JP4618578B2 - リニアアクチュエータ - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、駆動部の駆動作用下に、ベース部材に沿ってスライダを直線状に往復動作させることが可能なリニアアクチュエータに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、例えば、ワークの搬送手段としてリニアアクチュエータが用いられている。
【0003】
ここで、本出願人が案出したロッドレスシリンダの平面図を図7に示す(実公平7−16884号公報参照)。図7に示されるように、このロッドレスシリンダ1には、シリンダチューブ2のボア内に供給される圧力流体の作用下にシリンダチューブ2に沿ってスライダ3が変位自在に設けられている。
【0004】
スライダ3のストローク量を調整するねじ部材4がエンドブロック5を貫通するねじ孔を介して螺入され、前記ねじ部材4のねじ込み量を調整することにより、スライダ3のストローク量が微調整されるように設けられている。また、前記ねじ部材4の弛み防止のためのプレート6が固定ボルト7によって前記エンドブロック5の側面に固定されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、前記ロッドレスシリンダに関連してなされたものであり、スライダのストローク量を調整するための調整用ねじ部材等が係止部材の端面から外部に突出することがなく、装置全体の軸線方向の寸法を可及的に短縮して、より一層小型化を達成することが可能なリニアアクチュエータを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、ベース部材と、
駆動部の駆動作用下に前記ベース部材の軸線方向に沿って変位するスライダと、
前記ベース部材の端部側に連結され、切欠部が形成された係止部材と、
前記切欠部内に挿入されるプレート部材と、
前記係止部材および前記プレート部材に螺入されて貫通し、前記スライダのストローク量を調整する調整用ねじ部材と、
前記プレート部材を前記係止部材の切欠部内に保持する係止用ねじ部材と、
を備え、
前記調整用ねじ部材および前記係止用ねじ部材の端面は、前記係止部材の端面から外部に突出することがなく、少なくとも略面一に設けられることを特徴とする。
【0007】
また、前記調整用ねじ部材および前記係止用ねじ部材の一端面に、多角形状の凹部を形成するとよい。
【0008】
本発明によれば、調整用ねじ部材および係止用ねじ部材の端面を係止部材の端面から外部に突出させることがない。また、プレート部材を係止部材の切欠部内に挿入することにより、該プレート部材を係止部材の端面から外部に突出させることがなく、且つ前記調整用ねじ部材の弛み止め機能を持たせることができる。その結果、長手方向の寸法を抑制して装置全体の小型化および軽量化を図ることができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明に係るリニアアクチュエータについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【0010】
図1において、参照数字20は、本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータを示す。
【0011】
このリニアアクチュエータ20は、実質的に磁石式ロッドレスシリンダからなる駆動部22と、前記駆動部22の駆動作用下に直線状に往復動作するスライダ24と、前記スライダ24を直線状に案内するベース部材26と、前記ベース部材26の両端部にそれぞれ連結される一組のエンドブロック(係止部材)28a、28bと、前記一組のエンドブロック28a、28bにそれぞれ固定され、ベース部材26と略平行に配置されたセンサ取付用レール30とを含む。
【0012】
前記駆動部22は、図5に示されるように、内部にシリンダ室として機能する貫通孔32が形成され、その両端部にそれぞれ装着されるエンドキャップ34を介して一組のエンドブロック28a、28bに支持される円筒体36と、磁性材料によって形成され、前記円筒体36内の貫通孔32に沿って摺動自在に設けられたピストン38と、前記円筒体36の外周面を囲繞するとともに、前記ピストン38と一体的に該円筒体36の軸線方向に沿って変位するスライドブロック40とを有する。なお、前記エンドキャップ34には、通路を流通する流体の流量を絞るオリフィス42が形成されている。
【0013】
前記ピストン38の軸線方向に沿った両端部側には、スクレーパ46がそれぞれ装着されている。さらに、ピストン38の外周面には、鉄等の磁性体によって形成された5枚の環状板48a〜48eからなる第1ヨークが外嵌され、隣接する環状板48a〜48eの間には、リング状の内側磁石50a〜50dがそれぞれ介装されている。
【0014】
また、スライドブロック40の内周面には、鉄等の磁性体からなり複数枚に分割された環状板52a〜52eによって構成される第2ヨークが内嵌され、隣接する前記環状板52a〜52eの間には、リング状の外側磁石54a〜54dがそれぞれ介装されている。この場合、前記ピストン38に装着された内側磁石50a〜50dとスライドブロック40に装着された外側磁石54a〜54dとは、それぞれ円筒体36を間にして相互に対峙するように配設され、しかも相互に吸引し合うようにその磁極が設定されている。
【0015】
スライダ24は、図1および6に示されるように、断面逆凹字状を呈し、所定間隔離間して相互に対向する一組の側部56が一体的に形成されたガイドブロック58と、前記ガイドブロック58のストローク方向に沿った両端部に連結されるカバー部材60と、前記カバー部材60に連結される板状のスクレーパ62とを有する。スライダ24の両端部の略中央にはピン部材64が設けられ、スライダ24の変位終端位置において、後述する調整用ねじ部材66の一端部に設けられる緩衝部材68と前記ピン部材64とが当接することにより、調整用ねじ部材66の先端部に当接した際にスライダ24に付与される衝撃が緩衝される。
【0016】
図1に示されるように、前記ガイドブロック58の平面部には4つのワーク取付用孔部70が形成され、図5に示されるように、円筒体36に沿って変位するスライドブロック40の直線運動は、該スライドブロック40にねじ締結されたスタッド72(図1参照)を介してガイドブロック58(図1参照)に伝達され、ピストン38、スライドブロック40およびガイドブロック58(図1参照)が一体的に変位する。すなわち、スライドブロック40の直線運動は長孔に対するスタッド72(図1参照)の係合作用下にガイドブロック58(図1参照)に伝達される。この場合、スライドブロック40とガイドブロック58(図1参照)とはそれぞれ連結されていない状態にある。
【0017】
各エンドブロック28a、28bの一端面の略中央には、スライダ24のストローク量を調整するための調整用ねじ部材66が螺入され、前記調整用ねじ部材66のねじ込み量を増減させることによりスライダ24のストローク量が微調整される。前記調整用ねじ部材66の一端部には、ゴム等によって形成された緩衝部材68が突出して設けられており、スライダ24が調整用ねじ部材66の先端部に当接した際の衝撃が緩衝される。
【0018】
また、調整用ねじ部材66から所定間隔離間する両側には、後述するプレート部材74を固定するためのロック用ねじ部材76a、76b(係止用ねじ部材)が螺入されている。
【0019】
図2に示されるように、前記エンドブロック28a、28bの一端面の略中央には、前記調整用ねじ部材66が螺合される第1ねじ孔78が形成され、前記第1ねじ孔78から所定間隔離間する両側には、プレート部材74を固定する一組のロック用ねじ部材76a、76bが螺合される第2ねじ孔80a、80bが形成される。前記第1ねじ孔78は、エンドブロック28a、28bの他端面側まで貫通しており、前記第2ねじ孔80a、80bは、エンドブロック28a、28bの端面側に形成される孔部82a、82bと、ロック用ねじ部材76a、76bが螺合される雌ねじ部84a、84bとから形成される。また、図1および図2に示されるように、エンドブロック28a、28bの一端面には、圧力流体が供給・排出される圧力流体出入ポート44a、44bが形成される。
【0020】
前記孔部82a、82bの内径は、ロック用ねじ部材76a、76bの頭部の外径より若干大きく形成され、前記孔部82a、82bの深さ方向の寸法は、ロック用ねじ部材76a、76bの頭部がエンドブロック28a、28bの端面から外部に突出することがないように形成される。すなわち、プレート部材74を固定した際、ロック用ねじ部材76a、76bの頭部が前記孔部82a、82bに完全に格納されることにより、ロック用ねじ部材76a、76bがエンドブロック28a、28bの端面から外部に突出することがない。
【0021】
また、各エンドブロック28a、28bには、上方に向かって分岐する二股部85a、85bがベース部材26の軸線と略直交する方向に並設され、一方の二股部85aと他方の二股部85bとの間には、所定幅に切り欠かれた切欠部86が形成される。前記切欠部86には、前記調整用ねじ部材66の弛み止め機能を有する略直方体形状のプレート部材74が配設されている。なお、図1および図4に示されるように、前記切欠部86の幅方向の寸法(A)は、前記プレート部材74の厚さ方向の寸法(B)よりも大きく形成される。
【0022】
さらに、前記プレート部材74の略中央に形成される第3ねじ孔88には、前記調整用ねじ部材66が螺合され、第3ねじ孔88から所定間隔離間する両側には、第4ねじ孔90a、90bが形成される。
【0023】
すなわち、前記調整用ねじ部材66は、エンドブロック28aの二股部85a側の第1ねじ孔78、プレート部材74の第3ねじ孔88およびエンドブロック28aの二股部85b側の第1ねじ孔78を介して螺入され、二股部85bよりスライダ24(図1参照)側へ突出して設けられることにより、スライダ24(図1参照)のストローク終端位置でスライダ24(図1参照)を停止させる機能を有する。また、前記ロック用ねじ部材76a、76bは、エンドブロック28aの第2ねじ孔80a、80bと、プレート部材74の第4ねじ孔90a、90bを介してプレート部材74を固定している。
【0024】
調整用ねじ部材66およびロック用ねじ部材76a、76bの一端面には、断面略六角形状の凹部91a、91bが形成されることにより、締付時および弛緩時の工具作業スペースが少なくてすみ、圧力流体出入ポート44a、44bに接続される配管を接続した後においても接触することなく、ストローク調整時および取付時における作業性が向上する。なお、調整用ねじ部材66とロック用ねじ部材76a、76bの一端面に形成される凹部91a、91bの形状は、断面略六角形状に限定されるものではなく、多角形状であればよい。
【0025】
ベース部材26は、図6に示されるように、長尺な柱状体からなり、その上面部に長手方向に沿って延在するように形成された断面半円状の凹部92と、左右の側部に突出して形成されるガイド部93と、相互に対向する側部56に長手方向に沿って延在するように形成された断面円弧状の一組の転動溝94と、長手方向に沿って延在し、後述するサポート部材が係合するフランジ部98とを有する。前記断面半円形状の凹部92内には円筒体36の下部側の約半分が臨むように装着され、前記凹部92と円筒体36との間には所定のクリアランスが形成されている。
【0026】
この場合、ガイドブロック58の側部56に形成された転動溝94とベース部材26に形成された転動溝94との間に複数のボール96が転動自在に形成され、前記転動溝94とガイドブロック58の側部56に形成された貫通孔によって無限循環軌道が構成される。
【0027】
センサ取付用レール30の一側面には、軸線方向に沿って略平行な断面円弧状の2条のセンサ取付用長溝100が形成され、その反対側の一側面には断面三角形状の凹部102が軸線方向に沿って形成されている。前記凹部102には取付用金具104を介してガイドブロック58に保持された磁石106が臨み、前記ガイドブロック58と一体的に変位する磁石106の磁界をセンサ取付用長溝100に装着された図示しないセンサによって検知することにより、スライダ24の位置を検出することができる。
【0028】
また、前記センサ取付用レール30の内部には、軸線方向に沿った図示しない通路が形成され、前記通路は、センサ取付用長溝100の下部側に形成された一組の孔部にそれぞれ嵌着される配管用スタッド110を介して、エンドブロック28a、28bに形成された圧力流体出入ポート44a、44bにそれぞれ連通するように設けられている。
【0029】
なお、センサ取付用レール30に形成された通路108の両端部は、それぞれ鋼球112によって気密に閉塞されている。
【0030】
本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータ20は基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【0031】
先ず、調整用ねじ部材66とプレート部材74とロック用ねじ部材76a、76bとの組み付けおよび調整方法について説明する。なお、図2においては、エンドブロック28aの一方側のみを図示し、他方側を省略しているが、他方側のエンドブロック28bに設けられた調整用ねじ部材66とプレート部材74とロック用ねじ部材76a、76bとの組み付けおよび調整方法についても同様である。
【0032】
図2に示されるように、エンドブロック28aに形成される切欠部86にプレート部材74を挿入する。
【0033】
次に、調整用ねじ部材66を二股部85a側の第1ねじ孔78、プレート部材74の第3ねじ孔88、切欠部86を介した二股部85b側の第1ねじ孔78に螺入する。
【0034】
次に、調整用ねじ部材66を螺回することにより、調整用ねじ部材66の端部の位置を変位させてスライダ24(図1参照)の停止位置を調整する。
【0035】
次に、エンドブロック28aに形成される第2ねじ孔80a、80bおよび雌ねじ部84a、84bとプレート部材74の第4ねじ孔90a、90bとにロック用ねじ部材76a、76bを螺入する。なお、この場合、プレート部材74の一端面をエンドブロック28aの二股部85b側の内面に当接させた状態とするとよい。
【0036】
最後に、ロック用ねじ部材76a、76bを締め込むことにより、プレート部材74が二股部85aの方向に引張され、調整用ねじ部材66がプレート部材74により軸線方向に固定される。なお、ロック用ねじ部材76a、76bを締め込む際においても調整用ねじ部材66は回転されることがない。
【0037】
以上により本実施の形態では、調整用ねじ部材66のねじ込み量を増減させることにより、スライダ24のストローク量を微調整することができる。
【0038】
また、調整用ねじ部材66の位置を決めた後、ロック用ねじ部材76a、76bを締め付けることにより、ロック用ねじ部材76a、76bとプレート部材74の嵌合作用下に調整用ねじ部材66の位置を確実に固定することができる。
【0039】
さらに、調整用ねじ部材66をエンドブロック28a、28bの略中央に配設することにより、スライダ24がエンドブロック28a、28bに当接した際に生じるスライダ24のぶれを防止することができるとともに、従来のスライダ3のストローク量を調整する際に用いられていた一端部が六角形状に形成されているねじ部材4のように、調整用ねじ部材66およびロック用ねじ部材76a、76bの一端部がエンドブロック28a、28bの上面から上方に突出することがないため、装置全体の高さ方向の寸法を抑制することができる。
【0040】
このようにして組み付けおよび調整されたリニアアクチュエータ20においては、図示しない圧力流体供給源から供給された圧力流体(例えば、圧縮空気)は、第1圧力流体出入ポート44a、44bを経由してシリンダ室として機能する円筒体36の貫通孔32内に導入される。円筒体36の貫通内に導入された圧力流体の作用下にピストン38が押圧され、環状板48a〜48eからなる第1ヨークを介して複数の内側磁石50a〜50dとピストン38とが円筒体36の貫通孔32に沿って一体的に変位する。その際、第1ヨークを介してピストン38に装着された内側磁石50a〜50dの磁界作用下に外側磁石54a〜54dが吸引され、前記外側磁石54a〜54dを保持するスライドブロック40がピストン38と一体的に変位する。
【0041】
前記スライドブロック40が円筒体36に沿って変位する際、該スライドブロック40の直線運動がスタッド72を介してガイドブロック58に伝達され、ピストン38、スライドブロック40およびガイドブロック58が一体的に直線状に変位することにより、スライダ24の直線往復運動が保持される。
【0042】
そして、スライダ24の両端部に設けられているピン部材64が調整用ねじ部材66の先端部に当接して停止する際の衝撃は、調整用ねじ部材66の先端部に設けられた緩衝部材68によって好適に緩衝される。
【0043】
さらに、前記調整用ねじ部材66のねじ込み量を増減させることによりスライダ24のストローク量を微調整することができる。
【0044】
以上により本実施の形態では、調整用ねじ部材66およびロック用ねじ部材76a、76bとをエンドブロック28a、28bの端面から外部に突出させることがない。また、ナットの代わりにプレート部材74をエンドブロック28a、28bの切欠部86に設けることにより、調整用ねじ部材66の作用下にスライダ24のストローク量を調整した後、調整用ねじ部材66が弛むことがない。さらに、調整用ねじ部材66およびロック用ねじ部材76a、76bの一端部がエンドブロック28a、28bの端面から外部に突出することがないため、長手方向の寸法を抑制することができるとともに、外部配管を接続する際の作業性を向上させることができる。
【0045】
また、調整用ねじ部材66およびロック用ねじ部材76a、76bの一端面に断面略六角形状の凹部を形成することにより、外部が六角形状に形成された従来のナットおよびボルトを用いる場合に比べて、装置全体の小型化および軽量化を図ることができ、狭い作業スペースにおいても効率的に作業することができる。その結果、外部配管を接続した後においても、調整用ねじ部材66によるストロークの微調整およびロック用ねじ部材76a、76bの締付作業等の作業性を向上させることができる。
【0046】
さらに、調整用ねじ部材66によりスライダ24の停止位置を決めた後、ロック用ねじ部材76a、76bを締め付けることにより、ロック用ねじ部材76a、76bとプレート部材74の嵌合作用下に調整用ねじ部材66の位置を確実に固定することができる。
【0047】
さらに、調整用ねじ部材66をエンドブロック28a、28bの略中央に配設することにより、スライダ24が当接した際に生じるスライダ24のぶれを防止することができるとともに、従来のスライダ3のストローク量を調整するねじ部材4と比較して、調整用ねじ部材66およびロック用ねじ部材76a、76bの一端部がエンドブロック28a、28bの上面より突出することがないため、装置全体の高さ方向の寸法を抑制することができる。
【0048】
【発明の効果】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【0049】
すなわち、調整用ねじ部材および係止用ねじ部材の一端面に多角形状の凹部を形成し、また、プレート部材を係止部材の切欠部内に設けることにより、調整用ねじ部材、係止用ねじ部材およびプレート部材を係止部材の端面から外部に突出させることがない。その結果、長手方向の寸法を抑制して装置全体の小型化および軽量化を図ることができるとともに、係止部材へ外部配管等を接続する際の作業性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータの斜視図である。
【図2】本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータのエンドロックの一部分解斜視図である。
【図3】本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータの側面図である。
【図4】図3のIV−IV線に沿った一部横断面図である。
【図5】本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータの縦断面図である。
【図6】図1のVI−VI線に沿った縦断面図である。
【図7】本出願人が案出した従来技術に係るロッドレスシリンダの平面図である。
【符号の説明】
20…リニアアクチュエータ
22…駆動部 24…スライダ
26…ベース部材 28a、28b…エンドブロック
30…センサ取付用レール 32…貫通孔
36…円筒体 44a、44b…圧力流体出入ポート
48a〜48e…環状板 50a〜50d…内側磁石
52a〜52e…環状板 54a〜54d…外側磁石
58…ガイドブロック 60…カバー部材
66…調整用ねじ部材 68…緩衝部材
74…プレート部材 76a、76b…ロック用ねじ部材
78…第1ねじ孔 80a、80b…第2ねじ孔
82a、82b…孔部 84a、84b…雌ねじ部
86…切欠部 88…第3ねじ孔
90a、90b…第4ねじ孔 100…センサ取付用長溝
Claims (2)
- ベース部材と、
駆動部の駆動作用下に前記ベース部材の軸線方向に沿って変位するスライダと、
前記ベース部材の端部側に連結され、切欠部を間に有した二股部が形成された係止部材と、
前記切欠部内に挿入されるプレート部材と、
前記係止部材および前記プレート部材に螺入されて貫通し、前記スライダのストローク量を調整する調整用ねじ部材と、
一方の二股部および前記プレート部材に螺入され、前記プレート部材を前記係止部材の切欠部内に保持すると共に、螺回させることによって前記プレート部材を前記切欠部内において一方の二股部側へと引張する係止用ねじ部材と、
を備え、
前記調整用ねじ部材および前記係止用ねじ部材の端面は、前記係止部材の端面から外部に突出することがなく、少なくとも略面一に設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 請求項1記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記調整用ねじ部材および前記係止用ねじ部材の一端面には、多角形状の凹部が形成されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
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Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4441792B2 (ja) * | 2005-04-26 | 2010-03-31 | Smc株式会社 | リニアモータ用ブレーキ装置及びリニアモータの可動部の位置決め方法 |
JP5237903B2 (ja) * | 2009-08-27 | 2013-07-17 | Ckd株式会社 | リニアアクチュエータ |
JP6215462B2 (ja) * | 2013-06-28 | 2017-10-18 | フェスト アーゲー ウント コー カーゲー | リニアドライブ及びその製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0716884Y2 (ja) * | 1989-06-06 | 1995-04-19 | エスエムシー株式会社 | ロッドレスシリンダにおけるストローク調整ねじのロック機構 |
JPH08152006A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-06-11 | Smc Corp | リニアアクチュエータ |
JPH11117910A (ja) * | 1997-10-15 | 1999-04-27 | Howa Mach Ltd | ストップ部材取付用の門型ブラケット |
JPH11141507A (ja) * | 1997-11-11 | 1999-05-25 | Howa Mach Ltd | ストップ部材の取付構造 |
-
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0716884Y2 (ja) * | 1989-06-06 | 1995-04-19 | エスエムシー株式会社 | ロッドレスシリンダにおけるストローク調整ねじのロック機構 |
JPH08152006A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-06-11 | Smc Corp | リニアアクチュエータ |
JPH11117910A (ja) * | 1997-10-15 | 1999-04-27 | Howa Mach Ltd | ストップ部材取付用の門型ブラケット |
JPH11141507A (ja) * | 1997-11-11 | 1999-05-25 | Howa Mach Ltd | ストップ部材の取付構造 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002339913A (ja) | 2002-11-27 |
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