TWI331685B - Method and apparatus for correcting a defective pixel of a liquid crystal display - Google Patents

Description

九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種用於修正液晶顯示器的缺陷像素之方 法及裝置，具體而言，係關於一種藉由使用雷射束掃描缺 陷像素以修正該缺陷像素之方法及裝置。 【先前技術】 在製作液晶顯示器（LCD)時，當薄膜晶體管（TFT)無法正 確運作或液晶未經正確定向時，便會形成缺陷像素。由於 缺陷像素無法阻擋所傳送的光，因而缺陷像素導致亮點瑕 疵。儘管在設計及製作過程中可採取各種措施以減少亮點 瑕疵之發生率（其會降低顯示品質），但很難降低亮點瑕疵 的發生率。 在現有方法中，當LCD製成後，檢查LCD之各個像素是 否有缺Ρα像素。當存在缺陷像素時，便逐一加以修正。第 07-225381 號、第 08-015660 號、第 08-201813 號及第 10- 260419號日本專利公開案揭示出藉由使用雷射束照射缺陷 像素以減少其透射率從而修正缺陷像素之方法。 該專揭示内容中所顯示的用於修正缺陷像素之方法使用 一發射雷射束之雷射裝置以藉由焦點透鏡照射缺陷像素。 在照射之前，移動固持]LCD之平臺，以使得缺陷像素恰恰 被置於焦點透鏡下方。此移動係一項定位移動。然後，該 缺陷像素被由焦點透鏡會聚之雷射束所照射。該雷射束在 形成於一玻璃基板上之配向膜上運作以產生微小顆粒。該 等微小顆粒自作用點向各個方向散開並沉積在缺陷像素的 100371.doc 1331685 内表面。微小顆粒之沉積減少配向膜對液晶分子的定向作 用，從而缺陷像素中之液晶分子以隨機定向方式排列。結 果，缺陷像素之透射率減少且缺陷像素亦變得不明顯。 當使用上述習知方法來作用配向膜時，—#射束掃描該 缺陷像素以作用缺陷薄膜的配向膜之整個部分。此移動被 稱作掃描移動。藉由移動固持LCD之平臺以使得雷射束相 對於該LCD相對地移動，從而執行該掃描移動。由於雷射 束並非相對於該焦點透鏡移動，因而該雷射束之光轴可始 終穿過焦點透鏡之中心。因而，可使掃描路徑穩定。 然而，在修正例如電視機顯示器之大型LCD中的缺陷像 素時，定位移動之定位解析度基本上不同於掃描移動之解 析度。因而，桌台很難將掃描與定位移動相協調。 某些裝置具有一用；^定位移動之第一平臺及一用於掃描 移動之第二平臺。具體而言，掃描移動係藉由移動該第二 平臺的桌台而達成，其中該第二平臺上緊固有雷射裝置、 衰減器、監視器及光學系統。 同時，缺陷像素之某種缺陷無法被發現直至其被修正裝 置偵測。因此，若單個修正裝置可修正若干種缺陷像素， 則其將更為有效。 為了使修正裝置能夠修正若干種缺陷像素，該修正裝置 需要具有集合光學系統（collective 〇ptical system)與成像光 學系統。然而’若成像光學系統與集合光學系統皆被緊固 於相同的桌臺上’成像光學系統很重，以至於對於掃描移 動而言，以精細的定位解析度來移動該光學系統是相當困 100371.doc 1331685 難的。 【發明内容】 根據本發明提供一種藉由使用雷射束掃描液晶顯示器之 缺陷像素來修正該缺陷像素之方法❶該方法包含：移動該 液晶顯示器以使得該缺陷像素面對會聚該雷射束之透鏡， 並在與該雷射束光軸正交之方向上相對於該透鏡移動該雷 射束以掃描該缺陷像素。 在根據本發明之另一態樣中，提供一種用於修正液晶顯 示器之缺陷像素之裝置β該裝置包含：用於發射一雷射束 之雷射裝置、用於會聚該雷射束之透鏡、用於移動液晶顯 示器以使該缺陷像素面對該透鏡之第一平臺，及用於在與 該雷射束光轴正交之方向上移動該透鏡以使該雷射束掃描 該缺陷像素之第二平臺。 在根據本發明之另一態樣中，提供一種用於修正液晶顯 示器之缺陷像素之裝置。該裝置包含：用於發射一雷射束 之雷射裝置、用於會聚該雷射束之透鏡、用於移動液晶顯 示器以使該缺陷像素面對該透鏡之第一平臺，及用於在與 該雷射束光轴正交的方向上移動該雷射束以使碎雷射束能 掃描該缺陷像素之掃描器。 【實施方式】 參看圖1至圖6來解釋根據本發明之第一實施例。 首先，參看圖6解釋液晶顯示器（LCD)D之結構。圖6為 LCD D之垂直截面。 LCD D配備有一對彼此面對之玻璃基板61及62。偏光膜 100371.doc 1331685 63及64分別結合於玻璃基板61及62之外表面上《液晶65被 密封在玻璃基板61與62之間。 形成在玻璃基板61内表面上之薄膜晶體管（TFT)66以格 柵排列。配向膜67形成在TFT 66上。紅色、綠色或藍色之 彩色濾光片68形成於玻璃基板62的内表面上，並面對TFT 66。覆蓋膜69形成在彩色濾光片68上。氧化銦錫（ITO)薄 膜70及配向膜71進一步以此順序形成。 驅動LCD D之TFT 66改變液晶分子66的定向，以控制背 光之傳送與切斷。 接著’參看圖1至圖5解釋用於修正LCD缺陷像素之裝置 100。 圖1展示裝置100之示意圖。 如圖1所示，裝置1〇〇配備有一連接至一控制器2之第一 平臺1。控制器2向該第一平臺1發出一命令訊號，藉此移 動所固持之液晶顯示器（LCD)D。第一平臺1為用於將LCD 移動幾毫米至幾百毫米之大衝程定位平臺。 用於會聚雷射束L之大功率聚光透鏡3(透鏡）被設置於第 一平臺1之頂面上方。聚光透鏡3呈圓柱狀。聚光透鏡3之 軸線大體上與第一平臺1之頂面正交。透明孔4形成在聚光 透鏡3徑向上的中心位置處，並沿聚光透鏡3之軸線延伸。 一雷射束L自上方穿過透明孔4並在聚光透鏡3的下方形成 雷射光點S。 在此實施例中’雷射束L之直徑小於聚光透鏡3的透明孔 4之内徑’從而雷射束l可完全入射至透明孔4。 100371.doc 1331685 電旋轉器41不僅固持聚光透鏡3而且固持低功率物鏡42 以觀察缺陷像素G。旋轉器41旋轉以在聚光透鏡3與物鏡42 之間進行選擇》 第二平臺5固持旋轉器41。連接至控制器2之第二平臺5 根據來自控制器2的命令訊號沿與雷射束L光軸正交之X及 Y方向移動具有旋轉器41的聚光透鏡3。第二平臺5為小衝 程平臺，用以移動聚光透鏡3幾微米至幾百微米。 發射雷射束L之雷射裝置6配備有雷射振盪器7、衰減器 8、電源監視器9及反射鏡10。 圖2展示雷射振盪器7之示意圖。雷射振盪器7配備有雷 射二極體（LD)11、激發光透鏡12、雷射棒13、Q開關14及 輸出鏡15。雷射棒13為摻雜了 Nd之YV04鹼金屬晶體。LD 11 經組態以能夠變化地設定其LD的溫度》 將電流供給至LD 11以自活動層（未圖示）發射出激發光 Μ»激發光Μ穿過激發光透鏡12而入射至雷射棒13。雷射 棒丨3、Q開關14及輸出鏡15與激發光Μ共振，從而將其輸 出為雷射束L。由於激發光Μ具有溫度相依性，因而自雷 射裝置7中輸出之雷射束L的模式依賴於LD 11的LD溫度。 即’激發光Μ之波長依賴於LD 11之LD溫度》雷射棒13 中所掺雜之Nd對激發光Μ的吸收取決於激發光Μ的波長。 因此’雷射棒13之加熱度數根據ld溫度而變化。而後， 雷射棒13根據加熱度數而變形，並且熱透鏡效應改變雷射 束L之模式。 圖3展示在供給至LD 11之電流為2〇.〇 Α且雷射束l之重 100371.doc 9

(D 1331685 複頻率為1 kHz的條件下，雷射束L#LD n之£〇溫度之間 的關係^ 如圖3所不，當LD 11之LD溫度為26°c至28〇c時，雷射 束L具有環形強度分佈，其被稱為多模。當[ο丨丨之乙〇溫 度為38°C至40°C時，雷射束L具有高斯強度分佈，其被稱 為單模（TEMoo)。 接著描述裝置100之運作。 當在LCD D中偵測至缺陷像素G時，第一平臺丨移動該缺 陷像素G以使其面對聚光透鏡3。當缺陷像素G恰好置於透 明孔4下方時，將LD 11之LD溫度調整為26°C至28°C以發 射多模雷射束，從而產生氣泡。 多模雷射束之雷射束L穿過衰減器8及電源監視器9，被 反射鏡10反射以穿過透明孔4。而後，聚光透鏡3將雷射束 L會聚以在缺陷像素G上形成雷射光點s。 雷射光點S逐漸加熱缺陷像素G，使玻璃基板61與62之 間產生氣泡。由於雷射束L為多模’並具有較低的能量密 度，因而配向膜67及71幾乎不會受損。 在玻璃基板61與62之間產生氣泡後，將LD 11之LD溫度 調整至38°C至40°C，使得雷射振盪器7發射出具有重複頻 率（f)之單模脈衝雷射束L。雷射束L穿過衰減器8及電源監 視器9，並被反射鏡10反射以穿過聚光透鏡3的孔4«聚光 透鏡3將雷射束L會聚以在缺陷像素G上形成雷射光點s。 雷射光點S將玻璃基板61與62上的配向膜67與71部分地 熔化並蒸發，即，作用。微小顆粒自作用點朝向各個方向 100371.doc -10- ⑤ 1331685 飛散’並沉積於配向膜67及71的表面上以降低對液晶65之 定向程度》藉此，缺陷像素G附近之液晶分子被隨機定 向。接著，引起亮點瑕疵之透明光束減弱且缺陷像素G變 得不明顯。 在雷射束L照射缺陷像素G之同時，第二平臺5在與雷射 束L光轴正交之又與¥方向上移動聚光透鏡3,以掃描缺陷 像素G»因而，缺陷像素g上形成的雷射光點s在與聚光透 鏡3之移動方向相同的方向上移動與之相同的距離。 如圖4所不，藉由移動聚光透鏡3，雷射光點8在缺陷像 素0上方移動，以幾乎作用缺陷像素G之整個配向膜67及

正卿衣囬窗耜夠在均衡能量下 運作，從而不會損傷彩色濾光片68。 如圖5所示，藉由將雷射束1之重複頻率⑺與第二平臺5 的移動同步化，各個雷射光點3以恆定之重疊率（a)與相鄰 雷射光點重疊。當設定經會聚之光束的直徑或雷射束[在 作用點處為（d) ’雷射束l之重複頻率為（f)且雷射束L之掃 籲描速度為（v)時，該重疊率⑷表示為下文中的公式。

100371.doc 第一平臺1為大衝程 便僅將缺陷像素G置 _程平臺，其具有高 ⑧ 1331685 解析度以使用雷射束L掃描缺陷像素G。 儘管待修正之LCD為例如電視機之LCD的大型LCD，但 裝置100係藉由移動聚光透鏡3而非移動雷射振盪器6來修 正缺陷像素。因而’甚至可安裝能夠修正多種缺陷像素之 大型成像光學裝置。 另外’控制並改變LD溫度以在多模與單模雷射束l之間 進行選擇。因而，雷射裝置6能夠藉由僅控制ld 11之LD溫 度來產生氣泡並作用配向膜，從而簡化裝置1〇〇之結構。 接著’參看圖7來解釋根據本發明之第二實施例。 圖7為用於修正液晶顯示器之缺陷像素的修正裝置2〇〇之 示意圖。 如圖7所示，修正裝置2〇〇配備有設置在雷射裝置6與聚 光透鏡3之間的掃描單元21，以藉由在與雷射束[光軸正交 的方向上移動由雷射振盪器7發射出之雷射束匕來掃描缺陷 像素G。 掃描單元21配備有兩個用於反射雷射束L之鏡面（未圖 不）。在雷射束L入射至聚光透鏡3之前，其中聚光透鏡3在 此實施例中被設置為固定的，藉由改變兩個鏡面的角度而 在與雷射束L光轴正交之方向上移動雷射束l。 聚光透鏡3將雷射束L會聚以僅在聚光透鏡3下方形成雷 射光點S°根據藉由掃描單元21移動的雷射束L之移動，雷 射光點S(雷射束L)掃描缺陷像素G以剌配向膜 因而’大型液晶顯示器之缺陷像素〇可被修正。由於修 裝置200藉由重量較輕的掃描單元η，而非移動雷射振 100371.doc 12 ⑤ Ϊ331685 負載具有集 從而能夠修 盪器6來掃描缺陷像素G，因而修正裝置200可 合光學裝置及成像光學裝置之大型振堡器6, 正各種缺陷。 接著’將參看圖8及圖9來解釋根據本發明之第三實施 例〇 圖8展示雷射束L之強度分佈，且圖9展示雷射光點s之強 度分佈。 如圖8所示，在此實施例中，雷射束L之直徑大於聚光透 鏡3之透明孔4的内徑。 雷射束L被稱為具有非均衡強度分佈之高斯光束。因 此，如圖9所示，雷射光點S之強度（垂直軸線）取決於雷射 束L與透明孔4之間的相對位置（水平軸線）^因此，當相對 於雷射透鏡3移動雷射束來掃描缺陷像素g時，很難將均衡 的能量施加至遍佈缺陷像素G的整個部分。 由於高斯光束之強度分佈在理論上是已知的，因此，衰 減器8可根據雷射束L之理論值來調整雷射束L的強度以將 均衡能量施加至遍佈缺陷像素G。 即使雷射束具有不同於高斯強度分佈之強度分佈，但雷 射光點S之強度與雷射束L及聚光透鏡3之相對位置之間的 關係實際上能夠被測得，從而可使用衰減器8或其它裝置 來調整雷射光點S之強度。 圖10展示用於修正液晶顯示器缺陷像素的修正裝置400 之示意圖。 修正裝置400包含設置在第二平臺5下方的雷射二極體 100371.doc -13 1331685 (LD)31 °LD 31發射雷射束K，該雷射束κ穿過第一平臺1 之通孔1 a到達LCD D，以逐漸加熱缺陷像素Ge藉由雷射 束K於玻璃基板61與62之間產生氣泡。 然後，圖11展示出根據本發明之第五實施例。 圖11展示出雷射束L之示意性掃描路徑。 在此實施例中，雷射束L在掃描路徑之折回部分處逐漸 改變其方向，以保持其速度大體恆定。 因為僅藉由以恆定間隔發射雷射束L，所以幾乎相同的 能量皆被施加至配向膜71及72之整個部分上，因而無需控 制雷射束L之重複頻率（f)以保持重疊率（a)恆定。因此，在 大體均衡的能量下作用配向膜71及72之整個部分，而不損 壞彩色濾光片68或ITO薄膜70。 圖12展示根據本發明第六實施例之修正裝置6〇〇掃描缺 陷像素G的掃描路徑。 如圖12所示，雷射束L在第一方向602上移動。然後，當 其在第一方向602上持續移動時，避免雷射束L在缺陷像素 G外照射缺陷像素G。雷射束L改變其方向並開始在第二方 向604上移動，與此同時，避免其照射缺陷像素〇。當雷射 光點S進入缺陷像素G時，雷射束L開始再次照射缺陷像素 G。由機械或電快門控制雷射束l之切斷。 由於掃描路徑上之折回部分位於缺陷像素〇外，且在此 處雷射束L改變其方向並降低掃描速度，因而無需控制雷 射束L之重複頻率（f)以保持重疊率（a)恆定。因而僅藉由 以恆定間隔發射雷射束L從而將幾乎相同的能量施加至配 100371.doc •14- 1331685 向膜71及72之整個部分。結果 配向膜71及72之整個部分，而 ITO薄膜70。 根據上述教示，仍可作出本發 +货叨之各種修正。因此，廡 理解：在隨附申請專利範圍之範轉 〜 札可”本發明能夠以不同 於本文所描述之方式來實施。 【圖式簡單說明】

在幾乎相同的能量下作用 不會損壞彩色濾光片68或 圖以用於修正液晶顯示器D之缺陷像素之裝置ι〇〇之示 意圖《> 圖2為雷射裝置7之示意圖。 圖3展示出當雷射束L的重複頻率為i kHzaLD電流為 20.0 A時，在某種ld溫度下雷射束L之強度分佈。 圖4為形成雷射光點S之雷射束l之掃描路徑。 圖5為重複頻率（f)、雷射光點5之直徑（d)及掃描速度（v) 之間的關係。 圖6展示液晶顯示器d之截面示意圖。 圖7為用於修正液晶顯示器d之缺陷像素之裝置2〇〇之示 意圖。 圖8展示雷射束l之強度分佈，及透明孔4與形成雷射光 點S之雷射束l之間的位置關係。 圖9展示雷射束L之強度與雷射束l及透明孔4之間相對位 置之間的關係。 圖1〇展示用於修正液晶顯示器D之缺陷像素之裝置300之 不意圖。 I00371.doc % -15· 1331685 圖11展示根據本發明之第五實施例之雷射束W掃描路 徑。 圖12展示根據本發明之第六實施例之雷射束L的掃描路 徑。 【主要元件符號說明】

1 第一平臺 2 控制器 3 聚光透鏡 4 透明孔 5 第二平臺 6 雷射裝置 7 雷射振盪器 8 衰減器 9 電源監視器 10 反射鏡 11 雷射二極體（LD) 12 激發光透鏡 13 雷射棒 14 Q開關 15 輸出鏡 21 掃描單元 31 雷射二極體（LD) 41 旋轉器 42 物鏡 • 16 · 100371.doc ⑧ 1331685 61，62 玻璃基板 63, 64 偏光膜 65 液晶 66 薄膜晶體管（TFT) 67 配向膜 68 彩色濾光片 69 覆蓋膜 70 氧化銦錫（ITO)薄膜 71, 72 配向膜 100 裝置 200 裝置 400 裝置 600 裝置 602 第一方向 604 第二方向

100371.doc (D

Claims (1)

1331685 第094〗 08798號專利_請案 中文申請專利範圍替換本'(99年5月） 十、申請專利範園： -種藉由以一雷射束掃描一液晶顯示器 正該缺陷像素之方法，其包含： 像素來修 移動該液晶顯示器以使該缺陷像素 束之透鏡； 會來该雷射 在與該雷射束光軸正交之方向上，相 該雷射束以掃描該缺陷像素； …⑦移動 :整該雷射束之強度以回應於該雷射束到 相關位置；及 之 亥透鏡移動該雷射束之前，以該雷射束照射 '•亥缺像素以產生一氣泡； =以一雷射束照射該缺陷像素以產生一氣泡包括以 二⑽㈣像素’並且相對於該透鏡移動 ^田射束包括㈣於該透鏡移動—單模雷射束。 2. ^求項！之詩修正液晶顯示器缺陷像素之方法，盆 —目對於該透鏡移動該雷射束包括在與該雷射束光轴正 父之方向上移動該透鏡。 3’ ：凊求項1之用於修正液晶顯示器缺陷像素之方法，其 六相對於該透鏡移動該雷射束包括在與該雷射束光轴正 乂之方向上移動該雷射束。 4.:明求項3之用於修正液晶顯示器缺陷像素之方法直 用錢該雷射束光軸正交之方向上移動該雷射束包括使 射束具有—鏡面之掃描單以反射該雷射束來移動該雷 100371-990528.d〇c 進 .如清求項1 i用於修正液晶顯示器缺陷像素之方法 —步包含： 用 調整一雷射二極體之溫度，以發射一多模雷射束 於產生該氣泡；及 胃 用 調整該雷射二極體之溫度，以發射一單模雷射束 於掃描該缺陷像素。 其 .如喷求項1之用於修正液晶顯示器缺陷像素之方法 1 I相對於該透鏡移㈣雷射束包括相料該透鏡移動5 辑射束’以作用該缺陷像素的配向膜。 明求項1之用於修正液晶顯示器缺陷像素之方法，進 步包含使用一衰減器來調節該雷射束的強度。 8.如清求項1之用於修正液晶顯示器缺陷像素之方法，其 中相對於料鏡移㈣雷射束包括相對於該透鏡移動二 :衝雷射束，其中缺陷像素上之每一雷射光點皆以一恆 疋重疊率與該相鄰雷射光點重疊。 9· 請求項1之詩修正液晶顯示ϋ缺陷像素之方法，進 2包括在改變該雷射束相對於該透鏡之移動方向時， 避免该雷射束照射該缺陷像素。 1〇1請求項1之用於修正液晶顯示器缺陷像素之方法，盆 Γ目對Γ透鏡移動該雷射束包括在與該雷射束光轴正 Up —方向上’相料該透鏡移動該雷射束，以掃 描。亥缺陷像素，其進一步包含： 菖在α亥第一方向上相對於兮读於k A 了於4透鏡持續移動該雷射束 時，避免該雷射束照射該缺陷像素； 100371-990528.doc 1331685 當在避免該雷射束照射嗜缺* 、耵该缺^像素時，改變該雷射 相對於該透鏡的移動方向；及 在一與該雷射束光轴正交之坌_ 之弟一方向上相對於該透鏡 移動該雷射束，以掃描該缺陷像素。 11 一種用於修正液晶顯示器缺陷像素之裝置，其包含： 一用於發射一雷射束之雷射裝置； 一用於會聚該雷射束之透鏡； 用於移動該液晶顯示器以你兮处μ 士 便4缺陷像素面對該透鏡 之第一平臺； 一在與該雷射束光軸正交之太 ^ 乂之方向上移動該透鏡以使該 毎射束知描§玄缺陷像素的第二平臺.及 一調整構件，其調整該雷射戾 田耵果之強度以回應於該雷射 束到該透鏡之一相關位置； 其t該雷射裝置包含： 一雷射棒；及 一將激發光發射至該雷射棒之# «…π〜田射—極體，該雷射二 極體經組態以改變雷射二極體之溫度。 ° 一 12. -種用於修正液晶顯示器缺陷像素之裝置，其包含： 一用於發射一雷射束之雷射裝置； 一用於會聚該雷射束之透鏡； 一用於移動該液晶顯示器以使 μ 文成缺心像素面對該透鏡 之第一平臺； 一用於在與該雷射束光軸正交 /± — ^ 乂 <方向上移動該雷射束 以使忒每射束掃描該缺陷像素之掃插單元丨及 100371-990528.doc 1331685 —調整構件’其調整該雷射束之強度以回應於該雷射 束到該透鏡之一相關位置； 其中該雷射裝置包含： —雷射棒；及 —將激發光發射至該雷射棒之雷射二極體，該雷射二 極體經組態以改變雷射二極體之溫度。 13. 如。月求項η或12之用於修正液晶顯示器缺陷像素之裝 置，其中相對於該透鏡移動該雷射束包括在與該雷射束 光軸正交之方向上移動該透鏡。 14. 如請求項U或12之用於修正液晶顯示器缺陷像素之裝 置，其中相對於該透鏡移動該雷射束包括在與該雷射束 光軸正交之方向上移動該雷射束。 15. 如請求項U或12之用於修正液晶顯示器缺陷像素之裝 置’其中在與該雷射束光軸正交之方向上移動該雷射束 包括使用—具有—鏡面之掃描單元以反射該雷射束來移 動該雷射束》 1 6.如請求項〗丨或12之用修 狀日日顯不态缺陷像素之裝 於產生該氣泡;及 …-多模雷射束 調整該雷射二極體之溫度’以發射一單模 於掃描該缺陷像素。 田射束 17.如請求仙或12之用於修正液晶顯示器缺 置’其中相對於該透鏡移動該雷射束包括相對於^ 10037 N990528.doc ⑴1685 移動該雷射束，以作用該缺陷像素的配向膜。 长項11或12之用於修正液晶顯示器缺陷像素之裝 置/、中使用一哀減器來調節該雷射束的強度。 *如明求項11或12之用於修正液晶顯示器缺陷像素之裝 置’其"目對於該透鏡移動該雷射束包括相對於該透鏡 移動-脈衝雷射束’其中缺陷像素上之每一雷射光點皆 以艮疋重疊率與該相鄰雷射光點重疊。 〇·如明求項11或12之用於修正液晶顯示器缺陷像素之裝 置’其中在改變該雷射束相對㈣透鏡之移動方向時， 避免該雷射束照射該缺陷像素。 21.如請求項UM2之用於修正液晶顯示器缺陷像素之裝 置，其中相對於該透鏡移動該雷射束包括在與該雷射束 光軸正交之一第一方向 $於§亥透鏡移動該雷射 束，以掃描該缺陷像素；且 當在該第一方向上相科 士 · 相對於該透鏡持續移動該雷射束 哙，避免該雷射束照射該缺陷像素； 當在避免該雷射束照射該缺陷 ,, 陷像素時，改變該雷射束 相對於該透鏡的移動方向；及 在一與該雷射束光軸正交之筮_ 幼去 弟一方向上相對於該透鏡 移動該雷射束，以掃描該缺陷像素。 100371-990528.doc 1331685 第094108798號專利申請案 中文圖式替換頁(98年4月） qLh V Tah^i—W* I I I s修正替換頁