TWI460018B

TWI460018B - Tornado filter

Info

Publication number: TWI460018B
Application number: TW099121969A
Authority: TW
Inventors: Jun Kikuta; Nobuharu Oda
Original assignee: Ok System Co Ltd
Priority date: 2009-09-01
Filing date: 2010-07-05
Publication date: 2014-11-11
Also published as: JP2011051055A; JP4591856B1; KR20110025106A; TW201109086A

Description

旋風式過濾器

本發明係有關於一種旋風式過濾器，其使加工屑等異物所混合存在的冷卻液產生旋風，而過濾異物。詳細說明之，係有關於一種旋風式過濾器，其在產生旋風式流動的冷卻液之流路的壁面，利用蒸鍍形成硬度高的塗膜層。

自以往，已知一種旋風式過濾器，其利用離心力、及和液體的比重差，使與從輸入通口所流入之液體混合存在的異物一面利用旋風式流動落下，一面從排出口排出，另一方面，使已去除異物之液體從輸出通口流出。

旋風式過濾器係在各種產業領域被使用。在設置於工業用之生產設備來使用的情況，旋風式過濾器主要配設於如所列舉之專利文獻1揭示的液處理裝置(冷卻液槽裝置)。旋風式過濾器之使用目的係從冷卻液去除與機械加工後從加工機回到冷卻液槽裝置之使用後的冷卻液混合存在的加工屑，再將已淨化的冷卻液供給加工機側。

即使在工業用生產設備中，旋風式過濾器係不僅專利文獻1所揭示的線切割放電加工機，亦適合從冷卻液去除車床、加工中心、滾齒機等之切削加工機在切削加工中所產生之切屑、或圓筒研磨機、平面研磨機、齒輪研磨機等研磨加工機在研磨加工中所產生之研磨屑等與冷卻液之比重差大的加工屑。

近年來，對作為加工對象的工件，要求高精度化和低耗費化的傾向變強，在加工者之間下各種工夫，其一面提高生產力，一面可高精度加工工件。

作為其一例，若是切削加工，使刀具對工件的切削深度量變大，並提高轉動之刀具的周速，另一方面，提高工件或刀具的冷卻效率，為了使所切削之大的切屑流出，向工件和刀具排出大量的冷卻液。又，若是研磨加工，在粗加工的情況，一面使磨石對工件的進給量、或工件和磨石之相對移動量變成更大，另一方面，提高工件或磨石的冷卻效率，為了使所研磨之研磨屑流出，向工件和磨石排出大量的冷卻液。

在這種設法生產效率化的機械加工，在切削加工後所產生之切屑為銳利形狀，並有大小亦變大的傾向。又，在研磨加工後所產生之研磨屑，根據磨石的種類，構成磨石之磨粒的脫落亦變得顯著，在冷卻液包含大量的磨粒。

依此方式，利用旋風式過濾器去除比較大之銳利形狀的切屑、或包含大量之磨粒的研磨屑所混合存在的冷卻液時，可能在使用後不久，旋風式過濾器就發生阻塞。

作為這種阻塞之迴避對策之一，有如列舉之專利文獻2、3所揭示之有效利用作用於異物的離心力，保持異物之過濾精度的技術。

第11圖係表示專利文獻2之旋風式過濾裝置的說明圖，第12A圖及第12B圖係表示專利文獻3之處理流體之淨化裝置的說明圖。

專利文獻2係一種旋風式過濾裝置(參照第11圖)，其使因應與髒液混合存在之異物的比重或形狀，控制從旋風式過濾裝置201的輸入通口211所流入之髒液之流速的節流閥212與輸入通口211連接。在專利文獻2的過濾裝置201，藉由利用節流閥212控制髒液之流速，而在過濾裝置201內，可任意地設定作用異物之離心力和通過過濾裝置201內之滯留時間，並提高在過濾裝置201內之異物的過濾精度。

又，專利文獻3如第12A圖及第12B圖所示，是處理流體的淨化裝置301，其將整流體312設置於旋風本體311內的中央部，並將甜甜圈狀流域313形成於旋風本體311和整流體312之間。在專利文獻3的淨化裝置301，包含異物的處理流體在甜甜圈狀流域313流動時使流體的渦流速度增加，而使作用於異物的離心力變大，可過濾異物。

依此方式，因為專利文獻2、3都作成利用旋風式流動使包含異物的流體(液體)成渦流流動，而可有效利用作用於異物的離心力，所以是對成渦流流動時之液體流速的控制下工夫的技術。

[專利文獻]

[專利文獻1]特開2005-219201號公報

[專利文獻2]特開2006-159143號公報

[專利文獻3]特開2004-136263號公報

可是，在習知技術，具有如下的問題。

即，尤其若將旋風式過濾器設置於以切削加工或研磨加工為對象之加工機的冷卻液槽裝置，過濾加工屑，在使用過濾器時，由於接觸加工屑，過濾器內之作為冷卻液之流路部的壁面隨時間經過而磨耗，結果無法順暢地排出加工屑，具有引起所謂的阻塞的問題。

此問題係由於如下的理由而產生。

即，如專利文獻1至3所示，在以往的旋風式過濾器，對具有形成位於其內部之圓筒形的流路部及倒圓錐形流路部之兩流路部的壁面之壁構件，關於其耐磨耗性未下任何工夫。又，關於市面上的旋風式過濾器，壁構件亦例如是將不銹鋼等板材彎曲並接合成筒形所形成者，或將不銹鋼等原材料進行拉抽加工而形成筒形者等。

依此方式，壁構件所使用的原材料本來是易彈性變形之比較柔軟的材質，因為彈性變形後成為壁構件，所以成為流路部之表面的表面硬度亦決不高。在硬度不高的壁面，若將冷卻液的流路部形成於旋風式過濾器內，在銳利形狀的大切屑，或包含大量磨粒的研磨屑向排出口落下時，沿著壁面接觸，而壁面隨時間經過磨耗。

在原本表面粗糙度不高的壁面，由於切屑或研磨屑所包含之磨粒的接觸，進行磨耗，而壁面隨時間經過逐漸變粗時，壁面的表面粗糙度更降低，在過濾時，切屑或磨粒易卡在壁面。尤其，為了提高工件的生產力，在一面大量排出冷卻液一面對工件加工的情況，銳利形狀的切屑或包含所脫落之大量磨粒的冷卻液大量流入旋風式過濾器。

在這種情況，若切屑等卡在過濾器內的壁面，卡在壁面的切屑等成為律速階段，無法向排出口順暢排出切屑等，無法保持切屑等的過濾精度。

即，如專利文獻2、3所示，即使可適當地控制液體的流速，並有效應用作用於異物的離心力，亦無法阻止切屑等所引起的阻塞。

本專利申請人為解決由在壁構件之壁面的磨耗所引起之切屑等的阻塞，想到在以往的旋風式過濾器，使壁構件的壁面提高耐磨耗性和保持表面粗糙度。

其解決對策之一，例如想到在將不銹鋼等板材彎曲並接合成筒形所形成之壁構件的壁面，形成例如硬質鍍鉻層的技術。

硬質鍍鉻處理不僅可使其電鍍層的表面硬度硬至維克氏硬度HV1000附近，而且若遮蔽壁構件中不必電鍍的部分，因為可將壁構件熱浸硬焊成電鍍層，可簡單且比較便宜地製作。

可是，尤其為了提高工件之生產力，在一面大量排出冷卻液一面對工件加工的情況，在旋風式過濾器流入、流出之冷卻液的流量亦大，過濾切屑等之旋風式過濾器內的壁面曝露於真正惡劣的使用條件下。

即，在冷卻液，一般亦可能含有化學藥品之各種添加劑。又，由於在加工時冷卻液從加工中的工件或刀具等奪熱，而使用後的冷卻液變成高溫。又，在過濾器內，大量的切屑等與大量流入之冷卻液混合存在，而且亦可能在冷卻液發生孔蝕。

在這種惡劣的使用條件下，即使使用採用在壁面形成了硬質鍍鉻層之壁構件的旋風式過濾器，亦在使用之中，由於切屑等之摩擦，可能硬質鍍鉻層隨時間經過而從與壁面的界面剝離。

又，在研磨加工的情況，硬度比硬質鍍鉻層更硬之磨石的磨粒損害硬質鍍鉻層，而易卡在壁面，結果，亦可能促進磨粒所引起的阻塞。

因此，得知將電鍍層形成於壁構件之壁面的技術在實際之加工現場之惡劣的加工環境中，難持續地保持穩定的過濾精度，並在電鍍層的持久性具有問題，欠缺實用性。

本發明係為了解決上述的問題點而想出來的，其目的在於提供一種旋風式過濾器，使形成產生旋風式流動之流路的壁面具有耐磨耗性，而可穩定地保持與冷卻液混合存在之異物的過濾精度。

為了解決上述的問題點，本發明的旋風式過濾器具有如下之構成。

(1)一種旋風式過濾器，其利用旋風式流動使與從輸入通口所流入之使用後的冷卻液混合存在的異物落下，從第1輸出通口排出，並具有使從使用後的冷卻液去除了異物之冷卻液流出的第2輸出通口，該旋風式過濾器之特徵在於：形成連接該輸入通口和該第1輸出通口之間之使用後的冷卻液之流路的壁面係將相對於該流路的軸心，在圓周方向被分割成2部分以上的複數個壁構件組合成環形而一體形成；在該2個以上之壁構件的流路側表面，藉蒸鍍形成塗膜層。

(2)在(1)項所記載之旋風式過濾器，其特徵在於：該塗膜層係蒸鍍作為原材料的合金，被被覆於該壁構件，並具有硬度比該壁構件更高，且硬度比異物的材質更高之特性的塗膜層。

(3)在(2)項所記載之旋風式過濾器，其特徵在於：該塗膜層係其表面硬度相當於維克氏硬度HV1200以上的硬度；為了形成該塗膜層而用作原材料的前述合金係TiN合金，或使Ti至少包含N、Cr、Al、及Si之任一個之Ti化合物的合金。

(4)如(1)至(3)項之任一項所記載的旋風式過濾器，其特徵在於：具有具備孔的本體；被蒸鍍該塗膜層之該2個以上的壁構件係沿著該本體的孔內周面被插入，而可拆裝地插入該本體。

(5)如(1)至(4)項之任一項所記載的旋風式過濾器，其特徵在於：該2個以上的壁構件係由4個該壁構件所構成。

(6)如(1)至(5)項之任一項所記載的旋風式過濾器，其特徵在於：在藉該2個以上的壁構件之環形的組合，相鄰之該壁構件彼此相抵接的壁構件抵接面是利用線切割放電加工機所加工的切割面。

(7)如(1)至(6)項之任一項所記載的旋風式過濾器，其特徵在於：與該第2輸出通口連通的管沿著該流路的軸心在該流路內延伸；在該管中位於該流路內之流路內管部的外周面，形成該塗膜層。

(8)在(7)項所記載的旋風式過濾器，其特徵在於：該輸入通口係以相對於該流路之軸心方向，在與該流路之軸心垂直地扭轉之位置相交的方向，使該輸入通口的軸心偏離該流路的軸心之方式配置；在已被蒸鍍該塗膜層之該2個以上的壁構件中位於與該輸入通口相對向之位置的部分，形成沿著該流路之軸心方向的長度比沿著該流路之圓周方向的長度更長的長孔；該使用後的冷卻液從該輸入通口通過該長孔，從該流路中已被蒸鍍該塗膜層之該2個以上的壁構件與已被蒸鍍該塗膜層之該流路內管部之間，向位於該流路之該第1輸出通口側的錐狀部流動。

說明具有該構成之旋風式過濾器的作用效果。

在本發明的旋風式過濾器，

(1)因為特徵在於：形成連接輸入通口和第1輸出通口之間之使用後的冷卻液之流路的壁面係將相對於流路的軸心，在圓周方向被分割成2部分以上的複數個壁構件組合成環形而一體形成；在2個以上之壁構件的流路側表面，藉蒸鍍形成塗膜層；若以一個壁構件形成在該流路側表面所形成之圓筒形的流路，在蒸鍍時，塗膜層無法到達是壁構件之內周面的流路側表面，因為在流路側表面無法形成均勻的塗膜層，所以藉由將壁構件作成2個以上，在蒸鍍時，可將塗膜層以更均勻之狀態蒸鍍於2個以上之壁構件的流路側表面。即，塗膜層係藉蒸鍍在和2個以上之壁構件的流路側表面之界面提高密接力，而難從2個以上之壁構件的流路側表面剝離，並以均勻、穩定之狀態形成於2個以上之壁構件的流路側表面。

因而，確實阻止異物直接接觸2個以上之壁構件的流路側表面，藉由形成塗膜層，使2個以上之壁構件的流路側表面具有持久性，以保護2個以上之壁構件的流路側表面。

因此，具有如下之優異效果，在對以2個以上之壁構件的流路側表面為代表之這些流路側表面藉由蒸鍍堅固地被覆塗膜層之流路的壁面，具有可確實防止因異物的接觸而隨時間經過所產生之磨耗引起之異物的阻塞，並可長期穩定地過濾與冷卻液所混合存在之異物。

(2)因為特徵在於：塗膜層係蒸鍍作為原材料的合金，被被覆於壁構件，並具有硬度比壁構件更高，且硬度比異物的材質更高之特性的塗膜層，例如在金屬製工件之切削加工所產生之銳利形狀的大切屑、在線切割放電加工機之放電加工所產生的淤渣、包含硬磨粒之研磨屑等異物(加工屑)，在冷卻液之使用後，與冷卻液混合，異物所混合存在之使用後的冷卻液向第1輸出通口利用旋風式流動在冷卻液的流路沿著塗膜層一面與塗膜層直接接觸一面移動，亦因為塗膜層比加工屑更硬，不會因接收之加工屑的移動而隨時間經過發生磨耗。又，如此耐磨耗性優異的塗膜層利用蒸鍍與2個以上之壁構件的流路側表面密接，具有難從與該流路側表面之界面剝離的優異效果。

而，將本發明的旋風式過濾器設置於例如以切削加工、放電加工、研磨加工等之機械加工為對象之加工機的冷卻液槽裝置，若使使用後的冷卻液向本發明的旋風式過濾器通過，能以本發明的旋風式過濾器過濾與使用後的冷卻液混合存在的異物(加工屑)。

一般，作為在這種機械加工所產生的加工屑，例如是在金屬製工件之切削加工所產生之銳利形狀的大切屑、或在線切割放電加工機之放電加工所產生之淤渣。又，在研磨加工，是包含從WA磨石(將包含鎢、氧化鋁等磨粒燒結固化的磨石)等主要由陶瓷研磨磨石所代表之在研磨時磨粒會脫落的磨粒研磨磨石在研磨時所脫落之磨粒的研磨屑。可是，在本發明的旋風式過濾器，

(3)因為特徵在於：塗膜層係其表面硬度相當於維克氏硬度HV1200以上的硬度；為了形成塗膜層而用作原材料的合金係TiN合金，或使Ti至少包含N、Cr、Al、及Si之任一個之Ti化合物的合金，所以在具有有害性之環境保全上不佳，另一方面，硬度比表面硬化最大可至維克氏硬度HV1000附近之硬質鍍鉻處理更硬的塗膜層可形成於2個以上之壁構件的流路側表面。因而，具有如下之優異效果，在將硬質鍍鉻層被覆於2個以上之壁構件的流路側表面的情況，因是異物(加工屑)之銳利形狀的金屬製切屑，或因研磨屑所包含之硬的磨粒而會產生之硬質鍍鉻層的擦傷、損傷及剝離，而在本發明的旋風式過濾器的塗膜層，不會隨時間經過而發生。

又，本發明之旋風式過濾器的塗膜層成為具有亦可承受酸性或鹼性強之藥品的耐藥品性、耐腐蝕性及耐熱性的塗膜層。因而，尤其為了提高工件的生產力，一面大量排出冷卻液，一面進行使工件高生產效率之機械加工，在本發明的旋風式過濾器內的流路，即使塗膜層曝露於嚴酷之使用條件下的情況，本發明之旋風式過濾器的塗膜層亦在流路難受到在冷卻液所頻繁發生之孔蝕(cavitation)的影響、在流路流動之冷卻液所含之化學藥品的影響及在加工時冷卻液從加工中的工件或刀具等奪熱所引起之冷卻液之高溫化的影響等惡劣的影響，即使對2個以上之壁構件的流路側表面的界面，亦以穩定之狀態密接，具有能持續保持對流路側表面之被覆的優異效果。

(4)因為特徵在於：具有具備孔的本體；被蒸鍍塗膜層之2個以上的壁構件係沿著本體的孔內周面被插入，而可拆裝地插入本體，所以在插入時，使沿著本體的孔內周面之2個以上之壁構件之外周面的形狀共同化。另一方面，因應(a)過濾之異物(加工屑)的大小、重量、形狀、硬度及材質、(b)與使用後的冷卻液混合存在之加工屑的混合量、(c)從輸入通口所流入之使用後之冷卻液的流入量和使從第2輸出通口所流出之冷卻液之流出量之流量平衡的調整、(d)從加工屑所混合存在之使用後的冷卻液流入輸入通口時開始，至過濾的加工屑從第1輸出通口被排出之加工屑過濾時間的調整等加工屑的各過濾條件，使2個以上之壁構件的流路側表面成為最適合各個過濾條件的形狀(例如流路之軸心方向的長度、流路之相對於軸心方向的錐角、考慮到流路之徑向的曲率半徑等的形狀)，若對各過濾條件準備複數種具有適合過濾條件之最佳的表面之2個以上的壁構件，則在一個本體，2個以上的壁構件可插入複數種本體的孔。因此，若對應於過濾條件，選擇最佳的形狀之2個以上的壁構件並插入本體，則具有能以更佳的過濾精度過濾加工屑之優異效果。

又，即使有因故想使蒸鍍於2個以上之壁構件之流路側表面的塗膜層從2個以上之壁構件剝離的情況，在從本體的孔拆下蒸鍍了塗膜層之2個以上的壁構件後，對塗膜層已剝離之2個以上之壁構件亦可對其流路側表面重新蒸鍍別的塗膜層，而具有可不會浪費並有效地活用所使用之2個以上之壁構件的優異效果。

(5)因為特徵在於：該2個以上的壁構件係由4個該壁構件所構成，所以從流路之軸心方向看組合成環形之4個壁構件時，由4個壁構件所構成之流路的壁面易成為曲率半徑在圓周方向大致定值之更正確的圓形，相鄰的壁構件之間的流路側表面、壁面能以一樣地連續的形態形成。因而，在利用將4個壁構件組合成環形之壁面所形成的流路，與使用後的冷卻液混合存在的異物(加工屑)在相鄰的壁構件之間的連接處不會卡住，而具有能以更良好之旋風式流動在流路流動之優異效果。

(6)因為特徵在於：在藉2個以上的壁構件之環形的組合，相鄰之壁構件彼此相抵接的壁構件抵接面是利用線切割放電加工機所加工的切割面，所以壁構件抵接面能以例如形狀精度±2μm以內、面粗糙度Rz2μm以內等之極高精度的精加工面形成。因而，在將2個以上之壁構件組合成環形時，因為相鄰之壁構件的壁構件抵接面之間在幾乎無間隙之密接狀態靠在一起，在相鄰之壁構件的連接處，相鄰壁構件之流路側表面、壁面之間成為一樣地連續之形態，所以具有如下之優異效果，與使用後的冷卻液混合存在的異物(加工屑)不會在連接處卡住，在使壁面變成良好之狀態的流路，可利用旋風式流動使異物(加工屑)流動。

又，若壁構件是1個，在流路是圓筒形內周面之流路側表面，無法均勻地蒸鍍塗膜層，而藉由將2個以上之壁構件設為4個壁構件，和將2個或3個壁構件組合成環形而形成圓筒形流路的情況相比，各壁構件之流路側表面的形狀可更平面地形成。因而，即使對4個壁構件之流路側表面進行塗膜層的蒸鍍處理，所形成之塗膜層在壁構件的流路側表面之圓周方向之塗膜層的厚度，亦能以更均勻之狀態形成。

(7)因為特徵在於：與第2輸出通口連通的管沿著流路的軸心在流路內延伸；在管中位於流路內之流路內管部的外周面，形成塗膜層；所以從輸入通口向流路流入之使用後的冷卻液和混合存在的異物一起碰撞管的流路內管部，在位於形成於流路內管部之外周面的塗膜層和形成於2個以上之壁構件的流路側表面的塗膜層之間的流路流動時，可防止在異物碰撞流路內管部時隨時間經過所產生之流路內管部的磨耗。又，可防止因從輸入通口向流路流入之使用後的冷卻液、或在流路想要向第2輸出通口流入之冷卻液的流動所產生之孔蝕而造成之流路內管部的侵蝕。進而，具有可防止冷卻液所含有之化學藥品、或冷卻液之高溫化所引起之在流路內管部的外周面所發生之變質或腐蝕、侵蝕的優異效果。

(8)因為特徵在於：輸入通口係以相對於流路之軸心方向，在與流路之軸心垂直地扭轉之位置相交的方向，使輸入通口的軸心偏離流路的軸心之方式配置；在已被蒸鍍塗膜層之2個以上的壁構件中位於與輸入通口相對向之位置的部分，形成沿著流路之軸心方向的長度比沿著流路之圓周方向的長度更長的長孔；使用後的冷卻液從輸入通口通過長孔，從流路中已被蒸鍍塗膜層之2個以上的壁構件與已被蒸鍍塗膜層之流路內管部之間，向位於流路之第1輸出通口側的錐狀部流動；所以從輸入通口通過長孔，向流路所流入之使用後的冷卻液與混合存在的異物一起在流路中已被蒸鍍塗膜層之2個以上的壁構件與已被蒸鍍塗膜層之流路內管部之間利用旋風式流動流出。

因而，具有如下之優異效果，在異物所混合存在之使用後的冷卻液利用所作用的重力和離心力，比重差比冷卻液大之異物朝向第1輸出通口，利用沿著流路的壁面之良好的旋風式流動，順暢地落下，並從第1輸出通口被排出，而可被過濾。

(第1實施形態)

以下，根據圖面說明本發明之旋風式過濾器的實施形態。第6圖係設置了本實施形態之旋風式過濾器之冷卻液槽裝置的配管迴路圖，第8圖係說明本實施形態之旋風式過濾器之作用的模式圖。

本實施形態的旋風式過濾器1配設於用以貯存在為了製造齒輪而利用滾齒機(加工機)M對工件進行滾齒加工(切削加工)時所使用之冷卻液CL的冷卻液槽裝置80，係為了過濾因切削加工所產生之切屑DT(參照第8圖這樣的異物)，以淨化冷卻液CL的目的所使用。

切削加工的對象工件例如係以鑄鐵、鑄鋼、機械構造用炭鋼等之鐵系材質等能以刀具進行切削加工之金屬材料為原材料者。

如第6圖所示，在冷卻液槽裝置80，設置串接的2個旋風式過濾器1、冷卻液槽81、泵91~93、磁鐵輸送帶95、去油抹器96及浮筒開關等各種控制機器。

冷卻液CL被泵91從冷卻液槽81吸引，而流入後述之旋風式過濾器1的一次側。通過一次側之旋風式過濾器1後，向二次側之旋風式過濾器1相通的冷卻液CL被冷卻機97冷卻，對滾齒機及工件，為了其冷卻及去除所產生之切屑而被排出。

又，冷卻液槽81所貯存的冷卻液CL和與泵91連接的配管路徑獨立，被泵92吸引，而向加工機M之加工部下方流動，落至加工部並洗淨切屑。

說明旋風式過濾器1。

第1圖係以第2A圖中之B-B箭號方向剖面圖表示第1實施形態之旋風式過濾器的圖，第2A圖係第1實施形態之旋風式過濾器的平面圖，及第2B圖是第1圖中從A-A箭號的位置所看到的剖面圖。第3圖係表示第1實施形態之旋風式過濾器的正視圖。

在本實施形態，在冷卻液槽裝置80，串列連接之2個旋風式過濾器1在後述之流路50之軸心VX方向的長度、流路50之圓周方向CR的直徑、在錐狀流路部51B之壁面52的錐角、及關於塗膜層60之材質或疊層內容等所謂的過濾器規格上，雙方的旋風式過濾器1都是共同的規格。

旋風式過濾器1如第1圖及第3圖所示，將由圓筒形本體部10A與倒圓錐筒形本體部10B所構成之本體10、上部固定構件20、下部固定構件30及壁構件40等一體地組裝所構成。

下部固定構件30具有主要排出與由加工機M所排出之使用後的冷卻液CD混合存在之切屑DT的第1輸出通口31和O環槽32。

圓筒形本體部10A具有使使用後之冷卻液CD流入的輸入通口11、及朝向旋風式過濾器1之軸心VX方向延伸並具有徑差之段差狀的貫穿孔12A。在旋風式過濾器1，連接位於圓筒形本體部10A之輸入通口11和位於下部固定構件30的第1輸出通口31之間之使用後之冷卻液CD的流路50由後述之壁構件40的壁面52所形成。

輸入通口11如第1圖、第2A圖及第2B圖所示，在相對於流路50之軸心VX方向，在與此軸心VX垂直地扭轉之位置相交的方向，配置於使輸入通口11的軸心HX從流路50的軸心VX僅偏移偏置量t(t>0)的位置，即，流路50在貫穿孔12A的圓周方向側面側和輸入通口11連通。

倒圓錐筒形本體部10B形成為具有凸緣部的筒形，並在內部具有大致倒圓錐筒形的貫穿孔12B。貫穿孔12B之貫穿孔內周面12Ba例如利用線切割放電加工機等之放電加工等，分別高精度地精加工形成面粗糙度和錐角。

上部固定構件20具有使已將切屑DT過濾淨化之冷卻液CL流出的第2輸出通口21、及與此第2輸出通口21連通的管22。管22沿著冷卻液CL之流路50的軸心VX方向向流路50內延伸，在上部固定構件20和圓筒形本體部10A被組裝時，該管22中具有位於流路50內的流路內管部22A。後述之塗膜層60形成於流路內管部22A的外周面22Aa。

說明壁構件40。第4A圖及第4B圖表示本實施形態之旋風式過濾器之圓筒形壁構件的圖，第5A圖及第5B圖係表示本實施形態之旋風式過濾器之倒圓錐筒形壁構件的圖。

壁構件40由圓筒形壁構件41A~41D及倒圓錐筒形壁構件43A~43D所構成，都由金屬所構成。

又，頂板狀壁構件44配設於圓筒形壁構件41A~41D和上部固定構件20之貫穿孔12A的徑大側孔上底之間。

頂板狀壁構件44是為了覆蓋配置於貫穿孔12A之徑大側孔的管22之流路內管部22A的周圍和徑大側孔的上底，而被插入貫穿孔12A的徑大側孔之甜甜圈狀構件。後述之塗膜層60形成於頂板狀壁構件44之厚度方向的單側表面。

各個圓筒形壁構件41A~41D是將一個圓筒形構件在圓周方向形成4分割均等形狀的構件。在各個圓筒形壁構件41A~41D，是側部端面之壁構件抵接面41Ab~41Db成為利用線切割放電加工機之放電加工所切割的切割面。

因而，從圓筒形壁構件41A至圓筒形壁構件41D朝向順時針方向依其順序配置，並將圓筒形壁構件41A~41D之各構件組合成環形時，如第4A圖及第4B圖所示，相鄰之圓筒形壁構件41A和圓筒形壁構件41B抵接成壁構件抵接面41Ab和壁構件抵接面41Bb彼此密合。又，相鄰之圓筒形壁構件41B和圓筒形壁構件41C抵接成壁構件抵接面41Bb和壁構件抵接面41Cb彼此密合。又，相鄰之圓筒形壁構件41C和圓筒形壁構件41D抵接成壁構件抵接面41Cb和壁構件抵接面41Db彼此密合。又，相鄰之圓筒形壁構件41D和圓筒形壁構件41A抵接成壁構件抵接面41Db和壁構件抵接面41Ab彼此密合。

因此，將圓筒形壁構件41A~41D組合成環形時，圓筒形壁構件41A~41D全部以高精度的圓筒度構成一個圓筒。

又，圓筒形壁構件41A~41D的各構件可拆裝地插入圓筒形本體部10A的貫穿孔12A。

即，是圓筒形壁構件41A~41D之各外周面的壁構件外周面41Ac~41Dc的尺寸形狀精度被高精度加工，組合成環形之圓筒形壁構件41A~41D全部的外周徑和圓筒形本體部10A的貫穿孔12A中徑大側孔的內周徑大致相等，而可幾乎無間隙地插入自如，且易於拆下。

又，是圓筒形壁構件41A~41D之各內周面的流路側表面41Aa~41Da例如利用線切割放電加工機之放電加工、或研磨加工、搪磨加工等，施加達到面粗糙度約Rz6μm之高精度加工而形成。在流路側表面41Aa~41Da，各自利用蒸鍍形成後述的塗膜層60。

又，關於是圓筒形壁構件41A~41D之各下方側端面的壁構件下部端面41Ad~41Dd，亦關於尺寸形狀精度或面粗糙度被高精度地加工。

在將組合成環形的圓筒形壁構件41A~41D插入圓筒形本體部10A之貫穿孔12A的徑大側孔之狀態，在被蒸鍍塗膜層60之圓筒形壁構件41A~41D的各構件中位於與輸入通口11相對向之位置的圓筒形壁構件41D，如第4A圖及第4B圖所示，形成流路50之軸心VX方向的長度m(m>0)比流路50之圓周方向CR的長度n(n>0)更長的長孔42。

各個倒圓錐筒形壁構件43A~43D是將一個構件形成4分割均等形狀的倒圓錐筒形狀的構件。在各個倒圓錐筒形壁構件43A~43D，是各側部端面之壁構件抵接面43Ab~43Db成為利用線切割放電加工機之放電加工所切割的切割面。

因而，從倒圓錐筒形壁構件43A至倒圓錐筒形壁構件43D朝向順時針方向依其順序配置，並將倒圓錐筒形壁構件43A~43D之各構件組合成環形時，如第5A圖及第5B圖所示，相鄰之倒圓錐筒形壁構件43A和倒圓錐筒形壁構件43B抵接成壁構件抵接面43Ab和壁構件抵接面43Bb彼此密合。又，相鄰之倒圓錐筒形壁構件43B和倒圓錐筒形壁構件43C抵接成壁構件抵接面43Bb和壁構件抵接面43Cb彼此密合。又，相鄰之倒圓錐筒形壁構件43C和倒圓錐筒形壁構件43D抵接成壁構件抵接面43Cb和壁構件抵接面43Db彼此密合。又，相鄰之倒圓錐筒形壁構件43D和倒圓錐筒形壁構件43A抵接成壁構件抵接面43Db和壁構件抵接面43Ab彼此密合。

因此，將倒圓錐筒形壁構件43A~43D組合成環形時，倒圓錐筒形壁構件43A~43D全部以高精度的圓筒度及同心度構成一個顛倒的圓錐筒。

又，倒圓錐筒形壁構件43A~43D的各構件可拆裝地插入倒圓錐筒形本體部10B的貫穿孔12B。

即，是倒圓錐筒形壁構件43A~43D之各外周面的壁構件外周面43Ac~43Dc的尺寸形狀精度被高精度加工，組合成環形之倒圓錐筒形壁構件43A~43D全部的外周徑和倒圓錐筒形本體部10B之貫穿孔12B的內周徑大致相等，而可幾乎無間隙地插入自如，且易於拆下。

又，是倒圓錐筒形壁構件43A~43D之各內周面的流路側表面43Aa~43Da以和倒圓錐筒形本體部10B之貫穿孔12B相同的錐角，例如利用線切割放電加工機之放電加工、或研磨加工、搪磨加工等，施加達到面粗糙度約Rz6μm之高精度加工而形成。在流路側表面43Aa~43Da，各自利用蒸鍍形成後述的塗膜層60。

又，關於是倒圓錐筒形壁構件43A~43D之各上方側端面的壁構件上部端面43Ad~43Dd，亦關於尺寸形狀精度或面粗糙度被高精度地加工。

說明塗膜層60。第7圖係以從厚度方向所看到之剖面表示塗膜層的模式圖。

如上述所示，在頂板狀壁構件44之單側表面、流路內管部22A的外周面22Aa、圓筒形壁構件41A~41D的流路側表面41Aa~41Da及倒圓錐筒形壁構件43A~43D的流路側表面43Aa~43Da(以下總稱為「壁構件流路側表面40a」)，形成塗膜層60(參照第1圖)。

塗膜層60在本實施形態如第7圖所示，由在與壁構件流路側表面40a之界面密接的中間層60b、及與此中間層60b疊層的表面層60a之兩層所構成。中間層60b在本實施形態由TiN蒸鍍層所構成。將表面硬度遠比壁構件流路側表面40a硬的表面層60a直接蒸鍍於壁構件流路側表面40a時，因為亦擔心在和壁構件流路側表面40a的界面易剝落，所以為了防止之，中間層60b擔任作為用以將表面層60a形成於壁構件流路側表面40a之黏結劑的功用。TiN蒸鍍層(中間層60b)以膜厚1.5~3.0μm、維克氏硬度HV1700~HV2200之範圍內的表面硬度所形成，具有氧化溫度600℃等的特性。

另一方面，表面層60a例如由TiAl蒸鍍層、TiCrAlN蒸鍍層、TiCrAlSi蒸鍍層等硬度比中間層60b的TiN蒸鍍層更硬的蒸鍍層所構成，在本實施形態，以TiCrAlSi蒸鍍層形成，並成為形成流路50的壁面52。TiCrAlSi蒸鍍層(表面層60a)以膜厚3.5~5.0μm、維克氏硬度HV3000~HV3600之範圍內的表面硬度所形成，具有氧化溫度1100℃等的特性。

在本實施形態，由中間層60b和表面層60a所合併之塗膜層60的厚度以4~6μm之厚度所形成，並對壁構件40進行塗膜處理。

這種塗膜層60係以如下的處理被塗膜。

在本實施形態，在塗膜層60的形成，使用根據電弧離子電鍍(AIP)法，使用作塗膜層之原材料的合金(靶)在真空下蒸鍍於被蒸鍍物(壁構件40等)的分批式真空蒸鍍爐。分批式真空蒸鍍爐將靶配置於爐內的複數個位置，並預先將作為TiN蒸鍍層之原材料之TiN合金製的靶、與作為TiCrAlSi蒸鍍層之原材料之TiCrAlSi合金製的靶各自配置於既定位置。

在蒸鍍前，高精度地洗淨壁構件流路側表面40a，預先因應需要遮蔽不必蒸鍍部分，再將壁構件40等配置於真空下的爐內，首先，將TiN合金製的靶以電弧放電進行加熱蒸鍍、離子化、氣化，而將TiN蒸鍍層蒸鍍於壁構件流路側表面40a。在蒸鍍TiN蒸鍍層後，接著，將作為TiCrAlSi蒸鍍層之原材料之TiCrAlSi合金製的靶以電弧放電進行加熱蒸鍍、離子化、氣化，而將TiCrAlSi蒸鍍層蒸鍍於TiN蒸鍍層。

TiCrAlSi蒸鍍層係在真空壓力4.0×10^-3 ~6.0×10^-3 Pa、蒸鍍時間180~220min等之處理條件下被蒸鍍。

其次，說明旋風式過濾器1的組裝。

在上部固定構件20和圓筒形本體部10A的組裝，從圓筒形本體部10A之貫穿孔12A中上方側的徑小側孔插入管22，使管22的流路內管部22A配置於位於貫穿孔12A之下方側的徑大側孔。在使管22配置於徑大側孔之狀態，利用配置於圓筒形本體部10A之O環槽13的O環75將上部固定構件20液密地密封，再以4支固定螺栓71和圓筒形本體部10A固接。

接著，將頂板狀壁構件44插入至圓筒形本體部10A之貫穿孔12A的徑大側孔上底後，將圓筒形壁構件41A~41D之各構件全部插入此貫穿孔12A的徑大側孔，組合成環形之圓筒形壁構件41A~41D全部在與圓筒形本體部10A完全配合之狀態被插入。

另一方面，將倒圓錐筒形壁構件43A~43D之各構件全部插入倒圓錐筒形本體部10B的貫穿孔12B，組合成環形之倒圓錐筒形壁構件43A~43D全部在與倒圓錐筒形本體部10B完全配合之狀態被插入。

接著，和上部固定構件20固定，並組裝內裝頂板狀壁構件44與圓筒形壁構件41A~41D全部的圓筒形本體部10A、及內裝倒圓錐筒形壁構件43A~43D全部的倒圓錐筒形本體部10B。

藉插穿位於倒圓錐筒形本體部10B之上方的凸緣部之固定螺栓71，利用配置於O環槽14的O環76液密地密封並一體地固接圓筒形本體部10A和倒圓錐筒形本體部10B。

此時，在使圓筒形壁構件41A~41D的壁構件下部端面41Ad~41Dd和倒圓錐筒形壁構件43A~43D的壁構件上部端面43Ad~43Dd彼此抵接時，在壁構件下部端面41Ad~41Dd和壁構件上部端面43Ad~43Dd之接合的連接處不會產生段差，而且密接，又，預先進行圓筒形壁構件41A~41D和倒圓錐筒形壁構件43A~43D的位置對準係重要。此外，在組裝後，固定圓筒形本體部10A和倒圓錐筒形本體部10B時，固定成圓筒形壁構件41A~41D和倒圓錐筒形壁構件43A~43D不會發生位置偏差亦重要。

固定圓筒形本體部10A和倒圓錐筒形本體部10B後，使下部固定構件30和倒圓錐筒形本體部10B的下端面及倒圓錐筒形壁構件43A~43D的壁構件下部端面抵接，並利用配置於下部固定構件30之O環槽32的O環77液密地密封，再以固定螺栓73鎖緊固定下部固定構件30和倒圓錐筒形本體部10B。因而，利用與圓筒形本體部10A之貫穿孔12A的徑大側孔上底抵接的頂板狀壁構件44及下部固定構件30推壓倒圓錐筒形壁構件43A~43D及與其抵接的圓筒形壁構件41A~41D，而將壁構件40確實地固定於本體10。

依此方式，一體地組裝本體10、上部固定構件20、下部固定構件30及壁構件40。

說明具有上述的構成之本實施形態之旋風式過濾器1的作用效果。

在旋風式過濾器1，因為其特徵在於：形成連接輸入通口11和第1輸出通口31之間之使用後之冷卻液CD的流路50之壁面52係將相對於流路50的軸心VX，在圓周方向CR被分割成4部分的壁構件40，即圓筒形壁構件41A~41D、倒圓錐筒形壁構件43A~43D各4個組合成環形而一體形成；對圓筒形壁構件41A~41D的流路側表面41Aa~41Da及倒圓錐筒形壁構件43A~43D的流路側表面43Aa~43Da藉蒸鍍形成塗膜層60，若以一個壁構件形成以其流路側表面所形成之圓筒形的流路，在蒸鍍時塗膜層無法達到是壁構件之內周面的流路側表面，在流路側表面無法形成均勻的塗膜層，而在本實施形態，作為壁構件，藉由作成圓筒形壁構件41A~41D及倒圓錐筒形壁構件43A~43D各4個，而在蒸鍍時，可對圓筒形壁構件41A~41D的流路側表面41Aa~41Da及倒圓錐筒形壁構件43A~43D的流路側表面43Aa~43Da在更均勻之狀態蒸鍍。即，塗膜層60藉蒸鍍在與流路側表面41Aa~41Da、43Aa~43Da的界面提高密接力，而難從流路側表面41Aa~41Da、43Aa~43Da剝落，以穩定之狀態形成於流路側表面41Aa~41Da、43Aa~43Da。

因而，確實阻止在工件的切削加工時所產生之切屑DT直接接觸流路側表面41Aa~41Da、43Aa~43Da，藉由形成塗膜層60，使圓筒形壁構件41A~41D、倒圓錐筒形壁構件43A~43D的流路側表面41Aa~41Da、43Aa~43Da具有持久性，以保護此流路側表面41Aa~41Da、43Aa~43Da。

又，在旋風式過濾器1，除了壁構件40以外，在流路50內使用後的冷卻液CD所接觸之頂板狀壁構件44、或上部固定構件20之流路內管部22A的外周面22Aa，亦形成塗膜層60。因而，關於頂板狀壁構件44的流路側表面、或流路內管部22A的外周面22Aa，亦具有和壁構件40一樣之作用效果。

因此，具有如下的優異效果，在利用蒸鍍對以流路側表面41Aa~41Da、43Aa~43Da為代表之這些流路側表面41Aa~41Da、43Aa~43Da堅固地被覆塗膜層60之流路50的壁面52，可確實防止因切屑DT的接觸隨時間經過所產生之磨耗引起之異物DT的阻塞，並可長期穩定地過濾與冷卻液CL所混合存在之切屑DT。

而，將旋風式過濾器1設置於在本實施形態所列舉的切削加工以外之例如以放電加工、研磨加工等機械加工為對象之加工機的冷卻液槽裝置，並使使用後的冷卻液CD通往旋風式過濾器1，則能以旋風式過濾器1過濾與使用後的冷卻液CD所混合存在的異物DT。

一般，作為這種機械加工所產生之加工屑，例如是在金屬製工件的切削加工所產生之銳利形狀的大切屑、或線切割放電加工機之放電加工所產生的淤渣。又，在研磨加工，是包含從WA磨石(將包含鎢、氧化鋁等磨粒燒結固化的磨石)等主要由陶瓷研磨磨石所代表之在研磨時磨粒會脫落的磨粒研磨磨石在研磨時所脫落之磨粒的研磨屑。

可是，在旋風式過濾器1，因為其特徵在於塗膜層60是使蒸鍍作為原材料之TiN合金及TiCrAlSi合金並被覆於圓筒形壁構件41A~41D、倒圓錐筒形壁構件43A~43D(壁構件40)，並具有硬度比壁構件40更高，且硬度比切屑(異物)DT的材質(鐵系材質)更高之特性的塗膜層60，如上述所示之不僅銳利形狀的金屬製切屑，淤渣、在研磨加工包含有硬磨粒之研磨屑等異物DT在使用冷卻液CL後，與冷卻液CL混合，如第8圖所示，有異物DT混合存在之使用後的冷卻液CD從輸入通口11流入，往第1輸出通口31利用旋風狀流動，在流路50一面沿著塗膜層60(壁面52)和塗膜層60(壁面52)直接接觸一面移動，亦因為塗膜層60比異物DT更硬，所以不會因伴隨接觸之異物DT的移動而隨時間經過產生磨耗。又，耐磨耗性如此優異的塗膜層60利用蒸鍍，不僅圓筒形壁構件41A~41D的流路側表面41Aa~41Da、倒圓錐筒形壁構件43A~43D的流路側表面43Aa~43Da，還與頂板狀壁構件44的流路側表面及流路內管部22A的外周面22Aa密接，而具有從和該流路側表面41Aa~41Da、43Aa~43Da等之界面難剝落的優異效果。

又，塗膜層60係對以高精度之面粗糙度被精加工的流路側表面41Aa~41Da、43Aa~43Da進行塗膜處理，塗膜層60之厚度亦成為4~6μm。因而，因為壁面52成為平滑的表面，異物DT沿著壁面52一面接觸一面移動，異物DT亦不會卡在壁面52，而可向第1輸出通口31順暢地流動。

又，在旋風式過濾器1，因為其特徵在於塗膜層60係其表面硬度是維克氏硬度HV1200以上之維克氏硬度HV3000~HV3600之範圍內的表面硬度，及形成塗膜層60所使用之原材料的合金係TiN合金及使Ti至少包含N、Cr、Al、及Si之任一個之Ti化合物的TiCrAlSi合金，所以在以圓筒形壁構件41A~41D的流路側表面41Aa~41Da及倒圓錐筒形壁構件43A~43D之流路側表面43Aa~43Da為代表，頂板狀壁構件44之流路側表面或流路內管部22A的外周面22Aa亦可形成硬度比表面硬度最高可至維克氏硬度HV1000附近的硬質鍍鉻處理更硬的塗膜層60。因而，具有如下之效果，在對流路側表面41Aa~41Da、43Aa~43Da等被覆硬質鍍鉻層的情況，不僅因是異物DT之銳利形狀的金屬製切屑，而且因研磨屑所包含之硬的磨粒而會產生之硬質鍍鉻層的擦傷、損傷及剝離，在旋風式過濾器1的塗膜層60不會隨時間經過而發生。

又，旋風式過濾器1的塗膜層60成為具有亦可承受酸性或鹼性強之藥品的耐藥品性、耐侵蝕性、耐腐蝕性及耐熱性的塗膜層。因而，尤其為了提高工件的生產力，在加工機M，一面以例如排出量100L/min等高流量排出冷卻液CL，一面進行使工件高生產效率之滾齒加工(切削加工)，在旋風式過濾器1內的流路50，即使塗膜層60曝露於嚴酷之使用條件下的情況，旋風式過濾器1的塗膜層60亦在流路50難受到在冷卻液CL所頻繁發生之孔蝕(cavitation)的影響、在流路50流動時冷卻液CL所含之化學藥品的影響及在加工時冷卻液CL從加工中的工件或滾齒刀等刀具奪熱所引起之冷卻液CL之高溫化的影響等惡劣的影響，即使對流路側表面41Aa~41Da、43Aa~43Da的界面，亦以穩定之狀態密接，具有能持續保持對以流路側表面41Aa~41Da、43Aa~43Da為代表，流路內管部22A的外周面22Aa或頂板狀壁構件44之流路側表面的被覆之優異效果。

又，在旋風式過濾器1，因為其特徵在於：具有本體10，其在圓筒形本體部10A具備貫穿孔12A，及在倒圓錐筒形本體部10B具備貫穿孔12B，被蒸鍍塗膜層60的圓筒形壁構件41A~41D沿著圓筒形本體部10A之貫穿孔12A的貫穿孔內周面12Aa被插入，倒圓錐筒形壁構件43A~43D沿著貫穿孔12B的貫穿孔內周面12Ba被插入，而可拆裝地被插入圓筒形本體部10A及倒圓錐筒形本體部10B(本體10)，所以在插入時，使沿著貫穿孔內周面12Aa之圓筒形本體部10A之外周面的形狀共同化，同時使沿著貫穿孔內周面12Ba之倒圓錐筒形本體部10B之外周面的形狀共同化。另一方面，因應

(a)過濾之切屑(異物)DT的大小、重量、形狀、硬度及材質、

(b)與使用後的冷卻液CD混合存在之切屑DT的混合量、

(c)從輸入通口11所流入之使用後之冷卻液CD的流入量和使從第2輸出通口21所流出之冷卻液CL之流出量之流量平衡的調整、

(d)從切屑DT所混合存在之使用後的冷卻液CD流入輸入通口11時開始，至過濾的切屑DT從第1輸出通口31被排出之異物過濾時間的調整等異物DT的各過濾條件，使圓筒形本體部10A及倒圓錐筒形本體部10B(壁構件40)之流路側表面41Aa~41Da、43Aa~43Da成為最適合過濾條件的形狀(例如流路50之軸心VX方向的長度、流路50之相對於軸心VX方向的錐角、考慮到流路50之徑向的曲率半徑等的形狀)，若對各過濾條件準備複數種各自具有各自適合過濾條件之最佳之流路側表面41Aa~41Da、43Aa~43Da的4個圓筒形本體部10A、倒圓錐筒形本體部10B(壁構件40)，則在一個本體10，各4個壁構件40在複數種可插入本體10(圓筒形本體部10A、倒圓錐筒形本體部10B)的貫穿孔12A、12B。因此，若對應於過濾條件，選擇最佳的形狀之各4個壁構件40並插入本體10，則具有能以更佳的過濾精度過濾加工屑之優異效果。

又，有因故想使蒸鍍於流路側表面41Aa~41Da、43Aa~43Da、或流路內管部22A之外周面22Aa、頂板狀壁構件44之流路側表面的塗膜層60從壁構件40剝離的情況。

即使在這種情況，亦可在從圓筒形本體部10A的貫穿孔12A拆下蒸鍍了塗膜層60的圓筒形壁構件41A~41D後，對塗膜層60已剝離之圓筒形壁構件41A~41D的流路側表面41Aa~41Da重新蒸鍍別的塗膜層。

一樣地，可在從倒圓錐筒形本體部10B的貫穿孔12B拆下蒸鍍了塗膜層60的倒圓錐筒形壁構件43A~43D後，對塗膜層60已剝離之倒圓錐筒形壁構件43A~43D的流路側表面43Aa~43Da重新蒸鍍別的塗膜層。

因此，具有可不會浪費並有效地活用所使用之圓筒形壁構件41A~41D、倒圓錐筒形壁構件43A~43D之效果。

又，在旋風式過濾器1，因為其特徵在於：圓筒形壁構件41A~41D、倒圓錐筒形壁構件43A~43D係由4個壁構件40所構成，所以從流路50之軸心VX方向看組合成環形之4個圓筒形壁構件41A~41D、倒圓錐筒形壁構件43A~43D時，由圓筒形壁構件41A~41D、倒圓錐筒形壁構件43A~43D所構成之流路50的壁面52易成為曲率半徑在圓周方向大致定值之更正確的圓形，如參照第4A圖及第4B圖所示，相鄰的壁構件之間(在圓筒形壁構件為41A和41B、41B和41C、41C和41D、41D和41A，在倒圓錐筒形壁構件為43A和43B、43B和43C、43C和43D、43D和43A)的流路側表面41Aa~41Da、43Aa~43Da、壁面52能以一樣地連續的形態形成。

因而，在利用將圓筒形壁構件41A~41D、倒圓錐筒形壁構件43A~43D組合成環形之壁面52所形成的流路50，與使用後的冷卻液CD混合存在的異物DT在相鄰的壁構件之間的連接處不會卡住，而具有能以更良好之旋風式流動在流路50流動之優異效果。

又，在旋風式過濾器1，藉由圓筒形壁構件41A~41D、倒圓錐筒形壁構件43A~43D之環形的組合，在相鄰的壁構件之間(在圓筒形壁構件為41A和41B、41B和41C、41C和41D、41D和41A，在倒圓錐筒形壁構件為43A和43B、43B和43C、43C和43D、43D和43A)相抵接的壁構件抵接面41Ab~41Db、43Ab~43Db、其特徵在於利用線切割放電加工機所加工的切斷面，所以壁構件抵接面41Ab~41Db，43Ab~43Db，能以例如形狀精度±2μm以內、面粗糙度Rz2μm以內等之極高精度的精加工面形成。

因而，在將圓筒形壁構件41A~41D、倒圓錐筒形壁構件43A~43D組合成環形時，因為相鄰之壁構件的壁構件抵接面之間(在圓筒形壁構件為41Ab和41Bb、41Bb和41Cb、41Cb和41Db、41Db和41Ab，在倒圓錐筒形壁構件為43Ab和43Bb、43Bb和43Cb、43Cb和43Db、43Db和43Ab)在幾乎無間隙之密接狀態靠在一起，在相鄰之壁構件的連接處，相鄰壁構件之流路側表面之間(在圓筒形壁構件為41Aa和41Ba、41Ba和41Ca、41Ca和41Da、41Da和41Aa，在倒圓錐筒形壁構件為43Aa和43Ba、43Ba和43Ca、43Ca和43Da、43Da和43Aa)、壁面52成為一樣地連續之形態，所以具有可得到在流路50適合產生旋風式流動之壁面的優異效果。

又，在旋風式過濾器1，因為其特徵在於：與第2輸出通口21連通的管22沿著該流路50的軸心VX在流路50內延伸，在管22中位於流路50內之流路內管部22A的外周面22Aa，形成塗膜層60，所以從輸入通口11向流路50流入之使用後的冷卻液CD和混合存在的異物DT一起碰撞管22的流路內管部22A，如第8圖所示，在位於形成於流路內管部22A之外周面22Aa的塗膜層60和形成於圓筒形壁構件41A~41D之流路側表面41Aa~41Da的塗膜層60之間之流路50的甜甜圈狀流路部51A流動時，可防止在異物DT碰撞流路內管部22A時隨時間經過所產生之流路內管部22A的磨耗。

又，如第8圖所示，可防止因從輸入通口11向流路50流入之使用後的冷卻液CD、或在流路50向第2輸出通口21流入，再想要從第2輸出通口21向加工機M側流出冷卻液CL的流動所產生之孔蝕而造成之流路內管部22A的侵蝕。進而，具有可防止冷卻液CL所含有之化學藥品、或冷卻液CL之高溫化所引起之在流路內管部CL的外周面所發生之變質或腐蝕、侵蝕的優異效果。

又，在旋風式過濾器1，因為其特徵在於：輸入通口11係以相對於流路50之軸心VX方向，在與流路50之軸心VX垂直地扭轉之位置相交的方向，使輸入通口11的軸心HX僅從流路50的軸心VX偏離偏置量t之方式配置；在被蒸鍍塗膜層60之圓筒形壁構件41A~41D中位於與輸入通口11相對向之位置的部分，即圓筒形壁構件41A的一部分，形成沿著流路50之軸心VX之方向的長度m比沿著流路50之圓周方向CR的長度n更長的長孔42，使用後的冷卻液CD從輸入通口11通過長孔42，從流路50中被蒸鍍塗膜層60之圓筒形壁構件41A~41D與被蒸鍍塗膜層60之流路內管部22A之間的甜甜圈狀流路部51A，向位於流路50之第1輸出通口31側的錐狀流路部51B(錐狀部)流動，所以從輸入通口11通過長孔42，向流路50之甜甜圈狀流路部51A所流入之使用後的冷卻液CD與混合存在的異物DT一起在流路50的甜甜圈狀流路部51A利用旋風式流動流出。

因而，具有如下之優異效果，在異物DT所混合存在之使用後的冷卻液CD利用所作用的重力和離心力，比重差比冷卻液CD大之異物DT朝向第1輸出通口31，從甜甜圈狀流路部51A往錐狀流路部51B，利用沿著流路50的壁面52之良好的旋風式流動，不會卡在壁面52地移動，順暢地落下並從第1輸出通口31被排出，而可被過濾。

(第2實施形態)

以下，使用第9圖說明第2實施形態。

第9圖和第1圖一樣，係從第2A圖中相當於B-B箭號方向剖面的位置看到的剖面圖，係表示第2實施形態之旋風式過濾器的說明圖。

在第1實施形態的旋風式過濾器1，對使冷卻液CL的流路50與本體10(圓筒形本體部10A、倒圓錐筒形本體部10B)獨立的壁構件40，即圓筒形壁構件41A~41D和倒圓錐筒形壁構件43A~43D的流路側表面41Aa~41Da、43Aa~43Da，蒸鍍塗膜層60而形成流路50的壁面52。

相對地，在第2實施形態的旋風式過濾器101，將在第1實施形態作為本體的圓筒形本體部10A及倒圓錐筒形本體部10B作為壁構件，對形成於相當於圓筒形本體部10A及倒圓錐筒形本體部10B的第1壁構件140A及第2壁構件140B之孔的內面，蒸鍍塗膜層60而形成流路50的壁面52。

即，在第1實施形態和第2實施形態，蒸鍍塗膜層60的面相異，除此以外的部分和第1實施形態相同。

因此，主要說明與第1實施形態相異的部分，而簡化或省略其他的部分。

在第2實施形態，旋風式過濾器101和第1實施形態的圓筒形本體部10A及倒圓錐筒形本體部10B一樣，具有在圓周方向均等4分割之4個第1壁構件140A和4個第2壁構件140B。

如第9圖所示，在組合成環形時形成圓筒形之4個第1壁構件140A的第1流路側表面140Aa和是孔內上底面的第1流路側上底面140Ab，利用蒸鍍形成塗膜層60。又，在流路內管部22A的外周面22Aa利用蒸鍍形成塗膜層60。

又，在組合成環形時形成倒圓錐筒形之4個第2壁構件140B的第1流路側表面140Ba，利用蒸鍍形成塗膜層60。

在第2實施形態，亦和第1實施形態一樣，以第1流路側表面140Aa、第2流路側表面140Ba為代表，在第1流路側上底面140Ab利用蒸鍍將塗膜層60堅固地覆蓋之流路50的壁面52，可確實地防止由因異物DT的接觸隨時間經過所產生之磨耗所引起之異物DT的阻塞，具有可長期穩定地過濾與冷卻液CL混合存在的異物DT之優異效果。

在以上，雖然按照第1、第2實施形態說明本發明，但是本發明未限定為第1、第2實施形態，在不超出其主旨之範圍，可適當地變更後應用。(1)例如，將2個旋風式過濾器1配設於一台冷卻液槽裝置80，以2個旋風式過濾器1對位於冷卻液槽81之使用後的冷卻液CD過濾異物DT後，向加工機M供給已淨化的冷卻液CL。相對地，如第10圖所示，在具有2個冷卻液槽的冷卻液槽裝置180中從加工機M流入使用後之冷卻液CD的第1冷卻液槽181側，設置串列配管的2個旋風式過濾器1，使從2個旋風式過濾器1的輸出側所流出的冷卻液CL向第2冷卻液槽182流入。因而，在停止加工時，預先使冷卻液CL在加工機M和冷卻液槽裝置180之間循環，而第2冷卻液槽182所貯存的冷卻液CL被乾淨地淨化。因而，在再開始加工時，從加工機M的排出噴嘴排出更乾淨之淨化的冷卻液CL，而可開始加工。

(2)又，在第1實施形態，雖然將規格相同之2個旋風式過濾器1串列地配管於冷卻液槽裝置80，但是亦可關於流路50之軸心VX方向的長度、流路50之圓周方向CR的直徑、在錐狀流路部51B之壁面52的錐角及關於塗膜層60的材質或疊層內容等所謂的過濾器規格，改變一次側過濾器和二次側過濾器的規格。又，亦可將配設於冷卻液槽裝置的2個旋風式過濾器1並列地配管。進而，亦可將旋風式過濾器1設為單個或3個以上的複數個。

(3)又，在第1、第2實施形態，塗膜層60採用在和壁構件流路側表面40a之界面密接的中間層60b、及和該中間層60b疊層的表面層60a之雙層。可是，塗膜層亦能以單層或3層以上的複數層形成蒸鍍於壁構件流路側表面的層。

(4)又，在第1、第2實施形態，關於圓筒形壁構件41A~41D、倒圓錐筒形壁構件43A~43D、4個第1壁構件140A及4個第2壁構件140B的各構件，將形成均等形狀的4個構件組合成環形，並形成圓筒或顛倒的圓錐筒。可是，因為形成圓筒或顛倒的圓錐筒，組合成環形之壁構件的數量亦可係相當於4之倍數的數量。

(5)又，在第1、第2實施形態，作為中間層60b，以TiN合金的蒸鍍形成TiN蒸鍍層後，作為表面層60a，以TiCrAlSi合金形成TiCrAlSi蒸鍍層，而構成塗膜層60。可是，在靶所使用之金合未限定為TiN合金或TiCrAlSi合金，可適當地變更。又，亦可作成以利用陶瓷熔射所形成之塗膜層保護壁構件流路側表面。

1、101‧‧‧旋風式過濾器

10‧‧‧本體

11‧‧‧輸入通口

12A‧‧‧貫穿孔

12Aa‧‧‧貫穿孔內周面

12B‧‧‧貫穿孔

12Ba‧‧‧貫穿孔內周面

21‧‧‧第2輸出通口

22‧‧‧管

22A‧‧‧流路內管部

22Aa‧‧‧外周面

31‧‧‧第1輸出通口

40‧‧‧壁構件

41Aa~41Da‧‧‧流路側表面

41Ab~41Db‧‧‧壁構件抵接面

42‧‧‧長孔

43Aa~43Da‧‧‧流路側表面

43Ab~43Db‧‧‧壁構件抵接面

50‧‧‧流路

51B‧‧‧錐狀流路部(錐狀部)

52‧‧‧壁面

60‧‧‧塗膜層

140Aa‧‧‧第1流路側表面

140Ba‧‧‧第2流路側表面

CL‧‧‧冷卻液

CD‧‧‧使用後的冷卻液

DT‧‧‧切屑(異物)

VX‧‧‧軸心

HX‧‧‧軸心

CR‧‧‧圓周方向

m‧‧‧軸心方向之長度

n‧‧‧圓周方向之長度

第1圖係以第2A圖中之B-B箭號方向剖面圖表示第1實施形態之旋風式過濾器的圖。

第2A圖係表示第1實施形態之旋風式過濾器的平面圖。

第2B圖係表示第1實施形態之旋風式過濾器的圖，是第1圖中從A-A箭號的位置所看到的剖面圖。

第3圖係表示第1、第2實施形態之旋風式過濾器的正視圖。

第4A圖係表示第1實施形態之旋風式過濾器之圓筒形壁構件的正視圖。

第4B圖係從下方看第1實施形態之旋風式過濾器之圓筒形壁構件的平面圖。

第5A圖係從上方看第1實施形態之旋風式過濾器之倒圓錐筒形壁構件的平面圖。

第5B圖係表示第1實施形態之旋風式過濾器之倒圓錐筒形壁構件的圖，是第5A圖中C-C箭號方向剖面圖。

第6圖係設置了第1實施形態之旋風式過濾器之冷卻液槽裝置的配管迴路圖。

第7圖係以從厚度方向所看到之剖面表示第1、第2實施形態之旋風式過濾器之塗膜層的模式圖。

第8圖係說明第1、第2實施形態之旋風式過濾器之作用的模式圖。

第9圖係表示第2實施形態之旋風式過濾器的說明圖。

第10圖係表示變形例之冷卻液槽裝置之配管迴路圖的說明圖。

第11圖係表示作為習知技術之專利文獻2之旋風式過濾裝置的說明圖。

第12A圖係表示作為習知技術之專利文獻3之處理流體之淨化裝置的說明圖。

第12B圖係表示作為習知技術之專利文獻3之處理流體之淨化裝置的圖，係第12A圖中D-D箭號方向剖面圖。

1．．．旋風式過濾器

VX．．．軸心

20．．．上部固定構件

21．．．第2輸出通口

13．．．O環槽

22．．．管

42．．．長孔

11．．．輸入通口

22A．．．流路內管部

22Aa．．．外周面

HX．．．軸心

51A．．．甜甜圈狀流路部

14．．．O環槽

10．．．本體

10A．．．圓筒形本體部

10B．．．倒圓錐筒形本體部

50．．．流路

51B．．．錐狀流路部

73．．．固定螺栓

32．．．O環槽

31．．．第1輸出通口

77．．．O環

30．．．下部固定構件

40．．．壁構件

43A~43D．．．倒圓錐筒形壁構件

60．．．塗膜層

52．．．壁面

12B．．．貫穿孔

12Ba．．．貫穿孔內周面

72．．．固定螺栓

76．．．O環

12A．．．貫穿孔

12Aa．．．貫穿孔內周面

41A~41D．．．圓筒形壁構件

44．．．頂板狀壁構件

75．．．O環

71．．．固定螺栓

Claims

一種旋風式過濾器，利用旋風式流動使與從輸入通口所流入之使用後的冷卻液混合存在的異物落下，從第1輸出通口排出，並具有使從使用後的冷卻液去除了異物之冷卻液流出的第2輸出通口，其特徵在於：形成連接該輸入通口和該第1輸出通口之間之使用後的冷卻液之流路的壁面係將相對於該流路的軸心，在圓周方向被分割成2部分以上的複數個壁構件組合成環形而一體形成；在該2個以上之壁構件的流路側表面，藉蒸鍍形成塗膜層；該塗膜層係具有，當作該流路側表面之黏結劑而被形成的中間層，以及硬度較該中間層硬並被疊層的表面層。
如申請專利範圍第1項之旋風式過濾器，其中該塗膜層係其表面硬度相當於維克氏硬度HV1200以上的硬度；為了形成該塗膜層而用作原材料的合金係TiN合金，或使Ti至少包含N、Cr、Al、及Si之任一個之Ti化合物的合金。
如申請專利範圍第1或2項之旋風式過濾器，其中具有具備孔的本體；被蒸鍍該塗膜層之該2個以上的壁構件係沿著該本體的孔內周面被插入，而可拆裝地插入該本體。
如申請專利範圍第1或2項之旋風式過濾器，其中該2個以上的壁構件係由4個該壁構件所構成。
如申請專利範圍第3項之旋風式過濾器，其中該2個以上的壁構件係由4個該壁構件所構成。
如申請專利範圍第1或2項之旋風式過濾器，其中與該第2輸出通口連通的管沿著該流路的軸心在該流路內延伸；在該管中位於該流路內之流路內管部的外周面，形成該塗膜層。
如申請專利範圍第3項之旋風式過濾器，其中與該第2輸出通口連通的管沿著該流路的軸心在該流路內延伸；在該管中位於該流路內之流路內管部的外周面，形成該塗膜層。
如申請專利範圍第4項之旋風式過濾器，其中與該第2輸出通口連通的管沿著該流路的軸心在該流路內延伸；在該管中位於該流路內之流路內管部的外周面，形成該塗膜層。
如申請專利範圍第5項之旋風式過濾器，其中與該第2輸出通口連通的管沿著該流路的軸心在該流路內延伸；在該管中位於該流路內之流路內管部的外周面，形成該塗膜層。
如申請專利範圍第6項之旋風式過濾器，其中該輸入通口係以相對於該流路之軸心方向，在與該流路之軸心垂直地扭轉之位置相交的方向，使該輸入通口的軸心偏離該流路的軸心之方式配置；在已被蒸鍍該塗膜層之該2個以上的壁構件中位於與該輸入通口相對向之位置的部分，形成沿著該流路之軸心方向的長度比沿著該流路之圓周方向的長度更長的長孔；該使用後的冷卻液從該輸入通口通過該長孔，從該流路中已被蒸鍍該塗膜層之該2個以上的壁構件與已被蒸鍍該塗膜層之該流路內管部之間，向位於該流路之該第1輸出通口側的錐狀部流動。
如申請專利範圍第7項之旋風式過濾器，其中該輸入通口係以相對於該流路之軸心方向，在與該流路之軸心垂直地扭轉之位置相交的方向，使該輸入通口的軸心偏離該流路的軸心之方式配置；在已被蒸鍍該塗膜層之該2個以上的壁構件中位於與該輸入通口相對向之位置的部分，形成沿著該流路之軸心方向的長度比沿著該流路之圓周方向的長度更長的長孔；該使用後的冷卻液從該輸入通口通過該長孔，從該流路中已被蒸鍍該塗膜層之該2個以上的壁構件與已被蒸鍍該塗膜層之該流路內管部之間，向位於該流路之該第1輸出通口側的錐狀部流動。
如申請專利範圍第8項之旋風式過濾器，其中該輸入通口係以相對於該流路之軸心方向，在與該流路之軸心垂直地扭轉之位置相交的方向，使該輸入通口的軸心偏離該流路的軸心之方式配置；在已被蒸鍍該塗膜層之該2個以上的壁構件中位於與該輸入通口相對向之位置的部分，形成沿著該流路之軸心方向的長度比沿著該流路之圓周方向的長度更長的長孔；該使用後的冷卻液從該輸入通口通過該長孔，從該流路中已被蒸鍍該塗膜層之該2個以上的壁構件與已被蒸鍍該塗膜層之該流路內管部之間，向位於該流路之該第1輸出通口側的錐狀部流動。
如申請專利範圍第9項之旋風式過濾器，其中該輸入通口係以相對於該流路之軸心方向，在與該流路之軸心垂直地扭轉之位置相交的方向，使該輸入通口的軸心偏離該流路的軸心之方式配置；在已被蒸鍍該塗膜層之該2個以上的壁構件中位於與該輸入通口相對向之位置的部分，形成沿著該流路之軸心方向的長度比沿著該流路之圓周方向的長度更長的長孔；該使用後的冷卻液從該輸入通口通過該長孔，從該流路中已被蒸鍍該塗膜層之該2個以上的壁構件與已被蒸鍍該塗膜層之該流路內管部之間，向位於該流路之該第1輸出通口側的錐狀部流動。