TWI429998B - 排放處理流體之裝置及方法 - Google Patents

Description

排放處理流體之裝置及方法

相關申請的交叉引用

本美國非臨時專利申請根據35 U.S.C.§ 119要求2009年11月27號提交的韓國專利申請10-2009-0115756的優先權，其全部內容藉由引用合併於此。

這裡公開的發明關於一種排放處理液的裝置和方法，並且更特別地關於一種透過噴墨排放法(inkjet discharging method)將處理液排放到基板的裝置和使用該裝置排放處理液的方法。

近年來，液晶顯示器被廣泛地用作比如行動電話和可擕式電腦等電子裝置的顯示器。在液晶顯示器中，其上形成有黑矩陣、彩膜(color film)、共用電極和配向膜的彩膜基板與陣列基板隔開以在彩膜基板和陣列基板之間填充液晶，其中在陣形基板上形成有薄膜電晶體(TFTs)、圖元電極和配向膜。透過利用取決於液晶的各向異性而被不同地折射的光，圖像被顯示在液晶顯示器上。

噴墨型塗布裝置被用於將配向液或者液晶塗布到彩膜基板或者陣列基板上。但是，這樣的噴墨型塗布裝置的噴嘴間距不能根據基板的單元間距(cell pitch)進行調整，由此塗布到基板的配向液膜或者液晶膜的均勻性較低。

本發明提供了一種均一地將處理液(比如配向液或者液晶)排放到基板的裝置和方法。

本發明的目標並不局限於前述內容，而是根據下面的 說明，本領域的技術人員將清楚地理解這裡沒有說明的其他目標。

本發明的具體實施例提供了一種透過噴墨排放法排放處理液的裝置，該裝置包括：基板支撐單元，構造成在其上放置基板並且能夠沿第一方向移動；門架，配置於該基板支撐單元的移動通道上方，並且多個噴頭(head)連接到該門架以將處理液排放到基板；和旋轉單元，構造成旋轉該門架。

在一些具體實施例中，該噴頭可被設置於該門架的長度方向。

在其他的具體實施例中，該門架的一端可成為旋轉中心，並且該門架的另一端在述旋轉單元的作用下繞該旋轉中心旋轉。

在又一個具體實施例中，該旋轉單元可包括：滑動件，構造成由被沿該門架的長度方向配置於該門架的該另一端處的導軌引導；第一旋轉支撐構件，連接到該滑動件的底側；第一線性驅動構件，構造成沿該第一方向線性地移動該第一旋轉支撐構件；和第二旋轉支撐構件，構造成可旋轉地支撐該門架的該一端。

在又一個具體實施例中，旋轉單元還可包括：第二線性驅動構件，該第二線性驅動構件被構造成沿該第一方向線性地移動該第二旋轉支撐構件。

在又一個具體實施例中，第一線性驅動構件和該第二線性驅動構件可被設置於配置有該基板支撐單元的基部。

在又一個具體實施例中，該噴頭可以沿該門架的長度方向線性地移動。

在又一個具體實施例中，該噴頭可沿該門架的長度方 向線性地並且分別單獨(individually)地移動。

在又一個具體實施例中，該基板支撐單元可包括：支撐板，構造成支撐基板；線性驅動構件，構造成沿該第一方向線性地移動該支撐板；和旋轉驅動構件，構造成在垂直於該支撐板的轉軸上旋轉該支撐板。

在本發明的其他具體實施例中，提供了一種排放處理液的方法，該方法包括：沿第一方向線性地移動基板；旋轉門架，以使與該門架連接的多個噴頭的噴嘴被配置於相對於該第一方向傾斜的方向上；和，透過該噴頭的噴嘴將處理液排放到該基板。

在其他具體實施例中，在該基板在垂直於該基板的轉軸上被旋轉90°的狀態下，該基板可沿該第一方向線性地移動。

在另外的具體實施例中，該噴頭可沿該門架的長度方向移動。

在另外的具體實施例中，該噴頭可在該門架的長度方向上被線性地和分別單獨地移動以調節該噴頭之間的距離。

在另外的具體實施例中，該基板可以是液晶顯示器面板的彩膜(CF)基板或薄膜電晶體(TFT)基板。

在另外的具體實施例中，該處理液可以是液晶或者配向液。

下文中，將參考圖式說明根據本發明的示例性具體實施例的排放處理液的裝置和方法。儘管元件顯示在不同的圖式中，但相同的元件符號為相同的圖式標記。在下面的 說明中，不再詳細說明熟知的功能和構造，因為這樣會使不必需的細節模糊本發明。

現在將描述透過液滴排放噴墨法將處理液塗布到目標物體的裝置，及使用該裝置將該處理液塗布到目標物體的方法。

例如，目標物體可以是液晶顯示器面板的彩膜(CF)基板或薄膜電晶體(TFT)基板，處理液可以是液晶、配向液或者透過將色素顆粒分散在溶液中製備的紅(R)墨、綠(G)墨或藍(B)墨。可用聚醯亞胺(Polyimide)作為配向液。

配向液可以塗布到CF基板或者TFT基板，並且液晶可以塗布到CF基板或者TFT基板。墨可以塗布到以柵格圖案的形式配置於CF基板上的黑矩陣的內部區域。

在本具體實施例中，該裝置用液晶作為處理液。但是，本發明並不局限於此。

圖1為顯示噴墨型液晶塗布裝置1的圖。圖1的液晶塗布裝置用於透過液滴排放噴墨法將液晶塗布到基板。

該基板可以是液晶顯示器面板的CF基板或者TFT基板，液晶可以塗布到CF基板或者TFT基板。

參考圖1，液晶塗布裝置1包括液晶排放裝置10、基板承載部20、載入部30、卸載部40、液晶供給部50、和主控部90。液晶排放裝置10和基板承載部20可以在第一方向(I)上於彼此接近的位置處沿直線配置。液晶供給部50和主控部90配置於液晶排放裝置10的與基板承載部20相對的一側。液晶供給部50和主控部90可在第二方向(II)上沿直線配置。載入部30和卸載部40配置於基板承載部 20的與液晶排放裝置10相對的一側。載入部30和卸載部40可以在第二方向(II)上沿直線配置。

這裡，第一方向(I)是配置液晶排放裝置10和基板承載部20的方向。在水平面上，第二方向(II)垂直於第一方向(I)。第三方向(III)垂直於第一方向(I)和第二方向(II)。

待塗布液晶的基板被載入到載入部30中。基板承載部20將基板從載入部30載運到液晶排放裝置10。液晶排放裝置10接收來自液晶供給部50的液晶並且透過液滴排放噴墨法將該液晶排放到基板。之後，基板承載部20將基板從液晶排放裝置10載運到卸載部40。已經塗布液晶的基板從卸載部40被卸載。主控部90控制液晶排放裝置10、基板承載部20、載入部30、卸載部40和液晶供給部50的整體操作。

圖2為顯示圖1中液晶排放裝置10的立體圖，圖3為顯示圖1中液晶排放裝置10的平面圖。參考圖2和圖3，液晶排放裝置10包括基部(B)、基板支撐單元100、門架200、門架移動單元300、噴頭400、噴頭移動單元500、液晶供給單元600、噴頭控制單元700、液晶排量測量單元800、噴嘴檢測單元900、和噴頭清潔單元1000。

現在將更為詳細地說明液晶排放裝置10的結構。

(基板支撐單元)

基部(B)可以成型為具有預定厚度的平行六面體形狀。基板支撐單元100被配置於基部(B)的頂側。基板支撐單元100包括支撐板110，基板(S)能夠被置於支撐 板110上。支撐板110可以具有矩形板。旋轉驅動構件120連接到支撐板110的底側。旋轉驅動構件120可以是旋轉馬達。旋轉驅動構件120使支撐板110在垂直於支撐板110的轉軸上旋轉。

當支撐板110由旋轉驅動構件120旋轉時，基板(S)可以與支撐板110一起旋轉。如果基板(S)的單元(cell)的長邊側與第二方向(II)平行，則旋轉驅動構件120可以旋轉基板(S)，使基板(S)的單元的長邊側能夠與第一方向(I)平行。

支撐板110和旋轉驅動構件120可以由線性驅動構件130驅動沿第一方向(I)線性地移動。線性驅動構件130包括滑動件132和引導構件134。旋轉驅動構件120被配置於滑動件132的頂側。引導構件134被配置於基部(B)的頂側的中心部並且沿第一方向(I)延伸。線性馬達(未顯示)可以配置在滑動件132中，並且滑動件132可以在引導構件134上由該線性馬達線性地移動。

(門架)

門架200配置於支撐板110沿之移動的通道的上方。門架200以其長度方向與第二方向(II)平行的方式與基部(B)的頂側隔開。噴頭400透過噴頭移動單元500連接到門架200。噴頭400可透過噴頭移動單元500沿門架200的長度方向線性地移動，即，沿第二方向(II)移動。另外，噴頭400可以透過噴頭移動單元500而沿第三方向(III)線性地移動。

(門架移動單元)

門架移動單元300可以沿第一方向(I)線性地移動門 架200，或者旋轉門架200使得門架200的長度方向能夠相對於第一方向(I)傾斜。由於門架200的旋轉，噴頭400的噴嘴(未顯示)被配置於相對於第一方向(I)傾斜的方向上。

如下該，門架移動單元300可以如下方式旋轉門架200：使門架200的一個端部成為門架200的旋轉中心，而門架200的另一個端部繞該旋轉中心旋轉。可選地，門架移動單元300可以構造成使得門架200能夠繞其中心旋轉。門架移動單元300在隨附的申請專利範圍中還可以稱為旋轉單元。

門架移動單元300包括第一驅動單元310和第二驅動單元320。第二驅動單元320被配置於門架200的成為門架200的旋轉中心的端部，而第一驅動單元310被配置於門架200的另一個端部。

圖4為顯示圖3中所示的第一驅動單元310的圖。參考圖4，第一驅動單元310包括滑動件312、第一旋轉支撐構件314、和第一線性驅動構件318。導軌210沿門架200的長度方向被設置於門架200的該另一端部的下部，滑動件312在導軌210上被線性地移動。第一旋轉支撐構件314被連接到滑動件312的底側。第一旋轉支撐構件314可以是軸承，該軸承的上部和下部能夠相對地旋轉。第一線性驅動構件318被連接到第一旋轉支撐構件314的底側。第一線性驅動構件318沿第一方向(I)線性地移動第一旋轉支撐構件314。

第一線性驅動構件318包括導軌315和滑動件317。導軌315的長度方向平行於第一方向(I)，並且導軌315 被配置於基部(B)的頂側的邊緣部且與基板支撐單元100的引導構件134隔開。滑動件317以可移動的方式連接到導軌315。第一旋轉支撐構件314被連接到滑動件317的頂側。線性馬達(未顯示)可以配置在滑動件317中。滑動件317可以由線性馬達(未顯示)驅動沿著導軌315在第一方向(I)上移動。

圖5為顯示圖3中所示的第二驅動單元320的圖。參考圖5，第二驅動單元320可以沿第一方向(I)線性地移動門架200的該一個端部，以線性地移動門架200，並且第二驅動單元320可以用作為門架200旋轉時的旋轉中心。

第二驅動單元320包括第二旋轉支撐構件324和第二線性驅動構件328。連接構件322被連接到門架200的該一個端部的下側，並且第二旋轉支撐構件324被連接到連接構件322的底側。第二旋轉支撐構件324可以是軸承，該軸承的上部和下部能夠相對旋轉。第二線性驅動構件328被連接到第二旋轉支撐構件324的底側。第二線性驅動構件328沿第一方向(I)線性地移動第二旋轉支撐構件324。當第二旋轉支撐構件324被線性地移動時，順序地連接到第二旋轉支撐構件324的頂側的連接構件322和門架200的該一個端部也被線性地移動。

第二線性驅動構件328包括導軌325和滑動件327。導軌325的長度方向與第一方向(I)平行，並且導軌325被配置於基部(B)的頂側的邊緣處且與基板支撐單元100的引導構件134隔開。滑動件327以可移動的方式連接到導軌325。第二旋轉支撐構件324被連接到滑動件327的頂側。線性馬達(未顯示)可以配置在滑動件327中。滑動 件327可以由線性馬達(未顯示)驅動沿著導軌325在第一方向(I)上線性地移動。

圖6為顯示門架200的線性移動和旋轉的圖。參考圖4、圖5和圖6，門架200可以透過第一驅動單元310和320被旋轉到相對於第一方向(I)傾斜的位置和被以平行於第一方向(I)的方式線性地移動。

如果第一驅動單元310的第一線性驅動構件318在第二驅動單元320的第二線性驅動構件328被固定的狀態下沿第一方向(I)線性地移動，則門架200被旋轉。現在將對此進行詳細說明。

首先，第一線性驅動構件318的滑動件317由線性馬達(未顯示)驅動沿著導軌315在第一方向(I)上移動。此時，由於未驅動第二線性驅動構件328，則門架200的該一個端部並不沿第一方向(I)移動而是由第二旋轉支撐構件324旋轉。

隨著第一線性驅動構件318的滑動件317在第一方向(I)上移動，配置在滑動件317上的第一旋轉支撐構件314沿著315線性地移動。此時，在由於第一旋轉支撐構件314的上部和下部的相對旋轉而被旋轉的同時，連接到第一旋轉支撐構件314的頂側的滑動件312被沿著設置在門架200中的導軌210移動到門架200的該另一端部的頂部。結果，門架200在第二驅動單元320的支撐位置上被旋轉，並且第一驅動單元310支撐門架200的支撐位置被向外移動到門架200的另一端部的頭部。由此，門架200可以被旋轉到相對於第一方向(I)傾斜的位置，並且噴頭400可以被配置於相對於第一方向(I)傾斜的方向。

以此，如果噴頭400能夠被配置於相對於第一方向(I)傾斜的方向，則能夠根據待塗布液晶的基板(S)的圖元間距調整液晶排放位置之間的間距，由此能夠改進塗布到基板(S)的液晶膜的均勻性。

門架200能夠如該地旋轉。另外，在旋轉狀態，門架200能夠在第一線性驅動構件318的滑動件317和第二線性驅動構件328的滑動件327上沿第一方向(I)線性地移動。門架200的該一個端部可以透過第二線性驅動構件328的滑動件327的移動而在第一方向(I)上線性地移動，而門架200的該另一端部可以透過第一線性驅動構件318的滑動件317的移動而在第一方向(I)上線性地移動。

如果門架200被固定並且基板在第一方向(I)上移動，則有必要將基板從門架200的一側移動到門架200的另一側，由此能夠增加該裝置的覆蓋區(footprint)。但是，根據本發明，在基板處於停止或者線性移動的狀態中，門架200能夠在第一方向(I)上移動，由此會減小該裝置的覆蓋區。

(噴頭)

噴頭400將液晶的液滴排放到基板。在本具體實施例中，使用了三個噴頭410、420和430。但是，本發明並不局限於此。噴頭400可以沿第二方向(II)成直線配置且可以連接到門架200。

多個噴嘴(未顯示)被設置於噴頭400的底側以排放液晶的液滴。例如，每個噴頭400可以包括128個或者256個噴嘴(未顯示)。該等噴嘴可以以規則的間距成直線配置。液晶的液滴可以透過噴嘴以微克(μg)的單位排放。

在使用注入器(syringe)的點繪法(point dotting method)的情況中，液晶的液滴以相對大的間距以毫克(mg)的單位排放。由此，液晶由於液晶本身的黏性(流動阻力)而不能均一地在基板上擴展。但是，根據本發明，由於液晶的液滴透過多個以小的間距配置的噴嘴(未顯示)以微克(μg)的單位排放，則儘管液晶具有黏性，也能夠更為均一地將液晶塗布到基板。

每個噴頭400可以包括與噴嘴(未顯示)的數目一樣多的壓電器件，並且噴嘴的液滴排量可以透過調節施加到壓電器件的電壓而分別單獨地控制。

(噴頭移動單元)

可以分別為各個噴頭400設置噴頭移動單元500。在本具體實施例中，設置了與三個噴頭410、420和430對應的三個噴頭移動單元500。可選地，可以僅設置一個噴頭移動單元500，並且假若這樣，噴頭400可以一起移動，而不是分別單獨地移動。

圖7為顯示圖2和圖3中所示的噴頭移動單元500的側視圖，圖8為顯示圖7中所示的第一可移動單元520的正視圖。參考圖7和圖8，噴頭移動單元500包括第一可移動單元520和第二可移動單元540。第一可移動單元520沿門架200的長度方向，即沿該第二方向(II)線性地移動噴頭410。第二可移動單元540沿該第三方向(III)線性地移動噴頭410。

第一可移動單元520包括導軌522a和522b、滑動件524a和524b、和可移動板526。導軌522a和522b可以在第二方向(II)上較長。導軌522a和522b可以採用在第 三方向(III)上彼此隔開的方式被配置於門架200的前側。滑動件524a和524b以可移動的方式連接到導軌522a和522b，並且線性驅動單元比如線性馬達(未顯示)可以配置在滑動件524a和524b中。可移動板526被連接到滑動件524a和524b。可移動板526的上部被連接到上部滑動件524a，可移動板526的下部被連接到下部滑動件524b。如圖8所示，可移動板526可以由線性馬達(未顯示)驅動而在第二方向(II)上沿著導軌522a和522b被線性地移動。以此，能夠透過在第二方向(II)上分別單獨地移動噴頭410、420和430而調節噴頭410、420和430之間的距離。

第二可移動單元540包括引導構件542、滑動件544、檢測器546和控制器548。引導構件542被連接到第一可移動單元520的可移動板526，以在第三方向(III)上引導滑動件544的運動。滑動件544以可線性移動的狀態被連接到引導構件542，並且線性驅動單元比如線性馬達(未顯示)可以配置在滑動件544中。噴頭410被連接到滑動件544，從而噴頭410能夠透過滑動件544在第三方向(III)上的線性運動而在第三方向(III)上移動。

檢測器546可以配置到門架200，用以檢測噴頭410與基板(S)之間的距離。檢測器546可以是雷射感測器。控制器548產生與檢測器546的檢測信號對應的控制信號，並且將該控制信號傳送到配置在滑動件544中的線性馬達以控制線性馬達的操作。如果根據檢測器546的檢測結果確定噴頭410和基板(S)之間的距離超出了預定的基準範圍，則控制器548控制線性馬達(未顯示)的操作以調節 噴頭410和基板(S)之間的距離。

(液晶供給單元)

液晶供給單元600包括液晶供給模組620和壓力調節模組640。液晶供給模組620和壓力調節模組640可以連接到門架200。液晶供給模組620接收來自液晶供給部50(參考圖1)的液晶並且將該液晶供給到噴頭410、420和430。壓力調節模組640將液晶供給模組620保持於正壓或負壓，並調節液晶供給模組620的壓力。

圖9為顯示圖2和圖3中所示的液晶供給單元600的圖，圖10為顯示圖9中所示的第一氣泡過濾構件630的局部放大圖。

參考圖2、圖9和圖10，液晶供給模組620配置於門架200。例如，液晶供給模組620可以配置於門架200的頂側的中心部。噴頭410、420和430可以透過允許液體連通的集中連接法(centralized connection method)連接到液晶供給模組620。即，噴頭410、420和430可以從單個的液晶供給模組620接收液晶，並且噴頭410、420和430的內壓可以由單個的液晶供給模組620控制。

液晶供給模組620包括液晶箱622和第一氣泡過濾構件630。液晶箱622儲存接收自液晶供給部50的液晶並且將該液晶供給到噴頭410、420和430。液晶箱622可以為圓柱形。液晶箱622可以包括在垂直方向上彼此面對的頂壁622a和底壁622b、和連接頂壁622a和底壁622b的邊緣的側壁622c。

入口部623、收集口部624、壓力調節口部625和液面感應口部626被設置於液晶箱622的頂壁622a上。液晶供 給部50的液晶供給構件70被連接到入口部623，使得液晶供給構件70可以經由入口部623供給液晶。液晶供給部50的氣泡收集構件80被連接到收集口部624，使得氣泡能夠透過收集口部624從液晶箱622排出。壓力調節模組640連接到壓力調節口部625，從而氣體可以透過壓力調節口部625被供給到壓力調節模組640或者透過壓力調節口625從壓力調節模組640排出。液面感測器(未顯示)被配置於液面感應口部626以檢測液晶箱622中的液晶的液面。

第一至第三液晶供給口部627a、627b和627c被設置於液晶箱622的底壁622b。第一至第三液晶供給口部627a、627b和627c的數目可以對應於噴頭410、420和430的數目。液晶透過第一至第三液晶供給口部627a、627b和627c被供給到噴頭410、420和430。第一液晶配給線621a的一端連接到第一液晶供給口部627a，第一液晶配給線621a的另一端連接到噴頭410。第二液晶配給線621b的一端連接到第二液晶供給口部627b，第二液晶配給線621b的另一端連接到噴頭420。第三液晶配給線621c的一端連接到第三液晶供給口部627c，第三液晶配給線621a的另一端連接到噴頭430。

液晶箱622可以可拆卸地方式安裝到門架200。例如，托架628可以連接到液晶箱622的側壁622c的外表面，並且托架628可以用螺釘連接到門架200。

第一氣泡過濾構件630可以配置在液晶箱622中。第一氣泡過濾構件630從自液晶供給部50的液晶供給構件70供給到液晶箱622中的液晶中移除氣泡。第一氣泡過濾構件630具有板的形狀並且被水準地配置於液晶箱622中 的、將液晶箱622的內部分為上部區域和下部區域的位置處。第一氣泡過濾構件630的邊緣的側面與液晶箱622的側壁622c的內面接觸。多個濾孔632形成在第一氣泡過濾構件630中。濾孔632可有毛細管的形狀，其尺寸沿向下方向增大以防止氣泡穿過濾孔632。液晶的流體和晶體成分可以通過濾孔632，但氣泡不會通過濾孔632。液晶的流體和晶體成分沿從濾孔632的頂端632a到底端632b的方向通過濾孔632。另外，液晶的流體和晶體成分還可以沿從濾孔632的底端632b到頂端632a的方向通過濾孔632。

壓力調節模組640可以連接到門架200。壓力調節模組640可以將液晶箱622保持在正壓或者負壓。例如，可以透過供應氣體形成正壓，可以透過真空壓力形成負壓。當噴頭清潔單元1000清洗噴嘴時，壓力調節模組640可以向液晶供給模組620施加正壓，而當未進行液晶排放處理時，壓力調節模組640可以向液晶供給模組620施加負壓以防止液晶從噴頭400的噴嘴落下。充氣線642可以連接到液晶箱622的壓力調節口部625，壓力調節單元644可以連接到充氣線642。

如圖1所示，液晶供給部50可以設置為與液晶排放裝置10分離的部分。液晶供給部50包括液晶供給源52、加壓構件60、液晶供給構件70和氣泡收集構件80。例如，液晶供給源52可以為圓柱形，液晶可以填充在液晶供給源52中。加壓構件60對液晶供給源52施加氣壓。然後，填充在液晶供給源52中的液晶由於加壓構件60所施加的氣壓而透過液晶供給構件70被供給到液晶箱622。

液晶供給構件70包括液晶供給線72、顆粒過濾構件 74、和第二氣泡過濾構件76。液晶供給線72的一端連接到液晶供給源52，而液晶供給線72的另一端連接到液晶箱622的入口部623。顆粒過濾構件74和第二氣泡過濾構件76沿著液晶供給線72配置。顆粒過濾構件74從透過液晶供給線72流到液晶箱622的液晶中移除顆粒。第二氣泡過濾構件76從透過液晶供給線72流到液晶箱622的液晶中移除氣泡。

由於氣泡收集構件80，由配置在液晶箱622中的第一氣泡過濾構件630所阻擋的氣泡能夠被從液晶箱622的上部區域收集到液晶供給源52。氣泡收集構件80包括氣泡收集線82和排氣構件84。氣泡收集線82的一端連接到液晶供給源52，而氣泡收集線82的另一端連接到設置在液晶箱622的頂壁622a中的收集口部624。排氣構件84被配置於氣泡收集線82上。排氣構件84對液晶箱622的上部區域施加負壓，以從液晶箱622收集氣泡。

下文中，將說明液晶如何從液晶供給部50被供給到噴頭410、420和430。

加壓構件60對液晶供給源52施加氣壓。然後，填充在液晶供給源52中的液晶由於加壓構件60所施加的氣壓而透過液晶供給構件70被供給到液晶箱622。此時，顆粒過濾構件74從液晶中移除顆粒，第二氣泡過濾構件76從液晶中移除氣泡。

供給到液晶箱622中的液晶的流體和晶體成分可以透過第一氣泡過濾構件630並且填充液晶箱622的下部區域。即，第一氣泡過濾構件630從液晶中移除氣泡。

以此，液晶被連續地供給到液晶箱622，由此液晶在液 晶箱622中的液面升高。隨著液晶的液面的升高，由第一氣泡過濾構件630阻擋的氣泡向上移動到液晶表面。如果液晶的液面達到預定的值，則氣泡收集構件80的排氣構件84對液晶箱622施加負壓，從而能夠從液晶箱622收集氣泡。氣泡收集構件80所收集的氣泡被返回到液晶供給源52。

液晶箱622的下部區域被填充有液晶，該液晶被過濾以移除氣泡。被過濾的液晶透過第一至第三液晶供給口部627a、627b和627c和第一至第三液晶配給線621a、621b和621c被供給到噴頭410、420和430。

透過上述的步驟，已經移除了氣泡的液晶被供給到噴頭410、420和430，由此能夠防止噴頭410、420和430的噴嘴被氣泡堵塞。

(噴頭控制單元)

噴頭控制單元700控制噴頭410、420和430的液晶排放動作。噴頭控制單元700可以配置在液晶排放裝置10的接近於噴頭410、420和430的位置處。例如，噴頭控制單元700可以配置在門架200的端部。在本具體實施例中，噴頭控制單元700被配置於門架200的端部。但是，噴頭控制單元700的位置並不局限於此。

雖然未顯示，但噴頭控制單元700被電氣連接到噴頭410、420和430以對噴頭410、420和430施加控制信號。每個噴頭410、420和430可以包括與其噴嘴(未顯示)的數目一樣多的壓電器件(未顯示)，並且噴頭控制單元700可以控制施加到壓電器件的電壓以調節噴嘴的液滴排量。

在通常的液晶塗布裝置中，噴頭由噴頭控制單元控制，該噴頭控制單元與該噴頭分離地設置於該裝置的外側 或者設置於該裝置的內側但離開噴頭。由此，當控制信號從噴頭控制單元傳輸到噴頭時，控制信號易於受到雜訊的干擾。

但是，在本發明的具體實施例中，噴頭控制單元700被配置於連接有噴頭410、420和430的門架200上。因此，能夠使用較短的線纜將噴頭控制單元700連接到噴頭410、420和430。這降低了當信號從噴頭控制單元700傳輸到噴頭410、420和430時產生的雜訊所引起的信號失真。

圖11為顯示圖2和圖3中所示的噴頭控制單元700的圖。圖12為顯示圖11中所示的控制模組的立體圖，圖13為顯示圖12中所示的控制模組的截面圖。參考圖11至圖13，噴頭控制單元700包括殼體720和多個(第一至第三)控制模組740a、740b和740c。殼體720可以配置於門架200的端部的頂側上(參考圖2)。控制模組740a、740b和740c配置在殼體720中。控制模組740a、740b和740c分別控制噴頭410、420和430(參考圖2)。例如，第一控制模組740a控制第一噴頭410，第二控制模組740b控制第二噴頭420，和第三控制模組740c控制第三噴頭430。

第一至第三控制模組740a、740b和740c具有相同的結構，由此現以第一控制模組740a作為例示進行說明。第一控制模組740a包括控制板742和盒744。控制板742可以是構造成控制第一噴頭410的噴嘴(未顯示)的液晶排放動作的電路板。控制板742可以透過調節施加到第一噴頭410的壓電器件(未顯示)的電壓來控制第一噴頭410的噴嘴(未顯示)的液滴排量。

第一噴頭410的噴嘴可以劃分為組並且基於組進行控 制。控制板742的數目可以對應於組的數目。例如，如果第一噴頭410包括256個噴嘴(256個噴嘴)，全部256個噴嘴可以作為一組由單個控制板742控制；或者以128個噴嘴為一組並且使用兩個控制板742；或者64個噴嘴為一組並且可以使用四個控制板742。可選地，全部256個噴嘴可以由256個控制板742分別地控制。

盒744收納控制板742。盒744透過滑動進出框架722而被裝配到框架722或從框架722拆卸。現在將說明盒744的一個示例性結構。盒744具有平坦的門745。手柄745-1被設置於門745的一側，即被設置於該平坦的門745的外側。控制板收納部747被設置於門745的內側。控制板收納部747包括側壁747a和747b、以及底壁747c。側壁747a和747b被配置於門745的內側的左側和右側並且垂直於門745的內側。底壁747c連接側壁747a和747b的底側。多個槽749沿著側壁747a和747b的內面垂直地配置，用於接收控制板742。

用以控制第一噴頭410的控制板742被收納在盒744中，以形成第一控制模組740a，並且第一控制模組740a被收納在配置於門架200上的殼體720中。第二控制模組740b和第三控制模組740c也被收納在殼體720中。

以此，用以控制噴頭410、420和430的控制板742被分組為控制模組740a、740b和740c。由此，噴頭410、420和430和噴頭控制單元700能夠易於維修和保持。

(液晶排量測量單元)

液晶排量測量單元800測量噴頭410、420和430的液晶排量。詳細地說，對於各個噴頭410、420和430，液晶 排量測量單元800測量全部噴嘴的液晶排量。以此，每個噴頭410、420和430的噴嘴(未顯示)能夠被目視檢測。即，如果噴頭410、420和430中的任一個的液晶排量大於參考值，則認為噴頭的至少一個噴嘴異常。

液晶排量測量單元800可以配置於基部(B)的基板支撐單元100這一側。液晶排量測量單元800可以包括第一至第三液晶排量測量單元800a、800b和800c。第一液晶排量測量單元800a測量噴頭410的液晶排量，第二液晶排量測量單元800b測量噴頭420的液晶排量，和第三液晶排量測量單元800c測量噴頭430的液晶排量。

噴頭410、420和430可以由門架移動單元300和噴頭移動單元500在第一方向(I)和第二方向(II)上被移動到液晶排量測量單元800上方的位置。噴頭移動單元500可以沿第三方向(III)移動噴頭410、420和430以調節噴頭410、420和430和液晶排量測量單元800之間的垂直距離。

在第一至第三液晶排量測量單元800a、800b和800c中，將以第一液晶排量測量單元800a作為例示進行說明。圖14為顯示圖2和圖3中所示第一液晶排量測量單元800a的截面圖。圖15為顯示圖14中所示的液晶接收單元840的平面圖，和圖16是沿圖15的線A-A’截取的截面圖。

參考圖14至圖16，第一液晶排量測量單元800a包括重量測量單元820、液晶接收單元840、和傳送單元860。重量測量單元820測量液晶接收單元840的重量和落到液晶接收單元840的液晶的重量。重量測量單元820可以為能夠測量微克(μg)重量的電子天平。

液晶接收單元840被置於重量測量單元820上並且接收從噴頭410排放的液晶。液晶接收單元840包括容器842和導流器844。容器842可以為頂側具有開口的圓柱形。此外，容器842包括底壁842a和從底壁842a的邊緣向上延伸的側壁842b。止動件842c被設置於842b的外表面。當液晶接收單元840插入傳送板(下面說明)的孔中(下面說明)並且上下移動時，液晶接收單元840相對於傳送板的垂直位置由於止動件842c而能夠被固定。止動件842c的底側傾斜，使得其能夠與傳送板的孔的內面(斜面)接合。容器842可以由防靜電絕緣材料比如陶瓷材料形成。由矽形成的接觸部843被配置於容器842的側壁842b的頂側。當容器842向上移動以接收從噴頭410排放的液晶時，接觸部843與噴頭410的噴嘴面接觸。

導流器844從容器842的底壁842a向容器842的開口的頂側向上突起以引導從噴頭410排放的液晶流。導流器844隨其向上伸展可以逐漸變細並且沿著噴頭410的噴嘴面的長度方向延伸。例如，導流器844具有三角形截面，並且導流器844的頂端可以光滑地彎曲。

如圖16所示，從410排放的液晶落到導流器844的頂端並且沿著導流器844的斜面向下流動。總體上，液晶以微克(μg)為單位排放，由此液晶易於浮在空氣中。但是，如果液晶沿著導流器844流動，則能夠阻止液晶的浮動。

傳送單元860包括傳送板862和驅動單元864。在液晶透過噴頭410排放時為阻擋噴頭410和液晶接收單元840之間的氣流，傳送板862提升液晶接收單元840以使接觸部843與噴頭410的噴嘴面接觸。另外，當測量液晶 排量時，傳送單元860降低其中接收有液晶的液晶接收單元840，使液晶接收單元840能夠被置於重量測量單元820上。

傳送板862被水平地配置於重量測量單元820的上方。穿過傳送板862形成孔861以接收液晶接收單元840的容器842。孔861的中心與重量測量單元820的中心對準。孔861以一種方式傾斜，使得隨其向下的伸展而變窄。當傳送板862上下移動時，孔861的斜的內面與容器842的止動件842c的傾斜底面接合。由於止動件842c的傾斜底面與孔861的斜的內面接合，容器842的中心與重量測量單元820的中心對準。

驅動單元864升降傳送板862。驅動單元864可以包括驅動構件比如氣缸。在本例示中，氣缸的傳送軸可以連接到傳送板862。

圖17為顯示液晶排量測量單元800的操作的圖。參考圖14至圖17，液晶接收單元840被置於重量測量單元820上，其中液晶接收單元840被插入傳送板862的孔861中。在本狀態中，如果驅動單元864提升傳送板862，則傳送板862的孔861的斜面與容器842的止動件842c的傾斜底面接合，並且容器842的中心與重量測量單元820的中心對準。然後，驅動單元864進一步提升傳送板862，使得容器842的接觸部843能夠與噴頭410的噴嘴面接觸。如果容器842的接觸部843與噴頭410的噴嘴面接觸，則從噴頭410排放的液晶會落到容器842上而不會受周圍氣流的干擾。落在容器842上的液晶沿著導流器844的斜 面向下流動。

在液晶完全從噴頭410排放後，驅動單元864降低傳送板862以將容器842置於重量測量單元820上。在容器842被置於重量測量單元820上後，傳送板862被進一步降低。然後，重量測量單元820測量液晶接收單元840和液晶接收單元840中所接收的液晶的總重。透過從該測量的總重減去液晶接收單元840的重量能夠計算出所排放的液晶的量。並且由此，可以肉眼確定噴頭410的噴嘴(未顯示)的狀態。

(噴嘴檢測單元)

噴嘴檢測單元900透過光學檢測法可以分別單獨地檢測噴頭410、420和430的噴嘴。透過液晶排量測量單元800的目視檢測，如果確定噴頭410、420和430的噴嘴異常，則使用噴嘴檢測單元900可以分別單獨地檢測全部噴嘴。

噴嘴檢測單元900可以配置於基部(B)的基板支撐單元100側。噴頭410、420和430可以透過門架移動單元300和噴頭移動單元500在第一方向(I)和第二方向(II)上移動。噴頭移動單元500可以在第三方向(III)上移動噴頭410、420和430以調節噴頭410、420和430與噴嘴檢測單元900之間的垂直距離。

圖18為顯示圖2和圖3中的噴嘴檢測單元900和噴頭清潔單元1000的圖。參考圖18，噴嘴檢測單元900包括第一噴嘴檢測構件920、第一驅動構件940、第二噴嘴檢測構件960和第二驅動構件980。第一噴嘴檢測構件920檢測液晶是否從噴頭410、420和430的噴嘴排放。即，第一噴嘴檢測構件920檢測噴頭410、420和430的噴嘴是否堵 塞。第一驅動構件940沿噴嘴的排列方向移動第一噴嘴檢測構件920。第二噴嘴檢測構件960檢測噴嘴的排列狀態。第二驅動構件980沿著噴嘴的排列方向移動第二噴嘴檢測構件960。在圖18中，噴嘴被配置於第二方向(II)。

第一噴嘴檢測構件920包括池部922、發光部924和光接收部926。池部922可以為在頂側具有開口的圓柱狀。池部922接收透過噴頭410、420和430的噴嘴(未顯示)排放的液晶。發光部924被配置於池部922的頂側的一個側邊處，光接收部926被配置於池部922的頂側的另一側邊處以朝向發光部924。發光部924輸出光信號，光接收部926接收來自發光部924的光信號。透過噴頭410、420和430的噴嘴排放的液晶透過發光部924和光接收部926之間的區域，從而能夠基於光接收部926所接收到的光量確定液晶是否落下。如果確定液晶正常落下，則能夠判定噴頭410、420和430的噴嘴(未顯示)未被堵塞。

第一驅動構件940包括引導構件942、滑動件944、和驅動單元946。引導構件942在基部(B)上沿第二方向(II)延伸。驅動單元946比如線性馬達可以配置在滑動件944中。滑動件944由驅動單元946驅動。滑動件944可以沿著引導構件942在第二方向(II)上線性地移動。池部922被配置於滑動件944中。由此，池部922能夠透過滑動件944在第二方向(II)上的線性移動而在第二方向(II)上被線性地移動。

第二噴嘴檢測構件960包括框架962、照明器964和照相機966。框架962可以沿第二方向(II)配置在接近於第一噴嘴檢測構件920的池部922的位置。照明器964和 照相機966被配置於框架962。照明器964照明待檢測的噴頭410、420和430的噴嘴面，並且照相機966對由照明器964所照明的噴頭410、420和430的噴嘴面成像，以獲取噴頭410、420和430的噴嘴的圖像。基於噴嘴的圖像確定噴嘴是否被適當地排列。

第二驅動構件980包括滑動件984和驅動單元986。驅動單元986比如線性馬達可以配置在滑動件984中。

滑動件984由驅動單元986驅動。滑動件984可以沿著引導構件942在第二方向(II)上被線性地移動。第二噴嘴檢測構件960的框架962被配置在滑動件984上。由此，框架962、照明器964和照相機966可以透過在第二方向(II)上線性地移動滑動件984而被在第二方向(II)上線性地移動。

在通常的檢測方法中，噴嘴檢測單元是固定的，並且在噴嘴檢測單元上方沿第二方向(II)分別地移動噴頭的同時，檢測噴頭的噴嘴的排列狀態和堵塞。但是，由於噴頭的各自的移動是受限的，因此不能適當地進行噴頭的噴嘴檢測。但是，根據本發明，由於噴嘴檢測單元900在第二方向(II)上被線性地移動，因此能夠適當地進行噴嘴檢測。

在上述的示例中，第一噴嘴檢測構件920和第二噴嘴檢測構件960被分別地驅動。但是，如圖19中所示，可以使用共用的驅動構件990沿第二方向(II)線性地移動地驅動第一噴嘴檢測構件920和第二噴嘴檢測構件960。

(噴頭清潔單元)

噴頭清潔單元1000進行清潔處理和抽吸處理。在清潔處理中，噴頭410、420和430中接收的一些液晶在高壓下 被噴射。在清潔處理後進行抽吸處理以透過抽吸移除噴頭410、420和430的噴嘴面上殘留的液晶。

噴頭清潔單元1000包括池部922、液晶抽吸構件1020和收集構件1040。池部922可以由噴頭清潔單元1000和噴嘴檢測單元900的第一噴嘴檢測構件920共用。在本示例中，池部922可以接收在清潔處理期間透過噴頭410、420和430排放的液晶。另外，在噴頭410、420和430的噴嘴的液晶排放動作被檢測時、即當檢測噴頭410、420和430的堵塞時，池部922可以接收透過噴頭410、420和430排放的液晶。

液晶抽吸構件1020可以連接到池部922的外壁以抽吸殘留在噴頭410、420和430的噴嘴面上的液晶並且將該抽吸的液晶接收在池部922中。

收集構件1040收集從池部922排放的液晶。收集構件1040包括殼體1042和收集容器1044。殼體1042被配置在池部922下方以收納收集容器1044。收集容器1044可以透過滑動進出殼體1042而安裝到殼體1042或從殼體1042拆卸。從池部922排放的液晶被收集在收集容器1044中。所收集的液晶被再利用。

以此，在噴頭清潔處理(清潔處理和抽吸處理)期間和噴嘴檢測處理(噴嘴堵塞檢測處理)期間，從噴頭410、420和430排放和移除的液晶被儲存在單個的池部922中，並且被收集在單個的收集容器1044中。因此，該裝置能夠被有效地使用。

根據本發明，噴嘴的處理液排放間距能夠根據基板的圖元間距適當地調節。

另外，根據本發明，配向液膜或者液晶膜能夠更為均勻地塗布到基板。

另外，根據本發明，能夠減小裝置的覆蓋區。

上述的主題被認為是說明性的，而不是限定性的，申請專利範圍意圖涵蓋在本發明的原則和範圍內的全部修改、改進和其他具體實施例。由此，在法律允許的最大範圍內，本發明的範圍由對於申請專利範圍的最寬的可允許闡釋來確定，而不局限於或受限於先前的詳細說明。

1‧‧‧塗布裝置

10‧‧‧液晶排放裝置

20‧‧‧基板承載部

30‧‧‧載入部

40‧‧‧卸載部

50‧‧‧液晶供給部

52‧‧‧供給源

60‧‧‧加壓構件

70‧‧‧液晶供給構件

72‧‧‧供給線

74‧‧‧顆粒過濾構件

76‧‧‧第二氣泡過濾構件

80‧‧‧氣泡收集構件

82‧‧‧氣泡收集線

84‧‧‧排氣構件

90‧‧‧主控部

100‧‧‧支撐單元

110‧‧‧支撐板

120‧‧‧旋轉驅動構件

130‧‧‧線性驅動構件

132‧‧‧滑動件

134‧‧‧引導構件

200‧‧‧門架

210‧‧‧導軌

300‧‧‧門架移動單元

310‧‧‧第一驅動單元

312‧‧‧滑動件

314‧‧‧第一旋轉支撐構件

315‧‧‧導軌

317‧‧‧滑動件

318‧‧‧第一線性驅動構件

320‧‧‧第二驅動單元

322‧‧‧連接構件

324‧‧‧第二旋轉支撐構件

325‧‧‧導軌

327‧‧‧滑動件

328‧‧‧第二線性驅動構件

400‧‧‧噴頭

410、420、430‧‧‧噴頭

500‧‧‧噴頭移動單元

520‧‧‧第一可移動單元

522a、522b‧‧‧導軌

524a、524b‧‧‧滑動件

526‧‧‧可移動板

540‧‧‧第二可移動單元

542‧‧‧引導構件

544‧‧‧滑動件

546‧‧‧檢測器

548‧‧‧控制器

600‧‧‧液晶供給單元

620‧‧‧液晶供給模組

621a‧‧‧第一液晶配給線

621b‧‧‧第二液晶配給線

622‧‧‧液晶箱

622a‧‧‧頂壁

622b‧‧‧底壁

623‧‧‧入口部

624‧‧‧收集口部

625‧‧‧壓力調節口部

626‧‧‧液面感應口部

627a‧‧‧第一液晶供給口部

627b‧‧‧第二液晶供給口部

627c‧‧‧第三液晶供給口部

628‧‧‧托架

630‧‧‧第一氣泡過濾構件

632‧‧‧濾孔

632a‧‧‧頂端

632b‧‧‧底端

640‧‧‧壓力調節模組

642‧‧‧充氣線

644‧‧‧壓力調節單元

700‧‧‧噴頭控制單元

720‧‧‧殼體

740a、740b、740c‧‧‧控制模組

742‧‧‧控制板

744‧‧‧盒

745‧‧‧門

745-1‧‧‧柄

747‧‧‧控制板收納部

747a、747b‧‧‧側壁

747c‧‧‧底壁

749‧‧‧槽

800‧‧‧液晶排量測量單元

800a‧‧‧第一液晶排量測量單元

800b‧‧‧第二液晶排量測量單元

800c‧‧‧第三液晶排量測量單元

820‧‧‧重量測量單元

840‧‧‧液晶接收單元

842‧‧‧容器

842a‧‧‧底壁

842b‧‧‧側壁

842c‧‧‧止動件

843‧‧‧接觸部

844‧‧‧導流器

860‧‧‧傳送單元

861‧‧‧孔

862‧‧‧傳送板

864‧‧‧驅動單元

900‧‧‧噴嘴檢測單元

920‧‧‧第一噴嘴檢測構件

922‧‧‧池部

924‧‧‧發光部

926‧‧‧光接收部

940‧‧‧第一驅動構件

942‧‧‧引導構件

944‧‧‧滑動件

946‧‧‧驅動單元

960‧‧‧第二噴嘴檢測構件

962‧‧‧框架

964‧‧‧照明器

966‧‧‧照相機

980‧‧‧第二驅動構件

984‧‧‧滑動件

986‧‧‧驅動單元

1000‧‧‧噴頭清潔單元

1020‧‧‧液晶抽吸構件

1040‧‧‧收集構件

1042‧‧‧殼體

1044‧‧‧收集容器

B‧‧‧基部

S‧‧‧基板

(I)(II)(III)‧‧‧方向

相應的圖式係用以進一步理解本發明，且圖式被併入本說明書中並構成本說明書的一部分。圖式顯示出了本發明的例示性具體實施例，並且與說明書一起用以說明本發明的原理。在圖式中：圖1為顯示噴墨型液晶塗布裝置的圖；圖2為顯示圖1中示出的液晶排放裝置的立體圖；圖3為顯示圖1中示出的液晶排放裝置的平面圖；圖4為顯示圖3中示出的第一驅動單元的圖；圖5為顯示圖3中示出的第二驅動單元的圖；圖6為顯示門架的線性移動和旋轉的圖；圖7為顯示圖2和圖3中示出的噴頭移動單元的側視圖；圖8為顯示圖7中所示的第一可移動單元的正視圖；圖9為圖2和圖3中所示的液晶供給單元的圖；圖10為顯示圖9中所示的第一氣泡過濾構件的局部放大視圖；圖11為圖2和圖3示出的噴頭控制單元的圖； 圖12為顯示圖11中的控制模組的立體圖；圖13為顯出圖12的控制模組的截面圖；圖14為顯示圖2和圖3中所示的液晶排量測量單元的截面圖；圖15為顯示圖14中的液晶收納單元的平面圖；圖16為沿圖15的線A-A’截取的截面圖；圖17為顯示液晶排量測量單元的操作的圖；圖18為顯示圖2和圖3中所示的噴嘴檢測單元和噴頭清潔單元的圖；和圖19為顯示噴嘴檢測單元和噴頭清潔單元的另一個例示的圖。

110‧‧‧支撐板

134‧‧‧引導構件

200‧‧‧門架

310‧‧‧第一驅動單元

315‧‧‧導軌

320‧‧‧第二驅動單元

325‧‧‧導軌

400‧‧‧噴頭

410、420、430‧‧‧噴頭

500‧‧‧噴頭移動單元

600‧‧‧液晶供給單元

620‧‧‧液晶供給模組

640‧‧‧壓力調節模組

700‧‧‧噴頭控制單元

800‧‧‧液晶排量測量單元

800a‧‧‧第一液晶排量測量單元

800b‧‧‧第二液晶排量測量單元

800c‧‧‧第三液晶排量測量單元

900‧‧‧噴嘴檢測單元

1000‧‧‧噴頭清潔單元

B‧‧‧基部

S‧‧‧基板

Claims (16)

1. 一種透過噴墨排放法排放處理液的裝置，該裝置係包括：基板支撐單元，構造成在其上放置基板並且能夠沿第一方向移動；門架，配置於該基板支撐單元的移動通道上方，並且多個噴頭連接到該門架以將處理液排放到基板；和旋轉單元，構造成旋轉該門架；其中，該噴頭係被設置於該門架的長度方向；其中，該門架的一端可成為旋轉中心，並且該門架的另一端在述旋轉單元的作用下繞該旋轉中心旋轉；其中，該旋轉單元係包括：滑動件，構造成由被沿該門架的長度方向配置於該門架的該另一端處的導軌引導；第一旋轉支撐構件，連接到該滑動件的底側；第一線性驅動構件，構造成沿該第一方向線性地移動該第一旋轉支撐構件；和第二旋轉支撐構件，構造成可旋轉地支撐該門架的該一端。
2. 如申請專利範圍第1項的裝置，其中該噴頭被設置於該門架的長度方向。
3. 如申請專利範圍第2項的裝置，其中該門架的一端成為旋轉中心，並且該門架的另一端在該旋轉單元的作用下繞該旋轉中心旋轉。
4. 如申請專利範圍第3項的裝置，其中該旋轉單元係包括：滑動件，構造成由沿該門架的長度方向配置於該門架的該另一端處的導軌引導；第一旋轉支撐構件，連接到該滑動件的底側； 第一線性驅動構件，構造成沿該第一方向線性地移動該第一旋轉支撐構件；和第二旋轉支撐構件，構造成可旋轉地支撐該門架的該一端。
5. 如申請專利範圍第4項的裝置，其中該旋轉單元還包括第二線性驅動構件，該第二線性驅動構件被構造成沿該第一方向線性地移動該第二旋轉支撐構件。
6. 如申請專利範圍第5項的裝置，其中該第一線性驅動構件和該第二線性驅動構件被設置於配置有該基板支撐單元的基部。
7. 如申請專利範圍第2至6項中任一項的裝置，其中該噴頭沿該門架的長度方向線性地移動。
8. 如申請專利範圍第7項的裝置，其中該噴頭沿該門架的長度方向線性地並分別單獨地移動。
9. 如申請專利範圍第8項的裝置，其中該基板支撐單元係包括：支撐板，構造成支撐基板；線性驅動構件，構造成沿該第一方向線性地移動該支撐板；和旋轉驅動構件，構造成在垂直於該支撐板的轉軸上旋轉該支撐板。
10. 一種排放處理液的方法，該方法係包括：沿第一方向線性地移動基板；旋轉門架，以使與該門架連接的多個噴頭的噴嘴被配置於相對於該第一方向傾斜的方向上；透過該噴頭的噴嘴將處理液排放到該基板；和旋轉該門架後，沿該基板被線性移動之第一方向線性移動該門架；其中，旋轉該門架之一旋轉單元係包括：滑動件，構造成由被沿該門架的長度方向配置於該門架的該另 一端處的導軌引導；第一旋轉支撐構件，連接到該滑動件的底側；第一線性驅動構件，構造成沿該第一方向線性地移動該第一旋轉支撐構件；和第二旋轉支撐構件，構造成可旋轉地支撐該門架的該一端。
11. 如申請專利範圍第10項的方法，其中該方法還包括：在該旋轉門架之後，沿該基板被線性地移動的第一方向線性地移動該門架。
12. 如申請專利範圍第10或11項的方法，其中在該基板在垂直於該基板的轉軸上被旋轉90°的狀態下，該基板沿該第一方向線性地移動。
13. 如申請專利範圍第10或11項的方法，其中該噴頭沿該門架的長度方向移動。
14. 如申請專利範圍第13項的方法，其中該噴頭在該門架的長度方向上被線性地和分別單獨地移動以調節該噴頭之間的距離。
15. 如申請專利範圍第14項的方法，其中該基板為液晶顯示器面板的彩膜(CF)基板或薄膜電晶體(TFT)基板。
16. 如申請專利範圍第15項的方法，其中該處理液為液晶或者配向液。