TWI406756B - Flexible polyimide metal laminated sheet manufacturing method and device - Google Patents

Description

可撓性聚醯亞胺金屬積層板之製造方法及裝置 技術領域

本發明係有關一種於聚醯亞胺樹脂薄膜之一面固著有金屬薄板而成之聚醯亞胺積層薄膜之製造方法及裝置。

背景技術

眾所週知，由聚醯亞胺樹脂薄膜與金屬薄板或金屬箔相互固著而成之薄膜狀(薄板狀)可撓性聚醯亞胺金屬積層板亦可稱為可撓性印刷基板等。例如，積層有5~20μm左右的銅箔與5~100μm左右的聚醯亞胺樹脂層之撓性銅箔積層板(FCCL：Flexible Copper Clad Laminates)。該可撓性聚醯亞胺金屬積層板係藉例如蝕刻等加工而使金屬薄板形成預定的電路圖案，藉此可大多用於電子機器、數位相機、行動電話等，作為可分離成各個具有金屬薄板製之導線的IC封裝體之捲帶式自動接合(TAB)製品、可撓之連接電纜等。

前述可撓性聚醯亞胺金屬積層板係具有藉使用黏著劑貼合聚醯亞胺樹脂薄膜與金屬薄板之層合法而製得之三層結構，及藉塗布樹脂前驅物於金屬薄板之一面並使其熱硬化之模鑄法而製得之二層結構。由於二層結構者相較於三層結構者在耐熱性、節距細小化、輕薄化及多層化方面較有利，因此對於二層結構之需要正在急速增加。在前述二層結構之可撓性聚醯亞胺金屬積層板之製造方法中，有一種塗布聚醯亞胺樹脂前驅物溶液並進行加熱、醯亞胺化(環 化聚縮合)之模鑄法。例如，專利文獻1所記載者。

【專利文獻1】特開2000-169581

發明揭示

另外，當藉由前述習知之模鑄法製造可撓性聚醯亞胺金屬積層板時，係在將溶劑中溶解有作為聚醯亞胺樹脂前驅物之聚醯胺酸的聚醯胺酸溶液塗布於金屬箔之一面後，藉由例如至250℃左右之處理溫度加熱處理且硬化，並進行醯亞胺化而形成聚醯亞胺樹脂。但，由於聚醯亞胺樹脂前驅物之塗膜表面係藉熱空氣進行加熱，因此塗膜表面與內部之溫差大。又，由於該塗膜從表面先進行硬化及醯亞胺化，因此去除內部溶劑之速度較慢，且與內部之間容易發生環化聚縮合，並且因緩慢的加熱而需要長時間的熱處理。又，當為了進行如此長時間的熱處理而想要提昇生產良率時，則有熱設備大型化的問題。

本發明係以上述事情為背景而作成者，且其目的在於提供一種可有效率地進行熱處理以進行塗膜之醯亞胺化之可撓性聚醯亞胺金屬積層板之製造方法及裝置。

為了達成上述目的，申請專利範圍第1項之發明要旨係在於：一種可撓性聚醯亞胺金屬積層板之製造方法，且該可撓性聚醯亞胺金屬積層板係將聚醯亞胺樹脂薄膜與金屬薄板相互固著而形成者；該製造方法係使用遠紅外線加熱 已塗布於前述金屬薄板之一面之樹脂前驅物，藉此使前述樹脂前驅物產生聚縮合反應，而於前述金屬薄板之一面形成前述聚醯亞胺樹脂薄膜。

又，申請專利範圍第2項之發明要旨係在於包含有：(a)樹脂前驅物塗布步驟，係於前述金屬薄板之一面塗布用以形成聚醯亞胺樹脂之樹脂前驅物、及(b)熱處理步驟，係使用遠紅外線加熱在前述樹脂前驅物塗布步驟中塗布於前述金屬薄板之一面之前述樹脂前驅物，藉此使前述樹脂前驅物產生聚縮合反應，而於前述金屬薄板之一面形成前述聚醯亞胺樹脂薄膜。

又，申請專利範圍第3項之發明要旨係在於：在申請專利範圍第2項之發明中，其中前述熱處理步驟係使用從可放射遠紅外線之加熱板朝前述金屬薄板之一面放射之熱輻射、及從設於前述加熱板之噴射孔朝前述金屬薄板之一面噴射之惰性氣體，加熱塗布於前述金屬薄板之一面之前述樹脂前驅物。

又，申請專利範圍第4項之發明要旨係在於：在申請專利範圍第2或3項之任一項發明中，其中前述熱處理步驟係在下述過程中進行熱處理，即：使一面塗布有前述聚醯亞胺樹脂薄膜之樹脂前驅物的長形金屬薄板沿著係於前述一面側呈山形之運送路徑朝長向移動的過程。

又，申請專利範圍第5項之發明要旨係在於：在申請專利範圍第1至4項中任一之發明中，其中前述樹脂前驅物含有藉酸酐與二胺之反應而合成之聚醯胺酸。

又，申請專利範圍第6項之發明要旨係在於：一種可撓性聚醯亞胺金屬積層板之製造裝置，且該可撓性聚醯亞胺金屬積層板係將聚醯亞胺樹脂薄膜與金屬薄板相互固著而形成者，該製造裝置包含有熱處理裝置，該熱處理裝置係使用遠紅外線加熱塗布於前述金屬薄板之一面之樹脂前驅物，藉此使前述樹脂前驅物產生聚縮合反應，而於前述金屬薄板之一面形成前述聚醯亞胺樹脂薄膜者。

又，申請專利範圍第7項之發明要旨係在於：在申請專利範圍第6項之任一項發明中，包含有樹脂前驅物塗布裝置，係在藉前述熱處理裝置進行熱處理之前，於前述金屬薄板之一面塗布前述聚醯亞胺樹脂薄膜之樹脂前驅物者。

又，申請專利範圍第8項之發明要旨係在於：在申請專利範圍第6或7項之發明中，其中前述熱處理裝置具有：加熱板，係可朝前述金屬薄板之一面放射遠紅外線者；及噴射孔，係設於前述加熱板，以朝前述金屬薄板之一面噴射惰性氣體者；又，前述熱處理裝置係使用從前述加熱板朝前述金屬薄板之一面放射之熱輻射、及從前述噴射孔朝前述金屬薄板之一面噴射的惰性氣體，將塗布於前述金屬薄板之一面之前述樹脂前驅物加熱者。

又，申請專利範圍第9項之發明要旨係在於：在申請專利範圍第6至7項之發明中，其中(a)前述金屬薄板係具有預定寬度之長形金屬薄板；而(b)前述熱處理裝置具有運送裝置，該運送裝置係以配設於呈山形之運送路徑的運送滾子一邊支撐該長形金屬薄板一邊使其移動，該長形金屬薄板 係由業已被捲繞成捲筒之狀態拉出且其一面塗布有該前述聚醯亞胺樹脂薄膜之樹脂前驅物質者，並且前述熱處理裝置係於藉前述運送裝置而經由在前述一面側呈山形之運送路徑運送的過程中，將一面塗布有前述樹脂前驅物之前述長形金屬薄板進行熱處理者。

又，申請專利範圍第10項之發明要旨係在於：在申請專利範圍第6至7項中任一項之發明中，其中前述樹脂前驅物係含有藉酸酐與二胺之反應而合成之聚醯胺酸者。

根據申請專利範圍第1項之發明之可撓性聚醯亞胺金屬積層板之製造方法，係使用遠紅外線加熱已塗布於前述金屬薄板之一面之樹脂前驅物，藉此使前述樹脂前驅物產生聚縮合反應，而於前述金屬薄板之一面形成前述聚醯亞胺樹脂薄膜。在形成前述聚醯亞胺樹脂薄膜時，係藉遠紅外線之加熱進行聚縮合，由於前述遠紅外線可透射至樹脂前驅物之塗膜內部，並使塗膜吸收遠紅外線之放射能源，因此可有效率地加熱塗膜全體以進行醯亞胺化，並且可在短時間內形成均質之聚醯亞胺樹脂薄膜。藉此，可在短時間內進行有效率地熱處理，並可縮小熱設備。

根據申請專利範圍第2項之發明之可撓性聚醯亞胺金屬積層板之製造方法，係在樹脂前驅物塗布步驟中於金屬薄板之一面塗布前述聚醯亞胺樹脂薄膜之樹脂前驅物，之後再在熱處理步驟中使用遠紅外線加熱塗布於金屬薄板之一面之前述樹脂前驅物，藉此使前述樹脂前驅物產生聚縮 合反應，而於前述金屬薄板之一面形成前述聚醯亞胺樹脂薄膜。在形成前述聚醯亞胺樹脂薄膜時，係藉遠紅外線之加熱進行聚縮合，由於前述遠紅外線可透射至樹脂前驅物之塗膜內部，並使塗膜吸收遠紅外線之放射能源，因此可有效率地加熱塗膜全體以進行醯亞胺化，並且可在短時間內形成均質之聚醯亞胺樹脂薄膜。藉此，可在短時間內進行有效率地熱處理，並可縮小熱設備。

又，根據申請專利範圍第3項之發明，在前述熱處理步驟中，由於係使用從可放射遠紅外線之加熱板朝前述金屬薄板之一面放射之熱輻射、及從設於前述加熱板之噴射孔朝前述金屬薄板之一面噴射之惰性氣體，加熱塗布於前述金屬薄板之一面之前述樹脂前驅物，因此可更有效率地進行熱處理。又，由於藉從前述噴射孔噴射惰性氣體，可快速地去除來自溶劑等之塗膜的蒸發物、昇華物，因此不會因蒸發物、昇華物對流至金屬薄板之一面而妨礙熱輻射到達塗膜與乾燥塗膜。而且，由於惰性氣體可適當地防止金屬薄板之氧化，因此當使用銅等金屬時，即使不進行層表面處理也不會損害焊接之濕潤性。

又，根據申請專利範圍第4項之發明，由於前述熱處理步驟係在下述過程中進行熱處理，即：使一面塗布有前述聚醯亞胺樹脂薄膜之樹脂前驅物的長形金屬薄板沿著係於前述一面側呈山形之運送路徑朝長向移動的過程，因此具有可抑制聚醯亞胺樹脂薄膜與金屬薄板之間因熱膨脹差所引起之彎曲的優點。

又，根據申請專利範圍第5項之發明，由於前述樹脂前驅物含有藉酸酐與二胺之反應而合成之聚醯胺酸，因此可藉由將前述聚醯胺酸之開環閉環化，而適當地形成聚醯亞胺樹脂薄膜。

又，根據申請專利範圍第6項之發明之可撓性聚醯亞胺金屬積層板之製造裝置，在熱處理裝置中，係使用遠紅外線加熱已塗布於金屬薄板之一面之前述樹脂前驅物，藉此使前述樹脂前驅物產生聚縮合反應，而於金屬薄板之一面形成聚醯亞胺樹脂薄膜。在形成前述聚醯亞胺樹脂薄膜時，係藉遠紅外線之加熱進行聚縮合，由於前述遠紅外線可透射至樹脂前驅物之塗膜內部，並使塗膜吸收遠紅外線之放射能源，因此可有效率地加熱塗膜全體以進行醯亞胺化，並且可在短時間內形成均質之聚醯亞胺樹脂薄膜。藉此，可在短時間內進行有效率地熱處理，並可縮小熱設備。

又，根據申請專利範圍第7項之發明之可撓性聚醯亞胺金屬積層板之製造裝置，由於該製造裝置係在藉前述熱處理裝置進行熱處理之前，先於金屬薄板之一面塗布前述樹脂前驅物塗布裝置之前述聚醯亞胺樹脂薄膜之樹脂前驅物，因此可藉由之後再使用前述熱處理裝置之遠紅外線加熱塗布於金屬薄板之一面之前述樹脂前驅物，而使前述樹脂前驅物產生聚縮合反應，並於金屬薄板之一面形成聚醯亞胺樹脂薄膜。在形成前述聚醯亞胺樹脂薄膜時，係藉遠紅外線之加熱進行聚縮合，由於前述遠紅外線可透射至樹脂前驅物之塗膜內部，並使塗膜吸收遠紅外線之放射能 源，因此可有效率地加熱塗膜全體以進行醯亞胺化，並且可在短時間內形成均質之聚醯亞胺樹脂薄膜。藉此，可在短時間內進行有效率地熱處理，並可縮小熱設備。

又，根據申請專利範圍第8項之發明，在前述熱處理裝置中，由於係使用從可放射遠紅外線之加熱板朝前述金屬薄板之一面放射之熱輻射與從設於前述加熱板之噴射孔朝前述金屬薄板之一面噴射的惰性氣體，將塗布於前述金屬薄板之一面之前述樹脂前驅物加熱，因此可更有效率地進行熱處理。由於藉從前述噴射孔噴射惰性氣體，可快速地去除來自溶劑等之塗膜的蒸發物、昇華物，因此不會因蒸發物、昇華物對流至金屬薄板之一面而妨礙熱輻射到達塗膜與乾燥塗膜。而且，由於惰性氣體可適當地防止金屬薄板之氧化，因此當使用銅等金屬時，即使不進行層表面處理也不會損害焊接之濕潤性。

又，根據申請專利範圍第9項之發明，前述金屬薄板係具有預定寬度之長形金屬薄板；而前述熱處理裝置係具有運送裝置，該運輸裝置係以配設於呈山形之運送路徑的運送滾子一邊支撐該長形金屬薄板一邊使其移動，該長形金屬薄板係由業已被捲繞成捲筒之狀態拉出且其一面塗布有該前述聚醯亞胺樹脂薄膜之樹脂前驅物質者。由於前述熱處理裝置係於藉前述運送裝置而經由在於前述一面側呈山形之運送路徑運送的過程中，將一面塗布有前述樹脂前驅物之前述長形金屬薄板進行熱處理者，因此具有可抑制聚醯亞胺樹脂薄膜與金屬薄板之間因熱膨脹差所引起之彎曲 的優點。

又，根據申請專利範圍第10項之發明，由於前述樹脂前驅物係含有藉酸酐與二胺之反應而合成之聚醯胺酸者，因此可藉由將前述聚醯胺酸之開環閉環化，而適當地形成聚醯亞胺樹脂薄膜。

實施發明之最佳形態

在此，較佳地，前述聚醯亞胺樹脂係於主鏈中具有醯亞胺結合之高分子物質，且係藉再加熱等反應，而使藉例如苯均四酸酐、四羧酸酐等之酸酐與例如間-苯二胺等之二胺的聚合反應而合成之聚醯胺酸之開環閉環化而形成者。因此，該聚醯胺酸係聚醯亞胺樹脂之前驅物。又，前述聚醯亞胺樹脂即使係在硬化過程中會形成縮合水、揮發分者也沒關係，亦可為在硬化過程中不會形成揮發分之加聚型。前述加聚物型可使用末端反應型3,6-內亞甲機1,2,3,6-四氫化鄰苯二甲酸(nadic acid=endome thylene tetrahy-drophthalic acid)、雙馬來亞胺(BMI)型、乙炔末端型等。

又，前述樹脂前驅物係前述聚醯胺酸，且可溶解於溶劑。又，前述樹脂前驅物係可藉溶劑適當地溶解，而呈流動體(聚醯胺酸溶液)狀態塗布於金屬薄板之一面，並藉乾燥將該溶劑去除至某程度之一些部分而塗布於金屬薄板之一面。又，前述流動性樹脂前驅物可添加種種添加物以改善黏著性、黏著強度、製造良率、製造成本等，亦可為如前 述專利文獻1所記載之聚醯胺酸溶液。

又，前述加熱板係具有：內含有電加熱器之金屬板、及可放射含有遠紅外線之放射線且固著於前述金屬板之放射面之遠紅外線放射體層。而前述遠紅外線係從遠紅外線放射體層放射適合金屬板溫度之輻射能量為主。前述金屬板係適合使用鋁合金、銅合金、碳鋼、不鏽鋼等具有較高導熱率之金屬。又，前述遠紅外線放射體層之遠紅外線放射體係含有例如：SiO2、ZnO2、SnO2、TiO2、Y2O3、BeO、Al2O3、2MgO．2Al2O3．5SiO2、CoO、NiO、CrO3、Fe2O3等II-IV族之金屬氧化物陶瓷；SiC、ZrC、TaC、ZrB2、Si3N4等之非氧化物陶瓷；及含有該等氧化物陶瓷之複合材料等。

又，較佳地，前述加熱板具有可引導前述惰性氣體之通氣道、及朝前述金屬板之放射面開口，並與前述通氣道連通之噴射孔。又，前述加熱板係構成為可朝前述運送中之金屬薄板之一面噴射業經加熱之惰性氣體。由於前述惰性氣體可防止金屬薄板之表面氧化，因此前述金屬薄板不一定需要表面不會氧化之結構。又，當使用便宜且導電性高之銅箔等作為金屬薄板時，則可使用氮氣、氬氣等。

又，較佳地，於加熱板之間設有間隙，以快速的去除從塗布於金屬薄板之一面之樹脂前驅物產生且滯留於加熱板與前述金屬薄板之一面之間的揮發物。又，前述間隙連通有與爐體連接之排氣管。

[實施例]

以下，一面參照圖面一面針對本發明之一實施例作詳 細說明。又，在以下之實施例中，係將圖適當的簡略化或變形，而各部分之尺寸及形狀未必描寫正確。

第1圖係顯示本發明之一實施例之可撓性聚醯亞胺金屬積層板10之截面圖。前述可撓性聚醯亞胺金屬積層板10係二層型，係於由銅、鎳、金屬合板等構成且具有例如5~20μm，甚至9~18μm厚度之金屬薄板12之一面直接固著有具有5~100μm左右厚度之薄片狀聚醯亞胺樹脂薄膜(聚醯亞胺樹脂層)14。第2圖係三層型之可撓性聚醯亞胺金屬積層板16之截面圖。由於三層型之可撓性聚醯亞胺金屬積層板16之金屬薄板12與聚醯亞胺樹脂薄膜14係透過黏著劑層18互相固著，因此二層型之可撓性聚醯亞胺金屬積層板10之結構較薄，而於耐熱性、細節距化、輕薄化及多層化等方面較有利。

第3圖係說明前述可撓性聚醯亞胺金屬積層板10之製造方法之主要部分的流程圖。第3圖中，在調整步驟20中，係藉由依例如100℃以下之低溫溶液聚合方法聚合反應例如苯均四酸酐、四羧酸酐等之酸酐與例如間-苯二胺等之二胺，而合成聚醯胺酸，並使前述聚醯胺酸溶解於溶劑，藉此可事先準備具有預定黏度流動性之樹脂前驅物(聚醯胺酸溶液)P。

接著，在塗布步驟22中，係使用例如第4圖所示之塗布裝置26於從將金屬薄板12捲繞成圓筒狀之捲筒24拉出之長形金屬薄板12之上面連續的塗布具有預定厚度之前述流動性樹脂前驅物P。接著，在乾燥步驟28中，藉由在鄰接設置 於塗布裝置26之乾燥裝置30乾燥金屬薄板12之後，經再捲繞而製得圓筒狀捲筒32。前述捲筒32係可捲繞於一面塗布有樹脂前驅物P之金屬薄板12。在本實施例中，於金屬薄板12之一面塗布樹脂前驅物P之樹脂前驅物塗布步驟34係由前述塗布步驟22及乾燥步驟28所構成。

在第4圖中，從圓筒狀捲筒24拉出之長形金屬薄板12係在運送通過塗布裝置26及乾燥裝置30之後，經再捲繞而成圓筒狀捲筒32。前述塗布裝置26係具有例如塗布捲筒，而可於通過該捲筒32之長形金屬薄板12之上面連續的塗布流動性樹脂前驅物P。又，前述乾燥裝置30係藉乾燥去除樹脂前驅物P中之溶劑，而使前述業經塗布之樹脂前驅物P在捲繞成圓筒狀捲筒30時至少不會黏著於金屬薄板12之下面。在本實施例中，樹脂前驅物塗布裝置35係由前述塗布裝置26及乾燥裝置30所構成。

接著，在熱處理步驟36中，係使用例如第5圖所示之熱處理裝置40之遠紅外線加熱在前述樹脂前驅物塗布步驟34中塗布於金屬薄板12之一面之樹脂前驅物P，藉此使前述樹脂前驅物P產生聚縮合作用，即，醯亞胺化(環化或閉環)，而於金屬薄板12之一面形成聚醯亞胺樹脂薄膜14。

在第5圖中，熱處理裝置40具有：拉出裝置42，係以預定速度從捲筒32拉出一面塗布有樹脂前驅物P之金屬薄板12者；繞緊裝置46，係使從前述拉出裝置42拉出之金屬薄板12通過熱處理裝置40，並一面維持預定張力一面沿著一直線拉出，將金屬薄板12繞緊成捲筒44者；爐主體48，係 可使金屬薄板12通過，並以350至400℃左右且預定時間加熱塗布於金屬薄板12之一面之樹脂前驅物P；及冷卻裝置50，係用以冷卻從前述爐主體48運送出之金屬薄板12者。在本實施中，金屬薄板12之運送裝置係由前述拉出裝置42及繞緊裝置46所構成。又，在前述爐主體48或冷卻裝置50內等，當運送中之金屬薄板12下垂且無法成直線狀時等，亦可使用可支持前述金屬薄板12之下面的運送滾子。

如第6圖詳細所示，於前述爐主體48內，在由爐壁51圍住之空間內，在與沿著水平方向一直線運送之金屬薄板12之上面側及下面側隔有預定距離之位置處配置有多數個具有之平板狀加熱板(遠紅外線加熱器)52，而前述加熱板52係沿著前述金屬薄板12以些微間隙A互相鄰接。

前述加熱板52係具有：板主體54，係垂直於前述金屬薄板12運送方向，且由如鋁合金等金屬製成之長形者；遠紅外線放射體層56，係固著於前述板主體54之與金屬薄板12相對側之整個放射面；電加熱器58，係長向埋設於板主體54內之多數者；通氣道60，係平行形成於該等電加熱器58之間，以引導如氮氣等惰性氣體者；及噴射孔62，係貫穿於板主體54之放射面，並可與通氣道60連通之多數者。即，於前述加熱板52上設有可朝金屬薄板12之上面及下面放射遠紅外線之遠紅外線放射體層56，並設有可朝運送中之金屬薄板12之表面及裡面噴射藉加熱板52加熱之惰性氣體之通氣道60及噴射孔62。因此，在前述熱處理裝置40中，即，在熱處理步驟36中，使用從可放射遠紅外線之加熱板 52朝金屬薄板12之一面放射之熱輻射與從設於前述加熱板52之噴射孔62朝金屬薄板12之一面噴射之惰性氣體，而塗布於金屬薄板12之一面之樹脂前驅物P被加熱。

在前述遠紅外線放射體層56含有可放射含有遠紅外線之放射線之遠紅外線放射體。而前述遠紅外線係以II-IV族之金屬氧化物陶瓷、非氧化物陶瓷、及含有該等氧化物陶瓷之複合材料等為主。第7圖係顯示加熱板為300℃時，前述遠紅外線放射層56之放射波長及放射能量。在本實施例之遠紅外線放射體層56中，2μm至20μm之波長帶係有效波長帶。第8圖係顯示前述樹脂前驅物P及聚醯亞胺樹脂之吸收率曲線，其中遠紅外線之波長帶，特別是前述2μm至20μm之有效波長帶可有效地吸收，並可進行高效率之加熱。

在前述爐主體48內配置有多數個互相鄰接之平板狀加熱板(遠紅外線加熱器)52，藉此形成有由爐壁51與多數個加熱板圍成之排氣空間64。又，連接於爐主體48之排氣管66與前述排氣空間64相連通。藉此，當從噴射孔62朝塗布於金屬薄板12之一面的樹脂前驅物P噴射經加熱板52加熱之惰性氣體時，從前述樹脂前驅物P產生且滯留於加熱板52與前述金屬薄板12之一面間之揮發物則會隨著惰性氣體通過金屬薄板12間之間隙A而送至前述排氣空間64側，並通過排氣管66而去除。

如上所述，由於為了可使被加熱之金屬薄板12通過，在由爐主體48內之加熱板52圍成之隧道狀中央空間68與爐壁51之間存有前述排氣空間64，而構成簡單的蒙烰爐 (muffle)，因此惰性氣體之置換實質上即可在前述中央空間68內進行。故，相較於習知之熱處理裝置，於置換時間與消費量方面可大幅減少。第9圖係顯示當惰性氣體初期的充填流量為2001/min，經過35分時為數+1/min時之氧濃度的變化。又，本實施例係以不到50分鐘的時間達到40ppm(薄膜充填(filmloading)狀態)。

在結構如上之熱處理裝置40中設置溫度調節裝置70。而前述溫度調節裝置70係以從未圖示之多數個溫度感測器檢測出之爐主體48內各部位之溫度為基準，將各加熱板52之溫度控制在如第10圖所示之溫度(加熱曲線)。藉由前述溫度調節裝置70，當惰性氣體之流量為200l/min時，薄膜之橫向保持溫度則可得到380℃±2℃之精度。

第11圖係顯示前述本實施例之熱處理裝置40的加熱曲線與使用熱空氣加熱之習知之熱處理裝置的加熱曲線之比較圖。在本實施例之熱處理裝置40中，由於使用遠紅外線加熱，因此可在加熱樹脂前驅物P之塗膜內部的同時快速的去除內部溶劑，故可急速的升高溫度，並大幅的縮短時間。相對於此，在使用熱空氣加熱之習知之熱處理裝置中，由於樹脂前驅物P之塗膜表面先硬化，而難以除去內部溶劑，因此必須藉分割區域來控制溫度，以得到緩慢的加熱曲線，故處理時間約為本實施例之熱處理裝置40之數倍左右。在第11圖中，tIN是表示送進金屬薄板12之時間，tOUT是表示送出金屬薄板12之時間。

如上所述，根據本實施例之可撓性聚醯亞胺金屬積層 板10之製造方法或製造裝置，在熱處理步驟36或熱處理裝置40中，係使用遠紅外線加熱塗布於前述金屬薄板12之一面之樹脂前驅物P，藉此使前述樹脂前驅物P產生聚縮合反應，而於前述金屬薄板12之一面形成聚醯亞胺樹脂薄膜14。在形成前述聚醯亞胺樹脂薄膜14時，係藉遠紅外線之加熱進行聚縮合，由於前述遠紅外線可透射至樹脂前驅物P之塗膜內部，並使塗膜吸收遠紅外線之放射能源，因此可有效率地加熱塗膜全體以進行醯亞胺化，並且可在短時間內形成均質之聚醯亞胺樹脂薄膜14。藉此，可在短時間內進行有效率地熱處理，並可縮小熱設備。

又，根據本實施例之可撓性聚醯亞胺金屬積層板10之製造方法或製造裝置，在樹脂前驅物塗布步驟34或樹脂前驅物塗布裝置35中，係先於金屬薄板12之一面塗布聚醯亞胺樹脂薄膜14之樹脂前驅物P，之後再在熱處理步驟36中使用遠紅外線加熱塗布於金屬薄板12之一面之樹脂前驅物P，藉此使前述樹脂前驅物P產生聚縮合反應，而於金屬薄板12之一面形成聚醯亞胺樹脂薄膜14。在形成聚醯亞胺樹脂薄膜14時，遠紅外線可透射至樹脂前驅物P之塗膜內部，並吸收遠紅外線之放射能源，因此可在短時間內有效率地加熱塗膜整體以進行醯亞胺化。

又，根據本實施例之可撓性聚醯亞胺金屬積層板10之製造方法或製造裝置，在熱處理步驟36或熱處理裝置40中，由於係使用從可放射遠紅外線之加熱板52朝前述金屬薄板12之一面放射之熱輻射；及從設於前述加熱板52之噴 射孔62朝前述金屬薄板12之一面噴射之惰性氣體，而塗布於前述金屬薄板12之一面之樹脂前驅物P被加熱，因此可更有效率地進行熱處理。又，由於藉從前述噴射孔62噴射惰性氣體，可快速地去除來自溶劑等之塗膜的蒸發物、昇華物，因此不會因蒸發物、昇華物對流至金屬薄板12之一面而妨礙熱輻射到達塗膜與乾燥塗膜。而且，由於惰性氣體可適當地防止金屬薄板之氧化，因此當使用銅等金屬時，即使不進行層表面處理也不會損害焊接之濕潤性。

又，本實施例中，由於前述樹脂前驅物P係含有藉酸酐與二胺之反應而合成之聚醯胺酸，因此可藉由將前述聚醯胺酸之開環閉環化，而適當地形成聚醯亞胺樹脂薄膜。

接著，針對本發明之其他實施例作說明。又，以下說明中與前述實施例共同之部份係用同樣的符號標示，且省略說明。

第12圖係顯示前述熱處理裝置40之其他例之熱處理裝置80之主要部分的結構圖。在第12圖中，於爐主體48設有多數個可承受前述金屬薄板12之運送滾子82，以從金屬薄板12下面側支持金屬薄板12。該等多數個運送滾子82係配置成越靠近爐主體48之長向中央部越高，而越靠近爐主體48兩端部，即，入口及出口附近越低，而使運送於運送滾子82上之金屬薄板12可運送於該上面側，即，樹脂前驅物P之塗布側呈山形或凸曲線之運送路徑上。又，亦可只於爐主體48之長向中央部設置一支運送滾子82。在本實施例中，金屬薄板12之運送裝置係由前述拉出裝置42、運送滾 子82、及繞緊裝置46所構成。

本實施例可得到與前述實施例一樣的效果。又，由於本實施例係在藉由前述運送裝置於金屬薄板12之上面側形成山形之運送路徑上運送的過程中，對一面塗布有樹脂前驅物P之長形金屬薄板12進行熱處理，因此可在一面側形成山形之狀態下進行熱處理，故可適當地抑制聚醯亞胺樹脂薄膜14與金屬薄板12之間因熱膨脹差所引起之彎曲。

雖然以上已一面參照圖面一面針對本發明作詳細說明，但本發明亦可以別的形態實施，亦可在不脫離本發明之要旨之範圍內添加種種變更。

10‧‧‧二層型可撓性聚醯亞胺金屬積層板

12‧‧‧金屬薄板

14‧‧‧聚醯亞胺樹脂薄膜

16‧‧‧三層型可撓性聚醯亞胺金屬積層板

18‧‧‧黏著劑層

20‧‧‧調整步驟

22‧‧‧塗布步驟

24,32,44‧‧‧捲筒

26‧‧‧塗布裝置

28‧‧‧乾燥步驟

30‧‧‧乾燥裝置

34‧‧‧樹脂前驅物塗布步驟

35‧‧‧樹脂前驅物塗布裝置

36‧‧‧熱處理步驟

40‧‧‧熱處理裝置

42‧‧‧拉出裝置

46‧‧‧繞緊裝置

48‧‧‧爐主體

50‧‧‧冷卻裝置

51‧‧‧爐壁

52‧‧‧加熱板

54‧‧‧板主體

56‧‧‧遠紅外線放射體層

58‧‧‧電加熱器

60‧‧‧通氣道

62‧‧‧噴射孔

64‧‧‧排氣空間

66‧‧‧排氣管

68‧‧‧中央空間

70‧‧‧溫度調節裝置

80‧‧‧其他例之熱處理裝置

82‧‧‧運送滾子

第1圖係顯示本發明之一實施例之二層型可撓性聚醯亞胺金屬積層板之截面圖。

第2圖係顯示三層型可撓性聚醯亞胺金屬積層板之截面圖。

第3圖係說明前述可撓性聚醯亞胺金屬積層板之製造方法之主要部分的流程圖。

第4圖係顯示塗布裝置與乾燥裝置之圖，又，前述塗布裝置係在製造可撓性聚醯亞胺金屬積層板之前，於金屬薄板之一面連續的塗布流動性樹脂前驅物者，而前述乾燥裝置係用於乾燥已塗布之樹脂前驅物者。

第5圖係顯示用以熱處理塗布於金屬薄板之一面之樹脂前驅物之熱處理裝置。

第6圖係顯示擴大第5圖之熱處理裝置之主要部分之截 面圖。

第7圖係顯示從第6圖之加熱板放射之遠紅外線之光譜。

第8圖係顯示藉第6圖之加熱板加熱之樹脂前驅物及聚醯亞胺樹脂之吸收光譜。

第9圖係顯示當第5圖之熱處理裝置在昇溫時，惰性氣體之置換狀態之時間圖。

第10圖係顯示第5圖之熱處理裝置中，溫度受控制之加熱曲線圖。

第11圖係顯示第5圖之熱處理裝置之加熱曲線與使用熱空氣進行熱處理之習知之熱處理裝置之加熱曲線的比較圖。

第12圖係顯示本發明之其他實施例之熱處理裝置之主要部分之截面圖。

12‧‧‧金屬薄板

20‧‧‧調整步驟

22‧‧‧塗布步驟

28‧‧‧乾燥步驟

34‧‧‧樹脂前驅物塗布步驟

36‧‧‧熱處理步驟

Claims (6)

1. 一種可撓性聚醯亞胺金屬積層板之製造方法，且該可撓性聚醯亞胺金屬積層板係聚醯亞胺樹脂薄膜與金屬薄板相互固著而形成者；其特徵在於：該製造方法包含有：樹脂前驅物塗布步驟，係於前述金屬薄板之一面塗布用以形成前述聚醯亞胺樹脂薄膜之樹脂前驅物；及熱處理步驟，係使用遠紅外線加熱在前述樹脂前驅物塗布步驟中塗布於前述金屬薄板之一面之前述樹脂前驅物，藉此使前述樹脂前驅物產生聚縮合反應，而於前述金屬薄板之一面形成前述聚醯亞胺樹脂薄膜；前述熱處理步驟係使用從可放射遠紅外線之加熱板朝前述金屬薄板之一面放射之熱輻射、及從設於前述加熱板之噴射孔朝前述金屬薄板之一面噴射之惰性氣體，加熱塗布於前述金屬薄板之一面的前述樹脂前驅物者；進一步，前述熱處理步驟係在由用以加熱前述樹脂前驅物之爐主體內之爐壁圍出之空間內，在前述金屬薄板之一面側及另一面側以預定距離間隔來分別配置前述加熱板，藉此形成由前述加熱板圍出之隧道狀中央空間，且在前述中央空間與前述爐壁之間存有排氣空間，而構成簡單的蒙烰爐(muffle)，於此狀態下，一邊將前 述中央空間內以前述惰性氣體置換並一邊加熱前述樹脂前驅物。
2. 如申請專利範圍第1項之可撓性聚醯亞胺金屬積層板之製造方法，其中前述金屬薄板係從業已被捲繞成捲筒狀之狀態拉出之具有預定寬度的長形金屬薄板；又，前述熱處理步驟係在下述過程中進行熱處理者，即：使一面塗布有前述聚醯亞胺樹脂薄膜之樹脂前驅物的長形金屬薄板沿著於前述一面側呈山形之運送路徑朝長向移動的過程。
3. 如申請專利範圍第1或2項之可撓性聚醯亞胺金屬積層板之製造方法，其中前述樹脂前驅物含有藉酸酐與二胺之反應而合成之聚醯胺酸。
4. 一種可撓性聚醯亞胺金屬積層板之製造裝置，且該可撓性聚醯亞胺金屬積層板係聚醯亞胺樹脂薄膜與金屬薄板相互固著而形成者，其特徵在於：該製造裝置包含有：樹脂前驅物塗布裝置，係在前述金屬薄板之一面塗布用以形成前述聚醯亞胺樹脂薄膜之樹脂前驅物者，以及熱處理裝置，該熱處理裝置係使用遠紅外線加熱已藉由前述樹脂前驅物塗布裝置塗布於前述金屬薄板之一面之前述樹脂前驅物，藉此使前述樹脂前驅物產生聚縮合反應，而於前述金屬薄板之一面形成前述聚醯亞胺樹脂薄膜者； 前述熱處理裝置具有：加熱板，係可朝前述金屬薄板之一面放射遠紅外線者；及噴射孔，係設於前述加熱板，用以朝前述金屬薄板之一面噴射惰性氣體者；又，前述熱處理裝置係使用從前述加熱板朝前述金屬薄板之一面放射之熱輻射、及從前述噴射孔朝前述金屬薄板之一面噴射的前述惰性氣體，將已塗布於前述金屬薄板之一面之前述樹脂前驅物加熱者；進一步，前述熱處理裝置具備具有由爐壁圍出之空間之用以加熱前述樹脂前驅物之爐主體，在前述熱處理裝置來說在前述空間內係在前述金屬薄板之一面側及另一面側以預定距離間隔來分別配置前述加熱板，而在由前述加熱板圍出之隧道狀中央空間與前述爐壁之間存有排氣空間，而構成簡單的蒙烰爐，而前述熱處理裝置一邊將前述中央空間內以前述惰性氣體置換並一邊加熱前述樹脂前驅物。
5. 如申請專利範圍第4項之可撓性聚醯亞胺金屬積層板之製造裝置，其中前述金屬薄板係具有預定寬度之長形金屬薄板；又，前述熱處理裝置具有運送裝置，該運送裝置係以配設為呈山形之運送路徑的運送滾子一邊支撐前述長形金屬薄板一邊使其移動，該長形金屬薄板係由業已被捲繞成捲筒之狀態拉出且其一面塗布有前述聚醯亞胺樹脂薄膜之樹脂前驅物質者，並且前述熱處理裝置係於藉前述運送裝置而經由在前述一面側呈山形之運送 路徑運送的過程中，將一面塗布有前述樹脂前驅物之前述長形金屬薄板進行熱處理者。
6. 如申請專利範圍第4或5項之可撓性聚醯亞胺金屬積層板之製造裝置，其中前述樹脂前驅物係含有藉酸酐與二胺之反應而合成之聚醯胺酸者。