TWI438342B - 具有魯式與螺旋轉子之複合型乾式真空幫浦 - Google Patents

Description

具有魯式與螺旋轉子之複合型乾式真空幫浦

本發明係有關一種乾式真空幫浦，尤指一種具有一魯式轉子及一螺旋轉子之複合型乾式真空幫浦。

習知的乾式真空幫浦係包括至少一魯式轉子，該魯式轉子具有一凸塊以及至少一螺旋轉子，使處理室內常保完全真空的狀態，並減少所需功率的損失。該魯式轉子係連結至該處理室，用以吸入及壓縮製程副產品，該副產品係包括該處理室內所產生的氣體物質。該螺旋轉子係將該魯式轉子所吸入的氣體及製程副產品排出該處理室的外部。不論在任何情況下，這些轉子係在一氣密的狀態下運作，以使該處理室維持在一真空狀態。

一般而言，在上述魯式轉子的側邊以及上述螺旋轉子的側邊之間設有一隔膜壁，使製程副產品不會干擾到該等轉子的轉動，並讓製程副產品流暢地從上述魯式轉子處流動到該螺旋轉子。在美國專利案No.5,549,463之中，Kashiyama Industry Co.,Ltd已揭露了一典型的乾式真空幫浦。

請參閱第9圖，上述美國專利案所述之乾式真空幫浦100係包括一對魯式轉子(102、103)以及一對螺旋轉子(105、106)。該等魯式轉子(102、103)及螺旋轉子(105、106)係受一單一個驅動馬達200所驅動。該等魯式轉子(102、103)與該等螺旋轉子(105、106)之間設有一隔膜壁，使上述處理室內之製程副產品不會直接傳送到該螺旋轉子(105、106)。本發明係以上述之美國專利案No.5,549,463做為本發明之參考文件。

然而，該美國專利案No.5,549,463所揭露之乾式真空幫浦100中，該隔膜壁108係設置在魯式轉子(102、103)及螺旋轉子(105、106)之間。尤其是，一包含上述轉子的外殼107係必須被切割成數個部份。這樣的結構增加了製造乾式真空幫浦的工作量，並增加了許多個乾式真空幫浦的元件。

再者，為了在乾式真空幫浦中使用一隔膜壁，一具有可變間距的螺旋轉子已經被嘗試在一乾式真空幫浦內使用，以減少功率的耗損量，並增加被壓縮及被排出之副產品產量。然而，和一般的乾式真空幫浦相比，這樣的結構需要一較大體積的轉子及幫浦外殼，而減少其效率。

再者，在乾式真空幫浦中，已經嘗試過直接將一魯式轉子連接至一螺旋轉子上，而不需在魯式轉子及螺旋轉子之間設置隔膜壁。然而，在這種情況下，該魯式轉子及該螺旋轉子的斷面必須設計成彼此相似的形狀，以增加氣體的壓縮輸送效率。

然而，如果將魯式轉子及該螺旋轉子的斷面設計成相似的形狀時，該魯式轉子及螺旋轉子之間的平衡狀態會受到影響，並產生一負面的作用，使真空幫浦產生嚴重的震動及噪音。

又如第9圖所示，使用在真空幫浦內的驅動馬達200係包括一定子220、一迴轉裝置230、一軸心240及一馬達盒體210。

當具有此一結構之傳統真空幫浦在運轉時，該真空幫浦內之一對魯式轉子(102、103)及一螺旋轉子(105、106)係受到該驅動馬達200的驅動而轉動，使製程副產品從真空幫浦上之一吸入孔(圖中未示)被吸入，經由過該真空幫浦的內部而由一排出孔(圖中未示)被排出。因此，一用以製造半導體及顯示器之裝置之處理室係被設定成一真空狀態。此時，當該魯式轉子(102、103)及該螺旋轉子(105、106)轉動，被吸入的製程副產品流通過該真空幫浦的內部，並由一排出孔而被排出時，部份的製程副產品會流過該驅動馬達200的內部，並對一定子線圈220a造成損害，而減少該驅動馬達200的使用壽命。

因此，一罐體400係被設置於一定子200與一迴轉裝置230之間，以防止定子線圈220a因製程副產品流到定子內而受到損害。該罐體400係為一由例如不鏽鋼之材質所製成之薄板，且該薄板被焊接成一圓形之形狀。該罐體400係被設置於該定子220與該迴轉裝置230之間，以防止該定子線圈220a因流自真空幫浦之製程副產品或潤滑油而受到損害。

然而，該設置於定子200與迴轉裝置230之間的罐體400必須和該定子及該轉子之間保有一精密的間隙，因此該罐體400之製造及組裝係為困難。

另外，該設置於定子200與迴轉裝置230之間的罐體400會造成馬達所擁有的功率損耗，造成馬達大量的功率損耗，因而增加運轉的損耗。

因此，為了解決上述之缺點，本發明提供了一種具有魯式及螺旋轉子之複合型乾式真空幫浦，使幫浦不論在排放製造半導體或顯示器之裝置之處理室內所產生之製程副產品和/或氣態物質的過程中，或在處理室內製造一真空狀態時，能維持高度的氣體壓縮輸送效率，並維持該魯式轉子與該螺旋轉子之間的平衡狀態，以防止該真空幫浦產生震動與噪音。

根據本發明的一特點，本發明提供了一種用於高效率真空幫浦之馬達，該馬達係可保護一定子線圈免受流自真空幫浦之各種製程副產品之傷害。

根據本發明的另一特點，本創作提供了一種具有魯式及螺旋轉子之複合型乾式真空幫浦，係包括一具有內部容置空間之殼體、一設於該殼體一側之吸入孔、一設於該殼體另側之排出孔；一第一魯式轉子及一第二魯式轉子，係設於該殼體之內部容置空間中，且該第一及第二魯式轉子係以彼此相互嚙合的方式配置；一第一螺旋轉子及一第二螺旋轉子，係設於該殼體之內部容置空間中，且該第一及第二螺旋轉子係於鄰近該第一及第二魯式轉子處，以彼此相互嚙合的方式配置；一第一傳動軸及一第二傳動軸，係延伸穿過該第一及第二魯式轉子及該第一及第二螺旋轉子的中心；一第一齒輪及一第二齒輪，係於彼此相互嚙合時，分別連結至該第一及第二傳動軸；以及一馬達，該馬達具有一與第一傳動軸連結之轉子，以使該轉子能夠在一定子的內部被轉動，而該定子係設於一盒體內，且該定子的內部捲繞有一線圈，其中該第一及第二魯式轉子係分別包括三個凸塊，且一模製材料於該定子內鑄造成型，以保護該線圈不受殼體內各種流動之副產物破壞。

根據本發明所述之具有魯式及螺旋轉子之複合型乾式真空幫浦，能夠使幫浦不論在排放製程副產品和/或用以製造半導體或顯示器之裝置之處理室內所產生之氣態物質的過程中，或在處理室內製造一真空狀態時，能維持高度的氣體壓縮輸送效率。再者，該幫浦係可防止震動及噪音的產生，且可保護定子線圈免受流自真空幫浦之製程副產品的破壞，而改善該馬達之可靠性。

下面將配合附圖對本發明的內容及實施例做進一步說明。

請參閱第1、3圖，其為根據本發明具有魯式及螺旋轉子之複合型乾式真空幫浦之第一實施例，包括：一設於該幫浦一側之吸入孔11；一設於該幫浦另側之排出孔12；一具有內部容置空間之殼體10；一第一魯式轉子31及一第二魯式轉子32，係以彼此相互嚙合的方式設置於該殼體10之內部容置空間內；以及一第一螺旋轉子41和一第二螺旋轉子42，係於鄰近該第一及第二魯式轉子(31、32)處，以彼此相互嚙合的方式配置。該複合型乾式真空幫浦更包括一第一傳動軸21及一第二傳動軸22，該二傳動軸係延伸穿過該第一及第二魯式轉子(31、32)及該第一及第二螺旋轉子(41、42)的中心；一第一齒輪24及一第二齒輪22係於彼此相互嚙合時，分別與該第一及第二傳動軸(21、22)組合在一起；於一盒體52的內部設有一定子54，該定子54的內部捲繞有一線圈54a；一驅動馬達50，該馬達係包括一與第一傳動軸21連結之迴轉裝置56，使該迴轉裝置56能夠在該定子54的內部轉動。其中該第一及第二魯式轉子係分別包括三個凸塊，且一模製材料係於該定子內鑄造成型，以保護該線圈不受殼體內各種流動之副產物破壞。

以下將對於上述之殼體結構做詳細說明。

該殼體10在其內部係具有一氣密空間，以形成一真空狀態，而該殼體的一側邊設有一吸入孔11，另側設有一排出口12。於一環境在形成真空狀態時，其內的空氣係經由該吸入孔11而被吸出，且該空氣再經由該排出孔12而被排出到外面。再者，於該殼體內相對於該第一及第二魯式轉子(31、32)之較低部份處設有一預定之空間13，使被吸入的物質停留在該預定之空間內。

該第一魯式轉子31係包括三個凸塊(31a、31b、31c)，該第二魯式轉子32係包括三個凸塊(32a、32b、32c)，且該等凸塊係設置於該殼體10之內部容置空間中。每一魯式轉子所具有之三個凸塊(31a、31b、31c、32a、32b、32c)係於相互彼此嚙合的情況的長度係較其餘凸塊(31b、31c、32b、32c)之相同部份之長度為短；且於該第一及第二魯式轉子(31、32)上，相對於該較短長度之凸塊(31a、32a)之部份，其形狀係與該凸塊(31a、32a)對應，使該變短之凸塊(31a、32a)在轉動時接觸到第一及第二魯式轉子(31、32)上與凸塊(31a、32a)之相對部份，而達氣密之狀態。

尤其是，於該第一魯式轉子31上，相對於該變短之凸塊31a之部分係與該第二魯式轉子32之凸塊32a接觸。同時，於該第二魯式轉子32上，相對於該變短之凸塊32a之部分係與該第一魯式轉子31之凸塊31a接觸。

該第一及第二螺旋轉子(41、42)係具有彼此相對應的形狀，以形成一成對之螺旋轉子。該二螺旋轉子(41、42)係於相互彼此嚙合的情況下被轉動，藉由該第一及第二螺旋轉子(41、42)之凹槽與該殼體10之間所產生的容積變化，一直將氣體被吸入、壓縮並排放到殼體的外部。再者，考量到該第一及第二螺旋轉子(41、42)會因為該殼體10內部的熱氣而產生熱膨脹的現象，使該螺旋轉子和殼體10的內部產生摩擦而干擾到該螺旋轉子的轉動，因此，該第一及第二螺旋轉子(41、42)從該吸入孔11向該排出孔12之直徑係逐漸縮小。

該第一傳動軸21係延伸穿過該第一魯式轉子31及該第一螺旋轉子41的中心，而該第二傳動軸22係延伸穿過該第二魯式轉子32及該第二螺旋轉子42的中心。該第一及第二傳動軸(21、動，因此，該第一及第二螺旋轉子(41、42)從該吸入孔11向該排出孔12之直徑係逐漸縮小。

該第一傳動軸21係延伸穿過該第一魯式轉子31及該第一螺旋轉子41的中心，而該第二傳動軸22係延伸穿過該第二魯式轉子32及該第二螺旋轉子42的中心。該第一及第二傳動軸(21、22)係分別具有一第一齒輪24及一第二齒輪26，且該二齒輪(24、26)係於相互彼此嚙合的情況下轉動。該驅動馬達50係設置於該第一傳動軸21之一端，且該第一及第二傳動軸(21、22)的兩端係結合有複數個軸承70。

同時，當該幫浦運轉時，該吸入孔11係處於真空狀態與大氣狀態重複交換的環境，使潤滑用的油性物質會因為壓力差而從該等軸承70內漏出，由於該等軸承70係用以支撐該第一及第二魯式轉子(31、32)及該第一及第二螺旋轉子(41、42)，因而對該真空幫浦造成損壞。因此，該等軸承70係僅可結合到每一傳動軸(21、22)之其中一端。

該驅動馬達50係包括一定子54及一迴轉裝置56，該定子54係設置於一盒體52內，且定子54的內部係捲繞有一線圈54a，而該迴轉裝置56係連接至該第一傳動軸21，使該迴轉裝置56可以在該定子54內轉動。該用以保護線圈54a之模製材料係於該定子54內製模成型，使該線圈54a免於受流自真空幫浦之副產物破壞。

以下將對於上述之定子結構做詳細說明。

該定子54具有一捲繞在定子內部的線圈54，且該迴轉裝置56係連結至該第一傳動軸21，使該迴轉裝置56可在該定子54內轉動。該模製材料係於該定子線圈54a之周邊區域製模成型，以防止該線圈54a暴露出來。上述之模製材料係以一預定之間距而製模成型，以避免妨礙到該迴轉裝置56之轉動。由於環氧樹脂58具有防止產生化學作用的特性以及良好的導熱能力，因此可於該線圈54a之周邊區域以環氧樹脂58做為模製材料。

這裡要注意的是，當和常見的驅動馬達104相比時，根據本發明之實施例之驅動馬達50中，該定子54與該迴轉裝置56之間並未設有罐體200。在常見的驅動馬達100中，一定子線圈120a係完全密封在一罐體200內，以保護該定子線圈120a免於受到上述流自真空幫浦之各種副產品之破壞。然而，上述之罐體200係設置於一定子120及一轉子130之間，會因為本身的功率消耗而造成該驅動馬達100產生大量的功率損耗，並因為該定子線圈120a係暴露在來自該真空幫浦300之各種副產品，容易對該定子線圈120a造成傷害。本發明係可解決上述之問題。在本發明之一實施例中，一馬達50係利用環氧樹脂58以取代上述之罐體200。該環氧樹脂58係製模成型於該定子線圈54a之周邊區域，以防止暴露該定子線圈54a。因此，該定子線圈54a可以與流自真空幫浦之各種副產品區隔開來，而保護該定子線圈54a，且該定子54與該迴轉裝置56之間不會有功率損耗。再者，該定子線圈54a內所產生的熱氣可以被具有良好導熱能力的環氧樹脂傳導出該定子線圈54a，並快速地將熱氣排放到外部。

再者，上述之驅動馬達50係可根據所需功率而使用各種不同種類的馬達。根據本發明之一實施例，一具有魯式及螺旋轉子之複合型乾式真空幫浦內係使用了一水冷式馬達。

又，為了防止外面的空氣流入盒體52內，該盒體52之接合部分係被焊接在一起，且於該盒體52之接合部設有一O環(O－ring)，或者是該盒體52係以一體成型的方式製成。

上述之盒體結構可防止外面的空氣流入該盒體52的內部，使盒體52的內部可確實地密封成氣密的狀態。

又，一氣密裝置90係設置於該盒體52之一側邊，以防止外部的空氣流入盒體內。在常見的真空幫浦中，縱使外面的空氣經由該盒體52一側所設之電子裝置500的間隙而流入盒體52內，該氣密裝置90係藉由該盒體210內部所設之一罐體400而維持在一氣密的狀態。然而，本發明中之盒體52係可取代傳統罐體400的作用，使一氣密裝置90可以較佳的方式而設置在該盒體內52，以防止氣體流入盒體52內部。

再者，一用以控制馬達頻率之控制件95係設置於該盒體之一側邊。由於該控制件95係可利用該馬達50之冷卻水而降低溫度，因此該控制件95係被設置於該盒體52之一側邊，以防止該控制件95過熱。

因此，可藉由在該定子線圈54a之周邊區域以環氧樹脂58製模成型，以保護該定子線圈54a免受來自該幫浦之各種副產品之破壞，而提供一具有高功率之馬達50。

以下將對於一具有上述馬達結構、一魯式轉子及一螺旋轉子之複合型乾式真空幫浦做詳細說明。

首先，如第2、4圖所示，當該驅動馬達50被驅動時，連結至該驅動馬達50之第一傳動軸21係被轉動，該第一傳動軸21之第一齒輪24以及該與第一齒輪24嚙合之第二齒輪26係連同該驅動馬達50之轉動而一起轉動，而轉動該第一及第二魯式轉子(31、32)和該第一及第二螺旋轉子(41、42)。

當該第一及第二魯式轉子(31、32)彼此相互嚙合而轉動時，該第一及第二魯式轉子(31、32)係經由該係入孔11而吸進並壓縮空氣。接著，該空氣係經由該第一及第二螺旋轉子(41、42)而被排出。

尤其是，當該第一及第二魯式轉子(31、32)和該第一及第二螺旋轉子(41、42)被轉動時，該第一魯式轉子31之凸塊(31a、31b、31c)之其中一凸塊31a，以及該第二魯式轉子32之凸塊(32a、32b、32c)之其中一凸塊32a，係具有一短小的長度，於該第一及第二魯式轉子(31、32)將被吸進的空氣壓縮兩次後，將空氣輸送到該第一及第二螺旋轉子(41、42)。被輸送到第一及第二螺旋轉子(41、42)的空氣係分別分散到該第一及第二螺旋轉子(41、42)，經由該排出孔12而被排放到外面。

因此，當該第一及第二魯式轉子(31、32)和該第一及第二螺旋轉子(41、42)完全地轉動一圈時，該吸進、壓縮及排放等之運作係同時執行，使被吸進的空氣得以連續地被輸送。再者，該第一及第二魯式轉子(31、32)和該第一及第二螺旋轉子(41、42)之間係保持在一平衡狀態，以防止該真空幫浦產生震動及躁音。

特別是，該第一及第二魯式轉子(31、32)係設計為一分別具有三個凸塊(31a、31b、31c、32a、32b、32c)之形狀，該魯式轉子之形狀係相似於該第一及第二螺旋轉子(41、42)之形狀，使該幫浦能夠在維持高度之氣體壓縮輸送效率的同時，也能使該等轉子維持在一平衡的狀態，因而預防該真空幫浦內所產生的震動與噪音。藉由控制該第一魯式轉子31之凸塊(31a、31b、31c)之其中一凸塊31a之長度，以及該第二魯式轉子32之凸塊(32a、32b、32c)之其中一凸塊32a之長度，從該第一及第二魯式轉子(31、32)到該第一及第二螺旋轉子(41、42)之吸進和排放的運作係可連續地執行。如果無法控制魯式轉子之凸塊的長度，當氣體從該第一及第二魯式轉子(31、32)被輸送到該該第一及第二螺旋轉子(41、42)時，內部的液體流動會產生一周期性。然而，當該凸塊之長度受控制時，該周期性係能夠被消除掉，以減低因周期性而產生的震動與噪音。再者，當該第一及第二魯式轉除了此一結構之外，該複合型乾式真空幫浦係與該第一實施例之真空幫浦相同。

該複合型乾式真空幫浦之第三及第四魯式轉子(61、62)之長度係較該第一及第二魯式轉子(31、32)之長度為長。因此，該殼體10內部的容積會因該第三及第四魯式轉子(61、62)而增加，並增加被吸進的空氣量。因此，藉由空氣之輸送量及排放量的增加，可快速地形成一真空狀態的環境。

請參閱第7、8圖，其為根據本發明具有魯式及螺旋轉子之複合型乾式真空幫浦之第三實施例，包括一第三螺旋轉子43及一第四螺旋轉子44，該第三及第四螺旋轉子(43、44)係分別設於該第一及第二魯式轉子(31、32)之一側，且於該殼體上對應該第三及第四螺旋轉子(43、44)較低部份的位置處設有一排出孔16。除了此一結構外，該複合型乾式真空幫浦係與該第一實施例之真空幫浦相同。

在本實施例之複合型乾式真空幫浦中，於該處理室中所產生的氣態物質和/或製成副產品係被吸入到該第一及第二魯式轉子(31、32)。被吸進之氣態物質和/或製成副產品會經過該第一、第二、第三及第四螺旋轉子(41、42、43、44)，被傳送到個別的排出孔(12、16)而被排放出去。因此，藉由空氣之輸送量及排放量的增加，可快速地形成一真空狀態的環境。

如上所述，根據本發明所述之複合型乾式真空幫浦能夠在排放製造半導體或顯示器之裝置之處理室內所產生之製程副產品和三及第四螺絲轉子(43、44)較低部份的位置處設有一排出孔16。除了此一結構外，該複合型乾式真空幫浦係與該第一實施例之真空幫浦相同。

在本實施例之複合型乾式真空幫浦中，於該處理室中所產生的氣態物質和/或製成副產品係被吸入到該第一及第二魯式轉子(31、32)。被吸進之氣態物質和/或製成副產品會經過該第一、第二、第三及第四螺旋轉子(41、42、43、44)，被傳送到個別的排出孔(12、16)而被排放出去。因此，藉由空氣之輸送量及排放量的增加，可快速地形成一真空狀態的環境。

如上所述，根據本發明所述之複合型乾式真空幫浦能夠在排放製造半導體或顯示器之裝置之處理室內所產生之製程副產品和/或氣態物質的過程中，或在處理室內製造一真空狀態時，維持高度的氣體壓縮輸送效率，並維持該魯式轉子與該螺旋轉子之間的平衡狀態，以防止該真空幫浦產生震動與噪音。再者，模製材料係被製模成型，使一定子線圈可以和各種流自該真空幫浦之副產品區隔開來，並防止該定子線圈受到該副產品之破壞。因此，該複合型乾式真空幫浦係容易組裝及製造，並可防止馬達的功率損耗，而提供了一種高效率的馬達。

雖然本發明係利用上述之各實施例與附圖詳細揭示，然其並非用以限定本發明，凡熟習此一發明者，在不脫離本發明之技術精神內，可作為各種變動及修改，因此本發明之保護範圍當視作後附之申請專利範圍所界定者為準。

殼體．．．10

吸入孔．．．11

排出孔．．．12、16

第一傳動軸．．．21

第二傳動軸．．．22

第一齒輪．．．24

第二齒輪．．．26

第一魯式轉子．．．31

第二魯式轉子．．．32

凸塊．．．31a、31b、31c、32a、32b、32c

第一螺旋轉子．．．41

第二螺旋轉子．．．42

驅動馬達．．．50

盒體．．．52

定子．．．54

線圈．．．54a

迴轉裝置．．．56

環氧樹脂．．．58

軸承．．．70

氣密裝置．．．90

控制件．．．95

幫浦．．．100

魯式轉子．．．102、103

馬達．．．104

螺旋轉子．．．105、106

外殼．．．107

定子．．．120

驅動馬達．．．200

盒體．．．210

定子．．．220

定子線圈．．．220a

迴轉裝置．．．230

軸心．．．240

罐體．．．400

電子裝置．．．500

第1圖係為根據本發明具有魯式及螺旋轉子之複合型乾式真空幫浦之第一實施例之橫剖面圖；第2圖係為第1圖之複合型乾式真空幫浦之縱剖面圖；第3圖係為第1圖之複合型乾式真空幫浦之一魯式轉子及一螺旋轉子之立體外觀圖；第4圖係為根據本發明具有魯式及螺旋轉子之複合型乾式真空幫浦之第一實施例之運轉示意圖；第5圖係為根據本發明具有魯式及螺旋轉子之複合型乾式真空幫浦之第二實施例之橫剖面圖；第6圖係為第5圖之複合型乾式真空幫浦之縱剖面圖；第7圖係為根據本發明具有魯式及螺旋轉子之複合型乾式真空幫浦之第二實施例之立體外觀圖；第8圖係為第7圖之複合型乾式真空幫浦之橫剖面圖；第9圖係為習知乾式真空幫浦之橫剖面圖。

殼體．．．10

第一傳動軸．．．21

第二傳動軸．．．22

第一齒輪．．．24

第二齒輪．．．26

第一魯式轉子．．．31

第二魯式轉子．．．32

第一螺旋轉子．．．41

第二螺旋轉子．．．42

驅動馬達．．．50

盒體．．．52

定子．．．54

線圈．．．54a

迴轉裝置．．．56

環氧樹脂．．．58

軸承．．．70

氣密裝置．．．90

控制件．．．95

Claims (17)

1. 一種具有魯式及螺旋轉子之複合型乾式真空幫浦，包括：一殼體，具有一內部容置空間、一吸入孔及一排出孔，該吸入孔係設於該殼體之一側，而該排出孔係設於該殼體之另側；一第一魯式轉子及一第二魯式轉子，係設於該殼體之內部容置空間中，且該第一及第二魯式轉子係以彼此相互嚙合的方式配置；一第一螺旋轉子及一第二螺旋轉子，係設於該殼體之內部容置空間中，且該第一及第二螺旋轉子係於鄰近該第一及第二魯式轉子處，以彼此相互嚙合的方式配置；一第一傳動軸及一第二傳動軸，係延伸穿過該第一及第二魯式轉子及該第一及第二螺旋轉子的中心；以及一馬達，係能夠轉動該第一及第二傳動軸；其中該第一及第二魯式轉子係分別包括三個凸塊，且該三個凸塊中的一個凸塊從轉動的中心到末端的長度係較其餘兩個凸塊之相同部份之長度為短。
2. 如申請專利範圍第1項所述之複合型乾式真空幫浦，包括一第三魯式轉子及一第四魯式轉子，該第三及第四魯式轉子係與該第一及第二魯式轉子之一側邊結合，其中該第三及第四魯式轉子之長度係較該第一及第二魯式轉子之長度為長，並具有複數個成對之凸塊，且該第一及第二魯式轉子與第三及第四魯式轉 子之間設有一具有流動孔之隔膜壁。
3. 如申請專利範圍第1項所述之複合型乾式真空幫浦，於該第一及第二魯式轉子的一側邊上更包括一第三螺旋轉子及一第四螺旋轉子，且該殼體上對應該第三及第四螺旋轉子較低部份的位置更包括一排出孔。
4. 如申請專利範圍第1-3項之其中一項所述之複合型乾式真空幫浦，其中於每一魯式轉子之較低部份處設有一預定之空間，使被吸入的物質停留在該預定之空間內。
5. 如申請專利範圍第1-3項之其中一項所述之複合型乾式真空幫浦，其中該第一及第二螺旋轉子從該吸入孔向該排出孔之直徑係逐漸變短。
6. 如申請專利範圍第5項所述之複合型乾式真空幫浦，其中於每一魯式轉子之較低部份處設有一預定之空間，使被吸入的物質停留在該預定之空間內。
7. 如申請專利範圍第6項所述之複合型乾式真空幫浦，其中於該第一及第二傳動軸之一端係包括複數個軸承，供該第一及第二傳動軸滑順地轉動。
8. 如申請專利範圍第7項所述之複合型乾式真空幫浦，其中該馬達具有一連接至該第一及第二傳動軸之轉子，使該轉子在一定子的內部轉動，該轉子及定子係設於一盒體內之同一容置空間中，且該定子的內部捲繞有一線圈，使一模製材料於該定子內製模成型，以保護該線圈不受殼體內部流動之副產物破壞。
9. 如申請專利範圍第8項所述之複合型乾式真空幫浦，其中該模製材料係為環氧樹脂(epoxy resin)。
10. 如申請專利範圍第9項所述之複合型乾式真空幫浦，其中於該盒體之一側邊設有一氣密裝置，以防止外部的空氣流入盒體內。
11. 如申請專利範圍第10項所述之複合型乾式真空幫浦，其中該氣密裝置係設置於該盒體內，以防止外部的空氣流入該盒體內。
12. 如申請專利範圍第11項所述之複合型乾式真空幫浦，其中該氣密裝置係由製模塑造該盒體之方式而形成。
13. 如申請專利範圍第12項所述之複合型乾式真空幫浦，其中於該盒體之一側邊設有一控制件，供控制該馬達之頻率。
14. 如申請專利範圍第11項所述之複合型乾式真空幫浦，其中該氣密裝置係由焊接該盒體之接合部而形成。
15. 如申請專利範圍第14項所述之複合型乾式真空幫浦，其中於該盒體之一側邊設有一控制件，供控制該馬達之頻率。
16. 如申請專利範圍第11項所述之複合型乾式真空幫浦，其中該氣密裝置係於該盒體之接合部設有一O環(O-ring)。
17. 如申請專利範圍第16項所述之複合型乾式真空幫浦，其中於該盒體之一側邊設有一控制件，供控制該馬達之頻率。