TWI351448B - - Google Patents
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Description
1351448 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於電鍍處理系統所使用之導引裝置,詳細 爲:在塡充有電鍍處理液之電鍍處理用桶槽內,一面使印 刷基板等之被電鍍物移動,一面予以電鍍之電鍍處理系統 所使用之導引裝置。 【先前技術】 作爲電鍍印刷基板等之薄片狀長片形製品(以下稱: 工件)之電鍍處理系統,眾所周知,有於儲存於電鍍處理 用桶槽之處理液中,藉由從桶槽上方吊掛工件,一面對此 工件供電一面移動該工件,對工件表面施以電鍍之電鍍處 理系統。 詳細係如第12、1 3圖所示般,電鍍處理系統S係於 配置在桶槽902上方之長棒903,以吊掛工具90 5來吊掛 成爲電鍍對象之工件904,於將工件904浸漬於處理液A 之狀態下,沿著棒903移動吊掛工具90 5。然後,藉由對 其間從棒903供電至工件904,來對工件904進行電鍍處 理。 棒903係沿著移動工件904之桶槽902的長邊方向而 水平延伸,且作用爲陰極。因此,以後將棒903稱爲陰極 棒 903 。’ 另外,於處理液A之中,延伸於與陰極棒903同方向 之一對陽極906,係以於桶槽902的寬度方向隔以特定間 -4- (2) 1351448 隔來面對桶槽902的壁面之方式而設置,工件904係於彼 等一對陽極906、906之間平行地配置(參照第12圖)。 然後,在此狀態下,複數工件904係以直列狀態而移 動於電鍍液中,工件904依序被施以電鍍(參照第13圖 )。另外,配置於一對陽極906、906之間,且於工件904 之兩側,與桶槽902的長邊方向平行地設置有:在工件 904移動於桶槽902內之間,用以使陰極與陽極之間的距 φ 離,具體而言,前述陽極906和與陰極棒903導通之工件 • 904之間的距離之極間距離保持一定之一對導引裝置901 . (參照第12圖)。 • · •藉由導引裝置901使極間距離保持一定,電鍍厚度變 - 得均勻。換言之,導引裝置901雖係用以於桶槽902內使 .工件904直直進行者,但是實際上,工件9〇4係一面與導 引裝置901接觸、分開,一面被導引裝置901所導引而行 進於處理液A中。 • 然後,於行進中,工件904如與導引裝置901接觸時 ,附著於工件904之電鍍(銅)剝落而附著於導引裝置 901,其結果,產生分子的一部份被其他原子(原子團) 所還原之還原反應,電鍍於導引裝置901析出,有形成短 路電路之虞。如不設置導引裝置901,雖不會形成短路電 路,但是爲了使電鍍厚度均勻,使極間距離保持一定之導 引裝置901之設置係不可欠缺。 另一方面,伴隨電鍍處理之進行’爲了使所消耗的處 理液A中的金屬之例如銅的含有量保持一定,需要補充含 -5- (3) 1351448 有多數銅之液體之新的處理液A。因此,考慮從工件904 的兩側噴出處理液A,控制工件的姿勢,併同處理液a的 . 補充來使及間距離保持爲一定之方法。 因此本發明者,檢討如第14圖所示般,於設置於工 件904之兩側,且延伸於工件904的行進方向之一對電鍍 處理液補充用主管907、907,以等間隔排列延伸於對其軸 方向爲下垂之方向的複數枝管908,從多數地形成於枝管 φ 908的長邊方向之噴出孔981,以泵浦壓力朝工件904噴 . 射電鍍處理液A,藉此以非接觸式之狀態來導引工件904 是否可能。 -· •要以非接觸式之狀態來導引工件904,得知需要:從 . 位於枝管908的末端之噴出孔981至位於基端之噴出孔 . 9 8 1爲止,要同樣地吐出電鑛處理液A,及針對排列於主 管9 07之枝管90 8之全部,要以同樣壓力均等地吐出電鍍 處理液A。 # 可是,泵浦壓力會依據主管907中之枝管90 8的排列 位置而不同,或儲存於桶槽9 02內之處理液A的液壓會依 據枝管90 8中之噴出孔98 1之形成位置而不同,很難均等 地吐出電鍍處理液A,在非接觸式之狀態導引工件904, 係非常地困難。 在此情形時,將泵浦壓力設定高些,使從噴出孔981 所吐出的處理液A之量成爲最大時,可以從任何噴出孔 981 —樣地噴出電鍍處理液A。但是,工件904也有其厚 度例如極薄至30 a m至50 // m之程度’且撓性之印刷基 -6- 1351448
板。 因此,處理液A的吐出壓力如太強,工件904經不起 . 作用於工件904之吐出力,工件904在桶槽902內移動中 會不規則移動。另外,於枝管908與枝管908之間,且處 理液A沒有吐出之部位,工件904不受到處理液A的吐 出壓力之影響,工件904通過該部位時,工件904偏向該 部位存在之側而行進。此種情形如存在時,工件904會有 φ 彎曲、或損傷之虞。 因此,可以考慮:以框構件對工件904的周圍加邊框 ^ ,即使工件904與導引裝置901接觸,也不會對工件904 - 造成不好影響之方式,來使用邊框工具(未圖示出)。但 . 是在薄厚度之工件904的情形時,安裝邊框工具本身非常 _ 麻煩。此外’銅附著於該工具,消耗多餘之銅。進而也有 電氣或熱消耗增加之問題。 [專利文獻1]專利第2943070號公報 Φ [專利文獻2 ]專利第3 0 6 5 9 7 0號公報 [專利文獻3]日本專利特開2005-213641號公報 【發明內容】 [發明所欲解決之課題] 本發明係有鑑於前述情形所發明者,其欲解決之課題 爲提供:具有即使不需要邊框工具,也可以提升施於工件 之電鍍處理的均勻性之非接觸式導引之電鍍處理系統。
+C S (5) (5)1351448 [解決課題之手段] (1)爲了達成前述課題,本發明之使用於電鍍處理系統 之導引裝置,其特徵爲:係具有:儲存電鍍處理用之處理 液的桶槽、及在此桶槽內用以垂吊被施以電鍍處理之薄片 狀長片形製品之吊掛工具、及沿著前述桶槽而設置,使該 吊掛工具可以滑動地裝著,並具有作爲陰極功能之陰極棒 、及設置於前述處理液中,使電子從前述陰極棒移動,將 前述薄片狀長片形製品夾於其間,且對前述薄片狀長片形 製品爲平行地配置之一對陽極、及配置於該一對陽極的內 側,於將該薄片狀長片形製品夾於其間之狀態下,將該薄 片狀長片形製品導引於其進行方向之呈平板狀的一對導引 裝置;藉由一面對前述薄片狀長片形製品供電,一面使前 述吊掛工具在前述陰極棒上滑動,讓垂吊於前述吊掛工具 之前述薄片狀長片形製品在前述處理液中移動,來對前述 薄片狀長片形製品施以電鍍之電鎪處理系統,前述一對導 引裝置之各個,係具有:對於前述薄片狀長片形製品之進 行方向爲斜向並聯有複數根,並且從前述桶槽之外部供給 新的處理液之斜管,此斜管係具有:於其長邊方向延伸之 縫隙狀噴出孔,藉由經由該噴出孔,將前述新的處理液朝 向前述薄片狀長片形製品吐出。 本發明之導引裝置,係設置於電鍍處理系統之桶槽。 導引裝置係被浸漬於電鍍處理用處理液。 然後,形成於斜管之噴出孔’係延伸於斜管的長邊方 向之縫隙狀噴出孔’從噴出孔所被排出之處理液’係爲呈 -8- (6) 1351448 具有與形成有縫隙狀噴出孔之長度尺寸相同尺寸 狀態。 因此,從斜管之噴出孔所被排出之處理液, 長邊方向並無中斷。換言之,於斜管中延伸於其 ,形成有前述處理液之噴出的縫隙狀噴出孔之區 無噴出處理液與不噴出之處,係全部噴出處理液 不會有如以往技術中說明般,工件通過不吐出處 位時,工件與導引裝置接觸,工件偏向有該部位 進。 另外,一對導引裝置之各個,係具有對於薄 形製品之進行方向爲斜向並聯有複數根之斜管, 相鄰之斜管彼此,產生於上下方向交叉之範圍。 會有於一對導引裝置之間與彼等平行配置之工件 進方向中,不被從兩側之斜管吐出的處理液所噴: 因此,工件在行進中,藉由從斜管所噴出之 經常被推向兩側,而成爲位於一對導引裝置的中 ’從斜管所噴出之處理液的吐出壓力,當然係設 設置斜管之導引裝置,且導引裝置中之斜管的設 產生差異。 此結果,工件一面以非接觸式狀態被導引一 桶槽內。換言之,一面保持極間距離成爲一定, 引裝置以非接觸式之狀態對工件進行電鍍處理。 使不需要在對極薄工件施以電鍍處理上必須之邊 也可以提升對工件所施行之電鍍處理的均勻性。 之帶狀的 在斜管之 長邊方向 域中,並 。因此, 理液之部 之側而行 片狀長片 於斜管中 因此,不 ,於其行 &J之處。 處理液, 央。另外 定成不因 置位置而 面行進於 一面對導 因此,即 框工具, -9- (7) (7)1351448 (2)另外,本發明之使用於電鍍處理系統之導引裝置, 其特徵爲__係具有:儲存電鍍處理用之處理液的桶槽、及 在此桶槽內用以垂吊被施以電鍍處理之薄片狀長片形製品 之吊掛工具、及沿著前述桶槽而設置,使該吊掛工具可以 滑動地裝著,並具有作爲陰極功能之陰極棒、及設置於前 述處理液中,使電子從前述陰極棒移動,將前述薄片狀長 片形製品夾於其間,且對前述薄片狀長片形製品爲平行地 配置之一對陽極、及配置於該一對陽極的內側,於將該薄 片狀長片形製品夾於其間之狀態下,將該薄片狀長片形製 品導引於其進行方向之呈平板狀的一對導引裝置:藉由一 面對前述薄片狀長片形製品供電,一面使前述吊掛工具在 前述陰極棒上滑動,讓垂吊於前述吊掛工具之前述薄片狀 長片形製品在前述處理液中移動,來對前述薄片狀長片形 製品施以電鍍之電鑛處理系統,前述一對導引裝置之各個 ,係具有:從前述桶槽的外部所供給之新的處理液循環於 內部之呈框狀的主管、及位於此主管之框內,對於主管爲 斜向並聯有複數根,且以兩端部對主管連結之副管;此副 管係具有:延伸於長邊方向之縫隙狀噴出孔,藉由經由該 噴出孔,將供給至前述主管之新的處理液朝向前述薄片狀 長片形製品吐出。 本發明之導引裝置,係設置於電鍍處理系統之桶槽。 導引裝置係被浸漬於電鑛處理用之處理液。 副管係其兩端與主管連結,可以取得副管內之壓力平 衡,流動於副管內之處理液的壓力爲均勻。另外,形成於 -10- (8) (8)1351448 副管之噴出孔,係延伸於副管的長邊方向之縫隙狀的噴出 孔,從噴出孔所被排出之處理液,係爲呈具有與形成有縫 隙狀噴出孔之長度尺寸相同尺寸之帶狀的狀態。 因此,從斜管之噴出孔所被排出之處理液,在斜管之 長邊方向並無中斷。換言之,於斜管中延伸於其長邊方向 ,形成有前述處理液之噴出的縫隙狀噴出孔之區域中,並 無噴出處理液與不噴出之處,係全部噴出處理液。因此, 不會有如以往技術中說明般,工件通過不吐出處理液之部 位時,工件與導引裝置接觸,工件偏向有該部位之側而行 進。 另外,一對導引裝置之各個,係具有位於呈框狀之主 管的框內,且對主管爲斜向並聯有複數根之副管,於副管 中相鄰之副管彼此,產生於上下方向交叉之範圍。因此, 不會有於一對導引裝置之間與彼等平行配置之工件,於其 行進方向中,不被從兩側之副管吐出的處理液所噴到之處 〇 因此,工件在其行進中,藉由從副管所噴出之處理液 ,經常被推向兩側,而成爲位於一對導引裝置的中央。另 外,從副管所噴出之處理液的吐出壓力,不會因設置副管 之導引裝置,且導引裝置中之副管的設置位置而產生差異 0 此結果,工件一面以非接觸式狀態被導引一面行進於 桶槽內。換言之,一面保持極間距離成爲一定,一面對導 引裝置以非接觸式之狀態對工件進行電鍍處理。因此,即 -11 - (9) (9)1351448 使不需要在對極薄工件施以電鍍處理上必須之邊框工具, 也可以提升對工件所施行之電鍍處理的均勻性。 (3) 其中前述副管,係具有:連結於主管之管體、及形 成於此管體之長邊方向,且將供給至前述主管之前述處理 液予以排出之排出孔、及蓋該排出孔之方式而安裝於前述 管體,用以形成將從該排出孔所被排出之前述處理液暫時 儲存起來之腔體之腔體形成體,於此腔體形成體形成有前 述縫隙狀噴出孔,該噴出孔係與前述腔體相通。 藉由於腔體暫時儲存由排出孔所排出之處理液,腔體 內的處理液之壓力得以均勻化。因此,處理液從與腔體相 同之縫隙狀噴出孔一樣地被吐出。 (4) 前述腔體形成體,係具有:安裝於前述管體,且爲 了形成呈前述縫隙狀之噴出孔,以一端彼此相對之方式, 組合成尖屋頂形狀之一對組合板、及設置於此一對組合板 之間之至少一對三角板、及用以在位於該三角板的頂點之 兩相鄰的二邊安裝前述一對組合板之螺絲、及形成於前述 一對組合板,孔徑比前述螺絲直徑還大,可讓前述螺絲通 過之通孔。 此處所謂尖屋頂形狀,係指打開書本閨放之山形的屋 頂。 對一對組合板之各通孔穿過螺絲,於一對三角板的二 邊個別進行一對組合板之暫時固定。通孔係比螺絲直徑還 大’螺絲係以鬆弛嵌合狀被安裝於通孔。然後,一對組合 板係於以前數暫時固定狀態被安裝之三角板的前述二邊之 -12- (10) (10)1351448 上,沿著該二邊的長邊方向而分別導引各組合板,藉此進 行呈縫隙狀噴出孔之間隙調整。如此只以組合板之滑動操 作,能夠簡單地進行間隙調整,所以非常合適。 (5 )斜向安裝於前述主管之副管,其傾斜角度係以前述 薄片狀長片形製品在桶槽內之搬運速度愈快,則從水平面 至近地點側之角度就愈小之方式來安裝。 藉由如此,即使搬運速度快,也可以提高藉由導引裝 置之副管的非接觸式導引性。因此,依據本發明之導引裝 置,可以稱爲非接觸式導引裝置。 (6)進而本發明係關於使用前述導引裝置之電鍍處理系 統。 藉由使用該電鍍處理系統,工件係一面以非接觸狀態 被導引一面行進於桶槽內。 [發明效果] 如依據本發明’工件係藉由非接觸式導引裝置而一面 以非接觸狀態被導引一面行進於桶槽內。換言之,一面保 持極間距離成爲一定一面以對導引裝置爲非接觸之狀態, 工件被施以電鍍處理。因此,即使不需要對極薄工件施以 電鍍處理上所必要之邊框工具,也可以提升對工件所施予 之電鍍處理的均勻性。此結果,得以提升所被電鏟之工件 的品質。 【實施方式】
-13- (11) (11)1351448 針對本發明之實施形態之電鍍處理系統S1,參照圖 面來做說明。另外,本發明與以往技術不同處,係導引裝 置之構造而已,工件對導引裝置之位置或動作等其他事項 ,係與以往技術中所說明者相同。因此,以導引裝置之說 明爲主,對於與以往技術所說明者相同的部分,只賦予相 同符號,省略其說明,或省略圖示本身。 具有一對之導引裝置1之各個,係具有:呈框形狀( 長四角形狀)之主管2、及斜向位於此主管之框內的副管 3(參照第1〜第4圖)。此種導引裝置1係設置成與桶槽 902的長邊方向平行。另外,副管3由於係斜向之管,也 可以改稱爲斜管。副管3係對工件904之行進方向,斜向 傾斜角度α。 主管2係從桶槽902的外部被供應有含有很多銅之新 的處理液A,該新的處理液Α係循環於主管2的內部。然 後’主管2係具有:於將導引裝置丨設置於桶槽內時,位 於桶槽的靠上部之處與靠下部之處,且個別延伸於水平方 向之一對水平管21、21、及配置於水平管21的兩端,且 延伸於垂直方向之左右一對垂直管22、及位於主管2的角 落部,連結水平管21與垂直管22之作爲連接管之4個90 °的彎管23。藉由將4個90°彎管23設置於主管2的角落 部,得以維持主管2之框形狀。 水平管21係具有:位於桶槽902的靠上部處之上部 水平管21U與位於靠下部處之下部水平管21D。符號21 係作爲此等水平管21U' 21D之總稱,而在說明書中使用 -14- (12) (12)1351448 上部水平管21U係以將從桶槽902的外部所供給的新 的處理液A導入導引裝置1內之1個導入管部211、及用 以將副管3連接於主管2之複數連結管部212、及位於倒 入管部211及連接管部212之間之中間管213相連結而成 爲一體之管。導入管部211、連接管部212都是呈三叉( T形狀)(參照第1、3、4圖)。 導入管部211係三叉中之一管,設置時,突出上方之 上方突出管部211a係與未圖示出之處理液導入管連結。 然後,經由此處理液導入管,新的處理液A從桶槽9 02的 外部經由導入管部211而被導入主管2。 另外,在此實施形態中,與前述處理液導入管連接之 上方突出管部211a雖朝向上方,但是並不限定於此’也 可以朝向下方或其他方向。另外,三叉中之剩餘之管’於 設置導入管部211時,延伸於水平方向之水平管部211b 及2 1 1 c係與中間管2 1 3連結。 連接管部212係成爲三叉中之一管,設置時,突出工 件9 04側之工件側突出管部2 1 2a係與副管3連結。然後 ,藉由連接管部212,新的處理液A從主管2循環於副管 3 »工件側突出管部2 1 2a係朝向工件904側(參照第3圖 )。另外,三叉珠爭剩餘之管,於設置連接管部212時’ 延伸於水平方向之水平管部212b及212c係與連接連接管 部212彼此之中間管212連結(參照第1、3圖)。於上 部水平管21U中,連接管部212係有4根。 cl -15- (13) (13)
1351448 中間管2 1 3係因應主管2中之副管 接管部212之主管2中之位置因而不同 同(參照第1、3、4圖)。另外,在上 中間管2 1 2爲6根。 面對上部水平管21U之下部水平管 態中係只具有3根連接管部212及4相 具有導入管部211。但是,也可以具有; 垂直管22係具有位於工件904之 (第1、4圖之右側)之上游側垂直f 904之行進方向中之下游(第1、4圖之 直管22L。任何一種都只具有複數的連 管223,不具有相當於主管2之導入管 也可以具有之。垂直管22的連接管部 與水平管21之連接管部212及中間管: 而已,係爲相同形體。符號22係作爲 22L之總稱而於說明書中使用。 另外,在本實施例中,於上游側垂 根連接管部222 ’於下游側垂直管22 L 部222 (參照第4圖)。然後,此等連 90°彎管23與連接管部222之間,於上 置有合計6根中間管223,於下游側垂 計5根中間管223。 副管3係對主管2斜向並聯複數根 7根)之狀態下’且對主管2於兩端部 3的安裝處所,連 丨,所以尺寸並不相 部水平管2〗U中, :21D,在此實施形 Ϊ中間管21 3,並不 之。 行進方向中之上游 ? 22U及位於工件 左側)之下游側垂 接管部222及中間 部21 1之管,但是 222及中間管223 Π 3,只是符號不同 此等垂直管22U、 直管22U設置有5 設置有4根連接管 接管部222之間或 游側垂直管22U配 直管22L配置有合 (在此實施形態爲 相連結。詳細而言 -16- (14) (14)1351448 ’於排列時,副管3係斜向安裝成下游側比上游側還位於 上方。另外,副管3之各管係依據與主管2連接之處所而 長度不同。 進而副管3係具有延伸於其長邊方向之縫隙狀噴出孔 (以下,縫隙狀噴出孔)3 1,藉由經由該噴出孔3 1,將供 給至主管2之新的處理液A朝向工件9 04吐出(參照第 1 1 圖)。 作爲爲此之構成要素,副管3係具有:連結於主管2 之管體32、及於此管體32之外表面用以形成腔體C之腔 體形成體33、及爲了將副管3安裝於主管2,連結於管體 32的兩端之90°彎管34、34(參照第1、5圖)。 管體32係於長邊方向形成有用已將供給至主管2之 前述處理液A排出之多數的排出孔321 (參照第5〜11圖 )° 腔體形成體33係以覆蓋形成於管體32之該等多數排 出孔321之方式,延伸於其長邊方向而安裝於管體32。然 後,將從排出孔3 2 1所被排出之處理液A暫時儲放於藉由 腔體形成體33所形成之腔體C(參照第11圖以虛線來表 示引出線之處理液A)。然後,於此腔體形成體33形成 有縫隙狀噴出孔3 1,該縫隙狀噴出孔3 1係與腔體C相通 〇 爲此,腔體形成體33係具有:以一端彼此相對之方 式,組成尖屋頂形狀之一對組合板3 3 1、3 3 1、及設置於該 等一對組合板331、331之間之多數三角板332、及用以將 -17- (15) (15)1351448 組合板331安裝於該三角板332之螺絲333。藉由腔體形 成體33所形成之腔體C,係大致呈三角柱狀之中空。 組合板33 1係其長度尺寸與管體32大致相同,於同 一軸線上具有與三角板332的數目同數之通孔331h (參照 第6〜8圖)。另外,通孔331h係以與三角板332之設置 間隔相同間隔而形成於組合板331的長邊方向。進而通孔 33 lh係以比前述螺絲3 33的直徑還大徑可讓螺絲3 3 3通過 。另外,通孔331h並不限定於圓形,也可以作成競技用 之跑道形。在該情形時,長軸係以延伸於與組合板3 3 1的 長邊方向直行之方向來形成。 三角板332係立設於管體32的外表面32a(參照第6 圖)’因此,抵接三角板332之底邊的部分332a係配合管 體32的曲率而彎曲。將該部分稱爲曲邊部。另外,於位 於三角板332的頂點332b的兩鄰之二邊332s、332s,螺 絲3 3 3螺合之螺絲孔3 3 2 h係從頂點3 3 2 b起同距離地形 成(參照第6、7圖)。 另外’三角板3 3 2於此實施形態珠雖係二等邊三角形 ’但是也可以如第9圖般,爲直角三角形體。 螺絲3 3 3係市售之螺絲。 使用由此種構成所形成之副管3,對該一對組合板 331之各通孔331h穿過螺絲333,於三角板332之兩邊個 別進行一對組合板3 3 1之暫時固定。通孔3 3 1 h係比螺絲 3 3 3還大直徑’螺絲3 3 3係鬆鬆嵌合狀安裝於通孔3 3〗h。 然後’於一對組合板3 3 1以前述暫時固定狀態所安裝 -18- (16) 1351448 之三角板3 32之兩邊3 32s、3 32s之上,藉由沿著二邊 332s、332s之長邊方向而個別使各組合板331滑動(參照 • 第10圖之兩箭頭方向所示),來進行縫隙狀噴出孔31的 . 間隙調整(縫隙調整)。如此只以進行組合板3 3 1之滑動 操作之簡單操作,可以進行間隙調整,極爲合適。 另外’可以調整一對組合板331、331、及三角板332 、及組合板33 1之通孔33 lh、及螺絲3 3 3來進行縫隙狀噴 φ 出孔3 1之間隙調整。 ..* 另一方面,安裝於副管3之兩端的90°彎管34係被當 . 成將副管3連結於主管2之接頭來使用。另外,藉由副管 • 3之主管2中之設置處所,90°彎管34係以單數或雙數被 • 使用於副管3之各端。於此實施形態中,連結上部水平管 . 21U與上游側垂直管2 2U之副管3之中,只在連結最長之 副管3的上部水平管21U與副管3之情形時,90°彎管34 係將中間管341當成接頭使用雙數個(參照第1圖)。 • 由此種構成要素所形成之副管3之對主管2之傾斜角 度α (參照第1圖),係以工件904之桶槽902內中之搬 運速度愈快爲佳而安裝得小些。另外,傾斜角度α係指從 水平面起之近地點側之角度。 接著,說明具備此種導引裝置1之電鎪處理系統S1 之作用效果。 副管3係其兩端連結於主管2,得以取得副管3內中 之壓力平衡。因此,流通於副管3內之處理液的壓力爲均 勻。因此,從副管3所噴出之處理液Α之吐出壓力,依據 -19- (17) (17)1351448 副管3之所設置的導引裝置1、另外,導引裝置1中之副 管3之設置位置,不會有差異。 形成於副管3之噴出孔3 1,係延伸於副管3之長邊方 向之縫隙狀噴出孔31,從該縫隙狀噴出孔31所被排出之 處理液A,係成爲具有與形成縫隙狀噴出孔31之長度尺 寸與相同尺寸之帶狀的形態(參照第11圖中,以實線表 示引出線之處理液A)。 因此,從副管3之縫隙狀噴出孔3 1所被排出之處理 液A,於副管3之長邊方向並無中斷。換言之,於副管3 中,於其長邊方向延伸,且形成有處理液A之噴出的縫隙 狀噴出孔31的區域中,並無處理液A之噴出與不噴出之 處所,全部會噴出處理液A。 因此,工件904於行進在一對導引裝置1之間,如以 往技術之說明般,工件904通過不吐出處理液A之部位時 ,工件904與導引裝置接觸,工件904偏向有該部位側而 行進之問題,於電鍍處理系統S1中並不會發生。 另外,作成平面狀之一對導引裝置1之各個,係具有 :位於主管2的框內,且斜向複數根並列於主管2之副管 3,於副管3中相鄰接之副管3彼此中,產生上下方向交 叉之範圍。因此,於一對導引裝置1之間,與彼等平行配 置之工件904於其行進方向中,不會有從兩側之副管3所 吐出的處理液A不接觸到之處所。 因此,工件904於其行進中,藉由從副管3所噴出之 處理液A而經常被推向兩側,成爲位於一對導引裝置1之 -20- (18) 1351448 中央。 此結果,工件904係一面被一對導引裝置1所導 一面與一對導引裝置1爲非接觸狀態行進於桶槽902 換言之,一面保持極間距離爲一定一面與導引裝置1 接觸之狀態對工件904施以電鍍處理。因此’即使不 在對極薄工件904施以電鍍處理上必須之邊框工具, 以提升對工件904所施行之電鏟處理的均勻性。 副管3係藉由暫時儲放從排出孔被排出從腔體C 理液A,使得腔體C內的處理液A之壓力均勻化。因 處理液A從通過腔體C之縫隙狀噴出孔31被吐出。 ,對工件904所施行之電鍍處理可以更爲均勻。 斜向安裝於前述主管2之副管3,其傾斜角度係 述薄片狀長片形製品之桶槽902內的搬運速度愈快爲 安裝成使從水平面起之近地點側的角度小些,搬運速 使快,也可以提高藉由導引裝置1之副管3的非接觸 引性。因此,導引裝置1可以稱爲非接觸式導引裝置 藉由使用導引裝置1,工件904係一面以非接觸 被導引一面行進於桶槽902內。換言之,可以一面保 間距離爲一定一面與導引裝置1爲非接觸狀態,對 9 04施以電鍍處理。因此,即使不需要在對極薄工件 施以電鍍處理上必須之邊框工具,也可以提升對工件 所施行之電鍍處理的均勻性。此結果,所被電鍍之 904的品質得以提升。 另外,本發明並不只限定於前述之圖示例子,在 引而 內。 爲非 需要 也可 之處 此, 因此 以前 佳而 度即 式導 1 ° 狀態 持極 工件 904 904 工件 不脫 -21 - (19) Ϊ351448 離本發明之要旨的範圍內,不用說可以加上種種變更。 【圖式簡單說明】 第1圖係電鍍處理系統之導引裝置的斜視圖。 第2圖係第1圖之橫剖面圖。 第3圖係第1圖之平面圖。 第4圖係第2圖之IV-IV線剖面圖。
第5圖係副管之斜視圖。 第6 ( a )圖係副管之橫剖面圖,(b )圖係(a)圖之 重要部位放大圖。 第7圖係第5圖之側面圖。 第8圖係第5圖之平面圖。 第9圖係表示三角板的變形例。 第1〇圖係說明進行間隙調整之狀態圖,(a )圖係表 示正進行三角板之位置調節之狀態圖,(b )圖係表示調 整狀態之斜視圖。 第1 1圖係說明處理液從副管之縫隙狀噴出孔噴出之 狀態圖。 第12圖係說明以往之電鍍處理系統之圖》 第13圖係第12圖之ΧΙΙΙ-ΧΙΠ線剖面圖。 第1 4圖係說明以往技術之問題點之斜視圖。 【主要元件符號說明】 1:導引裝置,2:主管,21:水平管,21D:下部水 -22- (20) (20)1351448 平管,21U:上部水平管,211 :導入管部,211a:上方突 出管部,211b:水平管部,211c:水平管部,212:主管 之連接管部,212a :工件側突出管部’ 212b :水平管部, 212c:管部,213:水平管之中間管,22:垂直管, 22L :下游側垂直管,22U :上游側垂直管,222 :連接管 部,223 :垂直管的中間管,23 :主管之90°彎管,3 :副 管(斜管),3 1 :縫隙狀噴出孔(噴出孔),3 2 :管體, 32a:管體之外表面,321 :管體之排出孔,33:腔體形成 體,331 :組合板,331h:通孔,332:三角板,332a:曲 邊部,3 3 2 h :螺絲孔,3 3 2 b :頂點,3 3 2 s、3 3 2 s :三角板 之二邊,3 3 3 :螺絲,3 4 :副管之9 0 °彎管,3 4 1 :中間管 ,901:導引裝置,902:電鍍處理用桶槽,903:陰極棒 ,904:附有抗蝕薄膜之圖案電鍍工件(薄片狀長片形製 品),905 :吊掛工具,906 :陽極,907 :主管,908 :枝 管,981:噴出孔,A:電鍍處理液(處理液),C:腔體 ,S:電鍍處理系統,si:電鍍處理系統,〇::副管對主 管之傾斜角度
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Claims (1)
1351448 _ f ^ —..... — . 公告本
第096109192專利申請案中文申請專利範圍修正本 民國100年3月4日修正 十、申請專利範圍 1. 一種使用於電鍍處理系統之導引裝置,其特徵爲: 係具有:儲存電鍍處理用之處理液的桶槽、及 在此桶槽內用以垂吊被施以電鍍處理之薄片狀長片形 製品之吊掛工具、及 沿著前述桶槽而設置,使該吊掛工具可以滑動地裝著 ,並具有作爲陰極功能之陰極棒、及 設置於前述處理液中,使電子從前述陰極棒移動,將 前述薄片狀長片形製品夾於其間,且對前述薄片狀長片形 製品爲平行地配置之一對陽極、及 配置於該一對陽極的內側,於將該薄片狀長片形製品 夾於其間之狀態下,將該薄片狀長片形製品導引於其進行 方向之呈平板狀的一對導引裝置; 藉由一面對前述薄片狀長片形製品供電,一面使前述 吊掛工具在前述陰極棒上滑動,讓垂吊於前述吊掛工具之 前述薄片狀長片形製品在前述處理液中移動,來對前述薄 片狀長片形製品施以電鍍之電鍍處理系統, 前述一對導引裝置之各個,係具有:對於前述薄片狀 長片形製品之進行方向爲斜向並聯有複數根’並且從前述 桶槽之外部供給新的處理液之斜管’此斜管係具有:於其 長邊方向延伸之縫隙狀噴出孔’藉由經由該噴出孔,將前 述新的處理液朝向前述薄片狀長片形製品吐出。 1351448 2. —種使用於電鎪處理系統之導引裝置,其特徵爲: 係具有:儲存電鍍處理用之處理液的桶槽、及 在此桶槽內用以垂吊被施以電鍍處理之薄片狀長片形 製品之吊掛工具、及 沿著前述桶槽而設置,使該吊掛工具可以滑動地裝著 ,並具有作爲陰極功能之陰極棒、及
設置於前述處理液中,使電子從前述陰極棒移動,將 前述薄片狀長片形製品夾於其間,且對前述薄片狀長片形 製品爲平行地配置之一對陽極、及 配置於該一對陽極的內側,於將該薄片狀長片形製品 夾於其間之狀態下,將該薄片狀長片形製品導引於其進行 方向之呈平板狀的一對導引裝置;
藉由一面對前述薄片狀長片形製品供電,一面使前述 吊掛工具在前述陰極棒上滑動,讓垂吊於前述吊掛工具之 前述薄片狀長片形製品在前述處理液中移動,來對前述薄 片狀長片形製品施以電鍍之電鍍處理系統, 前述一對導引裝置之各個,係具有: 從前述桶槽的外部所供給之新的處理液循環於內部之 呈框狀的主管、及 位於此主管之框內,對於主管爲斜向並聯有複數根, 且以兩端部對主管連結之副管; 此副管係具有:延伸於長邊方向之縫隙狀噴出孔,藉 由經由該噴出孔,將供給至前述主管之新的處理液朝向前 述薄片狀長片形製品吐出。 -2- S 1351448 3. 如申請專利範圍第2項所記載之用於電鍍處理系統 之導引裝置,其中前述副管,係具有: 連結於前述主管之管體、及 形成於此管體之長邊方向,且將供給至前述主管之前 述處理液予以排出之排出孔、及 以覆蓋該排出孔之方式而安裝於前述管體,用以形成 將從該排出孔所被排出之前述處理液暫時儲存起來之腔體 之腔體形成體, 於此腔體形成體形成有前述縫隙狀噴出孔,該噴出孔 係與前述腔體相通。 4. 如申請專利範圍第3項所記載之使用於電鍍處理系 統之導引裝置,其中前述腔體形成體,係具有: 安裝於前述管體,且爲了形成呈前述縫隙狀之噴出孔 ,以一端彼此相對之方式,組合成尖屋頂形狀之一對組合 板、及 設置於此一對組合板之間之至少一對三角板、及 用以在位於該三角板的頂點之兩相鄰的二邊安裝前述 一對組合板之螺絲、及 形成於前述一對組合板,孔徑比前述螺絲直徑還大, 可讓前述螺絲通過之通孔。 5. 如申請專利範圍第2項所記載之使用於電鍍處理系 統之導引裝置,其中,斜向安裝於前述主管之副管,其傾 斜角度係以前述薄片狀長片形製品在桶槽內之搬運速度愈 快,則從水平面至近地點側之角度就愈小之方式來安裝。 -3- 1351448 6.—種電鍍處理系統,其特徵爲: 係具有:儲存電鍍處理用之處理液的桶槽、及 在此桶槽內用以垂吊被施以電鍍處理之薄片狀長片形 製品之吊掛工具、及 沿著前述桶槽而設置,使該吊掛工具可以滑動地裝著 ,並具有作爲陰極功能之陰極棒、及
設置於前述處理液中,使電子從前述陰極棒移動,將 前述薄片狀長片形製品夾於其間,且對前述薄片狀長片形 製品爲平行地配置之一對陽極、及 配置於該一對陽極的內側,於將該薄片狀長片形製品 夾於其間之狀態下,將該薄片狀長片形製品導引於其進行 方向之呈平板狀的一對導引裝置;
藉由一面對前述薄片狀長片形製品供電,一面使前述 吊掛工具在前述陰極棒上滑動,讓垂吊於前述吊掛工具之 前述薄片狀長片形製品在前述處理液中移動,來對前述薄 片狀長片形製品施以電鍍之電鎪處理系統,前述導引裝置 是使用申請專利範圍第1或2項所記載之導引裝置。 S
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