TWI284782B

TWI284782B - Polymers, resist compositions and patterning process

Info

Publication number: TWI284782B
Application number: TW090110040A
Authority: TW
Inventors: Tsunehiro Nishi; Mutsuo Nakashima; Seiichiro Tachibana; Takeshi Kinsho; Koji Hasegawa
Original assignee: Shinetsu Chemical Co
Priority date: 2000-04-28
Filing date: 2001-04-26
Publication date: 2007-08-01
Also published as: US20010051316A1; KR20010099754A; KR100584070B1; DE60131921T2; DE60131921D1; US6566038B2; EP1150166B1; EP1150166A1

Description

1284782 A7 ______ B7__ 五、發明説明（]) 【發明之詳細說明】【發明之技術領域】本發明係有關（1 ) 一種含有於特定位置具有電子吸引基之構成單位的高分子化合物，（2 )含有此高分子化合物作爲基礎樹脂，因具有優良透明性而具有高解像性能，故特別適合作爲超LSI製造用微細圖型形成材料之光阻材料，與（3 )使用此光阻材料的形成圖型之方法等發明。【先前技術】近年來，隨著LSI之高集積化及高速度化，在尋求圖型線路微細化之中，號稱下一世紀之微細加工技術之遠紫外線蝕刻印刷術爲目前極有望之技術。其中極需實現以KrF 等離子雷射、ArF等離子雷射作爲光源之光蝕刻印刷術以進行0.3 // m以下之超微細加工的技術。等離子雷射光，特別是以波長爲193nm之ArF等離子雷射光爲光源之蝕刻印刷術的光阻材料而言，一般係以確保該波長下之高透明性爲原則，但不可諱言的，目前急需一種兼具有可對應薄膜化之高蝕刻耐性、且不會對高價之光學系統材料造成負擔的高感度，且兼具可正確地形成^ 細圖型所需之高解像性能等材料。在欲達到上述要求下，目前對兼具有高透明性、高剛直性與高反應性之基礎樹脂皆已進行硏究開發，但目前已知之高分子化合物中，並未發現有兼具上述特性化合物，故目前仍未有可達實用化之光阻材料的出現。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ~ ' ^- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· Φ. 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 L·! -4- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1284782 A7 B7 五、發明説明（2 ) 高透明性樹脂中，已知多含有由丙烯酸或甲基丙烯酸衍生物之共聚物、原菠烷烯衍生物所產生之脂環狀化合物爲主鏈之高分子化合物等所得者’但可滿足上述條件者卻仍屬極少數。例如，丙烯酸或甲基丙烯酸衍生物之共聚物，因可自由地導入高反應性單體或自由地增加酸不穩定基之量，故較容易提昇其反應性，但欲提昇主鏈構造上之剛直性仍屬極度困難者。又，以含有脂肪族環狀化合物爲主鏈之高分子化合物，即使剛直性在容許之範圍內，但因主鏈上構造之聚（甲基）丙烯酸樹脂對酸之反應性較爲鈍化，且聚合之自由度亦較低，故極不容易提昇其反應性。又，一般對聚（甲基）丙烯酸酯而言，樹脂之透明性更低，而有造成反應性更加不足之傾向。因此，對於任一使用此 ’些於主鏈中包含聚（甲基）丙烯酸酯或脂肪族環狀化合物之高分子化合物，再使用其作爲基礎樹脂以製造光阻材料時，即使感度與解像性足夠但耐蝕刻性亦不足，或具有較高之耐蝕刻性但卻僅具有低感度、低解像度等，而陷於未達實用之階段。【發明之目的】本發明係鑑於上述情事，即以提出..（1 ) 一種兼具剛直性與透明性之高分子化合物，（2 )使用此高分子化合物作爲基礎樹脂時，可實現較以往成品具有更高感度、解像性與耐蝕刻性之光阻材料，與（3 )使用此光阻材料的形成圖型之方法爲本發明之目的。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-5- 1284782 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 A7 B7__ 五、發明説明（3 ) 【發明之內容與發明之實施形態】本發明者們爲達上述之目的經過深入檢討結果’得知具有下式（1)與式（2)所示單位之重量平均分子量1，〇00 至5 00,000之高分子化合物，因於特定位置具有電子吸引性基故具有極佳之透明性，且使用此高分子化合物作爲基礎樹脂所得之光阻材料亦具有優良感度、解像性與耐蝕刻性，而極適用於光阻材料之精密的微細之加工。即，本發明提供一種下記之高分子化合物。 [I]、一種重量平均分子量1，〇〇〇至500,000之商分子化合物，其係含有下記式（1 )與式（2 )所示單位者；

(式中，R1Q爲氫原子、甲基或CH2CCKR3 ; R2爲氫原子、甲基或CChR3; R3爲碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基；R4爲鹵素原子或碳數1至15之醯氧基、烷氧羰氧基或烷基磺醯氧基，其結構碳原子上之氫原子的一部份或全部可被鹵素原子所取代；R5爲氫原子或碳數1至10之直本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） " " -6- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

1284782 Λ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（4 ) 鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；R6爲酸不穩定基；Z爲單鍵或碳數1至1 0之直鏈狀、支鏈狀或環狀之2價烴基；k爲0 或1;W爲一 0-或—（NR) —，R爲氫原子或碳數1至15 之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基）。 [II]、如[I]之高分子化合物，其係含有下記式（3)與式（4 )所示單位者；

(式中，R1至R5、z、k具有與上記相同之內容；R7至R1Q 爲各自獨立爲碳數1至8之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基’ 或碳數6至20之可取代的芳基；Y爲可含有雜原子之碳數 4至1 5之2價烴基，可與鍵結於兩端之·碳原子共同形成環 )° [III]、如[I]或[II]之高分子化合物，其係含有1種或2 種以上選自下記式（5 )至（8 )所示單位者；本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

1284782 A7 B7 經濟部智慧財產局W工消費合作社印製五、發明説明（5 ) Η Η

ΤΤ (5) R11- R12 R13 -R14 R15.

R16 R H C02R19 R1 R2

(式中，R1、R2、k具有與上記相同之內容；1^至Rm中至少1個爲碳數1至1 5之羧基或含羥基之1價烴基，其他部分爲各自獨立之氫原子或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；R11至R14可相互形成環，此情形時，R11至R14 中至少1個爲碳數1至1 5之羧基或含羥基之2.價烴基，其他部分爲各自獨立之單鍵或碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀伸烷基；R15至R18中至少1個爲碳.數2至15之含— C〇2 -部分構造之1價烴基，其他部分爲各自獨立之氫原子或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；R15至R18可相互形成環，此情形時，R15至R18中至少1個爲碳數1至 15之含- C〇2 -部分構造之2價烴基，其他部分爲各自獨立之單鍵或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀伸烷基；R19 爲碳數7至15之多環式烴基或含有多環式烴基之烷基；R2() 爲酸不穩定基；X爲一CH2 —或一〇一）-。又，本發明提供下記之光阻材料。 [IV]——種光阻材料，其係含有[I]至[III]中任一項之高分子化合物者。又，本發明復提供下記形成圖型之方法。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .# 訂本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -8- 1284782 A7 B7 五、發明説明（6 ) [V]、一種形成圖型之方法，其特徵係包含將上記[IV] 之光阻材料塗佈於基板上之步驟與，於加熱處理後介由光罩使用高能量線或電子線進行曝光之步驟與，必要時於加熱處理後使用顯影液進行顯影之步驟。上記式（1 )所示單位中，電子吸引性基係導入與構成主鏈之脂環相鄰接之碳原子上。此方式可使高分子化合物全體之電子分布與立體構造產生變化，其詳細之原因仍未有所定論，但此結果可使透明.性大幅提昇，但特別是在波長193nm時，可改善至與聚（甲基）丙烯酸酯相同之程度。因此，使用此作爲基礎材料所得之光阻材料，並不會損以含有脂肪族環狀化合物爲主鏈之光阻材料的耐蝕刻性等優點’且可解除以往常見到的順向突起形狀或突起不足等缺點。’ 以下，將對本發明作更詳細之說明。本發明之高分子化合物，係爲含有下記式（1 )與式（ 2)所示單位之重量平均分子量1，〇〇〇至50〇,〇〇〇之高分子化合物。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局消費合社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -9- 1284782 A7 B7 五、發明説明（7 )

又，上記式中，k爲0或1 ’因此式（1 )例如可以下記式（1— 1)與（1— 2)所示者。

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣.

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，Rl爲氫原子、甲基或CH2C〇2R3 ; R2爲氫原子、甲基或C〇2R3 ; R3爲碳數1至15之直鏈狀…支鏈狀或環狀之烷基，具體而言例如甲基、乙基、丙基、異丙基、η—丁基、sec — 丁基、tert — 丁基、tert—戊基、n —戊基、n—己基、環戊基、環己基、乙基環戊基、丁基環戊基、乙基環己基、丁基環己基、金剛烷基、乙基金剛烷基、丁基金剛烷本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -1Π - 〇一或一（NR) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

R9 R7 1284782 A7 B7 五、發明説明（8 ) 基等；R4爲鹵素原子或碳數1至15之醯氧基、烷氧羰氧基或烷基磺醯氧基，其結構碳原子上之氫原子的一部份或全部可被鹵素原子所取代’具體而言，例如氟、氯、溴、甲醯氧基、乙醯氧基、乙基羰氧基、三甲基乙醯基、甲氧羰氧基、乙氧羰氧基、tert - 丁氧羰氧基、甲烷環醯氧基、乙烷環醯氧基、η- 丁烷磺醯氧基、三氟乙醯氧基、三氯乙醯氧基、2，2，2-三氟乙基羰氧基等；R5爲碳數1至10之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基，具體而言例如甲基、乙基、丙基、異丙基、η— 丁基、sec- 丁基、tert— 丁基、戊基'η -戊基、η-己基、環戊基、環己基、環戊基乙基、環戊基丁基、環己基乙基、環己基丁基等；R6爲酸不穩定基；Ζ爲單鍵或碳數1至1 0之直鏈狀、支鏈狀或環狀之2 價烴基，具體而言例如，伸甲基、伸乙基、乙烷一 1，1 一二基、乙院一1，2 —二基、丙院一 1，1一二基、丙院1，2 —二基、丙烷一 1，3-二基、環己烷1，4 —二基等。W爲 R爲氫原子或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基，具體而言，例如與R3所例示之內容相同。又，；R6之酸不穩定基，其內容係與後述之R2°所述之內容相同，其中又以下記式所示者爲佳j cr 又’上記式（1 )所示單位，又以下記式（3 )或（4 ) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-11 - 1284782 Α7 Β7 五、發明説明（9 ) 所示單位爲更佳。

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣· (式中，Rl至R5、Z、k具有與上記相同之內容；R7至Rl° 爲各自獨立爲碳數1至8之直鍵狀、支鍵狀或環狀院基’ 或碳數6至20之可取代的芳基；直鍵狀、支鍵狀或環狀院基之具體例如，甲基、乙基、丙基、異丙基、n— 丁基、SeC —丁基、tert 一丁基、tert -戊基、η —戊基、η-己基、環戊基、環己基、環戊基甲基、環戊基乙基、環己基甲基、環己基乙基等，可取代的芳基之具體例如苯基 '甲基苯基、萘基、蒽基、菲基、ΙΕ基等；Υ爲可含有雜原子之碳數4 至1 5之2價烴基，可與鍵結於兩端之碳原子共同形成環’ 形成環之具體例如環戊烷、伸環戊烷、環己烷、伸環己烷、二環[2.2.1]庚烷、二環[4.4.1]癸烷、三環[5,2.1.02’6]癸烷、四環[4.4.0.12 ’ 5·17 ’ 1ϋ]十二烷、金剛烷等例示）。上記式（1 )所示單位與上記式（3 )或（4 )所示單位本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐）訂 Φ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -12- 1284782 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（1〇) ，其具體例如下記所示內容。

本發明之高分子化合物，其係含有1種或2種以上選自下記式（5 )至（8 )所示單位者；… 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-13- 1284782 A7 B7 五、發明説明（n)

(7) S3 R2- / Jk -R1 co2r20 式中’ X爲一CH2—或一〇一、k爲〇或1時，式（5) 主（8)係爲下記式（5 - 1)至（8— 2)所示內容。 Η Η Η Η Η Η Η Η

(8-1) CO2R20

(5-2) R12 R13

(«) R16 R17

(7-2) Η C02R”

(8-2) Η C02R20 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T -. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製其中，R1、R2、k、X具有與上記相同之內容；R11至 R14中至少1個爲碳數1至15之羧基或含羥基之1價烴基（較佳爲直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基）·，·其他部分爲各自獨立之氫原子或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；碳數1至1 5之羧基或含羥基之1價烴基，其具體例如羧基、羧甲基、羧乙基、羧丁基、羥甲基、羥乙基、羥丁基、2 一羧基乙氧羰基、4 -羧基丁氧羰基、2-羥基乙氧羰基、4 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -14- 1284782 A7 B7 經濟部智慧財產局Μ工消費合作社印製五、發明説明（12) -羥基丁氧羰基、羧基環戊氧基羰基、羧基環己氧基羰基、羧基原菠烷氧基羰基、羧基金剛烷氧基羰基、羥基環戊. 氧基羰基、羥基環己氧基羰基、羥基原菠烷氧羰基、羥基金鋼烷氧基羰基等；碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基之具體例如與R3所例示之內容相同；Ru至R14可相互形成環，此時R1至R14中至少1個爲碳數1至15之羧基或含羥基之2價烴基（較佳爲直鏈狀、支鏈狀或環狀伸烷基 )，其他爲各自獨立之碳數1.至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基；碳數1至1 5之羧基或含羥基之2價烴基，其具體例示係如上記羧基或含羥基之1價烴基之例示中去除1 個氫原子後所得之取代基；碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基之具體例示係如上記R3之例示中去除1個氫原子後所得者等；R 1 5至R 1 8中至少1個爲碳數2至1 5 之含有- C02-部分構造之1價烴基，其他爲各自獨立之氫原子或碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；碳數2 至15之含有-C〇2-部分構造之1價烴基，其具體例如2〜二氧五圜環—3—基氧羰基、4，4 —二甲基一 2 —二氧五圜環一 3-基氧羰基、4 一甲基一 2-羰基噁烷一 4 一基氧羰基、2 —羰基—1，3 —二氧五圜環一4 —基甲基氧羰基、5〜甲基一 2 - 一氧五圜環—5—基氧鑛基％丨·碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基，其具體例示例如與R3所示之內容相同；r 1 5至r 1 8可相互形成環，此時r 15至R1 8中至少1 個爲碳數1至15之含有一 C〇2—部分構造之2價烴基，其他爲各自獨立之單鍵或碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環 $紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X；297公釐) ' ^ -15- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

1284782 Α7 Β7 五、發明説明（13) 狀之伸烷基；碳數1至1 5之含有—C〇2 -部分構造之2價烴基，其具體例如1 一羰基—2 -噁丙烷一 1，3 -二基、1， 3-二羰基—2 —噁丙烷—1，3-二基、1—羰基一 2 —噁丁烷 _1，4 —二基、1’，3 —二羰基—2 —噁丁烷一 1，4 —二基等、及由上記含有- C〇2-部分構造之1價烴基中所例示之取代基中去除1個氫原子後所得之取代基等；碳數1至1 5 之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基之具體例示例如與R3所示內容中去除1個氫原子之內.容相同；R19爲碳數7至15 之多環式烴基或含多環式烴基之烷基，具體之例如原菠烷基、二環[3.3.1]壬基、三環[5.2.1.02,6]癸基、金剛烷基、乙基金剛烷基、丁基金剛烷基、原菠烷基甲基、金剛烷基甲基等；r2()爲酸不穩定基。 R2Q之酸不穩定基，可作各種選擇，具體而言例如下記式（L1)至（L4)所示之基，碳數4至2〇，較佳爲4至15 之三級院基’各院基爲碳數1至6之三烷基矽烷基，碳數4 至20之羰烷基等。

式中，虛線爲連結鍵（以下相同）；RL01、RL02爲氫原子或fe數1至1 8，較佳爲1至1 〇之直鏈狀、支鏈狀或環狀院基’具體例如甲基、乙基、丙基、異丙基、η 一丁基、本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2l〇xi7j^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

-16- Μ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1284782 Β7_ 五、發明説明（14) sec — 丁基、tert — 丁基、環戊基、環己基、2 —乙基己基、η —辛基等；RL03爲碳數1至18，較佳爲1至10之，可含有氧原子等雜原子之1價烴基、直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基，或其氫原子之一部分可被羥基、烷氧基、羰基、胺基、烷胺基所取代者，其具體例如下記之經取代的烷基等。

rLOI 與 rL02、rLOI 與 rL03、rL02 與 rL03 可形成環，形成環時，RL01、RL02、RL()3各自爲碳數1至18、較佳爲1至1 0之直鏈狀或支鏈狀之伸烷基。 RL0·4爲碳數4至20、較佳爲4至15之三級烷基、各烷基爲碳數1至6之三烷基矽烷基、碳數4至20之羰烷基或上記式（L1 )所示之基；三級烷基之具體例如tert-丁基、tert —戊基、1，1—二乙基丙基、1 一乙基環戊基、1— 丁基環戊基、1 一乙基環己基、1 一丁基環己基、1—乙基一 2 一環戊烯基、i 一乙基一 2 —環己烯基、2 —甲基一2 —金剛烷基等。三烷基矽烷基之具體例如三甲基矽烷基、三乙基矽烷基、二甲基一 tert-丁矽烷基等。·羰烷基之具體例如3 —羰基環己基、4 —甲基—2—羰基噁烷一 4一基、5 —甲基 —5 -二氧五圜環一 4一基等。y爲0至6之整數。 RLQ5爲碳數1至8之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基或碳數6至20之可被取代之芳基，直鏈狀、支鏈狀或環狀烷本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-17 - 1284782 A7 B7 五、發明説明（15) 基之具體例如甲基、乙基、丙基、異丙基、n— 丁基、sec〜丁基、tert- 丁基、tert —戊基、η —戊基、η —己基等；可被取代之芳基之具體例示如苯基、甲基苯基、萘基、蒽基、菲基、芘基等。m爲〇或1，η爲0、1、2、3中之任一數，且爲滿足2m + m = 2或3之數目。 RL06爲碳數1至8之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基或爲碳數6至20之可被取代之芳基’其具體例如與相同內容者。RW至RU6爲各自獨立之氫原子或碳數1至15之可含有雜原子的1價烴基’例如甲基、乙基、丙基、異丙基、η — 丁基、sec - 丁基、tert — 丁基、tert —戊基、η-戊基、η -己基、η —辛基、η —壬基、η —癸基、環戊基、環己基、環戊甲基、環戊乙基、環戊丁基、環己甲基、環己乙基、環己丁基等直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基，其氫原子之一部份可被羥基、烷氧基、羧基、烷氧羰基、羰基、胺基、烷基胺基、氰基、氫硫基、烷硫基、磺基等所取代者 ;rL07至rL10可相互形成環（例如，rL07與、rL07 與 r L 0 9、r L 0 8 與 r L 1 0、r L 0 9 與 r L 1 0、r L 1 1 與 r L 1 2、 rU 3與RL14等），此時，爲碳數丨至Μ之可含有雜原子之2價烴基，或上記1價烴基之例示中去除1個氫原子所得者；又，RLQ7至RU6於相鄰接之碳進行鍵結時可無須夾有其他原子而鍵結，或形成雙鍵（例如rL07與、 rL09 與 RL15、RL13 與 RL15 等）。上式（L1)所示酸不穩定基中，具有直鏈狀或支鏈狀之取代基之具體例如下記之基。本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（ 210X297公釐） I----.I-^—φ-丨 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -18- 1284782 2 -環戊烯氧羰基經濟部智慧財產笱員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（16) v 上記式（Ll)所示酸不穩定基中之環狀取代基之具體例如四氫呋喃—2 —基、2 —甲基四氫呋喃—2 —基、四氫吡喃一 2—基、2—甲基四氫D比喃—2 —基等。上記式（L2 )所示酸不穩定基中之具體例如tert — 丁氧 ^基、tert — 丁氧鑛甲基、tert-戊氧碳基、tert —戊氧鑛甲基、1’ 1—二乙基丙氧羰基、1，1一二乙基丙氧羰甲基、1 -乙基環戊基氧羰基、1-乙基環戊基氧羰甲基、1 一乙基乙基一 2—環戊烯氧羰甲基、1一乙氧乙氧鑛甲基、2—四氫D比喃氧羯甲基、2-四氫咲喃氧羰甲基等。上記式（L3 )所示酸不穩定基之具體例示如1 -甲基環戊基、1 一乙基環戊基、1一 η-丙基環戊基、1 一異丙基環戊基、1一 η—丁基環戊基、1一 sec - 丁基環戊基、1一甲基環己基、1 一乙基環己基、3 —甲基一 1.二環戊烯一 3 —基、3 —乙基—1—環戊嫌一 3 —基、3 —甲基一 1 一環己細一 3 —基、3 —乙基一 1 一環己烯—3 —基等。上記式（L4 )所示酸不穩定基之具體例示如下記所示之基本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（21〇><297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-19- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1284782 A7 B7 五、發明説明（17)

又，R2°之酸不穩定基的三級烷基、三烷基矽烷基、羰烷基等則例如先前例示之內容° 又，R2°之酸不穩定基可單獨使用1種或將2種以上組合使用。使用多數種酸不穩定基時’可對圖型外形進行微調整。本發明之高分子化合物的製造方法，一般係由下記式 (1 a )所示化合物作爲第1單體’下記式（2 a )所示化合物作爲第1單體，再配合必要時所添加之1種或2種以上選自下記式（5 a )至（8 a )所示之化合物作爲第3種以後之單體，經共聚合反應而製得。

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-20- 1284782 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（18) A7 B7

(式中，R1至R2。、W、X、Y、Z、k具有與上記內容相同之意義）又’上記式（2 )之單體，例如Z爲CHCH2時，可以下記所示之方法製得。本發明之高分子化合物之製造方法中，係於 (1 )上記式（1 a )所示單體， (η)上記式（2a)所示單體之外，必要時再添加 (m)上記式（5a)至（8a)所示單體經共聚合而製得；或，更必要時，可再添加 (iv)上記式（U至（m)以外之含碳一碳雙鍵之單體’例如甲基丙烯酸甲酯、巴豆酸甲酯、馬來酸二甲酯、依康酸二甲酯等經取代丙烯酸酯類，馬來酸、富馬酸、依康酸等不飽和羧酸、原菠烯、原菠烯一 5 -羧酸甲酯等經取代原菠烯類’依康酸酐等不飽和酸酐或其他單體進行共聚合亦可。 ... 共聚合反應，係在考慮式（Π至（1V)所示單體之反應速率後以適當比例混合，或依必要性使其溶解於溶劑中 ’此時可與適當之聚合起始劑或觸媒共存，於適當溫度條件下、適當反應時間下進行反應。共聚合反應可以各種形 (请先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、言

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -21 - 1284782 A7 B7 五、發明説明（19) 式進行，具體之例示如自由基聚合反應等方法。自由基聚合反應之反應條件爲，.（a )溶劑係使用苯等烴類、四氫呋喃等醚類、乙醇等醇類、或甲基異丁酮等酮類’（b )聚合起始劑係使用2，2’ -偶氮雙異丁腈等偶氮化合物、或過氧化苯偶因、過氧化月桂醯等逛氧化物等， (c)反應溫度保持在〇°C至10(TC之範圍，（d)反應時間以在0.5小時至48小時間之範圍爲佳，但並非排除此範圍以外之情形。共聚合反應中，可適當地調整各單體之存在比例，以利於作爲光阻材料時可發揮出具有較佳性能之高分子化合物。此時，各構成單位之含量比例爲： (I )上記式（1 a )單體爲基礎之式（1 )構成單位爲〇莫耳％至50莫耳％，較佳爲20莫耳％至50莫耳％，更佳爲3 0莫耳％至5 0莫耳％。 (Π)上記式（2a)單體爲基礎之式（2)構成單位爲〇莫耳％至50莫耳％，較佳爲20莫耳％至50莫耳％，更佳爲3 0莫耳％至5 0莫耳％。 (Π )必要時，所添加之1種或2種以上以上記式（ 5a)至（8a)單體爲基礎之式（5)至（8)構成單位爲0莫耳％至50莫耳％，較佳爲20莫耳％至<50莫耳％，更佳爲 0莫耳％至2 0莫耳％。 (IV )更必要時，所添加之1種或2種以上以上記式 (iv)單體爲基礎之構成單位爲〇莫耳％至50莫耳％，較佳爲0莫耳％至30莫耳％，更佳爲0莫耳％至20莫耳％本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 Φ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -22- 1284782 A7 B7 五、發明説明（20) 〇但並不排除此範圍以外之情形。又，本發明所使用之含有上記式（1 )與式（2 )所示單位之高分子化合物，其重量平均分子量爲1，000至 5 00,000，較佳爲3,000至100,000。若超出此範圍時，會使耐蝕刻極端降低，且不能確保曝光前後之溶解速度差而造成解像度降低。又，本發明之高分子化合物極適合作爲光阻材料之基礎樹脂，而本發明即是以提供含有此高分子化合物之光阻材料爲特徵。本發明之光阻材料，係含有此高分子化合物與可感應高能量線或電子線以產生酸之化合物（以下簡稱酸產生劑 )與有機溶劑。本發明所使用之酸產生劑例如： 1.下記式（Pla— 1) 、（ Pla— 2)或（plb)之垄鹽， ϋ .下記式（P2 )之二偶氮甲烷衍生物， iii .下記式（Ρ3 )之乙二肟衍生物， iv .下記式（P4 )之雙磺酸衍生物， v .下記式（P5 )之N -羥基醯亞胺化合物之磺酸酯， vi . /3 —酮磺酸衍生物， ... νϋ .二磺酸衍生物， vffi.硝基苄基磺酸酯衍生物， ix .磺酸酯衍生物等。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

φ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -23- 1284782 A7 _____B7__ 五、發明説明（21) Γ ♦ R101a一_R1〇1c R1〇1a( Ri〇]b •C K*

Pla-1 Pla-2 (式中，R1Qla、R1Qlb、R1QlG各自爲碳數1至12之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基、烯基、羰烷基或羰基烯基，碳數6 至20之芳基，或碳數7至12之芳烷基或芳羰烷基等，此些基團中之部份或全部氫原子可被烷氧基等所取代。又， r 1 0 1 b與r 1 0 1 c可形成環，形成環時，r 1 〇 1 b、r 1 0 1 c各自爲碳數1至6之伸烷基。K —爲非親核性對向離子）。上記R1Qla、R1Qlb、R101c其相互間可爲相同或不同之基，具體例中，烷基例如甲基、乙基、丙基、異丙基、η —丁基、sec - 丁基、tert — 丁基、戊基、己基、庚基、辛基、環戊基、環己基、環庚基、環丙甲基、4 -甲基環己基、環己甲基、原菠烷基、金剛烷基等。烯基例如乙烯基、烯丙基、丙烯基、丁烯基、己烯基、環己烯基等。羰烷基例如2 -羰基環戊基、2-羰基環己基等、2-羰基丙基、2-環戊基—2 —碳基乙基、2—環己基—2—羯基乙基、2—（4 -甲基環己基）一 2—羰基乙基等；芳基例如苯基、萘基等或，P—甲氧基苯基、m—甲氧基苯基、〇—甲氧基苯基、乙氧基苯基、p— tert-丁氧基苯基、m^tert— 丁氧苯基等烷氧苯基，2 —甲基苯基、3 —甲基苯基、4 一甲基苯基、乙基苯基、4一 tert-丁基苯基、4 一丁基苯基、二甲基苯基等烷苯基，甲基萘基、乙基萘基等烷基萘基，甲氧基萘基、乙氧基萘基等烷氧基萘基，二甲基萘基、二乙基萘基等二烷本紙張尺度適用中國國家標準（ CNS ) A4規格（210X297公釐）一 -24- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 訂

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1284782 A7 B7 五、發明説明（22) 基奈基，二甲氧基萘基、二乙氧基萘基等二院基萘基；芳院基例如苄基、苯基乙基·、苯乙基等；芳羰烷基例如2 -苯基一 2〜羰乙基、2 -（1—萘基）一2 —羰乙基、2— (2 — 萘基）一 2—羰乙基等2 -芳基一 2—羰乙基等。K —非親核性對向離子，例如氯化物離子、溴化物離子等鹵化物離子 ’二氟甲酸鹽、1，1，1 一三氟乙院磺酸鹽、全氟丁院磺酸鹽等氟烷基磺酸鹽，甲苯磺酸鹽、苯磺酸鹽、4 -氟苯基磺酸鹽、1，2，3，4，5 —五氟苯基磺酸鹽等芳基磺酸鹽，甲磺醯鹽、丁烷磺酸鹽等烷基磺酸鹽等。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁}

κ* Plb -訂 (式中，R102a、R102b各自爲碳數1至8之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；R1 03爲碳數1至10之直鏈狀、支鏈狀或環狀伸烷基；R1()4a、R1()4b各自爲碳數3至7之2 —羰烷基 ;K ~~爲非親核性對向離子）。上記R102a、R102b之具體例如甲基、乙基、丙基、異丙基、η — 丁基、sec — 丁基、tert— 丁基、戊基、己基、庚基、辛基、環戊基、環己基、環丙甲基、4 -甲基環己基、環己基甲基等。R 1 Q3之具體例如伸甲基、伸乙基、伸丙基、伸丁基、伸戊基、伸己基、伸庚.基、伸辛基、伸壬基、1 ，4 —伸環己基、1，2 —伸環己基、1，3 —伸環己基、1，4 —伸環辛基、1，4 —伸環己二甲基等。R1Q4a、R1Q4b例如 2-羰基丙基、2-羰基環戊基、2-羰基環己基、2—羰基本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X：Z97公釐）

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -25- 1284782 A7 B7 五、發明説明（23) 環庚基等。K 一與式（Pla - 1)及（Pla - 2)所說明之內容相同 S〇2—R'06 P2 (式中，R1Q5、R1Q6爲碳數1至12之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基或鹵化烷基，碳數6至20之芳基或鹵化芳基或碳數 7至1 2之芳烷基）。 R1Q5、R1Q6之烷基例如甲基、乙基、丙基、異丙基、n 一丁基、sec - 丁基、tert-丁基、戊基、己基、庚基、辛基、環戊基、環己基、環庚基、原菠烷基、金剛烷基等；鹵 f請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 化烷基例如三氟甲基 1，1 一三氟乙基 1 一訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製氯乙基、九氟丁基等；芳基例如苯基、p-甲氧苯基、m-甲氧苯基、〇 —甲氧苯基、乙氧苯基、p — tert-丁氧苯基、 m - tert-丁氧苯基等烷氧苯基；2 —甲基苯基、3 —甲基苯基、4一甲基苯基、乙基苯基、4一 tert—丁基苯基、4 — 丁基苯基、二甲基苯基等烷基苯基；鹵化芳基之氟苯基、氯苯基、1，2，3，4，5 —五氟苯基等；芳烷基例如苄基、苯乙基等。 R107—S〇2- 〇109 -iNF==4~σ=Μ- -s〇2-r107

P3 (式中，R1Q7、R1Q8、R1Q9爲碳數1至12之直鏈狀、支鏈狀、環狀烷基或鹵化烷基，碳數6至20之芳基或鹵化芳基本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -26- A7 1284782 _B7___ 五、發明説明（24) ’或碳數7至12之芳烷基；R108、R1Q9可相互鍵結形成環狀構造，形成環狀構造時，R108、R109各自爲碳數1至6 之直鏈狀、支鏈狀之伸烷基）。 R107、r108、r1〇9之烷基、鹵化烷基、芳基、鹵化芳基、芳烷基之例示與R1Q5、R1Q6之說明內容相同；又， R1 08、R1 09之伸烷基則如伸甲基、伸乙基、伸丙基、伸丁基、伸己基等。

P4 (式中，Riaia、RlOlb具有與上記內容相同之意義。）。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11

R^° ΝΟ f PS 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，RU〇爲碳數6至10之伸芳基、碳數1至6之伸烷基或碳數2至6之伸烯基，此些取代基中氫原子之一部份或全部可再被碳數1至4之直鏈狀或支鏈狀之烷基或烷氧基、硝基、乙醯基或苯基所取代；R111爲碳數1至8之直鏈狀、支鏈狀或經取代之烷基、烯基或·院氧烷基、苯基、或萘基，此些取代基中氫原子之一部份或全部可再被碳數i 至4之烷基或烷氧基；碳數1至4之烷基、烷氧基、硝基、乙醯基或苯基所取代之苯基；碳數3至5之雜芳基；或氯原子、氟原子所取代亦可。）。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公羡) -~ - -27- 1284782 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（25) 其中’ R1 1 0之伸芳基例如丨，2 一伸苯基、丨，8 —伸萘基等；伸院基例如伸甲基、1，2 -伸乙基、1，3 -伸丙基、1，4 —伸丁基、1—苯基—1，2 —伸乙基、原菠烷—2，3 一二基等；伸烯基例如1，2 -伸乙烯基、1 一苯基一 1，2 -伸乙烯基、5 -原菠烷一 2，3 -二基等。R 1 1 1之烷基則與 R1 Ola至R101c:之內容相同，烯基例如乙烯基、1 —丙烯基、烯丙基、1 一丁烯基、3 - 丁烯基、異丁烯基、1 一戊烯基、3 -戊烯基、4 —戊烯基、二甲基烯丙基、1 一己烯基、3 一己烯基、5-己烯基、1一庚烯基、3-庚烯基、6—庚烯基、7 —辛烯基等；烷氧烷基例如、甲氧甲基、乙氧甲基、丙氧甲基、丁氧甲基、戊氧甲基、己氧甲基、庚氧甲基、甲氧乙基、乙氧乙基、丙氧乙基、丁氧乙基、戊氧乙基、己氧乙基、甲氧丙基、乙氧丙基、丙氧丙基、甲氧丁基、乙氧丁基、丙氧丁基、甲氧戊基、乙氧戊基、甲氧己基、甲氧庚基等。又’可再被取代之碳數1至4之烷基，例如甲基、乙基、丙基、異丙基、η-丁基、異丁基、tert - 丁基等，碳數1至4之烷氧基，例如甲氧基、乙氧基、丙氧基、異丙氧基、η-丁氧基、異丁氧基、tert 一丁氧基等；碳數丨至4 之烷基、烷氧基、硝基或乙醯基所取代之苯基，例如苯基、甲苯基、p — tert — 丁氧苯基、p —乙醯苯基、p —硝基苯基等；碳數3至5之雜芳基例如吡啶基、呋喃基等。具體而言，例如三氟甲烷碳酸二苯基碘鐵、三氟甲院石貝酸（p— tert- 丁氧苯基）苯基碘鑰、p-甲苯磺酸二苯基本紙張尺度適用巾關家縣（CNS ) A4規格（210X297公羞) · - -28- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

1284782 A 7 B7 五、發明説明（26) 碘鏺、p-甲苯磺酸（p - tert-丁氧苯基）苯基碘鑰、三氟甲烷磺酸三苯基銃、三氟甲烷磺酸（P 一 tert 一丁氧苯基）. 二苯基銃、三氟甲烷磺酸雙（P 一 tert 一丁氧苯基）苯基锍、三氟甲院磺酸三（p — tert- 丁氧苯基）銃、p—甲苯磺酸三苯基銃、P-甲苯磺酸（P - tert 一丁氧苯基）二苯基疏、 p—甲苯磺酸雙（p — tert— 丁氧苯基）苯基锍、P -甲苯磺酸三（p - tei*t-丁氧苯基）銃、九氟丁烷磺酸三苯基銃、丁院磺酸三苯基毓、三氟甲院磺酸二甲基疏、P -甲苯磺酸三甲基銃、三氟甲烷磺酸環己甲基（2 —羰基環己基）銃、 P -甲苯磺酸環己甲基（2 —羰基環己基）銃、三氟甲烷磺酸二甲基苯基銃、p —甲苯磺酸二甲基苯基锍、三氟甲烷磺酸二環己基苯基锍、p-甲苯磺酸二環己基苯基銃、三氟甲烷磺三萘基銃、三氟甲烷磺酸環己甲基（2 —羰基環己基）锍、三氟甲烷磺酸（2 -原菠烷基）甲基（2 —羰基環己基 )銃、乙烯雙[甲基（2 -羰環戊基）銃三氟甲烷磺酸酯]、1 ，2’-萘基羰甲基四氫硫鹽三聚物等鑰鹽；雙（苯磺醯基）二偶氮甲烷、雙（p—甲苯磺醯基）二偶氮甲烷、雙（二甲苯磺醯基）二偶氮甲烷、雙（環己磺醯基）二偶氮甲烷、雙（環戊磺醯基）二偶氮甲烷、雙（η — 丁基磺醯基）二偶氮甲烷 '雙（異丁基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（sec一丁基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（n —丙基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（異丙基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（tert-丁基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（η —戊基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（異戊基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（sec-戊基磺醯基）二偶氮甲本紙張尺度剌家縣（CNS )纟4規格（210X297公董1 ~ -29- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1284782 A7 ____B7 五、發明説明（27) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 烷、雙（tert —戊基磺醯基）二偶氮甲烷、1 一環己基磺醯基一 1 一（ tert - 丁基磺醯基）二偶氮甲烷、1一環己基磺醯基一 1一（tert-戊基磺醯基）二偶氮甲烷、1一 tert 一戊基磺醯基一 1 一（ tert 一丁基磺醯基）二偶氮甲烷等二偶氮甲院衍生物；雙一〇一（P 一甲苯磺醯基）一 ^ 一二甲基乙二月亏、雙一〇一（P 一甲苯磺基）一α —二苯基乙二月弓、雙一〇一（Ρ —甲苯磺醯基）一α —二環己基乙二肟、雙一〇一 (ρ—甲苯磺醯基）一2，3—戊二醇乙二肟、雙一〇一（ρ — 甲苯磺醯基）一 2 —甲基一 3，4 —戊二酮乙二肟、雙一〇一 (η— 丁烷磺醯基）一 α —二甲基乙二肟、雙一 ◦一（η — 丁烷磺醯基）—α 一二乙棊乙二肟、雙—〇一（η—丁烷磺醯基）一 α —二環己基乙二肟、雙一〇一（η— 丁烷磺醯基）經濟部智慧財產局員工消費合作社印製一 2，3 —戊一醇乙一月弓、雙一〇一（η— 丁院擴釀基）一2 — 甲基一 3，4 —戊二醇乙二肟、雙一〇一（甲烷磺醯基）一α 一二甲基乙二肟、雙一0—（三氟甲烷磺醯基）一α —二甲基乙二肟、雙一〇一（1，1，1一三氟乙烷磺醯基）一α — 二甲基乙二肟、雙一〇—（ tert—丁烷磺醯基）一 α —二甲基乙二肟、雙一〇一（全氟辛烷磺醯基）一α-二甲基乙二月弓、雙一〇一（環己烷磺醯基）一α —二甲基乙二肟、雙一〇一（苯磺醯基）一α —二甲基乙二月弓·-雙一〇一（ρ —氟基苯礦酸基）一 α —二甲基乙二月弓、雙一〇一（p— tert— 丁基苯磺醯）—α —二甲基乙二肟、雙一 ◦一（二甲苯磺醯基）一 α —二甲基乙二肟、雙一◦一（莰烷磺醯基）一α —二甲基乙二肟等乙二肟衍生物·，雙萘基磺醯甲烷、雙三氟甲基本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X29*7公釐） -30- 1284782 A7 ___ B7 _ 五、發明説明（28) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 磺醯甲烷、雙甲基磺醯甲烷、雙乙基磺醯甲烷、雙丙基磺醯甲烷、雙異丙基磺醯甲烷、雙一 P-甲苯磺醯甲烷、雙苯磺醯甲烷等雙磺醯衍生物；2 —環己基羰基一 2 —（ p -甲苯磺醯）丙烷、2-異丙基磺醯基一 2 -（p-甲苯磺醯基）丙烷等/3 -酮砸衍生物；二苯基二硕、二環己基二砸等二砸衍生物；p -甲苯磺酸2，6 —二硝基苯酯、p -甲苯磺酸2 ，4 一二硝基苯酯等硝基苯基磺酸酯衍生物；1，2，3 —三 (甲烷磺醯基氧）苯、1，2，.3-三（三氟甲烷磺醯基氧）經濟部智慧財產局員工消費合作社印製苯、1，2，3 -三（p -甲苯磺醯氧基）苯等磺酸酯衍生物。N -羥基琥珀醯亞胺甲烷磺酸酯、N -羥基琥珀醯亞胺三氟甲烷磺酸酯、N -羥基琥珀醯亞胺乙烷磺酸酯、N -羥基琥珀醯亞胺1 -丙烷磺酸酯、N -羥基琥珀醯亞胺2 -丙烷磺酸酯、N -羥基琥珀醯亞胺1 一戊烷磺酸酯、N -羥基琥珀醯亞胺1 -辛烷磺酸酯、N -羥基琥珀醯亞胺p -甲苯磺酸酯、N -羥基琥珀醯亞胺p —甲氧苯基磺酸酯、N —羥基琥珀醯亞胺2 -氯乙烷磺酸酯、N -羥基琥珀醯亞胺苯基磺酸酯、N -羥基琥珀醯亞胺一 2，4，6 -三甲基苯磺酸酯、N -羥基琥珀醯亞胺1 -萘磺酸酯、N -羥基琥珀醯亞胺2 -萘磺酸酯、N —羥基一 2 -苯基琥珀醯亞胺甲烷磺酸酯、N -羥基馬來醯亞胺甲烷磺酸酯、N -羥基馬來醯亞胺乙烷磺酸酯、N -羥基- 2 —苯基馬來醯亞胺甲烷磺酸酯、N —羥基谷氨醯亞胺甲烷磺酸酯、N -羥基谷氨醯亞胺苯磺酸酯、N -羥基鄰苯二甲醯亞胺甲烷磺酸酯、N-羥基鄰苯二甲醯亞胺苯磺酸酯、N —羥基鄰苯二甲醯亞胺三氟甲烷磺酸酯、N - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -31 - 1284782 Α7 Β7 五、發明説明（29) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製羥基鄰苯二甲醯亞胺p-甲苯磺酸酯、N-羥基萘基醯亞胺甲烷磺酸酯、N -羥基萘基醯亞胺苯磺酸酯、N -羥基- 5 -原菠烷基一 2，3 -二羧基醯亞胺甲烷磺酸酯、N -羥基一 5 一原菠烷基一 2，3 -二羧基醯亞胺三氟甲烷磺酸酯、N -羥基〜5-原菠烷基—2，3 —二羧基醯亞胺P -甲苯磺酸酯等 N -羥基醯亞胺之磺酸酯衍生物等；三氟甲烷磺酸三苯基銃、三氟甲烷磺酸（p — ter t — 丁氧苯基）二苯基锍、三氟甲烷磺酸三（p — tert-丁氧苯基.）硫、P —甲苯磺酸三苯基銃、p—甲苯磺酸（p — tert — 丁氧苯基）二苯基銃、p—甲苯磺酸三（p - tert - 丁氧苯基）銃、三氟甲烷磺酸三萘基銃、三氟甲烷磺酸環己基甲基（2—羰基環己基）銃、三氟甲烷磺酸（2-原菠烷基）甲基（2-羰基環己基）銃、1，2’ 一萘羧甲基四氫硫苯鑰三氯甲烷等鑰鹽；雙（苯磺醯基）二偶氮甲烷、雙（P—甲苯磺醯基）二偶氮甲烷、雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（η- 丁基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（異丁基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（sec-丁基磺醯基 )二偶氮甲烷、雙（n —丙基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（異丙基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（tert-丁基磺醯基）二偶氮甲烷等二偶氮甲烷衍生物；雙一〇一（ p 一甲苯磺醯基）一 α —二甲基乙二肟、雙一〇一（η— 丁烷-磺醯基）一α —二甲基乙二肟等乙二肟衍生物；雙萘基磺酸甲烷等雙磺酸衍生物等。又以Ν-羥基琥珀醯亞胺甲烷磺酸酯、Ν—羥基琥珀醯亞胺三氟甲烷磺酸酯、Ν -羥基琥珀醯亞胺1 一丙烷磺酸酯、Ν -羥基琥珀醯亞胺2 -丙烷磺酸酯、Ν -羥基琥珀本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格（2獻297公董) -- -32- A7 B7 !284782 五、發明説明（30) _亞胺1 -戊烷磺酸酯、N -羥基琥珀醯亞胺p -甲苯磺酸酯、N -羥基萘基醯亞胺甲烷磺酸酯、N -羥基萘基醯亞胺苯磺酸酯等N -羥基亞胺化合物之酯衍生物爲較佳。又，上記酸產生劑可單獨1種或將2種以上組合使用。鎗鹽有提高矩形性之優良效果，二偶氮甲烷衍生物及乙二肟衍生物具有優良之降低定在波之效果，兩者之組合可對圖型外幵多進行微調整。酸產生劑之添加量，以對.基礎樹脂100份（重量份，以下相同）較佳爲0.1〜1 5份，更佳爲〇. 5〜8份。若低於 0.1份時會有感度惡化之情形產生，高於1 5份時會使透明性降低而會產生解像性惡化之情形。本發明所使用之有機溶劑，只要是可以溶解基礎樹脂、酸產生劑、其他添加劑等之有機溶媒皆可以使用。此有機溶劑例如，環己酮、甲基—2 — η —戊酮等酮類；3 -甲氧基丁醇、3—甲基一3 —甲氧基丁醇、1—甲氧基一 2—丙醇、1一乙氧基一 2 —丙醇等醇類；丙二醇單甲基醚、乙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、乙二醇單乙基醚、丙二醇二甲基醚、二乙二醇二甲基醚等醚類；丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯、乳酸乙酯、丙酮酸乙酯、乙酸乙酯、3 —甲氧基丙酸甲酯、3 —乙氧基丙酸乙酯、乙酸 tert — 丁酯、丙酸tert — 丁酯、丙酸乙二醇一單一 tert — 丁醚乙酸酯等酯類，其可單獨使用1種或將2種以上混合使用，且不限定於上述化合物。本發明中，此些溶劑中對光阻成份中酸產生劑之溶解性最優良的除二乙二醇二甲基醚或1 本紙張尺度適用中國國家標準（ CNS ) A4規格（210X297公ft ) ~ '~一 -33 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -1^^. 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1284782 A7 B7 五、發明説明（31) -乙氧基- 2 -丙醇以外，其他如作爲安全溶劑之丙二醇單甲基醚乙酸酯及其他混合溶劑皆可以配合使·用。有機溶劑之使用量，以對基礎樹脂100份爲200至 1，000份，又以400至800份爲更佳。本發明之光阻材料中，可再添加與具有上記式（1 )與式（2 )所示單位之高分子化合物不同之其他高分子化合物上記其他高分子化合物的具體例，如具有下式（R1 ) 及/或下式（R2)所示單位之重量平均分子量1，〇〇〇〜 500,000，較佳爲5,000〜1〇〇,〇〇〇之高分子化合物，但並不受此內容所限制。 r002r® 900¾001 〇QQ2D〇Ot 500¼001

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H C02R009 )bZ -)c1. idr H C02R°14 H C02R015 (Ri) ，trm I :1 I I.- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) R005· ；006Λ007 C〇2 R014 t〇2R' 015 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 R®V01 if ^Y^Y~)a3· I '^8 rO W007 ’

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»0Q2»0Q H CO2R004 JH C〇2R015 f] A f ^016 Λ ( I J 1h* h Λ I ^016 ( I \ ^ )i· (R017):

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(R2) <OR01V

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -34- A7 B7 1284782 五、發明説明（32) (式中，R〇〇l爲氫原子、甲基或CH2C02R003 ; R002爲氫原子、甲基或C02RM3 ; RQQ3爲碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；RQQ4爲氫原子或碳數1至15之羧基或含羥基之1價烴基；RQQ5至RQQ8中至少1個爲碳數丨至15 之羧基或含羥基之1價烴基，其他爲各自獨立之氫原子或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；RQQ5至RQQ8 可相互形成環，此時RQQ5至RQQ8中至少丨個爲碳數1至 15之羧基或含烴基之2價羥基，其他爲各自獨立之單鍵或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基；R^9爲碳數3至15之含有—C〇2 —部分構造之1價烴基；RQ1〇至中至少1個爲碳數2至15之含有—C〇2 一部分構造之 1價烴基，其他部分爲各自獨立之氫原子或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；rq1〇至rQ13可相互形成環，此時R010至RQ13中至少1個爲碳數1至15之含有—C〇2 -部分構造之2價烴基，其他部分爲各自獨立之單鍵或碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基；RQ 1 4爲碳數 7至15之多環式煙基或含多環式煙基之院基；爲酸不穩定基；RQ 16爲氫原子或甲基；RQ 17爲碳數1至8之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；k’爲0或1 ; al’、a2’、a3’、bl’、 b2’、b3’、cl’、c2’、c3’、dl’、d2’、d3’-、e’爲 0 以上 1 以下之數，且滿足 al’ + a2’ + a3’ + bl’ + b2’ + b3’ + cl’ + c2’ + c3’ + dl’ + d2’+ d3 + e’ = l ;f’、g’、h，、Γ、爲 0 以上 1 以下之數，且滿足 f’ + g’ + h’ + i’+j’ = l 之數。）又，其各自取代基之具體例如R 1〜R2Q所示之內容。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） --^I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -35 - 1284782 A7 B7 五、發明説明（33) 上記具有式（1)與式（2)所示重複單位之高分子化合物與其他高分子化合物之配合比例，以10:90至90:10 ’ 又以20:80至80:20之重量比的範圍爲最佳。上記具有式（ 1)與式（2)所示單位之高分子化合物之配合比例低於此範圍時，作爲光阻材料時並不能得到較佳之性能。又，可以對上述配合比例作適當變更之方式，以對光阻材料之性能進行調整。又，上記其他高分子化合物並不僅限定添加1種，亦可添加2種以上。一般以使甩多數種高分子化合物之方式即可對光阻材料之性能進行調整。本發明之光阻材料，可再添加溶解控制劑。溶解控制劑爲平均分子量100〜1，〇〇〇，更佳爲150〜800之分子內具有2個以上苯酚性羥基之化合物，且該苯酚性羥基中之氫原子受酸不穩定基以全體平均之〇〜100莫耳％的比例取代所得之化合物，或分子內具有羧基之化合物且其羧基中之氫原子受酸不穩定基以全體平均之50至1〇〇莫耳％之比例取代的化合物。經濟部智慧財產局B(工消費合作社印製

—_____:--.—__ {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁J 訂又’苯酣性經基中氫原子受酸不穩定基取代之取代率 ’平均而言係對苯酚性羥基全體爲〇莫耳％以上，較佳爲 30莫耳％以上，其上限爲ι〇〇莫耳％，較佳爲8〇莫耳％; 羧基中氫原子受酸不穩定基取代之取代率，平均而言係對羧基全體爲50莫耳％以上’較佳爲7〇莫耳％以上，且其上限爲100莫耳。/Q 。一此時，上記具有2個以上苯酚性羥基之化合物或具有本紙張尺度適财關家標準（CNS ) A4規格（21GX297公釐 1 ------- -36 - 1284782 A7 B7 五、發明説明（34)羧基之化合物，例如下式（D 1 )〜（D 1 4 )所示化合物

(〇H)r ρ202 D4

(〇H), R201 '^r2〇vGf (〇H)f R20、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣·

D6

R201*· ^(〇H)f 訂

D8 yT^(〇H)r (OH)r A rS=^R7〇K

R201s„/— —'r2〇1. DIO 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

or

：H2)hC〇〇H D13 D12

(式中，R2()1、R2Q2各自爲氫原子、或碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基；R2Q3爲氫原子、或碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基、或—（R207) hC〇〇H ; R2(H 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

-37- 1284782 A7 B7 五、發明説明（35) 爲〜（CH2) i -（i = 2至10)、碳數6至10之伸芳基、羰 _、磺醯基、氧原子或硫原子；R2Q5爲碳數1至10之伸烷 ®、碳數6至10之伸芳基、羰基、磺醯基、氧原子或硫原子；R2Q6爲氫原子、碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基、烯基、或各自受烴基所取代之苯基或萘基；R207爲碳數1 至10之直鏈狀或支鏈狀伸烷基；R2Q8爲氫原子或烴基；j 爲〇至 5 之整數；u、h 爲 0 或 1 ; s、t、s，、t，、s’，、t，，爲各自滿足s + t = 8、s，+ t，= 5、s，’ + t，，= 4，且爲各苯酚骨架中至少具有一個羥基之數；α爲式（D8) 、（ D9)之化合物之分子量爲100至1，000之數。）上記式中，R2Q1、R2CI2例如氫原子、甲基、乙基、丁基、丙基、乙烯基、環己基；R203則例如與R2〇l、r2〇2爲相同之化合物，或一C〇〇H、一 CH2C〇〇H ; R204例如伸乙基、伸苯基、羰基、磺醯基、氧原子、硫原子等；r205例如伸甲基、或與R204爲相同之化合物；R2〇6例如氫原子、甲基、乙基、丁基、丙基、乙儲基、環己基、各自受經基取代之苯基、萘基等。其中，溶解控制劑之酸不穩定基例如下記式（L 1 )至 (L4 )所示之取代基、碳數4至20之三級烷基、各烷基之 fe數爲1至6之二院基砂院基、碳數4至2 0之鑛院基等。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

經濟部智慧財產局員工消夤合作社印製 -38 - 1284782 A7 B7 五、發明説明（36)

Run I ,

-C-0RU i02 (LI)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 I ,--·--— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、^1 (式中，RLQ1、RL〇2爲氫原子或碳數1至18之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；RL()3爲碳數1至18之可含有氧原子等雜原子之1價烴基；RLQ1與RL()2、RL()1與RL03、RL02與 RL()3可形成環，形成環時，RL()1、RL()2、RL03各自爲碳數1至1 8之直鏈狀或支鏈狀之伸烷基；RLQ4爲碳數4至 20之三級烷基、各烷基爲碳數1至6之三烷基矽烷基、碳數4至20之羰烷基或上記式（L1 )所示取代基；RL()5爲碳數1至8之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基或碳數6至20之可被取代之芳基；RU6爲碳數1至8之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基或碳數6至2.0之可被取代之芳基；R^7至RU6爲各自獨立之氫原子或碳數1至15之可含有雜原子之1價烴基 ;rL〇7至RL10可相互形成環，此時，可爲碳數1至15之可含有雜原子之2價烴基；又，RL()7至RL16於相鄰接之碳進行鍵結時，可無須夾有其他原子而形成雙鍵；y爲〇 g 6之整數；m爲0或l，n爲0、1、2或，且爲滿足 '2m + n = 2 或 3 之數）。上述溶解控制劑之添加量，以對基礎樹脂1 00份爲〇至50份，較佳爲5至50份，更佳爲10至30份，其可單獨或將2種以上混合使用。添加量未達5份時解像性會有未本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -39- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1284782 A7 ._ B7 ___ 五、發明説明（37) 能提昇之情形，超過5 0份時，會使圖型之膜產生衰減’而有使解像度降低之情形。又，上記溶解控制劑中，對具有苯酚性羥基或羧基之化合物，可以使用有機化學試劑以導入酸不穩定基之方式合成。此外，本發明之光阻材料可再添加鹼性化合物。鹼性化合物以可抑制因酸產生劑產生之酸在光阻膜內之擴散速度之化合物爲佳。添加鹼性化合物可抑制光阻膜中酸之擴散速度而使解像度提高，進而抑制曝光後之感度變化，降低基板或環境之依存性，而提昇曝光寬容度或圖型之外形等。. 此鹼性化合物例如可爲第1級、第2級、第3級脂肪 .族胺類，混合胺類、芳香族胺類、雜環胺類，具有羧基之含氮化合物、具有磺醯基之含氮化合物、具有羥基之含氮化合物、具有羥苯基之含氮化合物、醇性含氮化合物、醯胺衍生物、醯亞胺衍生物等。具體而言，第1級脂肪胺例如尿素、甲基胺、乙基胺、η —丙基胺、異丙基胺、η-丁基胺、異丁基胺、sec- 丁基胺、tert - 丁基胺、戊基胺、tert —戊基胺、環戊基胺、己基胺、環己基胺、庚基胺、辛基胺i壬基胺、癸基胺、月桂基胺、十六烷基胺、伸甲基二胺、伸乙基二胺、四伸乙基戊胺等；第2級脂肪胺族類例如，二甲基胺、二乙基胺、二一 η —丙基胺、二異丙基胺、二—n— 丁基胺、二異丁基胺、二一 sec - 丁基胺、二戊基胺、二環戊基胺、二己本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) " ' -40 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

1284782 A7 B7 五、發明説明（38) 基胺、二環己基胺、二庚基胺、二辛基胺、二壬基胺、二癸基胺、二月桂基胺、二鯨鱲基胺、N，N —二甲基伸甲基二胺、N，N—二甲基伸乙基二胺、N，N —二甲基四伸乙基戊胺等；第3級脂肪族胺類例如，三甲基胺、三乙基胺、二一 η —丙基胺、三異丙基胺、三一 η- 丁基胺、三異丁基胺、二-sec - 丁基胺、三戊基胺、三環戊基胺、三己基胺、三環己基胺、三庚基胺、三辛基胺、三壬基胺、三癸基胺、三月桂基胺、三鯨蠟基胺、N，N，N，，N，一四甲基伸甲基二胺、Ν，Ν，Ν’，Ν’一四甲基伸乙基二胺、N，N，N，，Ν’一四甲基四伸乙基戊胺等。又，混合胺類例如，二甲基乙基胺、甲基乙基丙基胺、戊基胺、苯乙基胺、苄基二甲基胺等。芳香族胺類及雜環胺類之具體例如，苯胺衍生物（例如苯胺、Ν -甲基苯胺、Ν—乙基苯胺、Ν —丙基苯胺、Ν，Ν-二甲基苯胺、2 — 甲基苯胺、3 —甲基苯胺、4一甲基苯胺、乙基苯胺、丙基苯胺、三甲基苯胺、二硝基苯胺、3 -硝基苯胺、4 一硝基苯胺、2，4 —二硝基苯胺、2，6 —二硝基苯胺、3，5-二硝基苯胺、Ν，Ν —二甲基苯胺等）、二苯基（ρ 一甲苯基）胺、甲基二苯基胺、三苯基胺、亞苯基二胺、萘基胺、二氨基萘、吡咯衍生物（例如吡咯、2Η -.應咯、1 一甲基吡咯、2 ’ 4 一二甲基吡咯、2，5 —二甲基吡咯、Ν —甲基吡咯等 )、噁唑衍生构（例如噁唑、異噁唑等）、噻唑衍生物（例如噻π坐、異噻n坐等）、咪π坐衍生物（例如咪哩、4 -甲基咪唑、4 一甲基一 2 -苯基咪唑等）、吡唑衍生物、呋喃衍本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）丨 ^--.— -- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -41 - 1284782 Α7 Β7 五、發明説明（39) 生物、吡咯啉衍生物（例如吡咯啉、2 一甲基_ 1 —吡咯啉等）、吡咯烷衍生物（例如吡咯院、N -甲基吡咯烷、吡咯院酮、N -甲基吡咯院酮等）、咪哩啉衍生物、咪嗤並吡u定衍生物、吡啶衍生物（例如吡啶、甲基吡啶、乙基吡啶、丙基吡啶、丁基吡啶、4〜（1一丁基苄基）吡啶、二甲基吡啶、三甲基吡啶、三乙基吡啶、苯基吡啶、3 —甲基一 2 一苯基吡啶、4 一 t 一丁基吡啶、二苯基吡啶、戊基吡啶、甲氧基吡啶、丁氧基吡啶、二甲氧基吡啶、1 一甲基一 2 —吡咯酮、4 一吡咯烷酮吡啶、1 一甲基一 4 —苯基吡啶、2 — ( 1 -乙基丙基）吡啶、氨基吡啶、二甲基氨基吡啶等）、噠嗪衍生物、嘧啶衍生物、吡嗪衍生物、吡唑啉衍生物、吡唑烷衍生物、哌啶衍生物、哌嗪衍生物、嗎啉衍生物、吲哚衍生物、異吲哚衍生物、1 Η —吲唑衍生物、吲哚啉衍生物、喹啉衍生物（例如喹啉、3 —喹啉羧腈等）、異喹啉衍生物、噌啉衍生物、_唑啉衍生物、喹喔啉衍生物、酞嗪衍生物、嘌呤衍生物、喋啶衍生物、咔唑衍生物、菲繞啉衍生物、吖啶衍生物、吩嗪衍生物、1，1 0 -菲繞啉衍生物、腺嘌呤衍生物、腺苷衍生物、鳥嘌呤衍生物、鳥苷衍生物、尿嘧啶衍生物、尿嗪衍生物等等。又，具有羧基之含氮化合物，例如氨基苯甲酸、吲哚羧酸、氨基酸衍生物（例如尼古丁酸、丙氨酸、精氨酸、天冬氨酸、枸椽酸、甘氨酸、組氨酸、異賴氨酸、甘氨醯白氨酸、白氨酸、蛋氨酸、苯基丙氨酸、蘇氨酸、賴氨酸、3 -氨基吡啶一 2 -羧酸、甲氧基丙氨基）等例；具有磺本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ 峰經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -42- 1284782 經濟部智慧財產局g (工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（40) 酸基之含氮化合物例如3 -吡啶磺酸、p -甲苯磺酸吡啶鑰等；具有羥基之含氮化合物，具有羥苯基之含氮化合物、醇性含氮化合物等例如，2 —羥基吡啶、氨基甲酚、2，4 — 喹啉二醇、3 —吲哚甲醇氫化物、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、N —乙基二乙醇胺、N，N—二乙基乙醇胺、三丙醇胺、2，2’ —亞氨基二乙醇、2 —氨基乙醇、3—氨基—1 一丙醇、4 一氨基一1 一丁醇、4 一（ 2 —羥乙基）嗎啉、2 —（ 2 —羥乙基）吡啶、1 — ( 2 —羥乙基）哌嗪、1 — [2 —（ 2 — 羥乙氧基）乙基]哌嗪、哌嗪乙醇、1 一（ 2 —羥乙基）吡咯火元、1 一（ 2 —經乙基）一 2 -吼略院酮、3 - 1:1比略院酮基一 1 ，2 -丙二醇、3 -吡咯烷酮基一 1，2 -丙二醇、8 -羥久洛尼啶、3 —喂啶醇、3 —托品醇、1 一甲基一2 —吡啶乙醇、1 一氮雜環丙烷乙醇、N -（ 2 -羥乙基）肽醯亞胺、N -（ 2 -羥乙基）異尼古丁醯胺等等。醯胺衍生物例如，甲醯胺、N—甲基醯胺、Ν，N—二甲基醯胺、乙醯胺、N—甲基乙醯胺、N，N—二甲基乙醯胺、三甲基乙醯胺、戊醯胺等。醯亞胺衍生物則例如酞醯亞胺、琥珀醯酵亞胺、馬來醯亞胺等。又，可再添加1種或2種以上選自下式（B1)所示之鹼性化合物。 ·- Ν(Χ)η(Υ)3.» Β1 (式中，η=1、2或3; Υ爲各自獨立之氫原子或直鏈狀、支本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-43- 1284782 A7 B7 五、發明説明（41) 鏈狀或環狀之fe數1至20之纟元基，且可含有羥基或醚基； X爲各自獨1之下δ己式（XI)至（χ3)所示之基，其中2 個或3個X可鍵結形成環。）

_r300 一〇一 r301 XI _r302-〇—r303 一芒一民304 X2 -r305-c-o-r308 X3 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(式中’ d d”爲碳數}至4之直鏈狀或支鏈狀之伸院基；R⑻爲氫原子、或_ 1至2〇之直鏈狀、支鏈狀或b狀k基’其可a有1個或多數個羥基、醚基、酯基或內酯環皆可；R3。3爲單鍵或碳數丨至4之直鏈狀或支鏈狀伸烷基）。上述（B1)所示化合物之具體內容，例如，三（2—甲氧甲氧基乙基）胺、三{2—（2〜甲氧乙氧基）乙基}胺' 三{2—（2—甲氧乙氧基甲氧基）乙基}胺、三丨2_ (1 一甲氧乙氧基）乙基}胺、二{2—（1〜乙氧乙氧基）乙基u安、三{2 -（1—乙氧丙氧基）乙基}胺、三[2 一（2一（2 —羥乙氧基）乙氧基}乙基]胺、4’ 7，13，16，21，24 —六氧—1 ’ 10- 二氮雑二環[8，8，8]二十六院，4，7，13，18 —四氧—丨，10 —二氮雜二環[8，5，5]二十烷，丄，4，1〇 ’ 13 — 四氧—7，16 —二氮雜二環十八烷，氮雜—a—冠一 4，1 —氮雜—15 —冠—5，1—氮雜—丨8〜冠一 ό，三（2 —甲醯氧乙基）胺，三（2-乙醯氧乙基）胺，三（2 一丙醯氧乙基 )胺，三（2- 丁醯氧乙基）胺，三（2 一異丁醯氧乙基）胺，三（2-戊醯氧乙基）胺，三（2 —己醯氧乙基）胺，N (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 ♦ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -44 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1284782 A7 _B7 ___ 五、發明説明（42) ，N 一雙（2—乙醯氧乙基）2—（乙醯氧乙醯氧基）乙基胺，胺’三（2 —甲氧羰氧乙基）胺，三（2 — — 丁氧羰氧乙基）胺，三[2—（ 2—羰丙氧基）乙基]胺，三[2—（甲氧羰甲基）氧乙基]胺，三[2 —（ tert—丁氧羰甲基氧基）乙基 ]胺，三[2-（環己基氧基羰甲基氧基）乙基]胺’三（2一甲氧羰基乙基）胺，三（2 一乙氧羰基乙基）胺’ N’ N一雙 (2 —羥乙基）2—(甲氧羰基）乙基胺，N，N—雙（2—乙醯氧基乙基）2—（甲氧羰基）乙基胺，N，N一雙（2 一經乙基）2—(乙氧羰基）乙基胺，N，N—雙（2—乙醯氧乙基）2—（乙氧羰基）乙基胺，N，N-雙（2 —羥乙基）2 — (甲氧乙氧羰基）乙基胺，N，N—雙（2 —羥乙基）2—（羥基乙氧羰基）乙基胺，N，N—雙（2—乙醯氧乙基）2 — (乙醯氧乙氧羰基）乙基胺’ N，N—雙（2 —羥乙基）2—[ (甲氧羰基）甲氧羰基]乙基胺，N，N —雙（2—乙醯氧乙基）2— [(甲氧羰基）甲氧羰基]乙基胺’ N，N-雙（2-羥乙基）2—(羰丙氧羰基）乙基胺，N，N—雙（2—乙醯氧乙基）2—（羰丙氧羰基）乙基胺，Ν’ N—雙（2—羥乙基）2-（四氫氧茂甲氧羰基）乙基胺，N，N-雙（2—羥乙基）2 - [2—(羰基四氫呋喃一 3 —基）氧羰基]乙基胺，N ，N-雙（2 —乙醯氧乙基）2-[(2 —羰基四氫呋喃一3-基）氧鑛基]乙基胺’ N，N-雙（2 -經乙基）2— (4-經基丁氧鑛基）乙基胺，Ν’ N —雙（2-甲醯氧乙基）2—（4 —甲醯氧丁氧羰基）乙基胺，N，N-雙（2 —甲醯氧乙基） 2—（甲醯氧乙氧羰基）乙基胺，n，N—雙（2 —甲氧乙基本紙張尺度適用中國國家襟準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) :---1_---- 訂 -45- 1284782 A7 B7 五、發明説明（43) )（甲氧羰基）乙基胺，n—（2—羥乙基）雙[2—(甲氧羰基）乙基]胺，N—（2 —乙醯氧乙基）雙[2—(甲氧鑛基）乙基]胺，N— (2 —羥乙基）雙[2—(乙氧羰基）乙基] 胺’ N— (2—乙醯氧乙基）雙[2—（乙氧羰基）乙基]胺， N〜（3 —羥基一 1 一丙基）雙[2—(甲氧羰基）乙基]胺，N 一（3 —乙醯氧基〜1 一丙基）雙[2 —（甲氧羰基）乙基]胺 ’N—(甲氧乙基）雙[2一（甲氧羰基）乙基]胺，n—丁基雙[2〜（2—甲氧乙氧羰基）乙基]胺，N〜甲基雙（2 —乙醯氧乙基）胺，N—乙基雙（2 —乙醯氧乙基）胺，N—甲基雙 (2 —三甲基乙醯氧氧乙基）胺，n—乙基雙[2 -（ tert—丁氧羰氧基）乙基]胺，三（甲氧羰甲基）胺，三（乙氧羰甲基）胺，N— 丁基雙（甲氧羰甲基）胺，N〜己基雙（甲氧羰甲基）胺，β —（二乙基胺）一（5 —戊內醯胺等。上記鹼性化合物之添加量以對酸產生劑1份爲0.001至 10份，較佳爲0.01至1份。添加量未達0.001份時添加劑之效果未能充分發揮，超過1 〇份時解像度或感度會降低。又，本發明之光阻材料，可再添加分子內具有三C-C〇〇H基之化合物。分子內具有ξ c— C〇〇H基之化合物，例如可使用由下記I群及II群中所選出之1種或2種以上之化合物，但並不限定於此些物質。添加本成份後，可提高光阻之PED安定性，並可改善氮化膜基板上之邊緣粗糙等問題。 [I群] 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） --.-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} —：—訂------— 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -46- 1284782 A7 B7 五、發明説明（44) 下記式（A 1 )至（A 1 0 )所示化合轨中苯酚性羥基中氫原子之一部份或全部受一R4Q1 — C〇〇H ( R4Q1爲碳，數1至10 之直鏈狀或支鏈狀伸烷基）所取代，且分子中苯酚性羥基 (C)與三C — c〇〇H所示之基（0)之莫耳比爲0/(〇0) =〇. 1至1.0之化合物。 [Π群] 下記式（A 1 1 )至（A 1 5 ).所示之化合物 (〇H)ti R402

A1 〇403 -----r--.I-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (〇H)c R402^ C(〇H)t2 (OH), R402, ：〇H)tj ,402

A4

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

㈣(0ΤΓυ°^>2$2 (〇H)t2

(其中，R4。8爲氫原子或甲基；R4。2、R4Q3各自爲氫原子或碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基；R4°4爲氫原子或 — 11 1 ίι 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -47- 1284782 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（45) 碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基’或—（R4°9) h -C〇〇R，基（R，爲氫原子或—R4°9 一 C〇〇H) ; R4。5爲 —(CH2) i— (i = 2至10) ’碳數6至10之伸芳基、鐵基、磺醯基、氧原子或硫原子；R4°6爲碳數1至1〇之伸烷基、碳數6至1 0之伸芳基、羰基、磺醯基、氧原子或硫原子 ;R4°7爲氫原子或碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基、烯基、各自受羥基取代之苯基或萘基；R4°9爲碳數1至1 〇之直鏈狀或支鏈狀伸烷基；R41°爲氫原子或碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基或一 R411 — COOH基；R411爲碳數1至 10之直鏈狀或支鏈狀伸烷基；j爲0至5之整；u、h爲0 或 1 ; si、tl、s2、t2、s3、t3、s4、t4 爲各自滿足 sl+tl = 8 、s2 + t2 = 5、s3 + t3 = 4、s4 + t4 = 6，且爲各苯基骨架中至少具有 1個羥基之數。/c爲式（A6 )化合物中重量平均分子量爲 1，000至5,000之數；λ爲式（A7 )化合物中重量平均分子量爲1，000至10,000之數。）本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-48- 1284782 A7 B7 五、發明説明（46) R402 COOH All

:OOH A12

(CH2)h*C〇〇H A14 A13

.- -I H - - · A ; —i V - ---. !! n (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (R4°2、R4Q3、R4U具有與前言己內容相同之意義；R412爲氫原子或羥基；s5、t5爲s5 2 0、t5 - 0，且爲滿足s5 + t5 = 5之數，h’爲 0 或1。）本成份之具體例如下記式AI — 1至14及All — 1至10 所示化合物，但並不限定於此些化合物。

、1T 4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -49- 1284782 Α7 Β7 五、發明説明（47)

ΑΙ·5

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

R“0,

AI-12 ：H2C〇〇R· AI-14 經濟部智慧財產局貞工消費合作社印製 (R"爲氫原子或CH2C〇〇H基，各化合物中R"之10至100 莫耳％爲CHiCO OH基，a、/c具有與前述內容相同之意義本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -50- 1284782 A7 B7 五、發明説明（48)

CHj—COOH AII-3 3H2COOH AII-5

l2COOH — -- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

!2COOH AII-9 AII-8

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製其中，上記分子內具有三C— C〇〇H基之化合物’可單獨使用1種或將2種以上組合使用。上述分子內具有三C 一 COOH基之化合物的添加量’一般對基礎樹脂100份爲0至5份，較佳爲0.1至5份’更佳爲0.1至3份，最佳爲0.1至2份，超過5份時會使光阻材料之解像性降低。又，本發明之光阻材料，可再添加作爲添加劑成份之炔醇衍生物，添加此衍生物可提高保存·之安定性。炔醇衍生物以使用下式（S 1 )、（ S2 )所示化合物爲佳。 * 11_1 ·ϋϋ ·ϋϋ 一心 mu 11.11 —HI— mu mfl mi In.— 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -51 - 1284782 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

五、發明説明（49) β5〇2 R501-^^-^^503 6-<CH2CH2〇)yH SI (式中，R5()1、R5。2、R5。3、R5。4、R5。5各自爲氫原子、或爲碳數1至8之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；X、Y爲0或正數，且爲滿足下記之數値，OS XS 30，30，0$ X + YS 40 ) ° 炔醇衍生物較佳者爲過苯酚61，過苯酚82，過苯酚 104，過苯酉分104E，過苯酉分104H，過苯酉分104A，過苯酉分TG ，過苯酚PC，過苯酚440，過苯酚465，過苯酚485 (氣體製造及化學公司製）、過苯酚E1 004 (日信化學工業（株）製）等。上記炔醇衍生物之添加量，以對光阻材料1 00重量％中爲0.01至2重量％，更佳爲0.02至1重量％。低於0.01 重量％時，則未能得到充份的塗布性及保存安定性之效果，超過2重量％時則會使光阻材料之解像性降低。本發明之光阻材料，可在爲提高塗佈性之目的上添加上記成份以外之任意慣用成份作爲界面活性劑。又，此任意成份之添加量爲在不妨礙本發明效果之範圍內之一般添加量。 … 其中，界面活性劑以非離子性者爲佳，例如全氟烷基聚氧乙炔醇、氟化烷酯、全氟烷基胺氧化物、全氟烷基E〇附加物、含氟有機矽氧烷系化合物等。例如氟萊特「FC -430」、「FC - 431」（皆爲住友3M公司製）、沙氟隆「S

I# (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 11. n HI n 11 嘩本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -52- 1284782 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（50) —141」、「S— 145」（皆爲旭硝子公司製）、優尼但「Ds 一 401」、「DS-.403」、「DS— 451」（皆爲大金工業公司製）、美格氟「F - 8151」（大日本油墨公司製）、rx — 70 — 092」、「X— 70 — 093」（皆爲信越化學工業公司製）等等。其中較佳者爲氟萊特「FC— 4 30」（住友3Μ公司製 )、「X— 70 — 093」（信越化學工業公司製）等等。使用本發明之光阻材料以形成圖型之方法，可採用公知之鈾刻印刷技術等，例如於晶圓等基板上以旋轉塗佈方式塗佈厚度0.3至2.0# m之膜，將其於熱壓板上以60至 15 0°C、1至10分鐘、較佳爲80至130°C、1至5分鐘之預熱。其次在上記光阻膜上覆蓋欲形成目的圖型之光罩後，以遠紫外線、等離子雷射線、X線等高能量線或電子線在曝光量爲1至200mJ/cm2左右，較佳爲10至l〇〇mJ/cm2下照射後’在熱壓板上以60至150°C、1至5分鐘，較佳爲80 至130°C、1至3分鐘之後照射熱培（PEB)。其後使用〇.1 至5% ，較佳爲2至3%四甲基銨氫氧化物（ΤΗ AM )等鹼性水丨谷液之顯影液’以0.1至3分鐘、較佳爲0.5至2分鐘間’以浸漬（d i p )法、微粒（p u d d 1 e )法、噴撒法（s p r a y )法等常用顯影方法於基板上形成目的之圖型。又，本發明之材料，最適合用於使用高能量線中J48至193nm之遠紫外線或等離子雷射線、X線及電子線所進行之微細圖型描繪。又，超出上記範圍之上限或下限以外時，可能會有無法得到目的圖型之情形產生。 I--Γ# (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) n n n 释 -1— r 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -53- 1284782 A7 B7 五、發明説明（51) 【發明之效果】 — 本發明之光阻材料，可感應高能量線，且具有優良的感度、解像性、耐蝕刻性等，故極適合用於電子線或遠紫外線所進行之微細加工。特別是對ArF等離子雷射、KrF等離子雷射等曝光波長之吸收較少，故極適合形成微細且對基板爲垂直之圖型。【實施例】以下將以合成例及實施例、比較例對本發明作更具體之說明，但本發明並不受下記實施例所限制。 [合成例] 本發明之高分子化合物，係依下記配方所合成者 [合成例l]P〇lymer 1之合成將 80.Og 之 3—(二環[2.2.1]— 2 —庚烯一 5 —基）—3 — 乙醯氧丙酸1一乙基環戊酯（將二環[2.2.1]— 5—庚烯—2 — 胺基甲醛與醋酸1 -乙基環戊酯於六甲基二矽胺鋰化物之存在下反應後所生成之羥基乙醯化方式合成），與24.5g馬來酸酐溶解於1公升之四氫呋喃中，再加入1.8g之2，2-偶氮雙異丁腈。於60°C下攪拌15小時後，減壓濃縮。再將所得殘渣溶解於400ml四氫呋喃中，隨後滴入10公升n —己烷中。將所生成之固形物濾出，再以1 0公升之η -己烷洗淨，於40°C下乾燥6小時，得59.5g下記式Polymer 1所本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ------.——II (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -^9·. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -54- 1284782 A7 B7 五、發明説明（52) 示高分子化合物。產率爲56.9% 。此高分子於波長193nm下之透過率’於膜厚50〇11111時爲 7 8.0°/〇。 [合成例2〜12]Polymer2〜12之合成依上記相同方法，或公知之方法合成Poly〜12。 I-------f —— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ,ιτ 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -55- 1284782 A7 B7 五、發明説明（53) (Polymer 1) (x-0.50, e-0.50, Mw-14,000) (-7—Γ-Χ

/t) (Polymer 2) (x-0.50, e-0.50, Mw-100)

(Polymer 3) (x-0.50, e-0.50, Mw-14,500)

-ι#ί(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (Polymer 4) (x-0.50, e-0.50, Mw-15,000) (-7~Γ-λ

>〇?^〇 Ή 訂 (Polymer ^ (x-0.50, e-0.50, Mw-13,800J*

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (Polymer 6) (x-0.50, e-0^0, Mw-15,100)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -56 1284782 A7 B7 五、發明説明（54) (Polymer 7) (χ^0.40, e-0^0, a-0.10, Mw-14^00)

(Polymer 8) (r-0.40, e-0.50, b-0.10, Mw-13^00)

(Polymer 9) (r-0.40, e*0.50, b«0.10, Mw*l4,500)

(Polymer 10) (x^0.40, e«0.50, b-0.10, Mw*15,000)

(Polymer 11) (x-0.40, e-0.50, b-0.10, Mw-il5^00) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (Polymer 12) (r-0.40, e-0.40, f-OJO, Mw-15,S00)

O 乂。- H CH3

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -57- 1284782 A7 B7 五、發明説明（55) [實施例I] 對本發明之光阻材料’評估其使用KrF等離子雷射曝光之解像性。 [實施例1一 1〜22]光阻解像性之評估使甩上記所得之聚合物（Polymerl〜12)作爲基礎樹脂，再將下記式所示酸產生劑（PAG1、2 )、下記式所示之溶解控制劑（DRR 1〜4 )、鹼性化合物、下記式所示之分子內具有三C 一 COOH基之化合物（ACC1、2 )與溶劑’依表1所示組成進行混合。隨後再其以鐵氟隆製過濾器（孔徑：0.2// m)過濾，以製得光阻材料。請先閱 % 背之注意事項再

♦ cf3so3* (PAG 1)

C4F9SO3* (PAG 2)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (DRR 1)

：o2h (ACC 1)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格(210X 297公釐） -58- 1284782 A7 __ B7 五、發明説明（56) 將所得光阻溶液以旋轉塗佈方式塗#於矽晶圓上，並使厚度爲0.5 /z m。再將此矽晶圓使用熱壓板進行130°C、90 秒之熱培。其後藉由KrF等離子雷射處理器（理光公司， NA二0.5)進行曝光，再於130〇C、90秒下進行熱培（PEB) 後，於2.3 8%之四甲基銨氫氧化物水溶液中進行顯影後而製得正型圖型。光阻材料之評估係依以下方法進行。首先測定感度（ Eth，mJ/cm2)。其次將0.3 0# m之線路與間隙以1:1解像之曝光量作爲最佳曝光量（感度：Eop，mJ7cm2)，使用此曝光量所可分離之線路與間隙之最小線寬（/z m )作爲評估光阻材料之解像度。顯影後之光阻圖型形狀係使用掃描型電子顯微鏡進行觀察。各光阻之組成及評估結果如表1所示。又，表1中，溶劑及鹼性化合物之說明則如下記內容。又，溶劑係使用含有0.05重量％之FC— 430(住友3M公司製）者。 PGMEA :丙二醇甲基醚乙酸酯 TBA:三丁基胺經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 TEA:三乙醇胺 TMMEA:三甲氧基甲氧基乙基胺 TMEMEA:三甲氧基乙氧基甲氧基乙·基胺本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -59- 1284782 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（57) [表1】實施例抝脂酸產生劑溶解控制劑鹼性化合物1 溶劑 1最適當露光量 d解傲度形状 Μ Polymer 1 (80) PAG 1(1) TBA (0. 078) PGMEA (480) 23.5 0. 22 矩形 1-2 Polymer 2 (80) PAG 1(1) TBA (0. 078) PGMEA (480) 20.0 0. 22 矩形卜3 Polymer 3 (80) PAG 1(1) TBA (0. 078) PGMEA (480) 21.5 0.22 矩形 1-4 Polymer 4 (80) PAG 1(1) TBA (0. 078) PGMEA (480) 24.0 0. 22 矩形 1-5 Polymer 5 (80) PAG 1(1) TBA (0. 078) PGMEA (480) 25.0 0. 24 矩形 1-6 Polymer 6 (80) PAG 1(1) TBA (0. 078) PGMEA (480) 24.0 0. 22 矩形 1-7 Polymer 7 (80) PAG 1(1) TBA (0. 078) PGMEA (480) 21.0 0.22 矩形 1-8 Polymer 8 (80) PAG 1(1) TBA (0. 078) PGMEA (480) 20.0 0.22 矩形 1-9 Polymer 9 (80) PAG 1(1) TBA (0. 078) PGMEA (480) 20.0 0.22 矩形 1-10 Po1ymer 10 (80) PAG 1(1) TBA (0. 078) PGMEA (480) 20.5 0.22 矩形 1-11 PoIymer 11 (80) PAG 1(1) TBA (0. 078) PGMEA (480) 21.0 0. 22 矩形 M2 Polymer 12 (80) PAG 1(1) TBA (0. 078) PGMEA (480) 24.5 0.22 矩形 1-13 Polymer 2 (80) PAG 2(1) TBA (0.078)- PGMEA (480) 21.0 0.22 矩形 1-14 Polymer 2 (80) PAG 2Cl) TEA (0. 063) PGMEA (480) 22.5 0. 20 矩形 1-15 Polymer 2 (80) PAG 2Cl) TMMEA (0. 118) PGMEA (480) 23.0 0.20 矩形 1 -16 Polymer 2 (80) PAG 2(1) TMEMEA (0. 173) PGMEA (480) 23.0 0.20 矩形 1-17 Polymer 3 (70) PAG 2(1) DRR 1 (10) TMMEA (0. 118) PGMEA (480) 21.5 0. 22 矩形 1-18 Polymer 3 (70) PAG 2(1) • 〆 DRR 2 (10) TMMEA (0. 118) PGMEA (480) 20. 5 0. 20 矩形 1-19 Polymer 3 (70) PAG 2(1) DRR 3 (10) TMMEA C〇. 118) PGMEA (480) 24.0 0.22 矩形 Ι-20 Po1ymer 3 (70) PAG 2(1) DRR 4 (10) TMMEA (0. 118) PGMEA (480) 22.0 0.20 矩形 Ι-21 Polymer 3 (80) PAG 2(1) ACC 1 (4) TMMEA (0. 118) PGMEA (480) 23.0 0.20 矩形 Ι-22 Polymer 3 (80) PAG 2(1) ACC 2 (4) TMMEA (0. 118) PGMEA (480) 24.0 0.20 矩形 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) d 訂本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -60- 1284782 A7 __ B7 五、發明説明（58) 依表1所示結果得知，本發明之光姐材料於KrF等離子雷射曝光下，較以往產品具有更高之感度與解像性。 [實施例II] 對本發明之光阻材料，評估其使用ArF等離子雷射曝光之解像性。 [實施例 Π — 1、2 ]光阻解像性之評估與上記相同方法般，依表2組成內容製作光阻材料。將所得光阻丨谷液以旋轉塗佈方式塗佈於政晶圓上，並使厚度爲0.5 a m。再將此矽晶圓使用熱壓板進行130。(：、90 秒之熱培。其後藉由ArF等離子雷射處理器（理光公司， ΝΑ = 0·55)進行曝光，於ll〇°C、90秒下進行熱培（PEB) 後，於2 · 3 8%之四甲基銨氫氧化物水溶液中進行顯影後而製得正型圖型。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製光阻材料之評估係依以下方法進行。首先測定感度（ Eth ’ mJ/cm2 )。其次將0.25 // m線路與間隙爲1:1之解像度的曝光量作爲最佳曝光量（感度：E〇p，m]/cm2)，使用此曝光量所可分離之空間與線路之最小線寬（μ m )作爲評估光阻材料之解像度。顯影後之光阻圖型.形狀係使用掃描型電子顯微鏡進行觀察。各光阻之組成及評估結果如表2所示。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X297公釐） -61 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1284782 A7 _ B7 五、發明説明（59) [表2] 實施例樹脂酸產生劑溶解控芾U 劑鹼性化合物溶劑最適當露光量解像度形狀 11-1 Polymer 2 PAG TEA PGMEA 16.0 0.15 矩形 (80) 2(1) (0.063) (480) 11-2 Polymer 3 PAG DRR 4 TMMEA PGMEA 15.0 0.15 矩形 (70) 2(1) (10) (0.118) (480) ；由表2之結果得知，本發明之光阻材料對於ArF等離 I子雷射之曝光，具有更高之感度與解像度。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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Claims

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製六、申請專利範圍第901 10040號專利申請案中文.申請專利範圍修正本w - k賢$ ，民國92、年Λ4 ^ β庄修1谁 1、一種重量平均分子量1，000至500,000之高分手^匕合物’其係含有下記式（4)與式（2)所示單位者；卡 4 R

R4

(2) (式中，R1爲氫原子、甲基或CEUCChR3 ; R2爲氫原子、甲基或CChR3 ; R3爲碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之院基；R4爲鹵素原子或碳數1至15之醯氧基、烷氧羰氧基本紙張尺度逋用中國國家梂準（CNS)A4規格（210x297公釐） (請先聞-tl背面之注意事項再填寫本頁)

裝· 訂 1284782 A8 B8 C8 _ D8 六、申請專利範圍或烷基磺醯氧基，其結構碳原子上之氫原子的一部份或全部可被鹵素原子所取代；R5爲氫原子或碳數1至10之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；Z爲單鍵或碳數1至10之直鏈狀、支鏈狀或環狀之2價烴基；k爲0或1; Y爲可含有雜原子之碳數4至15之2價烴基，可與鍵結於兩端之碳原子共同形成環；W爲一 0-或一.（NR) -，R爲氫原子或碳數1 至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基）。 2、如申請拿利範圍第1項之高分子化合物，其尙含有 1種或2種以上選自下記式（5 )至（8 )所示單位省；

(式中，R 1、. R2、k具有與上記相同之內容；R"至R14中至少1個爲碳數1至15之羧基或含羥基之1價烴基，其他部分爲各自獨立之氫原子或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；R11至R14可相互形成環，此情形時，R11至 R14中至少1個爲碳數1至15之羧基或含羥基之2價烴基，其他部分爲各自獨立之單鍵或碳數1至15之直鏈.狀、支鏈狀或環狀伸烷基；R15至R18中至少1個爲碳數2至15之含 - COa-部分構造之1價烴基，其他部分爲各自獨立之氫原子或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；R15至R18 ^紙張尺度逋用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐) 7^1 _ (請先背面之注意事項存壤寫本萸) 訂

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1284782 A8 B8 C8 D8 々、申請專利範圍可相互形成環，此情形時，5至r18中至少1個爲碳數1 至15之含一 C〇2-部分構造之2價烴基’其他部分爲各自獨立之單鍵或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀伸烷基 ;R19爲碳數7至15之多環式烴基或含有多環式烴基之烷基 ;R2°爲酸不穩定基；X爲一 CH2—或一 0-)。 3、一種光阻材料，其係含有申請專利範圍第1項或第 2項之高分子化合物者。 4、一種形成圖型之方法，其特徵係包含將申請專利範圍第3項之光阻材料塗佈於基板上之步驟與，於加熱處理後介由光罩使用高能量線或電子線進行曝光之步驟與’必要時於加熱處理後使用顯影液進行顯影之步驟。 i^wl, (請先聞令背面之注意事項再填寫本頁) 訂-

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度逋用中國國家棣準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -3 -