TWI309141B - Power-supplying member and heating apparatus using the same (?@) - Google Patents
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Description
1309141 第95113756號說明書修正頁 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於利用在熱CVD裳置和電t 口 的半導體製造裝置方面較合適的供電元件及加熱襄置。、 【先前技術】 根據白知，具備埋設電阻發熱體或電極的 支持陶瓷基體的管狀的#牲-A 瓦卷體、 ^ 的支持凡件、被具備在支持元件的中 空部且供電至在陶f其#t 什的中 0 電阻發熱體或電極的供 U件的加熱裝置（以下記為 供 考專利文獻〇。在mu # )#'心知的（參 在白知的陶究加熱器中，藉由鎳或錄其入 成的供電元件的—端係與被埋設電：: 熱體^極接合’另-端係經由連接器等與電C [專利文獻1]日本特開平5_3261 1 2號公報 【發明内容】 然而’在習知的陶莞加熱器中，由於供 -件係藉由不同的材料被形成，且在供 ;支:: 所使用時的溫度不同的情形多，” 膨脹差變大。Λ,如上述般，供電元件的=件的熱 在陶竟基體的電阻發熱體或f極接合 =、破埋設 器等與電源接合。又，供電 另山而係經由連接 (chamber)内保持氣密 &係為使腔室 褚田υ形％破保持、固定。 因此，根據習知的陶玄4 & 的陶克加熱器的構成的話，由於供帝 7066-7718-PFl;Ahddub 5 1309141
修⑵正替換頁I 元件無法對應於溫度變化自 體或電極和供電元件的接藉由在電阻發熱 電元株77過度的應力發生，有供 的附近的陶咖，產生裂縫的可::二及在接合部 完加熱器存在信難方面的問題。 自知的陶 心決上述問題，其目—可 置。 的㈣性的供電元件及利用此元件的加熱裝 有關本發明的供電元件 的中空部被具備、供電在被埋m: f狀的支持元件 體的電阻發熱體或電極的至少：者：^件支持的陶竟基 一棒狀元件，與供電對象連的供電元件，包括：第 接；以及熱膨脹吸收元件一置：：‘狀元件’與電源連 狀元件之間，對應於伴隨著—棒狀元件和第二棒 的熱膨脹的縱長方向的變形，在縱件和第二棒狀元件 古M 4·, 巾在縱長方向收縮。 Λ、* P ^明的加熱裝置的特徵係包括.陶瓷美-力被供給的電阻發熱體或電極的至少：尤“，電 支持元件，支持陶堯基體；以及供電:被埋設；管狀的 中供電元件包括=阻發熱體或電極的至少-者；其 棒狀元件，與電源連接^凡件^供電對象連接；第二 一棒狀元件和第二棒狀1及熱膨脹°及收元件’設置在第 元件和第二棒狀元# 件之間，對應於伴隨著第一棒狀 方向收縮。^的熱膨服的縱長方向的變形，在縱長 7066-7718-PFl；Ahddub 1309141 構又=膨脹吸收元件藉由使棒狀元件以螺旋狀捲的 構n專板元件以螺旋狀捲緩的構造、或使 的 的橫方向延伸的山狀和谷狀的彎曲部交互地進入在縱=件 構邊而被形成的元件也可。根據此類的構成的話，： 及收兀件係可具備具有彈性的構造，可對於根： 的變形量。、 %’可吸收根據供電元件的熱膨騰 :，熱膨脹吸收元件係具備彎曲部也可。根據此 成的話，由於熱膨脹吸收元件沒有必要變更剖面形 :邊供電元件全體的強度，-邊具傷具有彈性的構 =屈曲容易的構造。因此，熱膨脹吸收構件係對於根 電:脹的變形，可更適當地收縮或屈曲，可吸收根據供 電7L件熱膨脹的變形量。 又’熱膨脹吸收元件和棒狀元件的楊格 。〇[叫以上。根據此類的構成，熱膨嚴吸收元件= :易收縮’對於根據熱膨脹的變形，更適當地收縮，可吸 收根據供電元件熱膨脹的變形量。 又’自山狀的彎曲部到鄰接的谷狀的f曲部為止的橫 向的長度a對於自山狀的彎曲部到鄰接的下— 曲部為止的縱長方向的長度p的比率a/p希望在〇 2以上 ^ 下。 根據本發明，因為雷i ”電X件猎由包括熱膨脹吸收元件 成為具有收縮性，使供雷 芘使供電70件連接供電對象之際，藉由 〃在供電元件加上熱，即使供電元件熱膨服時，熱膨服 7066-7718-pF；Ahddub 7 .1309141 吸收元件兹.山^ 70件的縱長 午错由收縮，吸收伴隨著熱膨脹的供電 方向的變形量，可提高信賴性。 【霄施方式】 下參考圖示說明本發明的實施例。又， 示記载中，+ 长从下的| 在相同或類似的部份方面，賦予相 符號。又，古ω 士 2S 问或類似丨
有關本孓明的實施例的供電元 D、軸方A AA w ^ 馬由直— D、面積S、長度L所構成的供電元件。 圖示係A楛斗& . ‘、、、、而 異。因此权式的’各尺寸的比率等應留意與現實間的; '因此’具體的尺寸等係應參酌以下的說明來判斷。又
的部：相互之間中，當然包含相互尺寸的關係或比率D =又’在有關本發明的實施例的供電元件利用的^ 的軸方向的剖面敎係並未特別記载的話，然而g 使為圓形，長方形、長圓也可。此情形使具有和長方形、 長圓㈣面積相同的面積的圓的直徑作為等價直徑D。 [第一實施例] [供電元件的構成] 首先，參考第1、2圖，說明有關本發明的第一實施例 的供電元件的構成。又，第i圖係表示供電元件的側面圖， 第圓係表不自第1圖的箭頭A方向所看的供電元件的侧 面圖。 有關本實施例的供電元件1〇〇係在管狀的支持元件的 中二部被具備，為供電至被埋設在支持元件支持的陶瓷基 體的抵抗發熱體或電極的至少一者的供電元件，如第丨、2 7066-7718-PF;Ahddub 8 1309141 圖所示般，包括：第一棒 第一 _ # _ 凡件101，與供電對象連接· 弟一棒狀7L件i 〇3，盥雷 祛， 102, ^ w ^ " 4接；以及熱膨脹吸收元件 …第-棒狀元件101和第二棒 件 對應於根據第一棒狀元件m 之間， 不弟一棒狀兀件1 〇 3 66為m 脹的縱長方向的變形’在縱長方向收縮。 一’ 供電元件⑽係耐熱性高’即使最大10[幻以上5 7的向電^流過也不會發熱般的電氣抵抗率小係為更 «二又供，件1GG係藉由^基耐熱合金被形成是所 ^ ，1基耐熱合金係利m純度99[%]以上的物 件為更佳地。 ％ 第-棒狀元件101和第二棒狀元件ι〇3的直徑μ”為 了使電氣抵抗率變小，大―點是較佳±也。然而，由於供電 兀件100係在管狀的支持元件的中空部和發熱體供電元件 等共同被具備’第-棒狀元件101和第二棒狀元件103的 直徑D101係在1 [mm]以上1〇[_]以下是較佳地。 熱膨脹吸收元件102的縱長方向的長度⑽係在3[_] 以上是較佳地。然而，長度L102過短的話，藉由反覆過大 的應力會施加在熱膨脹吸收元件1〇2，有熱膨脹吸收元件 102破裂的可能性，相反地，長度L1 02過長的話，因為裝 著連接益變困難，所以長度L102在3 [mm ]以上5 〇 [ mm]以下 是較佳地。 熱膨脹吸收元件102係希望為藉由使在薄板狀元件的 橫方向伸出的山狀和谷狀的彎曲部交互進入在縱長方向的 構造被形成的元件。又，山狀和谷狀的彎曲部的形狀係不 7066-7718-PFl；Ahddub 9 ,1309141 特別限定，例如，可作^ -jr/ 例如Ί作為—角形形狀和在第 弦彎一一。又，山狀和谷狀的彎正 U為了依存伴隨著長度UQ2和供電元件目 縱長方向的變形量，作為！ 、”脹的 荷別疋彎曲部的叙n 係在1〜1 〇個為較佳地。 n 自熱膨脹吸收元件102的山狀的彎曲部到下— 彎曲部的間距（pitch)pl〇2係使長度_除以管曲部= 目η而作為基準算出。對於作為自熱膨脹吸收元件1〇2的 山狀的彎曲部到谷狀彎曲部為止的距離的振幅&的間距、 :比例a / P係在0 · 2以上2以下。振幅a係為了吸收伴J 著供電元件100的熱膨脹的縱長方向的變形量，越大較 佳。然而’供電元件1〇〇的振幅a過大時，由於在薄板狀 元件’容易發生龜裂，且無法收納在供電元件1QM皮具傷 的支持元件的中空部，對於振幅a的間距p的比率在 〇. 2以上1· 5以下是較佳地。 熱膨脹吸收元件1 〇 2係儘可能地在低溫環境中被保持 為較佳。具體而言，藉由將連接電源、在低溫環境被保持 的第二棒狀元件103的縱長方向的長度L1〇3作為在 以上100[mm]以下，可將熱膨脹吸收元件1〇2在低溫環境 保持。又，長度L1 0 3係在3 [ mm ]以上5 0 [ mm ]以下是較佳地。 熱膨脹吸收元件102的寬度wi〇2係和第一棒狀元件 101以及第二棒狀元件103的直徑D101相同或其以下。熱 膨脹吸收元件102的厚度tl 02係在3[mni]以下。然而，寬 度wl02以及厚度tl02過小時，在縱長方向反覆收縮之際， 7066-7718_PF;Ahddufc> 10 • 1309141 熱膨脹吸收元件102有在短時間切斷的可能性。因此’办 度wl02係在ι[_]以上、直徑D1〇1以下較佳。又，厂 tl02在0· 2[mm]以上、2[随]以下較佳。 旱度 [供電元件的製造方法] 其次’說明有關上述供電元件的製造方法。 製造上述供電元件之際係首先，製造第一棒狀元件 m、熱膨脹吸收元件1〇2、和第二棒狀元件ι〇3成為—體 的棒狀凡件，將棒狀元件的一部份切削為薄板狀元件的方 式。其次，藉由在具有伸長在薄板狀元件的橫方向的 以及谷狀的彎曲部交互進入於在縱長方向的構造的模型加 壓薄板狀元件，形成熱膨脹吸收元件102,製造供電元件 1。。。又’將薄板狀元件在模型加壓’形成熱膨脹吸收：牛 1。2之後’藉由將熱膨脹吸收元件1〇2、第一棒狀元件卜 和第二棒狀元件103分別溶接或焊上，製造供電元件 也可。 由以上的說明了解，根據本實施例的供電元件⑽， 由於供電元件100传白知：@ 弟一棒狀元件101，與供電對 象連接，第一棒狀元件〗03，盥 /、€源連接，以及熱膨脹吸 70 ，叹置在第—棒狀元件101和第二棒狀元件1〇3 之間’對應於根據第—棒狀元件101和第二棒狀元件⑽ 的熱膨脹的縱長方向的變形，在縱長方向收 元件100具有收縮性。 便供電 雪藉此’使供電元件100與供電對象連接之際，藉由供 電，熱會施加在供電元杜彳η η 八 社仏罨兀件100,即使y起熱膨脹時，藉由 7〇66-77i8-PF;Ahddub 11 ,1309141 熱膨服吸收元件102收縮’可吸收根據熱膨脹的變形量。 因此’供電元件1〇〇係藉由具備可吸收根據熱膨脹的變形 量的構造，可提高裝置的信賴性。 又，熱膨脹吸收元件102係為藉由使在伸展在薄板狀 元件的橫方向的山狀以及谷狀的彎曲部交 又立進入在縱長方 向的構造被形成的元件’可具備具有彈性的構造。藉此， 熱膨脹吸收元件102係藉由對於熱膨脹適當地收縮，可吸 收根據供電元件1 0 〇的熱膨脹的變形量。 [第二實施例] [供電元件的構成] 其次，參考第4圖 供電元件的構成。又， 間的不同點。 ’說明有關本發明的第二實施例的 在以下主要說明和上述第一實施例 在本實施例中，熱膨脹吸收元件132係如帛4圖所示 般，具備自第一棒狀元件131以及第二棒狀元件133的縱 長方向的中心線的距離的彎曲量yl32係在〇1[随]以上分 離的彎曲部。熱膨脹吸收元件132的縱長方向的長度L132 系在3 [ mm ]以上留忍作為供電元件13 〇的程度的強度保 持這點的話，長度Ll32係在5[龍]以上，且比長度Li3〇 短1 0 [ mm ]的長度以下_ 下較佳。考曲量y 132係在0. 1 [ mm ]以上 20[mm]以下。然而，生7 , 為了確保供電元件1 3 0的強度，從支 持兀件内的收納空間這點上，彎曲量yi 32係在〇. 5 [_]以 上1 0 [mm]以下為較佳。 [供電元件的製造方法] 7066-7718-PF;Ahddub 12 1309141 其次，說明有關上述供電元件的製造方法。 製造上述供電元件 於〜 干《際係I先，製造第-棒狀元件 ί31、熱膨脹吸收元件〗？ …1 件132和第二棒狀元件133成為一體 的棒狀7L件。1蝰，並+必 ’、 籍由將棒狀元件加壓在具有自第一棒 狀元件131以及第-埴肋-从^ 乐禪 及第_棒狀兀件133的縱長方向 距離的彎曲量y132在^ ^ ^ 、 在〇.1[_]以上分離的彎曲部的模型 ，形成熱膨脹吸收元件132，製造供電元件13〇。 由以上的說明了解，根據本實施例的供電元件13〇’ 由於熱膨脹吸收元件j 32俜 自第—棒狀元件⑶以及 弟一棒狀兀件133的縱長方㈠从士 ' 11的中心線的距離的彎曲量 yl32係在〇. i[mm]以上分離的 弓萌。P ’沒有必要變更孰膨 脹吸收元件133的剖面形狀，可— 遣維持供電元件13 0 + 體的強度，具有彈性的構造， 4 -、傷谷易屈曲的構造。因 此，熱膨脹吸收元件i32係對阶 丁主丁歹、根據熱膨脹的變形， 適當地收縮或屈曲，吸收根據供電 拟旦坦士# 电70件13〇的熱膨脹的變 瓜里’可提南裝置的信賴性。 [第三實施例] [供電元件的構成] 其次，參考第5圖，說明有關 ^ € ^ , 1本發明的第三實施例的 供電兀件的構成。又，在以下主 要說明和上述第—眘 間的不同點。 述弟貫鼽例 在本實施例中，熱膨脹吸收元 ^ 卞丄以係藉由楊格率bl· 第-棒狀元件151和第二棒狀元件153的 ⑺ 以上的元件被形成。又，又關此類 人、、 a] 、件的組合的具體例係 7066-7718-PF；Ahddub 1309141 表示在後述的實施例。熱膨脹吸收元件15 2的縱县古a ' %乃向的 長度L152係在0. 1 [ mm ]以上5 0 [ mm ]以下。然而，為了確保 供電元件150的強度’長度L152在0.3[ηπη]以上3〇[ 以下更佳。 [供電元件的製造方法] 其次’說明有關上述供電元件的製造方法。
上述供電元件15 0係可藉由將熱膨脹吸收元件15 2、 第一棒狀元件151、和第二棒狀元件153分別熔接、焊上、 根據摩擦的壓接而製造❶又，藉由將熱膨脹吸收元件1 、 第一棒狀元件151、和第二棒狀元件153分別填隙、壓入、 燒結、栓上而連接，製造供電元件1 5〇也可。 由以上的說明可明瞭般，根據本實施例的供電元件 15〇,由於熱膨脹吸收元件152係藉由揚格率比第一棒狀元 件151和第二棒狀元件153的揚格率小5〇[Gpa]以上的元 件被形成’所以更容易收縮，對於熱膨脹更適當地收縮， 可吸收根據供電元们50的熱膨脹的變形量。因此，供電 元件1 5 0係更可提高裝置的信賴性。 [其他實施例以及變形例] 有關本發明的供電元件並不限定於上述實施例，可能 有各種的變形。例如’ ％第6圖所示般，熱膨脹吸收元件 112亦可為將棒狀元件以螺旋 爽狀捲起的構造。又，如第7 圖所示般，熱膨脹吸收元件19 ，， “亦可為將薄板元件以螺旋 狀捲起的構造。根據此類的構 j偁成，熱膨脹吸收元件係可具 備具有彈性的構造，對於根據 象…、膨脹的變形，更適當地收 7066-7718-pF;Ahddub 1309141
脹的變形量。因此，供電 縮，可吸收根據供電元件的熱膨 元件係可提高裝置的信賴性。 [供電元件的適用例] 上述實施例的供電元件係，例如’可適用在如第 所不般的加熱裝置。在第8 H 圖 乐8圖所不的加熱裝置50係包括. 支持元件i、陶瓷基體2、電 一 括， I .、、、肢3、尚周波電極4、 測溫探針W)5、第一端子6、第二端子？ 卻軸（sha⑴9、供u件 陶竞基體2係在内部埋設電阻發熱體3和高周波 電極4,具備在基板加熱面設置晶圓23的加熱面 體2係辱有插入供電元件16〇和高周波供電元件1?〇 = 孔。孔係自肖陶曼基體2的基板加熱面相反侧的接合面Η 延伸至第-端子6和第二端+ 7為止m端子6 和第二端子7的一部份係露出。 —陶莞基體2係可利用圓盤狀等的板狀的物件。又，陶 莞土 2係藉由陶究、金屬、陶竞和金屬的複合材料等構 成。例如’陶瓷基體2係藉由氮化鋁(AIN)、氧化▲呂⑴2〇3)、 ^切（slN)、碳切（SiG)、赛龍⑻麵）、㉟⑼、飽 合金、紹合金—氮化銘合成物（⑽Position)、紹合金一碳化 矽合成物等所構成。 陶究基體2係藉由氮化銘、氧化銘、碳化石夕、氮化石夕 :構成為較佳，藉由具# 95%以上的相對密度的氮化紹、 乳化銘所構成更佳。又，陶曼基冑2係藉由熱傳導率高、 具有95%以上的相對密度的氮化鋁構成係最佳。藉此，可 7066-7718-PFl;Ahddub 15 1309141
丨77千/” I 提供耐熱性、耐腐蝕性優良的陶究加熱器50。 電阻發熱體3和高周波電極4係在陶究基體2内部被 電阻發熱體3係自供電元件16。被供給電力、發熱。 I阻發熱體3係和第一端子且 ',、、 體3係藉由填隙、焊上、螺……5電阻發熱 丹？ /干上螺絲和第一端子6連接。又，兩 阻發熱體3係绵i笸一 @工。 电 ϋ由# &子6和供電元件16〇連 電力供給。 f又 :周波電極“系自高周波供電元件17。被 的電力1由在高周波電極4、被固定在腔室内的上側壁 面的上側南周波電極13被供給高周波的電力，高周波電極 4:和上側高周波電極之間的原料氣體或清潔(c丨咖叫) 孔體可以南電壓、高溫施加。藉此，原料氣體或清潔氣體 .係成為電漿(PlaSma)狀態。高周波電極4係和第二端子； 連，。具體而言’高周波電極4係藉由填隙、焊上、螺絲 第而子7連接。又，尚周波電極4係經由第二端子7 和高周波供電元件170連接，承受電力供給。 電阻發熱體3和高周波電極4係藉由由鈕 (tantalum)、鉬（M〇)、鎢（w)、鈮（Nb)、碳化鎢（讯◦、白金、 鍊（ι·—)、給構成的純金屬、或合金所構成。電阻發熱 體3和高周波電極4的型態係不限定，例如，將包含高熔 點材料的粉末的印刷膏（paste)印刷形成的物件可利用藉 由物理的蒸著法或化學的蒸著法形成的薄膜、線材、線圈9 (coil)材、篩孔（mesh)材、板材等。 電阻發熱體3和高周波電極4的樣式形狀係可利用渦 7066-7718-PFl;Ahddub 16 1309141 •卷形狀、篩孔形狀等。第一端子6 W— 供電元件160。第二端子7係連接電阻發熱體3和 供電元件170。第-端子6以及第二端^電極4 ^高周波 銘〇n〇blum)等構成。第_端子6 7係可藉由翻或 面被覆金或錄也可。第一端子6和第=子7係藉由使表 或圓柱狀的物件。 子7可利用球狀 供電元件160係被具備在管狀的支 部’供電給被埋設在支持元件 的中空 阻於埶俨q ^田A 又&的陶莞基體2的電 阻《熱肢3。南周波供電元件π〇係被 元件的中空部 s狀的支持 基趙2的高顧電極4在支持元件1被支持的" 供電兀件160和高周波供電元件 電元件接觸的方式，被呈 π不與鄰接的供 、被具備在中空的絕緣 在供電兀件160以及高周波供電 又， 間，萨由氟音 ’ 牛17〇和冷卻桿g之 室Μ内被保持為氣密狀態。成，〇㈣32係被設置，腔 供電元件m以及高周波 棒狀元件，與供電對象連接;第-棒:牛7係包括：第-以及熱膨脹吸收元件，設置在；棒狀7^牛，與電源連接； 件之間，對應於根據卜棒元件和第二棒狀元 脹的縱長方向的變形， σ弟-棒狀元件的熱修 供電元件m的第： 縮。 阻發熱體3連棒狀元件係經由第一端子6和電 任又’供電元件 由連接器8a與電# $ ^ 、弟一棒狀几件係經 原連接。馬周波供電元件Η0的第-棒狀 7066-7718-PFl；Ahddub ^ 1沙中月3 mm正替接 元件係經由第二端子 供電元件1 7 0的第二周波電極4連接，又，高周波 源連接。 ~狀元件係經由連接器卟與高周波電 支“件1係包括管狀 電元件160以及古s ' 在該中空部收容供 合在和嶋體二二供電元件170。支持元件Η系被接 ?暴板加熱面相反伽的姑人 元件1的材質係為對於…彳反側的接合面14。支持 莞或金屬。又，支；>'4钱性氣體，具有耐鞋性的陶 材質相同種類較佳：兀件1的材質係作為和陶瓷基體2的 支持元件1的材晳 鋁合金為較佳，有為不銹等的鎳基合金或 (Inconel)更佳。為耐熱鎳合金的錄路鐵耐熱合金 合、谭接合、螺^ 由㈣接合等的直接接 合。此類的接等的機械的接合，和陶究基體2接 情形，可使在支^利用固相接合、固液接合、焊接合的 素系腐钱氣體保護Γ件1的中空部被具傷的金屬元件由鹵 在此接合中，m 利用螺絲固定時，藉由在 下部至少具備一佃A 你又狩70仵1的 級氣體保護。又二：導二孔12，可使金屬元件Μ素系 固液、祕)。自=係Γ要其他氣密接合(固相、 空部的μ 2充填至支持元件1的中 ,*4虫乳體由於係自支持元件1的下部進入， :度充分地變低，由於變成活性小的中性分子，在全屬元 件不易產生腐蝕。 牡益屬兀 加熱裝置5 0係朴& + β 作為電極，可具備靜電夹頭用電極等。 7066-7718-PFl;Ahddub 18 •1309141 靜電夾頭用電極係藉由電力佴 电刀仏給使静電引力產生，被利用 為吸著基板用。本發明的加埶 、， 熱展置的用途亚不特別限定 例如，可適用在化學的氣相成^ ^ τ J風相成長裝置、物理的氣相成長裝 置、蝕刻（etching)襞詈、w.、 g;衣置、烘烤（baklng)裝置、塗佈機 (coater)用的硬化（curin )裝 w衣置又陶瓷基體的安裴用 供給元件係在高溫環境下被伴 饭保符，供電兀件的兩端被固定 時’除了供電元件之外呈借陁这I麻 r 備陶免基體的支持元件的加埶 置也可。 ，，、、衣 [貫施例] 其次，將本發明藉由實施例更詳細地說明，本發明係 在下述的實施例中沒有任何的限定。χ，在此實施例中， :先’藉由以下所示的順序製作如第δ圖所示的加熱裝 置。亦即，首先，製作在由氮化铭構成的粉末中作為電阻 發熱體埋設鉬（molybdenum)線圈的陶瓷基體。又，陶瓷基 體係以厚度10[mm]、直徑φ32ϋ[_]形成。其次，使固定 晶圓的晶圓固定用鎖藉由氧化銘製作。其二欠，製造由錄絡 :耐熱合金構成的支持元件，和陶瓷基體藉由螺絲固定接 合接合。又，支持元件的長度係以200 [mra]形成。其次， 、缸元件的中空部，為了確保絕緣，以氧化鋁管被覆蓋 、電元件被5又置二個，作為測定電阻發熱體的溫度的探 針的熱電偶探針被設置—個。又，利用製作的加熱裝置， 進盯楯環試驗。具體而言，使腔室内氮素氣體的壓力設定 為10[mT〇rr]，電阻發熱體的溫度設定為5〇〇[γ]，以 刀J的速度上升溫度。其次，在電阻發熱體的溫度到達 7066-77l8_PF1;Ahddub 19 1309141 L______ . 500⑺時’以m〇C/分]迷产下隊 … 複此循環⑽◦次，觀/度下降溫度到2〇0[°c]為止。重 規祭加熱裝置。 [實施例1 ] 在貫施例1中，如筮 的第—以及第二槔壯〜/)圖所示般，使構成供電元件 '元件藉由揚格率 2 〇 5「GPa Ί # Μ · 成。又，第-棒狀元件 ^ 2〇5[叫的Nl形 度係分別作為2GG以及—狀兀件的縱長方向的長 又，構成供m 剖面形狀都作為05[職]。 % '熱膨服吸收元件也藉由Ni形成。又， 熱膨脹吸收元件的間距 值係分別伟Α ς 振巾田a、以及振幅a/間距ρ的 又，埶r '、’、、2、°·4。縱長方向的長度係作為3。[_]。 方形形狀。有關ΓΓ形狀係作為5 x0.3[麗]的長 、、㈣電…觀察循環試驗後有無端 的、、，。果’無端子脫落的情形係被確認。 [實施例2] 的^實㈣2中’如第9⑻圖所示般，將構成供電元件 、。以弟二棒狀元件藉由揚格率2〇5[GPa]的Μ形 、，帛#狀兀件以及第2棒狀元件的縱長方向的長 度:刀別作為2GG以及m_]，剖面形狀都作為^[咖]。 另一方面’熱膨脹吸收元件係藉由揚格率110[GP_ Cu 被形成，將熱膨脹吸收元件藉由揚格率比第-以及第二棒 狀凡件的揚格率小95咖]的元件形成。又，熱膨脹吸收 兀，的剖面形狀係作為φ 5[關]。有關此類的供電元件， 觀察循環試驗後的有無端子脫落的結果’無端子脫落的情 形係被確認。 7 0 66-7 718-PF1;Ahddub 20 .-1309141 [實施例3] 在實施例3中，如第9(c)圖所示般，將熱膨脹吸收元 T藉由揚格率69 [GPa]的A〗形成，將熱膨脹吸收元件藉由 楊丸率比第一以及第二棒狀元件的揚格率小1 3 6 [ GPa ]的元 件形成以外，藉由進行和實施例2相同的處理製作供電元 件。有關此類的供電元件，觀察循環試驗後的有無端子脫 落的結果’無端子脫落的情形係被確認。 [比較例1] 在比較例1中，如第1 〇 (a )圖所示般，將供電元件僅 藉由揚格率205 [Gpa]的Ni形成的棒狀元件被形成，沒有 設置熱膨脹吸收元件◊又，棒狀元件的縱長方向的長度係 作為240[_]，剖面形狀作為①^咖]。有關此類的供電元 件，觀察循環試驗後的有無端子脫落的結果，確認出兩個 供電端子脫落。 [比較例2 ] 在比較例2中，如第10(b)圖所示般’藉由將構成供 電元件的熱膨脹吸收元件以楊格率193[(^&]的形 成，將熱膨脹吸收元件藉由揚格率比第一以及第二棒狀_ 件的揚格率小12[GPa]的元件形成之外，進行和實施例2 相同的處理’製造比較例2的供電元件。#關此類的供電 元件，觀察循環試驗後有無端子脫落的結果，確認出供電 端子係一個脫落。 雖然本發明已以較佳實施例揭露如上， Ά再並非用以 限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神 7066-7718-PF;Ahddub .1309141
:乾圍内’當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之保 範圍當視後附之中請專利範圍所界定者為準。 ’、 【圖式簡單說明】 第1圖係為彳關本發明的第—實施例的供電元件的_ 方的侧面圖； 第2圖係為有關本發明的第一實施例的供電元件的另 —方的側面圖； 雄第3圖係為表示在第1圖所示的供電元件.的應用例的 構成的側面圖； 第4圖係為表示有關本發明的第二實施例的供電元件 的剖面圖； 第5圖係為表示有關本發明的第三實施例的供電元件 的剖面圖； —圖係為表示有關本發明的其他實施例的供電元件 的概略圖； 第圖係為表示有關本發明的其他實施例的供電元件 的概略圖； 第8圖係為表示有關本發明的實施例的加熱裝置的剖 面圖； —第9(a)圖至第9(c)圖係為表示評價有關第一至第三 實她例的供電兀件的循環試驗後的端子脫落的結果的圖 示；以及 第10(a)圖至第1〇(b)圖係為表示評價有關第一、第二 7066-7718~PF;Ahddub 22 .1309141 比較例的供電元件的循環試驗後的端子脫落的結果的圖 示。 【主要元件符號說明】 1〜支持元件； 2〜陶瓷基體； 3〜電阻發熱體； 4 ~南周波電極， 5〜測溫探針； 6〜第一端子； 7〜第二端子； 8a、8b〜連接器； 9 ~冷卻轴； 12~氣體導入孔； 14〜接合面； 13〜上側高周波電極； 22〜腔室； 2 3〜晶圓， 31〜絕緣套筒； 3 2〜0形環； 5 0〜加熱裝置； 1 7 0〜高周波供電元件； 101、 131、1 51〜第一棒狀元件； 103、133、153〜第二棒狀元件； 100、130、150、160~供電元件； 102、 112、122、132、152〜熱膨脹吸收元件。 7066-7718-PFl;Ahddub 23
Claims (1)
- * ^ 3 μ ^ ^ .. Ί 且鼠过替換胃· ，1309 i|y5n3756^申請專利範圍修正本 十、申請專利範圍： 1 ·種供電元件，被具備在管狀的 部，而供電埃右古 支‘兀件的中空 广％ 在支持兀件支持的陶t基 二 發熱體或電極的至少一者， 土肢内被埋設的電阻 其特徵在於包括： 第棒狀兀件，與供電對象連接； 乐一棒狀元件，與電源連接；以及 熱膨服吸收元件，設置在上述第—棒 二棒狀元件之間，對應於伴隨著第—棒狀元第 元件的熱膨脹的縱异古 牛和罘一棒狀 2如…向的變形’在縱長方向收縮。 .申％專利範圍第1項所述之# _ 熱勝脹吸收元件俜# 之供电凡件，其中上述 兀仵係為猎由將棒狀元件以 造、將薄板元件以蜱斿灿疋I捲％的構 幵以肩％狀捲繞的構造、 橫方向延伸的山肤$ 儿 飞便在缚板70件的 甲的山狀和各狀的彎曲部交 的構造而被形成的元件。 、入在縱長方向 3.如申請專利範圍f i項所述之供 熱膨脹吸收元件係具備-f曲部。 "、中上述 4_ -種供電元件，被具備在管狀的支持 部，而供電給在支持 、牛0中二 發熱體或電極的至少—者， 内被埋权的電阻 其特徵在於包括： f一棒狀元件，與供電對象連接； 第二棒狀元件’與電源連接；以及 熱膨脹吸收元件，設 k乐棒狀兀件和上述第 7066-7718-PFi;Ahddub 24 1309141.吟七m更)正替換] 二棒狀元件夕Ρ弓 _ 元养㈣Γ 伴隨著第一棒狀元件和第二棒狀 令…、％脹的縱長方向的 . 、， 丨J町又形，在縱長方向收縮； 上辻熱知脹吸收元件係藉由揚格率比上述第一和第- 棒狀元件小ς π Γ广D Ί 乐— J 50[GPa]以上的元件被形成。 5.如申請專利範園第4項所述之供電元件， 熱衫脹吸收元#栘 # 八 上述 造、將薄板-:棒狀元件以螺旋狀捲繞的構 樺方 兀以螺旋狀捲繞的構造、或使在薄板元件的 W山狀和谷狀的弯曲部交互地進入在縱… 的構造而被形成的元件。 纟縱長方向 6 ·如申請專利圊笸9 s " 弟2或5項所述之供電元件，盆 ;=曲部到鄰接的谷狀的彎曲部為止的橫方向的長： 對於自山狀的f曲部到鄰接的下-山狀的彎曲部為止； 縱長方向的長“的比率a/p為。.2以上2以下曲:「為止的 7. —種加熱裝置，包括： 阻發熱體或電極的至少私力被供給的電 持上述陶瓷基體；以及供電元株、“ 持兀件，支 的中空部，電^、fj件’被具備在上述支持元件 其特徵在於： ]至夕一者； 上述供電元件包括： 第一棒狀元件，與供電對象連接； 第二棒狀元件，與電源連接；以及 熱膨脹吸收元件’設置在上述第一棒一 二棒狀元件之間，對廊於伴 α上述第 J恩万'件!^者弟一棒狀元件 元件的熱膨脹的縱長方向的變形，在縱長方向收^棒狀 25 7 066-77 l8-pp1;Ahcldub
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