JP4961777B2 - 塗布ムラ検査方法 - Google Patents
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Description
また、ダイコーターステージとガラス基板間に異物が存在した場合にも膜厚が変動するため丸状や不定形状のムラが発生したり、ガラス基板を支えている支持ピンとガラス基板との温度差から乾燥性のピンムラが生じたりすることもある。
また、2種類の光信号を検出処理する点で処理スピードにおいても満足できるものではないという課題があった。
本実施の形態では、液晶ディスプレイの電極板の製造に適用される中間製品を基材とし、この基材上にダイコーターで塗布された透明感光性樹脂被膜を透明樹脂被膜として、本発明を適用することができる。
透明感光性樹脂の下層に存在する格子影響及び基板全面に亘って存在する明るさ変動(モヤムラ影響)を顕在化する手段として分散値を算出するが、好ましくはガラス基板1上に形成された画素ストライプと直交する方向が好適である。これは、画素ストライプと直交する方向では、透明感光樹脂下層に存在する格子影響が格子配置構造上顕著に生じ、基板全面に亘って生じるうねり(モヤムラ)がより的確に現れるため、ムラ部を抽出するのに適するからである。この画素ストライプの方向は、ガラス基板1上の面付け配置によって変わり、塗布方向(m方向)と同方向になる場合と、塗布方向に直交する方向(n方向)と同方向の場合の2種類があり、適時選択する。
図3に示すように、塗布方向(m方向)に並んだ小領域(n,m)の反射光強度R(n,m)から得られる基準エリア内(積算幅Mref)の基準積算値Sref=ΣR(n,m)、走査エリア内(積算幅M)の積算値S=ΣR(n,m)を求める。尚、この時、基準エリア積算幅>走査エリア積算幅とし、基準積算値SrefとSとの数値レベルを揃えるため新たに基準積算値Srefは、Sref=Sref×(M/Mref)と置換させておく。そして、基準積算値Sref及び積算値Sデータに対し、n方向で画素ピッチ幅で走査しながら分散値(標準偏差σ)、すなわちσref及びσを求め、走査エリア内の分散値と基準エリア内の分散値との差σ−σrefを求める。
次に、基準エリア内の走査エリアを塗布方向m方向にシフトさせ、同様に走査エリア内の分散値σm、σm−σrefを求める。尚、シフト量は対象とする塗布ムラの大きさに応じて1画素以上の適値とする。
尚、このような演算は、図示しないコンピュータによって可能である。
次に、基準エリア内の走査エリアを塗布方向m方向にシフトさせ、同様に走査エリア内の移動平均値Sm、走査エリア内の移動平均値と基準エリア内の移動平均値との差Am−Arefを求める。尚、シフト量は対象とする塗布ムラの大きさに応じて1画素以上の適値とする。
尚、このような演算は、図示しないコンピュータによって可能である。
図4は、基準エリア内の基準積算値とムラのある走査エリア内の積算値を示した説明図である。
尚、この時の基準積算幅Mrefは400画素、積算幅Mは60画素、nは200画素とした。
図5は、基準エリア内基準積算値から求めた標準偏差σrefと走査エリア内積算値から求めた標準偏差σとの差を示す説明図である。
図5から、モヤムラと下地影響が固定ノイズとして存在していることが確認できると共に、塗布ムラ部ではその変化量以上に偏差が顕著になっていることが確認できる。また、この差分値に閾値を設けることで、ムラの存在する部位と正常の部位との弁別も可能となる。
図6は、基準エリア内基準積算値から求めた移動平均値Arefとムラのある走査エリア内積算値から求めた移動平均値Aを示した説明図である。
そして、移動平均値Aと基準エリア内の移動平均値Arefとの差を求めた結果を図7に示す。
図7は、基準エリア内基準積算値から求めた移動平均値Arefとムラのある走査エリア内積算値から求めた移動平均値Aとの差を示す説明図である。
これらの図から基準エリア内から求めた移動平均値と走査エリア内から求めた移動平均値との差を求めることで塗布ムラの存在を確認することができると共に、この差分値に閾値を設けることで、ムラの存在する部位と正常の部位との弁別も可能となる。
Claims (2)
- 測定に影響する下層が存在する基材上に塗布された透明樹脂被膜の塗布ムラを検査する方法であって、
透明樹脂の塗布方向及びこれに直交する方向に分割して多数の小領域とし、これら小領域に光を照射してその反射光強度を小領域毎に測定する反射光強度測定工程と、
塗布方向又は塗布方向に直交する方向を積算方向として、この積算方向に沿って並んだ小領域の反射光強度を基準エリア内で積算処理して基準積算値を算出する基準積算値算出工程と、
塗布方向又は塗布方向に直交する方向を積算方向として、この積算方向に沿って並んだ小領域の反射光強度を前記基準エリア内に設定された走査エリア内で積算処理して積算値を算出する積算値算出工程と、
前記基準積算値及び積算値から所定区間内で分散を算出する分散算出工程と、
前記基準エリア及び走査エリアの分散値との比較演算により塗布ムラを抽出するムラ抽出工程と、
を備えることを特徴とする塗布ムラ検査方法。 - 測定に影響する下層が存在する基材上に塗布された透明樹脂被膜の塗布ムラを検査する方法であって、
透明樹脂の塗布方向及びこれに直交する方向に分割して多数の小領域とし、これら小領域に光を照射してその反射光強度を小領域毎に測定する反射光強度測定工程と、
塗布方向又は塗布方向に直交する方向を積算方向として、この積算方向に沿って並んだ小領域の反射光強度を基準エリア内で積算処理して基準積算値を算出する基準積算値算出工程と、
塗布方向又は塗布方向に直交する方向を積算方向として、この積算方向に沿って並んだ小領域の反射光強度を前記基準エリア内に設定された走査エリア内で積算処理して積算値を算出する積算値算出工程と、
前記基準積算値及び積算値から所定区間内で移動平均してその移動平均値を算出する移動平均値算出工程と、
前記基準エリア及び走査エリアの移動平均値との比較演算により塗布ムラを抽出するムラ抽出工程と、
を備えることを特徴とする塗布ムラ検査方法。
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