TWI385388B - Micro - sensing IC test classification machine - Google Patents

Description

微感測IC測試分類機

本發明係提供一種可使微感測IC執行角度運動測試作業，並利用各裝置之時序搭配作動，而大幅增加測試產能，且立即依測試結果迅速分類收置，以有效提升測試分類收置作業效能之微感測IC測試分類機。

按，微感測IC係廣泛應用於各式電子產品，例如Wii、PS3或iPhone手機等，由於微感測IC應用之產品會執行動態之加速度運動及靜態之旋轉角度運動，目前坊間業者於前段製程之微感測晶片製作完成後，為確保微感測晶片良率及避免後段封裝製程之成本浪費，係於執行後段封裝作業之前，均會對各微感測晶片執行角度運動測試作業，以測試微感測晶片是否受損，而角度運動測試作業係將複數個微感測晶片裝設於電路板上，再將電路板置放定位於探針卡測試機之治具上，並於治具之上方設有一連接測試器之探針卡，該探針卡則具有複數個探針，用以探測微感測晶片，進而治具可帶動複數個微感測晶片作旋轉角度運動之測試，並使探針卡將測試訊號傳輸至測試器，由測試器判斷測試之微感測晶片為良品或不良品，若為不良品，即於微感測晶片或資料庫上標註記號，以先行過濾出不良品之微感測晶片，於微感測晶片執行測試作業完畢後，再將完測之微感測晶片收置容器中，而移載至下一工作站；惟，由於複數個微感測晶片於測試完畢後，並無法直接將各完測之微感測晶片依測試等級而加以自動化分類收置，必須再以人工揀選方式將完測之微感測晶片一一分類收置，以致相當耗費時間，造成降低生產效能之缺失，再者，各微感測晶片於測試完畢後，係進入後段封裝製程，而製作成一微感測IC，由於微感測IC會歷經多道製程，為確保微感測IC之品質，亦必須對封裝後之微感測IC執行角度運動之測試作業以確保品質，但目前業界卻無針對微感測IC測試用之測試分類機，以致無法將各微感測IC作一測試及揀選分類，造成無法確保微感測IC品質之缺失。

故在講求全面自動化及測試品質提升之趨勢下，如何設計一種可對微感測IC執行角度運動測試作業，並立即依測試結果，將微感測IC作一分類收置，而一貫化自動執行測試及分類，以提升作業便利性及產能之微感測IC測試分類機，即為業者致力研發之標的。

本發明之主要目的係提供一種微感測IC測試分類機，其包含設於機台之供料匣、收料匣及空匣，該供料匣係供承置待測之微感測IC，收料匣係供承置不同等級完測之微感測IC，空匣則可接收供料匣處之空料盤或補充收料匣處所需之空料盤，另於機台後端設有角度運動測試裝置，該角度運動測試裝置係可測試微感測IC之旋轉角度運動，並將測試結果傳輸至中央控制單元，一可移動於供、收料匣及角度運動測試裝置間之輸送裝置，其係將待測之微感測IC移載至角度運動測試裝置，並將完測之微感測IC移載至收料匣而分類收置；藉此，可使微感測IC自動化的執行角度運動測試作業，並利用各裝置之時序搭配作動，而大幅增加測試產能，且立即依測試結果迅速分類收置，達到自動化作業以有效提升測試分類收置之效能。

本發明之另一目的係提供一種微感測IC測試分類機，其中，該設於機台後端之角度運動測試裝置係以機座架置傳動軸，於該傳動軸上連結擺臂，而可由第一驅動源帶動傳動軸上之擺臂作第一方向的角度旋轉，再於擺臂上裝設一可由第二驅動源帶動作第二方向角度旋轉之承架，並於該承架上承置具複數個測試座之測試板，進而以二方向的角度旋轉對微感測IC進行角度運動測試，並將待測微感測IC之測試訊號傳輸至測試器，該測試器再將微感測IC之角度運動測試結果傳輸至中央控制單元，由中央控制單元控制各裝置作動揀選分類，進而達到有效確保微感測IC品質之效益。

為使 貴審查委員對本發明作更進一步之瞭解，茲舉一較佳實施例並配合圖式，詳述如后：請參閱第1圖，本發明微感測IC測試分類機係包含設於機台10之供料匣20、第一收料匣30、空匣40及第二收料匣50，該供料匣20係以疊放的方式供承置數盤之待測微感測IC，供料匣20在供料時，可將供料盤21移送至供料區，位於收料區上之各收料盤31則依測試結果分級承裝完測之微感測IC，並於滿載後可移入第一收料匣30內疊放收置，空匣40則可接收供料區處之空料盤或補充良品收料區所需之空料盤，第二收料匣50亦可依測試結果分級承裝完測之微感測IC，另於機台10後端設有角度運動測試裝置60，該角度運動測試裝置60包含有兩組之角度測試機61、62及可作X-Y-Z軸向位移之移料機構63，一輸送裝置70，其包括有第一取放料機構71、載送機構72及第二取放料機構73，第一取放料機構71係設有可作X-Y-Z軸向位移之複數支第一取放器711，而可於供料區之供料盤21上取出待測之微感測IC，並將待測之微感測IC移載至載送機構72，該載送機構72係於角度測試機61、62之前方設有入料載台721及出料載台722，該入料載台721可供第一取放料機構71之第一取放器711置入待測之微感測IC，並將待測之微感測IC載送至角度測試機61處，以供移料機構63之吸嘴631取料，而出料載台722則可供移料機構63之吸嘴631置入完測之微感測IC，並將完測之微感測IC載出角度運動測試裝置60，而第二取放料機構73係設有可作X-Y-Z軸向位移之複數支第二取放器731，該第二取放器731可於出料載台722上取出完測之微感測IC，並依測試結果移載至收料區之收料盤31上或第二收料匣50；另機台10上設有預熱盤80，如測試前有預熱之需求時，第一取放料機構71可先將待測之微感測IC移載至該預熱盤80預熱，再將完成預熱之微感測IC移載至入料載台721，另一料盤傳送機構81，係可將供料區處之空料盤移載至空匣40，或將空匣40上之空料盤補充移載給良品收料區所需之空料盤。

請參閱第1、2、3圖，以角度運動測試裝置60之角度測試機61為例，角度測試機61係以機座611架置傳動軸612，於該傳動軸612上連結有一擺臂613，而可由機座611內之第一驅動源(圖式未示)帶動傳動軸612上之擺臂613作第一方向的角度旋轉，再於擺臂613上裝設一可由第二驅動源(圖式未示)帶動作第二方向角度旋轉之承架614，並於該承架614上承置具複數個測試座615之測試板616，其中，測試板616上之測試座615係可為常閉型測試座或常開型測試座，以本實施例為常開型測試座時，則於承架614上設有一可移動下壓常開型測試座內微感測IC之下壓件617，以於移料機構63之吸嘴631將待測之微感測IC置入測試座615時，直接加以下壓定位微感測IC，若為常閉型測試座時，承架614上可移動下壓之下壓件617，則會先移動下壓開啟常閉型測試座，以供移料機構63之吸嘴631將待測之微感測IC置入常閉型測試座，接著下壓件617移出脫離下壓常閉型測試座後，常閉型測試座即會自動關閉定位微感測IC，無論常閉型測試座或常開型測試座，皆可使微感測IC避免於角度運動測試的過程中自測試座615內脫出，進而角度測試機61可以二個方向的角度旋轉對微感測IC進行角度運動測試，並將待測微感測IC之測試訊號傳輸至測試器，測試器再將微感測IC之角度運動測試結果傳輸至中央控制單元，由中央控制單元控制各裝置作動揀選分類。

請參閱第4圖，本發明於初始狀態時，第一取放料機構71之第一取放器711可作X-Y-Z軸向位移，而於供料區之供料盤21上取出待測之微感測IC90，並移載置入於載送機構72之入料載台721上(如待測之微感測IC90須先行預熱，則第一取放器711先將待測之微感測IC90移載至預熱盤80預熱，再將完成預熱之微感測IC90移載至入料載台721)。

請參閱第5圖，接著載送機構72之入料載台721將待測之微感測IC90載送至角度運動測試裝置60之前方，其移料機構63之吸嘴631即於入料載台721上取出待測之微感測IC90，並將待測之微感測IC90移載至角度測試機61處以便執行角度運動之測試作業。

請參閱第6圖，當該角度測試機61之測試座615(本實施例為常開型測試座)置入待測之微感測IC90後，下壓件617即移動下壓微感測IC90，使微感測IC90穩固的電性接觸於測試座615，第一驅動源並開始驅動擺臂613作第一方向的角度旋轉，以及第二驅動源亦開始帶動承架614作第二方向角度旋轉，而以二個方向的角度旋轉對微感測IC90進行角度運動的測試，待測之微感測IC90之測試訊號將傳輸至測試器，測試器再將微感測IC90之角度運動測試結果傳輸至中央控制單元。

請參閱第7圖，當待測之微感測IC90於角度測試機61上進行角度運動的測試時，第一取放料機構71之第一取放器711將繼續於供料區之供料盤21上取出另一批待測之微感測IC100，並移載置入於載送機構72之入料載台721上，而入料載台721將待測之微感測IC100載送至角度運動測試裝置60之前方；請參閱第8圖，接著移料機構63之吸嘴631即於入料載台721上取出待測之微感測IC100，並將待測之微感測IC100移載至角度測試機62處，以便執行角度運動之測試作業。

請參閱第9圖，當角度測試機61完成微感測IC90之運動測試後，第一驅動源及第二驅動源將帶動承架614旋轉回復至原起始位置，下壓件617並移動脫離下壓測試座615；請參閱第10圖，接著，移料機構63之吸嘴631即於承架614上取出完測之微感測IC90，並將完測之微感測IC90移載至出料載台722上。

請參閱第11圖，當出料載台722上承置完測之微感測IC90後，出料載台722即將該完測之微感測IC90移載出角度運動測試裝置60；請參閱第12圖，接著第二取放料機構73之第二取放器731則於出料載台722上取出完測之微感測IC90，並依據測試結果將完測之微感測IC90移載至第一收料區之收料盤31上或第二收料匣50；在此同時，第一取放料機構71之第一取放器711將繼續於供料區之供料盤21上取出另一批待測之微感測IC110，並再次移載置入於載送機構72之入料載台721上，而入料載台721將待測之微感測IC110載送至角度運動測試裝置60之前方，以供移料機構63之吸嘴631將待測之微感測IC110移載至角度測試機61處，接續執行角度運動之測試作業。

據此，本發明可自動化之對微感測IC進行角度運動之測試，並利用各裝置之時序搭配作動，而大幅增加測試產能，且立即依測試結果迅速分類收置，以有效提升測試分類收置作業效能，實為一深具實用性及進步性之設計，然未見有相同之產品及刊物公開，從而允符發明專利申請要件，爰依法提出申請。

本發明部份：

10．．．機台

20．．．供料匣

21．．．供料盤

30．．．第一收料匣

31．．．收料盤

40．．．空匣

50．．．第二收料匣

60．．．角度運動測試裝置

61．．．角度測試機

611．．．機座

612．．．傳動軸

613．．．擺臂

614．．．承架

615．．．測試座

616．．．測試板

617．．．下壓件

62．．．角度測試機

63．．．移料機構

631．．．吸嘴

70．．．輸送裝置

71．．．第一取放料機構

711．．．第一取放器

72．．．載送機構

721．．．入料載台

722．．．出料載台

73．．．第二取放料機構

731．．．第二取放器

80．．．預熱盤

81．．．料盤傳送機構

90．．．微感測IC

100．．．微感測IC

110．．．微感測IC

第1圖：本發明測試分類機之各裝置配置圖。

第2圖：本發明測試分類機之角度運動測試裝置之示意圖(一)。

第3圖：本發明測試分類機之角度運動測試裝置之示意圖(二)。

第4圖：本發明測試分類機之使用示意圖(一)。

第5圖：本發明測試分類機之使用示意圖(二)。

第6圖：本發明測試分類機之使用示意圖(三)。

第7圖：本發明測試分類機之使用示意圖(四)。

第8圖：本發明測試分類機之使用示意圖(五)。

第9圖：本發明測試分類機之使用示意圖(六)。

第10圖：本發明測試分類機之使用示意圖(七)。

第11圖：本發明測試分類機之使用示意圖(八)。

第12圖：本發明測試分類機之使用示意圖(九)。

10．．．機台

20．．．供料匣

21．．．供料盤

30．．．第一收料匣

31．．．收料盤

40．．．空匣

50．．．第二收料匣

60．．．角度運動測試裝置

61．．．角度測試機

62．．．角度測試機

63．．．移料機構

631．．．吸嘴

70．．．輸送裝置

71．．．第一取放料機構

711．．．第一取放器

72．．．載送機構

721．．．入料載台

722．．．出料載台

73．．．第二取放料機構

731．．．第二取放器

80．．．預熱盤

81．．．料盤傳送機構

Claims (35)

1. 一種微感測IC測試分類機，其包含：機台；供料匣：係設於機台上，並以供料盤承置待測之微感測IC；收料匣：係設於機台上，並以收料盤承置完測之微感測IC；角度運動測試裝置：係設於機台上，並設有具測試座之角度測試機，用以測試微感測IC；輸送裝置：係設於機台上，可移動於供、收料匣及角度運動測試裝置間，以載送供料匣上之待測微感測IC及角度運動測試裝置內之完測微感測IC；中央控制單元：係用以控制及整合各裝置作動，以執行自動化作業。
2. 依申請專利範圍第1項所述之微感測IC測試分類機，其中，該供料匣係以疊放的方式供承置數盤之待測微感測IC，並於供料時可將供料盤移送至供料區。
3. 依申請專利範圍第1項所述之微感測IC測試分類機，其中，該收料匣係具有第一收料匣及第二收料匣，用以承置不同測試結果之完測微感測IC。
4. 依申請專利範圍第3項所述之微感測IC測試分類機，其中，該第一收料匣係可疊放收置由收料區移入之收料盤。
5. 依申請專利範圍第1項所述之微感測IC測試分類機，其中，該角度運動測試裝置係設有可位移取放微感測IC至角度測試機之移料機構。
6. 依申請專利範圍第1項所述之微感測IC測試分類機，其中，該角度運動測試裝置之角度測試機係設有可作角度旋轉之承架，並於該承架上承置具至少一個測試座之測試板，以對微感測IC進行角度運動測試。
7. 依申請專利範圍第6項所述之微感測IC測試分類機，其中，該角度測試機之承架係可作二個方向的角度旋轉，以對微感測IC進行二個方向的角度運動測試。
8. 依申請專利範圍第7項所述之微感測IC測試分類機，其中，該角度測試機係以機座架置傳動軸，於該傳動軸上連結有擺臂，而由機座內之第一驅動源帶動傳動軸上之擺臂作第一方向的角度旋轉，再於擺臂上裝設一可由第二驅動源帶動作第二方向角度旋轉之承架。
9. 依申請專利範圍第6項所述之微感測IC測試分類機，其中，該測試板上之測試座係為常開型測試座。
10. 依申請專利範圍第9項所述之微感測IC測試分類機，其中，該測試板上為常開型測試座，而於承架上另設有一可移動下壓微感測IC之下壓件。
11. 依申請專利範圍第6項所述之微感測IC測試分類機，其中，該測試板上之測試座係為常閉型測試座。
12. 依申請專利範圍第11項所述之微感測IC測試分類機，其中，該測試板上為常閉型測試座，而於承架上另設有一可移動下壓開啟常閉型測試座之下壓件。
13. 依申請專利範圍第1項所述之微感測IC測試分類機，其中，該輸送裝置包括有第一取放料機構、載送機構及第二取放料機構。
14. 依申請專利範圍第13項所述之微感測IC測試分類機，其中，該第一取放料機構係設有可作X-Y-Z軸向位移之複數支第一取放器，而可於供料盤上取出待測之微感測IC，並將待測之微感測IC移載至載送機構。
15. 依申請專利範圍第13項所述之微感測IC測試分類機，其中，該載送機構係設有入料載台及出料載台，該入料載台係載送待測之微感測IC至角度測試機，而出料載台則自角度測試機載出完測之微感測IC。
16. 依申請專利範圍第13項所述之微感測IC測試分類機，其中，該第二取放料機構係設有可作X-Y-Z軸向位移之複數支第二取放器，而可於載送機構上取出完測之微感測IC，並移載至收料盤上。
17. 依申請專利範圍第1項所述之微感測IC測試分類機，更包含於該機台上設有預熱盤，以預熱待測之微感測IC。
18. 依申請專利範圍第1項所述之微感測IC測試分類機，更包含於機台上設有設有空匣，用以收置空料盤，並依需要將空料盤補充於各收料匣用以收料。
19. 依申請專利範圍第18項所述之微感測IC測試分類機，其中，該機台上設有料盤傳送機構，用可傳送移載空料盤至空匣，或將空匣上之空料盤補充移載給第一收料匣所需之空料盤。
20. 一種微感測IC測試分類機，其包含：機台；供料匣：係設於機台上，並以供料盤承置待測之微感測IC；收料匣：係設於機台上，並以收料盤承置完測之微感測IC；角度運動測試裝置：係設於機台上，並設有具測試座之角度測試機，該角度測試機係以具有第一驅動源之機座架置傳動軸，於該傳動軸上連結有可作第一方向角度旋轉之擺臂，再於擺臂上裝設一可由第二驅動源帶動作第二方向角度旋轉之承架，並於該承架上承置具有至少一個測試座之測試板，以使微感測IC進行二個方向的角度運動測試；輸送裝置：係設於機台上，可移動於供、收料匣及角度運動測試裝置間，以載送供料匣上之待測微感測IC及角度運動測試裝置內之完測微感測IC；中央控制單元：係用以控制及整合各裝置作動，以執行自動化作業。
21. 依申請專利範圍第20項所述之微感測IC測試分類機，其中，該供料匣係以疊放的方式供承置數盤之待測微感測IC，並於供料時可將供料盤移送至供料區。
22. 依申請專利範圍第20項所述之微感測IC測試分類機，其中，該收料匣係具有第一收料匣及第二收料匣，用以承置不同測試結果之完測微感測IC。
23. 依申請專利範圍第22項所述之微感測IC測試分類機，其中，該第一收料匣係可疊放收置由收料區移入之收料盤。
24. 依申請專利範圍第20項所述之微感測IC測試分類機，其中，該角度運動測試裝置係設有可位移取放微感測IC至角度測試機之移料機構。
25. 依申請專利範圍第20項所述之微感測IC測試分類機，其中，該測試板上之測試座係為常開型測試座。
26. 依申請專利範圍第25項所述之微感測IC測試分類機，其中，該測試板上為常開型測試座，而於承架上另設有一可移動下壓微感測IC之下壓件。
27. 依申請專利範圍第20項所述之微感測IC測試分類機，其中，該測試板上之測試座係為常閉型測試座。
28. 依申請專利範圍第27項所述之微感測IC測試分類機，其中，該測試板上為常閉型測試座，而於承架上另設有一可移動下壓開啟常閉型測試座之下壓件。
29. 依申請專利範圍第20項所述之微感測IC測試分類機，其中，該輸送裝置包括有第一取放料機構、載送機構及第二取放料機構。
30. 依申請專利範圍第29項所述之微感測IC測試分類機，其中，該第一取放料機構係設有可作X-Y-Z軸向位移之複數支第一取放器，而可於供料盤上取出待測之微感測IC，並將待測之微感測IC移載至載送機構。
31. 依申請專利範圍第29項所述之微感測IC測試分類機，其中，該載送機構係設有入料載台及出料載台，該入料載台係載送待測之微感測IC至角度測試機，而出料載台則自角度測試機載出完測之微感測IC。
32. 依申請專利範圍第29項所述之微感測IC測試分類機，其中，該第二取放料機構係設有可作X-Y-Z軸向位移之複數支第二取放器，而可於載送機構上取出完測之微感測IC，並移載至收料盤上。
33. 依申請專利範圍第20項所述之微感測IC測試分類機，更包含於該機台上設有預熱盤，以預熱待測之微感測IC。
34. 依申請專利範圍第20項所述之微感測IC測試分類機，更包含於機台上設有設有空匣，用以收置空料盤，並依需要將空料盤補充於各收料匣用以收料。
35. 依申請專利範圍第34項所述之微感測IC測試分類機，其中，該機台上設有料盤傳送機構，用可傳送移載空料盤至空匣，或將空匣上之空料盤補充移載給第一收料匣所需之空料盤。