TWI363733B - - Google Patents

Description

1363733 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明有關於一種運輸方法及系統，尤指一種晶 圓承載盒的運輸方法及系統。 【先前技術】 如第一圖所示，為一種習知晶圓承載盒（wafer carrier)之運輸方法，其中所使用的運輸系統包含有一 中央監控系統、複數個搬運系統(OHT)以及一自動倉庫 系統（Stocker)，不同個的搬運系統分別裝設於廠房内不 同的高度，且分別與中央監控系統作電性連接。該自 動倉庫系統乃由入庫部、保管架、堆疊起重機、傳送 帶以及出庫部所構成。而晶圓承載盒必須依序通過入 庫部、保管架、堆疊起重機、傳送帶以及出庫部，才 能轉運到另一個搬運系統上。 由於晶圓承載盒必須經過該自動倉庫系統内的重 重關卡，才能由一個搬運系統轉運到另一個搬運系 統，過程十分繁瑣，所以操控人員想要提升運輸系統 整體的傳送速度，自動倉庫系統會給予許多限制，導 致提升速度上產生瓶頸，難以提升到理想標準，而且 自動倉庫系統之體積十分龐大，相當佔用廠房地面的 空間，且其製造成本十分昂貴，相對造成業者很大的 負擔。 6 緣疋，本發明人有感於上述缺失之可改善，乃特 潛心研究並配合學理之運用，終於提出一種設計合理 且有效改善上述缺失之本發明。 【發明内容】 鑒於以上之問題，本發明之主要目的為提供一種 晶圓承载盒運輸方法及其系統，操控人員比較容易將 晶圓承载盒的運輸速度上提升到理想標準，而且不會 佔用廠房地面的面積，製造成本也比較低廉。 為了達到上述之目的，本發明係提供一種晶圓承 載，運輸方法，其步驟包括：提供-監控系統、複數 個向架平台、一感測系統以及複數個搬運系統，且每 :個搬運系統之所在高度不同；該感測系統偵測該些 回架平台上是否有晶圓承載盒，並形成複數個第一訊 號傳送至該監控系統；該監控系統判讀該些第一訊 號，並命令其中一個搬運系統，將晶圓承载盒搬運至 沒有晶圓承载盒的高架平台上；該感測系統再次偵測 高架平台上是否有晶圓承載盒，並形成複數個第二訊 號傳送至該監控系統；以及該監控系統判讀該些第二 訊號，命令另一個搬運系統，將晶圓承載盒從高架平 台上搬走。 本發明另提供一種晶圓承载盒運輸系統，包括： :監控系統；複數個高架平台；一感測系統，該感測 系統與該監控系統電性連接，該感測系統用以偵測該 二同木平台上是否有晶圓承載盒；以及複數個搬運系 統，每一個搬運系統分別與該監控系統連接 ，該些搬 運ί統用錢運晶圓承’且每-個搬運线之所 在局度不同。 山本發明具有以下有益的效果：晶圓承載盒只需通 過高架平台就能由一個搬運系統轉運到另一個搬運系 統上，運輸的過程相對變得簡單許多，所以操控人員 比較容易將運輸速度提升到理想標準。另一方面，由 於间木平台不是设置於廠房地面，相對使得廠房地 面的可使用空間增加。又一方面，由於高架平台價格 低廉，所以使得製造成本大幅降低，業者壓力相對降 低。 【實施方式】 如第二圖所示，本發明係提供一種晶圓承載盒運 輸系統，包括一監控系統i、複數個高架平台2、一 感測系統3以及複數個搬運系統4，該感測系統3與 該些搬運系統4與該監控系統i作電性連接，該監控 系統1包含一中央處理單元i 2、一資料儲存單元工 2以及一控制單元1 3，該資料儲存單元1 2以及該 控制單元1 3與該中央處理單元i i電性連接，該感 測系統3由複數個發射器3丄以及複數個接收器3 2 所組成。 如第三圖所示，每一個高架平台2搭配一個發射 1363733 器3 1以及一個接收器3 2，其中發射器3 1可為紅 外線發射器或藍芽發射器，而接收器3 2相對地為紅 外線接收器或藍芽接收器。每一高架平台2上連接有 一反射器2 1以及一電磁波遮蔽件2 2，該電磁波遮 蔽件2 2用以擋住發射器3 1發射出的電磁波，且該 電磁波遮蔽件2 2與該高架平台2可為一體成型的金 屬材料件。 其中該電磁波遮蔽件2 2包含一彈性臂2 2 1以 及一擋板222，當一晶圓承載盒5要放置於高架平 台2時時，晶圓承載盒5會壓在擋板2 2 2之上表 面，使得擋板2 2 2緊密地貼合於高架平台2之上表 面，如此一來，反射器21由於被擋板2 2 2遮住， 接收器3 2不會接收到反射器2 1反射的電磁波，該 監控系統1便得知高架平台2上有晶圓承載盒5。反 之若尚架平台2上沒有晶圓承載盒5，接收器3 2會 接收到反射器2 1反射的電磁波，該監控系統1便得 知高架平台2上沒有晶圓承載盒5。 如第四圖及第五圖所示，本發明另提供一種晶圓 承載盒運輸方法，藉由該運輸方法將晶圓承載盒5， 從一第一晶圓製造機台6的暫放區61搬運至一第二 晶圓製造機台7的暫放區7 1，其步驟如下： S1 01 :該些感測系統3感測是否有晶圓承載盒 5放置於高架平台2 ’並形成複數個第—訊號傳送至 9 1363733 該資科儲存單元1 2 ; 〇 S 1 0 2 :該資料儲存單元1 2接收該些第一訊 號再將該些第一訊號傳遞至該中央處理單元11; 〇 S103:該中央處理單元判讀該些第一訊 °瞭解哪些尚架平台2上是空的，並命令該控制單 3去操控其中一個搬運系統4，將暫放區61的 曰曰圓承载盒5搬運至空的高架平台2上。其中每一搬 運系統4包含有一高架軌道4 1以及複數個搬運機具 4 2，不同的搬運系統4，其高架軌道4 i架設於廠 房不同的高度位置。每一搬運機具4 2包含一滑動座 421、一伸縮管422以及一夾持件4 2 3，該滑 動座4 2 1滑接該高架軌道4 1 ,該伸縮管4 2 2連 該滑動座4 2 1以及該夾持件4 2 3之間，該伸 縮管4 2 2帶動該夾持件4 2 3作上下或左右的移 動。該控制單元1 3用以操控滑動座4 2丄、伸縮管 4 2 2以及夾持件4 2 3的動作。 S 1 〇 4 .該些感測系統3再次感測是否有晶圓 承載盒5放置於高架平台2 ’朗成複數個第訊# 傳送至該資_存料12 ; 訊说 s 1 0 5 :該資料儲存單元i 2接收該些第二訊 號，再將該些第一訊號傳遞至該中央處理單元1 1 . s 1 0 6 :該中央處理單元i丄判讀該些第二訊 號’清楚有哪些高架平台2上有晶圓承載盒5，並命 1363733 令該控制單元1 3操控另一個搬運系統4，將晶圓承 載盒5由南架平台2上失走，此時晶圓承載盒5便成 功地由一個搬運系統4轉運到另一個搬運系統4上； 以及 s 1 0 7 :最後，搬運系統4將晶圓承載盒5搬 運至第二晶圓製造機台7的暫放區7 1。 此外，在S 1 〇 3以及S i 〇 6的步驟中，該些 搬運機具42除了不會同時對同一個高架平台2進行 操作之外，該中央處理單元i i還可以命令該控制單 几13去操控最接近高架平台2的搬運系統4去搬運 晶圓承載盒5，如此一來可以節省不少搬運時間。 本發明晶圓承載盒運輸方法及其系統，其具有下 列優點： 1、 晶圓承載盒5只需通過該些高架平台2就能 由一個搬運系統4轉運到另一個搬運系統4上，運輸 的過程相對變得簡單許多，所以操控人員比較容易將 運輸速度提升到理想標準。 2、 由於南架平台2不是設置於廢房地面，相對 使得廠房地面的可使用空間增加。 3、 由於高架平台2價格低廉，所以使得製造成 本大幅降低，業者壓力相對降低。 4、 電磁波遮蔽件2 2與該高架平台2為一體成 型且具彈性的金屬材料件’使得擋板2 2 2可以緊密 11 地貼和於南架平台2之表面，如此一來，監控系統1 不會對高架平台2的狀態產生誤判。 以上所述者，僅為本發明其中的較佳實施例而 已^並非用來限定本發明的實施範圍，即凡依本發明 申請專利範圍所做的均等變化與修飾， 利範圍所涵蓋。 寻 【圖式簡單說明】

第-圖為習知晶圓承載盒運輸方法的流程圖。 第二圖為本發明晶圓承载盒運輸系統的方塊圖。 第三圖為本發明感測系統偵測高架平台狀態的 圖

=四圖為本發明晶圓承載盒運輸方法的流程圖。 第五圖為本發明第四圖的示意圖。 【主要元件符號說明】

監控系統1 中央處理單元11 資料儲存單元12 控制單元1 3 高架平台2 反射器2 1 電磁波遮蔽件2 2 彈性臂2 2 1, 擋板2 2 2 12 1363733 感測系統3 發射器3 1 接收器3 2 搬運系統4 高架執道41 搬運機具4 2 滑動座4 2 1 伸縮管4 2 2 夾持件4 2 3 晶圓承載盒5 第一晶圓製造機台6 暫放區6 1 第二晶圓製造機台7 暫放區7 1

13

Claims (1)

1363733 十、申請專利範圍： 1、 一種晶圓承載盒運輸方法，其步驟包括： 提供一監控系統、複數個高架平台、一感測系統 以及複數個搬運系統，且每一個搬運系統之所在高度 不同； 該感測系統偵測該些高架平台上是否有晶圓承載 盒，並形成複數個第一訊號傳送至該監控系統； 該監控系統判讀該些第一訊號，並命令其中一個 搬運系統，將晶圓承載盒搬運至沒有晶圓承載盒的高 架平台上； 該感測系統再次 <貞測高架平台上是否有晶圓承載 盒，並形成複數個第二訊號傳送至該監控系統；以及 該監控系統判讀該些第二訊號，命令另一個搬運 系統，將晶圓承載盒從該些高架平台上搬走。 2、 如申請專利範圍第1項所述之晶圓承載盒運 輸方法，其中該監控系統與該感測系統作電性連接， 而該監控系統包含一中央處理單元、一資料儲存單元 以及一控制單元，該資料儲存單元連接該中央處理單 元，該控制單元連接該些搬運系統與該中央處理單 元，該資料儲存單元接收該些第一訊號以及該些第二 訊號，並將該些第一訊號以及該些第二訊號傳遞至該 中央處理單元，該中央處理單元判讀該些第一訊號以 及該些第二訊號後，命令該控制單元操控該些搬運系 14 统去搬運晶圓承载盒。 輪方圍第2項所述之晶圓承載盒運 最接近該單元命令該控制單元去操控 /—呵架千台的搬運系統去搬運晶圓承载盒。 耠古土、如申請專利範圍第2項所述之晶圓承载各運 輪方法，其中該些搬運系統各包含有 複數個搬運機且，兮有回木執道以及 上，談此搬運趟且:運機具滑接於該高架軌道 以^ 該㈣單元連接，難制單元用 些搬運機具去搬運晶圓承=執道上移動，且操控該 輪方ΓΠ請專利範圍第4項所述之晶圓承载盒運 其中該㈣運機具不會同時 台進行操作。 似呵木十 6、 如中請專利範圍第4項所述之晶圓承载各運 =方法，其中該些搬運機具各包含—滑動座、一;縮 :以及-夹持件’該滑動座滑接該高架執道，該伸縮 官連接於該滑動座以及該央持件之間。 7、 如申請專利範圍第1項所述之晶圓承載各運 輸方法’其中該感測系統包含複數個發射器、接㈣ 以及，射器，該些反射器分別連接於該些高架平; 上，每一高架平台連接有一電磁波遮蔽件。 8、如申請專利㈣第7項所述之晶圓承载盒運 輸方法，其中該電磁波遮蔽件與該高架平台為一體成 15