TWI390335B - The lens trimming mechanism of the probe test device - Google Patents
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Description
本發明為一種鏡頭的微調機構,主要是運用於一種影像感測晶片所使用的探針式測試裝置處。
數位相機或數位攝影機的發展日新月異,所使用的技術包括光學、電機、電子等,在眾多零件之中,影像感測晶片可視為關鍵零件。影像感測晶片製作過程近似於IC晶片模式,一般IC晶片製程相當的繁瑣與耗時,而影像感測晶片更勝於它。為了讓影像感測晶片在生產時,更節省成本、提昇製程速度及產品品質,有些廠商希望能在影像感測晶片製程中的前段測試作業中,提早使用鏡頭(Lens)來輔助測試,模擬實際使用時的感光狀態,藉此提早剃除不良品,讓產品製作過程中達到較佳的經濟效益與品質控制。
目前測試影像感測晶片的測試裝置,有許多不同的探針接觸方式,例如採用懸臂式探針(Cantilever probe)、垂直式探針(Vertical probe)、彈簧式探針(Spring probe)…等,每種不同的測試裝置都會遇到裝配鏡頭組的問題。當積體電路的快速發展,越來越有多種不同的測試型態,探針式測試裝置製作時如無法加入鏡頭組或是不能在其上方做微調時,可能會導致無法於影像感測試晶片測試出光學測試區域,或影像感測晶片無法對光源產生適當的電性反應。因此本發明人則思考設計一種微調機構,讓鏡頭組能完整正確的安裝於測試介面上,並進行相對位置的校正調整。
本發明之主要目的是提供一種探針式測試裝置之鏡頭微調機構,該微調機構主要對鏡頭組的水平方向(如x軸方向、y軸方向)、以及微量的旋轉角度進行調整,另外鏡頭組也能進行焦距位置的校正,藉此滿足測試裝置欲對鏡頭組進行微調的目的。
為達上述之目的,本發明探針式測試置主要包括有電路板、鏡頭座、支撐單元、以及複數探針。該支撐單元用以固定著複數探針與前述電路板的相對位置,並使複數探針與電路板相電性連接。而微調機構則是由支撐單元之承載座與鏡頭座所構成。該鏡頭座處具有至少為一之鏡頭組。該鏡頭座垂直方向具有複數個固定件,而周圍環壁的水平方向則具有複數個微調件。該承載座能供前述鏡頭座設置其上,該鏡頭座的微調件在調整時則能頂掣於承載座的側壁,使整個鏡頭座的位置偏移,以進行位置的調整,而固定件則能鎖固於與承載座處,作為微調後的固定之用。
茲配合下列圖示、實施例之詳細說明及申請專利範圍,將上述及本創作之其他目的與優點詳述於後。
如第一圖所示,為本發明探針式測試裝置之鏡頭組微調機構的剖面圖。本發明之探針式測試裝置主要包括有一電路板1、一鏡頭座2、一支撐單元3、以及複數探針4。該支撐單元3能固定著該探針4及電路板1,並使探針4與該電路板1上的線路相電性連接。在本實施例中該探針4為懸臂式探針型式,但並不以此為限,例如探針也可為垂直式探針、彈簧式探針,但此時該支撐單元3的結構也會相對改變。
本發明之微調機構主要是由該支撐單元3之承載座31與該鏡頭座2所構成。以下就各構件的結構作一詳細的描述。如第一及二圖所示,該鏡頭座2處具有至少為一個的鏡頭組21,該鏡頭組21是由數透鏡(圖中未畫出)所構成的圓筒狀結構。在本實施單一鏡頭座2處具有八個鏡頭組21設置於此,如此一次能進行多個影像感測晶片的測試。該鏡頭座2垂直方向具有複數個固定件22,該固定件22為一固定螺絲,位置平均分配合於接近圓周邊緣處。該鏡頭座2周圍形成有未封閉的環壁24,在環壁24的部份區段的水平方向則具有複數個微調件25,該微調件25為一螺絲,該複數微調件25是在分佈於環壁24各個不同方向的牆壁處。該微調件25採可拆卸式,當調整後即可拆下。該鏡頭座2處對應每個鏡頭
組21的位置處是提供一螺紋孔26與之配合,使得鏡頭組21能進行焦距位置(圖中的垂直方向)的調整。
該支撐單元3主要包括承載座31、支撐板32及固定物33所構成。該支撐板32位於電路板1上面,該承載座31與電路板1皆以螺絲鎖固方式固定於支撐板32下面。該固定物33為黏著劑,能使探針4固定於該承載座31底部。前述結構主要是依探針4型式而為相對的設計,例如本實施是使用懸臂式探針。當探針為不同型式時,該支撐單元3的部份結構也會呈相對的改變。在本發明之特殊處是該承載座31能使該鏡頭座2放置於此,並進行位置的調整。該承載座31處形成有一承載槽310。該承載槽310形狀是配合該鏡頭座2的外型,但尺寸較大。該承載槽310底部並未封閉,當光源於電路板1上方照射時,光線能經鏡頭組21聚焦投射於電路板下方的區域。該承載座31另外具有複數螺絲孔311,位置及數目是對應該固定件22。
如第三、四圖所示,為本發明之俯視圖及調整時之剖面圖。本發明為一種微調機構,因此圖中所呈現的間隙並非很大,實際上僅幾拾μm的範圍。本發明微調機構主要對鏡頭座的水平方向(如x軸方向、y軸方向及斜向)、以及微量的旋轉角度θ進行調整,調整後連帶著也會改變鏡頭組21的位置。該鏡頭座2是設置於該承載座31之容置槽310內,欲進行水平方向的調整時,僅旋轉鏡頭座2上單一方向的微調件25,使單一方向的各微調件25皆頂掣於承載座31的側壁,即能鏡頭座2產生單向的偏移。如果要使鏡頭座2產生微量的旋轉角度θ,則將部份微調件25旋轉伸出,部份縮回,就能產生旋轉的效果。當微調完成後,再將固定件22鎖固於承載座31之螺絲孔311處(如第一圖所示),即可固定該鏡頭座2與承載座31的相對位置。之後該微調件25就可直接拆缷取下。
綜合以上所述,本發明是提供一種探針式測試裝置之鏡頭微調機構,滿足探針式試裝置欲對鏡頭組進行微調的目的。
惟,以上所述者,僅為本創作之列舉實施例而已,當不能以此限定本創作實施之範圍。即大凡依本創作申請專利範圍所作之均等變化與修飾,皆應仍屬本創作專利涵蓋之範圍內。
1...電路板
2...鏡頭座
21...鏡頭組
22...固定件
24...環壁
25...微調件
3...支撐單元
31...承載座
310...承載槽
311...螺絲孔
32...支撐板
33...固定物
4...探針
第一圖為本發明之剖面圖,但在圖中的鏡頭組並未以剖面方式表示;
第二圖為本發明之承載座與鏡頭座之立體圖;
第三圖為本發明之承載座與鏡頭座的俯視圖;
第四圖為本發明進行微調時之剖面示意圖。
2...鏡頭座
21...鏡頭組
22...固定件
24...環壁
25...微調件
31...承載座
Claims (7)
- 一種探針式測試裝置之鏡頭微調機構,包含有電路板、鏡頭座、支撐單元、以及複數探針,該支撐單元固定著複數探針與前述電路板的位置,並使複數探針與電路板相電性連接,其特微在於:該鏡頭座處具有至少為一之鏡頭組設置其上,該鏡頭座上處具有複數個固定件,而周圍環壁處則具有複數個微調件;以及該支撐單元另外具有一承載座,該承載座能供前述鏡頭座設置於此,當該鏡頭座的微調件被調整時能頂掣於承載座的側壁,使整個鏡頭座的位置偏移,而該固定件則能在微調動作完成後將鏡頭座鎖固於與承載座處。
- 如申請專利範圍第1項所述之探針式測試裝置之鏡頭微調機構,其中該微調件為螺絲,該微調件為可拆卸式,能在微調動作完成後及且鏡頭座位置鎖固後即拆卸。
- 如申請專利範圍第1項所述之探針式測試裝置之鏡頭微調機構,其中該固定件為固定螺絲,而該承載座的相對位置也具有相對數目的螺絲孔,使固定件能將鏡頭座鎖固於與承載座處。
- 如申請專利範圍第1項所述之探針式測試裝置之鏡頭微調機構,其中該複數微調件是採水平方向分佈於該環壁各個不同方向的牆壁處。
- 如申請專利範圍第1項所述之探針式測試裝置之鏡頭微調機構,其中該複數個固定件是以垂直方向設置於鏡頭座處,位置平均分配合於接近圓周邊緣處。
- 如申請專利範圍第1項所述之探針式測試裝置之鏡頭微調機構,其中該鏡頭座處具有數螺紋孔,該螺紋孔能提供該鏡頭組設置於此,並使鏡頭組能進行焦距的微調。
- 如申請專利範圍第1項所述之探針式測試裝置之鏡頭微調機構,其中該承載座處形成有一承載槽,該承載槽形狀是配合該鏡頭座的外型,但尺寸較大,該承載槽底部並未封閉,當光源於電路板上方照射時,光線能經鏡頭組聚焦投射於電路板下方的區域。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW98109779A TWI390335B (zh) | 2009-03-25 | 2009-03-25 | The lens trimming mechanism of the probe test device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW98109779A TWI390335B (zh) | 2009-03-25 | 2009-03-25 | The lens trimming mechanism of the probe test device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201035671A TW201035671A (en) | 2010-10-01 |
TWI390335B true TWI390335B (zh) | 2013-03-21 |
Family
ID=44855942
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW98109779A TWI390335B (zh) | 2009-03-25 | 2009-03-25 | The lens trimming mechanism of the probe test device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
TW (1) | TWI390335B (zh) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5783405B2 (ja) * | 2011-03-29 | 2015-09-24 | カシオ計算機株式会社 | 光源装置及びプロジェクタ並びに光源装置の組込み方法 |
CN104101480B (zh) * | 2013-04-03 | 2017-03-01 | 京元电子股份有限公司 | 阵列式光学检测模块 |
-
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Publication number | Publication date |
---|---|
TW201035671A (en) | 2010-10-01 |
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