TWI399785B - Discharge lamp - Google Patents

Description

放電燈

本發明關於放電燈，特別關於使用改善了真空紫外光之短波長側的透過特性的特定合成石英玻璃作為形成放電容器全體或例如光放射用窗構件等的放電容器的一部分之材料的放電燈。

現在，放射紫外光特別包含真空紫外光之光的放電燈，在各種領域被廣泛的利用中，例如，利用氙準分子燈之液晶用玻璃基板洗浄裝置、或利用重氫燈之真空紫外光領域的分光測定裝置等為眾所皆知。

這些的放電燈之放電容器是藉由具有例如對真空紫外光之光透過性的合成石英玻璃來形成。

在近年，對放射這種真空紫外光之放電燈，被要求以更高輸出來放射例如真空紫外光，對於這種要求，進行改善構成放電容器之合成石英玻璃本身的特性(例如參照專利文獻1~專利文獻3)。

例如，在專利文獻1的特開2005－306650號公報，揭示有將波長165 nm之分光透過率作為65%以上，且以200~10000 wt.ppm的濃度添加氟，並且以未滿5×10¹⁶ 個/cm³ 的比率含有氫分子之合成石英玻璃，並且顯示該合成石英玻璃對放電燈等之利用可能性。

又，在專利文獻2的日本特開2005－310455號公報，記載有：作為形成具有波長200 nm以下的發光光譜之紫外線燈的發光容器的材料，利用波長165 nm之分光透過率為65%以上、氟濃度為200~10000 wt.ppm，且OH基的含有量為10 wt.ppm以下之合成石英玻璃。

且，在專利文獻3的日本特開2001－019450號公報，揭示有：氟濃度為100 ppm以上並且OH基的含有量為100 ppm以下，且，假想温度為1100℃以下之合成石英玻璃。又，在段落0033記載有：當氟濃度超過3000 ppm時，則耐紫外線性降低之情事。且，顯示有：作為放射由紫外光域至真空紫外光域之光的例如低壓水銀燈、準分子燈、重氫燈等的封入管之形成材料之利用可能性。

[專利文獻1]日本特開2005－306650號公報[專利文獻2]日本特開2005－310455號公報[專利文獻3]日本特開2001－019450號公報

但，在使用上述專利文獻1~專利文獻3所記載的合成石英玻璃中的任一者構成放電燈之情況，無法獲得充分的耐紫外光特性。

即，當例如以氙準分子燈為例進行說明，在氙準分子燈之放電容器的內部，氙的準分子放射，波長145 nm~160 nm之合成石英玻璃之紫外吸收端的光也被放射，受到此紫外光吸收端附近的光為形成放電容器之合成石英玻璃所吸收，造成放電容器的温度上昇的結果，合成石英玻璃之紫外吸收端朝長波長側偏移，因此，會產生氙的準分子放射受到合成石英玻璃所吸收的程度更為增加，放電容器的温度更進一步上昇之惡性循環，造成合成石英玻璃的真空紫外光透過特性降低(劣化)。

然後，因真空紫外光透過特性降低(劣化)，造成在放電容器的內部所放射的真空紫外光被形成放電容器之合成石英玻璃所吸收的比率增加，紫外光歪斜的蓄積增大，產生破壊為止的時間(燈壽命)變短之問題產生。

又，短波長領域的真空紫外光的透過率降低的這一件事也為一大問題。

這樣的問題，不僅是氙準分子燈，在放射含有真空紫外光的光之放電燈中也會產生。

本發明是為了解決上述問題而開發完成之發明，其目的在於提供，真空紫外光的放射強度高，且具有充分長的燈壽命之放電燈。

本發明的放電燈是在放電容器的內部放射包含波長190 nm以下的紫外光之光的放電燈，其特徵為：前記放電容器的至少一部分是由氟含有量為7000 wt.ppm以上30000 wt.ppm以下、且假想温度Tf為750℃以上1000℃以下、及OH基的含有量為10 wt.ppm以上30 wt.ppm以下之合成石英玻璃所構成。

在於本發明的放電燈，作為形成前記放電容器之合成石英玻璃，理想為使用氟含有量為10000 wt.ppm以上30000 wt.ppm以下者。

若根據本發明的放電燈的話，形成放電容器的至少一部分之氟含有量及假想温度為被適當化的合成石英玻璃(以下稱為「特定合成石英玻璃」)是該特定合成石英玻璃之紫外吸收端朝短波長側偏移，具有優良之真空紫外光域的紫外光透過特性者，所以，能以充分高的放射強度放射真空紫外光。

並且，藉由特定合成石英玻璃為紫外吸收端朝短波長側偏移者，能夠減低放在電容器的內部所放射的波長190 nm以下的真空紫外光受到形成放電容器之特定合成石英玻璃所吸收的比率，所以，可確實地抑制因真空紫外光的放射造成對特定合成石英玻璃之損傷特別是蓄積紫外光歪斜，其結果，能夠構成耐紫外光特性(紫外線耐久性)高、具有極長的燈壽命者。

又，除了特定合成石英玻璃做成氟含有量及假想温度被適當化者外，且，作成含有特定濃度之OH基，藉此OH基的作用，可更進一步減輕紫外光歪斜，所以，能夠確實地獲得高耐紫外光特性，能夠使放電燈具有更長的燈壽命。

本發明的放電燈是使用氟含有量(濃度)及假想温度被適當化的特定合成石英玻璃，作為形成放電容器全體或例如光放射用窗構件等的放電容器的一部分之材料，改善真空紫外光之短波長側的透過特性的放電燈。以下，以氙準分子燈為例，說明關於本發明。

圖1－A是顯示本發明之氙準分子燈的一例之概略結構之説明用斷面圖，圖1－B是顯示圖1－A所示的氙準分子燈的與放電容器的管軸垂直之剖面的斷面圖。

此氙準分子燈(以下僅稱為「準分子燈」)10是具備有雙重管構造的放電容器11，該放電容器具有由合成石英玻璃所構成的圓筒狀外側管12；在此外側管12內，與其管軸配置於同軸上，且具有較該外側管12的內徑更小的外徑，且由合成石英玻璃所構成的圓筒狀內側管13，外側管12與內側管13在兩端部被熔融接合，外側管12與內側管13之間形成有氣密地封合的環狀放電空間S。由例如金屬網等的導電性材料所構成之網狀外部電極15密接設置於外側管12的外周面，並且由例如鋁板所構成的內部電極16密接設置於內側管13的內周面。又，在放電空間S內，填充有藉由準分子放電形成準分子之作為放電用氣體的氙氣。

在此準分子燈10，例如，利用以高頻電源(未圖示)，將控制成適當大小之高頻電壓施加於外部電極15與內部電極16之間，使得在放電空間S內產生準分子放電，藉由此準分子放電，形成由氙氣(放電用氣體)所產生之準分子，在放電容器11的內部，放射包含波長190 nm以下的真空紫外光之光。

在上述準分子燈10，形成放電容器11之合成石英玻璃為(1)氟含有量為7000 wt.ppm以上30000 wt.ppm以下，且(2)假想温度Tf為750℃以上1000℃以下者。

符合上述(1)及(2)兩個條件之特定合成石英玻璃，是真空紫外光域之紫外吸收端被朝短波長側偏移，成為具有優良之真空紫外光域的紫外光透過特性者，具備有由該特定合成石英玻璃所構成的放電容器11之準分子燈10，能夠以高的放射強度放射真空紫外光，並且具有長的燈壽命。

另外，在合成石英玻璃為未符合上述(1)及(2)至少其中一方的條件之情況，例如，即使合成石英玻璃之氟含有量為上述範圍內之情況，而假想温度Tf為由上述温度範圍偏移之情況，無法構成具有充分高的真空紫外光透過特性及充分高的耐紫外光特性(紫外線耐久性)之準分子燈，即，無法構成具有極長的燈壽命者。

又，在氟含有量為超過30000 wt.ppm之情況，氟析出至放電空間內部，為了使準分子燈在預定的狀態作動，而需要更大的燈電壓、燈輸入，伴隨此，放電容器11的温度上昇，紫外吸收端朝長波長側偏移，造成真空紫外光的放射強度降低，並且容易蓄積因真空紫外光的放射所產生之紫外光歪斜，使燈壽命變短。

在合成石英玻璃之氟含有量符合上述條件(2)之情況即假想温度Tf為750℃以上1000℃以下之情況，理想為10000 wt.ppm以上30000 wt.ppm以下。這樣的合成石英玻璃會成為具有更高的真空紫外光透過特性及更高的耐紫外光特性者，具備有由該特定合成石英玻璃所構成之放電容器的準分子燈10能以高的放射強度放射真空紫外光，並且成為具有更長的燈壽命者。

假想温度Tf為關於玻璃的構造(密度)之指標，為以下述方式所求得的值。

即，首先，例如對與製作燈製作時相同的玻璃管之一部分，進行與燈相同的熱處理，由相互不同的複數個部位，切出各為15 mm正方左右的大小之樣品。

其次，對各樣品之紅外透過光譜，使用例如紅外分光裝置「Magna760」(Nicoket社製)，藉由透過法，在波數2000~4000 cm^－1 的範圍，以分解能2 cm^－1 、波數間隔0.0625 cm^－1 、32次累計進行測定。

求取藉此所獲得的紅外透過光譜資料之波數2260cm^－1 的吸收帶之峰值波數，將各樣品之峰值波數的平均值作為該準分子燈之峰值波數A[cm^－1 ]，由下述數學式算出。

在上述數學式1，Tf為假想温度[℃]，A為峰值波數[cm^－1 ]，α 及β 分別為由下述數學式2所獲得的值，數學式2之F為氟含有量(濃度)[mol%]。

[數學式2] α ＝－7.4611[F] ² ＋108.4737[F]－27.3180β ＝0.0060[F] ² －0.1165[F]＋1.0472

又，在上述準分子燈10，形成放電容器11的特定合成石英玻璃，除了氟含有量及假想温度為適當化以外，且，以30 wt.ppm以下的比率含有OH基為佳。

一般，作為OH基的作用，確認了紫外光歪斜的成長緩和效果及紫外光歪斜的助長效果，但，藉由OH基的含有量為30 wt.ppm以下，可有效地發現紫外光歪斜的成長緩和效果，可使準分子燈10成為更確實地具有預期的燈壽命者。

另外，在OH基的含有量超過30 wt.ppm之情況，準分子燈10的燈壽命比起實質不含有OH基者，反而變短。

上述結構之準分子燈10，例如能以下述方式加以製作。即，首先，藉由將由氟含有量為上述範圍內之合成石英玻璃(原材料)所構成的圓筒狀裸管之兩端部，以外端朝徑方向外側擴展延伸的方式加工成喇叭狀，預先製作構成內側管之圓筒狀內側管構成用裸管，在由與此內側管構成用裸管相同的合成石英玻璃所構成、具有較內側管構成用裸管之外徑更大的內徑、且構成外側管之圓筒狀外側管構成用裸管之內部，插入內側管構成用裸管並配置於同軸上，再利用由管軸方向外方側以例如加熱器等進行加熱，使外側管構成用裸管之內周面與內側管構成用裸管之端部部分的前端面熔著，藉此，製作在外側管12與內側管13之間形成有管狀放電空間S之雙重管構造的燈前驅體。在此，作為放電容器形成材料(原材料)之合成石英玻璃的假想温度TF為未符合上述條件(2)者。其次，將如此所獲得之燈前驅體在例如電氣爐等進行加熱處理後，例如由電氣爐內取出並冷卻，然後，將作為放電用氣體的氙氣封入至燈前驅體之放電空間S內，並且將外部電極15及內部電極16配設於預定的位置，藉此獲得如圖1所示結構的準分子燈10。

在對燈前驅體進行加熱處理之際的加熱處理條件，能夠針對例如形成燈前驅體的合成石英玻璃之作為加熱處理後的目標之假想温度及作為放電容器形成材料之合成石英玻璃(原材料)的假想温度之関係加以設定，由製造燈時的良品率之觀點來看，實際上，加熱温度(電氣爐內的温度)為例如900~1150℃、加熱時間(電氣爐內的保持時間)為例如1~10小時為佳。

又，加熱處理後的燈前驅體之冷卻，能夠藉由停止例如電氣爐的加熱，在該狀態下放置於電氣爐內，或，例如在打開管狀開閉式爐的狀態予以放置來進行。進行這樣的冷卻處理所需之時間(放置時間)，例如為0.5~10小時左右。

因此，若根據上述結構的準分子燈10的話，藉由放電容器11是以氟濃度為7000 wt.ppm以上30000 wt.ppm以下、且假想温度Tf為750℃以上1000℃以下之特定合成石英玻璃所構成，能夠以高的放射強度放射，在放電容器11的內部(放電空間S內)所放射的真空紫外光，並且能獲得極長的燈壽命。此理由如以下所述。

即，亦如上述專利文獻1~專利文獻3所記載，藉由使合成石英玻璃含有氟，可利用Si與F之結合(≡Si－F結合)的作用，適當地切斷Si與O之合成石英玻璃中的不穩定構造(例如結合角歪斜≡Si－O－Si≡結合)，藉此，可獲得緩和了合成石英玻璃中的潛在內部應力，使合成石英玻璃之紫外吸收端朝短波長側偏錫，可提升紫外線透過率之所謂「不穩定構造緩和效果」。但，在上述專利文獻1~專利文獻中的任一者，當合成石英玻璃之氟含有量過多時，則會產生問題。例如在專利文獻3，記載有「在含有氟濃度為超過3000 wt.ppm之情況，會有產生還元型缺陷，造成耐紫外線性降低之虞」，實際上，氟含有量作成未滿3000 wt.ppm。又，在專利文獻1及專利文獻2也同樣地，實際上、氟含有量作成5000 wt.ppm以下。

而在利用含有至今合成石英玻璃所沒有的濃度即7000 wt.ppm以上30000 wt.ppm以下的濃度之氟的合成石英玻璃，若根據本發明，合成石英玻璃，藉由進行加熱處理，使得合成石英玻璃的構造的容易產生，成為密度高之狀態，換言之，假想温度成為較加熱處理前的狀態之假想温度低的750℃以上1000℃以下之狀態(特定合成石英玻璃)，可確實地獲得更高的不穩定構造緩和效果，可使紫外吸收端確實地朝短波長側偏移，成為具有高紫外線透過率者，所以，準分子燈10成為能以高的放射強度放射真空紫外光者。

又，藉由使紫外吸收端朝短波長側偏移，使得在放電容器11的內部所放射的波長190 nm以下的真空紫外光被形成放電容器11的特定合成石英玻璃吸收之比率降低，所以，可確實地抑制因真空紫外光對特定合成石英玻璃所造成之損傷特別是蓄積紫外光歪歪斜，且，可構成耐紫外光特性(紫外線耐久性)高，具有極長的燈壽命者之準分子燈10。

如以上所述，在本發明，在於準分子燈10的製造製程進行加熱處理，至今為止，在製造由合成石英玻璃所構成之物例，如燈的放電容器或各種透鏡等的光學零件時，需要除去加工歪斜(應力)而賦予必要的光學，而進行例如均質化、成形、退火等的熱處理。

但，在本發明之準分子燈10，形成放電容器11之合成石英玻璃為藉由謀求氟含有量及假想温度雙方之適當化者，可獲得上述效果的同時，亦可獲得除去加工歪斜(應力)之除去效果。

因此，若根據本發明的話，能夠以不會與製造以往結構者所需的時間有大差異，且能夠較容易製作具有期望性能之準分子燈10。

以下，說明關於用來確認本發明的效果之實験例。

<實験例1>

[準分子燈的製作]分別使用依據下述表1，以相互不同之含有量(濃度)含有氟的8種類合成石英玻璃(原材料)，形成8個燈前驅體，對各燈前驅體，使用電氣爐，相互地在相同的加熱處理條件進行加熱處理(亦包含冷卻處理)後，將內部電極及外部電極配置於預定位置，並且將氙氣填充於放電空間內，藉此製作如圖1所示的結構之8支準分子燈(「燈1」~「燈8」)。所獲得之準分子燈的具體的結構如以下所述。

[準分子燈的結構]放電容器：外側管之外徑為40 mm，外側管之壁厚為2 mm，內側管之外徑為20 mm，內側管之壁厚為1 mm，發光長度為400 mm，氙氣的封入量為66kPa。

針對如此所獲得之燈1~燈8，分別進行燈壽命實驗，並且測定波長190 nm以下的真空紫外光的放射強度。其結果如下述表1所示。

壽命實驗，使燈在燈電力成為400W之點燈條件下，連續點燈，放電容器產生破損為止的時間作為壽命時間。

放射強度是以光量計，在與燈分離30 mm之位置進行測定。

又，對與構成各燈相同之玻璃管(原材料)的一部分，以與製作燈時的相同條件下進行熱處理，切出3個各自為15 mm正方左右大小之樣品，藉由上述方法測定假想温度Tf。其結果如下述表1所示。

由實験例1的結果確認到，為具備合成石英玻璃的假想温度為800℃左右，以7000 wt.ppm以上30000 wt.ppm以下的比率含有氟之由合成石英玻璃所構成的放電容器之作為本發明之準分子燈的燈3~燈7，均能以高放射強度放射真空紫外光，並且長的燈壽命。在此，也確認到，針對這種雙重管構造的氙準分子燈，被要求例如3000小時以上的燈壽命，這些的燈均可達到這樣的要求。

相對於此，確認到，在合成石英玻璃之氟含有量較7000 wt.ppm少的作為比較用準分子燈之燈1及燈2，在即使進行了加熱處理之情況，無法將假想温度作成1000℃以下，並且，比起燈3~7，真空紫外光的放射強度低，且，無法獲得達到上述要求之燈壽命。

<實験例2>

[準分子燈的製作]除了使用以10500 wt.ppm含有氟，藉由上述方法所測定的假想温度Tf為1350℃之合成石英玻璃(原材料)以外，製作具有與在上述實験例1所製作者相同結構之燈前驅體，使用電氣爐，將各自的燈前驅體以相互不同之加熱温度，進行加熱處理，將加熱處理後的合成石英玻璃的假想温度Tf依據下述表2進行控制，製作5支的準分子燈(「燈5」及「燈9」~「燈12」)。再者，實験例2之燈5為與在實験例1所製作者相同。

針對如此所獲得之燈5及燈9~燈1，與上述實驗例1同樣地進行燈壽命實驗，並且測定波長190 nm以下的真空紫外光的放射強度。其結果如下述表2所示。

又，針對壽命實驗完畢後的各燈，與上述實験例1同樣地，測定假想温度Tf。其結果如下述表2所示。

由實験例2的結果確認到，在具備由以10500 wt.ppm含有氟之合成石英玻璃所構成的放電容器之準分子燈，在形成放電容器之合成石英玻璃的假想温度Tf為750℃以上1000℃以下的本發明之燈5、燈9、燈10及燈11，能以高的放射強度放射真空紫外光，並且可獲得3000小時以上之長燈壽命。

相對於此，也確認到，不受合成石英玻璃為以適當範圍含有氟，而假想温度為超過1000℃之比較用燈12，雖能以高的放射強度放射真空紫外光，但不具有所需之燈壽命者。

再者，雖確認到燈9為可獲得充分高的真空紫外光的放射強度，並且，具有所需之充分長的燈壽命，但，為了製作燈9，而實施200小時以上之長時間的熱處理，在這一點上，並不實用，但，燈5、燈10及燈11，與以往製作準分子燈所需之時間並無大差異，且容易製作。。

又，採用與氟含有量為7000 wt.ppm以上30000 wt.ppm以下的範圍內之上述實験例2所使用者不同之氟含有量的合成石英玻璃(原材料)，製作準分子燈，進行與實験例2相同的實験(真空紫外光的放射強度測定、壽命實驗及假想温度的測定)，確認到，與上述實験例2相同傾向之結果，即，在形成放電容器之合成石英玻璃的假想温度Tf為750℃以上1000℃以下者，能以高的放射強度放射真空紫外光，並且可獲得3000小時以上之長燈壽命。

<實験例3>

[準分子燈的製作]除了使用以10500 wt.ppm的比率含有氟，藉由上述方法所測定到的假想温度為1350℃，而依據下述表3，以相互不同之含有量含有各OH基之6種類的合成石英玻璃(原材料)以外，製作具有與在上述實験例1所製作者相同結構之燈前驅體，使用電氣爐，對各自的燈前驅體，以相互相同的加熱處理條件進行加熱處理，製作本發明之6支準分子燈(「燈5」及「燈13」~「燈17」)。

再者，實験例3之燈5為與實験例1所製作者相同。

針對如此所獲得之燈5及燈13~燈17，與上述實験例1同樣地進行燈壽命實驗，並且測定波長190 nm以下的真空紫外光的放射強度。其結果如下述表3所示。

又，針對壽命實驗完畢後的各燈，與上述實験例1同樣地，測定假想温度Tf。其結果如下述表3所示。

燈5之合成石英玻璃，實際上非為控制OH基的含有量者，而是在作為原材料之合成石英玻璃的製造過程，含有OH基。因此，以此燈5之燈壽命作為基準，比較燈13~燈17之各自的燈壽命時，確認到，針對藉由氟含有量及假想温度被適當化的特定合成石英玻璃，且，使用OH基的含有量為30 wt.ppm以下者所形成有之放電容器的燈13~燈15，比起具備由實質上不具有OH基的合成石英玻璃所構成之放電容器的燈5，可獲得更成的燈壽命。

另外，確認到，在OH基的含有量為超過30 wt.ppm之燈16及燈17，雖能以充分高的放射強度放射真空紫外光，且具有所需的燈壽命(3000小時以上)者，但，實質上比起具備有由不具有OH基之合成石英玻璃所構成的放電容器之燈5，反而造成放射強度降低並且燈壽命變短。

以上，說明了關於本發明的實施形態，但本發明不限於上述實施形態，可進行各種變更。

例如，本發明不限於雙重管構造的氙準分子燈，亦可適用於：例如圖2－A及圖2－B所示之所謂「外－外電極型準分子燈」或如圖3所示的短弧型放電燈等，在放電容器的內部，放射包含波長150 nm以下的真空紫外光的光之放電燈。

亦可如圖2－A及圖2－B所示的準分子燈20，其是具備兩端被氣密地封裝且在內部形成有放電空間S之直管狀放電容器21，在放電容器21的外周面之相互對向的位置，一對外部電極22沿著放電容器21的壁面密接而設置，並且，在放電容器21的內部封裝有藉由準分子放電形成準分子之放電用氣體來構成，放電容器21藉由上述特定合成石英玻璃來構成。

又，亦可如圖3所示的短弧型放電燈30，其具備有由在內部形成有放電空間S的例如橢圓球形狀發光管部32與連續於發光管部32的兩端的桿狀封裝部33所構成之放電容器31，在發光管部32內，陰極34及陽極35被對向配置，並且封入有例如水銀來構成，放電容器31藉由上述特定合成石英玻璃所構成。

若根據上述結構的準分子燈20及短弧型放電燈30的話，任一者均能成為以高的放射強度放射真空紫外光，並且可具有充分的長燈壽命者。

又，放電容器全體不需一定要以特定合成石英玻璃來構成，亦可例如圖4所示，僅重氫燈之光放射用窗構件即放電容器的一部分由特定合成石英玻璃構成者。

此重氫燈40是於在側面具有圓筒狀光放射部42的放電容器41的內部，配設有陰極43、陽極44及電極包圍件45，並且封入有重氫氣體，設置由上述特定合成石英玻璃所構成之窗構件50，以封住光放射部42的開口部。在圖4中，46為陽極供電棒，47為陰極供電棒，48為由絶緣材料所構成之供電棒保持構件，49為電極包圍件支承構件。

藉由這樣的重氫燈40，也能夠成以充分高的放射強度照射真空紫外光，並且具有所需的充分之長燈壽命者。

10．．．準分子燈

11．．．放電容器

12．．．外側管

13．．．內側管

15．．．外部電極

16．．．內部電極

S．．．放電空間

20．．．準分子燈

21．．．放電容器

22．．．外部電極

30．．．短弧型放電燈

31．．．放電容器

32．．．發光管部

33．．．封止部

34．．．陰極

35．．．陽極

40．．．重氫燈

41．．．放電容器

42．．．光放射部

43．．．陰極

44．．．陽極

45．．．電極包圍件

46．．．陽極供電棒

47．．．陰極供電棒

48．．．供電棒保持構件

49．．．電極包圍件支承構件

50．．．窗構件

圖1－A是顯示本發明之氙準分子燈的一例之概略結構之説明用斷面圖。

圖1－B是顯示圖1－A所示的氙準分子燈的與放電容器的管軸垂直之剖面的斷面圖。

圖2－A是顯示本發明之外－外電極型準分子燈的一例之概略結構之説明用斷面圖。

圖2－B是顯示圖2－A所示的外－外電極型準分子燈的與放電容器的管軸垂直之剖面的斷面圖。

圖3是在切開放電容器的一部分之狀態下顯示本發明之短弧型放電燈的一例之概略結構之説明圖。

圖4是顯示本發明之重氫燈的一例之概略結構的説明用斷面圖。

10．．．準分子燈

11．．．放電容器

12．．．外側管

13．．．內側管

15．．．外部電極

16．．．內部電極

S．．．放電空間

Claims (2)

1. 一種放電燈，是在放電容器的內部放射包含波長190 nm以下的紫外光之光的放電燈，其特徵為：前記放電容器的至少一部分是由氟含有量為7000 wt.ppm以上30000 wt.ppm以下、且假想温度Tf為750℃以上1000℃以下且OH基的含有量為30 wt.ppm以下10 wt.ppm以上之合成石英玻璃所構成。
2. 如申請專利範圍第1項之放電燈，其中，作為形成前記放電容器之合成石英玻璃，使用氟含有量為10000 wt.ppm以上30000 wt.ppm以下者。