TWI463931B - 電路板及其製作方法 - Google Patents

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Description

電路板及其製作方法
本發明涉及電路板製作技術領域,尤其涉及一種電路板及其製作方法。
採用倒裝晶片球柵格陣列(FCBGA)進行封裝晶片的電路板,通常需要製作陣列排布的多個導電凸塊結構,以用於承載錫球。所述導電凸塊需要貫穿防焊層並與對應的導電線路相互電連接。現有技術中,通常採用在所述導電線路上形成對應的防焊層開口,然後在防焊層上形成電鍍阻擋層,並在電鍍阻擋層中形成與防焊層開口對應的電鍍阻擋層。由於防焊層開口和電鍍阻擋層開口均需要顯影形成,並且需要相互連通,在製作過程中需要對應的電鍍阻擋層開口與防焊層開口進行對位。之後,在防焊層的開口內化學鍍然後電鍍的方式形成導電凸塊。最後,去除電鍍阻擋層,得到凸出於防焊層的導電凸塊。在上述的製作方法中,需要將防焊層開口製作的相對較大,以便於顯影形成電鍍阻擋層開口時進行對位。並且,由於形成的導電凸塊與防焊層相互接觸,且接觸面積較小,從而容易導致導電凸塊於防焊層相互分離,得到的電路板的信賴性較差。並且,這樣的製作方法決定了製作的導電凸塊結構的分佈密度較小,不利於多個導電凸塊結構密集分佈。
有鑑於此,提供一種電路板及其製作方法,可以提高電路板的導電金屬塊的信賴性實屬必要。
一種電路板的製作方法,包括步驟:提供電路基板,其包括基底及形成於基底一表面的導電墊;在所述電路基板具有導電墊的一側壓合介電層,所述介電層具有遠離所述基底的第一表面;採用雷射在介電層內形成多個與導電墊一一對應的多個開孔,每個所述開孔為階梯孔,所述開孔包括相互連接的第一孔段和第二孔段,第一孔段與導電墊相鄰,第二孔段與第一表面相鄰,第二孔段的孔徑大於第一孔段的孔徑;以及在所述開孔內形成導電金屬塊,每個導電金屬塊與對應的導電墊相互電連接。
一種電路板,其包括基底、導電墊、介電層及導電金屬塊,所述導電墊形成於基底的一表面,所述介電層壓合於基底具有導電墊的一側,所述介電層具有遠離基底的第一表面,在介電層內形成有與導電墊對應開孔,所述開孔為階梯孔,每個所述開孔包括相互連接的第一孔段和第二孔段,第一孔段與導電墊相鄰,第二孔段與第一表面相鄰,第二孔段的孔徑大於第一孔段的孔徑,導電金屬塊形成於開孔內,並完全填充所述開孔。
本技術方案提供的電路板及其製作方法,由於導電金屬塊形成於介電層內,且介電層內的用於收容導電金屬塊的開孔為階梯孔。相較於先前技術中,在防焊層中形成開口,然後形成凸出於防焊層表面金屬凸塊,可以增加導電金屬塊與介電層的接觸面積。相較於防焊層,介電層與金屬的結合能力優於防焊層與金屬的結合能力。因此,本技術方案提供的電路板的信賴性較好。
100‧‧‧電路板
110‧‧‧電路基板
111‧‧‧基底
112‧‧‧導電墊
113‧‧‧導電線路層
120‧‧‧介電層
121‧‧‧開孔
1211‧‧‧第一孔段
1212‧‧‧第二孔段
1213‧‧‧連接面
122‧‧‧第一表面
130‧‧‧金屬種子層
140‧‧‧電鍍金屬材料
150‧‧‧導電金屬塊
151‧‧‧端面
152‧‧‧連接部
153‧‧‧承載部
160‧‧‧表面處理層
圖1係本技術方案實施例提供的電路基板的剖面示意圖。
圖2係圖1的電路基板一側壓合介電層後的剖面示意圖。
圖3係在圖2的介電層中形成開孔後的剖面示意圖。
圖4係圖3的介電層表面及開孔內壁形成金屬種子層後的剖面示意圖。
圖5係在圖4的金屬種子層表面形成電鍍金屬材料後的剖面示意圖。
圖6係本技術方案提供的電路板的剖面示意圖。
圖7係在圖6的電路板的導電金屬塊表面形成表面處理層後的剖面示意圖。
本技術方案提供的電路板製作方法包括如下步驟:
第一步,請參閱圖1,提供電路基板110。
所述電路基板110包括基底111及多個導電墊112。
電路基板110可以為單層電路基板也可以為多層電路基板。當電路基板110為單層電路基板時,基底111為單層的介電層。當電路基板110為多層電路基板時,基底111可以為多層導電線路層及多層介電層交替層疊的結構。多個導電墊112與基底111的一層介電層相接觸。本實施例中,基底111的一表面形成有導電線路層113,導電線路層113包括多個導電墊112及多根導電線路(圖未示)。
第二步,請參閱圖2,在電路基板110的多個導電墊112表面及從導電線路層113露出的基底111的表面形成介電層120。
本步驟中,介電層120通過壓合的方式形成於多個導電墊112表面及從導電墊112露出的基底111,使得介電層120完全覆蓋導電線路層113。介電層120具有遠離基底111的第一表面122。
第三步,請參閱圖3,採用雷射在介電層120內形成有多個開孔121,每個開孔121與一個導電墊112相互對應,每個導電墊112從對應的開孔121露出。
本步驟中,採用準分子雷射形成開孔121。開孔121呈階梯狀。開孔121包括相互連通的第一孔段1211和第二孔段1212。第一孔段1211與導電墊112相鄰,第二孔段1212靠近第一表面122。其中,第一孔段1211的孔徑小於第二孔段1212的孔徑。優選地,第一孔段1211與第二孔段1212同軸設置。由於開孔121採用雷射形成,第一孔段1211及第二孔段1212的縱截面均為倒梯形。在第一孔段1211和第二孔段1212的連接處,形成有連接面1213,所述連接面1213從第二孔段1212一側露出,所述連接面1213大致平行於第一表面122。
由於開孔121採用準分子雷射形成,在形成準分子雷射時,可以通過控制不同位置的雷射的能量,即位於開孔121中心區域,採用較大的能量,使得介電層120被完全貫穿,同時形成第一孔段1211和第二孔段1212。在外繞中心區域的邊緣區域,採用較小的雷射能量,使得僅部分的介電層120被燒蝕去除,僅形成第二孔段1212,從而得到階梯形狀的開孔121。
第四步,請參閱圖4至圖6,在每個開孔121內形成導電金屬塊150,得到電路板100。
本步驟具體為:
首先,在開孔121的內壁及介電層120的第一表面122形成金屬種子層130。
所述金屬種子層130可以採用化學鍍金屬的方式形成。如化學鍍銅的方式形成。當然,金屬種子層130也可以採用黑影等方式,使得開孔121的內壁及介電層120的表面形成金屬種子層130。
然後,通過電鍍的方式,在金屬種子層130表面形成電鍍金屬材料140,使得所述開孔121被完全填充。
本步驟中,電鍍的金屬材料可以為銅、銀等。本實施例中,電鍍金屬材料140完全填充開孔121,並形成在介電層120的第一表面122的金屬種子層130的表面。
最後,去除介電層120的第一表面122的電鍍金屬材料140及金屬種子層130,位於開孔121內的電鍍金屬材料140及金屬種子層130形成導電金屬塊150,從而得到電路板100。
本步驟中,可以採用化學蝕刻的方式去除介電層120的第一表面122的電鍍金屬材料140及金屬種子層130。通過控制蝕刻的時間,使得開孔121內的電鍍金屬材料140及金屬種子層130仍留在開孔121內形成導電金屬塊150。導電金屬塊150具有遠離導電墊112的端面151。所述端面151與第一表面122平齊。
導電金屬塊150包括相互連接的連接部152及承載部153。所述連 接部152的位於所述第一孔段1211內,所述承載部153位於第二孔段1212內。連接部152的形狀與第一孔段1211的形狀相對應,承載部153的形狀與第二孔段1212的形狀相對應。所述連接部152電連接導電墊112及承載部153,承載部153用於與其他元件進行焊接。連接部152及承載部153均為倒圓臺形,連接部152的橫截面積小於承載部153的橫截面積。
請參閱圖7,本技術方案提供的電路板製作方法,還可以包括在端面151形成表面處理層160的步驟。所述表面處理層160可以為有機保焊層,也可以為鎳金鍍層等,以保護導電金屬塊150。
請參閱圖6及圖7,本技術方案還提供一種採用上述方法制得的電路板100,所述電路板100包括基底111、導電墊112、介電層120及導電金屬塊150。
所述導電墊112形成於基底111的一表面。所述介電層120壓合於基底111具有導電墊112的一側。在介電層120內形成有開孔121,開孔121為階梯孔。所述介電層120具有遠離基底111的第一表面122。導電金屬塊150形成於開孔121內,並與對應的導電墊112相互電連接。導電金屬塊150具有遠離對應的導電墊112的端面151,端面151與介電層120的第一表面122平齊。
導電金屬塊150包括相互連接的連接部152及承載部153。所述連接部152的位於所述第一孔段1211內,所述承載部153位於第二孔段1212內。連接部152的形狀與第一孔段1211的形狀相對應,承載部153的形狀與第二孔段1212的形狀相對應。所述連接部152電連接導電墊112及承載部153,承載部153用於與其他元件進行焊接。連接部152及承載部153均為倒圓臺形,連接部152的橫截面 積小於承載部153的橫截面積。
導電金屬塊150由與開孔121的內壁相接觸的金屬種子層130及形成於金屬種子層130表面的電鍍金屬材料140組成。
進一步的,在每個導電金屬塊150的端面151還形成有表面處理層160,以保護導電金屬塊150。
本技術方案提供的電路板及其製作方法,由於導電金屬塊150形成於介電層120內,且介電層120內的用於收容導電金屬塊150的開孔121為階梯孔。相比於現有技術中,在防焊層中形成開口,然後形成凸出於防焊層表面金屬凸塊,可以增加導電金屬塊150與介電層120的接觸面積。相比於防焊層,介電層與金屬的結合能力優於防焊層與金屬的結合能力。因此,本技術方案提供的電路板的信賴性較好。
並且,介電層中的開孔採用一次雷射燒蝕形成,從而可以形成比較密集分佈的開孔,近而可以形成比較密集分佈的導電金屬塊,提高電路板的佈線密度。
惟,以上所述者僅為本發明之較佳實施方式,自不能以此限制本案之申請專利範圍。舉凡熟悉本案技藝之人士爰依本發明之精神所作之等效修飾或變化,皆應涵蓋於以下申請專利範圍內。
100‧‧‧電路板
111‧‧‧基底
112‧‧‧導電墊
120‧‧‧介電層
121‧‧‧開孔
130‧‧‧金屬種子層
140‧‧‧電鍍金屬材料
150‧‧‧導電金屬塊
151‧‧‧端面
152‧‧‧連接部
153‧‧‧承載部

Claims (10)

  1. 一種電路板的製作方法,包括步驟:提供電路基板,其包括基底及形成於基底一表面的導電墊;在所述電路基板具有導電墊的一側壓合介電層,所述介電層具有遠離所述基底的第一表面;採用雷射在介電層內形成多個與導電墊一一對應的多個開孔,每個所述開孔為階梯孔,所述開孔包括相互連接的第一孔段和第二孔段,第一孔段與導電墊相鄰,第二孔段與第一表面相鄰,第二孔段的孔徑大於第一孔段的孔徑,所述第一孔段和第二孔段連接處形成有連接面,所述連接面從第二孔段一側露出,所述連接面平行於第一表面;以及在所述開孔內形成導電金屬塊,每個導電金屬塊與對應的導電墊相互電連接。
  2. 如請求項1所述的電路板的製作方法,其中,每個導電金屬塊具有遠離對應導電墊的端面,所述端面與第一表面平齊。
  3. 如請求項1所述的電路板的製作方法,其中,在所述開孔內形成導電金屬塊包括步驟:在開孔的內壁及介電層的第一表面形成金屬種子層;通過電鍍的方式,在金屬種子層表面形成電鍍金屬材料,使得所述開孔被完全填充;以及去除介電層的第一表面的電鍍金屬材料及金屬種子層,位於開孔內的電鍍金屬材料及金屬種子層形成導電金屬塊。
  4. 如請求項1所述的電路板的製作方法,其中,採用準分子雷射形成所述開孔。
  5. 如請求項1所述的電路板的製作方法,其中,所述導電金屬塊包括相互連接的連接部及承載部,所述連接部的位於所述第一孔段內,所述承載部位於第二孔段內,所述連接部連接於對應的導電墊與承載部之間,所述連接部的橫截面積小於承載部的橫截面積。
  6. 如請求項1所述的電路板的製作方法,其中,還包括在所述端面形成表面處理層。
  7. 一種電路板,其包括基底、導電墊、介電層及導電金屬塊,所述導電墊形成於基底的一表面,所述介電層壓合於基底具有導電墊的一側,所述介電層具有遠離基底的第一表面,在介電層內形成有與導電墊對應開孔,所述開孔為階梯孔,每個所述開孔包括相互連接的第一孔段和第二孔段,第一孔段與導電墊相鄰,第二孔段與第一表面相鄰,第二孔段的孔徑大於第一孔段的孔徑,所述第一孔段和第二孔段連接處形成有連接面,所述連接面從第二孔段一側露出,所述連接面平行於第一表面,導電金屬塊形成於開孔內,並完全填充所述開孔。
  8. 如請求項7所述的電路板,其中,所述導電金屬塊包括相互連接的連接部及承載部,所述連接部的位於所述第一孔段內,所述承載部位於第二孔段內,所述連接部連接於對應的導電墊與承載部之間,所述連接部的橫截面積小於承載部的橫截面積。
  9. 如請求項7所述的電路板,其中,每個導電金屬塊具有遠離對應導電墊的端面,所述端面與第一表面平齊。
  10. 如請求項9所述的電路板,其中,所述端面形成有表面處理層。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9730313B2 (en) 2014-11-21 2017-08-08 Amphenol Corporation Mating backplane for high speed, high density electrical connector
CN106332436B (zh) * 2015-06-26 2019-05-14 健鼎(湖北)电子有限公司 电路板及其制作方法
CN107689358A (zh) * 2016-08-04 2018-02-13 胡迪群 金属垫结构
TWI634636B (zh) * 2016-09-09 2018-09-01 思鷺科技股份有限公司 半導體結構
US10163801B2 (en) * 2016-10-14 2018-12-25 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Structure and formation method of chip package with fan-out structure
CN112752429B (zh) 2019-10-31 2022-08-16 鹏鼎控股(深圳)股份有限公司 多层线路板及其制作方法
CN111212527A (zh) * 2020-01-15 2020-05-29 广东科翔电子科技股份有限公司 一种应用于光模块高密度互连hdi板的通孔填镀方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI239594B (en) * 2004-10-06 2005-09-11 Advanced Semiconductor Eng Redistribution layer structure of a wafer and the fabrication method thereof

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI239594B (en) * 2004-10-06 2005-09-11 Advanced Semiconductor Eng Redistribution layer structure of a wafer and the fabrication method thereof

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