CN101640166B - 基片传输装置及其控制系统和控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种基片传输装置及其控制系统和控制方法，在负载端口中设置了一个激光传感器或激光测距器，用于判断锁闭器端口面板的位置改变，并把位置改变信号传给控制系统，当出现误操作或错误设定参数而致使夹具上的片盒和伸出的锁闭器端口面板发生误挤压时，控制系统能停止基片升降驱动装置的电机工作，停止片盒继续下降，以避免对设备造成损坏。可以用在负载锁闭器和负载端口的安全联合调试的过程中，也可以用在基片的加工过程中，能有效避免片盒与锁闭器端口面板之间发生误挤压。

Description

基片传输装置及其控制系统和控制方法

技术领域

本发明涉及一种微电子加工设备，尤其涉及一种基片传输装置及其控制系统和控制方法。

背景技术

在半导体加工集群设备中，基片传输系统的结构如图1所示，包括负载端口1、负载锁闭器2、传输腔室3。在基片加工过程中，通过工厂自动运输系统或者人工把装有片盒的片仓放到负载端口1中，然后集群设备基片传输系统按照预定的软件设置将片仓中的片盒运输到负载锁闭器2中，之后传输腔室3中的真空机械手从负载锁闭器2中的片盒中取出一片基片传递到反应腔室4中，进行加工工艺。等基片加工工艺完成后，又按照原来的传输路线返回到负载锁闭器2中的片盒中；当片盒中的所有基片都完成加工后，系统就自动把片盒传输到负载端口1中的片仓内，之后工厂自动运输系统或者人工把片仓取走。

现有技术中的负载锁闭器和负载端口的结构如图2所示，其中负载端口1承接人工或其他方式运输来的片仓，片仓放置到SMIF(标准机械界面)端口面板5上，然后由立柱7上的夹具8夹紧片仓中的片盒6，之后立柱7上升一定高度，并带动片盒6上升。然后负载锁闭器2中的锁闭器端口面板9在机械手臂10的驱使下向外伸展到片盒6的下方，于是立柱7下降把片盒6放到锁闭器端口面板9上，待夹具8松开后，机械手臂10缩回到负载锁闭器2的腔室内。

上述现有技术至少存在以下缺点：

当锁闭器端口面板9伸展到片盒6的下方后，夹有片盒6的立柱7在下降的过程中，片盒6与锁闭器端口面板9之间容易发生误挤压。

发明内容

本发明的目的是提供一种能有效避免片盒与锁闭器端口面板之间发生误挤压的基片传输装置及其控制系统和控制方法。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

本发明的基片传输装置，包括负载端口，所述负载端口中设有闭锁器端口面板高度检测装置。

本发明的基片传输控制系统，包括控制单元，上述的基片传输装置的闭锁器端口面板高度检测装置的检测信号传输给所述控制单元，所述控制单元根据接收到的检测信号控制基片升降驱动装置的运行或停止。

本发明的上述基片传输装置的控制方法，包括步骤：

首先，检测闭锁器端口面板的高度变化信息；

然后，根据所述高度变化信息控制基片升降驱动装置的运行或停止。

由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明所述的基片传输装置及其控制系统和控制方法，由于负载端口中设有闭锁器端口面板高度检测装置，控制单元根据检测到的闭锁器端口面板的高度变化信息控制基片升降驱动装置的运行或停止，能有效避免片盒与锁闭器端口面板之间发生误挤压。

附图说明

图1为现有技术中半导体加工集群设备的结构示意图；

图2为现有技术中负载锁闭器和负载端口的结构示意图；

图3为本发明的基片传输装置的具体实施例一中的负载端口的结构示意图；

图4为本发明的基片传输装置的具体实施例二中的负载端口的结构示意图。

具体实施方式

本发明的基片传输装置，其较佳的具体实施方式是，在负载端口中设有闭锁器端口面板高度检测装置，用于检测闭锁器端口面板的高度，当闭锁器端口面板的高度低于设定的阈值时，片盒停止下降，能有效避免片盒与锁闭器端口面板之间发生误挤压。

具体实施例一，如图3所示：

闭锁器端口面板高度检测装置可以为激光传感器，激光传感器包括相对设置的发射器11和接收器12。具体发射器11和接收器12可以分别设于负载端口1的相对的两侧壁上，发射器11的发射光束13穿过闭锁器端口面板9的底面并与其平行。

发射器11和接收器12可以分别设有高度调节装置(图中未示出)，用于调节发射光束13到闭锁器端口面板9的底面的距离d，发射光束13的位置即为闭锁器端口面板9的底面的最低限位。当片盒6下降并与闭锁器端口面板9发生误挤压时，闭锁器端口面板9就会向下弯曲，当弯曲到允许的极限位置时，发射光束13被闭锁器端口面板9的底面挡住，即可发出报警信号并采取相应的措施，停止片盒6的下降。

具体实施例二，如图4所示：

闭锁器端口面板高度检测装置可以为激光测距器14。激光测距器14可以设于闭锁器端口面板9的下方，且激光测距器14的发射光束垂直于闭锁器端口面板9的底面。具体可以将激光测距器14设于SMIF端口面板上。

激光测距器14的发射光束被闭锁器端口面板9的底面返回，激光测距器14可以据此测定闭锁器端口面板9的底面的高度，当闭锁器端口面板9的底面低于设定的阈值时，即可发出报警信号并采取相应的措施，停止片盒6的下降。

本发明的基片传输控制系统，其较佳的具体实施方式是，包括控制单元，上述的基片传输装置的闭锁器端口面板高度检测装置的检测信号传输给控制单元，控制单元根据接收到的检测信号控制基片升降驱动装置的运行或停止。

具体当闭锁器端口面板高度检测装置为激光传感器时，激光传感器包括相对设置的发射器和接收器，当发射器的发射光束被闭锁器端口面板挡住时，接收器接收到的信号发生改变，接收器将信号输入给控制单元，控制单元根据信号的改变控制基片升降驱动装置停止。

当闭锁器端口面板高度检测装置为激光测距器时，当激光测距器检测到闭锁器端口面板的高度低于设定的阈值时，激光测距器将该信息输入给控制单元，控制单元根据该信息控制基片升降驱动装置停止。避免片盒与锁闭器端口面板之间发生误挤压。

本发明的上述的基片传输装置的控制方法，其较佳的具体实施方式是，包括步骤：

首先，检测闭锁器端口面板的高度变化信息；然后，可以根据高度变化信息控制基片升降驱动装置的运行或停止。

高度变化信息可以包括闭锁器端口面板下方的激光束是否被挡住或闭锁器端口面板的高度是否低于设定的阈值。当闭锁器端口面板下方的激光束被挡住或闭锁器端口面板的高度低于设定的阈值时，基片升降驱动装置停止运行。根据需要，也可以设置其它的高度变化信息用于反映闭锁器端口面板的高度变化，以控制基片升降驱动装置的运行或停止，避免片盒与锁闭器端口面板之间发生误挤压。

本发明可以用在负载锁闭器和负载端口的安全联合调试的过程中，也可以用在基片的加工过程中，通过在负载端口中设置了一个激光传感器或激光测距器，来判断锁闭器端口面板的位置改变，并把位置改变信号传给控制系统，当出现误操作或错误设定参数而致使夹具上的片盒和伸出的锁闭器端口面板发生误挤压时，控制系统能停止基片升降驱动装置的电机工作，停止片盒继续下降，以避免对设备造成损坏。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (13)

1.一种基片传输装置，包括负载端口，其特征在于，所述负载端口中设有闭锁器端口面板高度检测装置，所述锁闭器端口面板与负载锁闭器的腔室内的机械手臂连接。

2.根据权利要求1所述的基片传输装置，其特征在于，所述闭锁器端口面板高度检测装置为激光传感器。

3.根据权利要求2所述的基片传输装置，其特征在于，所述激光传感器包括相对设置的发射器和接收器。

4.根据权利要求3所述的基片传输装置，其特征在于，所述发射器和接收器分别设于所述负载端口的相对的两侧壁上，所述发射器的发射光束平行于所述闭锁器端口面板的底面。

5.根据权利要求4所述的基片传输装置，其特征在于，所述发射器和接收器分别设有高度调节装置。

6.根据权利要求1所述的基片传输装置，其特征在于，所述闭锁器端口面板高度检测装置为激光测距器。

7.根据权利要求6所述的基片传输装置，其特征在于，所述激光测距器设于所述闭锁器端口面板的下方，且所述激光测距器的发射光束垂直于所述闭锁器端口面板的底面。

8.一种基片传输控制系统，包括控制单元，其特征在于，权利要求1至7任一项所述的基片传输装置的闭锁器端口面板高度检测装置的检测信号传输给所述控制单元，所述控制单元根据接收到的检测信号控制基片升降驱动装置的运行或停止。

9.根据权利要求8所述的基片传输控制系统，其特征在于，所述闭锁器端口面板高度检测装置为激光传感器，所述激光传感器包括相对设置的发射器和接收器，当所述发射器的发射光束被所述闭锁器端口面板挡住时，所述控制单元控制基片升降驱动装置停止。

10.根据权利要求8所述的基片传输控制系统，其特征在于，所述闭锁器端口面板高度检测装置为激光测距器，当所述激光测距器检测到所述闭锁器端口面板的高度低于设定的阈值时，所述控制单元控制基片升降驱动装置停止。

11.一种权利要求1至7任一项所述的基片传输装置的控制方法，其特征在于，包括步骤：

首先，检测闭锁器端口面板的高度变化信息；

然后，根据所述高度变化信息控制基片升降驱动装置的运行或停止。

12.根据权利要求11所述的基片传输装置的控制方法，其特征在于，所述高度变化信息包括所述闭锁器端口面板下方的激光束是否被挡住或所述闭锁器端口面板的高度是否低于设定的阈值。

13.根据权利要求12所述的基片传输装置的控制方法，其特征在于，当所述闭锁器端口面板下方的激光束被挡住或所述闭锁器端口面板的高度低于设定的阈值时，所述基片升降驱动装置停止运行。

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