TWI380327B - A flat cable - Google Patents

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九、發明說明： 【發'明所屬之》技销r領域*】 技術領域 本發明係有關於一種扁平式電纜，特別是有關於一種 使用聚四氟乙烯（以下稱為1>丁1?£)片（絕緣帶）或延伸多孔性 聚四氣乙烤（以下稱為EPTFE)片（絕緣帶）作為絕緣體或外 皮之爲平式電纔。 C Λ* 前 标;3 背景技術 迄今’例如’欲電連接半導體製造裝置之步進機之可 動部與固定部時’所使用的是帶狀電纜般的扁平式電纜。 此扁平式電纜因低介電常數之優異電性或耐熱性、耐藥品 性或排氣對策等觀點，使用PTFE片或EPTFE片作為絕緣體 或外皮。此種使用PTFE片或EPTFE片作為絕緣體或外皮之 扁平式電纜’如美國專利第3082292號所示，係將導體或同 軸電纜等傳送線路供應至具有多數溝之附溝壓縮滾筒的各 條溝中，再相互平行地配置該等多數根導體或同轴電纜等 傳送線路，同時將PTFE片或EPTFE片供應至該等被給予之 導體或傳送線路之兩側，並由其兩側以PTFE片或EPTFE片 等薄片（絕緣層或外皮）包覆、夾持，然後，利用高溫燒'成爐 等以327度C以上之燒結溫度燒結導體或傳送線路兩側之 PTFE片或EPTFE片後形成前述之扁平式電纜。 如此形成之扁平式電纜，PTFE片或EPTFE片於高溫燒 成爐燒結之際，會產生種種問題。即，因燒結時PTFE片或 1380327 EPTFE片會產生收縮，因此難以維持扁平式電纜之各導體 間或各傳送線路間的距離（間距）之必要正確性；或因燒結使 PTFE片或EPTFE片變硬，可能因此產生扁平式電纜之自由 彎曲性、可撓性、柔軟性或平滑性變差等問題。 5 又，燒結PTFE片或EPTFE片之際，扁平式電纜因受燒 成爐之高溫影響，若其導體(軟銅)鍍銀或鍍鎳時影響尚小， 若其導體(軟銅)鍍錫時，則導體(軟銅）會變色、且易產生斷 線，可能不堪作為電纜使用。 另，在此種使用PTFE片或EPTFE片作為絕緣體或外皮 10 之帶狀電纜般的扁平式電纜中，若以多數根同軸電纜或多 怒電規並置作為傳送線路以形成爲平式電镜’於面溫燒成 爐燒結PTFE片或EPTFE片時，若使用同軸電纜，則同轴電 纜之中心導體可能會扭曲變形。結果，可能產生耐電壓不 良或特性阻抗不良等電性問題，同時也可能導致容易斷線 15 之問題。 【發明内容】 發明揭示 因此，本發明係鑑於上述各點而作成者，且其目的在 於提供一種即使使用PTFE片或EPTFE片作為帶狀電纜般的 20 扁平式電纜之絕緣體或外皮，依然具有優異自由彎曲性、 可撓性或柔軟性，同時具有良好平滑性之扁平式電纜。 本發明之另一目的在於提供一種之扁平式 電纜，其中即使並置多數根同軸電纜或多芯電纜作為傳送 線路，並以PTFE片或EPTFE片作為扁平式電纜之外皮之情形 6 1380327 下’使用同輪電繞時，同轴電. 二’且不會發生耐電壓不良或特性阻抗不良==變 並且不易產生斷線問題。 不良等-性問題’ 上述本發明之目的，可藉 5成。即，簡h 士心a 〜"之扁千式電境達 包覆'夹持：* 扁平式電纜係由絕緣體或外皮 夹持夕數根並置之導體或傳送線路皮 徵在於：該絕续 偁攻者，其特 稀賴成 由Λ结或找乙 15 20 以連:該絕緣體或外皮係隔著^ 而咏^連^燒結敏合4。又ΤΓ 10境之特^於前述傳送線路係同軸電《多芯電=切 本發明之扁平式電繞係由絕緣體或外皮包覆 ^置之導體或傳送線路而構成者，該絕緣體或外皮二 皮係==堯結之聚四氣乙烯所構成’且該絕緣體或外 人心導體或傳送線路而接合之連接部分燒結並結 此本發明之扁平式電纜無須如迄今之作法一般為 了保持、111定騎式電敎導體或同轴電·料傳送線路’ 而將扁平式電纜全體浸潰高溫燒成爐以燒結全體外皮；僅 湏結可將導體或傳送線路牢固地保持、固定在所定位置 。必要的連結部分，且由於包覆、夾持平坦式電纜之導體 f傳迗線路的全體外皮EPTFE或PTFE—直維持在未燒結或 疋半堍結狀態’燒結時的PTFE片或EPTFE片不會產生收 縮，因此可維持扁平式電纜之各導體間或各傳送線路間的 間距之充分正確性。 直維持 此外’如上所述，因全體外皮EPTFE或PTFE- 7 在未燒結或半燒結狀態，故PTFE>i或EPTFEy也不會因燒 結而變硬’且不會損害EPTFE或PTFE未燒肖或半燒結狀態 下的可撓性、柔軟性或平滑性，可雜扁平式魏良好的 自由^曲性、可撓性、柔軟性或平滑性。如此一來，依此 、斤製作之本發明之扁平式電镜，.因無損EPTFE或PTFE未 认或半燒結狀態下的可撓性、柔軟性或平滑性，故亦可 達成克服習知為半_ 十式電纜之扭捲脆弱性，以發揮優異扭捲 性之效果。 又’使用同輪電境作為傳送線路時，同轴電镜的中心 導體也不會扭曲變形’因此不會產生对電壓不良或特性阻 抗不良等紐問題，也不易產生斷線問題。另外，本發明 電 ，ΒΕΙ 不使用向溫燒成爐’故導體(軟銅）不限於 使用鍍銀或㈣，即使導體(軟銅)麟時，導體(軟銅)也不 易產生4色或斷線，可堪作為電纜使用。 圖式簡單說明 第1圖係本I明 史月之扁平式電纜之較佳貫施型態之概略 部分戴面圖。 弟2圖係作％ 士叙。。 芍本發明之扁平式電纜中所使用之傳送線 路之同軸電纜之截面圖。 第3圖係製作本發明之扁平式電綱之說明圖。 【實施方式】 、下 > 照附圖說明本發明之扁平式電境之較佳實施 型態。 、 苐1圖係本路aH + e &月之扁平式電纜之較佳實施型態之概略 1380327 部分截面圖β 之扁平式電纜中所使用之傳送線 第2圖係作為本發明 路之同軸電纜之截面圖。 第3圖係製作本發明之扁平式電境時之說明圖。 5參照第1圖’其中顯示本發明之扁平式電·賴，且該爲 平式電瘦10具有並置或相互平行扯π 卞订地配置之多數根導體或同 轴電績等傳送線路川此實施樣態中為7根，但不限於該根 數）。5亥4多數根導體或同軸電缦等傳送線路η之兩側（第丄 圖中為上下方向），分別配置有未燒結或半燒結之ptfe片或 10 EPTFE片12a、12b ’用以作為全體之外皮，同時，該等未 燒結或半燒結之外皮12aA 12b隔著導體或同軸電纜等傳送 線路11接合之部分，即連接部分13係燒結外皮12a及12b而 結合者。結果，扁平式電纜10之各導體或各傳送線路11可 由外皮12a及12b加以包覆、夾持，同時，藉由因燒結外皮 15 12a及12b而形成之連接部分13，可將其牢固地保持、固定 於預定位置。 另外，如上述使用同軸電纜作為傳送線路時，如第2 圖所示，該傳送線路11為一同軸電纜，且該同軸電纜之構 成係於由鍍銀高抗張力銅合金等之導體所構成之中心導體 20 21周圍，配置PTFE或四氟乙烯一六氟丙烯共聚物（以下稱為 FEP)等氟樹脂之絕緣體22，並於該絕緣體22周圍設置使用 由複數根鍍錫錫銅合金構成之導線等形成編織構造或橫捲 構造的外部導體23 ’再於該外部導體23周圍包覆由 EPTFE、PTFE或四氟乙烯一六氟丙烯共聚物（以下稱為FEP) 9 等氟樹脂所構成之被覆體24。此外’除了前述同轴電镜之 外’當然也可使用藉由搓擒電線或藉由捆紫成束而形成之 多芯電纜作為傳送線路。 如上所述之扁平式電纜10係依以下方法製作。即 第3圖所示’將多數根導體或傳送線路14 (該實施樣態為7根) 供應至具有多數溝31之附溝壓縮滾筒32與同樣具有多數溝 31之附溝壓縮滾筒33之間的各溝31中，將前述多數根導體 或傳送線路11並置或相互平行排列，而該附溝塵縮滾汽33 如 配置於與該附溝壓縮滾筒32相對之位置且其溝31分別位於 對應該附溝壓縮滾筒32之各溝31位置。接著，從前述導體 或傳送線路11之兩側(在第3圖中為上下方向），分別供應未 燒結之PTFE片或EPTFE片12a、12b以作為外皮，並從其兩 側以PTFE片或EPTFE片12a、12b包覆、夾持該科體或傳 送線路11。 此時，前述未燒結之外皮12及121)隔著導體或傳送線路 11而接合之部分，即連接部分13 ’藉由壓縮滾筒32及33之 無溝之部分受到壓縮。然後，導體或傳送線路11兩側之未 燒結的PTFE片或EPTFE>^ 12a、12b經壓縮後所成之連接部 分13，通過具有複數個個別燒結機34(此實施樣態中為7 個’但不限於_數)之燒結單元35，個職結機34與前述 連接部分13之位置相對應，且分開地配置於連接部分η上 方。藉此，可僅燒結連結部分13，且pTFE片或eptfe# Ua、 l2b全體可維持於未燒結或半燒結之狀態。 在此配置於燒結單元35内之複數個個別燒結機34分 1380327 別具有對應於連結部分13之纟M、寬度之 上未顯示之熱源對連接部分13吹=: ===_13,因此，可藉由通過燒結單元 燒，，.。連接。仏13。另外，透過改變連接部扣通過 之速度快慢等，可改變該部份之鹏片或 =ri2b之燒結程度’也可實質上間歇地燒結連 如此形成之本發明之扁平式電_無須如迄今之作法 一般，將斜式魏全體輯高溫燒成爐燒結全體外皮， 10以㈣、固定扁平式電境之導體或同軸電境等傳送線路， 而，僅燒結將導體或同軸電纜等傳送線路u牢固地保持、 固定於預定位置所需之連接部分13。由於eptfe^t_ 原樣維持在未燒結或半燒結狀態，故包覆、爽持扁平式電 變10之導體或傳送線路u之全體外皮i2a及i2b不會產生燒 15、、OB^PTFE片或EPTFE>； W收縮，因此可維持扁平式電遭之 各導體間或各傳送線路間的間距之充分正確性 此外’如上所述’全體外皮12a及12b因EPTFE或PTFE 依原樣維持於未燒結或半燒結狀態，故PTFE片或EPTFE片 不會因燒結而變硬’且可維持扁平式電纜良好的自由彎曲 2〇性、可撓性、柔軟性或平滑性。又，作為傳送線路之同軸 電境之中心導體不會扭曲變形，因此不會產生耐電壓不良 或特性阻抗不良等電性問題，也不易產生斷線問題。此外’ 本發明之扁平式電纜不使用高溫燒成爐，因此導體（軟銅） 不限於使用鍍銀或鍍鎳者，即使導體(軟銅)鍍錫時，導體(軟 11 1380327 銅）也不易產生變色或斷線，可作為傳送線路使用。 以下顯示本發明之實施例並說明本發明。 實施例1 在搓捻19個直徑〇.i27mm之鍍銀高抗拉強度銅合金而 5 形成之中心導體21周圍，以押出成形等方法包覆FEP，以形 成厚度0.2mm之絕緣體層22，此時外徑為0.997mm»於該絕 緣體層22之周圍，設置由直徑〇.〇8mm之鐘錫錫銅合金形成 屏蔽密度90%之橫捲屏蔽層，作為外部導體層23，並於該 外部導體層23周圍捲繞EPTFE絕緣帶後，形成厚度〇 15mm 10之被覆層24 ’以製成外徑3.1mm之同軸電纜11作為傳送線 路。 如第3圖所示’將7根以前述方法製作之同軸電纜^供 應至附溝壓缩滾筒32和33之間的各溝31後，將同軸電纜11 並置或相互平行排列。接著，於該等同軸電纜U之兩側（在 15第3圖中為上下方向）分別供應厚度0.12mm之未燒結之 EPTFE片12a、12b以作為外皮，並從其兩側以即丁即片12a、 12b包覆、夾持該等同軸電纔η。 然後’使壓縮同軸電纜11兩側之未燒結之EPTFE片 12a、12b所成之連接部分13通過具有個別燒結機34之燒結 20單元35 ’以進行燒結，同時維持全體EPTFE片Ua、12b為 未燒結或半燒結狀態，製成橫寬25mm、厚2.5mm之扁平式 帶狀電纜。 如此製作之本發明之扁平式電纜10,因僅燒結將該等 同軸電、镜11牢固地保持、固定於預定位置所需之連接部分 12 1380327 U，無須如迄今之作法一般，將扁平式電纜全體浸潰高溫

燒成爐燒結全體外皮，故外皮12a、12b整體可維持EPTFE 為未燒結或半燒結狀態，且EPTFE片不會產生收縮，扁平 狀電纜之各同軸電纜間之間距也可維持充分的正確性。 5 又，因全體外皮12a及12b因EPTFE依原樣維持於未燒 結或半燒結狀態，故EPTFE片不會變硬，且可維持扁平式 電纜1〇之良好的自由彎曲性、可撓性、柔軟性或平滑性。 另外，同軸電纜之中心導體不會扭曲變形，因此除了不會 產生对電壓不良或特性阻抗不良等電性問題、也不會有容 10易產生斷線之問題之外，本發明之導體（軟銅）不限於鍍銀或 鑛鎳P使導體(軟鋼)鍍錫時，導體(軟鋼)也不易產生變色 或斷線。 產業上發展之可能性 15 20 本發明之扁平式電纜極適用於需要低介電常數之優異 電I·生或耐熱性、耐藥品性或排氣對策等的扁平式電缓，例 導體製造裝置步進器之可動部與固定部 由彎曲/ ，在需要良好地維持扁平式電緵之自 生、可撓性、柔軟性或平滑性，或需要可以充八 本二扁平式電魔之各同轴侧之間距的領域;， 【2式電_可作為優異之扁平式電境使用。 <簡舉説明】 第1圖係本發明之扁平式電纜之較佳實 部分截面®。 之概略 第2圖係作為本發明之扁平式電境中所使用之傳送線 13 1380327 路之同軸電纜之截面圖。 第3圖係製作本發明之扁平式電纜時之說明圖。 【主要元件符號說明】 10.. .爲平式電缓 11.. .傳送線路 12a，12b...外皮 13.. .連接部分 21.. .中心導體 ·

22.. .絕緣體 23.. .外部導體 24.. .被覆體 14

Claims (1)

1380327 _ 第94120945號申請案101.10.11修正替換 5 十、申請專利範圍： 1. 一種扁平式電纜，係由絕緣體或外皮包覆、夾持多數根 並置之導體或傳送線路而構成者，其特徵在於：該絕緣 體或外皮係由未燒結或半燒結之聚四氟乙烯所構成，且 該絕緣體或外皮係整體上維持於燒結或半燒結之狀 • 態，再者，該絕緣體或外皮只有隔著前述導體或傳送線 路而接合之連接部分燒結並結合。 2.如申請專利範圍第1項之扁平式電纜，其中前述傳送線 路係同軸電纜或多芯電纜。 • 15