TWI353014B - - Google Patents

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1353014 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於晶圓洗淨或蝕刻等的表面處理裝置，尤 其是，關於浸漬深度仍然保持而抑制攪拌搖動寬度，可得 到裝置的小型化的濕式表面處理裝置者。 【先前技術】 如周知地，因IT技術領域的技術競爭的激烈化，因此 精密機器方面的生產技術領域，也被要求低成本化》 尤其是，晶圓洗淨或蝕刻等的表面處理裝置E中，在 處理層S間搬運，一般使用如第9圖所示的直動系驅動機構 DL之故，因而爲防止依處理液所致的驅動部的腐蝕或依 驅動部的發塵所致的處理量的污染，從處理層區域分開主 要的驅動機構部，必須作成懸垂構造，而由必需面積與構 造的剛性方面，結果會導致裝置全體的大型化。考慮設置 於地板費用高價格的潔淨室，除了設備的降低成本之外， 還有減少小型化所致的地板費用成爲課題。 專利文獻1:日本專利第270 1 520號 如第10圖所示地，在該文獻的濕式表面處理裝置1中 ，使用與處理間搬運機2環狀配置的處理層3,藉由處理間 搬運機2的驅動源3的動力，來驅動齒輪機構4，將承載懸 掛於臂5的被處理物W的托架6，以對於各槽6內的處理液 的浸漬昇降，槽6間的搬運，處理液內的攪拌搖動，把機 構本體作成小型化，又，驅動部都作成旋轉系統，而以旋 -5- (2) (2)1353014 轉軸的封閉密閉。以防止腐飩、發塵污染，不必作成分開 設置驅動機構部，表示將設備全體作成精緻化的方法。 在此，在上述齒輪機構4是具備：藉由驅動源3的動力 ’自轉在垂直軸周圍之同時，也公轉的機構。又具備公轉 之同時，旋轉在正交於垂直軸方向的軸周圍的旋轉軸Η， 將以該旋轉軸Η作爲中心予以齒輪連結的箱C，以行程L進 行旋轉，並將經由臂5連結於箱C的托架6，在行程L的範 圍，俾進行對於各槽6內的處理液的浸漬昇降，槽6間的搬 運，處理液內的攪拌搖動。 【發明內容】 因此，在此種構造中，決定浸漬深度的上下行程與搖 動寬度，是如第11圖至第14圖所示地依存於連桿長度L之 故，因而搖動寬度也必然地擴大。所以，托板尺寸變大時 等，欲增大浸漬深度時，則搖動寬度也擴大，工作與處理 層壁會干擾之故，因而結果有設備尺寸變大的課題。 如此，根據隨著今後的處理多數個取出化的托板尺寸 的擴張，或工作的尺寸增大，期望可任意地設定浸漬深度 與搖動行程的機構。 本發明是由此種背景被提案者，如使用至今的連桿機 構的搬運方法地，對於浸漬昇降與攪拌搖動的兩行程以一 支連桿長度所決定，其目的在於提供藉由以兩支連桿的差 動來進行兩個動作，而以各連桿長度的組合，可小型化仍 維持相同浸漬深度的設備的濕式表面處理裝置。 -6- (3) (3)1353014 爲了解決上述課題’本發明的申請專利範圍第1項’ 具備：儲存處理液的複數處理槽12;及在前端收容被處理 物的托架36;及將上述托架36依次移動至各個處理槽12而 進行浸漬的搬運機構部13，該搬運機構部13是進行將上述 托架36予以昇降於每一上述處理槽12的浸漬昇降動作’及 在上述處理槽12內予以搖動的攪拌搖動動作的機構構成’ 將上述浸漬昇降動作的動作範圍，與上述攪拌搖動動作的 動作範圍相比較作成較大，就與浸漬深度比較，可抑制搖 動寬度之故，因而可小型化設備。 又，賦予上述各構成要素，及以下所述的各構成要素 的符號，是表示與下述的實施形態所述的具體性手段的對 應關係的一例子。 又，在本發明的申請專利範圍第2項中，將上述浸漬 昇降動作的動作範圍，與上述攪拌搖動動作的動作範圍相 比較作成較大，上述托架36的移動軌跡設定成橢圓，則與 浸漬深度比較，可抑制搖動寬度之故，因而可將設備作成 小型化。 又，在本發明的申請專利範圍第3項中，托架3 6，爲 以[{上下移動箱27的轉動轉軸與搖動箱31的轉動中心軸間 的距離Ll} + {搖動箱31的轉動中心軸與懸掛臂35的連結軸 間的距離L2}]x2作爲上下方向的動作行程，進行浸漬昇降 動作，而以[{上下移動箱27的轉動轉軸與搖動箱31的轉動 中心軸間的距離L 1 } - {搖動箱3 1的轉動中心軸與懸掛臂3 5 的連結軸間的距離L2}]x2作爲水平方向的搖動程，進行攪 (4) (4)1353014 拌搖動動作，則作爲浸漬昇降動作在上下方向確保 2(L1+L2)的動作行程，一方面，作爲攪拌搖動動作可將水 平方向的搖動行程抑制在2(L1-L2)的振動寬度。 又’在本發明的申請專利範圍第4項中，依次嚙合以 沿著搬運箱19突出的上述托架驅動軸24的軸線X2作爲旋 轉中心的第一上下移動齒輪28，及以平行於軸線X2的軸 作爲旋轉軸的第二上下移動齒輪29，及第三上下移動齒輪 30’將上下移動箱27作成轉動在軸線X2周圍的構成， 從上下移動箱27突出上述第三上下移動齒輪3〇的 軸’在搖動箱31內安裝第一搖動齒輪32，而將第三搖動 齒輪34經由將軸固定於搖動箱31的第二搖動齒輪33嚙 合於該第一搖動齒輪32’則上下移動箱27是以上下移動 箱27的旋轉中心的軸線χ2與第三上下移齒輪3〇的軸間 的長度尺寸L1作爲旋轉半徑進行旋轉。 又，以上述第三上下移動齒輪30的旋轉，在搖動箱 31中’安裝於第三上下移動齒輪30的軸的第—搖動齒輪 32是旋轉，而經由將軸固定於搖動箱31的第二搖動齒輪 33，第三搖動齒輪34是旋轉第一搖動齒輪32的旋轉。藉 由此’搖動箱31是在與上述上下移動箱27相反周圍，以 搖動箱31的旋轉中心的第一搖動齒輪32的軸與上述第三 搖動齒輪34的軸間的長度尺寸L2作爲旋轉半徑可進行旋 轉。 又’在本發明的申請專利範圍第5項中，在搬運箱 19’對於安裝於上述行星齒輪22的軸23的第—傳動齒輪 (5) (5)1353014 25，等角度別地嚙合第二傳動齒輪26，朝上下移動箱27 分別突出上述每一角度的托架驅動軸24，依次經由第一 至第三上下移動齒輪28〜30，搖動箱31，第一至第三搖 動齒輪32〜34，從上述搖動箱31突出第三搖動齒輪34 的軸，在該軸安裝懸掛臂35，作成經由該懸掛臂35懸掛 托架36的構成，則將從上下移動箱27經由搖動箱31， 懸掛臂35來懸掛托架36的構成可作成複數單元設成不會 互相干擾的構成，而可大幅度增大生產性等，而成爲可實 現在習知構成很難的搬運機構。 又，在本發明的申請專利範圍第6項中，在上述搬運 機構部13，依據內齒齒輪17與行星齒輪22的齒數比， 以及第一，第二傳動齒輪25, 26的齒數比，將搬運齒輪 18:上下移動箱27的旋轉比設定在1:須浸漬的處理槽 1 2的數，一方面， 藉由上述搬運機構部13，爲了進行差動動作，將上 述第一上下移動齒輪28與第三上下移動齒輪30的齒數比 作爲1:2，一方面，將第一搖動齒輪32與第三搖動齒輪 34的齒數比設定作爲2: 1，則每當將搬運箱19依次帶至 所有心理槽12，而上下移動箱27以軸線X2作爲旋轉軸 進行1旋轉之故，因而承載晶圓的托架36是對於處理槽 12內的處理液，進行浸漬與拉起。 又，搖動箱31是與上下移動箱27的旋轉進行相反旋 轉之故，因而承載晶圓的托架36是在處理液中，以上下 移動箱27與搖動箱31的差分動作的行程進行搖動。 (6) (6)1353014 又，在本發明申請專利範圍第7項中，藉由上述搬運 機構部13的驅動裝置15令搬運箱19進行旋轉驅動，而 對於搬運箱19，成爲上述浸漬昇降動作與上述攪拌滑動 動作的至少一方的驅動軸的托架驅動軸24相對地旋轉的 構成之故，因而可進行將在前端收容被處理物的托架36 依次搬運至各個處理槽12的動作，同時可進行浸漬昇降 動作成攪拌搖動動作。 又，在本發明的申請專利範圍第8項中，當以托架驅 動軸24的旋轉而令上下移動箱27進行旋轉，上述搖動箱 31是以偏移180度的相位朝相反周圍旋轉，則上下移動 箱27與搖動箱31是每當旋轉90度，成爲相加各個旋轉 半徑的直線狀態，一方面成爲在各個旋轉半徑間相減的互 相重疊的狀態。 又，在本發明的申請專利範圍第9項中，以托架驅動 軸24的旋轉，令上下移動箱27以與浸漬昇降動作的昇降 方向正交的旋轉軸爲中心進行旋轉，則上述搖動箱31是 以偏移180度的相位朝相反周圍旋轉之故，因而上下移動 箱27與搖動箱31，是在浸漬昇降動作的昇降方向，作成 相加各個旋轉半徑的直線狀態，一方面，在與浸漬昇降動 作的昇降方向正交的方向，作成各個旋轉半徑間相減的互 相重疊的狀態。 【實施方式】 以下，針對於本發明的濕式表面處理裝置，表示一實 -10- (7) 1353014 施形態，依據所附圖式進行說明。 在第1圖表示濕式表面處理裝置10，而在此濕式表面 處理裝置10中，在殼11內，每60°地環狀地配置儲存處理 液的複數處理槽12，例如6槽。在此些6槽的處理槽12上， ' 設置本發明的主要部的搬運機構部13。 搬運機構部13是詳細如下述，如處理工序爲6工序者 ，在前端具有懸掛收容被處理物的晶圓的托架的懸掛臂（ φ 如下述）。 又，上述搬運機構部13是在收容晶圓的托架卡止於前 端的懸掛臂的狀態，朝水平方向旋轉，依次搬運托架並浸 漬於設在同一周圍上的處理槽12中，藉由各處理槽12別的 處理液依次表面處理晶圓。 ' 亦即，在上述搬運機構部13中，在鄰接的處理槽12的 . 上述，將所供給的托架的握持部分卡止於懸掛臂，一面將 托架依次浸漬於處理槽12中，一面實行搬運的工序。 φ 之後，在某一處理槽12終了浸漬之後，在處理槽12上 部的托架供給位置，從懸掛臂拆架，搬出至裝置外面。 在此，針對於上述搬運機構部13，依據第2圖加以詳 細地說明。 亦即，上述搬運機構部13，是設置於底座14上面的一 ^ 具驅動電動機15，及在經由主軸承垂直地垂下於底座14下 面的旋轉基準軸16安裝內齒齒輪17。 又，對於上述旋轉基準軸16，經由主軸承旋轉自如地 支撐搬運齒輪18，在搬運齒輪18，將搬運箱19一體地且同 -11 - (8) 1353014 心地固定於上述旋轉基準軸16。 —方面，安裝於上述驅動電動機15的輸出軸20的小齒 輪21，是嚙合於上述搬運齒輪18而驅動此些，藉由上述輸 出軸20的旋轉驅動動作，俾將上述搬運箱19，轉動在旋轉 ' 基準軸16的軸線XI周圍。 又，在上述搬運箱19，將嚙合於內齒齒輪17的行星齒 輪22的軸23經於軸承平行地配設於軸線XI。當轉動搬運 φ 箱19，則被支撐於搬運箱19的軸23也公轉在軸線XI周圍 。安裝於軸23的行星齒輪22，是嚙合於內齒齒輪17進行自 轉。 又，在上述搬運箱19內，經由軸承配設正交於軸23的 托架驅動軸24，而在軸23與托架驅動軸24間，設置第一傳 * 動齒輪25，第二傳動齒輪26互相地嚙合。 • 藉由此種機構，軸23的旋轉力，是作成經由第一，第 二傳動齒輪25，26傳動至托架驅動軸24側的構成。 # 上述托架驅動軸24是從搬運箱19經由固定於搬運箱19 的軸承（省略圖示）予以突出，而將前端部固定於上下移動 箱27。藉由此，上述上下移動箱2 7是轉動在托架驅動軸24 的軸線X2周圍的構成。 在上述上下移動箱27內，在固定於上述搬運箱19的軸 承，吸附第一上下移動齒輪28。又，在上述上下移動箱27 內，將平行於軸線X2的軸作爲旋轉軸的第二上下移動齒 輪29與第三上下移動齒輪30依次嚙合於上述第一上下移動 齒輪28。結果，上述第二上下移動齒輪29是以軸線X2爲 -12- (9) (9)1353014 中心進行公轉，而嚙合於被固定在搬運箱19的第一上下移 動齒輪28進行自轉。 又，將第三上下移動齒輪30的軸，從上述上下移動箱 27經由貫通搖動箱31固定於上下移動箱27側的軸承（省略 圖示），嵌入在搖動箱31內，同時將前端部固定在搖動箱 在搖動箱31內，將第一搖動齒輪32安裝於固定在上述 上下移動箱27側的軸承，而依次將第二搖動齒輪33，第三 搖動齒輪34嚙合於此第一搖動齒輪32。藉由此，當旋轉第 三上下移動齒輪30之軸，則旋轉搖動箱31，而上述第二搖 動齒輪33是公轉在第三上下移動齒輪30軸周圍，又嚙合於 固定在上下移動箱27側的第一搖動齒輪32進行自轉。 又，將第三上下移動齒輪34的軸從上述搖動箱31突出 ，而在該軸安裝懸掛臂35,作成經由此懸掛臂35來懸掛托 架36。 使用如上述的構成的搬運機構部13，在濕式表面處理 裝置10中，對於從6工序所形成的處理工序，亦即對於所 有6個處理槽12，爲了實行浸漬昇降動作，在搬運機構部 13中，在搬運齒輪18進行1旋轉之期間令上下移動箱27須 進行6旋轉，而須將內齒齒輪17與行星齒輪22的齒數比作 爲3:1，將第一，第二傳動齒輪25，26的齒數比作爲2 : 1 ，而將搬運齒輪18:上下移動箱27的旋轉比設定作爲1: 6 〇 又，藉由上述搬運機構部13，作爲攪拌搖動動作，爲 -13- (10) 1353014 了進行差動動作，將上述第一上下移動齒輪28與第三上下 移動齒輪30的齒數比作爲1: 2，並將第一搖動齒輪32與第 三搖動齒輪34的齒數比設定作爲2 : 1。 本發明的濕式表面處理裝置10，如以上地所構成者， 以下與動作，一起槪略說明作用。 在該濕式表面處理裝置10的搬運機構13中，內齒齒輪 17是經由旋轉基準軸16被固定在底座14之故，因而當驅動 φ 設在底座14的驅動電動機15，則令輸出軸20前端的小齒輪 21旋轉，而把搬運齒輪18旋轉在旋轉基準軸16的周圍，而 固定在搬運齒輪18的搬運箱19是以旋轉基準軸16的軸線 X 1爲中心可進行旋轉（參照第2圖）。 在搬運箱19的旋轉，行星齒輪22是行星旋轉內齒齒輪 ' 17內，而經由第一傳動齒輪25，第二傳動齒輪26，上下移 • 動箱2*7是以托架驅動軸24，亦即以軸線X2作爲旋轉軸進 行旋轉。 • 以上下移動箱27的軸線X2作爲中心的旋轉，第二上 下移動齒輪29是以軸線X2爲中心進行公轉，而嚙合於被 固定在搬運箱19側第一上下移動齒輪28進行自轉，而第三 上下移動齒輪30也旋轉。 這時候，上述上下移動箱27是以上下移動箱27的旋轉 中心的軸線X2與上述第三上下移動箱30的軸間的長度尺 寸L1作爲旋轉半徑進行旋轉（參照第3圖至第6圖）。 如此，以上述第三上下移動齒輪30的旋轉，固定於第 三上下移動齒輪30的軸的搖動箱31是進行旋轉，當搖動箱 • 14 - (11) (11)1353014 31進行旋轉，第二搖動齒輪33是公轉在第三上下移動齒輪 30的軸周圍，而嚙合於固定在上下移動箱27側的第一搖動 齒輪32進行自轉，而可將旋轉力傳動至第三搖動齒輪34。 這時，搖動箱3 1是與上述上下移動箱27相反方向地，以搖 動箱31的旋轉中心的第一搖動齒輪3 2的軸與上述第三搖動 齒輪34的軸間的長度尺寸L2作爲旋轉半徑可進行旋轉。 作成如此，搬運機構部13是藉由搬運箱19的旋轉動作 ，令設於搬運箱19的上下移動箱27，搖動箱31分別旋轉動 作，經由懸掛臂35可將托架3 6進行昇降動作，同時可將托 架36從處理槽12搬運至下一處理槽12。 可是，在上述上下移動箱27，搖動箱31的昇降搖動動 作中，藉由內齒齒輪17，行星齒輪22，第一，第二傳動齒 輪25，26的齒數比，令搬運箱19旋轉槽間再度60°之期間 ，上下移動箱27以軸線X2作爲旋轉軸進行〗旋轉之故，因 而承載晶圓的托架36，是對於處理槽12內的處理液，進行 浸漬與拉起》 又，藉由第一上下移動齒輪28與第三上下移動齒輪30 的齒數比，第一搖動齒輪32與第三搖動齒輪34的齒數比， 搖動箱31是如第4圖，第5圖，第6圖所示地，與上下移動 箱27的旋轉以180度的相位差進行相反旋轉之故，因而承 載晶圓的托架36，是在處理液中以上下移動箱27與搖動箱 31的差分動作的行程進行搖動。亦即，以托架驅動軸24的 旋轉，令上下移動箱27以與浸漬昇降動作的昇降方向（軸 線XI)正交的旋轉軸（軸線X2)爲中心進行旋轉，則上述搖 -15- (12) (12)1353014 動箱31，是以偏移180度的相位旋轉在相反周圔之故，因 而上下移動箱27與搖動箱31是在浸漬昇降動作的昇降方向 (軸線XI)，成爲相加各個旋轉半徑的直線狀態，一方面在 與浸漬昇降動作的昇降方向正交的方向（軸線X2)，成爲在 各個旋轉半徑間相減的互相垂疊的狀態。 如第4圖所示地，具體上，作成上下移動箱27的連桿 長度L1，搖動箱31的連桿長度L2時的2x(Ll-L2)成爲搖動 寬度。又，同時地上下行程是成爲2x(L1+L2)。 亦即，此爲在一個處理槽12，成爲可將承載晶圓的托 架36作成進行2x(Ll+L2)的上下移動（浸漬昇降），一方面 ，進行2x(Ll-L2)的搖動（攪拌搖動）（參照第7圖）。 如以上所說明地，在本發明的濕式表面處理裝置1 〇的 搬運機構部13中，如使用至今的連桿機構的搬運方法般地 ，與浸漬昇降與攪拌搖動的兩行程以一支連桿長度所決定 不相同，可提供將上下移動箱27與搖動箱3 1，作爲兩支連 桿的差動動作進行動作之故，因而以各連桿長度的組合， 可任意地設定各個行程，可小型化仍維持相同浸漬深度的 設備的濕式表面處理裝置1〇。 在此，藉由具體地實例來比較說明本發明的有利效果 〇 例如欲將尺寸爲W150xD150xH150的托架36浸漬至處 理槽12的液面下50mm，則在上述專利文獻1中，若將上下 移動箱的連桿長度L作爲】〇〇mm時，則托架是上下地可移 動200mm的行程，同時左右地可搖動200mm寬度。所以， -16- (13) (13)1353014 爲了作成槽壁不會干擾，必須將托架迴旋直徑需要φ 900mm所用的設備寬度作成1 5 00mm以上。 對於此，在本發明的構成，將L1作成70mm，將L2作 成30mm，則上下行程是仍保持相同200mm下，搖動行程 是被抑制在80mm，而可將托架36的迴旋直徑作成φ 460mm，設備寬度作成8 00mm的小型化，結果，成爲可將 設備設置面積達成70%以上的省空間化。 又，如以上所說明地，在本發明的構成中，仍維持上 下行程，而可抑制搖動行程之故，因而搬運機構部1 3是如 第8圖所示般地，可將上下移動箱27至前端作成3單元，設 成互相不會千擾的構成，而可大幅度增加生產性架，而可 實現在習知構成中，很難的搬運機構。 這時候，詳細是未予圖示，惟在搬運機構部13的搬運 箱19中，對於安裝於行星齒輪22的軸23的第一傳動齒輪25 ，每隔120度地嚙合第二傳動齒輪26，將每隔120度的托架 驅動軸24分別朝上下移動箱27突出，依次經由第一至第三 上下移動齒輪28〜30，搖動箱31，第一至第三上下移動齒 輪32〜34而從上述搖動箱31突出第三搖動齒輪34的軸，在 該軸安裝懸掛臂35，經由該懸掛臂35就可構築懸掛托架36 的構成。 【圖式簡單說明】 第1圖是表示本發明的濕式表面處理裝置的外觀立體 圖。 -17- (14) 1353014 第2圖是表示被使用於圖示於第1圖的濕式表面處理裝 置的搬運機構部的一例的構成性機構構成圖。 第3圖是表示圖示於第2圖的搬運機構部的來自A方向 的模式性側視圖。 ' 第4圖是表示用以說明圖示於第2圖的搬運機構部的動 作的模式性側視圖。 第5圖是表示用以說明圖示於第2圖的搬運機構部的動 φ 作的模式性側視圖。 第是表示用以說明圖示於第2圖的搬運機構部的動 作的模式性側視圖。 第7圖是表示本發明的第2實施形態的濕式表面處理裝 置的外觀立體圖。 * 第8圖是表示在被使用於本發明的濕式表面處理裝置 . 的搬運機構部中，對於一個處理槽的浸漬昇降動作，攪拌 搖動動作的承載被處理物的托架的軌跡的線圖。 φ 第9圖是表示使用習知的直動系驅動機構的濕式表面 處理裝置的一例的模式性機構構成圖β 第10圖是表示被使用於習知的濕式表面處理裝置的搬 運機構部的一例的模式性機構構成圖。 第11圖是表示圖示於第10圖的搬運機構部的來自Β方 向的模式性側視圖。 第12圖是表示用以說明圖示於第1〇圖的搬運機構部的 動作的模式性側視圖。 第〗3圖是表示用以說明圖示於第1〇圖的搬運機構部的 -18- (15) (15)1353014 動作的模式性側視圖。 第14圖是表示用以說明圖示於第10圖的搬運機構部的 動作的模式性側視圖。 【主要元件對照表】 10:濕式表面處理裝置 11 :殼 12 :處理槽 13 :搬運機構部 1 4 :底座 15 :驅動電動機 16 :旋轉基準軸 1 7 :內齒齒輪 18 :搬運齒輪 19 :搬運箱 20 :輸出軸 2 1 :小齒輪 22 :行星齒輪 23 ， 24 :軸 25:第一傳動齒輪 26 :第二傳動齒輪 2 7 :上下移動箱 28:第一上下移動齒輪 29:第二上下移動齒輪 -19- (16)1353014 30 ： 3 1: 32 ： 33 ： 34 ： 35 ： 36 ： 第三上下移動齒輪 搖動箱 第一搖動齒輪 第二搖動齒輪 第三搖動齒輪 懸掛臂 托架

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Claims (1)

1353014 ⑴ 十、申請專利範圍 1.—種濕式表面處理裝置，其特徵爲： 具備： 儲存處理液的複數處理槽12;及 ' 在前端收容被處理物的托架36;及 將上述托架36依次移動至各個處理槽12而進行浸漬 的搬運機構部13， φ 該搬運機構部13是進行將上述托架36予以昇降於每 —上述處理槽12的浸漬昇降動作，及在上述處理槽12內 予以搖動的攪拌搖動動作的機構構成， 將上述浸漬昇降動作的動作範圍，與上述攪拌搖動動 作的動作範圍相比較作成較大。 ' 2.如申請專利範圍第1項所述的濕式表面處理裝 • 置，其中，上述托架36的移動軌跡爲橢圓。 3.如申請專利範圍第1項所述的濕式表面處理裝 φ 置，其中， 上述搬運機構部13是具備：對於旋轉基準軸16,旋 轉自如地支撐的搬運齒輪18，及固定於該搬運齒輪18的 搬運箱1 9， 在該搬運箱19配設：安裝於上述旋轉基準軸16的內 齒齒輪17，及嚙合於內齒齒輪17的行星齒輪22，及與該 行星齒輪22的軸23正交，而經由第一，第二傳動齒輪 25，26可動力傳動地連結的托架驅動軸24， 在該托架驅動軸24設置可轉動地連結的上下移動箱 -21 - 1353014

27 - 在該上下移動箱27，於平行於上下移動箱27 圍’設置朝與上述上下移動箱27逆旋轉地旋轉的 31， 在該搖動箱31，將懸掛上述托架36的懸掛臂 結於與上述上下移動箱27的轉動軸平行的軸， 上述托架36，爲以[{上下移動箱27的轉動轉 動箱31的轉動中心軸間的距離Ll} + {搖動箱31的 心軸與懸掛臂35的連結軸間的距離L2}]x2作爲上 的動作行程，進行浸漬昇降動作， 而以[{上下移動箱27的轉動轉軸與搖動箱31 中心軸間的距離L 1 } - ·{搖動箱3 1的轉動中心軸與 35的連結軸間的距離L2}]x2作爲水平方向的搖動 進行攪拌搖動動作。 4.如申請專利範圍第3項所述的濕式表面 置，其中， 在上述上下移動箱27與搖動箱31，上述托架顆 24是從搬運箱19突出，將前端部固定在上下移動箱 依次嚙合以沿著上述托架驅動軸24的軸線X2作赁 中心的第一上下移動齒輪28，及以平行於軸線X2中 爲旋轉軸的第二上下移動齒輪29，及第三上下移圍 30’而將上述上下移動箱27作成轉動在沿著對於J 運箱】9的旋轉中心軸的軸線X1正交方向的托架顆 24的軸線X2周圍的構成， J軸周 ^動箱 35連 !與搖 !動中 :方向 J轉動 〖掛臂 i程， :理裝 i動軸 27 > &旋轉 J軸作 〗齒輪 L述搬 i動軸 -22- (3) 1353014 從上下移動箱27突出上述第三上下移動齒輪3〇的 軸，在搖動箱31內安裝第一搖動齒輪32，而將第三搖動 齒輪34經由將軸固定於搖動箱31的第二搖動齒輪33嚙 合於該第一搖動齒輪32， ' 從上述搖動箱31突出該第三搖動齒輪34的軸，在該 軸安裝懸掛臂3 5，作成經由該懸掛臂3 5懸掛托架3 6的 構成。 φ 5.如申請專利範圍第4項所述的濕式表面處理裝 置，其中， 在上述搬運機構部13的搬運箱19， 對於安裝於上述行星齒輪22的軸23的第一傳動齒輪 25’等角度別地嚙合第二傳動齒輪26，朝上下移動箱27 • 分別突出上述每一角度的托架驅動軸24，依次經由第一 - 至第三上下移動齒輪 28〜30，搖動箱 31，第一至第三搖 動齒輪32〜34’從上述搖動箱31突出第三搖動齒輪34 # 的軸，在該軸安裝懸掛臂35，作成經由該懸掛臂35懸掛 托架36的構成。 6·如申請專利範圍第3項至第5項中任一項所述的 濕式表面處理裝置，其中， 在上述搬運機構部13，依據內齒齒輪17與行星齒輪 22的齒數比’以及第―，第二傳動齒輪25，26的齒數 比’將搬運齒輪18:上下移動箱27的旋轉比設定在I: 須浸漬的處理槽12的數，一方面， 藉由上述搬運機構部13，爲了進行差動動作，將上 -23- (4) (4)1353014 述第一上下移動齒輪28與第三上下移動齒輪30的齒數比 作爲1: 2，一方面，將第一搖動齒輪32與第三搖動齒輪 34的齒數比設定作爲2 : 1。 7. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的濕式表面 處理裝置，其中， 上述搬運機構部13是具有： 備有與上述浸漬昇降動作的昇降方向平行的方向延伸 的驅動軸的驅動裝置15;及 固定有上述驅動裝置15的底座14;及 被固定於上述底座14，而與上述驅動裝置15的驅動 軸20平行地延伸，與上述驅動軸不相同的旋轉基準軸 16 ;及 藉由上述旋轉基準軸16被支撐成可旋轉，而藉由上 述驅動裝置15被旋轉驅動的搬運箱19;及 可旋轉地被支撐於上述搬運箱19，藉由搬運箱19進 行旋轉驅動而對於搬運箱19相對地旋轉，成爲上述浸漬 昇降動作與上述攪拌搖動動作的至少一方的驅動軸的托架 驅動軸24。 8. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的濕式表面 處理裝置，其中， 上述搬運機構部13是具有： 依次被移動在上述複數處理槽12上的搬運箱19:及 以與上述浸漬昇降動作的昇降方向正交的旋轉軸爲中 心可旋轉地被支撐於上述搬運箱19，而對於上述搬運箱 -24- (5) (5)1353014 19相對地旋轉的托架驅動軸24;及 與上述托架驅動軸24 —體地可轉動地被連結的上下 移動箱27 ;及 設於上述上下移動箱27，與上述托架驅動軸24平 行，而與上述托架驅動軸24不相同的搖動旋轉軸；及 以上述搖動旋轉軸爲中心，與上述上下移動箱27相 反旋轉地旋轉的搖動箱31 ;及 設於上述搖動箱31，懸掛上述托架36的懸掛臂35, 上述上下移動箱27的旋轉與上述搖動箱31的旋轉相 位爲偏移180度。 9.如申請專利範圍第1項或第2項所述的濕式表面 處理裝置，其中， 上述搬運機構部13是具有： 備有與上述浸漬昇降動作的昇降方向平行的方向延伸 的驅動軸的驅動裝置15;及 固定有上述驅動裝置15的底座14;及 被固定於上述底座14 ’而與上述驅動裝置15的驅動 軸平行地延伸，與上述驅動軸不相同的旋轉基準軸；及 藉由上述旋轉基準軸被支撐成可旋轉’而藉由上述驅 動裝置15被旋轉驅動的搬運箱19;及 以與上述浸漬昇降動作的昇降方向正交的旋轉軸爲中 心可旋轉地被支撐於上述搬運箱】9’而對於上述搬運箱 19相對地旋轉的托架驅動軸24 ;及 與上述托架驅動軸24 一體地可轉動地被連結的上下 -25- (6) (6)1353014 移動箱27 ;及 設於上述上下移動箱27’與上述托架驅動軸24平 行，而與上述托架驅動軸24不相同的搖動旋轉軸；及 以上述搖動旋轉軸爲中心，與上述上下移動箱27相 反旋轉地旋轉的搖動箱31 ;及 設於上述搖動箱31，懸掛上述托架36的懸掛臂35, 上述上下移動箱27的旋轉與上述搖動箱31的旋轉相 位爲偏移180度。

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