TWI359202B - - Google Patents

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1359202 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 及用以固定該靶材且 本發明係關於具有濺鍍用之乾材、 冷卻該靶材之冷卻板的靶材結構及其製造方法。 【先前技術】 例如在半導體裝置之製造製㈣巾，係❹在基板上進 行成膜之濺鍍裝置。濺鍍裝置具有藉由離子化之氣體等之 • %擊而放出所期望之原子的賤鍍用乾材。該乾材τ，例如 如圖4所示，其背面側係接合於襯墊板Ββ濺鍍時，由於離 子之衝擊等會絲材表面之溫度上升，因此需要冷卻乾材 Τ。因此，於襯墊板β之内部通常形成有供冷卻水流過之冷 卻水流路Α。 迄今為止，靶材T與襯墊板8例如為提高用以冷卻之熱 傳導性，而藉由所謂結合（b〇nding)將其接合。結合係藉由 於靶材T與襯墊板β之接合面介入有結合材c，貼合靶材τ 與襯墊板B而進行。 先前技術文獻 專利文獻 專利文獻1 :日本專利公開公報2007_0513〇8號 【發明内容】 發明所欲解決之問題 然而’上述結合須使用較高價之In、Sn等結合材，且需 要進行乾材或襯塾板之對位或接合面之改質處理、結合材 之塗布、加熱處理等多種步驟。因此’於結合上會耗費成 146010.doc 比 9202 本/、時帛3 φ ’若不進行結合而單純以其他方法固 定，則會使靶材與襯墊板間之熱傳導性降低。 本發明係鑑於上述問題點而完成者，其目的在於提供一 種可在維持㈣與襯塾板等固歧間之熱傳導性下，以更 低成本及料間製造具妹材及^板的㈣結構，及該 靶材結構之製造方法。 解決問題之技術手段 用以達成上述目的之本發明之乾材結構，係具㈣㈣ 之=材&用以固定該乾材且冷卻該乾材之固定板者，且 =述固定板t形成有供冷卻流體流過之流體流路，該流 體流路係形成於與濺鍍時前述 4祀材之消耗相對較多之部份 對向的位置，並且前述固定 ^^疋扳與則述耙材係藉由於無前述 仙·體流路之位置貫通前述 .^ 心败乏螺釘而固定，又，前述 靶材之一部份係露出於前述流體流路。 根據本發明’由於係藉由 可^… 宁糟由螺釘固定靶材與固定板，因此 开U 精此與错由結合固定之情 形相比，可大幅降低製造 n。ϋ 本又，亦可大幅縮短製造時 碹猝仏 系出於流體流路，因此可 料晋“傅導吐。又，固定板之流體流路 係。又置於濺鍍時靶材消耗較 如*欢。。 夂成问溫之部份。因此， 如本發明般之藉由於盔前 定板之硬Α七 …刖述机體流路之位置以貫通前述固 疋板之螺釘來固定靶材與固 置，即靶材厚产犋 可於靶材消耗較少之位 因長時門 螺釘固定。因此，即使 口贫时間之使用而消赵釦 、可維持耙材與固定板之固 146010.doc l^2〇2 定。 定板之时前料材之面，形成供前述冷 部 過之槽，藉由以前述螺釘固定前述乾材與前述固 广板，而可Μ前述乾材封閉前述槽而形成前述流體流路。 该情：下’例如’無需如於固定板形成貫通内部之流體流 路之情形般’例如將預先分割形成之半個之固定板彼此予 以焊接專等，因此可容易地進行固定板之加工。另，若奸 除㈣則會露出固定板之流體流路，因此可進行例如由於 長時間使用而滯留於流體流路内之異物之檢查與除去。藉 此，可延長固定板之製品壽命。 又亦可於則边乾材之固定於前述固定板之面上，形成 嵌合於前述槽而封閉前述槽之凸部。該情形下由於可以 凸部之部份確絲材之厚度，因此即使於流體流路中流過 高壓之冷卻流體而提高冷卻效率，亦可確絲材之耐性。 另，由於對槽嵌合凸部，因此可提高流體流路之氣密性。 再者3Γ令易地進行固定時材與固定板之定位。 根據另-觀點之本發明之㈣結構之製造方法，盆中前 迷乾材結構係具有賤鍍用之乾材、及用以固定該乾材且冷 部该乾材之固定板；前述製造方法係將供冷卻流體流過之 :體流路形成於前述固定板之與減鑛時前述乾材之消耗相 2多=部份對向的位置，並藉由於無前述流體流路之位 貝通别相定板之螺釘固定前述固定板與前述乾材，且 前述1"材之—料露出於前㈣體流路。 發明之效果 l46〇i〇.d〇c 1359202 根據本發明，可於維持靶材與固定板間之熱傳導性下， 以更低成本及短時間製造乾材結構。 【實施方式】 以下，兹參照圖式說明本發明之較佳之實施形態。 圖1係顯示本實施形態之靶材結構丨之構成概要之縱剖面 的說明圖。另，本說明書及圖式中，關於實質上具有相同 機此構成之構成要素，係藉由賦與相同符號而省略重複說 明。 靶材結構丨具有濺鍍用之板狀靶材1〇、及固定靶材1〇且 冷卻靶材10之作為板狀之固定板的襯墊板n。靶材1〇之材 質，例如係使用八卜〜1〇、1丁〇、8卜_等’襯塾板 11之材質，例如係使用（^或剔、Ti、不鏽鋼等。 靶材ίο之背面側係貼合於襯墊板u。襯墊板"之靶材 側之面’形成有用以冷卻靶材1〇之供冷卻流體流過之槽 20 & 2G係以相對於例如設有$材結構1之濺鑛裝置之磁 鐵Μ之位置的方式，而配設成例如圖2所示之從平面所i 為大致U子型。槽2〇之加工例如係藉由機械加工進行。再 者，濺鍍裝置例如係藉由磁鐵_生磁場，藉由該磁場控 制例如離子，使離子衝擊於靶材1〇。 如圖1所不，靶材10之背面側，形成有嵌合於槽20而封 閉槽2〇之凸部3〇。凸部30從平面所見，係形成與槽20相同 之大致u子狀。凸部3〇係以低於槽2〇之深度而形成，且於 槽20嵌合有凸部30時，凸部3〇會封閉槽2〇之開口部而形成 流體流路40。藉此’使靶材1〇之一部份露出於流體流路 1460J0,<J〇c ^59202 4〇。流體流路40例如於兩端形成有作為冷卻流體例如冷卻 水之出入口，藉由於流體流路4〇流動以冷卻水可將襯墊 板11調整至低溫，藉由該襯墊板丨丨可冷卻靶材1〇。再者， 靶材10之凸部30係藉由機械加工或擠壓成型而形成。 襯墊板11與靶材1〇係藉由複數之螺釘5〇而固定。螺釘 例如係於不干擾流體流路4〇之位置，以從襯墊板U之背面 側貫通襯墊板11之方式而設置。 另，襯墊板11與靶材10間之流體流路40之外側，係設有 環狀之密封部60。 製造靶材結構1時，係在於槽2〇嵌合凸部3〇之狀態下， 藉由螺釘5G而固《襯塾板丨丨與@材丨^此時，螺釘係設 於無流體流路4G之位置。藉由該固定，使乾材10之-部份 露出於流體流路40。 根據以上實施形態，由於係藉由螺針50固定乾材10與襯 板11 口此可簡化乾材結構1之製造步驟。藉此，與藉 由1合而固定之情形㈣可大幅降低製造成本。且亦可大 、Ί丑製時間。再者’由於乾材i 〇之一部份係露出於流 體机路40，因此可確保靶材1 〇與襯墊板11間之熱傳導性。 又由於係藉由於無流體流路40之位置貫通襯墊板]丨之螺 而固疋靶材10與襯墊板丨丨，因此如圖3所示，可於濺 錢時遠離磁鐵M且乾材10之消耗（減少）較少的位置，即乾 材10之厚度得以維持之部份以螺釘固定。因此，即使由於 時1使用而消耗乾材10，亦可維持乾材10與襯塾板丄丄之 固定。 1460l0.doc 1359202 再者，由於不進行結合，因此無須將結合材附著於乾材 可將使用完之料1()從㈣板叫除而作騎材原料 進行再利用。s，可防止因舰巾料衝擊於結合材而從 結合材放出之物質污染處理基板之情事。再者，由於製造 時不使用如結合時需使用之熱，因此不會因熱而於例如概 墊板11產生翹曲，從而無需進行襯墊板丨丨之翹曲之修正， 此外亦可防止襯墊板1 1本身之劣化。 另，上述實施形態中，於襯墊板u之固定耙材10之面上 形成槽20，且以螺釘固定靶材1〇與襯墊板丨丨，藉此以靶材 1〇封閉槽20而形成流體流路40。該情形下，無需如例如於 襯墊板11形成貫通内部之流體流路之情況般，將例如預先 分割而形成之半個之襯墊板彼此予以焊接等等，因此可容 易地進行襯塾板11之加工。另’若卸除靶材1〇則會使襯塾 板11之流體流路40露出，因此可進行例如由於長時間使用 而滯留於流體流路40内之異物之檢查與除去。藉此，可延 長襯墊板11之製品壽命。 又，上述實施形態中，於靶材10之固定於襯墊板丨丨之面 上’形成有嵌合於槽20而封閉槽20之凸部3〇。因此，可以 &部30之部份確保靶材1 0之厚度，故即使於流體流路4〇流 動以南壓之冷卻流體而提高冷卻效率，亦可確保纪材1 〇之 耐性。另’由於對於槽20嵌合以凸部3〇，因此可提高流體 流路40之氣密性。再者，可容易地進行固定時的靶材1〇與 襯墊板11之定位。 以上參照附圖説明了本發明之較佳之實施形態，但本發 1460I0.doc 1359202 明不限於該例。所屬領域技術人員顯然可在申請專利範圍 所記載之思想之範疇内’思及各種變更例或修正例，亦可 了解該_更例或修正例當然亦屬於本發明之技術範圍 内。 【圖式簡單說明】 圖1係顯示耙材結構之構成之縱剖面之說明圖。 圖2係從平面觀察乾材結構時之說明圖。 圖3係顯示因濺鍍而消耗靶材之狀態的鞑材結構之說明 圖。 圖4係顯示利用結合之靶材結構之構成之縱剖面的說明 圖。 【主要元件符號說明】 1 靶材結構 10 靶材 11 襯墊板 20 槽 30 凸部 40 流體流路 50 螺釘 I46010.doc

Claims (1)

1. 七'申請專利範圍： I 結構，其係具有物之_、及用以固定該 亚冷钾該靶材之固定板者； 該二*I口疋板，形成有供冷卻流體流過之流體流路， 之部2路係％成於與魏時前述㈣之祕相對較多 °ί伤對向的位置； 位固定板與前述乾材’係藉由於無前述流體流路之 位：貝通前述固定板之螺釘而固定； 2. 二述靶材之—部份係露出於前述流體流路。 。月求項1之乾材結構，1 /、中於則述固定板之固定前述 面上，形成有供前述冷卻流體流過之槽；且， 述螺釘W前述Μ與前述固定板，而以前 」才封閉則述槽而形成前述流體流路。 :求項2之靶材結構，其中前述耙材之固定於前述固 部。 上形成有嵌合於前述槽而封閉前述槽之凸 種乾材結構之製造 .. 方法，其中該靶材結構具有濺鍍用 &才、及用以固定該靶材並冷卻該靶材之固定板； ^返製造方法係將供冷卻流體流過之流體流路形成於 ^ 、機鍍捋别述靶材之消耗相對較多之部份 n ^ 猎由於無前述流體流路之位置貫通前述 固疋板之螺钉而固宁& 口疋則返固定板與前述靶材，並使前述 乾材之一部份靈&丄 出於别述流體流路。 146010.doc