KR20080030333A - 진공펌프용 모터 - Google Patents

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KR20080030333A
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rotor
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황태경
노명근
오흥식
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(주)엘오티베큠
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Abstract

진공펌프용 모터를 개시한다. 본 진공펌프용 모터는 코일이 권선되어 케이스의 내부에 구비된 고정자 및 상기 고정자의 내부에서 회전가능하도록 축 연결되어 구비되는 회전자를 포함하고, 상기 고정자에는 진공펌프에서 유입되는 각종 부산물로부터 상기 코일을 보호하기 위한 충진물이 충진 성형되는 것을 특징으로 한다. 이러한 진공펌프용 모터는 사용시 진공펌프에서 유입되는 각종 부산물로부터 고정자의 코일을 보호하여 모터의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
모터, 고정자, 회전자, 에폭시수지, 기밀단자

Description

진공펌프용 모터{MOTOR OF VACUUM PUMP}
도 1은 본 발명의 바람직한 제 1 실시 예에 따른 진공펌프용 모터를 도시한 단면도;
도 2는 도 1에 도시된 진공펌프용 모터의 설치상태를 도시한 단면도;
도 3은 본 발명의 바람직한 제 2 실시 예에 따른 진공펌프용 모터를 도시한 단면도; 및
도 4는 종래 기술에 따른 진공펌프용 모터를 도시한 단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
11 : 케이스 12 : 고정자
12a : 고정자 코일 13 : 회전자
14 : 축 20 : 에폭시수지
30 : 진공펌프 40 : 기밀단자
50 : 베어링
본 발명은 진공펌프용 모터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 진공펌프로부터 유입되는 각종 부산물로부터 고정자의 코일을 보호할 수 있는 진공펌프용 모터에 관한 것이다.
일반적으로 진공펌프용 모터는 도 3에 도시된 바와 같이, 통상적으로 반도체 및 디스플레이 제조 장치의 공정 챔버에서 생성된 기체 상태의 물질 및/또는 공정 부산물을 배출시키는 데 사용되는 진공펌프를 구동시키는 것으로, 상기한 진공펌프(300)에 사용되는 모터(100)는 고정자(120)와 회전자(130)와 샤프트(140) 및 모터케이스(110)로 구성된다.
이와 같이 구성된 종래의 진공펌프용 모터를 동작시키면, 모터(100)의 구동으로 인해 진공펌프(300) 내부의 임펠러(미도시)가 회전하여 진공펌프(300)의 흡입구(310)를 통하여 공정 부산물이 흡입되고 진공펌프(300)의 내부를 거쳐 배출구(320)를 통하여 배출되어 반도체 및 디스플레이 제조 장치의 공정쳄버가 진공상태가 된다. 이때 임펠러의 회전으로 인해 흡입되는 공정 부산물이 진공펌프(300)의 내부를 거쳐 배출구(320)로 배출 시 공정 부산물의 일부가 모터(100) 내부로 유입된다. 이와 같이 유입되는 공정 부산물은 고온의 공정 가스로 고정자 코일(120a)을 손상시켜 모터의 수명을 단축하는 일이 발생하게 된다.
따라서, 종래에는 펌프에서 유입되는 공정 부산물에 의해 고정자 코일(120a)의 손상을 방지하기 위하여 고정자(120)와 회전자(130) 사이에 캔(200)을 설치하였다. 이러한 캔(200)은 스테인리스 등의 재질의 박판으로 둥글게 용접하여 고정자(120)와 회전자(130) 사이에 설치되어 진공펌프(300)에서 유입되는 공정 부산물이나 윤활유 등이 고정자 코일(120a)을 손상시키지 않도록 하였다.
그러나, 고정자와 회전자 사이에 설치되는 캔은 고정자와 회전자 사이의 미세한 간극 사이에 설치되어야하므로 그 가공 및 조립이 어려운 문제점이 있었다.
또한 고정자와 회전자 사이에 설치된 캔이 자력손실을 유발함으로써 모터의 동력이 많이 소모되어 운영비용이 증가하는 등의 문제점이 있었다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 기술적 과제는 진공펌프로부터 유입되는 각종 부산물로부터 고정자의 코일을 보호하여 고효율 진공펌프용 모터를 제공하는 데 있다.
상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명은,
코일이 권선되어 케이스의 내부에 구비된 고정자 및 상기 고정자의 내부에서 회전가능하도록 축 연결되어 구비되는 회전자를 포함하고,
상기 고정자에는 진공펌프에서 유입되는 각종 부산물로부터 상기 코일을 보호하기 위한 충진물이 충진 성형되는 것을 특징으로 하는 진공펌프용 모터를 제공한다.
또한, 상기 충진물은 에폭시수지인 것을 특징으로 한다.
이와 같은 진공펌프용 모터에 의하면, 진공펌프에서 유입되는 공정 부산물로부터 고정자의 코일을 보호하여 모터의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
이하, 상기와 같은 특징을 갖는 본 발명의 바람직한 실시 예 따른 진공펌프용 모터를 첨부된 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 모터를 도시한 개략적인 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 진공펌프용 모터의 설치상태를 도시한 단면도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 진공펌프용 모터는 코일(12a)이 권선되어 케이스(11)의 내부에 구비된 고정자(12) 및 고정자(12)의 내부에서 회전가능하도록 축(14) 연결되어 구비되는 회전자(13)를 포함하고, 고정자(12)에는 진공펌프(30)에서 유입되는 각종 부산물로부터 코일(12a)을 보호하기 위한 충진물이 충진 성형된다.
이를 보다 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
케이스(11)의 내부수용공간에는 코일(12a)이 권선된 고정자(12)와 고정자(12)의 내부에서 회전가능하도록 축(14) 연결된 회전자(13)가 설치된다. 고정자(12)의 코일(12a) 주변영역은 코일(12a)이 외부로 노출되지 않도록 충진물이 충진 성형된다. 이러한 충진물은 회전자(13)의 회전에 간섭되지 않도록 원통 형상으로 충진 성형된다. 코일(12a) 주변영역을 감싸는 충진물로는 내화학성 및 열전도성이 좋은 에폭시수지(20)가 사용된다.
여기에서 주목할 점은, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 모터에는 종래의 진공펌프용 모터와 달리 고정자(12)와 회전자(13) 사이에 설치되는 캔(200)이 없다는 점이다. 종래의 진공펌프용 모터에는, 상기한 바와 같이 진공펌프(300)에서 유입되는 각종 부산물로부터 고정자(12) 코일(120a)을 보호하기 위하여 캔(200)을 이용하여 완전히 격리 밀봉되었다. 그러나 이러한 캔(200)은 고정자(12) 와 회전자(130) 사이에 설치되어 자력손실에 따른 모터(100)의 동력이 많이 소모되었고, 고정자(12)의 코일(11a)이 진공펌프(300)에서 유입되는 각종 부산물에 노출되어 손상되기 쉬웠다. 또한 고정자(120)와 회전자(130) 사이의 미세한 간극 사이의 정확한 위치에 캔(200)이 존재하여야 하므로 제조상의 어려움이 있었다. 이러한 요건은 본 발명에 의해 해소되었다. 본 발명의 바람직한 실시 예에서는 이러한 캔(200)을 사용하는 대신에 고정자(12)의 코일(12a)이 노출되지 않도록 내화학성 및 열전도성이 우수한 에폭시수지(20)를 고정자 코일(12a) 주변영역에 충진 성형하여 진공펌프(30)에서 유입되는 각종 부산물로부터 격리하여 보호할 수 있고, 고정자(12)와 회전자(13) 사이에서 발생하는 자력의 손실이 없고, 고정자(12)의 코일(12a)에서 발생하는 열이 열전도성이 우수한 에폭시수지(20)에 의해 전도되어 신속히 외부로 배출될 수 있는 진공펌프용 모터를 제공한다.
또한 케이스(11)의 일측에는 외부공기가 케이스(11)의 내부로 유입되는 것을 방지하기 위한 기밀단자(40)가 설치된다.이러한 기밀단자(40)는 종래에는 외부공기가 케이스(110)의 일측면에 설치된 전기단자(400)의 틈새로 유입되어도 케이스(110) 내부에 구비된 캔(200)에 의해 기밀이 유지되었으나, 본 발명에서는 케이스(11)가 그 역할을 담당하게 되므로 외부공기가 케이스(11)의 내부로 유입되는 것을 방지하기 위한 기밀단자(40)가 설치되는 것이 바람직하다.
이와 같이 고정자(12)의 코일(12a) 주변영역을 에폭시수지(20)로 충진 성형함으로써, 진공펌프(30)에서 유입되는 각종 부산물로부터 고정자(12)의 코일(12a)을 보호하여 고효율의 모터를 제공할 수 있게 되는 것이다.
도 3에는 본 발명의 바람직한 제 2 실시 예에 따른 진공펌프용 모터의 단면도가 도시되어 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 케이스(11)의 내부 일측면에 베어링(50)이 구비되고, 베어링(50)에는 회전자(13)에서 연장되는 축(14)이 설치되는 것을 제외하고는 제 1 실시 예의 구성과 작용이 동일하므로 생략하기로 한다.
이와 같은 구조로 인하여 회전자(13)의 무게가 중량이거나 축(14)이 긴 경우, 축(14)을 베어링(50)이 지지하여 축(14)이 처지는 것을 방지함으로써 모터의 진동 및 소음이 발생하지 않게 되는 것이다.
이제까지 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시 예를 중심으로 살펴보았으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 본질적 기술 범위 내에서 변형된 형태의 실시 예를 구현할 수 있을 것이다. 여기서 본 발명의 본질적 기술 범위는 청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위에 있는 변형된 형태는 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.
이상에서 언급한 바와 같이 본 발명에 따른 진공펌프용 모터는, 펌프에서 유입되는 각종 부산물로부터 고정자 코일을 격리 보호할 수 있도록 충진물이 충진 성형됨으로써, 가공의 난점으로 인한 제조상의 어려움이 없고, 모터의 동력 손실을 방지하여 고효율의 모터를 제공할 수 있는 효과를 갖는다.

Claims (4)

  1. 코일이 권선되어 케이스의 내부에 구비된 고정자 및 상기 고정자의 내부에서 회전가능하도록 축 연결되어 구비되는 회전자를 포함하고,
    상기 고정자에는 진공펌프에서 유입되는 각종 부산물로부터 상기 코일을 보호하기 위한 충진물이 충진 성형되는 것을 특징으로 하는 진공펌프용 모터.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 충진물은 에폭시수지인 것을 특징으로 하는 진공펌프용 모터.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 케이스의 내부 일측면에는 베어링이 구비되고, 상기 베어링에는 상기 회전자에서 연장되는 축이 설치되는 것을 특징으로 하는 진공펌프용 모터.
  4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 케이스의 일측에는 외부공기가 상기 케이스 내부로 유입되는 것을 방지하기 위한 기밀단자가 설치되는 것을 특징으로 하는 진공펌프용 모터.
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