TWI420565B - Short wavelength ultraviolet discharge lamp and ultraviolet radiation processing device - Google Patents

Description

短波長紫外線放電燈及紫外線照射處理裝置

本發明係關於在至少220 nm以下之波長區域中發光之短波長紫外線放電燈、及搭載有該放電燈且利用自放電燈放射出之紫外線的紫外線照射處理裝置。

短波長帶之紫外線用於對有害物或有機物進行分解或殺菌等。尤其，220 nm以下之波長帶之紫外線因具有解離H－OH之能量，故用在用以分解水中所含之有機物之紫外線照射處理裝置中。

圖7中表示先前之紫外線照射處理裝置之例。圖7係模式性表示先前之紫外線照射處理裝置之構成之剖面圖。

圖7中，符號1表示不鏽鋼製之圓筒，該圓筒之兩端由法蘭7a、7b封閉。被處理水5自入水口之法蘭7c側流向出水口之法蘭7d側，但為防止被處理水5之流路變短，於圓筒1內，於同軸上隔開特定間隔地配置有已開孔之複數個圓盤狀逆流板6a、6b、6c、6d、6e。

符號4係短波長紫外線放電燈(以下，縮寫為放電燈)，其放射出含有220 nm以下之波長之紫外線的光。一般將低壓水銀蒸氣放電燈用作上述放電燈，該低壓水銀蒸氣放電燈由在220 nm以下之波長帶至長波長帶中具有透過性之石英玻璃管構成。

符號2係貫通逆流板6a、6b、6c、6d、6e之孔而配置之透光管。透光管2之兩端外周由法蘭7a、7b水密地保持。上述放電燈4安裝於透光管2內，放電燈4之配置空間與被處理水5隔開。

再者，與放電燈4相同，透光管2由在220 nm以下之波長帶至長波長帶中具有透過性之石英玻璃構成(通常，平行地設置複數根透光管2與放電燈4，但圖7中僅表示了1根透光管2與放電燈4)。

自放電燈4照射出之紫外線透過透光管2，照射至被處理水5。

因水分子H₂ O之H－OH之鍵能為499 kJ/mol，故220 nm以下之波長之紫外線解離水分子H₂ O而生成OH基。例如下式所示，所生成之OH基將水中之有機物分解為CO、CO₂ 、H₂ O。

H₂ O＋hv(185 nm) → H＋OH基C_n H_m O_k ＋OH基 → CO,CO₂ ,H₂ O(n、m、k為正整數)

其次，就圖7中之放電燈4加以詳細說明。

放電燈4具備由石英玻璃構成之管體31，且於兩端具備一對電極32a、32b。

管體31內封入有水銀作為發光金屬。繼而，一方側之電極32b藉由引線3而沿著放電燈4之外壁導出至他端側，與連接於他方側之電極32a之引線3一併收納於燈座37，且可於由特定導電體構成之端子經由插座38而電性連接至電源。

引線3因沿著放電燈4之外壁引伸，故其絕緣材料必須能夠承受自放電燈4發出之熱量。因此，作為引線3之絕緣材料，使用有耐熱性優良之例如ETFE(乙烯－四氟乙烯共聚物)、FEP(四氟乙烯－六氟丙烯共聚物)、PFA(全氟烷基乙烯醚共聚物)、PTFE(四氟乙烯樹脂)等氟樹脂。

繼而，若一面將特定之被處理水通入圓筒1，一面將特定之電源供給至放電燈4以使放電燈4點燈，則會放射出含有185 nm之紫外線之水銀所特有的紫外線或可見光線，引起上述有機物之分解反應，被處理水中之有機物成為CO、CO₂ 、H₂ O等而被除去。

然而，隨著紫外線輸出之降低，必須於大致半年~1年內定期地更換放電燈4，但對於先前之於引線3中將氟樹脂用作絕緣包覆體之放電燈4而言，於更換時存在刺激氣味或會使皮膚產生刺激性疼痛。此係利用220 nm以下之波長帶之裝置所特有的問題，但利用240~280 nm之波長帶之紫外線照射處理裝置不存在上述現象。

亦即，因氟樹脂之C－F鍵能為539 kJ/mol，故即使接受240~280 nm之波長帶之紫外線亦不會成為障礙，但若暴露於220 nm以下之波長帶之紫外線，則會自構成引線3之氟樹脂解離出氟成分。其原因在於，上述氟樹脂會與周圍之濕氣反應，生成有害之氟化氫或氫氟酸。

若生成上述氟化氫或氫氟酸，則存在如下問題，即，上述氟化氫或氫氟酸與作為透光管2之構成材料之石英玻璃反應而於透光管2上產生白濁，因該白濁，照向被處理物之照射光量減少，處理效率降低。又，因氟化氫或氫氟酸對人體有害，故亦存在使作業環境惡化之問題。

因此，已提出有以如下方式構成之紫外線照射處理裝置，其將未經絕緣包覆之非絕緣導線用作放電燈之引線，且只要不切斷放電燈之供給電源，則無法自透光管拔出放電燈(例如參照專利文獻1)。

然而，對於專利文獻1中揭示之構造之紫外線照射處理裝置而言，雖可以新穎之方式製造該裝置，但存在如下問題，即，對原有之具備先前構造之裝置進行改造時需要費用與時間。又，將非絕緣導線用作引線之放電燈亦存在作業者難以進行操作之問題。

為避免生成氟化氫或氫氟酸，考慮使用例如非鹵系之聚醯亞胺、聚醯胺醯亞胺等高分子化合物或如雲母之無機絕緣體，作為構成引線之絕緣體(例如參照專利文獻2)。

然而，因上述非鹵系之絕緣體之相對電容率高於氟樹脂之相對電容率，故存在漏流容易增大之問題。

亦即，氟樹脂之相對電容率為2.1左右，但例如聚醯亞胺或聚醯胺醯亞胺之相對電容率為3.2以上，雲母之相對電容率為7.0以上，大部分非鹵系之絕緣體之相對電容率高於氟樹脂之相對電容率。

因介電體之電容器容量與相對電容率成正比，故若相對電容率高，則對地間之電容容量或對向電位間之電容器容量變大。

因此，根據I＝V×ωC(I為電流、V為電壓、C為電容器容量、ω為ω＝2πf之常數)之關係，經由電容器流向接地或對向電位之漏流容易增大。

通常，紫外線照射處理裝置中搭載有複數個放電燈與複數個電子安定器，該等複數個電子安定器用於驅動20~100 kHz之高頻，以使該等放電燈穩定地點燈。電子安定器中附加有點燈．消燈及全光點燈、調光點燈等之遙控操作、或放電燈無法點燈時之點燈異常顯示、電源操作盤內過熱時之溫度異常顯示、以及用以預防事故擴大之保護電路等各種功能。

因以數mA級之微小電流信號來對該等功能進行操作，故即使漏流之增大程度極其微小，亦有可能會誘發電子安定器之誤動作，因此，將聚醯亞胺或聚醯胺醯亞胺或者雲母等高介電常數材料用作引線之絕緣體並不一定為最佳之方法。

[專利文獻1]日本專利特開2002－282851公報[專利文獻2]日本專利特開2006－041404公報

本發明之目的在於提供一種短波長紫外線放電燈及使用有該短波長紫外線放電燈之紫外線照射處理裝置，上述短波長紫外線放電燈可放射出含有220 nm以下之波長帶之紫外線，防止被處理物之處理效率降低、對人體安全且運轉操作之可靠性優良。

本發明之短波長紫外線放電燈於石英玻璃管兩端具有相互對向之一對電極，將於至少220 nm以下之波長帶中發光之物質封入上述石英玻璃管內，將電性連接於一方側之上述電極之引線沿著上述石英玻璃管之外壁引導至他方側，且於與電性連接於他方側之上述電極之導線相同之側連接至供給電源，上述短波長紫外線放電燈之特徵在於：沿著上述石英玻璃管之外壁引導至他方之電極附近之引線，於由氟樹脂絕緣體包覆之絕緣導體上具有金屬製之外裝部件。

亦即，該短波長紫外線放電燈係放射出包含220 nm以下之波長帶之紫外線之單燈座型的放電燈，且具備沿著石英玻璃管之外壁引伸之引線。該引線於由氟樹脂絕緣體包覆導線之絕緣導體上具有金屬製之外裝部件。

藉由該金屬製之外裝部件，即使包覆導線之絕緣體由氟樹脂絕緣體構成，亦可將金屬製之外裝部件設置於該絕緣體上，因此，當自放電燈照射出220 nm以下之紫外線時，氟樹脂不會直接暴露於紫外線。

如此，對於本發明之短波長紫外線放電燈而言，因引線之絕緣體之氟樹脂並未直接暴露於紫外線，故可防止氟化氫或氫氟酸之產生。

因此，本發明之短波長紫外線放電燈對人體安全，進而可防止照向被處理物之照射光量減少，不會因構成透光管之石英玻璃與該等氟化氫或氫氟酸產生反應而於透光管上產生白濁。

又，因使用相對電容率低之氟樹脂作為引線之絕緣體，故可抑制漏流之產生，防止用以使放電燈點燈之電子安定器之誤作動，從而提高運轉操作之可靠性。

本發明之短波長紫外線放電燈中之由上述氟樹脂絕緣體包覆之絕緣導體，例如例示有藉由氟樹脂之擠壓成形、管狀包覆或膠帶捲繞而包覆於導體上者。

該等絕緣導體中，可以低成本且容易地將氟樹脂絕緣體包覆於導體上。

又，作為本發明之短波長紫外線放電燈中之上述金屬製之外裝部件，例如，例示有不鏽鋼、鋁、鋁合金、鎳或鎳合金等。

該等金屬之耐熱性、耐紫外線性優良，且耐氧化性優良，由該等金屬製得之外裝部件之耐久性優良。

又，本發明之短波長紫外線放電燈之外裝部件，藉由該等金屬之蒸鍍、管狀包覆、膠帶捲繞、纖維編組或該等組合而設置於上述絕緣導體上。

該等外裝部件可以低成本且容易地設置於絕緣導體上。

又，本發明之短波長紫外線放電燈之特徵在於：將電性連接於一方側之上述電極之引線沿著上述石英玻璃管之外壁引導至他方側，將上述引線之引導末端與電性連接於上述他方側之電極之導線的末端收納於成為一體之燈座中。

該短波長紫外線放電燈易於裝卸至供給電源，且操作便利。

本發明之紫外線照射處理裝置，係藉由將該等短波長紫外線放電燈內插至於至少220 nm以下之波長帶中具有透光性之透光管而構成。

根據該紫外線照射處理裝置，經由透光管之壁將自短波長紫外線放電燈放射出之紫外線照射至被處理物，藉此，例如可用於水中有機物之分解反應處理。

又，本發明之紫外線照射處理裝置將雙燈座型短波長紫外線放電燈，內插至於至少220 nm以下之波長帶中具有透光性之透光管中，該雙燈座型短波長紫外線放電燈於石英玻璃管兩端具有相互對向之一對電極，且將於至少220 nm以下之波長帶中發光之物質封入上述石英玻璃管內，上述紫外線照射處理裝置之特徵在於，於由氟樹脂絕緣體包覆之絕緣導體上設置金屬製之外裝部件，由此構成經由嵌合於上述短波長紫外線放電燈之一方側之燈座之插座而電性連接的引線，將上述引線沿著上述短波長紫外線放電燈之外壁引導至他方側，並於與嵌合於他方側之燈座之插座相同之側，連接於用以使短波長紫外線放電燈點燈之供給電源。

亦即，本發明之紫外線照射處理裝置，係將雙燈座型短波長紫外線放電燈內插至於220 nm以下之波長帶中具有透光性之透光管中而成者，上述雙燈座型短波長紫外線放電燈放射出包含220 nm以下之波長帶之紫外線，為易於維護，使該放電燈可於一方側連接於供給電源，因此，本發明之紫外線照射處理裝置具有於透光管內引伸之引線。該引線於導線由氟樹脂絕緣體包覆之絕緣導體上設置有金屬製之外裝部件。藉此，即使包覆導線之絕緣體由氟樹脂構成，氟樹脂亦不會直接暴露於紫外線。因此，可防止氟化氫或氟氫酸之產生，故對人體安全，且因不會於構成透光性之石英玻璃上產生白濁，故可防止照向被處理物之照射光量降低。進而，將相對電容率低之氟樹脂用作絕緣體，藉此防止產生漏流，因此，可防止用以使放電燈點燈之電子安定器之誤動作，從而可提高運轉操作之可靠性。

作為本發明之紫外線照射處理裝置中之由上述氟樹脂絕緣體包覆之絕緣導體，例如例示有藉由氟樹脂之擠壓成形、管狀包覆或膠帶捲繞而包覆於導體上者。

藉此，可以低成本且容易地將氟樹脂絕緣體包覆於導體上。

又，作為本發明之紫外線照射處理裝置中之上述金屬製之外裝部件，例如，例示有不鏽鋼、鋁、鋁合金、鎳或鎳合金等。

該等金屬之耐熱性、耐紫外線性優良，且耐氧化性優良，由該等金屬製得之外裝部件之耐久性優良。

又，本發明之紫外線照射處理裝置中之引線之外裝部件，藉由該等金屬之蒸鍍、管狀包覆、膠帶捲繞、纖維編組或該等組合而設置於上述絕緣導線上。

該等外裝部件可低成本且容易地設置於絕緣導線上。

根據本發明，可提供一種防止被處理物之處理效率降低、對人體安全且運轉操作之可靠性優良之短波長紫外線放電燈，以及使用有該短波長紫外線放電燈之紫外線照射處理裝置。

以下，就本發明之實施形態加以說明，但本發明並不限定於該等實施形態。

圖1係模式性表示本發明之一實施形態之短波長紫外線放電燈之構成的剖面圖。再者，對與上述圖7所示之放電燈相同之構成部分標記相同符號，並簡化或省略其說明。

放電燈100具有管體31，該管體31於220 nm以下之波長帶至長波長帶中具有透過性，其外徑為15 mm、全長為1.6 m且由石英玻璃構成。管內徑、放電電流、及電位梯度之關係較為適當之放電燈100之效率高，且功率高。於管體31之兩端，以約1.5 m之間隔對向地配置有一對燈絲(電極)32a、32b。一對燈絲32a、32b分別連接於內部引線33a、33b、33c、33d，經由鉬箔34a、34b、34c、34d與外界引線35a、35b、35c、35d而保持於管體31內，並且電性導出至管體31之外部。再者，於管體31內封入有適量之水銀與惰性氣體。又，放電燈100之一方具備用以保護管端部之陶瓷製之頂蓋36，另一方具備陶瓷製之燈座37，該燈座37具有作為導電部之供電接腳10a、10b。

引線60之一端壓接於外界引線35c，該引線60沿著管體31之外壁而引導至另一方之燈絲32a附近，該引線60之另一端焊接於燈座37中之供電接腳10b，上述外界引線35c電性連接於一方之燈絲32b。燈絲32a之外界引線35b亦焊接於燈座37中之供電接腳10a，呈現所謂之單燈座型放電燈之形態。如圖2所示，於利用氟樹脂絕緣體22隔離導體21而成之絕緣導體上，螺旋狀地捲繞厚度為150 μm、寬度為8 mm之鋁製膠帶作為外裝部件23a，進而於該膠帶上編組外徑為500 μm之鋁纖維作為外裝部件23b，由此形成引線60，上述導體21由剖面積約為0.6 mm² 之銅製鉸合導線構成，上述氟樹脂絕緣體22係根據FEP(四氟乙烯－六氟丙烯共聚物)之擠壓成形而製得。此處，藉由對FEP進行擠壓成形，於由鉸合導線構成之導體21上包覆氟樹脂絕緣體22以使該導體21絕緣，但除此之外，例如亦可藉由管狀包覆、膠帶捲繞來包覆上述導體21。又，除上述FEP以外，例如亦可將ETFE、PFA、PTFE等眾所周知之氟樹脂用作氟樹脂絕緣體22。又，已使用鋁作為外裝部件23a、23b之材質，但除此以外，只要是耐熱性、耐紫外線特性優良且不易氧化之金屬，則無特別限定，例如較好的是不鏽鋼、鋁、鋁合金、鎳或鎳合金。

將上述放電燈100內插至於220 nm以下之波長帶具有透光性之眾所周知之石英玻璃製的透光管(未圖示)中，構成紫外線照射處理裝置，若經由特定之電子安定器(未圖示)以例如1A之放電電流使上述放電燈100點燈，則相當於放電燈100功率之約5%之7.5 W作為185 nm之紫外線能量而放射出，該紫外線之一部分亦照射至沿著管體31之外壁引伸之引線60。此時，於由FEP構成之氟樹脂絕緣體22上，螺旋狀地捲繞有鋁製之膠帶作為外裝部件23a、23b，進而，於該膠帶上編組有鋁纖維，因此，紫外線不會直接照射至氟樹脂絕緣體22。因此，可防止自引線60產生有害之氟化氫或氫氟酸，故構成透光管之石英玻璃不會與該等氟化氫或氫氟酸產生反應而於透光管上產生白濁，從而可防止照向被處理物之照射光量降低。又，引線60中，因使用相對電容率低之例如FEP等氟樹脂作為包覆由銅製鉸合導線構成之導體21之氟樹脂絕緣體22，故不易產生漏流，且可防止電子安定器之誤作動。

此處，準備數百根放電燈100，將該等放電燈100內插至眾所周知之透光管中，使紫外線照射處理裝置運轉之後，無特別之不良情況，且發揮出了令人滿意之性能。又，使用該紫外線照射處理裝置1年之後，於更換放電燈100時，可確認不但安全、環保、健康，而且於更換、操作、廢棄作業時不會成為任何障礙。

因此，根據本實施形態，於由FEP構成之氟樹脂絕緣體22上，螺旋狀地捲繞鋁製之膠帶作為外裝部件23a、23b，進而於該膠帶上編組鋁纖維，構成沿著放電燈100之管體31之外壁引伸的引線60，藉此，即使自放電燈100放射出220 nm以下之紫外線，亦可防止產生有害之氟化氫或氫氟酸，從而對人體安全。又，構成透光管之石英玻璃不會與該等氟化氫或氫氟酸產生反應而於透光管中產生白濁，從而可防止照向被處理物之照射光量降低。又，因使用相對電容率低之氟樹脂作為包覆由鉸合導線構成之導體21之氟樹脂絕緣體22，故可防止電子安定器之誤作動，提高運轉操作之可靠性。

再者，本實施形態中，已使用圖1所示之供電接腳10a、10b收納於燈座37內之形態的單燈座型放電燈，對放電燈100以及紫外線照射處理裝置進行了說明，上述供電接腳10a、10b連接於相對向之電極32a、32b，但並不限定於此。例如，亦可為圖3所示之放電燈100A，該放電燈100A之形態係將引線60抽出至管體31之前方，利用連接器將引線60連接至供給電源之形態。

其次，使用圖4，就本發明之一實施形態之紫外線照射處理裝置加以說明。圖4係僅模式性表示應用有雙燈座型放電燈之紫外線照射處理裝置之構成中之放電燈與透光管的部分之剖面圖。圖4所示之放電燈之形態為雙燈座型放電燈，此與圖1、圖3所示之放電燈不同。再者，對與圖1及圖3所示之放電燈相同之構成部分標記相同符號，並簡化或省略其說明。

紫外線照射處理裝置200係將放電燈100B內插至於220 nm以下之波長帶中具有透光性之透光管2中而成。放電燈100B係放射出包含220 nm以下之波長帶之紫外線之雙燈座型放電燈。插座50a、50b嵌合於燈座37a、37b，該燈座37a、37b分別電性連接於放電燈100B兩端之電極32a、32b，連接於插座50b之引線60於透光管2內引伸至插座50a側為止，且於插座50a側可裝卸地連接於用以使上述放電燈100B點燈之供給電源。再者，引線60如上所述，與圖1、圖2、圖3所示者相同。

於應用有此種雙燈座型之放電燈100B之紫外線照射處理裝置200中，於由氟樹脂絕緣體22包覆導體21之絕緣導體上，螺旋狀地捲繞鋁製之膠帶作為外裝部件23a、23b，進而對鋁纖維進行編組而構成引線60(參照圖2)，藉此，即使自放電燈100B放射出220 nm以下之紫外線，紫外線亦不會直接照射至氟樹脂絕緣體22。因此，可防止自引線60產生有害之氟化氫或氫氟酸，故對人體安全，進而，構成透光管之石英玻璃不會與該等氟化氫或氫氟酸產生反應而於透光管中產生白濁，從而可防止照向被處理物之照射光量降低。又，亦不會產生漏流，可防止電子安定器之誤作動。

(其它實施形態)

再者，本發明並不限定於上述實施形態所揭示之內容，於不脫離本發明之宗旨之範圍內可適當進行變更。

例如，本實施形態中，對於引線60而言，由氟樹脂絕緣體22包覆之導體21係由鉸合導線構成，但導體21之形態任意，例如亦可使用實心導線、集合線或編線。

又，本實施形態中，已對瞬時啟動型之低壓水銀蒸氣放電燈進行了說明，該瞬時啟動型之低壓水銀蒸氣放電燈將引線60連接至一對燈絲32a、32b各自之單側，且具有具備供電接腳10a、10b之燈座37，亦即，已對引伸至管體31外之引線60為1根之情形進行了說明，但並不限定於此。例如，亦可為預熱型之低壓水銀蒸氣放電燈，其將引線60分別連接至一對燈絲32a、32b，預先對燈絲32a、32b進行加熱後放電，亦即，引伸至管體31外之引線60亦可為複數根。放電燈100之燈座37之形狀亦任意。

又，放電燈100、100A、100B除了可應用於上述水銀蒸気放電燈以外，例如亦可應用於準分子燈、氙氣燈等於220 nm以下之波長帶中發光之光源。於該情形時，亦可獲得與本實施形態相同之效果。

又，紫外線照射處理裝置中，插入有放電燈100、100A、100B之透光管2並不限於在其兩端具有開口部之形狀，該透光管2之一端亦可被密封。又，該裝置並不限於臥式，亦可為立式。

[實驗例]

其次，參照圖5與圖6，對模擬了本發明之紫外線照射處理裝置之實驗例進行說明。該實驗例中，藉由實驗來確認於圖1~4所示之一實施形態之引線60中，以金屬製之外裝部件來包覆氟樹脂絕緣體則較佳。圖5(a)係模式性表示本實驗中所使用之測試用紫外線照射處理裝置之構成的剖面圖。圖5(b)係沿著圖5(a)之A－Aa進行切斷所得之剖面圖。圖6係模式性表示比較例中所使用之測試用引線之構成的剖面圖。

(實驗例1)使用圖5(a)、圖5(b)所示之測試用之紫外線照射處理裝置，以特定期間進行測試用引線300之紫外線耐久性測試，將其結果表示於表1中。該測試用紫外線照射處理裝置以如下方式構成，即，於放射出包含185 nm之波長之紫外線、且外徑為15 mm、全長為1.6 m之雙燈座型低壓水銀蒸氣放電燈100B之管體的大致全長上，於該放電燈100B之管體周圍捆紮12根相同之測試用引線300並以鎳裸線(未圖示)紮緊之後，將該管體插入至石英玻璃製之透光管2中，以橡膠頂蓋70封閉透光管2之兩端。再者，針對1根放電燈100B設置12根測試用引線300之原因在於，若自引伸至管體外之測試用引線300產生氟化氫或氫氟酸，則會加速由石英玻璃構成之透光管2之內側表面產生白濁之現象。

於圖2所示之引線60中，將剖面積約為0.6 mm² 之鍍錫銅用作導體21，將ETFE用作氟樹脂絕緣體22(厚度為0.15 mm)，捲繞厚度為20 μm之鋁製膠帶作為外裝部件23a、23b，於該膠帶上編組已鍍錫之銅纖維，由此構成本實驗例中所使用之測試用引線300。

(比較例1)除了使用圖6所示之露出厚度為0.15 mm之由FEP構成之氟樹脂絕緣體22的引線，作為測試用引線300以外，以與實驗例1相同之方式進行測試，將其結果表示於表1中。

(比較例2)除了使用圖6所示之露出厚度為0.15 mm之由ETFE構成之氟樹脂絕緣體22的引線，作為測試用引線300以外，以與實驗例1相同之方式進行測試，將其結果表示於表1中。

(比較例3)除了代替圖6所示之氟樹脂絕緣體22，應用厚度為0.25 mm之由PVC(聚氯乙稀樹脂)構成之絕緣體，且使用露出該絕緣體之引線作為測試用引線300以外，以與實驗例1相同之方式進行測試，將其結果表示於表1中。

表1表明：於將金屬製之外裝部件用作測試用引線300之實施例1中，引線300之外側表面變黑，但未觀察到透光管2之外觀變化，並未產生白濁。因185 nm之紫外線與氧所生成之臭氧，最外部之經編組之鍍錫銅纖維中的錫生成錫氧化物，從而使引線300之外側表面變黑。當對被處理物照射紫外線時，上述該錫氧化物不會成為任何障礙。因此，實驗例1中所使用之利用有金屬製外裝部件之引線300，亦可較好地用作圖1所示之單燈座型放電燈之引線。

又，於比較例1之露出由FEP構成之氟樹脂絕緣體22之引線300(參照圖6)中，於透光管2之內側表面產生了白濁。如上所述，當朝被處理物照射紫外線時，該白濁會導致紫外線照度衰減。又，產生導致白濁之氟化氫或氫氟酸，對人體有害。因此，比較例1中所使用之露出氟樹脂絕緣體22之引線300不適合用作圖1所示之單燈座型放電燈的引線。

又，於比較例2之露出由耐紫外線特性優良之ETFE構成之氟樹脂絕緣體22的引線300中，氟樹脂劣化，從而喪失絕緣性。進而，與比較例1所示之使用利用有FEP之引線的情形相比，透光管2內側表面之白濁程度更為顯著。因此，比較例2中所使用之露出氟樹脂絕緣體22之引線300，不適合用作圖1所示之單燈座型放電燈之引線。

又，於比較例3之使用有由PVC構成之絕緣體之引線中，PVC劣化，從而由PVC包覆之導體露出。因此，比較例3中所使用之露出PVC絕緣體之引線，不適合用作圖1所示之單燈座型放電燈之引線。

因此，如下引線可較好地用作引伸於放射出220 nm以下之紫外線之放電燈之管體外的引線，上述引線於利用氟樹脂絕緣體來隔離導體之絕緣導體上，設置有金屬製之外裝部件。

1．．．圓筒

2．．．透光管

3、60．．．引線

4、100、100A．．．放電燈

5．．．被處理水

6a、6b、6c、6d．．．逆流板

7a、7b、7c、7d．．．法蘭

10a、10b．．．供電接腳

21．．．導體

22．．．氟樹脂絕緣體

23a、23b．．．外裝部件

31．．．管體

32a、32b．．．燈絲

33a、33b、33c、33d．．．內部引線

34a、34b、34c、34d．．．鉬箔

35a、35b、35c、35d．．．外界引線

36．．．頂蓋

37、37a、37b．．．燈座

38、50a、50b．．．插座

70．．．橡膠頂蓋

200．．．紫外線照射處理裝置

圖1係模式性表示本發明之一實施形態之短波長紫外線放電燈之構成的剖面圖。

圖2係模式性表示圖1所示之放電燈中所使用之引線之構成的剖面圖。

圖3係模式性表示圖1所示之放電燈之變形例的剖面圖。

圖4係模式性表示本發明之一實施形態之紫外線照射處理裝置之構成的剖面圖。

圖5(a)、(b)係模式性表示實施例中所使用之測試用紫外線照射處理裝置之構成的剖面圖。

圖6係模式性表示比較例中所使用之測試用引線之構成的剖面圖。

圖7係模式性表示先前之紫外線照射處理裝置之構成的剖面圖。

31．．．管體

32a、32b．．．燈絲

33a、33b、33c、33d．．．內部引線

34a、34b、34c、34d．．．鉬箔

35a、35b、35c、35d．．．外界引線

36．．．頂蓋

37、37a、37b．．．燈座

60．．．引線

100．．．放電燈

Claims (10)

1. 一種短波長紫外線放電燈，其於石英玻璃管兩端具有相互對向之一對電極，將於至少220nm以下之波長帶中發光之物質封入上述石英玻璃管內，將電性連接於一方側之上述電極之引線沿著上述石英玻璃管之外壁引導至他方側，且於與電性連接於該他方側之上述電極之導線相同之側連接至供給電源，上述短波長紫外線放電燈之特徵在於：沿著上述石英玻璃管之外壁引導至他方之電極附近之引線，係於由氟樹脂絕緣體包覆之絕緣導體上包覆有金屬製之外裝部件。
2. 如請求項1之短波長紫外線放電燈，其中由上述氟樹脂絕緣體包覆之絕緣導體，係藉由氟樹脂之擠壓成形、管狀包覆或膠帶捲繞而包覆於導體上。
3. 如請求項1之短波長紫外線放電燈，其中上述金屬製之外裝部件係包含不鏽鋼、鋁、鋁合金、鎳或鎳合金。
4. 如請求項1之短波長紫外線放電燈，其中上述金屬製之外裝部件藉由蒸鍍、管狀包覆、膠帶捲繞、纖維編組或該等組合而設置於上述絕緣導體上。
5. 如請求項1至4中任一項之短波長紫外線放電燈，其中沿著上述石英玻璃管之外壁引導至他方之電極附近之引線與與電性連接於上述他方側之電極之導線收納於成為一體之燈座中，以可裝卸至上述供給電源之方式而構成。
6. 一種紫外線照射處理裝置，其特徵在於：將如請求項1 至5中任一項之短波長紫外線放電燈，內插至於至少220nm以下之波長帶中具有透光性之透光管中。
7. 一種紫外線照射處理裝置，其將於石英玻璃管兩端具有相互對向之一對電極、且封入有於至少220nm以下之波長帶中發光之物質的短波長紫外線放電燈，內插至於至少220nm以下之波長帶中具有透光性之透光管中，上述紫外線照射處理裝置之特徵在於：於由氟樹脂絕緣體包覆之絕緣導體上包覆金屬製之外裝部件，由此構成經由嵌合於上述短波長紫外線放電燈之一方側之燈座之插座而電性連接的引線，將上述引線沿著上述短波長紫外線放電燈之外壁引導至上述短波長紫外線放電燈之他方側，並於與該嵌合於他方側之燈座之插座相同之側，連接於用以使上述短波長紫外線放電燈點燈之供給電源。
8. 如請求項7之紫外線照射處理裝置，其中由上述氟樹脂絕緣體包覆之絕緣導體，係藉由氟樹脂之擠壓成形、管狀包覆或膠帶捲繞而包覆於導體上。
9. 如請求項7之紫外線照射處理裝置，其中上述金屬製之外裝部件係包含不鏽鋼、鋁、鋁合金、鎳或鎳合金。
10. 如請求項7至9中任一項之紫外線照射處理裝置，其中上述金屬製之外裝部件藉由蒸鍍、管狀包覆、膠帶捲繞、纖維編組或該等組合而設置於上述絕緣導體上。