TWI329200B - Quality tester of glass board and method thereof - Google Patents

Description

24566pif 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於測試在薄膜電晶體液晶顯示器 (TFT-LCD)中形成薄膜電晶體（TFT)及彩色濾光片（c〇1况 filter)所需之玻璃板是否發生波紋（Waveness)之玻璃板 的品質測試機。 【先别技術】 薄膜電晶體液晶顯示器大體由形成薄膜電晶體之下部 玻璃板、形成彩色濾光片之上部玻璃板以及注入下部坡璃 板與上部玻璃板之間的液晶構成。 就形成此種薄膜電晶體及彩色濾光片所需之玻璃板而 言，其表面若發生厚度形成不均之波紋現象，則無法在玻 璃板上均一地完成濾光片之氣相沈積或蝕刻，必將導致薄 膜電晶體液晶顯示器之液晶所表現之彩色發生異常，即， 造成發生變色之產品缺陷。 對此’先前是在將玻璃板放入製程處理室進行氣相沈 積、蝕刻或沈積等使用電漿之製程之前，對玻璃板進行全 面之品質檢查。 但是’先前之對玻璃板表面之波紋檢查，其觀測結果 受到觀測者主觀因素之影響，無法實現準確觀測。 例如’先前對玻璃板是否發生波紋之檢查技術是在玻 璃板（Glass)直立狀態下，使光源入射玻璃板，隨後在與 光源平行之狀態下’使上述玻璃板略微傾斜（tilt)，在位 於上述玻璃板對面之螢幕上產生玻璃板之影子。 1329200 24566pif 由此，自上述投影於螢幕之影子中，發生波紋之部分 與未發生波紋部分出現透光率差異（或光之相位差），呈現 出或淺或深之曲折部分，作業者憑藉肉眼判斷是否發生波 但是，上述波紋檢查由於無法實現原地檢查之緣故， 不可此全數檢查，此外波紋檢查需藉由作業者肉眼直接確 S忍，不僅工序時間長，且亦存在波紋檢查可靠性大打折扣 之缺點。

兩CL ’乎震％正疋兩解厌如上先前問題而提出，其目 的在於提供一種使用僅透過玻璃板的照明部之照明來測試 是否發生波紋的玻璃板之品質測試機。 【發明内容】 於述目的’玻璃板之品制試機是針對在藉由 〜給製裎設備時，在玻璃板移送狀態下即時使

==財式來檢查是否發生波紋，或在玻璃板停止 -P守松查疋否發生波紋的測試機。 面之照：測括:照明部’其提供穿過上述玻璃板表 時，复合處理部’在上述照明部之照明穿過玻璃板 面之影i影像’·以=璃==發生的玻璃板表 之影，檢查破璃板表面是否發處理部所拍攝 Lamp)。月之另-特徵是：上述照明部為氙燈(xe 本發明之另一特徵是：為使透過上述玻璃板生成之玻 6 1^29200 24566pif 璃板表面之影子影像更鮮 使照明之照射方向僅侷照明部前方結合 本發明之另—特徵是：ϊ璃板的裂隙結構。 板之照明照射角戶（θ 蜡由上述裂隙而僅照射於玻璃 而Η μ又 仕18〜22。之範圍内。 而且，使用上述玻璃板 所 包括： 〇口貝測5式機貫現之測試方法 表二: = ==照明，獲得輸 形化；步驟3，使賴分料法料影像實現波 進行微分，以分割成相_ ，，之影子影像 :e子基，界條件應：二=成玻 二=像步出是否存在超越上述應用之 她Γ 否發生波紋；以及步驟6，上述 果若發生波紋，料區別其波紋種類。 ^發明不僅，夠使用相機更鮮明地拍攝玻璃板表面之 =、衫像’亦可藉由微分演算法更精密地根據上述影子， /貝J。式各個波紋種類疋否發生。使用本發明，不僅可即萨 ，試藉由輸送裝置連續進行移送之玻璃板之品質狀態，: 提，對品質之滿意度，亦可藉由節省玻璃板品質測試所需 之時間，獲得迅速完成連續的氣相沈積、蝕刻或沈積等使 用電漿之製程的效果。 【實施方式】 下面參照附圖，說明本發明較佳實施例。 圖1是本發明實施例之玻璃板之品質測試機整體結構 7 1329200 24566pif • · 圖，圖2是本發明實施例之在照明部已應用裂隙之狀態的 正面圖，圖3是本發明實施例之在橫向上測試玻璃板品質 之狀態的平面略圖。 圖4是使用本發明測試之波紋種類為條紋（Streak) 型之波紋波形圖，圖5是使用本發明測試之波紋種類為粗 條紋（Thick Band)型之波紋波形圖，圖6是使用本發明 測試之波紋種類為索（Cord)型之波紋波形圖，圖7是本 發明實施例之在玻璃板發生條紋型波紋狀態之實驗中檢測 到之波形圖’圖8是本發明實施例之在玻璃板發生粗條紋 型波紋狀態之實驗中檢測到之波形圖，圖9是本發明實施 例之在玻璃板發生索型波紋狀態之實驗中檢測到之波形 圖’圖10是本發明實施例之在玻璃板同時發生波紋及粗條 、、文型波紋狀之貫驗中檢測到之波形圖。 如圖1至圖10所示，本發明實施例之玻璃板之品質測 试機安裝於薄膜電晶體液晶顯示器製造所需之氣相沈積、 餘刻或沈積製程等使用電漿之製程設備流入側閘閥前方。 口口質測試機用於使用原地測試方式即時測試由滾筒所構成 之輸送裝置（1)所輸送之玻璃板（2)是否發生波紋，或 在玻璃板（2)停止時，即時測試其是否發生波紋。品質測 試機包括照明部（1 〇 )、影像處理部（2〇 )以及控制部（3〇 )。 上述照明部為透過玻璃板（2)表面照射照明之氙燈， 其是以既定角度（θ)安裝於由滚筒構成之用以輸送上述玻 璃板（2)之輸送裝置（1)下側。在照明部前方會建構用 於引導照明僅向玻璃板（2)表面照射之裂隙（11)。 8 1329200 24566pif 上述影像處理部（20)為CCD相機模組，其建構於 上述輸达裝置⑴上側。影像處理部（20)用以當上述昭 明部（10)之照明透過玻璃板⑺表面時，自透過上述玻 ，板⑺表面之照明拍攝上述玻璃板⑺表面之影子影 像。 上述控制部（30)用於控制上述照明部（1〇)及影 處理部（20)。在輸入上述影像處理部 ^控制部⑽之後，如圖4至圖1Q所示，控制二心 θ使用裢分演#法測試朗板⑺表 =種類。在控制部(30)内部記憶體中設定並=應 用有關玻璃板（2)平坦度之邊界條件（S，SI)之基準值。 下面參照圖1至圖H)以及展現朗板之 的圖9’㈣如上構成之本發明實施例之作用。、M方法 —百先’藉由由滾筒所構成之多段輸送裝置⑴ 液i顯示器所需之進行氣相沈積、钱職 =使用電！之製程設備輸送玻璃板⑺，或使玻璃板⑺ 此時，氙燈照明部（10)以既定照射 裝於上述輸送裝置⑴下端，其前方結合有“（11= 當现燈照明部⑽照射照明時，上述照明 僅照射至朗板⑺之表面，_穿過至另—=(n) 由此因穿過上述玻璃板⑺上面之照明而出現影子 ，像’上述影子影像被位於上述輸送裝置⑴上側之躲 地理部⑽’即被CCD相機拍攝後，被傳送給控制部⑼）。 9 1329200 24566pif 超越邊界條件（S s')之旦彡Jg/你. 宫0士 ,、+、“，S)之衫子影像之整體相等間隔寬度較 粗^紋型^部Ο00則會檢測到破璃板⑴表面發生 趙越圖6及圖9所示’在上述計數之個數中，當 （S，S’）之影子影像之整體相和隔寬度具 ΐίϊ r上述控制部（3G)則會檢_玻璃板⑵ 表面發生索型波紋。 此時，如圖4、5以及圖10所示，在上述計數之個數 超越料條件（S，S,)之影子影像之整體相等間隔 覓:刀布較乍或整體相等間隔寬度分布較寬的現象同時出 現日守，上述控制部（30)則會檢測出玻璃板（2)表面同時 %生條紋型波紋及粗條紋型波紋。 另—方面，圖11是本發明另一實施例之在縱向上測試 玻，板品質之狀態的平面略圖。在該實施例中，從由多個 滾筒所構成之用於移送玻璃板（2)之多段輸送裝置（1) 中去除某一段之後，在被去除之部分縱向安裝包括照明部 (10 )與影像處理部（2〇)及控制部（3〇)之測試機（1〇〇)， 由此可藉由其從縱向來檢測玻璃板（2)是否發生波紋。 ’如圖3及圖12所示，本發明在橫向及縱 出玻璃板⑴表面是否發生波紋，從而可更精密= 订上述玻璃板（2)之品質測試。 。以下對與本發明實施例中相同之部分，標註為 μ 號，省略對其重複說明。 付 本發明不僅能夠藉由相機更鮮明地拍攝破璃板表面之 24566pif 2影像’亦可藉由微分演算法’根據上述影子影像更精 在地測試各波紋種類是否發生。 【圖式簡單說明】

圖1是本發明實施例之玻璃板之品質測試機整體構 圖0 A 圖2是本發明實施例之在照明部已應用裂隙之狀態的 正面圖。 圖3是本發明實施例之在橫向上測試破璃板品質之狀 態的平面略圖。 、 圖4是使用本發明測試之波紋種類為條紋（&代吐） 型之波紋波形圖。 圖5是使用本發明測試之波紋種類為粗條紋（Twck Band)型之波紋波形圖。 圖6是使用本發明測試之波紋種類為索（c〇rci)型之 波紋波形圖。 圖7是本發明實施例之在玻璃板發生條紋型波紋狀態 之實驗中檢測到之波形圖。 圖8是本發明實施例之在玻璃板發生粗條紋型波紋狀 態之實驗中檢測到之波形圖。 圖9是本發明實施例之在玻璃板發生索型波紋狀態之 實驗中檢測到之波形圖。 圖10疋本發明實施例之在玻璃板同時發生波紋及粗 條紋型波紋狀態之實驗中檢測到之波形圖。 圖11是本發明實施例之玻璃板之品質測試方法流程 12

Claims (1)

1^29200 24566pif 十、申請專利範圍： L一種玻璃板之品質測試機，其會在藉由輸送裝置供 應給製程設備時，在玻璃板移送狀態下即時使用原地之測 ，方式來檢查是否發生波紋，或在玻璃板停土時即時檢查 是否發生波紋’上述測試機包括： 照明部，其照射穿過上述破璃板表面之照明； 影像處理部，在上述照明部之照明穿過玻璃板時，

其會處理时過上述玻璃板之照明而發生的玻璃板表面 之影子影像；以及 控制部’其自上述影像處理部所拍攝之影子影像中 k查玻璃板表面是否發生波紋。 人如”專利範圍第丨項所述之玻璃板之品質 機’上述照明部為氣燈（Xe Lamp)。 3‘如申μ專利範圍第1項所述之玻璃板之品質

機，為使㈣上述玻魏生成之柄板表面之景彡子影像更 鮮明顯現’在上述照明部前方結合使照明之照射 限於玻璃板的裂隙。 词 測試 (Θ) 4·如申請專利範圍第3項所述之玻璃板之品質 機’藉由上述裂隙而僅照射於破璃板之照明照射角产 在18〜22度之範圍内。 又 5. —種玻璃板之品質測試方法，包括： 並獲得玻 步驟1 ’按既定角度向玻璃板照射照明 璃板表面之影子影像； 步驟2 ’使上述獲得之料影像實現波形化； 14 1329200 24566pif 步驟3，使用微分演算法對上述波形化之影子影像 進行微分，以分割成相等間隔； 步驟4，將關於玻璃板平坦度之基準值邊界條件應 用於藉由上述微分分割成相等間隔之影子影像； 步驟5，檢測出是否存在超越上述應用之邊界條件 之影像，判斷是否發生波紋；以及 步驟6，上述判斷結果若發生波紋時，則區別其波 紋種類。 6 ·如申請專利範圍第5項所述之玻璃板之品質測試方 法，上述波紋種類區別包括： 步驟1，計數超越邊界條件之經微分之影子影像相 等間隔；以及 步驟2，在上述計數之個數中，若超越邊界條件之 影子影像之整體相等間隔寬度較窄時，則認定為條紋型 波紋。 7 ·如申請專利範圍弟5項所述之玻璃板之品質測試方 法，上述波紋種類區別包括： 步驟1，計數超越邊界條件之經微分之影子影像相 等間隔；以及 步驟2，在上述計數之個數中，若超越邊界條件之 影子影像之整體相等間隔寬度較寬時，則認定為粗條紋 型波紋。 8_如申請專利範圍第5項所述之玻璃板之品質測試方 法，上述波紋種類區別包括： 15 1329200 24566pif 步驟1，計數超越邊界條件之經微分之影子影像相 等間隔；以及 步驟2，在上述計數之個數中，若超越邊界條件之 影子影像之整體相等間隔寬度具有反覆週期時，則認定 為索型波紋。

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