JP5009064B2 - セラミックスヒーター - Google Patents
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Description
(実施例1)
載置部のセラミックスとして主原料に窒化アルミニウム、添加物として酸化イットリウムを加え、公知の製造方法で原料粉末を調整したものを用いた。発熱抵抗体はモリブデンとし、測温素子はB熱電対とした。これらの具体的な埋設方法は、原料粉末のプレス成形体に発熱抵抗体を設置して、その上に原料粉末を投入してプレスし、こうして得られた成形体に熱電対の素線を設置して、さらに原料粉末を投入してプレスすることにより、セラミックス粉末に、発熱抵抗体及び熱電対が埋設された成形体を得た。発熱抵抗体および測温素子の配置は各々図2(A)〜(C)、図3(A)のように配置し、原料粉末の投入量を調整して、発熱抵抗体と熱電対の素線間の距離は2mmとした。
測温素子としてW−Re熱電対の素線を図3(B)のように窒化アルミニウム焼結体内に埋め込んだ。熱電対の端部は測温素子端子として、熱電対組成と同じ組成のバルク体(φ8mm、厚み0.5mm)を熱電対と溶接後に窒化アルミニウムに埋め込んだ。焼成後、載置面と反対の面に熱電対取り出し用のため測温素子端子までの有底孔を加工して端子を露出させ、測温素子導線と接続した。接続方法はロー付けによりおこなった。実施例1と同様の設定温度として、加熱を試みたところ、同様の結果が得られた。
発熱抵抗体のみ窒化アルミニウム焼結体内に埋め込み、図3(C)のように測温素子用細穴を設け、その中にシース熱電対(φ2.2mmインコネルシース、K熱電対)を挿入した。インコネルシースはフランジに設けられたウルトラ・トール(スエジロック社製)で真空気密がとられシースの端部は真空チャンバーの大気側に位置する。実施例1と同様の設定温度として、加熱を試みたところ、同様の結果が得られた。
2;載置部
2a;載置面
3a,3b;発熱抵抗体
4;測温素子(熱電対)
4a,4b;熱電対接点
5;支持部
6;フランジ
7;給電線
8,8a;測温素子導線
9;コネクタ
10;フィードスルー
11;真空気密機構
12a,12b,12c;固定用ボルト
13;真空チャンバー
14;測温素子端子
15;発熱抵抗体端子
16a,16b;発熱抵抗体領域
17;シース熱電対
18;セラミックス内細穴
Claims (6)
- 複数の発熱抵抗体が埋設された窒化アルミニウムを主成分とするセラミックス焼結体からなり、かつ、ウエハが載せられる載置面を有する平板状の載置部と、
前記載置部において前記複数の発熱抵抗体のそれぞれが埋設されている複数の発熱抵抗体領域のそれぞれに接点が位置するように埋設されている複数の熱電対と、を備え、
前記複数の発熱抵抗体領域のうち少なくとも1つは、前記載置部の中央領域の周囲に配置され、前記複数の熱電対のそれぞれの接点は、前記載置部の中央領域において前記載置面の反対側から連続する一対の素線により形成され、かつ、前記載置部の厚み方向について前記複数の発熱抵抗体のそれぞれよりも前記載置面から遠くに配置されていることを特徴とするセラミックスヒーター。 - 請求項1記載のセラミックスヒーターにおいて、
中空部を有し、かつ、前記載置面の反対側において前記載置部の中央領域が前記中空部に露出するように前記載置部を支持する支持部と、
前記複数の発熱抵抗体のそれぞれに対して接続されている複数対の発熱抵抗体端子と、
前記複数の熱電対のそれぞれに対して接続されている複数対の測温素子端子と、
前記複数対の発熱抵抗端子及び前記複数対の測温素子端子のそれぞれに対して接続される複数の配線部材と、をさらに備え、
前記複数対の発熱抵抗端子、前記複数対の測温素子端子及び前記複数の配線部材は、前記支持部の中空部に集約されていることを特徴とするセラミックスヒーター。 - 請求項1又は2記載のセラミックスヒーターにおいて、前記熱電対の接点が、前記発熱抵抗体領域の中心に配置されていることを特徴とするセラミックスヒーター。
- 請求項1〜3のうちいずれか1つに記載のセラミックスヒーターにおいて、前記熱電対が、1つの発熱抵抗体領域について複数埋設され、当該発熱抵抗体領域の平均温度を測定できるように配線されていることを特徴とするセラミックスヒーター。
- 請求項1〜4のうちいずれか1つに記載のセラミックスヒーターにおいて、前記熱電対は、Pt−Rh合金からなり耐熱温度が1820℃以上であるJIS規定のB熱電対、R熱電対、Pt−Rh合金/Ptからなり耐熱温度が1760℃以上であるS熱電対及び耐熱温度が2400℃以上であるW−Re系熱電対、耐熱温度が2000℃以上であるIr−Rh系熱電対の中から選択されることを特徴とするセラミックスヒーター。
- 請求項1〜5のうちいずれか1つに記載のセラミックスヒーターの製造方法であって、
前記複数の発熱抵抗体および前記複数の熱電対が埋設された、窒化アルミニウムを主成分とするセラミックス成形体を作成し、前記成形体を焼結させることにより前記複数の発熱抵抗体および前記複数の熱電対のそれぞれと前記セラミックス成形体とを一体化させる工程を含むことを特徴とする方法。
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