TWI463931B - 電路板及其製作方法 - Google Patents

電路板及其製作方法 Download PDF

Info

Publication number
TWI463931B
TWI463931B TW101150396A TW101150396A TWI463931B TW I463931 B TWI463931 B TW I463931B TW 101150396 A TW101150396 A TW 101150396A TW 101150396 A TW101150396 A TW 101150396A TW I463931 B TWI463931 B TW I463931B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
hole segment
conductive
opening
circuit board
hole
Prior art date
Application number
TW101150396A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201424497A (zh
Inventor
Wen Hung Hu
Original Assignee
Zhen Ding Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zhen Ding Technology Co Ltd filed Critical Zhen Ding Technology Co Ltd
Publication of TW201424497A publication Critical patent/TW201424497A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI463931B publication Critical patent/TWI463931B/zh

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Description

電路板及其製作方法
本發明涉及電路板製作技術領域,尤其涉及一種電路板及其製作方法。
採用倒裝晶片球柵格陣列(FCBGA)進行封裝晶片的電路板,通常需要製作陣列排布的多個導電凸塊結構,以用於承載錫球。所述導電凸塊需要貫穿防焊層並與對應的導電線路相互電連接。現有技術中,通常採用在所述導電線路上形成對應的防焊層開口,然後在防焊層上形成電鍍阻擋層,並在電鍍阻擋層中形成與防焊層開口對應的電鍍阻擋層。由於防焊層開口和電鍍阻擋層開口均需要顯影形成,並且需要相互連通,在製作過程中需要對應的電鍍阻擋層開口與防焊層開口進行對位。之後,在防焊層的開口內化學鍍然後電鍍的方式形成導電凸塊。最後,去除電鍍阻擋層,得到凸出於防焊層的導電凸塊。在上述的製作方法中,需要將防焊層開口製作的相對較大,以便於顯影形成電鍍阻擋層開口時進行對位。並且,由於形成的導電凸塊與防焊層相互接觸,且接觸面積較小,從而容易導致導電凸塊於防焊層相互分離,得到的電路板的信賴性較差。並且,這樣的製作方法決定了製作的導電凸塊結構的分佈密度較小,不利於多個導電凸塊結構密集分佈。
有鑑於此,提供一種電路板及其製作方法,可以提高電路板的導電金屬塊的信賴性實屬必要。
一種電路板的製作方法,包括步驟:提供電路基板,其包括基底及形成於基底一表面的導電墊;在所述電路基板具有導電墊的一側壓合介電層,所述介電層具有遠離所述基底的第一表面;採用雷射在介電層內形成多個與導電墊一一對應的多個開孔,每個所述開孔為階梯孔,所述開孔包括相互連接的第一孔段和第二孔段,第一孔段與導電墊相鄰,第二孔段與第一表面相鄰,第二孔段的孔徑大於第一孔段的孔徑;以及在所述開孔內形成導電金屬塊,每個導電金屬塊與對應的導電墊相互電連接。
一種電路板,其包括基底、導電墊、介電層及導電金屬塊,所述導電墊形成於基底的一表面,所述介電層壓合於基底具有導電墊的一側,所述介電層具有遠離基底的第一表面,在介電層內形成有與導電墊對應開孔,所述開孔為階梯孔,每個所述開孔包括相互連接的第一孔段和第二孔段,第一孔段與導電墊相鄰,第二孔段與第一表面相鄰,第二孔段的孔徑大於第一孔段的孔徑,導電金屬塊形成於開孔內,並完全填充所述開孔。
本技術方案提供的電路板及其製作方法,由於導電金屬塊形成於介電層內,且介電層內的用於收容導電金屬塊的開孔為階梯孔。相較於先前技術中,在防焊層中形成開口,然後形成凸出於防焊層表面金屬凸塊,可以增加導電金屬塊與介電層的接觸面積。相較於防焊層,介電層與金屬的結合能力優於防焊層與金屬的結合能力。因此,本技術方案提供的電路板的信賴性較好。
100‧‧‧電路板
110‧‧‧電路基板
111‧‧‧基底
112‧‧‧導電墊
113‧‧‧導電線路層
120‧‧‧介電層
121‧‧‧開孔
1211‧‧‧第一孔段
1212‧‧‧第二孔段
1213‧‧‧連接面
122‧‧‧第一表面
130‧‧‧金屬種子層
140‧‧‧電鍍金屬材料
150‧‧‧導電金屬塊
151‧‧‧端面
152‧‧‧連接部
153‧‧‧承載部
160‧‧‧表面處理層
圖1係本技術方案實施例提供的電路基板的剖面示意圖。
圖2係圖1的電路基板一側壓合介電層後的剖面示意圖。
圖3係在圖2的介電層中形成開孔後的剖面示意圖。
圖4係圖3的介電層表面及開孔內壁形成金屬種子層後的剖面示意圖。
圖5係在圖4的金屬種子層表面形成電鍍金屬材料後的剖面示意圖。
圖6係本技術方案提供的電路板的剖面示意圖。
圖7係在圖6的電路板的導電金屬塊表面形成表面處理層後的剖面示意圖。
本技術方案提供的電路板製作方法包括如下步驟:
第一步,請參閱圖1,提供電路基板110。
所述電路基板110包括基底111及多個導電墊112。
電路基板110可以為單層電路基板也可以為多層電路基板。當電路基板110為單層電路基板時,基底111為單層的介電層。當電路基板110為多層電路基板時,基底111可以為多層導電線路層及多層介電層交替層疊的結構。多個導電墊112與基底111的一層介電層相接觸。本實施例中,基底111的一表面形成有導電線路層113,導電線路層113包括多個導電墊112及多根導電線路(圖未示)。
第二步,請參閱圖2,在電路基板110的多個導電墊112表面及從導電線路層113露出的基底111的表面形成介電層120。
本步驟中,介電層120通過壓合的方式形成於多個導電墊112表面及從導電墊112露出的基底111,使得介電層120完全覆蓋導電線路層113。介電層120具有遠離基底111的第一表面122。
第三步,請參閱圖3,採用雷射在介電層120內形成有多個開孔121,每個開孔121與一個導電墊112相互對應,每個導電墊112從對應的開孔121露出。
本步驟中,採用準分子雷射形成開孔121。開孔121呈階梯狀。開孔121包括相互連通的第一孔段1211和第二孔段1212。第一孔段1211與導電墊112相鄰,第二孔段1212靠近第一表面122。其中,第一孔段1211的孔徑小於第二孔段1212的孔徑。優選地,第一孔段1211與第二孔段1212同軸設置。由於開孔121採用雷射形成,第一孔段1211及第二孔段1212的縱截面均為倒梯形。在第一孔段1211和第二孔段1212的連接處,形成有連接面1213,所述連接面1213從第二孔段1212一側露出,所述連接面1213大致平行於第一表面122。
由於開孔121採用準分子雷射形成,在形成準分子雷射時,可以通過控制不同位置的雷射的能量,即位於開孔121中心區域,採用較大的能量,使得介電層120被完全貫穿,同時形成第一孔段1211和第二孔段1212。在外繞中心區域的邊緣區域,採用較小的雷射能量,使得僅部分的介電層120被燒蝕去除,僅形成第二孔段1212,從而得到階梯形狀的開孔121。
第四步,請參閱圖4至圖6,在每個開孔121內形成導電金屬塊150,得到電路板100。
本步驟具體為:
首先,在開孔121的內壁及介電層120的第一表面122形成金屬種子層130。
所述金屬種子層130可以採用化學鍍金屬的方式形成。如化學鍍銅的方式形成。當然,金屬種子層130也可以採用黑影等方式,使得開孔121的內壁及介電層120的表面形成金屬種子層130。
然後,通過電鍍的方式,在金屬種子層130表面形成電鍍金屬材料140,使得所述開孔121被完全填充。
本步驟中,電鍍的金屬材料可以為銅、銀等。本實施例中,電鍍金屬材料140完全填充開孔121,並形成在介電層120的第一表面122的金屬種子層130的表面。
最後,去除介電層120的第一表面122的電鍍金屬材料140及金屬種子層130,位於開孔121內的電鍍金屬材料140及金屬種子層130形成導電金屬塊150,從而得到電路板100。
本步驟中,可以採用化學蝕刻的方式去除介電層120的第一表面122的電鍍金屬材料140及金屬種子層130。通過控制蝕刻的時間,使得開孔121內的電鍍金屬材料140及金屬種子層130仍留在開孔121內形成導電金屬塊150。導電金屬塊150具有遠離導電墊112的端面151。所述端面151與第一表面122平齊。
導電金屬塊150包括相互連接的連接部152及承載部153。所述連 接部152的位於所述第一孔段1211內,所述承載部153位於第二孔段1212內。連接部152的形狀與第一孔段1211的形狀相對應,承載部153的形狀與第二孔段1212的形狀相對應。所述連接部152電連接導電墊112及承載部153,承載部153用於與其他元件進行焊接。連接部152及承載部153均為倒圓臺形,連接部152的橫截面積小於承載部153的橫截面積。
請參閱圖7,本技術方案提供的電路板製作方法,還可以包括在端面151形成表面處理層160的步驟。所述表面處理層160可以為有機保焊層,也可以為鎳金鍍層等,以保護導電金屬塊150。
請參閱圖6及圖7,本技術方案還提供一種採用上述方法制得的電路板100,所述電路板100包括基底111、導電墊112、介電層120及導電金屬塊150。
所述導電墊112形成於基底111的一表面。所述介電層120壓合於基底111具有導電墊112的一側。在介電層120內形成有開孔121,開孔121為階梯孔。所述介電層120具有遠離基底111的第一表面122。導電金屬塊150形成於開孔121內,並與對應的導電墊112相互電連接。導電金屬塊150具有遠離對應的導電墊112的端面151,端面151與介電層120的第一表面122平齊。
導電金屬塊150包括相互連接的連接部152及承載部153。所述連接部152的位於所述第一孔段1211內,所述承載部153位於第二孔段1212內。連接部152的形狀與第一孔段1211的形狀相對應,承載部153的形狀與第二孔段1212的形狀相對應。所述連接部152電連接導電墊112及承載部153,承載部153用於與其他元件進行焊接。連接部152及承載部153均為倒圓臺形,連接部152的橫截面 積小於承載部153的橫截面積。
導電金屬塊150由與開孔121的內壁相接觸的金屬種子層130及形成於金屬種子層130表面的電鍍金屬材料140組成。
進一步的,在每個導電金屬塊150的端面151還形成有表面處理層160,以保護導電金屬塊150。
本技術方案提供的電路板及其製作方法,由於導電金屬塊150形成於介電層120內,且介電層120內的用於收容導電金屬塊150的開孔121為階梯孔。相比於現有技術中,在防焊層中形成開口,然後形成凸出於防焊層表面金屬凸塊,可以增加導電金屬塊150與介電層120的接觸面積。相比於防焊層,介電層與金屬的結合能力優於防焊層與金屬的結合能力。因此,本技術方案提供的電路板的信賴性較好。
並且,介電層中的開孔採用一次雷射燒蝕形成,從而可以形成比較密集分佈的開孔,近而可以形成比較密集分佈的導電金屬塊,提高電路板的佈線密度。
惟,以上所述者僅為本發明之較佳實施方式,自不能以此限制本案之申請專利範圍。舉凡熟悉本案技藝之人士爰依本發明之精神所作之等效修飾或變化,皆應涵蓋於以下申請專利範圍內。
100‧‧‧電路板
111‧‧‧基底
112‧‧‧導電墊
120‧‧‧介電層
121‧‧‧開孔
130‧‧‧金屬種子層
140‧‧‧電鍍金屬材料
150‧‧‧導電金屬塊
151‧‧‧端面
152‧‧‧連接部
153‧‧‧承載部

Claims (10)

  1. 一種電路板的製作方法,包括步驟:提供電路基板,其包括基底及形成於基底一表面的導電墊;在所述電路基板具有導電墊的一側壓合介電層,所述介電層具有遠離所述基底的第一表面;採用雷射在介電層內形成多個與導電墊一一對應的多個開孔,每個所述開孔為階梯孔,所述開孔包括相互連接的第一孔段和第二孔段,第一孔段與導電墊相鄰,第二孔段與第一表面相鄰,第二孔段的孔徑大於第一孔段的孔徑,所述第一孔段和第二孔段連接處形成有連接面,所述連接面從第二孔段一側露出,所述連接面平行於第一表面;以及在所述開孔內形成導電金屬塊,每個導電金屬塊與對應的導電墊相互電連接。
  2. 如請求項1所述的電路板的製作方法,其中,每個導電金屬塊具有遠離對應導電墊的端面,所述端面與第一表面平齊。
  3. 如請求項1所述的電路板的製作方法,其中,在所述開孔內形成導電金屬塊包括步驟:在開孔的內壁及介電層的第一表面形成金屬種子層;通過電鍍的方式,在金屬種子層表面形成電鍍金屬材料,使得所述開孔被完全填充;以及去除介電層的第一表面的電鍍金屬材料及金屬種子層,位於開孔內的電鍍金屬材料及金屬種子層形成導電金屬塊。
  4. 如請求項1所述的電路板的製作方法,其中,採用準分子雷射形成所述開孔。
  5. 如請求項1所述的電路板的製作方法,其中,所述導電金屬塊包括相互連接的連接部及承載部,所述連接部的位於所述第一孔段內,所述承載部位於第二孔段內,所述連接部連接於對應的導電墊與承載部之間,所述連接部的橫截面積小於承載部的橫截面積。
  6. 如請求項1所述的電路板的製作方法,其中,還包括在所述端面形成表面處理層。
  7. 一種電路板,其包括基底、導電墊、介電層及導電金屬塊,所述導電墊形成於基底的一表面,所述介電層壓合於基底具有導電墊的一側,所述介電層具有遠離基底的第一表面,在介電層內形成有與導電墊對應開孔,所述開孔為階梯孔,每個所述開孔包括相互連接的第一孔段和第二孔段,第一孔段與導電墊相鄰,第二孔段與第一表面相鄰,第二孔段的孔徑大於第一孔段的孔徑,所述第一孔段和第二孔段連接處形成有連接面,所述連接面從第二孔段一側露出,所述連接面平行於第一表面,導電金屬塊形成於開孔內,並完全填充所述開孔。
  8. 如請求項7所述的電路板,其中,所述導電金屬塊包括相互連接的連接部及承載部,所述連接部的位於所述第一孔段內,所述承載部位於第二孔段內,所述連接部連接於對應的導電墊與承載部之間,所述連接部的橫截面積小於承載部的橫截面積。
  9. 如請求項7所述的電路板,其中,每個導電金屬塊具有遠離對應導電墊的端面,所述端面與第一表面平齊。
  10. 如請求項9所述的電路板,其中,所述端面形成有表面處理層。
TW101150396A 2012-12-04 2012-12-27 電路板及其製作方法 TWI463931B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210511978.5A CN103857197A (zh) 2012-12-04 2012-12-04 电路板及其制作方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201424497A TW201424497A (zh) 2014-06-16
TWI463931B true TWI463931B (zh) 2014-12-01

Family

ID=50864265

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW101150396A TWI463931B (zh) 2012-12-04 2012-12-27 電路板及其製作方法

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN103857197A (zh)
TW (1) TWI463931B (zh)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016081868A1 (en) 2014-11-21 2016-05-26 Amphenol Corporation Mating backplane for high speed, high density electrical connector
CN106332436B (zh) * 2015-06-26 2019-05-14 健鼎(湖北)电子有限公司 电路板及其制作方法
CN107689358A (zh) * 2016-08-04 2018-02-13 胡迪群 金属垫结构
TWI634636B (zh) * 2016-09-09 2018-09-01 思鷺科技股份有限公司 半導體結構
US10163801B2 (en) * 2016-10-14 2018-12-25 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Structure and formation method of chip package with fan-out structure
CN114128053B (zh) 2019-05-20 2024-10-11 安费诺有限公司 高密度高速电连接器
CN112752429B (zh) * 2019-10-31 2022-08-16 鹏鼎控股(深圳)股份有限公司 多层线路板及其制作方法
CN111212527A (zh) * 2020-01-15 2020-05-29 广东科翔电子科技股份有限公司 一种应用于光模块高密度互连hdi板的通孔填镀方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI239594B (en) * 2004-10-06 2005-09-11 Advanced Semiconductor Eng Redistribution layer structure of a wafer and the fabrication method thereof

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI239594B (en) * 2004-10-06 2005-09-11 Advanced Semiconductor Eng Redistribution layer structure of a wafer and the fabrication method thereof

Also Published As

Publication number Publication date
CN103857197A (zh) 2014-06-11
TW201424497A (zh) 2014-06-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI463931B (zh) 電路板及其製作方法
US10383228B2 (en) Electronic component device and method for manufacturing the same
JP4146864B2 (ja) 配線基板及びその製造方法、並びに半導体装置及び半導体装置の製造方法
JP6001524B2 (ja) ピン・インタフェースを有する多層配線エレメント
JP5254406B2 (ja) 配線基板、及び半導体装置
JP2009158593A (ja) バンプ構造およびその製造方法
JPH045844A (ja) Ic搭載用多層回路基板及びその製造法
JP6244138B2 (ja) 配線基板及び配線基板の製造方法
TWI530238B (zh) 晶片封裝基板及其製作方法
JP2015012237A (ja) 配線基板、半導体装置及び配線基板の製造方法
US9711476B2 (en) Wiring board and electronic component device
JP2015026722A (ja) バンプ構造、配線基板及び半導体装置並びにバンプ構造の製造方法
US10129980B2 (en) Circuit board and electronic component device
JP2015149325A (ja) 配線基板及び半導体装置と配線基板の製造方法及び半導体装置の製造方法
TW201446084A (zh) 電路板及其製作方法
TWI531291B (zh) 承載板及其製作方法
TWI771534B (zh) 佈線板及其製造方法
TW201603672A (zh) 使用雙面雷射製程形成通孔結構的方法
US20090090548A1 (en) Circuit board and fabrication method thereof
JP2014192177A (ja) 配線基板
CN108156754B (zh) 垂直连接接口结构、具所述结构的电路板及其制造方法
TWI461134B (zh) 載板結構及其製作方法
TWI594675B (zh) 電路板及其製作方法
KR101490085B1 (ko) 인터포저 기판
JP2012204732A (ja) 配線基板およびその製造方法