TWI306785B - Method for forming layer - Google Patents

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1306785 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於利用噴墨製程之層形成方法 【先前技術】 圖案之技術（專利文 已知有利用液滴喷出裝置形成線狀 獻1)。

[專利文獻1]曰本特開2005-34837號公報 [發明所欲解決之問題] 噴墨製程包含利用液滴喷出裝置將稱為功能液之液狀材 料配置於物體表面之步驟。此液滴噴出裝置通常嘴出功能 液作為液滴之喷頭、及使該噴㈣成為對象之表面〕維地 相對移動之機構’可藉由此種構成而將功能液構成之液滴 配置於表面之任意位置。 利用此種喷墨製程’以功能液毫無間隙地覆蓋具有大於 1個液滴濕潤擴散之面積之面積之表面之情形，可在該表 面上以屬潤擴散之範圍互相重疊之方式配置複數液滴。 如此，可獲得毫無間隙地覆蓋該表面之圖案。但在該表面 對功能液具有撥液性之情形，互相接觸之液滴彼此藉表面 張力而相拉之力會強於表面與液滴相拉之力，故可使功能 液局地集中。發生此種集中現象時，表面無法均勻地被 力月b液所覆蓋’最不良的情形’表面之一部分會因欠缺功 能液而露出。 又’在液滴噴出裝置之噴頭設有複數噴嘴。由此等複數 喷嘴噴出之液滴之各飛行路徑有可能因製造誤差而在喷嘴 113759.doc 1306785 間產生誤差。在此，利用游 用液滴嘴出裝置設置實心狀圖案之 情形’在正交於掃描方向 之方向之飛行路徑之誤差有可能 對實心狀圖案之形成之纽造成影響。 本發明係鑑於此種問顆所& «间喊所研發而成，其目的之一係在於 提供可利用液滴噴出裝w:^士、 員®戒置形成良好之實心狀圖案之方法。 【發明内容】 依據本發明之層形成方法，使用對包含複數噴嘴之噴 頭，一面使表面向第1方向相對移動，-面自前述複數噴 嘴喷出液滴之液滴喷出裝置。而，上述層形成方法係包 含.第1步驟，其係在前述表面上之2個基準區域之各區域 乂刀別配置第1液滴’而對應於前述2個基準區域設置孤立之 2個圖案；第2步驟，其係固定前述2個圖案；幻步驟，其 係在刖述第2步驟之後’將前述表面親液化；及第4步驟， 其係在前述第3步驟之後，將第2液滴配置於前述2個基準 區域間而連結前述2個圖案。又，在某—態樣中，前述土第3 步驟也可包含將第3液滴分別配置於被固定之前述2個圖案 ，各圖案上之步驟。又’在另__態樣中，前述第3步驟也 可包含在前述表面照射紫外線之步驟，或使前述表面暾 於電漿之步驟。 + 依據上述特徵，第1液滴係被固定於表面。因此，縱使 表面對第1液滴具有撥液性，在第2液滴及第3液滴重疊於 第1液滴之際’第1液滴也不會移動。 在本發明之另一態樣中，上述層形成方法係進一步包含 第5步驟，其係在前述第4步驟之後，使所連結之前述圖案 H3759.doc 1306785 活化。 依據上述特徵，由藉液滴之配置所生之圖案最終所得之 層產生孔之可能性相當少。 又’在上述層形成方法中，前述第2液滴之每1滴之體積 與則述第3液滴之每丨滴之體積之至少1者，也可異於前述 第1液滴之每1滴之體積。 依據本發明之層形成方法，使用對包含複數喷嘴之喷 頭，一面使表面向第1方向相對移動，一面自前述複數喷 嘴喷出液滴之液滴噴出襞置。而，上述層形成方法係包 3 ·第1步驟’其係在前述表面上排列成決定於前述第1方 向與正交於前述第1方向之第2方向之陣列狀之複數基準區 域之各區域分別配置第丨液滴，而對應於前述複數基準區 域°又置7刀別孤立之複數圖案；第2步驟，其係固定前述複 數圖案，第3步驟，其係在前述第2步驟之後，在排列於前 述第2方向之複數前述基準區域之各區域間配置第2液滴， 等則述複數圖案連結於前述第2方向；第4步驟，其係在 :述第3步驟之後’在排列於前述第丄方向之複數前述基準 :域之各區域間配置第3液滴’而將前述複數圖案連結於 a V第1方向，及第5步驟，其係在前述第4步驟之後，將 第液滴配置於排列於前述第工方向與前述第2方向之合成 方向之前述複數基準區域之各區域間。 η、依據上述特徵，複數圖案之各圖案分別被固定於基準區 ^此結果’縱使表面對第1液滴具有撥液性，第2液滴及 第液滴重疊於第1㈣之際滴也0㈣。 113759.doc 1306785 J好，上述層形成方法係進一步包含第6步驟，其係在 H 2步驟與前述第3步驟間，將前述表面親液化。在 此’前述第6步驟也可包含將第5液滴分別配置於前述複數 =案之各圖案上之步驟4者，前述第⑲驟也可包含在 前述表面照射料紅㈣，或使前述表㈣露於電漿之 步驟。 依據上述特徵所仵之效果之—在於即使m商重疊於 已形成之複數圖案，第2液滴也不會被拉向複數圖案側。 人在本發明之又另—態樣中，上述層形成方法係進一步包 含：第7步驟’其係在前述第5步驟之後，使前述活 化。 依據上述特徵’由藉液滴之配置所生之圖案最終所得之 層產生孔之可能性相當少。 a在上述層形成方法中，前述第2液滴之每1滴之體 積則述第3液滴之每！滴之體積、前述第*液滴之每上滴之 體積及月’j述第5液滴之每！滴之體積之至少者，係異於前 述第1液滴之每1滴之體積。 【實施方式】 、下在說明本貫施型態之層形成方法之前，先就層形 成方法MU Μ㈣出裝置’說明其構成與功能。 (1·液滴噴出裝置之全體構成） 圖1所不之液滴噴出裝置100基本上係喷墨裝置。更具體 而口液滴喷出裝置1 00係具有保持功能液111之箱1 〇 1、 & 110接地口 Gs、噴出頭部103、台106、第1位置控制裝 113759.doc 1306785 置104 '第2位置控制裝置108、控制部112及支持部1〇4&。 噴出頭部103保持著噴頭114(圖2)。此喷頭114可依來自 控制部112之信號，喷出功能液111之液滴。又，喷出頭部 103之喷頭114係被管110連接於箱1〇ι，因此，可由箱1〇1 對噴頭114供應功能液111。 台106提供固定基板10A用之平面。另外，台ι〇6也具有 利用吸引力固定基板10 A之位置之功能。在此，如後所 述，基板10 A係由聚醢亞胺構成之可撓性基板，其形狀為 帶狀。又，基板10A之兩端固定於未圖示之一對捲軸。 第1位置控制裝置104係被支持部104a固定於距離接地台 GS特定高度之位置。此第！位置控制裝置1〇4係具有依照來 自控制部112之信號，使喷出頭部1〇3沿著χ軸方向、與正 父於X軸方向之Ζ軸方向移動之功能。另外，第i位置控制 裝置104也具有使喷出頭部103在平行於2軸方向之軸周圍 旋轉之功能。在此，在本實施型態中，2軸方向係平行於 垂直方向（也就是說，重力加速度之方向）之方向。 第2位置控制裝置！ 08係依照來自控制部丄12之信號，使 台106在接地台GS上向Y軸方向移動。在此，γ軸方向為正 交於X軸方向及ζ軸方向雙方之方向。 具有如上述之功能之第丨位置控制裝置104之構成與第2 位置控制裝置108之構成可使用利用線性 ;之習™人予以實現。因此，“，省 詳細之構成之說明。又’在本專利說明書巾，亦將第“立 置控制裝置104及第2位置控制裝置1〇8標記為「機器人 113759.doc 1306785 或「掃描部」 而如上所述，喷出頭部103係藉第1位置控制裳置104向X 軸方向移動。而，基板係與台⑽同時藉第2位置控制 裝置⑽向γ軸方向移動。此等之結果，可改變對基板i〇a 之噴頭U4之相對位置。更具體而言，藉由此等動作，喷 出頭部103、喷頭114或喷嘴118(圖2)可對基板ι〇Α，一面 在Z軸方向保持特定之距離，—面相對地向X軸方向及γ轴 方向移動’即相對地掃描。所謂「相對移動」4「相對掃 描係指喷出功能液U1之側與噴出之功能液⑴命中之 侧之至少一方對他方相對移動之意。 在此，在本實施型態中，γ軸方向為「掃描方向」J掃 描方向」為噴頭m及台⑽之至少—㈣他方相對移動之 方向，而被定義為異於後述「喷嘴列方向ND(圖2)」之方 向。又，依據此定義，因喷嘴列方向仙之方向與上述掃 描部之構成，X軸方向既.可成為「掃描方向」，χ軸方向及 υ軸方向之各方向亦可成為「掃描方向」。 控制部112係構成可由外部資訊處理裝置接受表示預備 喷出功能液⑴之液滴D(圖3)之相對位置之喷出資料。控 制部112係將所接受之喷出資料儲存於内部之記憶裝置， 並依照所儲存之噴出資料控制第i位置控制裝置1()4、第2 位置控制裝置⑽及喷頭114。在本實施型態中，噴出資料 具有位元映成表資料之資料型式。 具有上述構成之液滴噴出裝置1〇〇可依據喷出資料，使 喷頭U4之嘴嘴118(圖2)對基板_目對移動，並向基板 113759.doc 1306785 10A由喷嘴118噴出功能液lu。又，包含利用液滴喷出裝 置⑽之喷頭114之相對移動與由喷頭u4功能液⑴之喷出、 有時統一標記為「喷出掃描」。 (Β.噴頭） 圖2所示之噴頭114係噴出頭部⑻具有之複數喷頭114之 一。㈣由台106側觀察噴頭m之圖，表示喷頭114之底 面喷頭114具有向X轴方向延伸之嗔嘴列ιΐ6。喷嘴列U6 係由大致均等排列於χ軸方向之複數噴嘴US所構成。此等 複數嘴嘴m係以X轴方向之喷嘴間距耐㈣_方式被 配置。在此’「X轴方向之f嘴間距Ηχρ」相當於對喷頭 "4之所有喷嘴118 ’由正交於χ軸方向之方向投影在X軸 上所得之複數噴嘴間之間距。 在此，將噴嘴列116延伸之方向標記為「喷嘴列方向 ND」。本實施型態之喷嘴列方向ND平行於χ軸方向，故與 γ轴方向正交》但在其他實施型態中，噴嘴列方向也可 異於X軸方向及γ軸方向。又，喷嘴列116之噴嘴118數為 180個。但’ 1個噴頭114之喷嘴118數並不限定為180個。 例如’也可在1個喷頭114設置360個喷嘴。 如圖3(a)及（b)所示，各喷頭114係喷墨頭。更具體言 之各嘴頭114具有振動板126、與設有複數喷嘴之喷嘴板 128、集液部129、複數隔壁122、複數空腔120及複數振子 124 °集液部129係位於振動板126與喷嘴板128之間，在集 液部129中常被填充由箱101(圖1)經孔131所供應之功能液 111。 H3759.doc 12 1306785 又’複數隔壁122位於振動板126與喷嘴板128之間。 而’一對隔壁122、振動板126及喷嘴板128所圍成之部分 係空腔120。空腔12〇因對應於噴嘴118被設置，故空腔ι2〇 之數與喷嘴118之數相同。功能液111經由位於一對隔壁 122間之供應口丨3 〇而由集液部129被供應至空腔〗2〇。 振子124係以對應於各空腔120方式位於振動板ι26上。 如圖3(b)所示，振子124含有壓電元件124C及夾著壓電元 件1 24C之1對電極124 A、124B。將驅動電壓施加至此j對 電極124A、124B間時，可由對應之喷嘴丨丨8喷出功能液 111。又，可調整噴嘴118之形狀，以便由噴嘴118向z方向 喷出功能液11 1。 在本專利說明書中，包含丨個噴嘴〗丨8、對應於喷嘴n 8 之空腔丨2〇、及對應於空腔120之振子124之部份有時又標 a己為「喷出部127」。依據此標記法，i個喷頭114具有與噴 嘴118數同數之喷出部127。喷出部127也可具有電氣熱變 換元件以取代壓電元件。也就是說，喷出部】27也可具有 利用電氣熱變換元件之材料之熱膨脹而噴出功能液丨丨〗之 構成。 (C.控制部） 其次’一面參照圖4 ’ 一面說明控制部丨12之構成。控制 部112具有輸入緩衝記憶體2〇〇、記憶裝置汕〗、處理部 204、掃描驅動部206、喷頭驅動部2〇8。此等輸入緩衝記 憶體200、處理部204、記憶裝置2〇2、掃描驅動部2〇6及 噴頭驅動部208係被未圖示之匯流排可通訊地被相互連 113759.doc -13- 1306785 接。又、掃描驅動部206係與第1位置控制裝置104及第2位 置控制裝置108可通訊地被相互連接。同樣地，喷頭驅動 部208係與複數喷頭114分別可通訊地被相互連接。 輸入緩衝記憶體200係由位於液滴喷出裝置1〇〇之外部之 電腦（未圖示）接收喷出功能液111之液滴D用之噴出資料。 輸入緩衝記憶體200係將喷出資料供應至處理部2〇4，處理 部204將喷出資料儲存於記憶裝置202。在圖4中，記憶裝 置 202係 RAM。 處理部204係依據記憶裝置202内之噴出資料，將表示對 基板10A之喷嘴118之相對位置之資料供應至掃描驅動部 206。掃描驅動部206將對應於此資料與後述喷出週期Ep (圖5(b))之台驅動信號供應至第2位置控制裝置1〇8。此結 果，噴頭114可對基板l〇A相對掃描。另一方面，處理部 204係依據記憶於記憶裝置2〇2之喷出資料將選擇信號 SC(i)(圖5(b))供應至喷頭驅動部208。如此，可由噴頭114 之對應之噴嘴II8喷出功能液111之液滴D。 控制裝置112係包含CPU、ROM、RAM、外部介面部、 可將此等相互連接之匯流排之電腦◦因此，控制部i 12之 上述功能可藉CPU執行儲存於ROM或RAM之軟體程式加以 實現。當然’控制部112也可利用專用之電路（硬體）加以實 現。 其-人，一面參照圖5(a)及（b) ’ 一面說明控制部112之喷 頭驅動部208之構成及功能。 如圖5(a)所示，噴頭驅動部208具有1個驅動信號產生部 113759.doc -14- 1306785 203與複數類比開關as。如圖5(b)所矛，触* 所不，驅動信號產生部 203產生驅動信號DS。驅動信號Ds 电1立可對基準電位L 依時間發生變化。具體上，驅動信號Ds係包含以噴出週期 EP重複之複數之噴出波形P。在此，嘴出波形p為了由嘴嘴 118喷出丨個液滴D，對應於應被施加至對應之振子丨2奴圖 3)之驅動電壓之波形。

驅動信號DS係被供應至各類比開關As之輸入端子。在 此，各類比開關A S係對應於各噴出部！ 2 7被設置。 處理部204 (圖4)係將表示喷嘴118之通電•斷電之選擇 信號sc⑴施加至各類比開關AS。在此，選擇信⑴可 在各類比開關AS獨立地取得高位準及低位準中之某—方狀 態m類比開關AS係對應於驅動信號DS與選擇 信號sc(i)，將喷出信號ES⑴供應至振子124之電極i24A。 八體上在選擇h號SC(i)為高位準之情形，_比開關As 將驅動信號DS傳至電極124A作為喷出信號ES(i)。另一方 面在選擇號SC(i)為低位準之情形，類比開關AS輸出 之喷出信號ES⑴之電位成為基準電位匕。驅動信號DS被供 應至振子124之電極124A時，由對應於該振子124之喷嘴 U 8喷出功旎液丨丨！。又，在各振子i 24之電極12扣被供應 基準電位L。 在圖5(b)所示之例中，係以在2種喷出信號ES〇)、ES(2) 之各#號中以噴出週期£1)之2倍之週期2EP顯示喷出波形p 之方式，在2種選擇信號SC(1)、SC(2)之各信號中設定高 位準期間與低位準期間。藉此，可由對應之2個喷嘴11 8分 II3759.doc -15- 1306785 。在此，來自共通之驅動信號 DS被供應至對應於此等2個喷 可以大致相同時間，由2個嘴 別以週期2EP噴出功能液j j i 產生部203之共通之驅動信號 嘴118之各振子124。因此， 嘴118喷出功能液⑴。又，以在圖$⑻所示之噴出信號 ES(3)中不顯現任何驅動波形P之方式，使對應之選擇信號 S C (3)維持低位準。 藉以上之構成’液滴喷出裝置100可依照供應至控制部 112之喷出資料，將功能液lu組成之液滴D配置於基板 1 0 A表面。 (D_層形成方法） 兹具體地說明本實施型態之層形成方法。依據以下說明 之層形成方法，可在基板1〇A表面（圖6)配置液滴〇而設置 實心狀圖案7 (圖14)。進-步將實心狀圖案7活化，最後可 獲得實心狀之導電層8(圖15)。在此，在層形成方法中，配 置液滴D之步驟係由上述之液滴喷出裝置1〇〇執行。 (1 ·區塊） 首先，如圖6所不，在基板10A表面中，使假想的複數區 塊1對應於至少形成導電層8 (圖15)之範圍。此等複數區塊 1排列成決定於X軸方向與Y軸方向之陣列狀。在此，沿著 複數區塊1之各區塊之X軸方向之長度為i i pm，沿著γ軸 方向之長度為各15 μιη。又，以下，將預期被形成導電層8 之範圍又稱為「層形成範圍」。 複數區塊1之各區塊係可被配置液滴D之區域。在本實施 型態中，於某1區塊1配置液滴D之情形，液滴係以該區塊i H3759.doc •16- 1306785 之中心與被配置之液滴D之中心大致一致之方式被配置。 在此，複數區塊1之X轴方向之間距係對應於在X軸方向相 鄰之2個液滴D之最小中心間距離。同樣地，複數區塊！之 Y軸方向之間距係對應於在γ軸方向相鄰之2個液滴d之最 小中心間距離。又，在圖6中，在說明之方便上，雖劃著 144個（12x12)個區塊1，但實際之區塊1之數並不限定於此 數。

在此，將決定於4區塊χ4區塊之16個區塊1之各集合體定 義為區塊群1G。而’基於識別！個區塊群丨〇之16個區塊1 之各區塊之目的’將該等16個區塊1之各區塊以「C」字與 2位數之字尾組成之符號（例如cu)加以標記。在此，字尾 之右側之數值表示沿著區塊群1(5之γ軸方向之位置，為1 至4之整數。另一方面，字尾之左侧之數值表示沿著區塊 群1 G之X軸方向之位置，為1至4之整數。 而，著眼於複數之C11時，在基板10A之表面上，複數 之C11排列成決定於又軸方向與γ軸方向之陣列狀。也就是 說，複數之C1〗係構成陣列。具體言之，複數之CU係週期 地，於X軸方向、Y軸方向及此等之合成方向U。在本實施 型態中L方向才目鄰之任意^C11之中心間之距離均 為0 μΠ1又，在Y轴方向相鄰之任意2個C11之中心間之 距離均為60.0㈣。另外，在又軸方向與丫軸方向之合成方 向u相鄰之任意以固⑶之中心間之距離均為从〜。又， :軸方向與Υ軸方向之合成方向U係區塊】之對角線之方 向0 113759.doc 1306785 複數之C 3 1也與複數之c丨丨同樣地排列成決定於χ軸方向 及γ軸方向之陣列狀。其他種類之區塊i (即C13,C33)也與 C 11相同。要5之，層形成範圍係包含複數之C11組成之陣 列、複數之C31組成之陣列、複數之C13組成之陣列及複 數之C33組成之陣列。 (2·功能液） 在此，設置導電層8之步驟包含配置功能液U1之液滴d 之v驟所渭「功能液j ’係指可由設於液滴噴出裝置丨〇〇 ，噴f 11 8噴出作為液滴〇之具有黏度之液狀材料。不問 、「功能液」為水性或油性。只要具備可由喷嘴ιΐ8喷出之 流動性（黏度）即已充分，即使混入固體物質，只要整體上 屬於流動體即可。最好「功能液」之黏度在bp"以上5〇 mPa.s以下。黏度在1 mpa.s以上之情形，噴出「功能液」 之液滴D之際，噴嘴118之週邊部難以被「功能液」污染。 另一方面，黏度在50 mPa.s以下之情形，在嘴嘴ιΐ8之阻塞 頻度較小’故可實現圓滑之液滴D之喷出。 本實施型態之功能液111含有分散媒與作為導電材料 之銀。在此，功能液ηι之銀呈現銀粒子之形態，該銀粒 子之平均粒徑為10㈣度。而，在功能液中，銀粒子被 塗佈劑所包覆’被塗佈劑所包覆之銀粒子 散媒中：又，平均粒徑一度至數百nm之粒子= 為奈米粒子」。依據此標記，功能液含有銀之奈米 子。 ’…、芩 作為分散媒（或溶媒）’只要屬於可使銀粒子等之導電性 113759.doc -18· 1306785 微粒子分散，且不引起凝聚之材料，並無特別限定。例 如’除了水以外，可例示甲醇、乙醇、丙醇、丁醇等醇 類、〜庚烧、n•辛炫、錢、十二院、四癸燒、甲苯、二 甲苯、甲基異丙苯、暗煤、肖、二戊埽、四氫化萘、十氮 化萘、環已基苯等碳化氫系化合物”戈乙二醇二甲謎、乙 一醇一乙喊、乙- g寒-审 乙一醇一曱乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二 酵二乙醚、二乙二醇二甲乙趟、二甲氧基乙烧、雙 (2-甲氧基乙)醚、卜噁烷等之醚系化合物、以及碳酸丙 烯醋、r-丁内醋、N-甲基〜比咯燒酮、二甲替甲醢胺、 二甲亞颯、環己剩等極性化合物。此等之中，纟導電性微 粒子之分散性與分散液之穩定性及適用於噴墨製程之容易 度之點上，以水、醇類、碳化氫系化合物、趟系化合物較 理想’作為更理想之分散媒’可列舉水、碳化氫系化合 物0 又，上述塗佈劑係可配位於銀原子之化合物。作為塗佈 劑，已知有胺、醇類、硫料。更具體而言，作為塗佈 劑，有2-甲基氨基乙醇、二乙醇胺、二乙基甲基胺、2_二 甲基氨基乙醇、甲基二乙醇胺等胺化合物、燒基胺類、: 二胺、燒基醇類、乙二醇、丙二醇、絲硫醇類、乙二硫 醇等。以塗佈劑包覆之銀之奈米粒子在分散媒中：： 地分散。 ~ (3·液滴之配置順序） 以下’以圖7之右上之區坡】A其淮r上 塊1為基準而在對應於9區塊x9 區塊之層形成範圍設有無論在X軸方 次丫釉方向或合成 H3759.doc 19- 1306785 方向u均相連續之實心狀圖案。在此所謂「實心狀圖案」， 係經後述之活化步驟而成為導電層8之層。又，被配置之 液滴可在表面上略微濕潤擴散，故對應於9區塊χ9區塊之 層形成範圍之面積略大於9區塊Χ9區塊之面積。 當然，在其他實施型態中，層形成範圍也可對應於9區 塊Χ9區塊以外。例如’層形成範圍既可為對應於1〇〇區塊X 1 00區塊之範圍，也可為對應於】區塊χ5區塊之範圍。但， 需將層形成範圍設定為：1)含c丨i之列或行對應於層形成 耗圍之最外側’及/或2)使ci 1對應於層形成範圍之角部。 又，在此所謂「列」，意味著在χ軸方向排成一排之區塊丄 之集合體，所謂「行」，意味著在γ軸方向排成一排之區塊 1之集合體。 一面參照圖7 ’ 一面說明在層形成範圍配置液滴D之步 驟。在此，在複數區塊群1(}(圖6)之任何一個，配置液滴 D之順序皆相同。具體上，如圖γ所示，在複數區塊群1 g 之各區塊群中’配置液滴D之順序係依照c 11、C3 1、 C13、C33之順序。 但，在位於圖7左上之區塊群ig與位於左中央之區塊群 1G中，Cll、C13雖對應於層形成範圍，但C31、C33則不 對應於層形成範圍。因此，在此等區塊群1G中，跳過對 C3 1、C33之液滴之配置。同樣地，在位於圖7左下之區塊 群1G中，C11雖對應於層形成範圍，但C31、C13 ' C33則 不對應於層形成範圍。因此，在此等區塊群1G中，跳過對 C31、C13、C33之液滴之配置。另外，在位於圖7中央下 113759.doc -20- 1306785 之區塊群1G與位於右下之區塊群ig中，cil、C31雖對應 於層形成範圍，但C13、C33則不對應於層形成範圍。因 此，在此等區塊群1G中，跳過對C13、C33之液滴之配 置。 (3 A ·基本點之配置步驟） 首先，調整區塊1之大小、區塊群丨G所含之區塊1之數、 液滴D之命中徑中至少一方，以便可在正交於掃描方向之 φ 方向（X轴方向）連結所配置之液滴D而獲得線狀圖案5(圖 1 0)。在本實施型態中，經此調整之結果，如上所述，可 將區塊1之大小設定為11 pmx15 μιη之大小，將1個區塊群 1G所含之區塊1之數設定為丨6個。 對此種區塊1及區塊群1 G，將液滴D之命中徑設定為3 0 μιη。所謂命中徑又可說是配置於基板〗〇α之液滴D在基板 1 0 Α上濕潤擴散之範圍之直徑。在此，剛由噴嘴1丨8噴出之 液滴D之形狀在噴出方向大致呈現軸對稱，故命中基板 • 10A後之液滴D之範圍之形狀大致為圓形。在本專利說明 書中，將命中基板10 A之液滴D或液滴D之範圍又稱為 「點」。 其次，如圖8所示，分別將1個液滴D配置於層形成範圍 内之複數C11之各區塊。也就是說，在複數區塊群1G之各 區塊群中，將液滴D配置於對應於四個角之4個區塊1之i 個。此際，將液滴D配置成使液滴D之中心位於C11之中 心。又，在對應於1個區塊群1G之範圍中，最初被配置之 液滴D又標記為「基本點」。 113759.doc -21 · 1306785 在Cl 1配置液滴D之步驟之更詳細情形如以下所述。 在本實施型態中，利用喷嘴列116之複數喷嘴u 8，將、、夜 滴D配置於層形成範圍内之複數cii之全部。更具體古 之，以使某一喷嘴118之X座標與某一行之^丨之又座標— 致方式，將喷頭114定位於台106上。例如，再參照圖6 時’使紙面之最右之喷嘴118之X座標與最右之行之cu之 X座標一致。而，在維持喷頭114之X座標之狀態不變之狀 態下，使台106向掃描方向（Y軸方向）相對移動。如此，即 可使其一個喷嘴118面對著該行之複數C11之各區塊。因 此’在適切之時間由喷嘴118喷出液滴d時，即可將液滴D 配置於該行之複數C11。又，在此所謂「行」，係意味著在 掃描方向（Y軸方向）排成一排之區塊1之集合體。 其次，以使另一喷嘴118之X座標與另一行之（：11之又座 標一致方式，使噴頭114向X軸方向相對移動。例如，使圖 6之右方算起第2個喷嘴118之X座標與左方算起第4行之 C11之X座標一致（在圖6中，該等並不一致）。而，與前一 行同樣地，在維持喷頭114之X座標之狀態不變之狀態下， 使台106向掃描方向（γ軸方向）相對移動。如此，即可使其 一個喷嘴118面對著該行之複數C11之各區塊。因此，在適 切之時間由噴嘴118喷出液滴D時，即可將液滴D配置於該 行之複數C11。 由以上之說明可以知悉：在將液滴D配置於c 11之際， 在C11所構成之陣列中，將相同之喷嘴丨丨8分配於屬於同一 行之複數C11之全部。但，行改變時，被分配之喷嘴丨丨8也 113759.doc -22- 1306785 可改變。 回到圖8 ’如上所述’因液滴D之命中徑為30 μηι，故將 液滴D配置於c 11時，液滴D會由C11之中心濕潤擴散至15 μιη之範圍。而’此結果’可獲得點狀圖案4。在此，X軸 方向相鄰之任意2個C11之中心間之距離均為44 μιη，而， 在Υ軸方向相鄰之任意2個C11之中心間之距離均為60 μηι。另外，在X軸方向與γ軸方向之合成方向^相鄰之任 意2個C11之中心間之距離約為74.4 μιη。因此，在任意之 C11上之點狀圖案4均不會接觸到相鄰之c 11上之點狀圖案 4。也就是說’任意之C11上之點狀圖案4均由相鄰之^^上 之點狀圖案4被孤立。 如以上之步驟之結果，在基板丨0 A之表面上，複數點狀 圖案4分別孤立地排列成決定於X軸方向與γ軸方向之陣列 狀。又’因複數C 11與複數點狀圖案4相對應，故c 11之數 與點狀圖案4之數相同。 又，C11係本發明之r基準區域」之一例。 (3B.基本點之固定步驟） 在將液滴D配置於層形成範圍内之cn之全部後，固定 分別配置於複數C1丨之液滴D。也就是說，將複數點狀圖 案4固定於對應之C1丨。具體上，由構成點狀圖案*之功能 液Π 1中使點狀圖案4乾燥至可使溶媒（或分散媒）氣化之程 度。在本實施型態中，由烘乾機向點狀圖案4吹熱風。通 甲，在具有撥液性之表面上，功能液丨丨丨容易移動。但在 本實紐型態中’使功能液111構成之點狀圖案4如此乾燥， 113759.doc -23- 1306785 故點狀圖案4會喪失流動性。而，因此，可將點狀圖案4固 定於C11。此結果，C11上之點狀圖案4即使接觸到後來被 配置於C31、C13及C33之各液滴d，也可降低被拉向C31、 C13或C33之可能性。而，因此，可降低在最終所得之導 電層8(圖15)上開孔之可能性。 (3C_親液化） 其次’將基板10 A之表面親液化’唯此並未予以圖示。 在本貫施型態中’將液滴D配置於被固定之點狀圖案4上。 也就是說’再將1個液滴D配置於複數c 11之各區塊上。如 此’對其後配置於C3 1之液滴D ’ C3 1呈現親液性。此結 果，配置於C 3 1之液滴D即使接觸到配置於c 11之液滴d或 點狀圖案4 ’也可降低被拉向c 11之可能性。而，因此，可 降低在最終所得之導電層8上開孔之可能性。又，藉由再 度將液滴D配置於C11 ’可使基板1 〇A之表面（C3 1)呈親液 性之機理一事雖未充分被瞭解。但在現時點，發明人等推 測：此係由於再度被配置之液滴D所帶來之溶媒環境有助 於展現在基板10 A或C 3 1之親液性所致。 在此’再度被配置於C11之液滴D之體積也可小於最初 被配置於C11之液滴〇之體積。具體上，在C31展現親液性 之同時’也可將使Cl 1上之點狀圖案4持續由相鄰之ci 1上 之點狀圖案4被孤立之程度之體積之液滴d再度配置於 CU。當然，再度被配置於cii之液滴d之體積也可在最初 被配置於C11之液滴D之體積以上。 又’對功能液111，在基板10A呈某種程度之親液性之情 I13759.doc • 24- 1306785 开> ’上述親液化之步驟也可予以省略。 (3D.第1連接點之配置步驟） 其次’將由液滴喷出裝置100被噴出之液滴D之命中徑設 定為32 μιη。也就是說’改變液滴喷出裝置1 〇〇之驅動波形 DS (圖5(b))’以喷出體積大於配置於cil之液滴d之體積 之液滴D。又，改變驅動波形DS之技術（即實現所謂可變 點之技術）之詳細已在日本特開2001-58433號公報之圖5~ 圖8中有所說明，故在此省略其說明。 而’如圖9所示’將1個液滴D分別配置於層形成範圍内 之複數C3 1之各區塊。此際’係以使液滴d之中心位於C31 之中心之方式配置液滴D。在此，C3 1係位於在X軸方向相 鄰之2個C11之中間。因此，C31與最接近於C31之cu間之 距離為22 μηι。而，C11上之點狀圖案4會擴散至距離cil 之中心15 μηι之範圍。另一方面，於C31上，液滴D會擴散 至距離C31之中心16 μιη之範圍，故配置於C31之液滴〇會 接觸於C11上之點狀圖案4。又，在本專利說明書中，將被 配置於C31、C13、C33之液滴D又稱為「連接點」。 將液滴D配置於C31之步驟之更詳細情形如以下所述。 在本實施型態中，利用喷嘴列116之複數噴嘴118，將液 滴D配置於層形成範圍内之C31之全部。更具體言之，與 上述對cii之液滴配置步驟同樣地，以使某一喷嘴118之又 座標與某一行之C31之X座標一致方式，將噴頭114定位於 台106上。而，在維持喷頭114之又座標之狀態不變之狀態 下，使台106向掃描方向（Y軸方向）相對移動。如此，即可 113759.doc -25· 1306785 使其一個噴嘴118面對著該行之複數C3丨之各區塊。因此， 在適切之時間由噴嘴118喷出液滴0時，即可將液滴D配置 於該行之複數C31。 其次，以使另一喷嘴U8之X座標與另一行之c312X座 標一致方式，使噴頭114向X軸方向相對移動。而，與前一 行同樣地，在維持噴頭114之X座標之狀態不變之狀態下， 使台106向掃描方向（γ軸方向）相對移動而將各液滴D配置 於該行之複數C3 1之各區塊。 由以上之說明可以知悉：在將液滴D配置於匚31之際， 在C3 1所構成之陣列中，將相同之噴嘴丨丨8分配於屬於同一 行之複數C3 1之全部。但，行改變時，被分配之噴嘴丨丨8也 可改變。 如此’在此步驟中，將液滴D配置於對C11位於X軸方向 之C3 1。而，藉此，使點狀圖案4向X軸方向延伸。另外， 在本步驟中，排列於X轴方向之複數點狀圖案4係在X軸方 向相連結。而，將液滴D配置於層形成範圍内之所有匸3 1 完畢時’如圖10所示，即可顯現出由配置於C11之液滴d 與配置於C3 1之液滴D所構成之複數線狀圖案5。此複數線 狀圖案5分別向X轴方向延伸，並互相被孤立。 (3E.第2連接點之配置步驟） 將液滴D配置於層形成範圍之所有C3 1後，將由液滴喷 出裝置100被喷出之液滴D之命中徑設定為32 μπι。而，如 圖11所示，將1個液滴D分別配置於層形成範圍内之複數 C 1 3之各區塊。此際’係以使液滴d之中心位於c 13之中心 113759.doc •26- 1306785 之方式配置液滴D。在此’ C13係位於在Y軸方向相鄰之2 個C 11之中間。因此，c 13與最接近於c 13之C11間之距離 為30 μπι。而’配置於C11之液滴D會擴散至距離C11之中 心15 μηι之範圍。另一方面，在c 13上’液滴D會擴散至距 離C13之中心16 μιη之範圍’故配置於C13之液滴D會接觸 於線狀圖案5。 將液滴D配置於C 13之步驟之更詳細情形如以下所述。 # 在本實施型態中，利用喷嘴列116之複數喷嘴118，將液 滴D配置於層形成範圍内之複數C13之全部。更具體言 之’與上述對C11之液滴D之配置步驟同樣地，以使某一 噴嘴之X座標與某一行之C13之Χ座標一致方式，將喷 頭114定位於台1〇6上。而，在維持喷頭114之χ座標之狀態 不變之狀態下，使台106向掃描方向（γ軸方向）相對移動。 如此，即可使其一個喷嘴118面對著該行之複數ei3之各區 塊。因此，在適切之時間由喷嘴118噴出液滴〇時，即可將 i 液滴D配置於該行之複數C13之各區塊。 其次，以使另一喷嘴118之X座標與另一行之之χ座 標一致方式，使噴頭114向X軸方向相對移動。而，與前一 行同樣地，在維持噴頭114之Χ座標之狀態不變之狀態下， 使台106向掃描方向（Υ軸方向）相對移動而將各液滴⑽置 於該行之複數C13之各區塊。 由以上之說明可以知悉：在將液滴D配置於ci3之際， 在⑶所構成之陣列—，將相同之喷嘴⑴分配於屬於^ 行之複數C13之全部。但，行改變時，被分配之噴嘴ία也 113759.doc •27· 1306785 可改變。 如此，在本步驟中，將液滴D配置於對Cl 1位於γ軸方向 之C13。而，藉此，使複數線狀圖案5分別向γ軸方向延 伸。另外，在本步驟中，此等複數線狀圖案5係在Y軸方向 相連結。而，如圖12所示，在將液滴D配置於層形成範圍 内之所有C13完畢時’即可顯現出由配置於cu之液滴d、 配置於C3 1之液滴〇及配置於cu之液滴D所構成之格子狀 圖案6 ^ (3F.第3連接點之配置步驟） 將液滴D配置於層形成範圍内之所有c丨3後，將由液滴 喷出裝置100被喷出之液滴D之命中徑設定為32 。而， 如圖13所示，將1個液滴D分別配置於層形成範圍内之複數 C33之各區塊。此際’係以使液滴〇之中心位於C33之中心 之方式配置液滴D。在此，C33係位於在X軸方向與γ軸方 向之合成方向U相鄰之2個C11之中間。而，配置於C33之 液滴D會填埋由所有被配置之液滴〇所構成之格子狀圖案6 之孔。而，因此’藉對C33之液滴D之配置，由已被配置 之液滴D所構成之格子狀圖案6會向合成方向u延伸。 將液滴D配置於C33之步驟之更詳細情形如以下所述。 在本實施型態中，利用噴嘴列116之複數喷嘴118，將液 滴D配置於層形成範圍内之複數c33之全部。更具體言 之’與上述對C11之液滴D之配置步驟同樣地，以使某一 喷嘴118之X座標與某一行之C33之X座標一致方式’將噴 頭114定位於台1 〇6上。而，在維持噴頭i丨4之X座標之狀態 I13759.doc •28- 1306785 不變之狀態下，使台106向掃描方向(γ軸方向)相對移動。 如此’即可使其—個喷嘴118面對著該行之複數⑶之各區 塊。因此，在適切之時間由噴嘴118噴出液滴〇時，即可將 液滴D配置於該行之複數C33之各區塊。 其次，以使另一噴嘴118之χ座標與另一行之之X座 丁致方式，使喷頭114向X軸方向相對移動。而，與前一 仃同樣地，在維持喷頭114之X座標之狀態不變之狀態下， 使台106向掃描方向（γ軸方向）相對移動而將各液滴β配置 於該行之複數C33之各區塊。 由以上之說明可以知悉：在將液滴D配置於C33之際， 在C33所構成之陣列中，將相同之喷嘴118分配於屬於同一 行之複數C33之全部。但，行改變時，被分配之噴嘴118也 可改變。 將液滴D配置於層形成範圍内之所有C33完畢時，如圖 14所示’即可顯現出由配置於Cl 1之液滴D、配置於C3 1之 液滴D、配置於C13之液滴D及配置於C33之液滴D所構成 之實心狀圖案7。在本實施型態中，對應於基板丨〇a之表面 上之9區塊χ9區塊之層形成範圍會毫無間隙地被實心狀圖 案7所覆蓋。又’如上所述，液滴D會在表面上擴散，故實 〜狀圖案7所覆蓋之面積（層形成範圍之面積）會略大於9區 塊χ9區塊之面積。 如此’在複數之區塊群1G之各區塊群中，會依序將各液 滴D配置於Cll、C31、C13、C33。如此，縱使基板10A之 表面具有撥液性，也可藉配置於此等4種區塊1之液滴D， 113759.doc -29, 1306785 形成由C11分別連續至又軸方向、γ軸方向及合成方向 實心狀圖案7。也就是說，形成無孔之實心狀圖案7。 (3G.活化步驟） 其次，使實心狀圖案7活化。具體上，加熱實心狀圖案 . 7，使在實心狀圖案7之銀粒子燒結或熔融黏著。如此，可 藉燒結或熔融黏著之銀粒子，在實心狀圖案7中展現導電 性，而，此結果，可獲得如圖丨5所示之導電層8。 • 在此，所得之導電層8之厚度之均勻性不充分之情形， 也可在活化之前，如圖16所示，在各區塊群1(}中，進一步 配置12個液滴D。具體上’除了 cii、C31、C13、C33之4 個區塊1以外’再依序將液滴D配置於C21、C41、C23、 C43 、 C12 、 C32 、 C14 、 C34 、 C22 、 C42 、 C24 、 C44之12 個區塊1。也就是說，也可將液滴D配置於區塊群丨G之區 塊1之全部。如此，可獲得更均勻厚度之導電層8。又，追 加被配置之12個液滴之體積也可小於先前被配置之4個液 • $之體積。 如此’依據本實施型態，首先，在在基板1〇A上配置複 數點狀圖案4。其後，顯現沿著X軸方向延伸之複數線狀圖 案5。其次’複數線狀圖案5連結於γ軸方向而顯現格子狀 圖案6。最後，將液滴D配置於剩下之空間而形成2維地連 接之實心狀圖案7。而，藉使實心狀圖案7活化，即可獲得 無孔之導電層8。

而’只要區塊群1G内之液滴D之配置順序採用上述之順 序’在複數區塊群1G間之順序並無任何限制。例如，向X 113759.doc •30- 1306785 軸方向延伸之構成1排之複數區塊群1(3可大致同時被處 理。同樣地’向Y軸方向延伸之1排之複數區塊群1G也可 大致同時被處理。又，每1區塊群1G也可依序被處理。 由以上之說明可以知悉：在本實施型態之層形成方法 中’將液滴D配置於最初之2種區塊1完畢之時點，可顯現 出向X軸方向延伸之複數之孤立之線狀圖案5。具體上，為 獲得此種線狀圖案5 ’設定1)液滴D之配置之順序、2)區塊 1之大小、3)區塊群1G所含之區塊1之數及4)液滴D之命中 徑中至少一方。依據發明人等之實驗，若能獲得如此向正 交於掃描方向之方向（X軸方向）延伸之複數之孤立之線狀 圖案5 ’即可提高獲得良好之實心狀圖案7之可能性。又， 在本實施型態中’最初之2種區塊1係C11與C31。 如上所述’在將液滴D配置於丨行之複數區塊之情形，對 U亍分配1個噴嘴丨丨8。因此，縱使在複數喷嘴丨i 8間有飛行 路徑之误差，沿著被配置之液滴D之掃描方向之間隔仍可 保持疋。又，此情形，沿著被配置之液滴D之掃描方向 之間隔係決定於噴出週期EP (圖5(b))與台1〇6之相對移動 速度之積之整數倍。 另一方面，在將液滴D配置於1列之複數區塊1之情形， 對1列分配複數喷嘴118。在此所謂「列」，係指在又軸方向 排成排之區塊1之集合體。如此，因分配有複數嘴嘴 U8，故在複數喷嘴118間有飛行路徑之誤差時，被配置之 液滴D之X軸方向之間隔有時不能保持一定。|然，會調 整噴頭114 ’以便將在χ軸方向之此種飛行路徑之誤差控制 113759.doc -31 · 1306785 在容許範圍内。但縱然如此，X軸方向之飛行路徑之誤差 仍可能因在喷嘴118内之功能液nl之附著等而隨著時間而 變化，且也可能發生偶發的飛行路徑之彎曲。有在X軸方 向之此種飛行路徑之誤差時，被配置之液滴1)所得之點有 可能不能在X軸方向連結，故有不能獲得線狀圖案5之可能 性。 因此，在形成實心狀圖案7之過程中，最好能夠確認可 • 獲得在向X軸方向延伸之複數之孤立之線狀圖案5。依據本 實施型態之層形成方法，可在將液滴D配置於最初之2種區 塊1完畢之時點，獲得向X軸方向延伸之線狀圖案5。若在 將液滴D配置於最初之2種區塊1完畢之時點，不能獲得線 狀圖案5，則在該基板l〇A附上瑕疵品之標籤。但，在不能 獲得線狀圖案5，而成為瑕疵品之情形，由於仍未對剩下 之2種區塊1配置液滴D，故可抑制功能液ln之無謂之銷耗。 (變形例1) •在上述實施型態中，在將C11上之點狀圖案4乾燥後，再 度將液滴D配置於C11，而將C31之表面親液化。但本發明 並不限定於此種型態。具體上，既可在將cu上之液 乾燥後，將基板10A之表面曝露於氧電漿中，而將C3i之 表面親液化，也可對基板10A之表面照射紫外區域之波 長’而將C 3 1之表面親液化。 (變形例2) 在上述實施型態之功能液中，含有銀之奈米粒子。但， 也可取代銀之奈米粒子而使用其他金屬之奈米粒子。在 113759.doc -32- 1306785 此，作為其他之金屬，既可使用例如金、鉑、鋼、鈀、 鍺、锇、釘、銀、鐵、錫、辞、結、錦、絡、欽、组、 鎢、銦中之一種，或使用組合其中2種以上之合金。但， 使用銀時，可在較低溫下還原，故處理較為容易，就此點 而言，利用液滴喷出裝置之情形’以使用含有銀之奈米粒 子之功能液較為理想。 又，功能液也可使用含有機金屬化合物，以取代金屬之 不米粒子。在此所稱之有機金屬化合物係可 分解而析出金屬之化合物。在此有機金屬化合物 氯二乙基膦金⑴、氯三，基膦金⑴、氯三苯基膦金⑴、 銀（Ι)2,4·戊硫萘配位化合物、三f基膦（六款乙醯基丙嗣 酸）銀⑴配位化合物 '銅⑴六氟戊硫萘環辛二婦配位化合 物等。 如此’功能液所含之金屬型態既可為奈米粒子所代表之 粒子型態，也可為如有機金屬化合物等之化合物型態。 —另外，功能液也可取代金屬而含有聚苯胺、聚嘆吩、聚 苯撐乙烯撐、聚（3,4_乙二氧揮嚷吩）(pED叫等導電性高分 子之可溶性材料。 (變形例3) 在上述實施型態中，形+ ’ 化成有實心狀導電層8。但，本發 明並不限定於此種型態。 1 j如’也可將本發明是用作為實 心狀絕緣層之形成方法。形 ❿成實心狀絕緣層之情形，只要 準備含有絕緣材料之功能、b /夜即可。在此，作為此種功能 液，適合含有光硬化性之絕 e碌樹脂與溶解此絕緣樹脂之有 I13759.doc -33. 1306785 機/奋媒作為絕緣材料。而，功能液含有此種絕緣材料之情 形，上述之固定步驟與活化步驟皆為將光照射至功能液構 成之點狀圖案或實心狀圖案而使絕緣樹脂硬化之步驟， 或加熱此等點狀圖案或實心狀圖案之步驟。 (變形例4) 依據上述實施型態，將液滴D配置於聚醯亞胺構成之基 板10A。但，取代此種基板1〇A，而利用陶瓷基板、玻璃 基板、氧基板、玻璃環氧基板或破基板等，也可獲得與 上述λ施型態所說明之效果同樣之效果。又，配置液滴d 之表面並不限定於基板之表面。只要是大致平坦之絕緣層 之表面或大致平坦之導電層之表面即可。 (變形例5) 上述實施型態中之區塊1之大小、區塊群1G所含之區塊1 之數及液滴D之命中徑並不限定於本實施型態之值。具體 上，只要將區塊1之大小、區塊群1G所含之區塊1之數及液 滴D之命中徑中至少一方設定成使任意C11上之點狀圖案4 都可由相鄰之c 11上之點狀圖案4孤立即可。 (變形例6) 依據上述實施型態，配置於C3 1之液滴D之命中徑、配 置於C13之液滴D之命中徑及配置於C33之液滴之命中徑均 相同。但’也可取代此種構成，使此等命中徑相異，以可 獲得更均勻厚度之導電層8。又，使液滴D之命中徑相異之 際，只要改變喷出之液滴D之體積即可。 (變形例7) 113759.doc -34- 1306785 也可在將液滴配置於CIl、C31、C13、C33之前，對基 板1 〇A之表面施以表面改性處理，以提升底層表面之撥液 性之程度。如此一來，可使實心狀圖案7之端緣更為陡 Λ肖。又’作為提升表面之撥液性之程度之處理，已知有在 - 基板10Α之表面形成氟代烷基矽烷（FAS)膜之方法。又，依 ' 照利用含有氟之處理氣體之大氣壓電漿法，係使表面曝露 於處理氣體中，也可提升表面之撥液性。 • 【圖式簡單說明】 圖1係表示本實施型態之液滴噴出裝置之模式圖。 圖2係表示液滴喷出裝置之喷頭之噴嘴列之模式圖。 圖3(a)、（b)係表示噴頭之構造之模式圖。 圖4係表示液滴噴出裝置之控制部之功能圖。 圖5(a)係表示控制部之噴頭驅動部之模式圖，係表示 選擇“號、驅動信號與喷出信號之時間圖。 圖6係表示對應於基板之表面之區塊之模式圖。 •圖7係表示液滴配置於區塊之順序之圖。 圖8係說明液滴配置於c 1丨之步驟之圖。 圊9係說明液滴配置於匚3 1之步驟之圖。 圖1 〇係表示液滴配置於C3丨後所得之線狀圖案之模式 圖。 圖11係說明液滴配置於C13之步驟之圖。 圖12係表示液滴配置於C13後所得之格子狀圖案之模式 圖。 圖13係說明液滴配置於C33之步驟之圖。 113759.doc -35- 1306785 圖μ係表示液滴配置於C33播

:圖案之模式 之模式圖。 夂所伸之實心 圖〗5係活化圖14之實心狀圖案所得之導電層 圖16係表示液滴配置於區塊之另—順序之圖 【主要元件符號說明】 D 液滴 U 合成方向 1 區塊 1G 區塊群 4 點狀圖案 5 線狀圖案 6 格子狀圖案 7 實心狀圖案 8 導電層 100 液滴噴出裝置 106 台 111 功能液 114 噴頭 116 喷嘴列 118 喷嘴 113759.doc -36-

Claims (1)

13067¾¾133301號專利申請案

中文申请專利範圍替換本(97年η月） 十、申請專利範圍： 種層形成方法’其特徵在於其係使用對包含複數喷嘴 之喷頭，一面使表面向第i方向相對移動，一面自前述 複數喷嘴喷出液滴之液滴喷出裝置，包含： 第1步驟，其係在前述表面上之2個基準區域之各區域 刀別配置第1液滴，而對應於前述2個基準區域設置孤立 之2個圖案； 第2步驟，其係固定前述2個圖案； 第3步驟，其係在前述第2步驟之後，將前述表面親液 化；及 第4步驟，其係在前述第3步驟之後，將第2液滴配置 於4述2個基準區域間而連結前述2個圖案。 2’如請求項1之層形成方法，其中 則述第3步驟係包含將第3液滴分別配置於被固定之前 述2個圖案之各圖案上之步驟。 3.如請求項1之層形成方法，其中 則述第3步驟係包含在前述表面照射紫外線之步驟， 或使前述表面曝露於電漿之步驟。 4·如清求項1至3中任一項之層形成方法，其中進一步包含 第5步驟’其係在前述第4步驟之後，使所連結之前述 圖案活化。 5.如請求項2之層形成方法，其中 前述第2液滴之每1滴之體積與前述第3液滴之每1滴之 體積之至少1者’係異於前述第丨液滴之每1滴之體積。 113759-971107.doc 1306785

f 6·如請求項1至3中任一項之層形成方法 月’J述第2液滴之每1滴之體積係異於前述第1液滴之每 滴之體積。 7 ·如晴求項4之層形成方法，其中 前述第2液滴之每1滴之體積係異於前述第丨液滴之每工 滴之體積。 8. 一種層形成方法，其特徵在於其係使用對包含複數噴嘴 之噴頭’一面使表面向第1方向相對移動，—面自前述 複數喷嘴喷出液滴之液滴喷出裝置，包含： 第1步驟，其係在前述表面上且由前述第丨方向與正交 於前述第1方向之第2方向所決定之排列成陣列狀之複數 基準區域之各區域配置第1液滴，而對應於前述複數基 準區域设置分別孤立之複數圖案； 第2步驟，其係固定前述複數圖案； 第3步驟，其係在冑述第2步驟之後，在排列於前述第 φ 2方向之複數刖述基準區域之各區域間配置第2液滴，而 將如述複數圖案連結於前述第2方向； 第4步驟，其係在前述第3步驟之後，在排列於前述第 1方向之複數削述基準區域之各區域間配置第3液滴，而 將前述複數圖案連結於前述第丨方向；及 第5步驟’其係在前述第4步驟之後，將第樣滴配置 於排列於剛述第1方向與前述第2方向之合成方向之前述 複數基準區域之各區域間。 9. 如請求項8之層形成方法，其中進一步包含 113759-971107.doc 1306785 第6步驟，其係在前述第 前述表面親液化。

2步驟與前ii弟―3 —步ϋ—厂 更)正本 10.如請求項9之層形成方法，其中 前述第6步驟係包含將筮 3财第5液滴分別配置於前述複數圖 案之各圖案上之步驟。 11. 如請求項9之層形成方法，其中

月〗j第6步驟係包含在前述表面照射紫外線之步驟， 或使前述表面曝露於電漿之步驟。 12. 如請求項8至"中任一項之層形成方法1中進一步包含 第7步驟，其係在前述第5步驟之後，使前述圖案活 13. 如：求項8至11中任-項之層形成方法，其中 岫述第2液滴之每丨滴之體積、前述第3液滴之每1滴之 體積及别述第4液滴之每丨滴之體積之至少1者，係異於 月述第1液滴之每丨滴之體積。 14. 如請求項12之層形成方法，其中 則述第2液滴之每1滴之體積、前述第3液滴之每1滴之 體積及則述第4液滴之每1滴之體積之至少1者，係異於 月述第1液滴之每丨滴之體積。 15 ·如請求項1 〇之層形成方法，其中 珂述第2液滴之每丨滴之體積、前述第3液滴之每1滴之 體積、前述第4液滴之每丨滴之體積及前述第5液滴之每丄 滴之體積之至少1者’係異於前述第1液滴之每丨滴之體積。 113759-971107.doc