1310552 玫、發明說明： 先前應用參考 本專利申請已於2〇〇2年6月28曰提出美國專利申請，專利 申請案號為10/185,868。 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於磁阻隨機存取記憶體（从叫⑽⑹⑷⑷…
Random ACcess Memory ; MRAM);更具體言之，係關於用 於MRAM之架構。 【先前技術】 在任何記憶體類型中，包括MRAM,始終存 體大小與提高性能的需要。性能之—重要方㈣絲^ 式（寫入）記憶體的速度。速度包括諸如位元單元的性能及穿 過陣列之線路的電容等,m改善該等特徵，已開發出 各種技術H ’記憶體陣列—般分為子陣列，使任何單
-線路之電容皆不會過大。此亦可降低功耗。已在MRAM 中開發出此類技術’即將單元組成單元之群組以減小位元 線之電容。—總體位元線僅選擇性耦合至所選擇的群組。 此在減少賴合至該總體位元線之記憶體單元的數目方面且 有有利效果。 然而，MRAM的前景係要成為高速非揮發性通用記憶體， 故改善速度及記憶體面積 、， 俏戒+的需要仍然存在。因此，需 要進一步改善MRAM之架構。 【發明内容】 一種記憶體架構不僅斟磚你& & 取與寫人操作使用分離的字元 86285 -10- 1310552 線，亦對讀取與寫入操作使用分離的位元線，且組成具有 共同本地項取位元線之位元群組。該等群組進一步併a， 使選擇性耦合至同一總體位元線之二群組共享相同的字元 線。該等特徵所提供的優勢包括：更小的寫入驅動器面積， 更小的記憶體核心之平均位元大小，允許讀取與寫入操作 重疊，總體位元線電容減小以及更高的電愿寫入。 【實施方式】 現在請參看圖1，其顯示依據本發明之一較佳具體實施例 的一 MRAM陣列3的簡化斷面圖。在此圖示中僅顯示一單一 磁阻§己憶體裝置10 ’但應明白MRAM P車列3係由若干MRAM 裝置10所組成，而我們僅顯示一個此種裝置係為了簡明地 描述該寫入方法。 MRAM裝置10包含一寫入字元線2〇及一寫入位元線3〇。 寫入i元線20及寫入位元線30包含導電材料，使得電流可 從中通過。在此圖示中，寫入字元線2 〇係位於mram裝置10 的頂邵，而寫入位元線30係位於MRAM裝置1〇的底部，且 其方向相對於字元線20成90。角（請參看圖2) ^作為替代，寫 入字元線20可位於MRAM裝置1〇的底部，而窝入位元線3〇 可位於MRAM裝置10的頂部。 MRAM裝置10包含穿隧連接，其包含一第一磁區15、一 穿隧阻障16以及一第二磁區π，其中穿隧阻障16係夾在第 磁區15與第二磁區17之間。在較佳具體實施例中，磁區15 包含一二層結構18，其具有位於二鐵磁性層45與55之間的 杬鐵磁性耦合間隔層65。抗鐵磁性耦合間隔層65具有厚 86285 -II - 1310552 度86，而鐵磁性層45及55分別具有厚度“及“。另外，磁 區17具有一三層結構19，其具有位於二鐵磁性層扑與兄之 間的一狁鐵磁性耦合間隔層66。抗鐵磁性耦合間隔層66具 有厚度87，而鐵磁性層46及56分別具有厚度“及“。 一般而言，抗鐵磁性耦合間隔層65及66至少包含元素 ，〇s Re、Cr、Rh、Cu其中一種，或包含其組合。另 外，鐵磁性層45、55、46及56至少包含元素犯、Fe、Mn、 C〇其中一種，或包含其組合。亦應明白，除三層結構以外， 磁區15及17可包含合成抗鐵磁性（^加^抓水 fm_gnetic ; SAF)層材料結構，在此具體實施财使用 二層結構僅為說明之目@。例如’―種此類合成抗鐵磁性 層材料結構可包含—五層堆疊結構，即—鐵磁性層/ 一抗鐵 磁性輕合間隔層/ 一鐵磁性層卜抗鐵磁性稱合間隔層/-鐵 磁性層結構。 鐵兹！生層45及55各分別具有—磁矩向量57及53，其通常 係藉由抗鐵磁性耦合間隔層65之耦合保持反平行。另、外， 磁f 15具有一合成磁矩向量4〇,且磁區17具有-合成磁矩 向量5〇。合成磁矩向量4G及5()沿—各向異性易磁化轴定位 於一万向’其與窝入字元線20及寫入位元線30成—角产， :佳為45。(請參看圖2)。另外，磁區15係一自由鐵磁性區：， 意即合成磁矩向量4G在—施加磁場存在的情況下 轉磁區17係一接針式鐵磁性區域，意即合成磁矩向量5〇 =度施加磁場存在的情況下不能自由旋轉，而係用作 爹亏層。 86285 •12- 1310552 雖然抗鐵磁性輕人爲+々一口 層之間，”明白：Γ 層結構18的二鐵磁性 合，… 白鐵磁性層可經由其它方式抗鐵磁性地韓 :/如靜磁場或其它形態。例如，t—單元的縱橫比減 合 卜。五或更小時’因靜磁通量閉合’故鐵磁性層反平行耦 其具體實施例中，MRAM裝置1G具有三層結構18, 與厂非圓形平面的長/寬比係在1至5的範圍内。然而， 二1所顯不的一平面係圓形(請參看圖2)。在較佳具體實施 :MRAM裝置1〇為圓形，以使形狀各向異性對切換場 :乍用減至最小’並且亦可更容易地使用微影㈣處理以 縮放裝置至更小橫向尺寸。然而，應明白mram裝置Μ可 具有其它形狀’諸如正方形、橢圓形、長方形或菱形等， 但為簡明之目的而在此顯示為圓形。 一另外，在製造MRAM陣列3期間，各相繼層（即3〇、55、65 等）係依順序沈積或以其他方式形成，且各廳趙裝置⑺可 以半導體產業所熟知的任何技術藉由選擇性沈積、微影姓 :處理、蝕刻等來界定。在至少沉積鐵磁性層45及55期間， 提供一磁％以為此對鐵磁性層設定一較佳易磁化軸（感生各 向異性）。該提供之磁場為磁矩向量53及57建立一較佳各向 異性軸。該較佳軸係選擇為位於寫入字元線20與寫入位元 線30之間的45。角處，現在論述如下。 現在請參看圖2，其顯示依據本發明之一 MRAM陣列3的 簡化平面圖。為簡化對MR AM裝置1 〇的說明，所有方向均 將參考如圖所示的一 χ-y坐標系統1〇〇以及一順時接針旋轉 86285 -13· 1310552 方向94與一逆時接針旋轉方向％。為進—步簡化說明，再 假設N等於二，使得MRAM裝置10在具有磁矩向量53與57以 &成磁矩向量40之區域15中包含一三層結構。另外，因 區域1 5的磁矩向量會切換，故圖中僅顯示該等磁矩向量。 寫入方法如何工作，假設磁矩向量53及57的一較佳各向
異性軸之方向相對於負χ及負y方向成45。角，且相對於正X 及正y方向成45。角。作為一範例，圖2顯示磁矩向量53之方 向相對於負X及負y方向成45。角。因磁矩向量57—般定位為 與磁矩向量53反平行，故其方向相對於正χ及正y方向成45。 角。此初始方位將用來顯示寫入方法之範例，現在論述如 下。 在較佳具體貫施例中，若一寫入字元電流60沿正χ方向流 動，則將其定義為正電流；若一寫入位元電流70沿正y方向 流動，則將其定義為正電流。寫入字元線Μ及窝入位元線 之目的係在MRAM裝置1〇内建立一磁場。一正寫入字元電 流60將感生一圓周窝入字元磁場Hw 8〇，而一正寫入位元電 /心70將感生一圓周寫入位元磁場Hb 9〇。因在此範例中寫入 字元線20位於MRAM裝置1〇之上方，故在元件平面内，對 於正寫入夺元電流60’ Hw 80將以正y方向施加於mr AM 裝置10上。同樣，因寫入位元線3〇位於Mram裝置1〇之下 方，故在兀件平面内，對於一正寫入位元電流7〇，Hb 9〇將 以正x方向施加於MRAM裝置1〇上。應明白，對正負電流的 疋義具有任意性，此處之定義係為說明之目的。反轉電流 將導致MRAM裝置1 〇内感生磁場之方向改變。熟悉技術人 86285 -14· 1310552 士應熱知電流感生磁場的特性，故在此不作進一步詳細描 述0 、在清參看圖3，其顯示—SAF三層結構的模擬切換特性。 邊挺擬由—早-域磁層組成，其具有接近相同的磁矩（一接 近平衡SAF;該磁矩具有内在各向異性)且抗鐵磁性地轉合 起來，並且其磁化動力學係藉由方程式描 述。X轴係以奧斯特（0⑽eds)表示的寫入字元線磁場量值， 而㈣則係以奥斯特表示的“位元線磁場量值。該等磁場 係以如圖4所示之一脈衝序列1〇〇施加，其中脈衝序列⑽包 。寫入子兀電流60及寫入位元電流7〇作為時間的函數。 圖3中顯示三操作區域。區域％中無切換。對於區域^中 MRAM操作’直接“料有效。當使用域以方法時， .，，、需判疋MRAM的初始狀態，因為該狀態僅在寫入之狀能 :所儲存之狀態不同時才切換。窝入狀態之選擇係藉由窝 /讀20及胃人位元線3G:者中的電流方向決定。例如， 右需窝入M」’則二線路中的電流方向均將為正。若 儲存於孩疋件中而又寫入—，則规裝置之最 二「感仍將為Γ1」。另外，若儲存-「。」而以正電流寫入 :」’：mRAM裝置之最終狀態將為、。當使用寫入 及窝入位元線二者中的負電流以寫入-「〇」時，可 -仵類似結果。因此’無論其初始狀態如何，任一狀 可以適當極性的電流脈衝程式為所期望的「 二 穿=區域95中之操作將始終定義為「直接；入模」式： 對於區域97中之MRAM操作，觸發窝人方法有效。當使 86285 -15· 1310552 用觸發寫入方法時，需要在寫入前判定肘尺八肘裝— 狀態，因為每次窝AMRam裝置時，無論該等電流之方向 如何，只要所選擇用於寫入字元線20及寫入位元線30之電 流脈衝的極性相同’則該狀態即會切換。例如，若初始儲 存一「1」，則在一正電流脈衝序列通過寫入字元線及寫入 位元線後，裝置的狀態將切換為「〇」。在儲存之「〇」狀態 上重複該正電流脈衝序列將使其回復為Γι」。因此，為能 將記憶體元件寫入為所期望的狀態，必須首先讀取MRAM 裝置Π)之初始狀態且將其與需寫入之狀態相比較。該讀取 與:匕較可能需要额外的邏輯電路，包括用於错存資訊之一 凌衝益及用於比幸立命橋辨y炉、 孕乂记U體狀態心一比較器。僅在該儲存之 狀態與需窝入之妝熊了 π卩去丄. 心不同時’才冩入MRAM裝置1〇。該方 法的優點—传並,^ ^ 用網Μ、 低，因為僅切換不㈣位元。使 用觸發窝入方法的 ^ φ,、去的額外優點係僅需單極電壓，故可使用 的N通道電晶體以驅動 97中之操作將始 裝£ 5穿本發明，區域 町知，，，；疋義為「觸發寫入模式」。 兩種寫入方法抖、，+ Ή μ + & 中的電流，使磁二 字元線2°及寫入位元線3° -定位。為^矩向直53及57可沿前述二較佳方向其中之 例以說明磁矩兩種切換模式，現在將给出具體範 矩向153、57及40的時間發展。 之參看圖5,其顯示使用脈衝序列_將、寫至「。 之觸發窝入槿斗 ^ 馬主0」 57沿圖2所亍、V在此圖示中，在時間〜時，磁矩向量53及 :2所R較佳方向定位。此 在時間 tl# 一 τ # 、 正寫入字兀電流60接通，其感生定正 86285 •16· 1310552 y万向的Hw 80。正Hw 80的作用係導致接近平衡的非對準 MRAM三層「翻轉」且定位為與該施加場方向成約9〇q。鐵 磁性層45與55之間的有限抗鐵磁性交換互動將使磁矩向量 53及57現在可向磁場方向偏轉一小角度，而合成磁矩向量4〇 將對向磁矩向量53與57之間的角度且將與hw 80對準。因 此’磁矩向量53係以順時接針方向94旋轉。因合成磁矩向 量4 0係磁矩向量5 3及5 7的向量和，故磁矩向量5 7亦以順時 接针方向94旋轉。 在時間時’正寫入位元電流7〇接通，其感生正Hb 。 因此，合成磁矩向量40係同時藉由Hw 80定向於正7方向且 藉由HB 90定向於正X方向，其作用係導致有效磁矩向量4〇 以順時接針方向94進一步旋轉，直至一般地定位於正χ與正 y万向之間的45。角。因此，磁矩向量53及57亦會以順時接 針方向94進一步旋轉。 在時間ts時，寫入字元電流6〇切斷，使得現在僅9〇導 引合成磁矩向量40，其現在將定位於正χ方向。磁矩向量53 及57二者現在均將一般地定向於越過其各向異性硬軸不秣 定點的角度。 （ 在時間％時，寫入位元電流70切斷’使磁場力不會作用於 合成磁矩向量40。因此，磁矩向量53及57將定位於其最近 處的較佳方向，以使各向異性能量減至最少。在本例中^ 磁矩向量53之較佳方向為相對於”及正χ方向成45。角。此 較佳方向亦與磁矩向量53在時間％時的初始方向成“Ο。，且 定義為「0」。因此，MRAM裝置1〇已切換為「〇」。應明白， 86285 -17- 1310552 亦可藉由利用寫入字元線20及寫入位元線30中之負電流使 磁矩向量53、57及40以逆時接針方向96旋轉，從而切換 MRAM裝置1 〇，但所顯示者不同於此係為說明之目的。 現在請參看圖6 ’其顯示使用脈衝序列1 〇〇將「〇」寫至「1 <觸發窝入模式。所顯示者係在前述各時間tQ、tl、t2、t及 ^的磁矩向量53與57以及合成磁矩向量4G，說明使用2相同3的 電流及磁場方向亦能將MRAM裝置10之狀態從「〇」切換為 1」。因此，MRAM裝置10之狀態係使用觸發寫入模式寫 入，其對應於圖3中的區域97。 ’ 、，於直接寫人模式，假設磁矩向量53之量值較磁矩向量η <里值為大，以使磁矩向量40指向與磁矩向量53相同的方 向二：在零場中具有較小的量值。該不平衡磁矩可提供雙 極能量’其趨向於將總磁矩與施加場對準， 平衡s綱對稱。因此十給定鳩性，切換僅能= 個方向上發生。 現在4參看圖7，其顯示使用脈衝序列100以直接寫入模 :將、寫至「。」之-範例。同樣，該記憶體初L; 為i」，磁矩向量53相對於h及負y方向定向於45。，且磁 =向！57相對於正父及正y方向定向於45。。利用正寫入字元 電^及正寫入位元電流70 ’依據上述脈衝序列，該寫入 以：m述觸發寫入模式類似的方式發生。請注意該等磁矩 Γ角二：Μ「翻轉」，但因磁矩不平衡及各向異性，故所 I/::傾斜。經過時間、，·ΑΜ裝置1〇已切換為「。」 心"成磁矩向量辦位於所期望㈣度，即與正乂及 86285 -18- 1310552 正y方向成45。角。當將「〇」寫至Γ1」時可獲得類似結果， 但需使用負窝入字元電流60及負寫入位元電流7〇。 現在請參看圖8，其顯示以直接寫人模式寫 4丄. 〜 ％例， 其中該新狀態與該已儲存之狀態相同。在㈣例中，「〇 已儲存於MRAM裝置1G中，而現在重複電流脈衝序列 儲存-「0」。石兹矩向量53及57嘗試在時間^「翻轉」，但= 該不平衡磁矩必須逆著該施加磁場工[故該旋轉減少。 因此，為旋轉出該反轉狀態，需克服一額外能量障礙^在 時間q時，主要磁矩53幾乎與正\軸對準，且距其初始各向 異性方向小於45。。在時間％時，磁場沿正χ軸定向。系統現 在相對於該施加場改變SAF磁矩對稱以降低其能量，而非順 時接針進一步旋轉。被動磁矩57越過X軸’且當主要磁矩53 回復至接近其原始方向時，系統隨之穩定下來。因此，在 時間t4時磁場移除，而MRAM裝置10中儲存之狀態仍將為 〇 J。此序列說明圖3中之區域95所顯示的直接寫入模式機 制。因此，在此規約中，窝入「〇」需寫入字元線6〇及寫入 位元、·泉70中均為正電流；相反，窝入「丨」則需寫入字元線 60及寫入位元線7〇中均為負電流。 右施加更大的場，則與翻轉及剪裁相關聯的能量減少最 終超過防止觸發事件的不平衡磁矩之雙極能量所建立的額 外把量障礙。此時將發生一觸發事件，且該切換係藉由區 域97說明。 右時間b與、相等或使其盡可能接近相等，則應用直接寫 入楔式之區域95可擴充’即觸發模式區域97可移動至更高 86285 -19- Ι31〇552 在本例巾1窝人字以流60接通時，磁場方向以 +於該位元各向異性軸成45。開始，然後#寫人位 70接通時，磁場方向移動至與該位元各向異性轴平行^ 範例與通常的磁場應用序列類似。然而，二此 :60與寫入位元電流-實質上同時切斷，使得磁場I: &進—步旋轉。因此，該施加場必須足夠大，使得 字：電流60及寫入位元電流7〇接通時，合成磁矩向二 已隨之越過其硬軸不穩定點。觸發寫入模式事件現在 不可能發生，因為磁場方向現在僅旋轉45。，而非先前物。又 具有實質上同時的下降時間咖之一優點係現在對於場上 升時間咖的順序沒有另外的限制。因此，磁場可以任何 順序開啟，亦可實質上同時開啟。 前述窝入方法具有高度選擇性，因為只有在時間^與時間 W間接通寫入字元電流6〇及窝入位元電流7〇時，職細裝 置才會切換狀態。圖9及圖職日月此特徵。圖9顯示當窝入 字元電流60未接通而寫人位元電流7Q接通時的脈 100。圖10顯示MRAM裝置1()之狀態的對應特性。在時間t 時，磁矩向量53與57以及合成磁矩向量4G係如圖2所示定。 位。在脈衝序列100中’窝入位元電流70在時間、時接通。 在此期間，HB 90將使合成磁矩向量4〇定向於正X方向。 因寫入字元電流60從未接通，故合成磁矩向量53及57從 未旋轉通過其各向異性硬軸不穩定點。因此，當寫入位元 電流70在時間t3切斷時，翁向⑽心自身^定位= 近處的較佳方向，在本例中其為時間t。時的初始方向。因此， 86285 20- 1310552 mram裝置1G之狀態未切換。應明白，若窝人字元電㈣ 在上述類似時間接通而寫人位元電流7G未接通，則將出現 同樣的結果。此特徵確保—陣列中僅會切換— MRAM裝置， 而其它裝置則保持其初始狀態。因此，無意切換可避免， 且位元錯誤率可降至最小。 圖11所示係一記憶體110，其包含一記憶體陣列112、一 寫入字元解碼器1U、一寫人字元線驅動器116、_讀取字 兀解碼器11 8、一讀取字元線驅動器12〇、一或一以上感測 放大器12 2、一讀取位元解碼器丨2 4、一寫入位元解碼器i 2 6、 一窝入位元驅動器128、一比較器13〇以及一輸出驅動器 1 32。該等元件係藉由多條線路耦合在一起。例如，讀取位 元解碼器124接收由多位址信號構成之一行位址。記憶體陣 列112為記憶體單元所組成之一陣列，該等單元可利用一觸 發操作切換。圖14中顯示記憶體陣列112之記憶體單元的一 區段’即記憶體陣列200，其為一 MRAM單元陣列，該陣列 係以對圖1之記憶體陣列3所描述的方法寫入，即寫入發生 於四45。角步驟中，直至達到丨80。。在此特定較佳單元陣列 中’對於寫入操作及讀取操作皆有分離的字元線及位元線。 讀取字元解碼器118接收一列位址，且耦合至讀取字元線 驅動器120 ’其又耦合至記憶體陣列112。對於一讀取，讀 取字元解碼器118根據該列位址在記憶體陣列112中選擇一 讀取字元線。讀取線驅動器120驅動該選擇之字元線。讀取 位元解碼器124(其接收該行位址且耦合於感測放大器122與 記憶體陣列112之間）根據該行位址從記憶體陣列112之讀取 86285 -21 - 1310552 位元解碼器124中選擇一讀取位元線’且將其耦合至感測放 大器122。感測放大器122偵測該邏輯狀態，且將其輕合至 輸出驅動器I32及比較器13〇。對於一讀取，輸出驅動器132 提供一資料輸出信號DO。對於一寫入操作’比較器i 3〇將 感測放大器122所提供之該選擇單元的邏輯狀態與該資料輸 入所提供的需窝入之—期望邏輯狀態相比。 寫入字元解碼器114接收該列位址，且耦合至寫入字元線 驅動器116 ’其又耦合至記憶體陣列112。對於—窝入，寫 入字元解碼器114根據該列位址在記憶體陣列112中選擇一 寫入字元線’且寫入字元線驅動器又驅動該選擇之寫入字 元線。寫入位元解碼器n6接收該行位址，且耦合至窝入位 元驅動器128，其又耦合至記憶體陣列112。寫入位元解碼 器126根據該行位址選擇一寫入位元線，且窝入位元驅動器 128又驅動該選擇之窝入位元線，從而觸發該選擇之單元的 狀態。 因記憶體陣列112係一觸發記憶體，故僅當該單元的邏輯 狀態需翻轉時才完成一寫入觸發操作，從而使該選擇之單 兀獲得所期望的結果邏輯狀態。因此，比較器130從感測放 大器122接收對該選擇之單元的一讀取操作之輸出，且判定 该選擇之單元是否已具有該期望邏輯狀態。若藉由該列及 订位址判定該選擇之單元確實具有該期望邏輯狀態，則該 寫入操作終止。若該選擇之單元的邏輯狀態不同於該期望 狀悲’則比較器向寫入位元驅動器128顯示該寫入需繼續， 且該選擇之寫入位元線的寫入位元驅動器驅動該選擇之寫 86285 -22· 1310552 入位元線。 圖12顯示圖1丨之記憶體11〇之一部分，其包含耦合至寫入 孚元線WL之寫入字元線驅動器丨丨6、耦合至寫入位元線bL 之寫入位元驅動器128以及耦合於寫入位元線BL與寫入字元 線WL之交又點處的單元134、136、138及14〇。為發生一寫 入，當無電流通過該選擇之窝入位元線時，提供電流至一 選擇之字元線WL且持續足夠長的時間，以導致沿該選擇之 寫入字元線的記憶體單元中發生該第一角度改變。當電流 仍然在該選擇之寫入字元線中通過時，使電流通過該選擇 t寫入位7G線，以導致該選擇之記憶體單元發生該第二角 度改變。此帛二角度改變僅發生在擴帶電流的寫入位元線 與寫入字元線之父又點處。當電流仍然在該寫入位元線中 通過時’纟電流終止通過該選擇之寫人字元線，以導致該 選擇之記憶體單元發生—第三角度改變。此第三改變僅發 生在該選擇之寫人位元線與該選擇之寫人字元線的交叉點 處。當使通過該選擇之寫人位S線的電流終止時，該選擇 之記憶體單元發生一第四角度改變。 現在參考圖13(時序_進一步解釋記憶體11〇之寫入操 作。碩取操作及寫入觸發操作均係藉由所示之列或行位址 勺改變致動如圖13所不之一讀取字元線WLA而啟動。雖 然在狀該邏輯狀態需翻轉之前該寫人不能執行，但該寫 入循環仍可在該感測放大器提供其輸出及該比較器判定該 邏輯狀態需翻轉之前如所指出者從致動之該寫人字元線開 致動（使m通過）該寫人字元線確實會導致該選擇之單 86285 -23- 1310552 元以及沿該選擇之寫入字元線的所有單元發生該第一角度 改變，但若終止該電流，而不致動該寫入位元線，則此改 變即反轉。 因此’該選擇之寫入字元線可在該比較器作出其判定之 m致動’因為藉由簡單地移除該電流，該第一角度改變即 反轉。此為必然’因為一選擇之寫入字元線上的所有單元 皆經歷該第一角度改變而僅選擇其中一個。然而，僅該選 擇之單元經歷該第二角度改變，且其發生於當該寫入位元 線致動時。此係顯示為發生在該比較器判定邏輯狀態需改 變之後。第一角度改變係顯示為從〇。至45。，而第二角度改 變係顯示為從45。至90。。第三角度改變係顯示為發生於當該 寫入字元線停用時（電流終止）。此係顯示為從9〇。至135。。 所示之最後角度改變係第四角度改變，其發生於該寫入位 元線停用時。此角度改變係顯示為從135。至18〇。。 此亦顯示該寫入之最後階段可持續至下—位址改變（其敌 動另一循環）之後。一循環之開始始終以—讀取開始，即使 該循環為一寫入循環。位址A改變為位址b，導致讀取字元 線B得到選擇。此並不干擾該先前選擇之單元的寫入。此描 畫一讀取字元線改變，但即使該位址僅為—行改變，使得 該選擇之讀取字元線並不改變’電流的繼續流動亦不會對 該寫入之完成產生有害影#。亦請注意，+必在循環開始 時即啟動寫入致動，因為無論如何所有循環皆以—讀取操 作開始。但為使該窝入位元線啟動起來，必須足夠早地啟 動該寫入致動信號。 86285 -24- 1310552 以上解釋係關於選擇一單一單元的情形，但此係為容易 理解之目的。實施中通常會選擇若干單元，如圖11所示之 元件之間的信號連接，其為多重信號線路。因此，例如， 若記憶體110為一 X16記憶體，比較器130實際上將作16次不 同比較，一次比較一選擇之單元。在該十六次比較中，只 有指示不匹配之比較才會導致對該等選擇之不匹配單元的 寫入操作。比較結果為匹配的該等選擇之單元不會翻轉。 圖14所示係記憶體陣列200之一部分以及複數個驅動器、 解碼器及感測區塊，其共同形成一記憶體核心20 1。記憶體 陣列200之該部分包含MRAM裝置202、204、206、208、210、 212 、 213 、 214 、 216 、 218 ' 220 、 222 、 224 、 226 、 227& 及228。該等MRAM裝置各自皆具有三電流路徑。該等三路 徑之一第一電流路徑與一第二電流路徑（其係顯示為相互垂 直）代表寫入路徑。該二路徑攜帶切換該單元之邏輯狀態的 信號，如圖12及13所示。該第三電流路徑（其係顯示為一 45。 角的電阻器）代表經由一磁阻穿隧連接之一讀取電流路徑， 該穿隧連接係程式為二可能電阻狀態其中之一。記憶體陣 列200進一步包含選擇電晶體230、232、234、236、238、240、 242、244、260、262、264、266、268、270、272 以及 274， 其分別與對應的 MRAM裝置 202、204、206、208、210、212、 213、214、216、218、220、222、224、226、227M 及 228 之第三電流路徑（其係讀取電流路徑）_連。該等選擇電晶體 的此連接係利用將該等電晶體之一電流電極耦合至該第三 電流路徑且將該第二電流電極耦合至接地（VSS)進行。一選 86285 -25- 1310552 擇電晶體裝置與一 MRAM裝置的每一組合構成一記憶體單 元。 記憶體核心201包含穿過該等MRAM裝置之第一電流路徑 的寫入字元線WWL0、WWL1、WWL2以及WWL3。WWL0 f 過 MRAM裝置 202、210、216 以及 224。WWL1 穿過 MRAM 装置 204、212、218 以及 226。WWL2 穿過 MRAM裝置 206、213、 220 以及 227。WWL3 穿過 MRAM裝置 208、214、222 以及 22 8。 記憶體陣列200進一步包含穿過該等MARM裝置之第二電流 路徑的寫入位元線WBL0、WBL1、WBL2以及WBL3。WBL0 穿過 MRAM裝置 202、204、206 以及 208。WBL1 穿過 MRAM 裝置 210、212、213 以及214。WBL2 穿過MRAM裝置 216、218、 220 以及 222。WBL3 穿過 MRAM裝置 224、226、227 以及 228。 記憶體陣列200進一步包含耦合至該等選擇電晶體之閘極的 讀取字元線RWL0、RWL1、RWL2以及RWL3。RWL0耦合 至選擇電晶體230、238、260以及268。RWL1耦合至選擇電 晶體23 2、240、262以及270。RWL2耦合至選擇電晶體234、 242、264以及272。RWL3耦合至選擇電晶體236、244、266 以及274。記憶體陣列200亦包含讀取總體位元線RGBL0及 RGBL1以及群組選擇線GS0、GS1、GS2及GS3。 記憶體陣列200進一步包含群组選擇電晶體250、252、 254、256、276、278、280以及282，其係用以將記憶體單 元之群組耦合至讀取總體位元線。記憶體陣列2〇〇亦包含本 地位元線 251、253、255、257、277、279、281 以及 283， 其各自耦合至該等MRAM裝置之第三電流路徑以用於其群 86285 -26- 1310552 組。即各群組皆對應該等本地位元線其中之一。 電晶體250與252之第一電流電極係耦合在一起且耦合至 讀取總體位元線RGBL0。電晶體254與256之第一電流電極 係耦合在一起且耦合至讀取總體位元線RGBL0。電晶體276 與278之第一電流電極係耦合在一起且耦合至讀取總體位元 線RGBL1。電晶體280與282之第一電流電極係耦合在一起 且耦合至讀取總體位元線RGBL1。電晶體250、252、254、 25 6、276、278、280以及282各自之第二電流電極分別係耦 合至本地位元線251、253、255、257、277、279、281以及 283 ° 本地位元線 251、253、255、257、277、279、281 以 及283分別係耦合至MRAM裝置202與204、206與208、210 與 212 ' 2 13 與 214、216與 218 ' 220與 222、224與 226 以及 227 與228之第三電流路徑。群組選擇線GS0係耦合至群組選擇 電晶體250與276。群组選擇線GS1係耦合至群組選擇電晶體 252與278。群組選擇線GS2係耦合至群組選擇電晶體254與 280。群組選擇線GS3係耦合至群組選擇電晶體256與282。 除記憶體陣列200之外，記憶體核心201還包含：寫入行 解碼器/驅動器283、284、285及286 ;寫入列解碼器/驅動器 287 ' 289、291及293 ;讀取歹丨J解碼器/驅動器288、290、292 及294 ;以及讀取行解碼器/感測放大器295及296。寫入行 解碼器/驅動器283、284、285及286分別係連接至寫入位元 線WBLO、WBL1、WBL2及WBL3。寫入歹ij解碼器八驅動器287、 2 89、291及293分別係耦合至寫入字元線WWL0、WWL1 ' WWL2及WWL3。讀取列解碼器/驅動器288、290、292及294 86285 -27- 1310552 分別係耦合至讀取字元線RWLO、RWL 1、RWL2及RWL3。 讀取行解碼器/感測放大器295及296分別係耦合至讀取總體 位元線RGBL 0及RGBL 1。 在操作中，一MRAM裝置（諸如MRAM裝置202等）係藉由 施加電流使其通過一選擇之寫入字元線（諸如WWLO等）以及 一選擇之寫入位元線（在此範例中為諸如WBL0等）以觸發該 記憶體之狀態來寫入。另外，若該記憶體單元係一直接窝 入單元而非一觸發單元，則該狀態亦可經由WWL0與WBL0 直接寫入。所有MRAM裝置皆係藉由使電流通過用於特定 MRAM裝置之窝入字元線及寫入位元線來選擇。一 MRAM 裝置（諸如MRAM裝置2〇2等）之狀態的讀取係藉由經由讀取 字元線RWL0施加一足夠電壓至其對應的選擇電晶體（諸如 電晶體230等）之閘極、經由群组選擇線GS0施加一足夠電壓 至該對應群組電晶體（諸如電晶體2 5 0等）之閘極以及經由I買 取總體位元線RGBL0藉由行解碼器/感測放大器296感測該 選擇之MRAM裝置（在此範例中為MRAM裝置202)之狀態來 完成。一群組係由將其第三電流路徑共同連接在一起的 MRAM裝置構成。故該等單元自身增加至該讀取總體位元 線的電容僅侷限於處於該群組中之單元。電晶體250與252 亦具有共同連接的電流電極，而閘極則係耦合至不同的選 擇線。此即具有將群組併合起來以具有一共同總體位元線 且藉由分離的總體選擇線實現群組之間的選擇之效果。故 在列方向上有額外線路，而在行方向上則較少。其優勢為 列方向上的線路之增加使各群組單元皆對應一線路。若群 86285 -28- 1310552 組為32(其係視為一較佳量），列 一 選擇線。對於未併合的情形，、二,早兀即有-额外總體 線，而非併合情形中的二行 〜植位兀 與併合情形相比，未併合情形之效果 θ此 寬度）即具有一额外讀 ‘、仃U為一早兀 女y ，.心植位兀線。因此，權衡結果顯蚨 有利於併合之位元線。可 ^ - 匕空間優點以增加線路的大 小，仗而減小其電阻，或降 凡晔低S己f思體核心的大小，或二者 之結合。 /一 另外’藉由將寫人線與讀取線分離，寫人線之—末端即 =接連接至-功率供應VDD，從而消除—第二電流開關 (右5貝取與寫人共旱同—線路，肖需要此開關）。因此，寫入 驅動器之總面積即更小，且記憶體核心之平均位元大小亦 另外藉由消除在讀取與寫入之間切換一線路的需 要窝入电壓即可為性能進行最佳化，而不會有損害讀取 :路的風險。另外，因該等選擇電晶體並不接受該等寫入 電壓’故該等選擇電晶體可製造得非常小，因為其不必接 又d等窝入等級電壓。此即會降低記憶體單元的大小。此 點具有非常重要的意義，因為對於不同的電壓要求，-般 會以不同方式製造電晶體。 圖15所示係由MRAM裝置202及電晶體230所組成之一記 憶體單元的—斷面。此顯示利用圖14之架構配置之一 MRAM 裝置的—般元件。在MRAM技術的典型應用中，MRAM裝 置係存在於具有擴充邏輯（諸如微處理器等）之電路上。在此 種情形中，會有多層金屬以容納邏輯設計，且MRAM裝置 86285 -29- 1310552 之倚存元件係於該等金屬層形成之後製造。此係因通常的 穿隨連接在不降級的情況下不能承受超過約攝氏4〇〇度的溫 度所致。 MRAM裝置202包含一穿隧連接3 00、互連3 06與互連3 04 以及寫入電流路徑314與3〇2。互連3〇4亦為本地位元線251。 電晶體230包含一源極324、一汲極322以及一閘極323。電 晶體230之汲極322經由一互連318、一互連308、一互連310 以及一互連312連接至MRAM裝置202，該等互連作為金屬 層形成’以用作邏輯。該等金屬互連層係藉由導通孔連接 在一起’如所熟知者。寫入電流路徑3丨4與互連3丨8係形成 於同一層中◎閘極323為週期性連接至互連320之讀取字元 線RWL0的邵分。使用互連32〇係為了減少rwl〇之電阻《此 為常見的捆紮技術（strapping technique)，以避免多晶矽的 相對較高電阻。 圖16所示係橫貫圖15所示之mraM裝置202及電晶體230 截取之斷面。此斷面經延伸，包含MRAM裝置21〇及電晶體 23 8。此即顯示讀取總體位元線rgbl〇與互連3 10係位於同 一互連層。請注意穿隧連接3〇〇&WWL〇偏離該斷面線，故 未出現於圖16中。出現於圖16中之MRAM裝置2丨〇的部分係 寫入位元線WBL1。類似於MRAM裝置202，MRAM裝置210 之第二電流路徑係藉由互連34〇、互連338、互連336、互連 334及互連330連接至電晶體232。互連33〇及3〇6分別提供至 MRAM裝置2 10與202之穿隧連接的直接連接。該等斷面顯 示，製造此架構無需要求特殊處理的不尋常結構。 86285 -30- 1310552 圖17所示係圖14中所示者之一替代例的一部分。在本例 中，各群組中之記憶體單元皆排列為—串列記憶體。該等 $數個鄰接位元單元群組各自皆串連連接至—參考。在此 ^形中，孩參考係接地。在此替代例中無本地位元線。其 中相同的特徵使用相同的裝置數字。 本又所選擇的具體實施例係為說明之目的，熟悉技術人 士將很容易想到該等具體實施 此類更改及變動㈣離本發明之精神，則其丄包 本發明4’内’且本發明之料僅可藉由對以下中請專 利範圍的合理解釋進行評估。 【圖式簡單說明】 以上對本發明之—較佳具體實施例的詳細說明連同下列 圖Γ使得本發明的前述及進—步更具體的目標以及優點對 於熟悉技術人士已顯而易見： 圖1為一磁阻隨機存取記憶體裝置的簡化斷面圖； 為’、有子兀線及位兀線之-磁阻隨機存取記憶體裝置 的間化平面圖； 磁㈣機存取記憶體裝置中產生直接或觸發 寫入杈式的磁場量值組合之一模擬的圖示； 圖4為顯示當字元電流及 的圖示； ^瓦均接通時二者之時序圖 圖5為顯示在觸發寫入模式下將「1」寫入至「〇」時一磁 阻隨機存取I己,丨咅I#樂·署沾讲θ ΰ裝置的磁矩向量之旋轉的圖示· 圖6為顯示在觸發窝入模式下將「〇」寫入至、「i」時-磁 86285 -31 . 1310552 阻隨機存取記憶體裝置的磁矩向量之旋轉的圖示. 圖7為顯示在直接窝入模式下將「〗」窝入至「〇」時一磁 阻隨機存取記憶體裝置的磁矩向量之旋轉的圖示. 圖8為顯示在直接窝入模式下將「〇」寫入已經為「〇」的 狀態時一磁阻隨機存取記憶體裝置的磁矩向量之旋轉的圖 示； 圖9為顯示僅位元電流接通時字元電流及位元電流之時序 圖的圖示； 圖10為顯tf僅位元電流接通時一磁阻隨機存 置的磁矩向量之旋轉的圖示； °思、體裴 圖11為依據本發明之一項具體實施 方塊圖； 觸發死憶體的 圖12為圖U之記憶體的—部分之更詳細圖示； 圖13為有助於理解圖u之記憶體的操作之一時序. 圖14為圖11之記憶體的一部分之電路圖，其顯二 之架構的一項具體實施例； …、本發明 圖15為實施圖14之架構所使用之—記憶體單 斷面； ’昂一 圖16為圖15之記憶體單元的一第二斷面；以及 圖17為顯示圖14之電路圖的一變體之電路圖。 【圖式代表符號說明】 1 讀取總體位元線 3 陣列 1 〇磁阻隨機存取記憶體裝置 86285 •32- 1310552 15 區域 16障蔽 17 磁區 1 8三層結構 1 9三層結構 2 0 字元線 40 向量 41厚度 42厚度 45鐵磁性層 4 6鐵磁性層 50磁矩向量 51厚度 52厚度 53 向量 5 5鐵磁性層 56鐵磁性層 5 7磁矩向量 60字元電流 65間隔層 66間隔層 70 電流 80圓周寫入字元磁場 86厚度 -33- 86285 1310552 87厚度 90圓周窝入位元磁場 92 區域 94 方向 95 區域 96 方向 97 區域 100脈衝序列 110記憶體 112記憶體陣列 114解碼器 11 6驅動器 11 8解碼器 120驅動器 1 2 2感測放大器 124解碼器 126解碼器 128驅動器 130比較器 132輸出驅動器 134單元 136單元 138單元 140單元 -34- 86285 1310552 200陣列 2 0 1 ΐ己憶骨豊核心 202磁阻隨機存取記憶體裝置 2 04磁阻隨機存取記憶體裝置 206磁阻隨機存取記憶體裝置 208磁阻隨機存取記憶體裝置 2 1 0磁阻隨機存取記憶體裝置 2 1 2磁阻隨機存取記憶體裝置 2 1 3磁阻隨機存取記憶體裝置 2 14磁阻隨機存取記憶體裝置 2 1 6磁阻隨機存取記憶體裝置 21 8磁阻隨機存取記憶體裝置 220磁阻隨機存取記憶體裝置 222磁阻隨機存取記憶體裝置 224磁阻隨機存取記憶體裝置 226磁阻隨機存取記憶體裝置 227磁阻隨機存取記憶體裝置 228磁阻隨機存取記憶體裝置 230電晶體 232電晶體 234電晶體 236電晶體 238電晶體 240電晶體 35- 86285 1310552 242電晶體 244電晶體 2 5 0電晶體 251線路 252電晶體 2 5 3線路 254電晶體 255線路 2 5 6電晶體 2 5 7線路 260電晶體 262電晶體 264電晶體 266電晶體 268電晶體 270電晶體 272電晶體 274電晶體 276電晶體 277線路 278電晶體 279線路 280電晶體 281線路 -36- 86285 1310552 2 82電晶體 283驅動器 284驅動器 285驅動器 2 8 6驅動器 287驅動器 288驅動器 289驅動器 290驅動器 291驅動器 292驅動器 293驅動器 294驅動器 295放大器 296放大器 300連接 3 02目前路徑 304互連 306互連 308互連 310互連 312互連 3 14路徑 318互連 -37 86285 1310552 320互連 3 22汲極 3 23閘極 3 24源極 330互連 334互連 336互連 338互連 340互連 38- 86285