JP5181729B2 - 放電ランプおよび光放射装置 - Google Patents
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Description
これらの放電ランプにおいては、当該放電ランプを構成する放電容器、あるいは例えば光放射用の窓部材などの放電容器の一部を形成する材料として、一般的に真空紫外光を含む光に対して光透過性を有する材料として知られている合成石英ガラスが広く用いられている。
また、特許文献2には、波長200nm以下の発光スペクトルを有する紫外線ランプの発光容器を形成する材料として、波長165nmにおける分光透過率が65%以上であり、フッ素濃度が200〜10000wt.ppmであり、OH基の含有量が10wt.ppm以下である合成石英ガラスを利用することが記載されている。
また、特許文献3には、フッ素濃度が100ppm以上であると共に、OH基の含有量が100ppm以下であり、さらに仮想温度が1100℃以下である合成石英ガラスが開示されていると共に、紫外域から真空紫外域までの光を放射する、例えば低圧水銀ランプ、エキシマランプ、重水素ランプなどの封入管の形成材料としての利用可能性が示されている。
更に、特許文献4には、少なくとも0.1重量%のフッ素を含有したシリコン・オキシフルオライドガラスに酸素分子を溶解させる製法が開示されていると共に、この製法によって得られるVUV光透過性ガラスを光放射装置の光放射窓の形成材料として用いることが示されている。
このようなフッ素が含有されてなる合成石英ガラスを放電容器の形成材料として用いる場合には、当該合成石英ガラスを成形した成形体においては、その表面近傍のフッ素の存在形態が不安定となることから、当該表面にはエッチング処理が施されている。具体的に、放電容器は、図10に示すように、フッ素が含有されている合成石英ガラス(原材料)よりなるインゴットを作製する過程、インゴットを所期の形状(例えばパイプ状)に成形する過程および成形体の表面にエッチング処理を施す過程をこの順に経ることによって作製される。
ここに、図11のグラフは、厚みが2mmの放電容器(通常の厚みは、1〜2mmとされる。)のものであり、横軸が放電容器の厚み(左端側の「0」の値が外表面を示し、一方、右端側の「2000」の値が内表面を示す。)を示し、縦軸がフッ素の含有量(濃度)および酸素原子の濃度を示す。また、同図において、直線(イ)は、フッ素の含有量(濃度)を示し、直線(ハ)は、酸素原子の濃度を示す。
具体的に、例えばキセノンエキシマランプを例に挙げて説明すると、キセノンエキシマランプにおける放電容器の内部では、キセノンのエキシマ放射として波長145〜160nmという合成石英ガラスにおける紫外吸収端の光も放射されており、この紫外吸収端付近の光が放電容器を形成する合成石英ガラスに吸収されることにより放電容器の温度が上昇する結果、合成石英ガラスにおける紫外吸収端が長波長側にシフトし、これにより、キセノンのエキシマ放射が合成石英ガラスに吸収される程度が更に増加して放電容器の温度が更に上昇する、という悪循環が生じる。
そして、紫外吸収端付近の光が放電容器を形成する合成石英ガラスに吸収され、またこれに起因して放電容器の温度が上昇することにより、当該合成石英ガラスに含有されているフッ素の存在形態が経時的に変化し、光放射強度を安定に維持することができなくなってしまう、という問題がある。
すなわち、放電容器を形成する合成石英ガラス中において、フッ素はSi−F結合を形成することによって存在しているが、当該合成石英ガラスが紫外吸収端付近の光を吸収することにより、放電容器の表面近傍に存在するSi−F結合が解離されてフッ素が遊離し、それに伴ってSi−Si結合が形成されることとなる。そして、このSi−Si結合の存在により、最大吸収波長163nmの吸収帯が生じることとなるため、放電容器の内部において放射される光の一部が当該放電容器を形成する合成石英ガラスに吸収されることによってエキシマランプからの光の出射が阻害され、エキシマランプから出射される光の光量(光放射強度)が減少する、つまり、光放射強度維持特性を低下させる原因となる。 しかも、合成石英ガラス中に存在するSi−Si結合は、紫外線歪を生じさせる原因となる、という問題もある。
また、このような問題は、キセノンエキシマランプに限らず、真空紫外光を含む光を放射する放電ランプにおいても同様に生ずる。更には、放電ランプに限らず、真空紫外光を含む光を放射する放電ランプを光源とし、当該放電ランプからの光を放射するための合成石英ガラス製の光放射窓を備えた構成の光放射装置においても、放電ランプの周囲に近接して配置される光放射窓の部材には、放電ランプから放射される紫外吸収端付近の光が照射され、しかも放電ランプの放電容器からの熱が享受されることから、同様の問題が生じることとなる。
また、本発明の他の目的は、真空紫外光の放射強度が高く、しかも、長期間にわたって高い光放射強度特性を維持することができ、従って優れた耐紫外光特性を有する光放射装置を提供することにある。
前記放電容器の少なくとも一部において、当該放電容器を形成する合成石英ガラス中のフッ素の含有量が7000wt.ppm以上30000wt.ppm以下であり、少なくとも一方の表面において、表層を形成する合成石英ガラス中におけるSi−F結合の濃度が、肉厚中心部を形成する合成石英ガラス中におけるSi−F結合の濃度よりも低く、かつ、当該表面の表層を形成する合成石英ガラス中における酸素分子の濃度が、肉厚中心部を形成する合成石英ガラス中における酸素分子の濃度よりも高いことを特徴とする。
前記少なくとも一方の表面から深さ200μmまでの厚み部分における酸素分子の平均濃度が0.8×1016個/cc以上であることが好ましい。
前記放電容器の少なくとも一部において、当該放電容器を形成する合成石英ガラス中のフッ素の含有量が7000wt.ppm以上30000wt.ppm以下であり、少なくとも一方の表面において、表層を形成する合成石英ガラス中におけるSi−F結合の濃度が、肉厚中心部を形成する合成石英ガラス中におけるSi−F結合の濃度よりも低く、かつ、当該表面の表層を形成する合成石英ガラス中におけるOH基の濃度が、肉厚中心部を形成する合成石英ガラス中におけるOH基の濃度よりも高いことを特徴とする。
前記少なくとも一方の表面から深さ100μmまでの厚み部分におけるOH基の平均濃度が70wt.ppm以上であることが好ましい。
前記光放射窓の少なくとも一部において、当該光放射窓を形成する合成石英ガラス中のフッ素の含有量が7000wt.ppm以上30000wt.ppm以下であり、少なくとも一方の表面において、表層を形成する合成石英ガラス中におけるSi−F結合の濃度が、肉厚中心部を形成する合成石英ガラス中におけるSi−F結合の濃度よりも低く、かつ、当該表面の表層を形成する合成石英ガラス中における酸素分子の濃度が、肉厚中心部を形成する合成石英ガラス中における酸素分子の濃度よりも高いことを特徴とする。
前記少なくとも一方の表面から深さ200μmまでの厚み部分における酸素分子の平均濃度が0.8×1016個/cc以上であることが好ましい。
前記光放射窓の少なくとも一部において、当該光放射窓を形成する合成石英ガラス中のフッ素の含有量が7000wt.ppm以上30000wt.ppm以下であり、少なくとも一方の表面において、表層を形成する合成石英ガラス中におけるSi−F結合の濃度が、肉厚中心部を形成する合成石英ガラス中におけるSi−F結合の濃度よりも低く、かつ、当該表面の表層を形成する合成石英ガラス中におけるOH基の濃度が、肉厚中心部を形成する合成石英ガラス中におけるOH基の濃度よりも高いことを特徴とする。
前記少なくとも一方の表面から深さ100μmまでの厚み部分におけるOH基の平均濃度が70wt.ppm以上であることが好ましい。
従って、本発明の放電ランプによれば、真空紫外光の放射強度が高く、しかも、長期間にわたって高い光放射強度特性を維持することができ、従って、優れた耐紫外光特性を得ることができる。
本発明の放電ランプは、放電容器として、当該放電容器全体あるいは例えば光放射用窓部材などの放電容器の一部を形成する合成石英ガラスのフッ素の含有量(濃度)が適正化され、かつ、その少なくとも一方側の表層において、肉厚中心部との関係から、合成石英ガラス中のSi−F結合の濃度と共に、酸素分子の濃度およびOH基の濃度の少なくともいずれか一方が特定の範囲とされた特定の材質のものが用いられ、真空紫外光における短波長側の透過特性が改善された構成のものである。以下においては、キセノンエキシマランプを例に挙げて本発明について説明する。
このキセノンエキシマランプ(以下、単に「エキシマランプ」ともいう。)20は、合成石英ガラスよりなる円筒状の外側管22と、この外側管22内においてその管軸と同軸上に配置された、当該外側管22の内径より小さい外径を有する、合成石英ガラスよりなる円筒状の内側管23とを有し、外側管22と内側管23とが両端部において溶融接合されて外側管22と内側管23との間に気密に閉塞された環状の放電空間Hが形成されてなる二重管構造の放電容器21が備えられている。
この放電容器21の外側管22には、その外周面に密接して、例えば金網などの導電性材料よりなる網状の第1の電極(以下、「外側電極」ともいう。)24が外側管22の外周面に密接して設けられており、また内側管23には、その内周面に密接して、例えば円筒状(パイプ状)あるいは断面において一部に切欠きを有する概略C字状(樋状)のアルミニウム板よりなる第2の電極(以下、「内側電極」ともいう。)25が設けられている。これらの外部電極24および内側電極25は、例えば高周波電源よりなる電源装置26に接続されている。
そして、放電空間H内には、エキシマ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスであるキセノンガスが充填されている。
この図の例において、内側電極25の形状は、円筒状(パイプ状)である。また、図1において、27は、その製造上、放電容器21にガスを封入する際に使用した排気管の残部である。
本発明に係るエキシマランプ20は、放電容器21が条件(1)および条件(2)と共に、条件(3)または条件(4)のうちの少なくとも一方の条件を満たすものであればよいが、これらの条件(1)〜条件(4)のすべてを満たすものであることが好ましい。
(2)放電容器21において、内表面および外表面の少なくとも一方側の表層を形成する合成石英ガラス中におけるSi−F結合の濃度が、肉厚中心部を形成する合成石英ガラス中におけるSi−F結合の濃度よりも低い。
(3)放電容器21において、前記少なくとも一方側の表層を形成する合成石英ガラス中における酸素分子の濃度が、肉厚中心部を形成する合成石英ガラス中における酸素分子の濃度よりも高い。
(4)放電容器21において、前記少なくとも一方側の表層を形成する合成石英ガラス中におけるOH基の濃度が、肉厚中心部を形成する合成石英ガラス中におけるOH基の濃度よりも高い。
また、「表層」とは、一般的には、放電容器の表面から深さ100μm前後までの領域を示すが、放電容器の全厚み(全肉厚)によって変動するものであるから、本明細書中においては、放電容器の表面から深さ50〜250μmまでの領域と定義する。
その理由は、放電容器21の内部においてキセノンのエキシマ放射として放射される光のうちの紫外吸収端付近の光が当該放電容器21を形成する合成石英ガラスに吸収されることによってSi−F結合からSi−Si結合が形成され、これに起因して合成石英ガラス中におけるSi−Si結合濃度が増加することを抑制することができるからである。
すなわち、放電容器21の一方または両方の表面の表層における、Si−F結合の濃度の小さい部分(以下、「特定表層部」ともいう。)においては、Si−F結合を形成することなく、遊離した状態のフッ素が存在しており、この遊離した状態で存在するフッ素が、光(紫外吸収端付近の光)の作用によってSi−F結合の解離が生じた場合に、その切断されたSi−F結合に基づいて新たにSi−F結合を形成する、「フッ素のリザーバー」としての機能を有しており、その上、光の作用によるSi−F結合の解離が、放電容器21の表面から肉厚中心(内表面側)に向かって進行していくことから、放電容器21の内表面側および外表面側の少なくとも一方の表層に、Si−F結合の濃度の小さい特定表層部を形成し、Si−Si結合の生成源となりうるSi−F結合の濃度を小さくしておくことにより、光の作用によって新たに形成されるSi−Si結合の絶対数を減じることができる。
この図の例においては、特定表層部は、放電容器21の外表面側(具体的には、放電容器21の外側管22の外表面側)において、当該外表面から深さ200μmまでの領域に形成されている。
なお、このエキシマランプ20の放電容器21のような二重管構造などの複雑な形状の放電容器においては、光出射部となる外側管のみに特定表層部が形成されていてもよい。この場合には、放電容器の内側管には、特定表層部が、内表面側および外表面側のいずれか一方側に形成されていてもよく、また両方側に形成されていてもよい。
放電ランプ20において、放電空間H内で発生した波長163nmの光の吸収(放電容器21を形成すぐ合成石英ガラスによる吸収)を抑制するためには、放電容器21における内表面側の表層に、前記特定表層部が形成されていることが理論上好ましい態様として考えられるが、放電容器21の外表面側(外側管22の外表面側)のみに特定表層部が形成されている場合であっても、後述の実験例からも明らかなように、十分な効果が得られる。
その理由は、酸素分子を存在させることにより、光(紫外吸収端付近の光)の作用によってSi−F結合の解離が生じた場合には、Si−O−Si結合が形成され、これによってSi−Si結合の形成が阻害されることとなるため、その結果、Si−Si結合の形成を抑制することができ、Si−F結合から形成されるSi−Si結合の絶対数を減じることができるからである。
また、後述のように、酸素分子を存在させることにより、結果的に、その製造工程において、Si−F結合の濃度を小さくすることに伴って存在することとなったSi−Si結合の濃度を、小さくすることができる。
すなわち、下記の文献(1)〜文献(3)によれば、シリカガラス中に含有(含浸)された酸素分子は、波長1272nmまたは波長765nmの光で励起され、波長1272nmの蛍光を発し、この蛍光強度が酸素分子の濃度(含浸酸素分子量)に比例して強くなることを利用することにより、酸素分子の濃度が明らかな標準サンプルと、酸素分子の濃度を測定すべき試料とのピーク強度比を得、これに基づいて定量することができるとされている。また、この定量の際には、蛍光ピーク強度が試料肉厚方向の積算値であることから、標準サンプルと試料との肉厚比も考慮する必要があることが記載されている。
このような手法における具体的な測定系として、文献(1)〜文献(3)には、Nd:YAGレーザーを励起光源とし、その蛍光をラマン分光分析装置にて測定することが記載されている。また、試料表層の酸素分子濃度を得るためには、以下のような方法を用いる。すなわち、酸素蛍光ピークの強度を、試料表面の深さ200μmの厚み部分をエッチング処理する前後で測定し、酸素蛍光ピークの強度差を得、このピーク強度差がエッチング処理した領域の酸素分子量を反映していることを利用し、エッチング深さに対するピーク強度差をエッチング深さの商を算出することにより、エッチング処理した領域の酸素分子濃度を得る。
文献(2)K.Kajihara,J.Appl.Phys,98,013528(2005)
文献(3)K.Kajihara,J.Appl.Phys,98,013529(2005)
また、特定表面から深さ100μmまでの厚み部分におけるOH基の濃度が1300wt.ppmを超える場合には、放電容器21に失透が生じるおそれがある。
ここに、「仮想温度Tf」とは、ガラス内部の構造を、温度と比容との関係で表される平衡状態の温度で示した場合におけるその平衡温度であり、ガラスの構造(密度)に関する指標を示す。
すなわち、先ず、例えばランプ作製時と同一のガラス管の一部に対してランプと同様の処理を行い、互いに異なる複数箇所から、各々15mm角程度の大きさのサンプルを切り出す。
次いで、各々のサンプルについての赤外透過スペクトルを、例えば赤外分光装置「Magna760」(Nicoket社製)を用いて、透過法により、波数2000〜4000cm-1の範囲を、分解能2cm-1、波数間隔0.0625cm-1、32回積算で測定する。
これにより得られた赤外透過スペクトルデータにおける、波数2260cm-1の吸収帯におけるピーク波数を求め、各々のサンプルについてのピーク波数の平均値を、当該エキシマランプにおけるピーク波数A〔cm-1〕として、次式より算出されるものである。
ここに、図3のフローチャートに係る手法は、少なくとも条件(1)〜条件(3)を満たす放電容器を作製するためのものであり、一方、図4のフローチャートに係る手法は、少なくとも条件(1)、条件(2)および条件(4)を満たす放電容器を作製するためのものである。
なお、図3および図4のフローチャートに係る手法のいずれによっても、内側管23を構成する内側管構成用素管を形成することもできる。
先ず、フッ素の含有量が上記範囲内(条件(1))である合成石英ガラス(原材料)からなるインゴット(円筒状の素管)を作製する。
このインゴットにおいては、当該インゴットを形成する合成石英ガラス中のフッ素の濃度およびSi−F結合の濃度は均一である。
インゴットをパイプ状に成形することにより、パイプ状体を作製する。
このパイプ状体においても、当該パイプ状体を形成する合成石英ガラスに、その厚み方向において、フッ素の濃度およびSi−F結合の濃度のいずれの濃度にも勾配が生じることはほとんどない。
このパイプ成形過程においては、必要に応じて、得られたパイプ状の表面をエッチング処理することもできる。
この表面がエッチング処理されたパイプ状体においても、当該パイプ状体を形成する合成石英ガラス中のフッ素の濃度およびSi−F結合の濃度は均一である(図11参照)。
この熱処理過程においては、パイプ形成過程において最終的に得られたパイプ状体に対して加熱処理を施すことによって外表面側の表層に特定表層部を形成し、これにより、熱処理体を作製する。
その理由は、パイプ形成過程において最終的に得られたパイプ状体を加熱処理することにより、当該パイプ状体を形成する合成石英ガラス中において、表面から中心に向かって順に、Si−F結合のうちの一部(結合が弱いもの)が切断され、このSi−F結合の解離によってフッ素が遊離されると共にSi−Si結合が形成されるためである。
ここに、図5において、横軸が熱処理体の厚み(左端側の「0」の値が外表面を示し、一方、右端側の「2000」の値が内表面を示す。)を示し、縦軸がフッ素の含有量(濃度)、Si−F結合、酸素原子およびSi−Si結合の各々の濃度を示す。また、同図において、直線(イ)は、フッ素の平均濃度、曲線(ロ)は、Si−F結合の濃度、直線(ハ)は、酸素原子の濃度、曲線(ニ)は、Si−Si結合の濃度を示す。
なお、酸素原子の濃度は、例えばSIMS法(Secondary Ion Mass Spectrometry)を用い、熱処理体の厚み方向における酸素分子の濃度分布を得ることによって確認することができる。
加熱処理条件は、例えば加熱温度1100〜1300℃、処理時間3〜30分間である。
ここに、Si−F結合の解離は、加熱温度、処理時間に依存して進行するため、加熱処理の状態を制御(加熱処理条件を調節)することにより、特定表層部を、内表面および外表面のいずれか一方の表面の表層に形成することもでき、また両方の表面の表層に形成することもできる。
この例においては、熱処理体の外表面側の表層においてSi−F結合の濃度が大きく減少して特定表層部が形成されており、また、当該熱処理体の内表面側の表層(特定内表面から深さ50μm未満の深さまでの領域)においても、その程度は小さいが、Si−F結合の濃度が減少している。
この酸素ドープ処理過程においては、熱処理過程において得られた熱処理体に対して酸素ドープ処理を施すことによって酸素分子を導入し、これにより、酸素ドープ処理体を作製する。
なお、図6において、酸素ドープ処理体の外表面側および内表面側の表層において、各々、酸素原子の濃度が大きくなっているが、これによっても、Si−Si結合の濃度が小さくなっていることが示されている。
ここに、図6において、横軸が酸素ドープ処理体の厚み(左端側の「0」の値が外表面を示し、一方、右端側の「2000」の値が内表面を示す。)を示し、縦軸がフッ素の含有量(濃度)、Si−F結合、酸素分子、酸素原子およびSi−Si結合の各々の濃度を示す。また、同図において、直線(イ)は、フッ素の平均濃度を示し、曲線(ロ)は、Si−F結合の濃度、曲線(ハ)は、酸素原子の濃度、曲線(ニ)は、Si−Si結合の濃度、曲線(ホ)は、酸素分子の濃度、直線(ヘ)は、酸素ドープ処理前の酸素原子の濃度を示す。
酸素ドープ処理条件は、例えば酸素圧力(酸素濃度)0.3〜1.5気圧、加熱温度600〜1000℃、処理時間1〜300時間であり、特に加熱温度は750℃であることが好ましい。
この手法は、図3に係る手法と同様にしてインゴット作製過程、パイプ成形過程および熱処理過程をこの順に経ることによって熱処理体を得、この熱処理体に対して、酸素ドープ処理に代えてOH基ドープ処理を施すものである。
このOH基ドープ処理過程においては、加熱処理過程において得られた熱処理体に対してOH基ドープ処理を施すことによってOH基を導入し、これにより、OH基ドープ処理体を作製する。
ここに、図7において、横軸がOH基ドープ処理体の厚み(左端側の「0」の値が外表面を示し、一方、右端側の「2000」の値が内表面を示す。)を示し、縦軸がフッ素の含有量(濃度)、Si−F結合、Si−Si結合およびOH基の各々の濃度を示す。また、同図において、直線(イ)は、フッ素の平均濃度を示し、曲線(ロ)は、Si−F結合の濃度、曲線(ニ)は、Si−Si結合の濃度、曲線(ト)は、OH基の濃度を示す。
OH基ドープ処理条件は、例えば水蒸気濃度10〜80%、加熱温度600〜1000℃、処理時間0.2〜30時間であり、特に加熱温度は750℃であることが好ましい。
ここに、インゴット作製過程、パイプ成形過程、熱処理過程、OH基ドープ処理過程および酸素ドープ処理過程をこの順に経ることによっても、条件(1)〜条件(4)のすべてを満たす放電容器を得ることができる。
図8に、インゴット作製過程、パイプ成形過程、熱処理過程、OH基ドープ処理過程および酸素ドープ処理過程をこの順に経ることによって製造された、厚み2mmの合成石英ガラス製の放電容器(外側管)を形成する合成石英ガラスの組成を示す。この図8において、放電容器(外側管)の外表面側の表面近傍において、OH基ドープ処理体に比してOH基の濃度が小さくなっているが(図7参照)、これは、OH基ドープ処理の後に酸素ドープ処理を施したため、この表面近傍においてSi−OHダングリングボンドのOH基が切断されたためである。
ここに、図8において、横軸が放電容器(外側管)の厚み(左端側の「0」の値が外表面を示し、一方、右端側の「2000」の値が内表面を示す。)を示し、縦軸がフッ素の含有量(濃度)、Si−F結合、酸素分子、酸素原子、Si−Si結合およびOH基の各々の濃度を示す。また、同図において、直線(イ)は、フッ素の平均濃度を示し、曲線(ロ)は、Si−F結合の濃度、曲線(ハ)は、酸素原子の濃度、曲線(ニ)は、Si−Si結合の濃度、曲線(ホ)は、酸素分子の濃度、直線(ヘ)は、酸素ドープ処理前の酸素原子の濃度を示し、曲線(ト)は、OH基の濃度を示す。
すなわち、熱処理過程を経ずに、パイプ成形過程において最終的に得られたパイプ状体に対して酸素ドープ処理またはOH基ドープ処理を施した場合(例えば、図12参照)には、酸素分子および/またはOH基が導入されていても、遊離した状態のフッ素が存在しないことから、徐々にSi−F結合からSi−Si結合が生成され、これに起因して真空紫外光の放射強度の維持率が徐々に低下してしまうこととなる。
このエキシマランプ20において、放電容器21の内部では、キセノンのエキシマ放射として波長145〜160nmという合成石英ガラスにおける紫外吸収端付近の光も放射されており、この紫外吸収端付近の光が放電容器21を形成する合成石英ガラスに吸収されることとなる。
従って、合成石英ガラスにフッ素を含有すること自体によって得られる優れた特性(高紫外線透過率)が、長期間にわたって維持されることとなるため、放電容器21を形成する合成石英ガラスが、紫外吸収端付近の光を吸収することによって当該合成石英ガラスに含有されているフッ素の存在形態が経時的に変化し、これに起因して光放射強度維持特性が低下することを抑制することができる。
本発明の光放射装置は、光源として、波長190nm以下の紫外光を含む光を放電容器の内部で放射する放電ランプが用いられており、この放電ランプからの光を放射するための合成石英ガラス製の光放射窓が備えられてなる構成を有してなるものである。
そして、この本発明の光放射装置においては、光放射窓として、当該光放射窓全体あるいは例えば光放射用部分の部材などの光放射窓の一部を形成する合成石英ガラスのフッ素含有量(濃度)が適正化され、かつ、少なくとも一方側の表層において、肉厚中心部との関係から、合成石英ガラス中のSi−F結合の濃度と共に、酸素分子の濃度およびOH基の濃度の少なくともいずれか一方が特定の範囲とされた特定の材質のものが用いられており、これにより、真空紫外光における短波長側の透過特性の改善が図られている。
また、本発明の光放射装置は、光放射窓が条件(1)および条件(2)と共に、条件(3)または条件(4)のうちの少なくとも一方の条件を満たすものであればよいが、これらの条件(1)〜条件(4)のすべてを満たすものであることが好ましい。
この実験例1は、合成石英ガラス中におけるフッ素の含有量を検討するために行なった。
各々フッ素が下記表1に従って互いに異なる含有量(濃度)で含有された8種類の合成石英ガラス(原材料)を用いて8つの放電容器を形成し、内側電極および外側電極を所定位置に配設すると共にキセノンガスを放電空間内に充填することにより、図1に示す構成を有する8本のエキシマランプ(「ランプ11」〜「ランプ18」)を作製した。
得られたランプ11〜ランプ18は、各々、放電容器の外側管および内側管を構成する放電容器用素管が、大気中において、加熱温度800℃の条件で5時間にわたって加熱処理することによって作製されたものである。また、具体的に、外側管の外径が40mm、外側管の肉厚が2mm、内側管の外径が20mm、内側管の肉厚が1mm、発光長が400mmである放電容器を備え、この放電容器の内部に、キセノンガスが封入量66kPaで封入されてなる構成を有している。
寿命試験は、ランプをランプ電力が400Wとなる点灯条件で連続点灯させて、放電容器が破損するまでの時間を寿命時間とした。
放射強度は、ランプから30mm離れた位置にて光量計により測定した。
ここに、このような二重管構造のキセノンエキシマランプにおいては、例えば3000時間以上のランプ寿命が求められおり、ランプ13〜ランプ17は、このような要請を十分に満足するものであることが確認された。
これに対して、合成石英ガラスにおけるフッ素含有量が7000wt.ppmより少なく、条件(1)を満たさないランプ11およびランプ12は、ランプ13〜17に比して真空紫外光の放射強度が低く、しかも、上記要請を満足するランプ寿命が得られないことが確認された。また、合成石英ガラスにおけるフッ素含有量が30000wt.ppmより多く、条件(1)を満たさないランプ18も、ランプ13〜17に比して真空紫外光の放射強度が低く、しかも、上記要請を満足するランプ寿命が得られないことが確認された。
従って、放電ランプおよび光放射装置においては、放電容器および光放射窓を形成する合成石英ガラスにおけるフッ素の含有量を7000wt.ppm以上30000wt.ppm以下とすることにより、真空紫外光を高い放射強度で放射することができると共に長い使用寿命が得られることが確認された。
この実験例2は、合成石英ガラス中における酸素分子の濃度を検討するために行なった。
フッ素の含有量(濃度)が7000wt.ppmの合成石英ガラス(原材料)を用いて5つの放電容器を形成し、内側電極および外側電極を所定位置に配設すると共にキセノンガスを放電空間内に充填することにより、図1に示す構成を有する4本のエキシマランプ(「ランプ21」〜「ランプ24」)を作製した。
なお、これらのエキシマランプは、実験例1において作製したエキシマランプと同様の具体的構成を有するものである。また、実験例2におけるランプ13は、実験例1で作製したものと同一のものである。
放射強度は、ランプから30mm離れた位置にて光量計により測定した。
また、上記方法により、放電容器の表面から深さ200μmまでの厚み部分および肉厚中心部の各々を形成する合成石英ガラス中の酸素分子の平均濃度を確認した。結果を下記表2に示す。
更に、各エキシマランプについて、上記実験例1と同様にして、肉厚中心における仮想温度Tfを測定した。結果を下記表2に示す。
なお、この実験例においては、加熱処理することによってSi−F結合濃度の低下が顕著であった(ランプ21〜ランプ24に係る結果を参照)外表面側(外側管の外表面側)の測定値のみを代表例として示す。
これに対して、合成石英ガラスがフッ素を適正な範囲で含有し、また放電容器の一部の少なくとも一方の表面における表層(具体的に、外側管の外表面側の表層)に係るSi−F結合の濃度が適正であるにも拘らず、当該表層および肉厚中心部における酸素分子の濃度が同等であって条件(3)を満たさず、かつ特定の厚み部分に係る酸素分子の平均濃度が0.8×1016個/cc未満である、ランプ13は、十分な真空紫外光の放射強度維持率を有さないことが確認された。
なお、ランプ21は、十分に高い真空紫外光の放射強度維持率を有するものであることが確認されたが、仮想温度が660℃と低いことから、このランプ21を作製するために200時間以上もの長い時間の酸素ドープ処理を施すことが必要とされた。
従って、放電ランプおよび光放射装置においては、放電容器および光放射窓を形成する合成石英ガラスにおける酸素分子の平均濃度を0.8×1016個/cc以上とすることにより、確実に所望の効果が得られることが確認された。
また、工業的観点から、仮想温度を700℃以上930℃以下とすることが好ましいことが確認された。
この実験例3は、合成石英ガラス中におけるSi−F結合の濃度と、酸素分子の濃度との関係を検討するために行なった。
フッ素の含有量(濃度)が10500wt.ppmまたは8000wt.ppmであって、上記方法により測定される仮想温度が表3に示す値である合成石英ガラス(原材料)を用いて4つの放電容器を形成し、内側電極および外側電極を所定位置に配設すると共にキセノンガスを放電空間内に充填することにより、図1に示す構成を有する4本のエキシマランプ(「ランプ31」〜「ランプ34」)を作製した。
また、ランプ32〜ランプ34は、各々、放電容器の外側管を構成する外側管構成用素管が、適宜の条件で加熱処理した後、酸素ドープ処理(酸素ドープ処理条件:酸素圧力1気圧、加熱温度800℃、処理時間5時間)することによって作製されたものである。
なお、これらのエキシマランプは、実験例1において作製したエキシマランプと同様の具体的構成を有するものである。また、実験例3におけるランプ15は、実験例1で作製したものと同一のものであり、放電容器の両方の表面の表層を形成する合成石英ガラスのSi−F結合の濃度および酸素分子の濃度が肉厚中心部と同等であるものである。
また、実験例2と同様にして、放電容器の表面から深さ200μmまでの厚み部分および肉厚中心部の各々を形成する合成石英ガラス中の酸素分子の平均濃度を確認した。結果を下記表3に示す。
更に、各ランプについて、上記実験例1と同様にして、肉厚中心における仮想温度Tfを測定した。結果を下記表3に示す。
なお、この実験例においては、加熱処理することによってSi−F結合濃度の低下が顕著であった(ランプ31〜ランプ34に係る結果を参照)外表面側(外側管の外表面側)の測定値のみを代表例として示す。
これに対して、合成石英ガラスがフッ素を適正な範囲で含有したものであるにも拘らず、放電容器の両方の表面の表層および肉厚中心部の各々における、Si−F結合の濃度および酸素分子の濃度が共に同等であって条件(2)および条件(3)を満たさず、かつ特定の厚み部分に係る酸素分子の平均濃度が0.8×1016個/cc未満であるランプ15は、十分な真空紫外光の放射強度維持率を有さないことが確認された。
また、合成石英ガラスがフッ素を適正な範囲で含有し、また放電容器の一部の少なくとも一方の表面における表層(具体的に、外側管の外表面側の表層)に係る酸素分子の濃度が適正であるにも拘らず、当該表層および肉厚中心の各々におけるSi−F結合の濃度が同等である、条件(2)を満たさないランプ31は、十分な真空紫外光の放射強度維持率を有さないことが確認された。
従って、放電ランプおよび光放射装置においては、放電ランプおよび光放射装置においては、放電容器および光放射窓の少なくとも一方の表面の表層を形成する合成石英ガラス中に酸素分子と共に、遊離した状態のフッ素が存在することにより、所望の効果が得られることが確認された。
すなわち、両方の表面において、表層を形成する合成石英ガラス中に遊離した状態のフッ素が存在せず、酸素分子が存在することのみによっては、光放射強度維持特性の低下を十分に抑制することができない。
また、熱処理過程を経ずに、酸素ドープ処理を施した場合には、酸素分子を導入することができても、遊離した状態のフッ素を存在させることができないことが確認された。
この実験例4は、合成石英ガラス中におけるOH基の濃度を検討するために行なった。
フッ素の含有量(濃度)が10500wt.ppmの合成石英ガラス(原材料)を用いて9つの放電容器を形成し、内側電極および外側電極を所定位置に配設すると共にキセノンガスを放電空間内に充填することにより、図1に示す構成を有する9本のエキシマランプ(「ランプ41」〜「ランプ48」)を作製した。
また、ランプ42は、放電容器の外側管を構成する外側管構成用素管が、前記ランプ41およびランプ44の作製方法と同様にして原料からインゴットを形成してパイプ状体を得、このパイプ状体を加熱処理して仮想温度Tfを整えた後、ドライ大気中において、加熱温度650℃の条件で200時間にわたって加熱処理し、その後、表4に示すOH基ドープ処理条件によってOH基ドープ処理することによって作製されたものである。
また、ランプ43は、放電容器の外側管を構成する外側管構成用素管が、前記ランプ41およびランプ44の作製方法と同様にして原料からインゴットを形成してパイプ状体を得、このパイプ状体を加熱処理して仮想温度Tfを整えた後、ドライ大気中において、加熱温度780℃の条件で5時間にわたって加熱処理し、その後、表4に示すOH基ドープ処理条件によってOH基ドープ処理することによって作製されたものである。
また、ランプ45〜ランプ48は、各々、放電容器の外側管を構成する外側管構成用素管が、前記ランプ41およびランプ44の作製方法と同様にして原料からインゴットを形成してパイプ状体を得、このパイプ状体を加熱処理した後、表4に示すOH基ドープ処理条件によってOH基ドープ処理することによって作製されたものである。
なお、これらのエキシマランプは、実験例1において作製したエキシマランプと同様の具体的構成を有するものである。また、実験例4におけるランプ15は、実験例1で作製したものと同一のものである。
また、FTIR法(フーリエ変換型赤外分光法)により、放電容器の表面から深さ100μmまでの厚み部分および肉厚中心部の各々を形成する合成石英ガラス中のOH基の平均濃度を確認した。結果を下記表4に示す。
更に、各ランプについて、上記実験例1と同様にして、肉厚中心における仮想温度Tfを測定した。結果を下記表4に示す。
なお、この実験例においては、加熱処理することによってSi−F結合濃度の低下が顕著であった(41〜ランプ48に係る結果を参照)外表面側(外側管の外表面側)の測定値のみを代表例として示す。
これに対して、合成石英ガラスがフッ素を適正な範囲で含有したものであるにも拘らず、放電容器の両方の表面の表層および肉厚中心部の各々における、Si−F結合の濃度およびOH基の濃度が共に同等であって条件(2)および条件(4)を満たさず、かつ特定の厚み部分に係るOH基の平均濃度が70wt.ppm未満であるランプ15は、十分な真空紫外光の放射強度維持率を有さないことが確認された。
従って、放電ランプおよび光放射装置においては、放電容器および光放射窓を形成する合成石英ガラスにおけるOH基の平均濃度を70wt.ppm以上とすることにより、確実に所望の効果が得られることが確認された。
この実験例5は、インゴット作製過程、パイプ成形過程および熱処理過程をこの順に経た後、酸素ドープ処理およびOH基ドープ処理を施す、すなわちインゴット作製過程、パイプ成形過程、熱処理過程、酸素ドープ処理過程およびOH基ドープ処理過程のすべてを経ることによって得られる放電容器の材質および特性を確認するために行なった。
フッ素の含有量(濃度)が10500wt.ppmの合成石英ガラス(原材料)を用いて7つの放電容器を形成し、内側電極および外側電極を所定位置に配設すると共にキセノンガスを放電空間内に充填することにより、図1に示す構成を有する7本のエキシマランプ(「ランプ51」〜「ランプ57」)を作製した。
また、ランプ56は、放電容器の外側管を構成する外側管構成用素管が、原材料である合成石英ガラスからなるインゴットを形成し、このインゴットを成形することによってパイプ状体を得、このパイプ状体を円筒状の加熱炉と用いて適宜の条件で加熱処理した後、大気中において、加熱温度750℃の条件で5時間にわたって加熱処理し、その後、先ず、酸素分子ドープ処理(酸素ドープ処理条件:酸素圧力1気圧、加熱温度750℃、処理時間25時間)し、次いで、OH基ドープ処理(OH基ドープ処理条件:不活性ガス(窒素ガス)圧力1気圧、水蒸気濃度10%、加熱温度750℃、処理時間2時間)することによって作製されたものである。
また、ランプ57は、放電容器の外側管を構成する外側管構成用素管が、原材料である合成石英ガラスからなるインゴットを形成し、このインゴットを成形することによってパイプ状体を得、このパイプ状体を円筒状の加熱炉と用いて適宜の条件で加熱処理した後、大気中において、加熱温度750℃の条件で5時間にわたって加熱処理し、その後、先ずOH基ドープ処理(OH基ドープ処理条件:不活性ガス(窒素ガス)圧力1気圧、水蒸気濃度10%、加熱温度750℃、処理時間2.5時間)し、その後、酸素分子ドープ処理(酸素ドープ処理条件:酸素圧力1気圧、加熱温度750℃、処理時間25時間)することによって作製されたものである。
なお、これらのエキシマランプは、実験例1において作製したエキシマランプと同様の具体的構成を有するものである。また、いすれのランプの製造工程においても、円筒状の加熱炉を用いた加熱処理は、加熱温度の条件が1100〜1300℃の範囲、処理時間が3〜30分間の範囲の条件によって行なった。
また、実験例2と同様にして、放電容器の表面から深さ200μmまでの厚み部分および肉厚中心部の各々を形成する合成石英ガラス中の酸素分子の平均濃度を確認すると共に、実験例4と同様にして、放電容器の表面から深さ100μmまでの厚み部分および肉厚中心部の各々を形成する合成石英ガラス中のOH基の平均濃度を確認した。結果を下記表5に示す。
更に、各ランプについて、上記実験例1と同様にして、肉厚中心における仮想温度Tfを測定した。結果を下記表5に示す。
なお、この実験例においては、加熱処理することによってSi−F結合濃度の低下が顕著であった外表面側(外側管の外表面側)の測定値のみを代表例として示す。
また、放電容器の製造工程において、インゴット作製過程、パイプ成形過程および熱処理過程をこの順に経た後、酸素ドープ処理およびOH基ドープ処理を共に施した場合には、条件(1)〜条件(4)のすべての条件を満たす放電容器が得られることが確認された。
また、インゴット作製過程、パイプ成形過程および熱処理過程をこの順に経た後であれば、酸素ドープ処理およびOH基ドープ処理を同時に施しても、また、個別に、いずれの処理を先に施した場合にも、条件(1)〜条件(4)のすべての条件を満たす放電容器が得られることが確認された。
例えば、本発明の放電ランプは、キセノンエキシマランプに限らず、真空紫外光を含む光を放射する放電ランプであればよく、また、放電容器の一部が特定の材質を有するもの(例えば、二重管構造を有する放電容器の外側管のみが特定の材質のもの、および光放射用の窓部材のみが特定の材質のものなど)であってもよいが、勿論、放電容器全体が特定の材質を有するものであってもよい。
フッ素の含有量(濃度)が7000wt.ppmの合成石英ガラス(原材料)を用いて放電容器を形成し、内側電極および外側電極を所定位置に配設すると共にキセノンガスを放電空間内に充填することにより、図1に示す構成を有するエキシマランプ(以下、「放電ランプ(A)」ともいう。)を作製した。
この放電ランプ(A)は、放電容器の外側管を構成する外側管構成用素管が、図3のフローチャートに従って作製されたものであり、実験例2におけるランプ24と同様のものである。
フッ素の含有量(濃度)が10500wt.ppmの合成石英ガラス(原材料)を用いて放電容器を形成し、内側電極および外側電極を所定位置に配設すると共にキセノンガスを放電空間内に充填することにより、図1に示す構成を有するエキシマランプ(以下、「放電ランプ(B)」ともいう。)を作製した。
この放電ランプ(B)は、放電容器の外側管を構成する外側管構成用素管が、図4のフローチャートに従って作製されたものであり、実験例4におけるランプ47と同様のものである。
実施例2において、OH基ドープ処理の後、更に酸素ドープ処理を施したこと以外は当該実施例2と同様にしてエキシマランプ(以下、「放電ランプ(C)」ともいう。)を作製した。
この放電ランプ(C)は、実験例5におけるランプ55と同様のものである。
フッ素の含有量(濃度)が7000wt.ppmの合成石英ガラス(原材料)を用いて放電容器を形成し、内側電極および外側電極を所定位置に配設すると共にキセノンガスを放電空間内に充填することにより、図1に示す構成を有するエキシマランプ(以下、「比較用放電ランプ(A)」ともいう。)を作製した。
この比較用放電ランプ(A)は、放電容器の外側管を構成する外側管構成用素管が、図10のフローチャートに従って作製されたものであり、放電容器の外側管が図11に示す組成を有するものである。
また、条件(1)〜条件(3)を満たすことによっては、高い光放射強度および光放射強度維持特性が得られ、また、条件(1)、条件(2)および条件(4)を満たすことによっては、条件(1)〜条件(3)を満たす場合に比してより一層高い光放射強度および光放射強度維持特性が得られることが確認された。
更に、条件(1)〜条件(4)のすべての条件を満たすことによっては、更に高い光放射強度維持特性が得られることが確認された。
21 放電容器
22 外側管
23 内側管
24 外側電極
25 内側電極
26 電源装置
27 排気管の残部
H 放電空間
Claims (8)
- 合成石英ガラス製の放電容器を具備し、波長190nm以下の紫外光を含む光を放電容器の内部で放射する放電ランプにおいて、
前記放電容器の少なくとも一部において、当該放電容器を形成する合成石英ガラス中のフッ素の含有量が7000wt.ppm以上30000wt.ppm以下であり、少なくとも一方の表面において、表層を形成する合成石英ガラス中におけるSi−F結合の濃度が、肉厚中心部を形成する合成石英ガラス中におけるSi−F結合の濃度よりも低く、かつ、当該表面の表層を形成する合成石英ガラス中における酸素分子の濃度が、肉厚中心部を形成する合成石英ガラス中における酸素分子の濃度よりも高いことを特徴とする放電ランプ。 - 放電容器における前記少なくとも一方の表面の表層において、当該表層を形成する合成石英ガラス中におけるSi−F結合の濃度が、肉厚中心部側から当該表面に向かう厚み方向に変化しており、
前記少なくとも一方の表面から深さ200μmまでの厚み部分における酸素分子の平均濃度が0.8×1016個/cc以上であることを特徴とする請求項1に記載の放電ランプ。 - 合成石英ガラス製の放電容器を具備し、波長190nm以下の紫外光を含む光を放電容器の内部で放射する放電ランプにおいて、
前記放電容器の少なくとも一部において、当該放電容器を形成する合成石英ガラス中のフッ素の含有量が7000wt.ppm以上30000wt.ppm以下であり、少なくとも一方の表面において、表層を形成する合成石英ガラス中におけるSi−F結合の濃度が、肉厚中心部を形成する合成石英ガラス中におけるSi−F結合の濃度よりも低く、かつ、当該表面の表層を形成する合成石英ガラス中におけるOH基の濃度が、肉厚中心部を形成する合成石英ガラス中におけるOH基の濃度よりも高いことを特徴とする放電ランプ。 - 放電容器における前記少なくとも一方の表面の表層において、当該表層を形成する合成石英ガラス中におけるSi−F結合の濃度が、肉厚中心部側から当該表面に向かう厚み方向に変化しており、
前記少なくとも一方の表面から深さ100μmまでの厚み部分におけるOH基の平均濃度が70wt.ppm以上であることを特徴とする請求項3に記載の放電ランプ。 - 波長190nm以下の紫外光を含む光を放電容器の内部で放射する放電ランプを具備し、当該放電ランプからの光を放射するための合成石英ガラス製の光放射窓を備えた光放射装置において、
前記光放射窓の少なくとも一部において、当該光放射窓を形成する合成石英ガラス中のフッ素の含有量が7000wt.ppm以上30000wt.ppm以下であり、少なくとも一方の表面において、表層を形成する合成石英ガラス中におけるSi−F結合の濃度が、肉厚中心部を形成する合成石英ガラス中におけるSi−F結合の濃度よりも低く、かつ、当該表面の表層を形成する合成石英ガラス中における酸素分子の濃度が、肉厚中心部を形成する合成石英ガラス中における酸素分子の濃度よりも高いことを特徴とする光放射装置。 - 光放射窓における前記少なくとも一方の表面の表層において、当該表層を形成する合成石英ガラス中におけるSi−F結合の濃度が、肉厚中心部側から当該表面に向かう厚み方向に変化しており、
前記少なくとも一方の表面から深さ200μmまでの厚み部分における酸素分子の平均濃度が0.8×1016個/cc以上であることを特徴とする請求項5に記載の光放射装置。 - 波長190nm以下の紫外光を含む光を放電容器の内部で放射する放電ランプを具備し、当該放電ランプからの光を放射するための合成石英ガラス製の光放射窓を備えた光放射装置において、
前記光放射窓の少なくとも一部において、当該光放射窓を形成する合成石英ガラス中のフッ素の含有量が7000wt.ppm以上30000wt.ppm以下であり、少なくとも一方の表面において、表層を形成する合成石英ガラス中におけるSi−F結合の濃度が、肉厚中心部を形成する合成石英ガラス中におけるSi−F結合の濃度よりも低く、かつ、当該表面の表層を形成する合成石英ガラス中におけるOH基の濃度が、肉厚中心部を形成する合成石英ガラス中におけるOH基の濃度よりも高いことを特徴とする光放射装置。 - 光放射窓における前記少なくとも一方の表面の表層において、当該表層を形成する合成石英ガラス中におけるSi−F結合の濃度が、肉厚中心部側から外表面に向かう厚み方向に変化しており、
前記少なくとも一方の表面から深さ100μmまでの厚み部分におけるOH基の平均濃度が70wt.ppm以上であることを特徴とする請求項7に記載の光放射装置。
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