該第一定位單元13的第一凸部131設於側壁202上；各該第一定位單元13的第一凹部132可供該第一凸部131插卡定位，並設於該外殼12上。

各該第一結構2的底壁201與該外殼12之間分別以一第二定位單元14來定位。在本實施例中，各該第二定位單元14的第二凸部141設於底壁201上；各該第二定位單元14的第二凹部142可供該第二凸部141插卡定位，並設於該外殼12上。

本實施例將該載體11設計成由數個第一結構2組合的創新設計，可在某個第一結構2磨損時，更換這個第一結構2即可，無需如傳統方式淘汰整個載體11而可降低成本。本發明的載體11可區分成幾個第一結構2，其分割方式與數量並不限於本實施例以上之舉例，只要能符合本發明之精神與目的皆在本案保護範圍內。

參閱圖27，本發明基板載具1之載體11之一第十二實施例，與該第三實施例(見圖11)大致相同，兩者之間的差別在於：該載體11為一體成型。

參閱圖28，本發明基板載具1之載體11之一第十三實施例，與該第四實施例(見圖12)大致相同，兩者之間的差別在於：該載體11為一體成型。

參閱圖29，本發明基板載具1之載體11之一第十四實施例，與該第五實施例(見圖13)大致相同，兩者之間的差別在於：該載體11為一體成型。

本發明中的不同實施例之間的各種結構或構件上的設計，皆可相互流用與搭配，並不限於本發明中所列的實施例及其對應的圖示那樣而已，此係因篇幅有限，故較難將所有實施例詳列舉出，總之，只要本發明之說明書和圖示中曾經提到的特徵與設計，皆可進行不同形式的組配，同樣具有本發明所欲達到的目的與效果。

惟以上所述者，僅為本發明之實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾， 皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。

1‧‧‧基板載具

11‧‧‧載體

110‧‧‧承載空間

12‧‧‧外殼

120‧‧‧容置空間

13‧‧‧第一定位單元

131‧‧‧第一凸部

132‧‧‧第一凹部

14‧‧‧第二定位單元

141‧‧‧第二凸部

142‧‧‧第二凹部

2‧‧‧第一結構

3‧‧‧底板

4‧‧‧側板

5‧‧‧彈性元件

51‧‧‧彈性棒

52‧‧‧彎折部

Claims (19)

1. 一種基板載具之載體，包括數個可相互組配的第一結構；各該第一結構包括一底板和一側板，該底板上靠近該側板處設有數個彈性元件；該數個第一結構可被組配定位並由該數個側板相對於該數個底板圍繞出一承載空間。
2. 如請求項1所述的基板載具之載體，另置於具有一容置空間之一外殼內該數個第一結構設置於該容置空間並分別定位於該外殼。
3. 如請求項2所述的基板載具之載體，其中，各該側板與該外殼之間以至少一第一定位單元來定位。
4. 如請求項1所述的基板載具之載體，另置於一外殼內，該數個第一結構置設於該外殼上，且各該底板與該外殼之間以至少一第二定位單元來定位。
5. 請求項1至4中任一項所述的基板載具之載體，其中，該數個彈性元件中之至少兩個以一連接部連接，該連接部的位置不高於該數個彈性元件的高度的2/3。
6. 如請求項5所述的基板載具之載體，其中，該連接部的位置不超出該數個彈性元件的高度的1/2~2/3的範圍外。
7. 如請求項5所述的基板載具之載體，其中，該連接部延伸連接到該底板。
8. 如請求項7所述的基板載具之載體，其中，該連接部具有至少一個貫穿孔。
9. 一種基板載具之載體，包含：一底板和數個側板，該數個側板相對於該底板圍繞出一承載空間；及數個緩衝結構，每一側板設置有該數個緩衝結構中之至少一個，且每一緩衝結構具有數個彈性元件，該數個彈性元件的一端接觸該底板，各該彈性元件的另一端與各該側板的頂部之間以一結合單元可拆離地定位安裝，其中各該彈性元件於靠近該結合單元處彎折形成一彈性簧片。
10. 如請求項9所述的基板載具之載體，其中，各該彈性簧片彼此間為一體成型連接。
11. 如請求項9或10所述的基板載具之載體，其中，該數個彈性元件中之至少兩個以一連接部連接，該連接部的位置不高於該數個彈性元件的高度的2/3。
12. 如請求項9或10所述的基板載具之載體，其中，該載體係由數個可相互組配的第一結構所構成。
13. 一種基板載具之載體，包含：一底板和數個側板，該數個側板相對於該底板圍繞出一承載空間；及數個緩衝結構，每一緩衝結構具有數個彈性元件，該數個緩衝結構設於該底板上並對應靠近該數個側板，且該數個緩衝結構與該底板之間以一結合單元可拆離地定位安裝，每一緩衝結構的該數個彈性元件的一端遠離該底板延伸且無接觸所對應的各該側板。
14. 如請求項13所述的基板載具之載體，其中，該數個彈性元件中之至少兩個以一連接部連接，該連接部的位置不高於該數個彈性元件的高度的2/3。
15. 如請求項13或14所述的基板載具之載體，其中，該載體係由數個可相互組配的第一結構所構成。
16. 一種基板載具之載體，包含：一底板和數個側板，該數個側板相對於該底板圍繞出一承載空間；及數個緩衝結構，各該緩衝結構設於該底板上並靠近各該側板，且各該緩衝結構具有數個彈性元件，該數個彈性元件的一端遠離該底板延伸；其中，該數個彈性元件中之至少兩個以一連接部連接，該連接部的位置不高於該數個彈性元件的高度的2/3。
17. 如請求項16所述的基板載具之載體，其中，該連接部的位置不超出該數個彈性元件的高度的1/2~2/3的範圍外。
18. 如請求項16所述的基板載具之載體，其中，該連接部延伸連接到該底板。
19. 如請求項16至18中任一項所述的基板載具之載體，其中，該連接部具有至少一個貫穿孔。