TWI376503B - Probe supporting device - Google Patents

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1376503 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明與電路裝置之檢測有關，特別是關於 觸晶片之電路，以檢測晶片功能是否正常運、/ 木紂接 成及應用於該探針卡的探針支撐裴置。 的探針卡總 【先前技術】 按，晶片的表面有裸露的金屬導線或是 供饋入測試訊號及接收回饋訊號，以刹 J u J a日片是否可以丨下 15 常運作。饋人及接收訊號的方式是利料備 卡’以適當壓力壓制於晶片之上，使探針的前端與晶^ 訊號饋入點、饋出點（例如裸露的金屬導線或接觸 觸，而電性導通設置於探針卡的電路及剌晶片。= 探針卡被下壓時以探針前端接觸晶片，隨著探針 壓’探針會出現彈性變形’而產生彈性力使探針前端彈性 地接觸於接輕，每-探針都_料壓力壓制於接觸塾 上，再透過電連接導線連接探針與測試電路（通常設置在 探針卡的電路板上）。理想的情況下，每—探針的前端在沒 有受力時躲關-假想平面V上，在探針卡被下壓時， 每-探針會具備相同的變形量，產生相同的彈性力，確保 每一探針的前端都以相同的壓力壓制並接觸於接觸墊。 然而’用以供探針作為設置基礎的基板姉因加工製 程產生，錢基録自無法維_想的平面狀 態。設置於基板上的騎，其前端也無法位於同 一假想平 面V上。在這種情況下，探針卡朝向晶片壓制的進給量就

S 4 20 1376503 必須增加，以確保每一探針都能接觸待 一探針的變形量不同，因此位於基板内凹處二離= 部分）的探針會以較小_力接觸晶片，而導的 靠近晶片的部分)的探針反而= 被 5【缩變一大的物觸晶片，造成探針丄： 種方^解決上述問題，習知技術中提出的方式主要有三 第-種方式是針對探針的型態進行改良 0 方向的虎克係數，以使不同各探針變 ^差異時’仍產生近似的彈性壓力，例如中華民國專利 么口 293938號發明專利及中華民國專利公告i269874號發 明專利。 293938號發明專利係將探針之作成曲折型態使其包 15含了二彈性接觸結構’其中至少一彈性接觸結構沿著探針 •壓制方向具備低虎克係數’因此在特定的壓縮變形範圍之 N，探針產㈣彈性㈣力會十分近似，解決了探針前端 沒有共平面的問題。1269874號發明專利之探針包含了探針 • 尖端及彈性結構，上，彈性結構沿著探針壓制方向具備低 2〇虎克係數，因此在特定的壓縮變形範圍之内，探針產生的 彈性壓制力會十分近似。然’ 293938號發明專利及1269874 號發明專利都採用了相對複雜的探針結構，增加了探針的 製作成本及製作難度。 第二種方式是對用以設置探針的設置面進行研磨，使 1376503 探針基板至少有-側面維持理想的平面狀態，以供探針設 置於其上，例如：中華民國專利1284379號發明專利。 1284379號發明專利係於翹曲變形的探針基 個固定部，各固定部之端面係經過—研磨程序面使固又 5 =端面具平面的特徵，但此種設計無法解決探針基板 叉負載變形的問題’因此必須額外增加抵抗外力負載的结 構。 、 第三種方式是以調整裝置對探針基板上多個點進行施 力，對探針基板_曲變形進行補償，而使探針基板的至 10少-側面維持理想的平面狀態，例如：中華民國專利公告 篇04號發明專利及中華民國專利公告588伽號發明專 利，都是採用多個調整元件對探針基板施加壓力或是拉 力，共同作用以補償探針基板的翹曲變 計必須在絲完紐，賴Μ件進肢 15調，微調程序複雜。同時每一探針基板_曲變形狀離也 不同’因此針對個別的探針基板所進行的微調補償也不 同，使其製作難度高。 【發明内容】 2〇义習知技術中的探針支禮裝置或探針卡總成，為了使探 針前端，平面，涉及了複雜探針結構或是探針支擇裝置的 結構’提升造成探針卡總成的製作難度及製作成本。鐾於 上述問題，本發明目的在於提出一種探針支樓裝置及應用 該探針支撐裝置的探針卡總成，藉以透過簡單化的結構達 6 C； S > 1376503 成使探針前端共平面的功效。 為了達成上述目的，本發明提出一種探針支撐裝置， 用以供複數個探針被設置於其上，而組成一掇 2 探針支標裝置包含剛性承載件及-探針基板。剛性^件 具有複數個支撐柱，且支撐柱之末端係位於同一設置平 面。探針基板用以供探針被設置於其上，其中支撐柱之末 端係連接於探針基板，以消除探針基板的勉曲變^而使探 針基板維持平板狀態，使探針前端共同位於一假想平面。 於本發明-或多個實施例中，支樓柱係延伸於剛性承 載件，為了使支撐柱末端皆位於設置平面，係於一加工平 —面上對支末端進行加工研磨，使支#柱末端供同位於 叹置平面，以使複數個支撐柱的末端皆位於該設置平面。、 15 ^本發明另實補巾，支雜係為等長也互 目平仃’為了使支樓柱末端皆位於設置平面係預先以一 程序於剛性承載件表面形成—基準平面，再使支 該設置平=基準平面’以使複數個支雜的末端皆位於 成明之功效在於’本發明透過簡單的結構就可以達 共平面的功效’不需要複雜的探針型態或是額 外卜調裝置。同時，可以有效地透過剛性承載件抵抗 補償不需要在針對外力負載造成的變形進行額外的 【實施方式】 20 1376503 參照「第一圖A」及「第一圖B」所示，為本發明第 一實施例揭露之一種探針卡總成1〇〇之剖面示意圖，該探 針卡總成100包含一剛性基板11〇、一電路板12〇、複數個 支撐柱130、及一探針基板14〇。 5 再參閱「第一圖A」及「第一圖B」所示，剛性基板 110係以尚應力強度及低應變率之材料製成，用以提供結構 支撐力。電路板120結合於剛性基板no之下側面，電路 板120用以供測試電路被設置於其上，產生測試訊號及接 收回饋訊號。電路板120上更具有複數個穿孔121，供各支 10撐柱130穿過。各支撐柱13〇分別具有一固定端131及一 自由端132 ’固定端131固定於剛性基板13〇之下側面，以 將各支撐柱130固定於剛性基板11〇下側面，使各支撐柱 130各自地延伸於剛性基板11〇。 再參閱「第二圖A」及「第二圖B」所示，支撐柱130 15之自由端132係經過一機械加工程序，共同在同一個加工 平面上進行研磨或是裁切。經過機械加工程序後的支撑柱 130會具備不同的長度，呈現長度遞增或是長度遞減或是不 等長度的排列狀態。由於自由端132共同在同一個加工平 面上進行加工，因此經過加工後的自由端132係位於同一 2置平面P。雖然前述說明中述及了各支撐柱13〇係互相平 行地排列，但於本實施例中，各支撐柱13〇並不必然需要 互相平行，僅需要在被固定於剛性基板11〇後，同時對各 自由端132進行加工，使加工後的自由端132皆位於設置 平面P即可。此夕卜，「第1圖A」及「第1圖b」中戶斤繪示 C S ) 8 1376503 的支樓柱130雖呈現直線排列，但實際上支樓柱i3〇並非 採用單一縱列配置’而是視剛性基板11〇及電路板12〇的 面積大小平均地分配於設置平面P上。 再參閱「第一圖A」、「第一圖B」、「第三圖a」及「第 5三圖B」所示，探針基板140用以作為複數個探針141的 設置基礎’供探針141被設置於探針基板14〇上。支樓柱 130之自由端132連接於探針基板140,藉以透過支樓柱130 的固疋支樓作用’消除探針基板140的趣曲變形，使探針 基板140於没置平面p上被平板化而維持平板狀態，以形 10成乂供一平坦而不起曲的支撑平面S。探針141互相平行地 設置於被平板化之探針基板140的支撐平面s，因此探針 141的前端共同定義出的平面，可平行於一預設平面。此一 預設平面為探針預定接觸的平面，例如機台上的工作面、 或晶片裸露的表面。由於剛性基板11〇採用具備相對高剛 is f生的結構製作’可以藉由支撐柱13〇的連接以提供探針基 板140足夠的支標力’因此也可以減少探針基板14〇受到 負載後的變形。 換言之，本實施例提供了一種包含探針支撐裝置及探 針141的探針卡總成100,其中探針支樓裝置包含了剛性承 2〇，件100a及探針基板140。剛性承載件職可為任意型 態’用以提供結構支樓力，則彳性承載件⑽a具 支樓柱130，其中支撐柱13〇係延伸於剛性承載件1〇如 剛性基板11G。支撐柱13G之自由端132共同被加工（研磨 或裁切）而位於同-設置平面p，且各自由端132係連接於 (S :) 9 1376503 ¥

探針基板14G之-側面’以固定切探針基板mg。位於同 -平面的自由端132 ’對探針基板14()提供固定支 消除探針基板140的翹曲缇你 ^ A 而 I U哪曲變形。极㈣變狀後的探針 基板140被平板化，而被平板化的探針純140對探針141 提供-平㈣支撐平面S，使設置於找平面s之探針⑷ 的前端所定義的平面平行於一預設平面V。

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參照「第一圖B」所示，此外，探針卡總成卿更包 含複數個電連接組件15〇,用以電性連接電路板㈣及探針 14卜電連接組件150可選擇：未包覆絕緣層的金屬導線、 -般電線（包覆塑膠或橡膠絕緣層的金屬導線）、漆包線、 或軟排線（以絕緣層同時包覆並隔離複數條金料線），用 以在探針141與電路板no之間傳遞電訊號。 參閱「第四圖A」及「第四圖B」所示，前述探針卡 總成100係架設於測試設備上，用以測試固定於測試平台 901上的晶片902。探針基板140與晶片9〇2為互相^行: 設置，在探針141未受力狀態下，通過探針141前端共同 定義的平面，也與預設平面V，也就是與晶片9〇2的上表 面平行。接著使探針基板140與晶片902相對移動，令探 針基板140朝向晶片902移動，或使測試平台帶動晶片902 朝向探針基板140移動。探針141的排列方式，係對應於 晶片902之訊號饋入點、饋出點（例如裸露的金屬導線或 接觸墊）。由於探針141的前端定義的平面都平行於該預設 平面V，因此隨著探針基板14〇持續接近晶片9〇2，可以透 過探針基板140與晶片902之間的間隔距離，判斷是否所 20 )03 有探針141 λλ » . 的别鈿都完全接觸晶片902的訊號饋入點、饋 路枯並將探針141的接觸壓力控制適當的範圍之内。電 jO產生測試訊號（或由外部測試主機接收），透過接 ^號饋入點的探針⑷傳送至晶片902,再由晶片· 回饋訊號，由接觸訊號饋出點的探針141傳送至電路 板13二’以透過回饋訊號判斷晶片902是否可正常運作。無 法正㊉運作的晶片902將被進行標記為失效，並在後續電 元件製程_作廢。應用本發明進行檢測的晶片902可為 已，自晶圓切割下來的單—晶片搬，或是仍在晶圓上尚未 進仃切割的晶片單元同時，該等探針141的排列，也可 以，時對應多個晶片（以承載裝置承載的多個晶片、或單 -晶圓上的所有晶片單元），以同時檢測多個晶片，提升檢 測速率。 15 一參閱「第五圖A」及「第五圖B」所示，為本發明第 二實施例所揭露之一種探針卡總成2〇〇，包含一剛性基板 210、一電路板220、及一探針基板24〇。 第二實施例所揭露之探針卡總成2〇〇大致與第一實施 例相同，其差異在於第二實施例中，複數個支撐柱212係 一體成形於剛性基板210的下側面，而延伸於剛性基板 20 210。支樓柱212之自由端212a同樣地經過一機械加工程 序，使自由端212a共同位於同一設置平面p，以連接探針 基板220。 參閱「第六圖A」及「第六圖B」所示，為本發明第 二實施例所揭露之一種探針支撐裝置3〇〇,包含一剛性基板 1376503 . 310、一電路板320、複數個支撐柱330及一探針基板340。 . 於第一及第二實施例中’電路板120、220係設置於剛 性基板110、210的下側面，因此電路板130、230需具備 _ - 支樓柱、212a穿過之穿孔。於第三實施例中，電路板 5 320係設置於剛性基板310的上側面，而支撐柱33〇係一體 成形或固定於剛性基板310的下側面。因此電路板130上 就不需要設置穿孔供支撐柱330穿過。 •參閱「第七圖A」及「第七圖b」所示，為本發明第 四實施例所揭露之一種探針支撐裝置4〇〇,包含一剛性基板 10 410、一電路板420、複數個支撐柱430、及一探針基板440。 再參閱「第七圖A」及「第七圖b」所示，電路板420 上設置測試電路（圖未示）’用以提供測試功能，產生測試 訊號至待測晶片’並接收晶片之回饋訊號，以供判斷晶片 是否正常運作。 15 再參閱「第七圖A」及「第七圖B」所示，剛性基板 春 410具有一基準平面411及一結合面412，且剛性基板410 更具有複數個固定孔413。電路板420結合於結合面412， 且電路板420具有複數個穿孔421，重疊於剛性基板41〇 之複數個固定孔413。 20 再參閱「第八圖A」、「第八圖B」及「第八C圖」所 示，剛性基板410之基準平面411係於一加工平面上進行 加工所形成，使其構成一平面的支撐結構。且剛性基板410 與相關零件組成探針卡總成後，其平面411與預設平面v 相平行。各支撐柱430之長度係為等長，且各支撐柱43〇 (S ) 12 1376503 穿過剛性基板410之固定孔413及電路板420之穿孔421， 並固定於固定孔413中，同時各支撐柱430為互相平行地 排列。支撐柱430可為但不限定於螺栓，透過螺合方式結 合於剛性基板410的固定孔413。當然’亦可使用黏膠、焊 5接等方式結合於剛性基板410的固定孔413。各支樓柱430 分別具有一固定端431及一自由端432，其中固定端431 之外徑大於剛性基板410之固定孔413的内徑。當各支撐 柱430分別以其自由端432穿過所對應之剛性基板41〇的 固定孔413，並穿過電路板420之穿孔421後，支撐柱430 1〇之固定端431抵靠於剛性基板410之基準平面411上。透 過支撐柱430結合於剛性基板410，支撐柱430之固定端 431係被固定於剛性基板41〇的基準平面411上。由於各支 樓柱430為等長且互相平行，同時支樓柱430之固定端431 係被共同固定於基準平面411，因此朝向電路板420外側延 15伸的自由端432也會位於同一平面上，亦即設置平面p。 再參閱「第七圖A」及「第七圖B」所示，探針基板 440用以作為探針441的設置基礎。支撐柱43〇之自由端 432連接於探針基板440,透過支撐柱430的固定支撐作 用，消除探針基板440的翹曲變形，使探針基板44〇於設 20置平面P被平板化。被平板化的探針基板440提供一支樓 平面s，用以供探針441被設置於其上，因此探針441的前 端所共同定義之平面，也可以平行於一預設平面。探針支 撐裝置400更包含複數個電連接組件45〇，用以電性連接電 路板420及探針441 ’使電路板430透過探針441傳送測試 (S ) 13 1376503 訊號及通過探針441接收回饋訊號。電連接組件450可為 未包覆絕緣層的金料線、—般電線、漆包線、或軟排線， 用以在探針441與電路板42〇之間傳遞電訊號。 4參閱「第九圖A」及「第九圖B」所示，為本發明 5第五實施例所揭露之一種探針支撐裝置500,包含一剛性基 板510、一電路板52〇、複數個基準塊56〇、複數個支撐枉 530、及一探針基板54〇。 再參閱「第九圖A」及「第九圖B」所示，並同時參 照「第十圖A」、「第十圖B」及「第十c圖」。剛性基板51〇 1〇具有一外側面511及一結合面512,且剛性基板51〇更具有 複數個對應於支樓柱530之固定孔513。電路板520結合於 剛性基板510的結合面512,且各基準塊560設置於剛性基 板510的外側面511。電路板52〇具有複數個穿孔521，重 疊於剛性基板510之複數個固定孔513，各基準塊56〇亦具 U有穿孔561，且各基準塊560係分別放置於剛性基板51〇 之各固定孔513上，使各基準塊56〇的穿孔561也重疊於 剛性基板510的固定孔51弘各基準塊56〇係於一加工平面 上進行研磨或裁切等機械加工程序，使各基準塊56〇的頂 面被加工成一平面，且該等基準塊56〇組裝於剛性基板51〇 20上時，此等平面是共同位於一基準平面R上。 各支撐柱530之長度為等長，且各支撐柱53〇穿過基 準塊560之穿孔56卜剛性基板510之固定孔513、及電路 板520之穿孔521 ’呈現互相平行地排列。支樓柱可為 但不限定於螺栓，透過螺合方式固定於剛性基板51〇。當 t： s) 1376503 並不限定以螺合方式結合於剛性基板， 吏用轉'焊料方式結合於剛性基板510。各支樓柱 別具有一固定端531及一自由端532,其中固定端531 之卜役大於基準塊560之穿孔561的内徑 10 15 分別以其自由端532穿過所對應之基準塊56〇之穿孔561、 剛性基板训的固定孔513，並穿過電路板別之穿孔561 後，支樓柱530之固定端531可停留於各基準塊56〇的頂 面上’亦即共同位於基準平面R上。透過支樓柱53〇結合 於剛性基板510’且支撐柱之固定端S31係被固定於各 基準塊56G所定義的基準平面R上。由於各支雜53〇係 為等長並互相平行，同時支樓柱530之固定端531係被共 同固疋於基準平面R，因此朝向電路板52〇外侧延伸的自 由端532也會位於同一平面上，亦即設置平面p。探針支撐 裝置500更包含複數個固定蓋57〇，設置於基準塊56〇之頂 面，用以壓扣固定支撐柱530外露的部分，亦即各固定蓋 570係分別壓扣固定各支撐柱530的固定端531，以確保固 定端531不被外力碰撞導致支撐柱53〇相對於剛性基板51〇 位移。 再參閱「第九圖A」及「第九圖B」所示，探針基板 2〇 540之底面設有複數個探針541，且探針基板540的頂面設 有複數個結合件542。當各支撐柱53〇為螺柱，其外部接近 自由端532的部分具有螺紋構成的結合部533，各結合件 542可為頂端具備螺孔的柱體，用以供支撐柱530之自由端 532鎖入各螺孔中，以將支撐柱530之自由端532固定於結 1376503 合件542 ’而連接於探針基板54〇。由於支撐柱53〇的自由 端532係位於設置平面p，透過支撐柱53〇的固定支撐作 用丄消除探針基板540她曲變形，使探針541的前所共 同定義的平面，平行於一預設平面v。 5 換言之，第四及第五實施例提供了一種探針支撐裝 置’包含了剛性承載件、支撐柱及探針基板。剛性承載件 可為任意型態，用以提供結構支撐力。剛性承載件提供一 基準平面，用以供支樓柱之一端（固定端）固定於其上， 同時支撐柱為等長且互相平行地向外延伸，因此支撐柱的 1〇另一端（自由端）會位於一設置平面上。位於同一平面的 自由端，連接於探針基板後對探針基板提供固定支撐力， 而消除探針基板的翹曲變形。消除了翹曲變形之後，探針 基板可被平板化。被平板化的探針基板對探針提供一平坦 的支撐平面，使探針的前端所定義的平面平行於一預設平 15 面。 請參閱「第十一圖A」及「第十一圖B」所示，為本 發明第六實施例所揭露之一種探針支撐裝置6〇〇，包含一剛 性基板610、一電路板620、複數個第一支撐件631、複數 個第二支撐件632、一探針基板64〇、及一固定框架65〇。 2〇 請參閱「第十一圖A」及「第十一圖Β」所示，剛性 基板610具有一外側面611及一結合面612，且剛性基板 610更具有複數個對應於第一支撐件631之第一結合孔 613。電路板620結合於剛性基板61〇的結合面612。電路 板620具有複數個穿孔62卜重疊於剛性基板61〇之複數個 16 1376503 第一結合孔613。 參閱「第十一 C圖」所示，各第一支撐件631之長度 為等長’且其等之前端係被打磨成一平面。各第二支撑件 632之長度亦為等長，其等之前端也被打磨成一平面。第— 5支撐件631及第二支撐件632分別為螺栓，係可同時結合 於一具備内螺紋之結合套筒660中，且第一支撐件631及 第一支撐件632之前端係由結合套筒660之二端鎖入，並 以平面互相貼合，使第一支撐件631及第二支撐件632結 合形成一支撐柱630。 10 參閱「第十一圖B」及「第十一圖D」所示，固定框 架650包含一中空之容置區651及複數個第二結合孔652, 探針基板640之底面設置複數個探針641，固定框架65〇 係固定於探針基板640頂面的邊緣，使固定框架65〇與探 針基板640兩者結合為一體，再使固定框架65〇之第二結 u合孔652重疊於電路板620之穿孔621。第二支撐件632 係結合於固定框架650之結合孔652中，藉以透過固定框 架650結合於探針基板640，並延伸於探針基板64〇之頂 面，且結合後’支撑件632之所有端面所形成一平面，與 探針基板64〇之頂面平面相平行。結合套筒_由固定框 架650及探針基板640之頂面，以螺紋匹配而套於第二支 撐件632之前端，使第二支稽件632之前端結合於結合套 筒660中。 再參閱「第11 ®E」所示，固定框架65〇係用以作為 -結合結構’用以使第二支樓件632連接於探針基板64〇， 1376503 Z此固疋框架的型態並不限定單—且環繞探針基板64〇邊 ^環狀構件’也可以是複數侧立構件的結合，分別設 ;、、*〇。於探針基板64〇的各邊緣^亦可减用固定框架 ’而轉針基板_上直接開設結合孔，喊第二支樓 件632直接結合於探針基板640。 15 參閱「第十一圖A」及「第十一圖f」所示，第一支擇 牛631係結合於剛性基板61〇，並朝向剛性基板61〇之底面 k伸而穿過電路板620之穿孔62卜並穿過一中間材670， 該中間材670係設置於探針基板64〇及電路板62〇之間， 其主要功旎是作為探針基板64〇與電路板620之間的電性 連接，與第一實施例之電連接組件150功能相同。接著， 第一支撐件631之前端以螺紋批配結合於結合套筒66〇 中，並以位於前端之平面貼合於第二支撐件632前端之平 面。藉以使第一支撐件63卜第二支撐件632透過結合套筒 660結合為一支撐柱63〇，且各支撐柱63〇之長度係為等 長。第一支撐件631結合於剛性基板61〇的方式，可為螺 合、焊接或緊配等方式。於本實施例中，係利用一固定蓋 680固定於剛性基板61〇之頂面，並覆蓋第一結合孔613， 以壓制住第一支撐件631的頭端，而將第一支撐件631之 頭端固定於剛性基板610之外側面。而剛性基板61〇之外 側面611’預先於一加工平面上進行研磨或裁切等機械加工 程序，使外侧面611形成一基準平面R，藉以使支撐柱63〇 的一端，亦即第一支撐件631的頭端共同位於基準平面R。 再參閱「第十一圖A」所示，由於支撐柱630為等長， 20 1376503 . 且支撐柱630之一端係被固定於基準平面R，因此支撐柱 :630之另一端’亦即第二支料632的頭端係位於一設置平 面P。由於第二支撐件632的頭端係位設置平面p，透過第 ··- 二支撐件632的固定支撐作用，消除探針基板64〇的翹曲 5變形，使探針基板610維持平板化，探針64〇係被設置於 被平板化的探針基板610,使探針641的前端構成之平面， 平行於一預設平面V。 • 清參閱「第十二圖及「第十二圖B」所示，為本 發明第七實施例所揭露之一種探針支撐裝置7〇〇，包含一剛 1〇性基板710、一電路板720、複數個支撐柱73〇、及一探針 基板740、及一固定框架750。 凊參閱「第十二圖A」及「第十二圖B」所示，剛性 基板710具有一外側面711及一結合面712，且剛性基板 710更具有複數個對應於支撐柱73〇之結合孔713。電路板 I5 720結合於剛性基板71〇的結合面712。電路板72〇具有複 • 數個穿孔72卜重疊於剛性基板？1〇之複數個結合孔川。 參閱「第十二圖B」及「第十二c圖」所示，固定框 架750包含一中空之容置區751，探針基板74〇之底面設置 複數個探針741 ’固定框架750係固定於探針基板74〇頂面 的邊緣’使固定框架750與探針基板74〇兩者結合為一體。 固定框架750的頂面設置結合套筒76〇，結合套筒76〇係以 鎖合、焊接或其他固定方式固定於固定框帛75〇之頂面的 邊緣。以本實施例為例，結合套筒76〇之基部形成凸緣 761，用以供複數個螺絲762之螺絲頭壓制，而固定框架75〇 19 (S ) 1376503 外

ίο

上亦形成複數組螺孔752，分別對胁各結合套筒，每 -組螺孔752係分別環繞其所對應之結合套筒的邊 緣’當該等螺絲762鎖合於對應螺孔752後，螺絲頭就可 以壓制凸緣76卜而固定結合套筒76〇於固定框架75〇。此 谷謂柱73G之長度為等長，且其等之前端係被打磨 成-，面。支雜73G之前端係可以螺紋匹配而結合於固 定套筒760中，而將支撐柱73〇之前端連接於固定框架 750從而間接地連接探針基板74〇。固定框架㈣係用以 作為-結合結構’用以使支雜730間接地連接於探針基 板740。固定框帛750的型態並不限定單一且環繞探針基板 740邊緣之環狀構件，也可以是複數個獨立構件的結合，分 別设置於結合於探針基板740的各邊緣。 ，閱第十一圖A」、「第十二圖£>」、及「第十二圖E」 所示，支撐柱730係結合於剛性基板71〇，並朝向剛性基板 710之底面延伸，而穿過電路板72〇之穿孔721。支撐柱73〇 更穿過-中間材770，該中間材77〇係設置於探針基板74〇 及電路板72G之間’其主要功能是作為探針基板74〇與電 路板720之間的電性連接，與第—實施例之電連接組件… 功能相同。歸，支雜，之前端結合於結合套筒76〇 中，並以位於前端之平面貼合固定框架75〇之頂面。支撐 枉，結合於剛性基板？1〇的結合方<，可為螺合、焊^ 或緊配等方式。於本實施例中，係利用一固定蓋7肋固定 於剛性基板710之頂面，並覆蓋結合孔713，以壓制住支撐 枉730的頭端’而將支撐柱73〇之頭端固定於剛性基板谓 20 20 1376503 之外側面。而剛性基板710之外側面711，預先於一加工平 面上進行研磨或裁切等機械加工程序，使外側面7U形成 一基準平面R，藉以使支撐柱730的頭端共同位於基^平 面R 〇 5 再參閱「第十二圖A」所示，由於支撐柱730為等長， 且支撐柱730之一端係被固定於基準平面R，因此支撐柱 =0之另一端，係位於一設置平面p。透過支撐柱73〇及固 疋框架750的固定支撐作用，被固定於固定框架75〇中之 探針基板740的翹曲變形，可以被支撐柱73〇消除，使探 針基板710維持平板化，探針74〇係被設置於被平板化的 探針基板710，使探針741的前端構成之平面，平行於一預 设平面V。 亦即’本發明主要之技術手段在於使延伸於剛性承載 件的支撐柱，具有位於同—平面的末端（自由端）。該等末 15端（自自端）連接於探針基板，以使探針基板被平板化， 進而使位於探針基板上的探針前端所定義的平面平行於一 預設平面。 21 1376503 【圖式簡單說明】 第^ “第—圖B从發明第—實施射， 針卡總成之剖面示意圖。 裡叔 加上：ί圖第，為第-實施例中，継柱進行 連接三圖Β為本發明第—實施例中，支樓柱 連接於探針基板之剖面示意圖。 總成測試晶片之^=】圖為本發明第—實施例中，探針卡 卡之第五圖Β本發明第二實施例中-種探針 卡之=圖及第六圖Β本發明第三實施例中，-種探針 15 第七圖Α及第七圖β本發明第四眘，山 卡之剖面示意圖。 實_中，一種探針 加強第八圖B及第八圖C為第四實施例中，對 基準平面進行加工，並結合切柱於加強基板 之基準+面之剖面示意圖。 20 第九圖A及第九圖b本發明第五實施例中，一種 卡之剖面示意圖。 第十圖A、第十圖B及第十圖C為第五實施例中，對 加強基板上之基準塊進行加王，並結合支於基準平面 之剖面示意圖。 第十一圖A、第十一圖B、第十一圖c、第十一 D圖、 22 1376503 第十一圖E、及第十一圖F為本發明第六實施例中，一種 探針卡之剖面示意圖。 第十二圖A、第十二圖B、第十二圖C、第十二D圖、 及第十二圖E為本發明第七實施例中，一種探針卡之剖面 5示意圖。 【主要元件符號說明】 ， 「第一實施例」 100 探針卡總成 10 100a 剛性承載件 110 剛性基板 120 電路板 121 穿孔 130 支撐柱 131 固定端 132 自由端 140 探針基板 141 探針 150 電連接組件 15 901 測試平台 902 晶片 • P 設置平面 S 支樓平面 V 假想平面 「第二實施例」 - 200 探針卡總成 20 210 剛性基板 212 支撐柱 212a 自由端 220 電路板 240 探針基板 P 設置平面 第三實施例」 300 探針支撐裝置 23 1376503 * 310 剛性基板 320 電路板 330 支撐枉 340 探針基板 「第四實施例」 • 400 探針支撐裝置 5 410 剛性基板 411 基準平面 412 結合面 413 固定孔 420 電路板 421 穿孔 • 430 支撐柱 431 固定端 432 自由端 440 探針基板 10 441 探針 450 電連接組件 470 固定蓋 P 設置平面 S 支撐平面 V 假想平面 「第五實施例」 500 探針支撐裝置 15 510 剛性基板 511 外側面 • 512 結合面 513 固定孔 520 電路板 521 穿孔 530 支撐柱 531 固定端 - 532 自由端 533 結合部 20 540 探針基板 541 探針 542 結合件 560 基準塊 561 穿孔 570 固定蓋 R 基準平面 P 設置平面 V 假想平面 24 1376503 第六實施例」 600 探針支撐裝置 •- 610 剛性基板 611 外側面 • 612 結合面 613 結合孔 5 620 電路板 621 穿孔 630 支撐柱 631 第一支撐件 632 第二支撐件 640 探針基板 • 650 固定框架 651 容置區 652 第二結合孔 660 結合套筒 10 670 中間材 680 固定蓋 R 基準平面 P 設置平面 V 預設平面 「第七實施例」 700 探針支撐裝置 710 剛性基板 15 711 外側面 712 結合面 • 713 結合孔 720 電路板 721 穿孔 730 支撐柱 740 探針基板 741 探針 - 750 固定框架 751 中空區域 20 752 螺孔 760 結合套筒 761 凸緣 770 中間材 780 固定蓋 R 基準平面 P 設置平面 V 預設平面 25

Claims (1)

1376503 101年02月21日修正替換頁 、申請專利範圍： 上，1勺人種探針支撐裝置，用以供複數個探針被設置於其 一剛性承載件，具有一剛性基板以及複數個延伸於該 剛改基板之支別i，·^該等撐柱之末端係位於同-設置 平面；及 探針基板’該等支撐柱之末端係連接於該探針基 板’以消除該探針基板的輕曲變形，而使該探針基板維持 平板，L且该等探針係被設置於該被平板化之探針基板， 使該等探針之前端共同構成之平面平行於一預設平面。 10 2·如申請專利範圍第1項所述之探針支撐裝置，其中 各該支撐柱具有不同的長度。 3.如申請專利範圍第1項所述之探針支撐裝置，其中 該剛性承載件具有一基準平面，該等支撐柱為等長且互相 平行地延伸於該基準平面。 15 4. 一種探針卡總成，用以電連接一晶片之至少一訊號 • 饋入點及至少一訊號饋出點，包含： 一剛性基板； 複數個支撐枉，分別具有一固定端及一自由端，其中 該支撐柱之固定端固定於該剛性基板，且該等支撐柱之自 20由端係位於同一設置平面； 一楝針基板’位於該設置平面上，且該等支撐柱之自 由端係連接於該探針基板’消除該探針基板的翹曲變形而 使該探針基板被平板化；及 複數個探針’設置於該被平板化之探針基板，使該等 26 1376503 101年02月21日修正替換頁 探針之前端共同定義之平面係平行於—預設平面，用 觸該訊號饋入點及該訊號饋出點。 接 人-專利範11第4項所述之探針卡總成，其中包 ^ ^連接於該等探針，用以產生測試訊號通 说饋:點至該晶片’及通過該訊號饋出點接收該晶 片產生之回饋訊號。 +路利範圍第5項所述之探針卡總成，其中該 :支==:固定於該剛性基板之-_，且該 1回穿孔，用以供各該支撐柱穿過。 5顿狀探針卡贼，其中該 也9 支撐柱係分別固定於該剛性基板之二側面。 15 n二睛專利範圍第5項所述之探針卡總成，其中包 a複數個4連接組件，連接該電路板及該等探針。 含-中利範料5項所述之探針卡總成，其中包 S ，電性連接該電路板及該等探針。 20 該二第4項所述之探針卡總成’其中各 于互相+仃地延伸於該剛性基板。 辞申靖專利範圍第4項所述之探針卡總成，其中各 Γ二之自由端係共同在同一個加工平面上進行-機械 执罢正使經過s亥機械加工程序後的該等自由端位於該 *又置平面。 如申4專利範圍第4項所述之探針卡總成，其中該 27 1376503 101年02月21曰修正替換頁 等支撐柱係一體成形於該剛性基板。 14二種探針支樓裝置’用以供複數個探針被設置 上，包含： 一剛性基板，具有一基準平面； 5 複數個等長且互相平行之支標柱，分別具有-固定端 及自由端’其中邊支撐柱之固定端係固定於該剛性基板 之基準平面’使該等支撐柱之自由端係共同位於一設 面；及 -探針基板，料支撐柱之自由端係連接於該探針基 10板’以消除該探針基板的翹曲變形，而使該探針基板被平 板化，該等探針被設置於該被平板化之探針基板，使該等 探針之前端共同定義之一平面平行於一預設平面。 15. 如申睛專利範圍第14項所述之探針支撐裝置，其中 包含一電路板，電性連接於該等探針，用以通過該等探針 u 傳送及接收訊號。 16. 如申請專利範圍第14項所述之探針支撐裝置，其中 該剛性基板具有複數個固定孔，該等支撐柱係穿過該固定 孔，使各該固定端設置於該基準平面。 17. 如申請專利範圍第16項所述之探針支撐裝置，其中 20各該固定端之外徑係大於各該固定孔之内徑。 18. 如申請專利範圍第16項所述之探針支撐裝置，其中 包含一 €路板，結合於該結合面，且電性連接於該等探針， 用以通過該等探針傳送及接收訊號。 19. 如申請專利範圍第18項所述之探針支撐裝置，其中 28

邊電路板t有複數個穿孔’用以供該等支樓柱穿過。 包專利範圍第15項所述之探針支撐裝置，並中 5 包含，材 10 成，使其構成-平面的支樓結構。千面上進行研磨而形 上，2包=種探針支撐裝置’用以供複數個探針被設置於其 一剛性基板，具有一外側面及一結人面. 複數個基準塊，設置於該剛性基板之結合面，且設置 < 5亥等基準塊之了貞面係共同位於—基準平面； 15 ^數㈣長且絲平行之支撐柱，分财過該等 及朗性基板’且各支標柱分別具有-固定端 使該等支魏之自由端斜同位基及準平面’ 一探針基板，該等支雜之自由端 板，以消除該探針基板_曲變形，而使 20 共同定義之扣付於基板，使料探針之前端 24·二申，專利第23項所述之探針支撐裝置 :二=號電性連接於該等探針，通過該等探針 29 1376503 101年02月21 a修正替換頁 :.· 25·如申請專利範㈣24項所述之探針支撐裝置，其中 /該電路板結合於該結合面，且該等支撐柱係穿過該電路板。 26.如申請專利範圍帛23項所述之探針支樓裝置，其中 •該剛性基板具有複數個對應於支樓柱之固定孔，且該各基 5準塊分別穿孔，重疊於該剛性基板之固定孔。 27.如申請專利範圍第26項所述之探針支撐裝置，其中 各5亥支撐柱之固定端的外徑大於對應基準塊之穿孔的内 W 徑。 28.如申請專利範圍第24項所述之探針支撐裝置，其中 10包含複數個固定蓋，用以壓扣固定各該支撐柱之固定端。