TWI513912B

TWI513912B - 線性致動器

Info

Publication number: TWI513912B
Application number: TW100100155A
Authority: TW
Inventors: Koichiro Ishibashi; Seiji Takanashi; Motohiro Sato; Jiro Mandokoro; Koji Hara; Toshio Sato
Original assignee: Smc Kk
Priority date: 2010-01-05
Filing date: 2011-01-04
Publication date: 2015-12-21
Also published as: KR101717607B1; CN102116331A; CN102116331B; JP2011158085A; KR20110081048A; TW201139862A; DE102010056367A1; JP5704528B2

Description

線性致動器

本發明係有關於一種線性致動器，其中，透過從入口/出口埠引入壓力流體(pressure fluid)，使得滑動檯往復地沿著缸本體的軸線方向移動。

目前至今，例如以液壓缸等所製成者的線性致動器一直被用作為傳送工件的手段。如日本新型專利第2586276號所揭露者，本案申請人已提出一種線性致動器，其可藉由使滑動檯往復地沿著缸本體的直線移動，以傳送載置於滑動檯上的工件。

而且，在日本發明專利早期公開第2008-057679號中係揭露一種裝備有非循環導引機構的線性致動器，其中，複數個鐵球係配置於在導引軌道(guide rail)及滑動檯(slide table)之間的本體，以使該等鐵球隨著滑動檯的位移而被移位。

然而，依據上文所述的日本發明專利早期公開第2008-057679號的習知技術，舉例來說，在不平均的負荷(load)施加於滑動檯之情況下，在導引軌道的左側及右側發生鐵球的位移(shifting)，而這樣的情形，會有滑動檯可能斜傾(inclination)(傾斜(tilting))的顧慮存在。

本發明的一般目的係提供一種線性致動器，其能夠可靠地並穩定地停止滑動檯的動作，且隨之，當滑動檯停止時同時抑制力矩(moment)的產生，從而抑制滑動檯的傾斜，且亦簡化線性致動器的設計並增進使用便利性。

本發明係一線性致動器，其中，透過從流體入口/出口埠引入壓力流體，使得滑動檯往復地沿著缸本體的軸線方向移動，包括：缸本體，係與流體入口/出口埠連通，並具有被引入有壓力流體的一對缸室；滑動檯，係往復地沿著缸本體的軸線方向移動；汽缸機構，具有可沿著缸室滑動的一對活塞，其中在活塞的位移運動下使得滑動檯往復地移動；導引機構，用以沿缸本體的軸線方向導引滑動檯，導引機構係接設至缸本體並具有形成有循環通道之平坦導引塊，複數個滾動體係通過循環通道滾動並循環；以及止動器機構，係設置於滑動檯的一端的垂直於滑動檯的軸線方向之寬度方向的中央，以規範(regulating)滑動檯的往復移動，其中，止動器機構係協同滑動檯位移並抵接於導引塊的一端。

根據本發明，於此種配備有一對活塞於缸本體的線性致動器中，用以規範滑動檯往復運動的止動器機構係設置於滑動檯一端的寬度方向的中央，其中滑動檯係沿缸本體的軸線方向往復移動。另外，當滑動檯藉由包括活塞於其中的汽缸機構往復運動時，與滑動檯一起位移之止動器機構係抵接於導引機構的導引塊的一端，從而停止滑動檯的運動。

據此，因為設置於滑動檯一端的寬度方向的中央，當止動器機構抵接於導引塊的一端並接合於此時，從線性致動器上方觀視的於側方向的力矩的產生係受到抑制，而可避免可能另外發生在當滑動檯與導引塊接合時滑動檯的傾斜。於是，滑動檯的運動能可靠地並穩定地止動器機構所停止。

由以下的說明結合配合本發明較佳實施例的圖式以說明例的形式顯示，將能更加凸顯本發明的上述以及其他目的功能及優點。

於第1圖，元件符號10係指本發明第一實施例的線性致動器。

如第1圖至第10圖所示，線性致動器10係包括：缸本體12、設於缸本體12上部並沿長度方向(箭號A及B的方向)進行直線往復運動的滑動檯14、設於缸本體12及滑動檯14之間，用以於長度方向(箭號A及B的方向)導引滑動檯14的導引機構16、以及可調整滑動檯14之位移量的止動器機構18。

缸本體12具有矩形的剖面，並沿長度方向(箭號A及B的方向)具有預設的長度。具有於剖面呈凹陷拱形之凹部20係形成於缸本體12的上表面的大致中央處，並沿長度方向(箭號A及B的方向)延伸。於凹部20中，係設有一對貫穿螺栓孔24a、24b，連結螺栓22a、22b係插穿過螺栓孔24a、24b，用以連接缸本體12與導引機構16。

並且，如第5圖所示，在缸本體12的一側表面上，用以供應與排出壓力流體的第一埠及第二埠(流體入口/出口埠)26、28係形成為垂直於缸本體12的長度方向，該第一埠及第二埠係與後述的一對貫通孔(缸室)30a、30b連通。再者，在缸本體12的另一側表面上，兩個感測器安裝槽32係各別形成於沿著長度方向(箭號A及B的方向)的位置，並設有感測器(未圖示)於其中。

於缸本體12的底表面，如第3圖及第4圖所示，一對螺栓孔24a、24b係形成於軸線的寬度方向(箭號C的方向)的中央。連結螺栓22a、22b係從下面插入穿過螺栓孔24a、24b並向上貫穿缸本體12。

連結螺栓22a、22b的頭件33係由平頭螺栓(flush bolt)所製成，該平頭螺栓係具有朝遠離螺紋部(如第4圖所示朝下)半徑逐漸擴大的錐形狀。螺栓孔24a、24b之擴張半徑部35同樣的也形成為逐漸地朝缸本體12的底表面側擴張的錐形狀，以便與錐形狀的頭件33接鄰。

另外，帶螺紋的連結螺栓22a、22b之末端係從缸本體12的上表面突出，並透過與導引機構16的導引塊92螺合而相互連接。在此時，如第4圖所示，由於在連結螺栓22a、22b之上的頭件33與螺栓孔24a、24b之擴張半徑部35經由帶螺紋的表面抵接，即使在負荷施加在相對於導引塊92為水平的方向(箭號A與箭號B的方向)，由於帶螺紋表面間的嚙合，連結螺栓22a、22b係不會朝垂直於軸線的方向(例如在箭號A與箭號B的方向)位移。

因此，導引塊92係在適當定位的狀態下被牢牢地固定於缸本體12。另外說明的是，由於連結螺栓22a、22b在重直於軸線的方向之滑動(位移)受到控制，故導引塊92係被保持在被高精確性定位的狀態下，且隨此，可高度準確地控制經由止動器機構18止動的滑動檯14的位移量。

而且，於缸本體12的底表面，一對第一定位孔29a、29b係形成於寬度方向(箭號C的方向)中間的軸線上，於是，舉例來說，當線性致動器10的缸本體12藉由插銷(pins)插穿第一定位孔29a、29b並進入另一裝置而被固定在另一個裝置等(未圖示)時，係完成其相對定位。

如第3圖及第4圖所示，第一定位孔29a、29b係鄰近於螺栓孔24a、24b形成，使得其中一個第一定位孔29a係形成為圓形於缸本體12之一端側(在箭號A的方向)上穿過，後文所述的活塞桿38從缸本體12突出，而另一個第一定位孔29b於缸本體12另一端側(在箭號B的方向)上形成為橢圓或矩形，其長邊方向沿著軸方向(在箭號A及箭號B的方向)延伸。

以此方式，藉由在缸本體12的軸線上設置第一定位孔29a、29b，當進行包含缸本體12之線性致動器10的連接及定位到另一裝置上時，可輕易執行其操作。

另一方面，如第5圖所示，於缸本體12之內係形成有兩個貫通孔30a、30b，其係沿長度方向(箭號A及B的方向)貫穿，貫通孔30a及另一個貫通孔30b係實質上設置為互相平行並相隔一預設的距離。於貫通孔30a、30b之內係設有汽缸機構40，包括個別的活塞37，每個活塞37具有安裝於外周面的密封環34及磁鐵36，以及連接至活塞37的活塞桿38。

汽缸機構40係由該對活塞37及活塞桿38所構成，並分別安裝於該對貫通孔30a、30b中。

而且，於其中一個活塞37的外圓周表面上，磁鐵36係沿著密封環34安裝。磁鐵36係僅設置於在缸本體12的感測器安裝槽32側之其中一個活塞37上。藉由安裝於感測器安裝槽32之檢測感測器(未圖示)，檢測磁鐵36的磁力，藉此活塞37沿著軸線的位移位置係受到檢測。

再者，環狀的活塞阻尼器41係設置於在後述的柄夾持件(rod holder)46(在箭號A的方向)之一側上之活塞37。舉例來說，即使沒有設置止動器機構18，在活塞朝柄夾持件46(在箭號A的方向)之一側位移的情形下，活塞37係藉由透過活塞阻尼器41抵接柄夾持件46而被阻止，且震動被活塞阻尼器41適當地吸收。

貫通孔30a、30b係一端被蓋體42所關閉並密封，而貫通孔30a、30b的另外一端係被桿夾持件46緊密地密封，柄夾持件46係透過鎖定環44而保持於其中。在柄夾持件46的外周，O環48係透過環形溝槽安裝，藉以防止壓力流體穿過貫通孔30a、30b及柄夾持件46之間的間隙而洩漏。

再者，其中一個貫通孔30a係分別與第一及第二埠26、28連通，而另一個貫通孔30b亦透過形成於貫通孔30a與另一貫通孔30b之間的一對連接通路50而與貫通孔30a相互連通。更具體而言，該壓力流體係被供應至第一及第二埠26、28，而被引入貫通孔30a中。在這之後，壓力流體亦經由連接通路50而被引入另一貫通孔30b中。連接通路50係形成為垂直於貫通孔30a、30b的延伸方向(箭號A與B的方向)。

滑動檯14包括：檯本體52、連接於檯本體52的一端的止動器機構18、以及連接於檯本體52另一端的端板54。端板54係相對於檯本體52而垂直地連接。

檯本體52係由沿長度方向延伸並具有預設厚度的基底構件56，以及從基底構件56之兩側垂直地向下延伸的一對導引壁(壁構件)58a、58b所組成。在導引壁58a、58b的內部表面，係形成有用以導引後述之導引機構16的球(轉動體)60的第一球導引溝槽62。第一球導引溝槽62係凹入於剖面呈實質上半圓的形狀。並且，基底構件56及導引壁58a、58b係形成實質上相同的厚度尺寸(見第7圖)。

並且，一對第一螺栓孔68係形成於檯本體52的一端，螺栓(緊固構件)66a係插入該對第一螺栓孔68以固定後述的止動器機構18之夾持部(固持構件)64。在檯本體52的另一端係形成有一對第二螺栓孔70，螺栓66b係插入該對第二螺栓孔70以固定端板54。第一螺栓孔及第二螺栓孔68、70係貫穿於與檯本體52的延伸方向垂直之方向。

四個工件固持孔72係形成於基底構件56的一端及另一端之間。工件固持孔72係以預設的距離相互間隔，目的在於例如當工件(未圖示)被設置於滑動檯14的上部上並受到搬運時能固定工件在適當位置。

另外，使得當滑動檯14置於缸本體12的上部時，工件固持孔72係相對於第二球導引槽74，沿著缸本體12及導引塊92的寬度方向朝向中央側設置，第二球導引槽74係設置於導引塊92的相反側的表面(見第7圖)。另外說明的是，工件固持孔72係設於滑動檯14距離導引塊92的第二球導引槽74的內側位置。

而且，如第1圖至第4圖所示，一對第二定位孔75a、75b係形成於基底構件56內，未述及的插銷係插入其中，用以將工件(未圖示)定位於基底構件56的寬度方向中央的軸線上。第二定位孔75a、75b係沿著基底構件56的長度方向(箭號A與箭號B的方向)以預設的距離相互間隔，被配置在端板54一側(在箭號A的方向)的其中一個第二定位孔75a係形成為以圓形貫穿，而另一個第二定位孔75b係形成為其縱向尺寸沿著軸線方向延伸的橢圓或矩形設置於止動器機構18的一側(在箭號B的方向)。

以此方式，藉由在滑動檯14內的基底構件56的軸線上設置第二定位孔75a、75b，當將工件裝設並定位於滑動檯14上時，可輕易的執行其操作。

端板54係藉由兩個螺栓66b固定，兩個螺栓66b係穿設於形成在檯本體52的另一端的第二螺栓孔70，並設置成面向缸本體12的一端表面。端板54亦固定至活塞桿38的端部，活塞桿38係插設穿過形成於端板54的一對桿孔76a、76b。由此，包括端板54之滑動檯14係連同活塞桿38而可沿缸本體12的長度方向(箭號A與B的方向)移動。

並且，在端板54上，安裝有阻尼器78的阻尼器安裝孔80係形成於桿孔76a及另一桿孔76b之間的位置。當由例如橡膠等彈性材質製成的阻尼器78從在缸本體12之側的端板54的另一側表面安裝(插設)於阻尼器安裝孔80時，阻尼器78之端部遂徑向擴張，並從另一側表面向外突出。

由於阻尼器安裝孔80係形成於端板54的寬度方向(在箭號C的方向)的中央，故阻尼器78相同地被安裝在於端板54的寬度方向。

更具體而言，當端板54與滑動檯14協同移動時，藉由從端板54的另外一側表面突出的阻尼器78抵接於缸本體12的端面，可避免端板54直接抵接缸本體12所產生令人困擾的震動及噪音。

再者，由於阻尼器78係設置於端板54的寬度方向(在箭號C的方向)之大約中央部，當滑動檯14位移時，且端板54透過阻尼器78抵接缸本體12的端表面而被停止，從上方觀視在線性致動器10橫向方向(左－右)所產生的力矩係受到抑制。

止動器機構18包括設置於檯本體52的一端的下表面的夾持部64、螺合於夾持部64的止動螺栓82、以及用以規範止動螺栓82的前進及後退移動的鎖定螺帽84。止動器機構18係設置成面向設置於缸本體12的導引機構16的一端表面。

夾持部64係形成塊狀，並透過兩個螺栓66a從上方固設於滑動檯14的檯本體52的基底構件56，兩個螺栓66a係從上方經由第一螺栓孔68插入。夾持部64包括大致於夾持部64的中央向下突出為剖面成拱形的第一凸起部(凸起部)86。於包括有第一凸起部86的夾持部64的中央係形成有螺孔88，其中止動螺栓82係螺合於其中。螺孔88延伸穿過夾持部64並大致平行於檯本體52的延伸方向。

更具體而言，由於螺孔88係設置於具有第一凸起部86的夾持部64的中心，相較於未設有第一凸起部86的情形，螺孔88可形成於稍微較低的位置。

並且，於夾持部64，第一凸起部86係以軸方向延伸，使得當滑動檯14沿長度方向位移時，第一凸起部86係插穿缸本體12的凹部20。

止動螺栓82，舉例來說，係由外周面刻有螺紋的柄狀螺樁所製成。在螺合於夾持部64的螺孔88的情形下，止動螺栓82具有從螺孔88突出的長度。並且，鎖定螺帽84係與從夾持部64的一端表面突出的區域與止動螺栓82螺合。

另外，透過止動螺栓82對夾持部64的螺旋轉動，止動螺栓82係沿軸方向(箭號A與B的方向)位移，以靠近及遠離導引機構16。舉例來說，在止動螺栓82被旋轉以朝導引機構16(箭號A的方向)之側突出預設的長度後，鎖定螺帽84係被螺旋轉動以移動並抵接夾持部64的側表面，藉以控制止動螺栓82的前進及後退移動。

並且，由彈性材料製成的震動吸收件90係在止動螺栓82的末端朝導引機構16突出一指定長度。震動吸收件90係為了當止動螺栓82在滑動檯14位移動作下抵接導引機構16的端面時緩衝震動的目的而設置。

如第8及第9圖所示，導引機構16包括：寬而平坦的導引塊92、設置於導引塊92上的一對循環有球60的球循環構件(ball circulation member)94a、94b，一對罩體96係分別地安裝於沿導引塊92的長度方向的相反端、以及用於分別地覆蓋罩體96表面的一對罩板98。

第二球導引槽74係沿長度方向形成於導引塊92的兩側表面。在接近第二球導引槽74的區域，插入有球循環構件94a、94b的一對安裝槽100a、100b係沿長度方向貫穿。第二球導引槽74係於剖面形成半圓形，而當滑動檯14安裝於導引機構16的上部時，第二球導引槽74的位置係與第一球導引溝槽62呈面對關係(confronting relation)。

安裝槽100a、100b係形成於導引塊92的下表面之長度方向的相反端，且於剖面具有矩形，並向下開口。

球循環構件94a、94b係對應於安裝槽100a、100b於剖面形成實質呈矩形的形狀，並且具備循環有球60的球循環孔102貫穿於內部。在其相反端係各別設置有用以倒轉球60循環的方向之滾動倒轉區104a、140b。滾動倒轉區104a、104b係於剖面形成半圓形，供球60滾動的球槽係形成於滾動倒轉區104a、104b的外周面。此球槽係與球循環孔102連續地連接。

更具體而言，球60從球循環構件94a、94b的球循環孔102滾動，經過滾動倒轉區104a、104b的球槽，並於方向改變180度以進入設於球循環構件94a、94b外側的第一及第二球導引槽(循環通路)62、74。

球循環構件94a、94b係設置於導引塊92，使得球循環孔102係相對於第一及第二球導引槽62、74位於朝下處。更具體而言，球循環孔102與第一及第二球導引槽62、74係於垂直方向(第7圖中箭號C的方向)偏移一預定高度。

並且，當球循環構件94a、94b插入導引塊92的安裝槽100a、100b時，滾動倒轉區104a、104b的平坦表面部108係分別地抵接導引塊92的末端表面(見第6圖)，使得球循環構件94a、94b的球循環孔102與第二球導引槽74係互相連接。

更具體而言，如第7圖所示，於導引機構16中，球循環孔102與第一及第二球導引槽62、74係藉由滾動倒轉區104a、104b以一傾斜的方向連接。

由此，一連續的環狀球循環通路110係由球循環構件94a、94b的球循環孔102、球槽、滑動檯14的第一球導引槽62、以及導引塊92的第二球導引槽所形成。複數個球60沿著球循環通路110滾動，由此滑動檯14可滑順地沿著導引機構16往復式的移動。

罩體96係安裝成覆蓋導引塊92的兩端表面。以軸方向貫穿的孔洞111係形成於罩體96的中央，並設置有第二凸起部112，其係各別對著孔洞111以朝上及朝下的方向於剖面成拱形向外凸起。第二凸起部112係設置成當導引機構16安裝於缸本體12的上部時，第二凸起部112可插入缸本體12的凹部20。

另一方面，於罩體96內，係形成有空間114以容納滾動倒轉區104a、140b，而用以保持滾動於滾動倒轉區104a、104b內的球60的保持槽116係形成於此空間114。保持槽116於滾動倒轉區104a、104b的徑向外側於剖面形成拱形，使球60可於保持槽116及滾動倒轉區104a、104b的球槽之間滾動。

孔洞118係形成於大略罩板98的中央，該孔洞118係與罩體96的孔洞111有相同的半徑並同軸。此外，導引塊92的末端表面係透過孔洞111、118向外露出，而罩板98在其上具有對應於罩體96於剖面為拱形並以朝上及朝下方向凸起的第三凸起部120。第三凸起部120係形成實質上與罩體96的第二凸起部112為相同的剖面形狀，並係設置成可插入缸本體12的凹部20。並且，前述的罩體96及罩板98係藉由罩體固定螺栓122各別地固定於導引塊92的末端表面。

此外，當滑動檯14往復地移動時，止動器機構18的止動螺栓82係透過孔洞118、111抵接於導引塊92的末端表面。

根據本發明的第一實施例的線性致動器10係基本上以如上所述方式構成。接著，將敘述線性致動器10的操作及功效。第4圖所示的狀態係描述為起始位置，其中滑動檯14的端板54係抵接於缸本體12的末端表面。

首先來自未圖示的壓力流體供應源的壓力流體係引入第一埠26。於此例中，第二埠28係在未圖示的切換閥(switching valve)操作下係處於暴露在外界空氣的狀態。

供應至第一埠26的壓力流體係供應至貫通孔30a的其中一個，並同樣的透過連接通路50供應至另一個貫通孔30b，藉此朝桿夾持件46擠壓活塞37(箭號A的方向)。於是，滑動檯14係協同連接至活塞37的活塞桿38，以遠離缸本體12的方向位移。

在此時，導引機構16的球60係伴隨著滑動檯14的位移而沿著球循環通路110滾動，藉此滑動檯14係透過導引機構16被導引於軸方向。

接著，如第10圖所示，設於滑動檯14的一端之止動螺栓82的末端係抵接於導引機構16的導引塊92的末端表面，而滑動檯14的位移停止，隨之滑動檯14到達了位移終點位置。

在放鬆了鎖定螺帽84以使止動螺栓82能夠移動後，止動器機構18從夾持部64末端表面突出的量可藉由止動螺栓82的螺合旋轉而加以調整，藉此亦可調整滑動檯14的位移量。

另一方面，於滑動檯14係以相反於上述方向位移的例子中，亦即，朝遠離第10圖中所示的位移終點位置的方向，供應至第一埠26的壓力流體係對應供應至第二埠28，而第一埠26係處於暴露於外界空氣的狀態。於是，藉由從第二埠28供應至該對貫通孔30a、30b的壓力流體，活塞37係朝遠離桿夾持件46(箭號B的方向)的方向位移，而滑動檯14係透過活塞37與活塞桿38協同以接近缸本體12的方向位移，然後，設於滑動檯14之端板54上的阻尼器78抵接於缸本體12之末端表面，並回到線性致動器10的起始位置。

以此方式，根據第一實施例，於具有由設於缸本體12的一對活塞37及活塞桿38所構成的汽缸機構40之線性致動器10中，停止滑動檯14的位移的止動器機構18係實質上設置於滑動檯14的一端的中央，該滑動檯14係設置於缸本體12的上部。因為止動器機構18係實質上設置於滑動檯14一端上且於寬度方向的中央，當滑動檯14位移且止動器機構18的止動螺栓82抵接並接合至導引塊92之末端表面時，可抑制從線性致動器10之上方所見的側方向的力矩的產生。於是，可避免在當滑動檯14接合至導引塊92時可能發生的滑動檯14的傾斜，並能夠可靠且穩定地停止滑動檯14的移動。

並且，具有球循環孔102的球循環構件94a、94b係設置於導引機構16的導引塊92，而導引塊92係藉由兩個連結螺栓22a、22b固定至缸本體12的上部。因此，相較於沿著設於傳統的線性致動器的本體的軌道而被位移的情形，由於球循環通路110的長度可被縮短，故線性致動器10的長度方向的長度亦可作得較短。換言之，線性致動器10可於長度方向上被製作成較小的尺寸。

以如於日本專利早期公開第2008-057679號所揭露之習知的非循環(non-circulation)式的線性致動器，設置於線性致動器的左側及右側之球(鐵球)很可能產生偏移，並伴隨著滑動檯的斜傾(傾斜)。關於此問題，在依據本發明之線性致動器10中，線性致動器10包括球60能在其中循環的導引機構16，由於在左側及右側的球60不會偏移，所以在滑動檯14的斜傾(傾斜)的抑制上產生了很大的效應。

再者，拱形凹部20係形成於缸本體12的上表面上，而朝缸本體12向外凸起的第二凸起部112係設置於設於缸本體12上部的導引機構16的罩體96上。第二凸起部112係插入凹部20，並且，對應於止動器機構18的止動螺栓82所抵接的罩體96，止動螺栓82的位置可設置得更靠近於缸本體12。

因此，相較於沒有在缸本體12上設置凹部20的例子，導引機構16及止動器機構18可設置得更靠近於缸本體12，由此包括導引機構16的線性致動器10的高度尺寸能以被限制。

又且，在線性致動器10的高度方向(於第7圖在箭號D的方向)，在缸本體12的中央與止動器機構18的止動螺栓82的中央之間的距離L(見第7圖)可被製作得更小，因此，當滑動檯14透過止動器機構18抵接並接合至導引機構16時，可減低力矩在線性致動器10的垂直方向上的產生。於是，可抑制滑動檯14接合時發生的傾斜，且得以可靠地並穩定地停止滑動檯14。

並且，於滑動檯14的該對導引壁58a、58b的內側，透過設置其中有球60滾動的第一球導引溝槽62，即無需將導引機構16固定於滑動檯14，如此，滑動檯14的厚度能以作得更薄。於是，可抑制包括滑動檯14的線性致動器10的高度尺寸，以使線性致動器10在高度方向上的尺寸可作得更小。

又且，因為提供有止動器機構18的夾持部64係由上方藉由螺栓66a對應在滑動檯14的基底構件56的一端從上方插設固定之結構，如此固定的基底構件56的厚度相較於從朝前方之方向固定於滑動檯14的基底構件56之情形可被製作得更薄。因此，包括基底構件56的滑動檯14能以被製作成薄壁狀，藉此可製成輕量的滑動檯14。

再且，由於阻尼器78係設置於端板54的寬度方向(在箭號C的方向)之大約中央部，故當滑動檯14位移並且透過阻尼器78抵接缸本體12的端表面而停止時，可抑制從上方觀視在線性致動器10橫向方向(左－右)所產生的力矩。於是，當滑動檯14停止時，能抑制滑動檯14的斜傾(傾斜)，且滑動檯14能穩定且可靠地受到止動。

此外，藉由設置第一定位孔29a、29b在缸本體12的底表面之寬度方向(在箭號C的方向)中央的軸線之上，並設置第二定位孔75a、75b用以定位在滑動檯14的寬度方向的工件(未圖示)，舉例來說，當線性致動器10的缸本體12藉由插銷插穿第一定位孔29a、29b並進入另一裝置而被固定在另一個裝置等(未圖示)時，其相對的定位可輕易並可靠的完成，連同於此，當工件裝設於滑動檯14之上時，其定位可輕易的執行並具有高精確度。

更具體而言，在線性致動器10中，以下每一個皆位在並設置於線性致動器10的寬度方向(在箭號C的方向)的中央：構成止動器機構18的止動螺栓82；設於端板54的阻尼器78；設於缸本體12的底表面之第一定位孔29a、29b；以及設於滑動檯14中之第二定位孔。而且在線性致動器10中，缸本體12、滑動檯14、導引塊92及止動器機構18係以側向對稱的方式來形成。於是，不會在包括缸本體12及滑動檯14的線性致動器10中引起左右方向的差異，故簡化了其設計。

而且，當製造滑動檯14時，藉由使用第二定位孔75a、75b做為參考點並藉由壓製成形(press forming)將導引壁58a、58b加以彎曲，並使用第二定位孔75a、75b做為參考點而製造(例如：切割)第一球導引溝槽62，則第二定位孔75a、75b能以高準確度設置於滑動檯14的寬度方向。

接著，第11圖至第16圖係顯示依據第二實施例之線性致動器150。其結構性元件與根據第一實施例之線性致動器10相同者係標示相同的元件符號，並省略其特徵的詳細說明。

依據第二實施例之線性致動器150與根據第一實施例之線性致動器10不同之處，在於如第11圖至第16圖所示，第一及第二埠26、28係同時在缸本體152的一側表面形成，用以供應與排出壓力流體的另一第三及第四埠(流體入口/出口埠)154、156(見第14圖)係形成於缸本體152的另一側表面，另外，感測器安裝槽158a、158b(見第15圖)係各別形成於缸本體152的一側表面及另一側表面。

而且，線性致動器150亦與根據第一實施例之線性致動器10不同，在於其中設置具有一對止動螺栓160a、160b及鎖定螺帽162a、162b的止動器機構164。

在缸本體152的另一側表面，第三埠154係形成於與第一埠26在一直線上的位置，而第四埠156係形成於與第二埠28在一直線上的位置。另外，第三及第四埠154、156係分別與在缸本體152中的貫通孔30b連通，使得在壓力液體供應至第三及第四埠154、156後，被引入該貫通孔30b，該壓力液體係穿過連接通路50a、50b而被引入貫通孔30a。

第一及第二埠26、28與第三及第四埠154、156係藉由選擇性地連接該對埠的其中一者至管路(piping)(未圖示)而加以使用，這最適於使用在線性致動器150的安裝環境中。舉例來說，在管路係連接到第三及第四埠154、156用以經此供應與排出壓力液體的例子中，密封栓166係安裝於第一及第二埠26、28以密封第一及第二埠26、28。相反地，在管路連接到第一及第二埠26、28用以經此供應與排出壓力液體的例子中，密封栓166係安裝於第三及第四埠154、156並封閉第三及第四埠154、156。

在缸本體152的一側表面及另一側表面，感測器安裝槽158a、158b係形成於第一至第四埠26、28、154、156上方的位置，並分別以直線形狀沿著缸本體152的長度方向(箭號A與箭號B的方向)延伸。此外，未述及的檢測感測器係分別裝設於感測器安裝槽158a、158b，該等檢測感測器能藉由檢測來自分別以成對安裝在活塞37之磁鐵36的磁力來檢測活塞37的位移位置。

而且，關於止動器機構164，與鎖定螺帽162a螺合的其中一個止動螺栓160a係旋合進入固定於滑動檯14的夾持部64，而另一個止動螺栓160b係旋合進入貫穿大致上在端板54的寬度方向(在箭號C的方向)中央部的螺栓孔168。鎖定螺帽162b係旋於止動螺栓160b突出端板54的區域之上。

螺栓孔168係從端板54的阻尼器安裝孔80向上分開預定的距離，並形成為與夾持部64的螺孔88同軸。更具體而言，類似阻尼器78，止動螺栓160b係設置於端板54的寬度方向(在箭號C的方向)的中央，且另一個止動螺栓160a與另一個止動螺栓160b係在同一軸上相互面對。

接著，簡短地說明前文所述的線性致動器150之操作。

首先，從第13圖及第14圖的起始位置，活塞37係受到擠壓並藉由從第三埠154供應的壓力液體朝柄夾持件46(箭號A的方向)位移，並伴隨著滑動檯14與活塞桿38在遠離缸本體152方向的位移。於此例中，第一及第二埠26、28係被關閉且受到密封拴166的密封。

此外，藉由構成止動器機構164的其中一個止動螺栓160a抵接構成導引機構16的導引塊92之端面，滑動檯14的位移係被停止，隨之滑動檯14到達其終點位置(見第16圖)。

另一方面，在滑動檯14係如第16圖所示從終點位置朝相反方向位移的例子中，藉由將先前供應到第三埠154的壓力液體供應到第四埠156，活塞37係被擠壓並以朝遠離柄夾持件46的方向(在箭號B的方向)位移，並伴隨著滑動檯14經由活塞桿38與活塞37以接近缸本體152的方向的位移。另外，藉由構成止動器機構164的另一個止動螺栓160b抵接構成導引機構16的導引塊92之端面，滑動檯14的位移係被停止，隨之滑動檯14回到其起始位置(見第13圖及第14圖)。

更具體而言，依據第二實施例之線性致動器150，第一及第二埠26、28及第三及第四埠154、156分別設置於缸本體152的一側表面及另一側表面，且由於提供一種能選擇性地經由第一及第二埠26、28或第三及第四埠154、156供應及排出壓力液體的結構，所以可選擇性地使用對應於供應壓力液體之管路的配置中，最適於線性致動器150的安裝環境之一對埠。

而且，在類似的方式下，由於感測器安裝槽158a、158b係分別形成於缸本體152的一側表面及另一側表面，一檢測感測器可藉由選擇最符合線性致動器150的安裝環境之感測器安裝槽158a、158b來安裝。並且，藉由設置關於感測器安裝槽158a、158b兩者分別的檢測感測器，活塞37的位移位置能以更高的準確性來檢測。

再者，對滑動檯14加以止動的止動器機構164係由一對止動螺栓160a、160b所構成，使得一個止動螺栓160a係被設置於滑動檯14一端的寬度方向(在箭號C的方向)之大約中央部上，而另一個止動螺栓160b係設置於連接到滑動檯14另一側的寬度方向(在箭號C的方向)之大約中央部上之端板54。

因此，在滑動檯14位移且藉由止動螺栓160a、160b分別相對於導引塊92而停止的的起始位置與終點位置處，可抑制從線性致動器150的上方觀視在橫向(左－右)方向所產生的力矩。更具體而言，包括止動器機構164的線性致動器150其係在線性致動器150的橫向(左－右)方向形成為對稱的形狀。

於是，在滑動檯14止動後可壓抑滑動檯14的斜傾(傾斜)，且相較於僅於滑動檯14的一端側設置止動螺栓160a的情形，力矩的產生能以更高的可靠度來壓抑，藉此滑動檯14能更穩定且可靠地停止。

感測器安裝槽158a、158b係不限於分別設置於上述的缸本體152一側及另一側的情形。舉例來說，如顯示於第17圖至第19圖之線性致動器200，兩排式的感測器安裝槽204a、204b係在缸本體202的高度方向分隔預定的距離，可設置為分別沿著缸本體202的縱向方向(箭號A及箭號B的方向)延伸。

於此情形中，舉例來說，用來檢測活塞37的起始位置之檢測感測器可被設置於其中一個感測器安裝槽204a，而另一個用來檢測活塞37的位移終端位置之檢測感測器可被設置於另一個感測器安裝槽204b，從而能以更高的精確度檢測活塞37的起始位置及位移終端位置。

接著，依據第三實施例之線性致動器250係顯示於第20圖至第21圖。其結構性元件與上述根據第一及第二實施例之線性致動器10、150相同者係標示相同的元件符號，並省略其特徵的詳細說明。

依據第三實施例之線性致動器250與根據第一及第二實施例之線性致動器10、150不同之處，在於第一及第二埠256、258係設置於連接到缸本體252一端之終端嵌段(end block)254，來代替將第一及第二埠26、28設置於缸本體12的一側及另一側。

終端嵌段254係連接到缸本體252的一端，以關閉並密封貫通孔30a、30b。第一及第二埠256、258係形成於終端嵌段254的端表面，在寬度方向分隔預定的距離，並朝缸本體252之側延伸(在箭號A的方向)。

第一埠256係經由第一連接通路260與貫穿孔30a的一端連通。第二埠258係連接到於終端嵌段254內部在寬度方向(在箭號C的方向)延伸的第二連接通路262，並連接到經由形成於在缸本體252的一對貫通孔30a、30b之間的第三連接通路264而設於端板54的一側之連接通路50a。更具體而言，由第二埠258供應的壓力液體穿過第二及第三連接通路262、264與連接通路50a，並分別在貫通孔30a、30b中於活塞37及柄夾持件46之間供應。而且，第三連接通路264係形成為不與在終端嵌段254側的連接通路50b連通(在箭號B的方向)。

以此方式，由於通向管路的連結能建立在缸本體252的縱向方向，所以藉由將具有第一及第二埠256、258的終端嵌段254連接到缸本體252之縱向方向(箭號A及箭號B的方向)的一端，舉例來說，這樣的設置可被應用到將管路連接到缸本體252的一端側與另一端側的空間無法被確保的安裝環境。

依據本發明的線性致動器並不限於上述的實施例，而在不偏離於如所附的申請專利範圍的本發明之實質內容及範圍下可採用各種變化或附加功能及結構。

10、150、200、250．．．線性致動器

12、152、202、252．．．缸本體

14．．．滑動檯

16．．．導引機構

18、164．．．止動器機構

20．．．凹部

22．．．連結螺栓

24a、24b、168．．．螺栓孔

26、256．．．第一埠(流體入口/出口埠)

28、258．．．第二埠(流體入口/出口埠)

29a、29b．．．第一定位孔

30a、30b．．．貫通孔(缸室)

32、158a、158b、204a、204b．．．感測器安裝槽

33．．．頭件

34．．．密封環

35．．．擴張半徑部

36．．．磁鐵

37．．．活塞

38．．．活塞桿

40．．．汽缸機構

41．．．活塞阻尼器

42．．．蓋體

44．．．鎖定環

46．．．柄夾持件

48．．．O環

50、50a、50b．．．連接通路

52．．．檯本體

54．．．端板

56．．．基底構件

58a、58b．．．導引壁(壁構件)

60．．．球(轉動體)

62．．．第一球導引溝槽

64．．．夾持部

66a．．．螺栓(緊固構件)

66b．．．螺栓(轉緊構件)

68．．．第一螺栓孔

70．．．第二螺栓孔

72．．．工件固持孔

74．．．第二球導引槽

75a、75b．．．第二定位孔

76a、76b．．．桿孔

78．．．阻尼器

80．．．阻尼器安裝孔

82、160a、160b．．．止動螺栓

84、162a、162b．．．鎖定螺帽

86．．．第一凸起部(凸起部)

88．．．螺孔

90．．．震動吸收件

92．．．導引塊

94a、94b．．．球循環構件

96．．．罩體

98．．．罩板

100a、100b．．．安裝槽

102．．．球循環孔

104a、104b．．．滾動倒轉區

108．．．平坦表面部

110．．．球循環通路

111、118．．．孔洞

112．．．第二凸起部

114．．．空間

116．．．保持槽

120．．．第三凸起部

154．．．第三埠(流體入口/出口埠)

154．．．第三埠

156．．．第四埠(流體入口/出口埠)

156．．．第四埠

166．．．密封拴

254．．．終端嵌段

260．．．第一連接通路

262．．．第二連接通路

264．．．第三連接通路

第1圖係根據本發明第一實施例之線性致動器的外觀透視圖；

第2圖係顯示意滑動檯從第1圖中的線性致動器朝上分離的情形之分解透視圖；

第3圖係從第1圖的線性致動器下側觀看之分解透視圖；

第4圖係第1圖的線性致動器之整體垂直剖面圖；

第5圖係沿第4圖V-V線的剖面圖；

第6圖係沿第4圖VI-VI線的剖面圖；

第7圖係沿第4圖VII-VII線的剖面圖；

第8圖係構成部分第1圖的線性致動器之導引機構的外觀透視圖；

第9圖係第8圖所示的導引機構之分解透視圖；以及

第10圖係顯示第4圖所示的線性致動器的滑動檯之端板朝遠離缸本體的方向位移的情形之整體垂直剖面圖；

第11圖係根據本發明第二實施例之線性致動器之外部透視圖；

第12圖係從低側觀視第11圖之線性致動器之分解示意圖；

第13圖係第11圖之線性致動器之整體垂直剖面圖；

第14圖係沿著第13圖之線段XIV-XIV所做之剖面圖；

第15圖係沿著第14圖之線段XV-XV所做之剖面圖；

第16圖係用以顯示滑動檯的端板從第13圖所示之線性致動器的圓筒狀本體被分開的情形之整體垂直剖面圖；

第17圖係根據修改的實施例之線性致動器之外部透視圖；

第18圖係從低側觀視第17圖之線性致動器之分解示意圖；

第19圖係顯示於第17圖之線性致動器之剖面圖；

第20圖係根據本發明第三實施例之線性致動器之前視圖；以及

第21圖係顯示於第20圖之線性致動器之橫斷剖面圖。

10．．．線性致動器

12．．．缸本體