TWI313396B - Color photosensitive resin composition - Google Patents

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TWI313396B
TWI313396B TW092120486A TW92120486A TWI313396B TW I313396 B TWI313396 B TW I313396B TW 092120486 A TW092120486 A TW 092120486A TW 92120486 A TW92120486 A TW 92120486A TW I313396 B TWI313396 B TW I313396B
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Ichikawa Koji
Amatatsu Yoshimasa
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Sumitomo Chemical Co
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Description

1313396 玖 、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關著色光敏樹脂組成物者。 【先前技術】 著色光敏樹脂組成物乃係含有著色劑之光敏樹脂組成 物’可做為構成彩色濾光片中形成著色圖型之材料的有益 用途。彩色渡光片可用於液晶顯示裝置所顯示影像之彩色 化用途或可供固體攝影元件所攝影之影像加以彩色化用之 光學元件用途。著色圖型乃指例如紅、綠、藍等之彩色像 素、黑色基體等,可呈線條狀或嵌紋狀。 已往,晶圓等之被塗布基板上使用著色光敏樹脂組成 物形成塗膜之際,$常在被塗布基板之中央附近,藉喷嘴 滴下著色光敏樹脂組成物,《由縫隙狀噴嘴滴下著色光敏 樹脂組成物於被塗布基板上之後,再使用自旋塗布器藉數 千rpm之旋轉速度旋轉上述基板,將溶劑和滴加在 基板上過多之著色光敏樹脂組成物彈出而形成平坦之塗布 =然而,使用自旋塗布器日寺’滴下在基板上的多餘的著 ^㈣脂組成物被彈出而廢棄,為防止這種未形成著色 tr脂層之浪費情形’以及已往的自旋塗布器很難在丨 =正方之大面積玻璃等基板上完成塗布,因此-直在研 汝 ‘…目疑塗布益#之痛液型塗布器。該犁 可例舉如日本專利特開则-咖0號公報中所記 另一方面 將已往最適用於自旋塗布器之著色光敏樹 334903 1313396 脂組成物轉用在上述省 ,^ I令液型之無自旋塗布器時,發現有不 易獲得平坦性之傾向。 了知兄有不 之用自旋塗布器時,塗布肤離太 之平坦性並不重要,可f布狀態本身 ^ + 稭疋轉作用而獲得某種程度之平扫 性’同時大部分溶劑隨旋鏟而+ 裡扭度之十坦 η φ 而去除,在加熱去除溶劑之過 被破壞。相對“ = 劑量少’因此,平坦性不易 以塗布狀態本身幾乎料能藉旋轉去除溶劑,所 溶劑之量遠多於自旋性’再加上藉加熱等去除 一 布之N形,因此須將形成層内部之 洛鈉去除,結果有產生平坦性劣變之傾向。 已往’為改良著色光敏樹脂組成物之塗布性,有採用 添加均化劑等高分子之添:有知用 ..A ^ + 刀w者。另外,亦有採用藉減少 者色光敏樹脂組成物中之固形物量以降低黏度之方法。 然而,添加均化劑等高分子添加劑時,塗布有著色光 敏樹脂組成物之未乾燥塗膜在塗布終了後,沿著基板周邊 所形成之周緣部分(即未乾燥塗膜之較厚膜部分)會立即向 基板中央移動,而產生面内喪失均一性之問題。另外,藉 減少著色光敏樹脂組成物中之固形物而降低黏度時,為‘ 得必要膜厚必須增多塗布量’如是即有失去使用省液型塗 布器之意義的問題存在。又’ 一般而言’著色光敏樹脂組 成物中所使用之黏接劑聚合物屬高分子化合物,且保有羧 酸等極性基’所以有增加著色光敏樹脂組成物之黏度之傾 向。黏度過高時,著色光敏樹脂組成物在基板上之展延性 不良,塗布時容易發生不均勻而造成問題。 【發明内容】 314903 6 1313396 本發明之目的在於提供使用無自旋塗布器等省液型塗 布器時’塗布性良好之著色光敏樹脂組成物。 本愈月研九者為解決上述課題,經重覆不斷研究結 果,發現含有一般式(1)所示化合物之著色光敏樹脂組成物 可解決上述問題,因而完成了本發明。 亦即’本發明提供由(A)著色劑、(B)黏接劑聚合物、 (C)光聚合性化合物、(D)光聚合引發劑、(E)溶劑和(?)含有 一般式(1)所示化合物而構成之著色光敏樹脂組成物;本發 明亦提供塗布上述著色光敏樹脂組成物於基板上,將所塗 布之著色光敏樹脂組成物層去除揮發性成分後,藉經由光 罩曝光上述塗布層而顯影之圖型形成方法;本發明又提供 含有上述方法所形成之圖型彩色濾光片,以及安裝有上述 彩色濾光片之液晶顯示裝置。
CH2〇(CH2CH2〇)mH H3CH2C~-C-CH2CH2CH2CH3 CH2〇(CH2CH2〇)nH ⑴ (式中,m和n分別示正整數,但是m + n為2以上6 以下)。 【實施方式】 。發明之著色光敏樹脂組成物中所使用之(A)著色聋 :為有機物之有機色料,亦可為無機物之無機色料。其中 说寸熱)生、呈色性優異之觀點’以使用有機色料為較佳 所使用之有機色料和無機色料,具體而言,例如色
(Color IndexKThe Society of Dyers and Colourists H 314903 7 1313396 版)中細屬於顏料(Pigment)之化合物均可採用。 之’例如c· 1黃色顏料1,c. I.黃色顏料 更具 料12,C. 1 ·黃色顏料1 3 體言 C· L黃色顏 C · 1 ·黃色顏 C · 1.黃色顏 C · 1.黃色顏 C· I·黃色顏 料15 料20 料53 料93 C· L黃色顏料16 C· ^黃色顏料24 C · 1 ·黃色顏料8 3 C. L黃色顏料94 C · I ·黃色顏料1 4 C · I.黃色顏料1 7 C · I ·黃色顏料3 1 C · I ·黃色顏料8 6 C. I.黃色顏料109,C. I.黃色顏 料110 <:.1.更色顏料117,(:_1.黃色顏料125,(:.1.黃色 顏料128 C.L黃色顏料137,C_I.黃色顏料138,C.I.黃 色顏料139 ’ C· L黃色顏料147,C. I·黃色顏料148 , C. I. κ色顏料1 5 0 ’ c · I.黃色顏料i 5 3,c · j黃色顏料j 5 4,c I.汽色顏料166,C. I.黃色顏料173,c j黃色顏料194, C. I.黃色顏料214等黃色顏料;
c. 1_撥色顏料13’ C. 1_橙色顏料31,c J橙色顏料36, C. I.板色顏料38 ’ C. I.撥色顏料4〇,c. j•橙色顏料42,c 1.¾色顏# 43 ’ C. I.橙色顏料5l,c. Γ.橙色顏料55,c· L 燈色顏料59 ’ C. I.撥色顏料61,c·工撥色顏料64,c· L 板色顏料65,C_ I.橙色顏料7l,c」橙色顏料73等橙色 顏料; C · I ·紅色顏料9,C T 4 & L·丨·紅色顏料97, C. I.紅色顏料105, C · I.紅色顏料1 2 2,C I έτ众4 • ·,、工色顏料1 23,C. I.紅色顏料1 44, C · I.紅色顏料1 49,C · I紅&知 , ,、'工色顏料1 66,C. I.紅色顏料1 68, C _ I.紅色顏料1 76 C _ I.紅色顏料丄77c ·】紅色顏料工8 〇, C. I.紅色顏料192,C. I红& 4 • 色顏料209,C. I.紅色顏料2 1 5, 8 314903 1313396 匸.1.紅色顏料216,匚.1.紅色顏料224,(:.1.紅色顏料242, C. L紅色顏料254,C. I.紅色顏料264 , C· I·紅色顏料265 等紅色顏料; C·藍色顏料15,C. I·藍色顏料15 : 3,C. I.藍色顏 ;: C· L藍色顏料1 5 : 6,C. I.藍色顏料6〇等藍色 顏料; C· L紫色顏料丨’ C· L紫色顏料19, C. I.紫色顏料23, C. L备、色顏料29,C. L紫色顏料32,C· I.紫色顏料36,c I·紫色顏料38等紫色顏料; · C· L綠色顏料7,C. I.綠色顏料36等綠色顏料; C. L褐色顏料23,C. L褐色顏料25等褐色顏料; C· h黑色顏料1,C. L黑色顏料7等黑色顏料; 其中以含有至少一種選自c 乂黃色顏料138,… 色顏料139,C.I.普色顏料 月 紅色顏料L紅色顏料⑺,。.1· 紅色顏料254, C.I.紫色彥請23, c J 監色顏料15 : 6和c I.丄. 較佳。 ..、、亲色顏料36所構成群中之顏料為 上述有機顏料和無機顏料 2種以上混合使用,例如要形成 萄種使用,也可 顏料2〇9和C.I.黃色顏 象素以含有C. I.紅色 含有C.L綠色顏料3:和、為較佳;要形成綠色像素以 顏料138所構成群中至:,料以及αι.黃色 素以含有U.藍色顏料〗5二種為較佳;要形成藍色像 上述顏料中,必要日士 ·、”、較佳。 η、有機顏料可使用松香處理, 314903 9 1313396 导入駸性基 ’一丨々t 衣四7处埋,使用古八 子化合物等在顏料表面行接枝處理,以微粒疏酸法行= 化處理,或使用有機溶劑或水等去除不純物質之洗淨處 理’離子性不純物之藉離子交換法等施與去除處理等。 曰本發明之著色光敏樹脂組成物中使用之⑷著色劑的 用!’對於著色光敏樹脂組成物中之固形物之質量比率 計,一般在8質量%以上而6〇質量%以下其中以 =以…質量%以下為較佳125質量%以上而5〇 貝罝%以下為更佳。告/十,a 質量%以下時,做成::色^ /色濾光片可得到充分之色濃度, 且在組成物中能含有必要量之黏接 性強度足以形成充分之圖型。又,本私…口此其機械 ^ ^ π 又,本發明中著色光敏樹脂 、且成物中之固形物係指去除溶劑係其他成分之總量。 對本發明所得著色光敏㈣組絲而言, 顏料的粒徑以均-為宜。為得粒徑均一之 °3 |面活化劑做為色料分散劑而進行分散處理。據 此’可得色料在溶液中分散均—狀態之色料分散液。 7色料分散财使用例如陽離子1陰離 料、性界面活化劑等,可單獨或2種以上混合使用。 質旦///劑之用量’對著色劑1質量份計,-般為〇.〇1 貝里伤以上而i質量份以下,其中以 〇.5質量份以下為較佳。 冑里伤以上而 關於本發明之著色 接南! ψ人铷 &先敏树月曰組成物中所使用之(Β )黏 丄“物’可使用丙稀酸系共聚物,例如含有缓基之單 3)4905 10 1313396 丙酯、曱基丙烯酸異丙脂、丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸正 丁酯、丙烯酸異丁酯、甲基丙烯酸異丁酯、丙烯酸第二丁 酯、曱基丙烯酸第二丁酯、丙烯酸第三丁酯、甲基丙烯酸 第三丁酯、丙烯酸經基乙酯、甲基丙稀酸2 -經基乙酯、 丙烯酸2 -羥基丙酯、曱基丙烯酸2 -羥基丙酯、丙烯酸3 -羥基丙酯、曱基丙烯酸3 -羥基丙酯、丙烯酸2_羥基丁酯、 曱基丙烯酸2 -羥基丁酯、丙烯酸3 -羥基丁酯、甲基丙烯酸 3 -經基丁酯、丙烯酸4 -經基丁酯、曱基丙稀酸4 -經基丁酯、 丙烯酸烯丙酯、甲基丙烯酸烯丙酯、丙烯酸苯甲酯、曱基 丙烯酸苯曱酯、丙烯酸環己酯、甲基丙烯酸環己酯、丙烯 酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸2-甲氧基乙酯、曱基丙 烯酸2-曱氧基乙酯、丙烯酸2-苯氧基乙酯、甲基丙烯酸2-笨氧基乙酯、丙烯酸甲氧基二乙二醇酯、曱基丙烯酸甲氧 基二乙二醇酯、丙烯酸甲氧基三甘醇酯、甲基丙烯酸甲氧 基三甘醇酯、丙烯酸曱氧基丙二醇酯、甲基丙烯酸曱氧基 丙二醇酯、丙烯酸曱氧基二丙二醇酯、甲基丙烯酸曱氧基 二丙二醇酯、丙烯酸異冰片酯、曱基丙烯酸異冰片酯、丙 烯酸二環戊二烯酯、甲基丙烯酸二環戊二烯酯 '丙烯酸2 -羥基-3-苯氧基丙酯、甲基丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯、 甘油單丙稀酸酯、甘油單甲基丙稀酸酯等不飽和緩酸酯 類; 丙烯酸2 -胺基乙酯、曱基丙烯酸2 -胺基乙酯、丙烯酸 2-二甲胺基乙酯、甲基丙烯酸2_二甲胺基乙酯、丙烯酸2-胺基丙酯、甲基丙烯酸2 -胺基丙酯、丙稀酸2 -二甲胺基丙 314903 1313396 醋、甲基丙稀酸2 -二曱胺基丙脂、丙稀酸3 -胺基丙I旨、甲 基丙烯酸3 -胺基丙I旨、丙烯酸3 -二曱胺基丙i旨、甲基丙烯 酸3 -二甲胺基丙酯等不飽和羧酸胺基烷酯類; 丙烯酸縮水甘油酯、曱基丙烯酸縮水甘油酯等不餘和 羧酸縮水甘油酯類; 乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯、苯甲酸乙稀 酯等羧酸乙烯酯類; 乙烯曱醚、乙烯乙醚、烯丙基縮水甘油醚等不飽和醚 類; 丙烯腈、曱基丙烯腈、α -氣丙烯腈、氰化亞乙稀等氰 化乙稀化合物; 丙烯醯胺、甲基丙烯酿胺、氣丙烯醯胺、Ν_2_經基 乙基丙烯醯胺、Ν-2-羥基乙基甲基丙烯醯胺等不飽和醯胺 類; 馬來醯亞胺、Ν-苯基馬來醯亞胺、Ν_環己基馬來醯亞 胺等不飽和醯亞胺類; 1,3-丁二烯、異戊二烯、氣丁二烯等脂肪族共軛雙烯 類; 聚苯乙烯、聚丙烯酸甲酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚丙 烯酸正丁酯、%甲基丙烯酸正丁酯、聚矽氧烷之聚合物分 子鏈末端上具有單丙烯醯基或單曱基丙烯醯基之高分子單 體等。 上述單體可單獨使用或2種以上混合使用。 上述共聚物中含有羧基之單體單位含量,以質量分率 314903 13 I313396 。十’通常為10至50質量〇/。,其中以15至40質量%為宜, =以25 i 40質量%為更佳。上述含有叛基之單體單位含 里在1 0至50質ϊ %範圍時’對於顯影液之溶解性良好, 顯影時可正確形成圖型而佳。 本發明所使用(B)黏接劑聚合物之酸值,通常在5〇至 ?〇範圍’其中以6〇至14〇為佳,尤以至⑴為最佳。 田上述酸值在5〇至! 5〇範圍時,可提升對於顯影液之溶解 性’未曝光部分易溶解,又感應度提高而顯影時曝光部分 之圖型存留而有提升殘膜率之傾向而甚佳。上述酸值係以 中和1 g丙烯酸系聚合物所必要之氫氧化鉀量(mg)測得之 值,通常使用氫氧化鉀水溶液滴定(B)黏接劑聚合物而求 得。 上述丙烯酸系共聚物可例舉如(甲基)丙烯酸/(甲基)丙 烯馱甲S曰共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苯曱酯共聚 物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2_羥基乙酯/(甲基)丙烯酸 苯甲酯共聚物、(曱基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸甲酯/聚笨乙烯 问分子單體共聚物、(曱基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸甲酯/聚 (甲基)丙烯酸甲酯高分子共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙 烯鲅苯甲酯/聚苯乙烯高分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/ (甲基)丙烯酸苯甲酯/聚(甲基)丙烯酸甲酯高分子單體共聚 物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2_羥基乙酯/(甲基)丙烯酸 苯甲酯/聚苯乙烯高分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基) 丙烯酸2-羥基乙酯/(甲基)丙烯酸苯甲酯/聚(甲基)丙烯酸 甲酯南分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/苯乙烯/(甲基)丙烯 314903 1313396 酸苯曱酯/N-苯基馬來醯亞胺共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸 單(2-丙烯醯氧基乙酯)/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苯曱酯/N_苯 基馬來醯亞胺共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單(2_丙烯醯氧 基乙酯)/苯乙烯/(曱基)丙烯酸烯丙酯/:^_笨基馬來醯亞胺 共聚物、(曱基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苯曱酯/N_苯基馬來醯 亞胺/苯乙烯/甘油單(曱基)丙烯酸酯共聚物等。上述中(甲 基)丙烯酸酯乃示丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯。 其中,以(曱基)丙烯酸/(曱基)丙烯酸苯甲酯共聚物、 (曱基)丙烯酸/(曱基)丙烯酸苯曱酯/苯乙烯共聚物、(甲基) 丙烯酸/(甲基)丙烯酸曱醋共聚物、(曱基)丙烯酸/(甲基^丙 稀酸甲酯/笨乙浠共聚物等為佳。 本發明中所使用(B)黏接性聚合物以聚苯乙烯換算重 里平均分子篁(以聚苯乙烯為標準品,用凝膠滲透層析法斤 求得之值)’通常在5,GGG至5〇,麵範圍,其中以8,〇〇〇至 40,000為較佳’尤以1〇 〇〇〇至35 〇〇〇為最佳。當分子量 在5,0⑽至5G,GGG範圍時,可提升塗膜硬度,殘膜率也高里 對於顯影劑之未曝光部分之、、交s 〜I刀疋4解性也良好,有提升解像户 之傾向而甚佳。 4 迟(B)黏接性聚合物對於著色光敏樹脂組成物中 形物之質量㈣,一般係使用5質量%以上4〇質量%以 範圍,其中以1G質量%以上35質量%以下為佳,尤: f量%以上26質量%以下範圍最佳。上述黏接性聚合物 量在上述™以上40質量%以下範圍時,可 型,又,解像度和殘膜率有提升之傾向而佳。 〇 314903 1313396 本發明之著色光敏樹脂組成物中所使用之(c)光聚合 性化合物乃指藉光照射由光聚合引發劑所產生之活性自由 基、酸等而能聚合之化合物,例如含有聚合性之碳_碳不飽 和鍵之化合物等。 一〜〜π σ,工儿’口柳μ j百能基以上之多官能基光专 合性化合物為宜。3官能基以上之多官能基光聚合性化合 物可例舉如季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇三曱基丙烯画 醋、季戊四醇四丙烯酸_、季戊四醇四甲基丙烯酸醋、二 季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇五曱基丙烯酸酯、二写 戊四醇六丙稀酸S旨、二季戊四醇六甲基丙烯酸醋等。上站 光聚:性化合物可單獨使用或2種以上混合使用。其用. 以對著色光敏樹脂組成物中之固形物按質量分率計,一拖 ;5質量%以上45質量❶以下,其中以1〇質量%以上35 :量%以下為佳,尤以15質量%以上26質量%以下範圍更 “。光聚合性化合物含量在 隹上述之5質置以上45質量%以 下τ,可充分硬化,提升殘膜率而甚佳。 本^明之者色光敏樹脂組成物中所使用之(D)光聚人 發:指藉光照射能產生活性自由基之活性=生 劑、產酸劑、增感劑等。 x王 系化::自由基發生劑之例舉有:苯乙酮系化合物、三哄 李二’聯咪°坐系化合物、苯偶因系化合物、二苯甲, 糸化合物、噻噸酮系化合物 1 - έ & A t /、T以本乙朗I系化合物、 :佳料唾系化合物所構成群中至少選擇丄種 314903 16 1313396 ,s笨乙酮系化合物可例舉如二乙氧基苯乙酮、2-f基-2 ‘ f細琳基_1_(4·甲硫基笨基)丙燒-1,、2-經基-2-甲基小 苯土丙炫卜鋼、苯T基二甲基縮®g ' 2-經基-2-甲基- W4- (、I基乙氧基)苯基]丙貌·r嗣、r經基環己基苯基酮、2_ I 曱基1 [4_(1_甲基乙烯基)笨基]丙烷-1-酮等低聚物 等,、中以2-甲基_2_嗎福啉基-1-(4-曱硫基苯基)丙烷_1_ 酮等為佳。 —哄系化合物可例舉如2,4_雙(三氯曱基)_6_(4_曱氧 基苯基)-1,3,5-二哄、2,4_雙(三氯甲基Μ#甲氧基萘基)_ 1’3一’5_二π井、2,4_雙(三氣甲基)_6_(4_甲氧基苯乙稀基) 5 —哄、2,4-雙(二氯曱基)_6_[2_(5_曱基呋喃_2_基)乙烯基] -1,3,5-二哄、2,4_雙(三氯曱基)_6_[2_很。南_2_基)乙烯基]_ 1,3,5 _哄、2,4-雙(二氣甲基)_6_[2_(4_二乙胺基_2·甲苯基) 乙浠基三畊、2,木雙(三氯甲基)_6_[2_(3,心二甲氧基 本基)乙稀基]·1,3,5 -三哄等。 聯味唑化合物之例舉有2,21_雙(鄰-氯苯基)_4,4,,5,5,_ 四苯基聯。米。坐、2,2,-雙(鄰'氣苯基)_4,4.,5,5,_四(對_乙氧幾 基苯基)聯咪唾、2,2,-雙(鄰·氯苯基)_4,4,,5,5,_四(對_漠苯基) 聯味唾、2,2,-雙(鄰-氣苯基)_4,4,,5,5,·四(鄰,對_二氣苯基) 聯味唾、2,2,-雙(鄰·漠苯基)_4,4,5,5,_四苯基聯咪峻、2,2,_ 雙(鄰,對-二氣苯基)-4,4,,5,5,-四苯基聯咪唑、2,2,_雙(鄰_ 氣苯基)·4’4'-5,5,-四(間曱氧基笨基)聯。米哇、2,2,_雙(鄰, 4 -一氣苯基)-4,4,5,5 -四苯基聯。米σ坐、2,2,·雙(鄰·破基笨 基)-4,4’,5,5,-四笨基聯^坐、2,2,_雙(鄰_甲苯基)_4,4,5,5,- 314903 )7 1313396 四苯基聯咪唑等。 苯偶因系化合物可例舉如笨偶因、苯偶因曱醚、苯偶 因乙醇、苯偶因異丙醚、苯偶因異丁鰱等。 二苯曱酮系化合物之例舉有二苯甲酮、鄰-苯甲醯基苯 曱酸甲醋、4 -苯基二苯曱酮、4 -苯甲醯基_4'-甲基二笨基 硫、3,3’,4,4’-四(第三丁基過氧化羰基)二苯甲酮、2,4,6-三 曱基二苯曱酮等。 噻噸酮系化合物之例舉有2-異丙基噻噸酮、4-異丙基 嚷4員_、2,4 -二乙基噻η頓酮、2,4 -二氯噻4員銅、1_氯-4-丙氧 基噻噸酮等。 活性自由基發生劑之例舉有2,4,6-三甲基苯曱醯基二 苯膦氧化物、2,2,-雙(鄰-氯苯基)_4,4,,5,5,_四苯基^,广聯 咪唑、10-丁基-2-氣吖啶酮、2-乙基蒽醌、苯偶醯、9,10_ 菲酉昆、樟腦醒、苯基乙搭醯酸甲酯、二茂鈦化合物等。 產酸劑之例舉如4-羥苯基二甲基毓對_甲苯磺酸鹽' 4_ 羥苯基二甲基锍六氟銻酸鹽、4_乙醯氧基苯基二甲基锍對_ 甲苯磺酸鹽、4-乙醯氧基笨基.甲基.苯甲基锍六氟銻酸 鹽、三笨基毓對-曱苯磺酸鹽、三苯基毓六氟銻酸鹽、二苯 基碘鍚對-曱苯磺酸鹽、二苯基碘鍚六氟銻酸鹽等鎰鹽類、 或硝基苯曱基曱苯磺酸酯類、苯偶因曱苯磺酸酯類等。 又,上述活性自由基發生劑化合物中,也有同時產生 活性自由基和酸之化合物’例如上述三啡系光聚合引發劑 也可做為產酸劑使用。 也可複數個組合使 上述光聚合引發劑等可單獨使用 314903 18 1313396 本發明之著色光敏樹脂組成物中所使用之(D)光聚合 引發劑之含量,以(B)黏接劑聚合物和(c)光聚合性化合物 之δ «十里1〇〇質量份計,一般為〇.1質量份以上25質量份 以下,其中以1質量份以上15質量份以下為佳。光聚合引 發劑含量在O.i質量份以上25質量份以下範圍時’成為高 感度化而能縮短曝光所需時間提升生產力,又有維持高解 像度之傾向而甚佳。 本發明中’也可使用光聚合引發助劑。光聚合引發助 d可和光聚合引發劑調配使用,乃用於促進經由光聚合引 發劑而開始聚合之光聚合性化合物之聚合反應用之化合 物。光聚合引發助劑之例舉有胺系化合物、烷氧基蒽系化 合物、噻噸酮系化合物等。 胺系化合物之例舉如三乙醇胺、曱基二乙醇胺、三異 丙醇胺、4-二曱胺基笨曱酸甲酯、4_二曱胺基苯曱酸乙酯、 4 -二甲胺基苯曱酸異戊酯、笨甲酸2_二甲胺基乙酯、4_二 曱胺基笨甲酸2-乙基己酯、n,n_二甲基對-曱苯胺、4,4,· 雙(二甲胺基)二苯甲酮(一般稱為米希勒酮)、4,4,_雙(二乙 胺基)二苯甲酮' 4,4'-雙(乙基甲基胺基)二苯甲酮等,其中 以4,4’ -雙(二乙胺基)二苯甲酮為較佳。 烷氧基恩系化合物可例舉如9,丨〇_二甲氧基蒽、2-乙基 -9,1〇-二甲氧基恩、9,1〇-二乙氧基蒽、2_乙基_9,1〇_二乙氧 基蒽等。 噻噸酮系化合物可例舉如2_異丙基噻噸酮、4_異丙基 !9 314903 1313396 噻噸酮、2,4_二乙基噻噸酮、2,4_二氣噻噸酮、丨-氣―^丙氧 基噻噸酮等。 光聚合引發助劑可單獨或複數組合使用。又,光聚合 引發助劑也可利用市販者,該市販之光聚合反應助劑可例 舉如商品名為「EAB_F」(保土谷化學工業公司製品)等。 本毛月之著色光敏樹脂組成物中之光聚合引發劑和光 聚合引發助劑之組合可例舉如二乙氧基笨乙酮/4,4,-雙(二 乙胺基)二笨曱S同、2_甲基-2-嗎福啉基-1-(4-曱硫基笨基) 丙烧1酮/4,4-雙(二乙胺基)二苯曱_、2_經基甲基 苯基丙烷_1 —酮/4,4'-雙(二乙胺基)二苯甲酮、苯甲基二甲基 縮酮/4,4 _雙(二乙胺基)二苯甲酮、2-經基-2-甲基-ΐ_[4_(2一 羥基乙氧基)笨基]丙烧小酮/4,4,_雙(二乙胺幻二苯甲剩、 經基環己基苯基酮/4,4、雙(二乙胺基)二苯甲嗣、2_經基 甲土 [4(1-甲基乙烯基)苯基]丙烷-1-酮之低聚物/ Μ’-雙(二乙胺基)二苯甲_、2_苯甲基·2_二甲胺基小 =啉基苯基)丁烧+酉同/4,4,_雙(二乙胺基)二苯甲酮之組 1°:/4其中以2_甲基嗎福啉基_1_(4_甲硫基苯基)丙烷_ 雙(二乙胺基)二苯甲綱之組合為佳。 :用上述聚合引發助劑之情況,其使用量,對】莫耳 引發劑’通常使用1〇莫耳以下 以上5莫耳以下為佳。 吴斗 本發明中所使用之(E)溶劑 擇自丙二醇單甲鍵乙酸酿和 牛〇 ^ 3有1種選 之溶劑,該溶劑中,從丙二醇單=丙酸乙醋所構成群中 早甲_乙酸酯和3 -乙氧基丙 3]4903 20 1313396 酸乙酯所選擇至少一種之合旦 < 3里比率’就本發明之著色光敏 樹脂組成物塗布於基板時 叶之十坦性為良好之觀點言之,以 5 0至1 0 0質量%為佳,尤发 ” 乂 60質量%至100質量〇/〇為最 佳。 可使用之其他溶劑可你丨與丄^ 4 了例舉如醚類、芳香族烴類、酮類、 .類、酯類、醯胺類等。 醚類可例舉如四味〇土 二醇單甲…:南、四氫吼喃、Μ二。惡烧、乙 _ 、—醇早乙醚、乙二醇單丙醚、乙-醇單丁 醚、二乙二醇單甲鍵、二乙 知単丁 二乙二醇二甲鍵、二一知…、二乙二醚單丁_、 乙二醇二丁醚 。/ —乙醚、二乙二醇二丙醚、二 醋、丙二醇單 ^早Μ乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸 纖素乙酸酯、乙:士乙^ S曰、甲基溶纖素乙酸酯、乙基溶 二醇甲醚乙酸酯、 丁基卡必酵乙酸酯、丙 苯曱醚、笨乙酸丰丁基乙酸酯、甲氧基戊基乙酸醋、 — 本乙醚、甲基苯甲醚等。 芳香族烴類可例舉如苯 朗1類可例舉士工 一甲本、均三,苯等。 牛如丙嗣、2·丁獅 〇 4_甲基-2-戊|同、广a 丁钔2_庚酮、3-庚酮、4-庚酮、 展戊酮、環己_等。 心可例舉如甲醇、 醇、乙二醇、甘油等。 丙醇、丁醇、己醇、環已 酉旨類可例舉如 甲酸戊酯、乙酸I 士 I冑、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、 丙酯、丁酸乙P '知、乙酸異丁酯、丙酸丁酯、丁酸異 ,、輕基已醆二酸丁酿等垸酿類、乳酸甲醋、乳酸乙 曰、羥基乙酸乙酯、羥基乙酸丁酯、甲氧
2J 314903 1313396 基乙fee曱酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧 乙酸曱酯、乙氧基乙酸乙酯、3-羥基丙酸曱酯、3-羥基基 酸乙酯、3_甲氧基丙酸曱酯、3-曱氧基丙酸乙酯、3-乙f 基丙S欠甲自曰、3 -乙氧基丙酸乙酯、2_羥基丙酸甲酯、: |e«< 基丙酸乙酯、2·羥基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸甲酯、心 氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2_乙氧基丙酸甲酯、 2_乙氧基丙酸乙酯、2_羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基 基丙S夂乙酯、2-甲氧基_2_甲基丙酸曱酯、2_乙氧基甲美 丙I乙S曰、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙 乙酸甲醋、乙醯乙酸乙醋、2_氧代丁酸甲g旨、2_氧代丁酸 乙酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3_甲基_3_甲氧基丁基乙酸酯、 7 - 丁内酯等。 9 醯胺類可例舉如N,N_二曱基醯胺、N,N_二甲基乙醯胺 等。 其他溶劑可例舉如N_甲基吡咯烷酮、二曱亞楓等。 上述其他溶劑中,以3-乙氧基丙酸乙酯、丙二醇單甲 越乙酸酯較適用。 上述其他溶劑可單獨或2種以上混合使用。 本發明之著色光敏樹脂組成物中(E)溶劑之含量,就塗 佈著色光敏樹脂組成物時之平坦性和形成彩色濾光片時之 見特!生之觀點而言,以質量分率計,通常為7〇質量%以 上95質量%以下’其中以75質量%以上90質量%以下為 佳〇 本^月之者色光敏樹脂組成物中,使用(F)下列一般式 314903 22 Ϊ313396 (1)所示之化合物。 CH20(CH2CH20)mH H3CH2C—C—CH2CH2CH2CH3 CH20(CH2CH20)nH ⑴ (式中,m和n分別示正整數,但是,m+n為2 I” 、 工 C) 其中, 氧基-丙燒和 成群中至彡 以選擇自 2-丁基-2-乙基 -羥基乙氧基乙 2-丁基-2-乙基“,弘沒_羥基乙氧基_丙烷所構 一種之化合物為佳。 上述(F)—般式(1)所示化合物之用量,對著色光敏樹 曰組成物之固形物以質量分率計,為G」i 5質量%,以 T至4‘5質量%為佳,尤以1至4質量。為更佳。上述用 量在(M i 5 f量%範圍時’因所得著色光敏樹脂組成物 之感度不會降低可形成圓型而甚佳。 本务明之著色光敏樹脂組成物尚可含有界面活化劑、 填t劑:黏接性聚合物以外之高分子化合物,例如黏附促 進劑、抗氧化劑、”卜光吸收劑、防止凝聚劑、有機酸、 有機胺基化合物、硬化劑等添加劑。 、界面活化劑可使用由聚矽氧烷系界面活化劑、氟系界 舌化J和含有氟原子之聚矽氧烷系界面活化劑所構成群 中選擇之至少一種。 聚矽氧烷系界面活化劑可例舉如具有矽氧烷鍵之界面 活化劑m之’商品名為東麗聚秒氧烧DC3PA、 SH7PA DCl 1PA、SH21PA、SH2 8PA、29SHPA、SH3 0PA、 314903 23 1313396 聚醚變性矽油SH84〇0(東麗聚矽氧烷公司製品),KP321、 KP322、KP323、KP324、KP326、KP340、KP341(信越聚 矽氧烷公司製品)、TSF400、TSF401、TSF410、TSF4300、 TSF4440 、 TSF4445 、 TSF4446 、 TSF4452 、 TSF4460(GE-東芝聚矽氧烷公司製品)等。 氟系界面活化劑可例舉如具有氟碳鏈之界面活化劑。 具體言之,商品名為氟羅利納特F C 4 3 0、F C 4 3 1 (住友3 Μ 公司製品),美加法克 F142D、F171、F172、F173、F177、 F 1 83、R30(大曰本油墨化學工業公司製品),愛特普 EF301、EF303、EF35 1、EF3 52(新秋田化成公司製品),沙 氣隆 S381、S382、SC101、SC105(旭玻璃公司製品),E5844 (大京精密化學研究所製品),BM-1000 ' BM-1100(均為商 品名:B.M.化學公司製品)等。 含有氟原子之聚矽氧烷系界面活化劑可例舉如具有矽 氧烷鍵和氟碳鏈之界面活化劑。具體言之,例如美加法克 K〇8 ' BL20、F475、F4 77、F443(大曰本油墨化學工業公 司製品)等。 上述界面活化劑可單獨使用或2種以上混合使用。 本發明中含有上述界面活化劑時,其含量以不包括界 面活化劑之著色光敏樹脂組成物丨〇〇質量份計,通常使用 〇·0005質量份以上0.6質量份以下,其中以0.001質量份 以上〇.5質量份以下更佳。該界面活化劑含量在〇 〇〇〇5質 量份以上0_6質量份以下範圍時,平坦性有較佳傾向而甚 優。 314903 24 1313396 填充劑可例舉如玻璃、氧化產呂等微粒狀物。 >黏接劑聚合物以外之高分子化合物可例舉如 醇聚丙埽酸、聚乙二醇單燒趟、聚氟院基丙婦酸賴等 黏附促進劑可例舉如乙烯三甲氧基石夕院、乙稀三2 基矽烷、乙烯三(2-曱氧基乙氧基)矽烷、N_(2,基乳 3·胺基丙基甲基二甲氧基石夕院、叫_胺基乙基)_3_胺^ ~ 基三甲氧基矽烷、3_胺基丙基三乙氧基矽烷、3_環氧“ 基丙基三甲氧基錢、3•環氧丙氧基甲基二甲氧基石夕^ 2-(3,4-環氧環己基)乙基三甲氧基矽烷、弘氯丙基曱基:甲 氧基矽烷、3-氯丙基三甲氧基矽烷、3_甲基丙烯醯氧基丙 基三甲氧基矽烷、3_氫硫基丙基三甲氧基矽烷等。 抗氧化劑可例舉如4,4,-硫雙(6-第三丁基甲基酚卜 2,6-二第三丁基-4-甲基驗等。 紫外光吸收劑可例舉如2_(2_羥基_3_第三丁基曱苯 基)-5-氣笨并二°坐等苯并三。坐系;2-經基-4-辛氧基二苯曱 酮等二苯甲酮系;2,4-二第三丁基苯基_3,5_二第三丁基-4_ 羥基苯曱酸酯等苯甲酸酯系;2-(4,6-二苯基-1,3,5-三啡2 基)-5-己氧基酚等三哄系等。 防止凝聚劑可例舉如聚丙稀酸鈉等。 有機酸可例舉如曱酸、乙酸、丙酸、丁酸、戊酸、二 曱基乙酸、己酸、二乙基乙酸、庚酸、辛酸等脂肪族一一 酸類; 草酸、丙一酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸 '庚二酸、 辛二酸、壬二酸、癸二酸、十三烷二酸、甲基丙二酸 '乙 314903 25 1313396 基丙二酸、二甲基丙二酸、曱基琥珀酸、四曱基琥珀酸、 環己烷二酸、依康酸、檸康酸、羥基丁二酸、富馬酸、中 康酸等脂肪族二元酸; 均丙三曱酸、丙烯-1,2,3-三羧酸、樟腦三酸等脂肪族 三元酸類; 苯甲酸、曱苯酸、枯茗酸、2,3-二甲基苯基酸、二甲 基苯曱酸等芳香族一元酸類; 苯二甲酸、異苯二曱酸、對苯二曱酸等芳香族二元酸 類; 偏笨三酸、均苯三酸、偏苯四酸、均苯四酸等芳香族 多元酸類等。 有機胺化物可例舉如正丙胺、異丙胺、正丁胺、異丁 胺、第二丁胺、第三丁胺、正戊胺、正己胺、正庚胺、正 辛胺、正壬胺、正癸胺、正十一烷胺、正十二烷胺等單烷 胺類; 環己胺、2-曱基環己胺、3-曱基環己胺、4-曱基環己 胺等單環烷胺類; 曱基乙胺、二乙胺、曱基正丙胺、乙基正丙胺、二正 丙胺、二異丙胺、二正丁胺、二異丁胺、二第二丁胺、二 第三丁胺、二正戊胺、二正己胺等二烷胺類; 曱基環己胺、乙基環己胺等單烷基單環烷胺類; 二環己胺等之二環烷胺類; 二曱基乙胺、甲基二乙胺、三乙胺、二曱基正丙胺、 二乙基正丙胺、曱基二正丙胺、乙基二正丙胺、三正丙胺、 26 314903 1313396 第 N —_ - 7 甲基%己胺、二乙基環己胺等之二烷基單環烷胺 二異丙胺、二正丁胺、三異丁胺、彡第二丁胺 胺、三正戊胺、三正己胺等三烷胺類; 類; 曱基二環己胺、 乙基二%己胺、三環己胺等單烷基 環烷胺類; 2- 胺基乙醇、3-胺其> 土 ·丙醇、1-胺基·2_丙醇、4 -胺 -1-丁醇、5 -胺基-1-戌酿 Α 、 _胺基_1_己醇等單烷醇胺類; 4’基-1-%己醇等單環烷醇胺類; 二乙醇胺、二正丙醇胺、二里 -显丁醢眩、- ΤΛ- ”丙^私、二正丁醇胺 一異丁醇胺一正戊醇胺、_ -正己醇胺等二烷醇胺類· 二(4-環己醇)胺等二環 机醉妝硕, 辰烷_胺類; 三乙醇胺、三正丙醇胺、二 ^ 三異丁醇胺、三正戊醇胺、’、丙醇胺、三正丁醇胺 三(4-環己醇)胺等三環一已醇胺等三烷醇胺類; 衣沉醇胺類; 3- 胺基-1,2-丙二醇、2_胺基 丁二醇、4-胺基-:ι,3_ 丁二醇、夂_,夂丙二醇、4 —胺基-1,: 二乙胺基-1,2-丙二醇、2_ _ 曱月女基-1,2-丙二醇、3 ^ 一甲胺基_ 基-1,3-丙二醇等胺基烷二醇類; ,丙一醇、2-二乙夫 4- 胺基-1,2-環己二醇、扣 烷二醇類; 土'1,3·環己二醇等胺基ί 1-胺基環戊酮曱醇、4-胺美 烷酮甲醇類; 、_曱醇等含胺基之夫 1-胺基環己烷曱醇、4_胺 艰基龟已烷甲醇、4_二曱胺邊 314903 27 1313396 壤戍烧甲醇、4 -二乙胺基壤戍烧曱Sf·、4 -二甲胺基環己烧 曱醇、4-二乙胺基環己烷甲醇等含胺基之環烧曱醇類; /3-丙胺酸、2 -胺基丁酸、3 -胺基丁酸、心胺基丁酸、 2 -胺基異丁酸、3 -胺基異丁酸、2 -胺基戊酸、5_胺基戊酸、 6-胺基己酸、1-胺基環丙烷羧酸、丨_胺基環己烷缓酸、4_ 胺基環己烷羧酸等胺基羧酸類; 苯胺、鄰-曱基苯胺、間-甲基苯胺、對-曱基苯胺、對 -乙基苯胺、對-正丙基苯胺、對-異丙基苯胺' 對-正丁基苯 胺、對_第三丁基苯胺、1_萘胺、2_萘胺、N,N_二曱基笨胺、 N,N-二乙基苯胺、對-曱基_n,N-二甲基苯胺等芳香族胺 類; 鄰-胺基苯曱醇 '間-胺基苯曱醇、對_胺基苯甲醇、對 -一曱胺基苯曱醇、對-二乙基苯曱醇等之胺基苯甲醇類; 鄰-胺基酚、間-胺基酚、對-胺基酚、對_二甲胺基酚、 對-二乙胺基酚等胺基酚類; 間-胺基苯甲酸、對-胺基苯甲酸 '對_二甲胺基苯甲 酸' 對-二乙胺基苯曱酸等胺基苯曱酸類等。 硬化劑指例如經加熱能和黏接劑聚合物中之羧基反應 而:吏黏接劑聚合物交聯之化合物。又,亦包括能單獨聚: 使著色圖型硬化之化合物。上述化合物可例舉如環氧化合 物、氧雜環丁烷化合物等。 …環氧化合物可例舉如雙酚A系環氧樹脂、氫化雙酚A 二衣氧树月曰、雙酚F系%氧樹脂、氫化雙酚F系環氧樹脂、 漆用齡嶋氧樹脂、其他芳香族系環氧樹脂、脂環族系 314903 28 1313396 環氧樹脂、雜样工, 油基胺系樹腊二環:樹脂、縮水甘油醋系樹脂、縮水甘 衍生物乳化油等環氧樹脂或該環氧樹脂之漠化 ^ 4脂和其溴化衍生物以外之脂肪族、脂環族 或方香族環氧仆人榀 恢舳%務 異戊二烯之^ 。 、丁二烯之(共)聚合物之環氧化物、 匕、)聚合物之環氧化物縮水甘 酸酯之(共)¾入札— 曲基(甲基)丙烯 氧⑼物、三縮水甘油基三聚異氰酸酉旨等。 甲苯雙;:: =合物之例舉如碳酸_雙氧雜環丁烧、二 -雙氧雜環丁 Γ:二:酸醋雙氧雜環丁烧、對苯二甲酸 f丁烷%己烷二曱酸雙氧雜環丁烷等。 發明之著色光敏樹脂組成物含 環丁烷化合物等 5有銥氧化合物、氧雜 物專做為硬化劑時’亦可含有 之1-氧基、氧雜環丁烷化合物 乳化。物 3· y, Λ 年^雜J展丁烧骨架裂環命人 之化合物。該化合物例舉如多 广“合 劑等。 類、多兀馱酐類、產酸 上述多元酸類可例舉如笨_ 酸、显贫* * 本一甲酸、3,4-二甲基笨二甲 本二…對笨二甲酸、均笨四甲酸 1,4,5,8-萘四甲酸、3,3,44,__ —-久、 酸類; —本甲1同四甲酸等芳香族多元 萨琥站酸、戊二酸、己二酸、丁烧四曱酸 欠、虽馬酸、依康酸等脂肪族多元酸類; … 六氫苯二甲酸、3,4-二甲基四氣^二甲酸 二甲酸、六氫對苯二曱酸、i 2 4 P 1 飞本 p 戊烷三曱酸、丨2 4 :院三甲酸、環戊院四甲酸Ί,,二 族多元酸類等。 丫馱寺月曰% 314903 29 1313396 酐、卿-二笨甲酮四曱酸二軒等芳香二 酸 多元酸針可例舉如笨二甲酸酐、均 二W1 1,/1 /M _ — 甲酉欠酐、偏笨 酸Si 依康酸酐、琥轴酸酐、檸康酸酐、十 丙二曱酸酐、馬來酸酐 琥珀酸酐 元酸針類; ,,3,心丁四甲酸二軒等脂肪族 六氫笨二甲酸針、3,4_二甲基四氫苯 環戊烷三甲酸酐、1 2 4产3 甲酉夂酐、1 2 夂叶1,2,4,己烷三甲 ,’ 針、/,2,4,5-環己燒四甲酸二軒、海密克酸軒^四甲酸 —羧酸酐)、卡巴酸酐(順式 正萡烯-2, 丨V丨只八内橋接-5_正 酐)等脂環族多元酸酐類。 伯烯·2,3-二羧f 乙二醇雙偏苯三酸酐、甘 —_ 竣酸酐類等。 本二酸軒等含酯基』 缓酸酐類也可使用做 述環氧樹脂硬化劑可例舉如^ “曰硬化劑而市販者。』 -」(旭電化工業公司二商:名為「愛得嘉硬— 曰本理化公司製品),商。商叩名為「理化悉多HH」(新 司製品)等。 °扣名為「MH-700」(新日本理化公 上述硬化劑可單獨使 本發明之著…或2種以上混合使用。
金J 月之者色先敏樹脂組成物例如可按照下述方法調 亦即’預先將(A)著 等使著色劑之平均粒徑成為Y(E)溶劍溫合,利用球磨機 必要時可使用顏料分散劑·2—下程度並分散之。 另外,亦可將一部分戒全部之 314903 30 1313396 ()‘接劑聚合物調配其中。所得分散液(或稱球磨底料) 中添加殘餘之(B)黏接劑聚合物’(c)光聚合性化合物和 ()光♦合引發劑,(F)成分,必要時尚可添加其他成分, 或追加’合劑等,調製成預定濃度而得目的之著色光敏樹脂 組成物。 吏用本明之者色光敏樹脂組成物形成圖型之方法, 具體:言,係將本發明之著色光敏樹脂組成物塗布於基板 上,從所塗布之著色光敏樹脂組成物層去除溶劑等揮發性 成分Ή光罩對去除揮發性成分層曝光後,施與顯影而 達成。 基板可使用例如玻璃基板、矽基板、聚碳酸醋基板、 聚醋基板、芳香族聚醯胺基板、聚醯胺醯亞胺基板、聚酿 亞胺基板、鋁基板、鎵坤基板等表面平坦的基板。上述基 板尚可施予以矽烷偶合劑等藥品之藥品處理,電漿處理: 離子植入處理、濺鍍處理、氣相反應 堃义士 处王具空条鍍處理 寺所處理。使用矽基板時,該矽基 人冬 ^丞板之表面可形成電荷結 °構件(CCD)、薄膜電晶體(TFT)等。 於基板上塗布著色光敏樹脂組成物之方法,例如將本 發明之著色光敏樹脂組成物使用旋轉塗布法(旋 塑塗布法、輥塗布法、縫隙和旋塗法、縫隙塗:: 塗布方法’塗布在基板上,再加熱去除溶劑等揮發性I: =在基板上形成由著色光敏樹脂組成物之固形物所構^ 其次, 將著色光敏樹脂組成物 之固形物 所構成之層(下 314903 1313396 文中或稱為著色光敏樹脂組成物固形物層)加以曝光。曝光 時例如可經由光罩照光而達成。光之種類通常使用g線。皮 長436nm),i線(波長365nm)等紫外光等。光線經由光罩 而照射。該光罩乃玻璃板表面上設置可遮蔽光線之遮光層 者,玻璃板中未設置遮㈣部分為能透過光線之透光部 分’隨該透光部分之圖型而使著色光敏樹脂組成物層曝 光而產生光線未知、射之未照射領域和光線照射過之照射 項域,¼射領域中光線之照射量,係隨黏接劑聚合物之重 量平均分子量、單體比率、含有量、光聚合性化合物之種 類或含有量、光聚合引發劑之種類或含有量、光聚合引發 助劑之種類或含有量等而選擇適宜者。 曝光後顯影之。顯影之方法,例如可使曝光後之著色 光敏樹脂組成物和顯影劑接觸,具體言之,將於表面上形 成有著色光敏樹脂組成物層狀態的基板浸潰在顯影液中即 可。顯影液可例舉如碳酸納、碳酸鉀、氫氧化納、氫氧化 鉀、四甲基氫氧化録等鹼性化合物之水溶液等。藉顯影而 去除著色光敏樹脂組絲層中光線未照射之未照射領域, 而光線照射領域則殘留而構成圖型。 纊衫傻,一般經水洗、乾燥而得目的之圖型。乾燥招 也可加熱。圖型經加熱而硬化,有提升機械強度之趨勢, 使用含有硬化劑之著色光敏樹脂組成物時,更可提高機相 強度。加熱溫度通常在180t以上,其中以2〇〇。〇以上為 佳’而一般在2 5 0。〇以下。 可再形成含有 按上述方法形成著色圖型之基板上 314903 1313396 I:色之著色劑而能著色成為不同顏色之著色光敏樹脂 ,、且、为所構成之層,該層經曝光後顯影而形成著色圖型。 T照上述重覆使料同顏色所著色之著色光敏樹脂組成物 订上述操作依序形成著色圖型,而製成目的之彩色遽光 。亦即’彩色濾光片—般係於基板上配置以黑色矩陣以 及紅'綠和藍之三原色著色圖型而構成者,使用含有相當 於某種顏色之著色劑之本發明之著色光敏樹脂組成物按照 上述方法操作即可得該色之黑色矩陣或著色㈣,至於其 他顏色亦可使用含有相當所欲顏色著色劑之本發明之著色 光敏樹脂組成物進行同樣操作,即可在基板上配置黑色矩 陣和三原色之著色圖型。又’基板上一旦配置某顏色之著 色圖型或黑色㈣之後’處理其他顏色之著色光敏樹脂組 成物時,在配置有該某顏色之著色圖型或黑色矩陣之基板 塗布八他顏色之著色光敏樹脂組成物,乾燥後,通常 在未配置該顏色之著色圖型或黑色矩陣之位置上進行圖型 化曝光,在曝光位置上配置其他顏色之著色圖型或黑色矩 陣而達成。當然’上述方法可使用於黑色矩陣和三原色中 之任-種、兩種或三種及本發明之著色光敏樹脂組成物。 又’遮光層之黑色矩陣,例如可由路層等而形成,此時, 黑色矩陣之形成不-定要使用本發明之著色光敏樹脂組成 物。 按照上述所得之彩色濾光片含有圖型,因此,藉由安 敦上述彩色濾光片於液晶顯示裝置可得適佳之液晶顯示裝 置。 314903 1313396 本發明之實施形態說明如 明實施形態僅屬例舉之— & ’但是上述揭示之本發 述實施形態範圍。本發明範衝:本發明範圍不限定在上 申請專利範圍所記載相等音=於申請專利範圍,此外與 之。 忍義和該範圍内所有變更皆包括 本發明藉實施例詳細說明 如下’但是本發明不限定 該等實施例之範圍。 疋於 本實施例中所使用成分如 之。 下下文中或以其代碼表示 (Α-1)著色劑:C. L紅色顏料254 (A-2)著色劑:c. I·黃色顏料139 (B)黏接劑聚合物:f基丙烯酸和甲基丙烯酸苯甲醋之 =物(甲基丙烯酸單位和甲基丙稀酸笨甲醋單位之比為 質量比(莫耳比)25 : 75,酸值為83,聚苯乙烯換算重量平 均分子量為18,000)。 上述黏接劑聚合物之重量平均分子量乃使用下列條件 藉GPC法測定而得。 測定儀器:HLC-8120GPC(東曹公司製品) 分離管:TSK-GELG2000HXL 分離管溫度:4(TC 溶劑:四氫呋喃(THF) I笨乙歸標準品:聚苯乙稀(東曹公司製品,M w : 9 1 0 0) 速· 1.0 m 1 / m i η 注入量:50 μ 1 314903 1313396
檢測器:RI (C)光聚合性化合物:二季戊四醇六丙烯酸酯 (D-1)光聚合引發劑:2-曱基-2-嗎福啉基-1-(4-曱硫基 苯基)丙烷-1 -酮 (D-2)光聚合引發劑:2,4-雙(三氣曱基)-6-胡椒基-1,3,5-三哄 (G-1)光聚合引發助劑:2,4-二乙基噻噸酮 (E-1)溶劑:丙二醇單曱醚乙酸酯 (E-2)溶劑·· 3 -乙氧基丙酸乙酯 (F) 2 -丁基-2-乙基-1,3-/3 -經基乙氧基乙氧基-丙娱;(曰 本乳化劑公司製品) (G) 美加法克F475(商品名,大曰本油墨化學工業公司 製品) 實施例1 [著色光敏樹脂 組成物之製造] (A-1) 26. ,80 重 量 份 (A-2) 6. ,70 質 量 份 分散劑 10. .27 質 量 份 (B) 20.71 質 量 份 (C) 25. .3 1 質 量 份 (D-1) 2. .76 質 量 份 (D-2) 2, .76 質 量 份 (G-1) 2. .76 質 量 份 (E-1) 410. .00 質 量 份 35 314903 1313396 (E-2) 45.56 質量份 (F) 1.84質量份 (G) 0.08質量份 混合上述成分而得著色光敏樹脂組成物1 (固形物: 18%) ° [黏度之測定] 在液溫23 °C下,藉E型黏度計圓板,以5〇rpm速度測 定著色光敏樹脂組成物1之黏度,其結果為3.89cP。 [藉自旋塗布法而評估] 使用自鉍塗布器形成著色光敏樹脂組成物〗之塗膜, 其結果獲得平坦性良好而均勻之塗膜。 [藉不自旋塗布法而評估] 使用不自旋塗布11形成著色光敏樹脂組成物1之塗 膜,其結果獲得平坦性良好而均勻之塗膜。 實施例2 [著色光敏樹脂 組成物之製造] (A-1) 26.80 重 量 份 (A-2) 6.70 質 量 份 分散劑 10.27 質 量 份 (B) 20.05 質 量 份 (C) 24.5 1 質 量 份 (D-1) 2.67 質 量 份 (D-2) 2.67 質 量 份 (G-1) 2.67 質 量 份 314903 36 1313396 (E-l) 410.00 質量份 (H-2) 45.56 質量份 (F) 3.57 質量份 (〇) 0.08 質量份 將上述成分混合而得 著 色 光敏樹脂組成物 2(固 形物: 18%) 〇 [黏度之測定] 在液溫 23°C下,使用 E 型 點度計圓板,以 50rp m速度 測定著色光敏樹脂組成物 5 結 果為 3.87cP。 [藉自旋塗布法而評估] 使用自 旋塗布器,形 成 著 色光敏樹脂組成物2 之塗 膜,可得平 坦性良好而均 勻 之 塗膜。 [藉不自旋塗布法而評估;| 使用不 自旋塗布器, 形 成 著色光敏樹脂組 成物 2之塗 膜,可得平 坦性良好而均 勻 之 塗膜。 比較例1 [著色光敏樹脂組成物之製造J (A-1) 26.80 ± 量 份 (A-2) 6.70 質 量 份 分散劑 10.27 質 量 份 (B) 21.41 質 量 份 (C) 26.17 質 量 份 (D-1) 2.86 質 量 份 (D-2) 2.86 質 量 份 314903 37 1313396 (G-l) 2.86質量份 (E-l) 410.00 質量份 (E-2) 45.56 質量份 (G) 0.08質量份 將上述成分混合而得比較著色光敏樹脂組成物1 (固形 物:18%)。 [黏度之測定] 在液溫23°C下’使用E型黏度計圓板,以5〇rpm測定 比較著色光敏樹脂組成物1之黏度,結果為4.〇3cP。 [藉自旋塗布法而評估] 使用自旋塗布器形成比較著色光敏樹脂組成物丨之塗 膜,可得平坦性良好而均勻之塗膜。 [藉不自旋塗布法之評估] 使用不自旋塗布器形成比赵I A 土 μ & ^匕4丄、w / 較者色光敏樹脂組成物1之 塗膜’可得平坦性不良而不均勻之塗膜。 比較例2 [著色光敏樹脂 組成物之製 -造] (A-1) 26. 80 重 量 份 (A-2) 6. ,70 質 量 份 分散劑 10. ,27 質 量 份 (B) 21. .41 質 量 份 (C) 26.17 質 量 份 (D-1) 2 • 86 質 量 份 (D-2) 2 • 86 質 量 份 314903 38 1313396 (G-1) (E-1) (E-2) (G) 2.86質量份 510.00質量份 56.67質量份 0.08質量份 將上述成分混合而得比較著色光敏樹脂組成物2(固形 物:15%)。 [黏度之測定] 在液温23 C下’使用E型黏度計圓板,以5〇rpin速度 測定比較著色光敏樹脂組成物2之黏度,其結果為 3.44cP ° [藉自旋塗布法而評估] 使用自旋塗布器形成比較著色光敏樹脂組成物2之塗 膜,可得平坦性良好而均勻之塗膜。 [藉不自旋塗布法而評估] 使用不自旋塗布器形成 塗膜,雖然可得平坦性良好 樹脂組成物之用量增多,失 法之優點。 比較著色光敏樹脂組成物2之 而均勻之塗膜,但是著色光敏 去省液型塗布法之不自旋塗布 發明之著色光敏樹脂組成物,藉不自旋塗;f 井液型塗布法塗布時,可得塗布性良好而均勻之彩$ 成物之Γ⑺疋使用縫隙塗布器時,可減少著色光敏樹月1 性。使用量。又’使用自旋塗布器也能獲得良好之, 314903 39

Claims (1)

  1. ! /.V 止 口 4-: >、申請專利範圍 (更)正本 92120486號專利申請案 (98年1月23日) 一種著色光敏樹脂組成物,其特徵為含有(A)著色劑、 (B)黏接劑聚合物、(C)光聚合性化合物、(D)光聚合引發 劑、(E)溶劑以及(F)下列一般式(1)所示之化合物而構 成: CH2〇(CH2CH20)mH H3CH2C—C—CH2CH2CH2CH3 CH2〇(CH2CH20)nH (1) (式中’ m和η分別示正整數,但是,m+n為2以 上6以下),且一般式(1)所示之化合物之含量對著色 光敏樹脂組成物之固形物以質量比率計,為〇.丨質量% 以上5質量%以下。 2·如申請專利範圍第丨項之著色光敏樹脂組成物,其中, (F)—般式(1)所示之化合物係選自2_丁基_2_乙基_〖,3_ ’ /5 _羥基乙氧基乙氧基_丙烷和2_ 丁基_2_乙基_羥 基乙氧基-丙烷所成組群中至少一種者。 .種於基板上形成由著色光敏樹脂組成物所構成層之 方法,其特徵為使用申請專利範圍第丨項或第2項之著 色光敏樹脂組成物,藉不自旋塗布器而形成者。 4.:種,型之形成方法,其特徵為在基板上塗布申請專利 範圍第1項或第2項之著色光敏樹脂組成物,從所塗布 之著色光敏樹脂組成物層去除揮發性成分,經由光罩使 上述組成物層曝光後’顯影而形成。 314903修正本 40
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