TWI273350B - Photoacid generating compounds, chemically amplified positive resist materials, and pattern forming method - Google Patents

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1273350 …a? B7 五、發明説明（i) 〔發明之所屬領域〕 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係有關產生特定之含氟基之烷基醯亞胺酸之鑰 鹽，及含有此鑰鹽爲特徵之波長300 nm以下之高能量線曝 光用光阻材料，及使用此光阻材料之圖案之形成方法。 〔習知技術〕 近年隨著L S I之高集成化與高速化，要求圖型刻線 微細化中，遠紫外線微影及真空紫外線微影可能成爲下一 代之微細加工技術。 目前使用K r F準分子雷射之微影生產0.15 μιη線距 之尖端半導體，也開始生產〇·13 μιη線距。目前迫切希望能 實現以A r F準分子雷射光爲光源之微影對於0.13 μιη以 下之超微細加工是不可或缺之技術。 特別是以A r F準分子雷射光爲光源之微影， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 爲了精密及防止昂貴之光學系材料之劣化，而要求以 少量之曝光量即可發揮充分之解像度之高感度之光阻材料 。實現高感度之光阻材料之對策，最常見是選擇波長193 nm之下爲高透明之各組成物。例如對於基體樹脂提案聚 丙烯酸及其衍生物、降冰片烷-馬來酸酐交互聚合物、聚 降冰片烷及開環歧化開環聚合物等，從提高樹脂單體之透 明性的觀點，可得某程度的效果。但是目前的狀態是提高 透明性時，酸產生效率降低，結果變成低感度或熱安定性或 保存安定性不佳，而無法達到實用的階段。 例如專利文獻1、專利文獻2、專利文獻3等所提案 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -5- 1273350 Α7 Β7 五、發明説明（2 ) 之烷基锍鹽之透明性非常高，但是酸產生效率不足，且熱安 定性不佳，因此不適合。專利文獻4等所提案之烷基芳基 锍鹽之透明性與酸產生效率之平衡性佳，感度也高，但是熱 安定性、保存安定性不佳。可使用K I* F準分子雷射之微 影之芳基锍鹽，其酸產生效率、熱安定性、保存安定性優 異，但是透明性明顯降低，顯影後之圖案成爲尖銳之圓錐狀 。爲了補足透明性而將光阻形成薄膜，但是此時光阻膜之 耐蝕刻性明顯降低，因此不適合作爲形成圖案的方法。 這些報告主要是改變鑰鹽之陽離子側之結構的情形， 在解像性或圖案形狀方面與產生之酸的種類及酸不穩定基 之種類有密切的關係。例如乙多種報告檢討改變K r F微 影用之聚羥基苯乙烯及聚羥基苯乙烯/ (甲基）丙烯酸酯 共聚基體之光阻的酸種類。例如專利文獻5記載添加產生 樟腦磺酸之酸產生劑時，可得到良好之圖案形狀。但是具 有脂環結構之A r F用聚合物時，酸脫離之反應性低，即使 與聚羥基苯乙烯及聚羥基苯乙烯/ (甲基）丙烯酸酯共聚 物酸脫離基相同，樟腦磺酸也不會進行脫離反應。（甲基 )丙烯酸酯係指甲基丙烯酸酯及/或丙烯酸酯。 鐵鹽之陰離子側主要係使用酸性度較高之氟化烷基磺 酸。氟化烷基磺酸例如有三氟甲烷磺酸、九氟丁烷磺酸、 十六氟辛烷磺酸。例如也有氟取代或氟烷基取代之芳基磺 酸。具體而言，例如有4-氟苯磺酸、3-苯磺酸、2-苯磺酸 、2,4-二氟苯磺酸、2,3-二氟苯磺酸、3,4-二氟苯磺酸、 2,6 -一氟本細酸、3,5 - _*氟ί苯礦酸、2,3,4 -二氧苯礦酸、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公屢：） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝

•II 經濟部智慈財產局員工消費合作社印災 1273350 A7 B7 經濟部智慧財/1局員工消費合作社印^ 五、發明説明（） 3,4,5-三氟苯磺酸、2,4,6-三氟苯磺酸、2,3,4,5,6-五氟苯磺 酸、4 -三氟甲基苯磺酸、5 -三氟甲基苯磺酸、6 -三氟甲基 苯磺酸、4-三氟甲基萘基-2-苯磺酸等。 促進微細化之同時，產生線邊緣粗糙及孤立圖案與密 集圖案之尺寸差（I/G偏差）的問題。以往已知道即使光 罩上之尺寸相同，也會產生顯影後之孤立圖案與密集圖案 之尺寸差。特別是超過波長之尺寸，上述的問題嚴重。此 乃是因密集圖案與孤立圖案之成像之光干擾不同，產生光 學強度不同的緣故。 例如圖1係表示在波長248nm、NA0.6、σ 0.75之光 學條件下，以0.1 8μιη之線間距爲橫軸，產生變化時之線的 尺寸爲縱軸。在〇·36μιη間距（0.18μιη線、0·18μιη空間） 下，線尺寸規定爲0.18μιη時，光學像之尺寸隨著間距之擴 大，一度變細，之後變粗。接著表示得到顯影後之光阻線尺 寸的結果。光阻尺寸與光學像之尺寸係使用KAL-TENCOL 公司（舊 Finle Technologies Inc·)所販售之虛擬軟體 PR〇LITH2Ver.6.0。光阻尺寸係隨著間距之擴大而變細，再 增加酸擴散，變得更細。 單獨圖案之尺寸比密集圖案更細之疏密依賴性之問題 嚴重。降低疏密依賴性的方法由上述虛擬的結果可知減少 酸擴散之方法爲有效的方法。 但是過度降低酸擴散時，顯影後之光阻圖案之側壁會 因常駐波產生凹凸或表面粗糙，或產生線邊緣粗糙的問題 。例如使用前述KAL-TENCOL公司之虛擬軟體 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 -線 1273350 A7 B7 五、發明説明（） PR〇LITH2Vei*.6.0,在Si基板上，改變酸擴散距離時之 0.1 8 μιη線間距圖案之光阻斷面形狀計算結果如圖2所示 〇 酸擴散距離越小，因常駐波所產生之側壁之凹凸越明 顯。由上空SEM所觀察之線邊緣粗糙度也有相同的傾向， 換言之，酸擴散越小時，線邊緣粗糙度越大。一般的方法係 增加酸擴散距離，以降低線邊緣粗糙度，但是無法更進一步 改善疏密依賴性。 圖1中，酸擴散距離越大時，間距較小之緊密之圖案與 間距較大之疏鬆之圖案之尺寸差越大。換言之，疏密依賴 性越高。降低線邊緣粗糙度及降低疏密依賴性係協調（ trade-off)的關係，很難兩者兼得。 改善線邊緣粗糙度的方法例如有提高光之對比的方法 。例如相同曝光波長時，線寬之尺寸越大，則線邊緣粗糙度 越小，且即使相同曝光波長、相同尺寸下，步進機之N A越 高時，重覆圖案之情形係變形照明（例如輪帶照明、4重 極照明）之線邊緣粗糙度低於一般照明，而相位移光罩低 於通常之Cr光罩。

圖案之線邊緣之光學對比與線邊緣粗糙度有關，線邊 緣之光學對比越尖銳時，線邊緣粗糙度越小。又，在曝光 波長方面，可預見短波長曝光可形成較小之線邊緣粗糙度 。但是非專利文獻記載比較K r F曝光與A ! F曝光之 線邊緣粗糙度時，應該是相當於A r F曝光之短波長之程 度，光學對比提高，線邊緣粗糙度降低，但是實際上，K r F 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝 訂 經濟部智毯財1局員工消費合作社印製 1273350 A7 --------- B7 __五、發明説明（5 ) 曝光較佳。此乃是因爲KrF與A rF之光阻材料之性 能差異所造成的，特別是A rF曝光之材料所引起之線邊 緣粗糙度嚴重，今後期待改善線邊緣粗糙度，同時不影響疏 密依賴性之酸產生劑。 〔專利文獻1〕 曰本特開平7-25846號公報 〔專利文獻2〕 曰本特開平7-28237號公報 ιμι—！#_裝丨丨 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 〔專利文獻3〕 日本特開平8-27 102號公報 〔專利文獻4〕 曰本特開平1 0-3 1 958 1號公報 訂 經濟部智慧財產局工消費合作社印製 〔專利文獻5〕 美國專利第5744537號 〔非專利文獻〕 SPIE3999,264,（ 2001 ) 〔發明欲解決的問題〕 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） 1273350 A7 B7 五、發明説明（） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係有鑒於上述問題而完成者，本發明之目的係 提供對於300 nm以下之高能量線爲高感度、高解像，線邊 緣粗糙度低，且熱安定性、保存安定性優異之新穎的酸產 生劑及含有此酸產生劑之高解像性光阻材料、使用該光阻 材料之形成圖案的方法。 〔解決問題的方法〕 本發明者爲了解決上述目的而精心檢討的結果，發現 產生含氟基之烷基醯亞胺酸，理想爲以下述一般式（1)或 (2 )表示之Μ或碘鑰鹽對於300 nm以下之高能量線爲高 感度，且具有充分之熱安定性及保存安定性，含有含氟基之 烷基醯亞胺酸之化學增幅正型光阻材料具有高解像性，且 可改善線邊緣粗糙度及疏密依賴性，極適用於精密之微細 加工。 即，本發明係提供一種以下述一般式（1 )表示之光酸 產生化合物，其特徵係， R3\· 經濟部智毯財產局員工消費合作社印製 0

S R1 ⑴ 宁fiS〇2S〇2 Rf2 式中R1爲碳數2〜8之伸烷基；R2爲單鍵、氧原子 4α 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X 29*7公釐） 1273350 A7 B7 五、發明説明（7 ) 氮原子或碳數1〜4之伸烷基。R 3爲碳數1〜8之直鏈狀 、支鏈狀或環狀之烷基、或碳數6〜10之芳基、碳數1〜 4之烷基、碳數1〜4之氟化之烷基、碳數1〜4之烷氧基 、碳數1〜4之氟化之烷氧基、可被硝基、氰基、氟原子 、苯基、取代苯基、乙醯基或苯醯氧基取代。Rfi、Rf2其 中之一或兩者爲含有至少一個以上之氟原子之碳數1〜20 之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基、可含有羥基、羧基、酯 基、醚基或芳基、Rf!、Rf2僅有其中之一爲至少含有一個 以上之氟原子之碳數1〜20之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷 基時，另一爲碳數1〜20之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基 、可含有羥基、羧基、酯基、醚基、或芳基。Rfi與Rf2 鍵結可形成環）。 本發明係提供一種化學增幅正型光阻材料，其係由含 有基體樹脂、酸產生劑及溶劑所成之化學增幅正型光阻材 料，其特徵係該酸產生劑爲產生含氟基之烷基醯亞胺酸，及 形成圖案之方法，其特徵係含有將該化學增幅正型光阻材 料塗布於基板上之步驟；加熱處理後，經由光罩以波長 3 00 nm以下之高能量線進行曝光之步驟；加熱處理後， 使用顯影液顯影之步驟。 〔發明之實施形態〕 以下更詳細說明本發明。 本發明使用之酸產生劑，其特徵係產生含氦基之院基 醯亞胺酸，理想爲以上述一般式（1)或（2)表示之纟翁鹽 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------¢-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財/i局員工消費合作社印製 1273350 A7 B7____ 五、發明説明（8 ) Ο ψ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) S〇2 (R4)〆 f S02

Rf2 (2) 一般式（1)中，R1爲碳數4或5之伸焼基。一般式 (1)中，R 3爲苯基或萘基。 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 一般式（1 )或（2 )中，Rf!、Rf2其中之一或兩者爲含 有至少一個以上之氟原子之碳數1〜20之直鏈狀、支鏈狀 或環狀之烷基、可含有羥基、羧基、酯基、醚基或芳基、 Rfi、Rf2僅有其中之一爲至少含有一個以上之氟/原子之碳 數1〜20之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基時，另一爲碳數1 〜20之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基、可含有羥基、羧 基、酯基、醚基 '或芳基。Rf!與Rf2鍵結可形成環。R 1 爲相同或不相同之碳數1〜12之直鏈狀、支鏈狀或環狀之 烷基、可含有羰基、酯基、醚基、硫醚基或雙鍵，或碳數 6〜12之芳基或碳數7〜20之芳烷基，M·爲碘鑰或锍，η爲2 或3。 一般式（1)或（2)中，陰離子部份係含氟基之烷基 醯亞胺陰離子，改變Rfi與Rh之組合可形成多種的組合，雖 無法全部列舉，但是可例舉如下述者。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ297公釐） 1273350

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7 B 月2F502,02F3)-2 明 C—S N-S c 1 rtr Jf\ 説 明F36\02F3-1 务 CS.NS01) 五 9 C2FS02N-S02-C2F5 4F902,02F3Y C s-N-S-C \r 4F902-022F5)-5 GISINISIC 1 4F902,024F9I C-?N,S-C1) /(\ 3 3 F F c C 2 2 2 2 3 Ho, Q Η)-C'S'N'SC Ό /(X F3 Η202.02F37 C'S'N'SC ) i— /__\

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•HI s02」NJIc2F51)-3 02·024Fh3 SINISIC 1 2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） Φ 1273350 A7 B7 五、發明説明（1Q ) 一般爲了控制酸擴散距離，通常的方法係以產生酸之 分子量來控制。例如增加酸擴散距離時，添加產生全氟院 基之鏈長較短之磺酸之酸產生劑，相反的，欲減少酸擴散距 離時，添加產生全氟烷基之鏈長較長之磺酸之酸產生劑。 但是以往使用之全氟烷基磺酸或全氟芳基磺酸係以1個院 基或芳基之長度控制酸擴散距離，因此，無法嚴密控制酸擴 散距離。但是本發明所列舉之含氟基之烷基醯亞胺酸因有 2個烷基，因此可組合2個不同鏈長之烷基之各種組合，可 嚴密控制酸擴散距離。而且即使烷基鏈長相同，含氟基之 烷基醯亞胺酸之酸擴散距離有比全氟烷基磺酸更短的傾向 〇 一般式（1 )所示之鑰鹽化合物，具體例有下述所示者 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 44 1273350 A7 B7 五、發明説明（ 11 "•lE-'si a,〔 ό ''Sc-'w 人-rr /Λο α wl—solN-sowl wt-r-sol-wl Λi si-sollic-s-w o α δ-ϊκ-50丨S Τ-Ό Co 6 6 M.—arxa: r〇 «8.«·-?°«. <0 wt-8r-8t_wt 6Λ0 SI i-it-soi-s 20 ί-ί-pr-sol丨 Sf ΟΛ0 ί-Γ—ί-a: \ s,丨soa-N--lwx wl丨so-fr-sch-Kf >rsol!E,sot-Br h^0 Rr-»I>?rso—w ό ΑΦΓΟ wt—»lN-«h-w» ΡΟΛό ''^.30-ΟΛό cwwt-sfH-v-solKrtH0 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝- 丫b-ro Mi丨sot-fi—wi ΛΟΛ0 wl-so*-vioa-s Q?0 wl—»l-ir»x.i*q-b-coc

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Krl»l-N*-soJi ό w—so-JCsoKr ό Kr丨so-N--sotlRr rvro i-f-rsolw» 0X0 roo s-ihv.solwl 訂 經濟部智慧財4局M工消費合作社印製 λ «i-Jr$oRr κό o、 ί-»1-Ν·-501—*Γ1 ik-JT-SOJ-s X ζο o、 ίχ,ν-χΜΙ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1273350 經濟部智慧財4局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（12) 本發明之鑰鹽限定產生之酸的結構，換言之，限g _ II 子部份，但未限定陽離子部份。一般式（2 )中，]y [例如有* 硫原子、碘原子。一般式（2)可以一般式（2) -s、( 2 )-I表示。具體例如有下述結構。

B5 S02 R-S" ^ R S02 r7s〇2 ί g 1 R S02 Rfz (2)-s (2H R 5、R 6、R 7爲相同或不相同之碳數1〜12之直鏈 狀、支鏈狀或環狀之烷基、芳基、芳烷基，R 5與R 6或 R 6與R 7、R 5與R 7分別鍵結可形成環。R 8與R 9爲 相同或不相同之碳數6〜20之芳基，R 8與R 9分別鍵結可 形成環。 一般式（2 ) 4之具體例如下述結構。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公缝） ^-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、τ

1273350 A7 B7 五、發明説明（13)

R 11 13 rOtn"< ψ' S〇2 S〇2 Rfz 12

R 11 12 bRo-K〇： r,4 ^

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R1 —S ψ\ i〇2 11 R15 so2 v。?02 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) aTVW<

\ - / I , R S〇2 Rf2 >15 〇15 1R f? yS02 R16-sV< r14 ?〇2 Rf2 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 $ 、τ

〒fi i〇2 爲獨立之氫原子、鹵原子 R14—

RlVf R !ι 、 R I2 、 R 20之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基 碳數1 、碳數] 20之直 鏈狀、支鏈狀或環狀之焼氧基、碳數6〜20之芳基、或碳 數1〜20之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基、可含有羰基、 酯基、內酯。R 14、R 15' R 16爲獨立之碳數1〜1〇之直 鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基、可含有羰基、酯基、內酯。 R 17、爲亞甲基，R 18爲碳數1〜1〇之直鏈狀、支鏈狀或 環狀之烷基、R 17與R 18鍵結可形成環。a、b、c係獨立 之0〜5的整數。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）

TT 1273350 A7 B7 五、發明説明（ 14 2

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本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1273350 A7 B7 15 五、發明説明（

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產苟資工消費合作社印製

吼 iso2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1273350 A7 B7 五、發明説明（16) 一般式（2) -i之具體例如下述結構

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 一般式（1)所舉之毓鹽之合成方法例如噻吩化合物 與溴化乙醯基化合物之反應（步驟1)、離子交換反應（ 步驟2 )所示。步驟1係在硝基甲烷中，室溫下擾拌數小時 後，反應結束。噻吩化合物與溴化乙醯基化合物之使用量 爲等莫耳。製得之化合物1使用二乙醚與水洗淨，在水相 中萃取。其次對於化合物1爲等莫耳添加含氟基之醯亞胺 酸，添加二氯甲院或氯仿，室溫下攪拌數分鐘〜數十分鐘的 狀態下，進行陰離子交換，最終化合物以有機相萃取。將有 機相濃縮、利用二乙醚進行結晶、純化，得到最終化合物 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐〉 1273350 Α7 Β7 五、發明説明（17)

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 上述式（1 )或（2 )之鑰鹽的配合量理想爲對於基體 樹脂100重量份時，含有〇·1〜15重量份，特別理想爲〇.5〜 1 〇重量份。配合量太少時，感度低，太多時，有時透明性降 低，光阻材料之解像性能降低。 本發明使用之基體樹脂理想爲不溶或難溶於顯影液， 且利用酸可溶於顯影液者。不溶或難溶於顯影液係指對於 2.38重量％ ΤΜΑΗ (四甲基氫氧化銨）水溶液之溶解度 爲〇〜20埃/秒，可溶於顯影液係指20〜300埃/秒。 本發明之化學增幅正型光阻材料所使用之基體樹脂例 如有選自由聚羥基苯乙烯及其羥基之一部分或全部被酸不 穩定基取代之聚羥基苯乙烯衍生物、聚（甲基）丙烯酸及 其酯（包含丙烯酸與甲基丙儲酸之共聚物及其酯）、環烯 烴與馬來酸酐之共聚物、環烯烴與馬來酸酐與丙烯酸酯之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 54 1273350 A7 B7 五、發明説明（18) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 共聚物、環烯烴與馬來酸酐與甲基丙烯酸酯之共聚物、環 烯烴與馬來酸酐與丙烯酸酯與甲基丙烯酸酯之共聚物、環 烯烴與順丁烯二醯亞胺之共聚物、環烯烴與順丁烯二醯亞 胺與丙烯酸酯之共聚物、環烯烴與順丁烯二醯亞胺與甲基 丙烯酸酯之共聚物、環烯烴與順丁烯二醯亞胺與丙烯酸酯 與甲基丙烯酸酯之共聚物、聚降冰片烷及開環歧化開環聚 合物所成群之一種以上之高分子聚合物。 經濟部智慧財產局0 (工消費合作社印製 本發明所使用之基體樹脂理想爲K r F準分子雷射用 光阻用，例如有聚羥基苯乙烯（PHS )、其羥基之一部分或 全部被酸不穩定基取代之聚羥基苯乙烯衍生物與苯乙烯之 共聚物、羥基苯乙烯與（甲基）丙烯酸酯之共聚物、羥基 苯乙烯與順丁烯二醯亞胺N羧酸酯之共聚物、A r F準分 子雷射用光阻用，例如聚（甲基）丙烯酸酯系、降冰片烷 與馬來酸酐之交互共聚系、四環十二碳烯與馬來酸酐之交 互共聚系、聚降冰片烷系、開環聚合之開環歧化聚合系， 但是不限於這些聚合系聚合物。正型光阻時，苯酚或羧基 之羥基可以酸不穩定基取代，一般會降低未曝光部之溶解 速度。基體聚合物之酸不穩定基可選擇各種酸不穩定基， 特別理想爲以下述式（ALIO ) 、（ AL11 )表示之基、以 下述式（AL 12)表示之碳數4〜40之三級烷基、碳數1〜 6之三烷基矽烷基、碳數4〜20之氧烷基等。（甲基）丙 烯酸係指甲基丙烯酸及/或丙烯酸。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 22 1273350 A7 B7 五、發明説明（19 ) 、20 ,23 —C—〇—R22 —C-R25

一 (CH2)cTC-〇-R19 R 21

R 24 (AL10) (AL11) (AL12) 式（ALIO) 、（AL11)中，R 19' R 22爲獨立之碳數 1〜20之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基，可含有氧、硫、氮 、氟等之雜原子。R R 21爲獨立之氫原子、碳數1〜 20之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基，可含有氧、硫、氮、 氟等之雜原子，d爲0〜10之整數。R 2()與R 21或R 2。與 R 22、R 21與R 22分別鍵結可形成環。 式（AL 1 0 )所示之化合物例如有第三丁氧基羰基、 第三丁氧基羰基甲基、第三戊氧基羰基、第三戊氧基羰基 甲基、1-乙氧基乙氧基羰基甲基、2 -四氫吡喃氧基羰基甲 基、2-四氫呋喃氧基羰基甲基等，或以式（AL1〇) _丨〜（ AL 10) -10所示之取代基。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝.

1T 經濟部智慧財產笱B (工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1273350 A7 B7 五、發明説明（2Q)

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'h2、 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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經濟部智慧財/$局員工消費合作社印製 式（ALIO ) -1〜（ALIO ) -10中，R 26爲相同或不同 之碳數1〜8之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基、或碳數6 〜20之芳基或芳烷基。R 27爲不存在或碳數1〜20之直 鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基。R 28爲碳數6〜20之芳基或 芳烷基。d爲0〜10之整數。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 54 1273350 A7 B7 五、發明説明（21 ) 式（AL11 )所示之縮醛化合物例如式（ALII ) -1〜 (AL11 ) -23 所示。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財凌苟員工消費合作社印製 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 5& 1273350 A7 B7 22 五、發明説明（

—CH—〇 (AL11H6 •CH2-O—CH3 —CH2-O-CH2-CH3 (AH11H (AL1lh2 CH3 _CH2-〇(CH2)3〇H3 — CH2-0-CH-CH3 一ch2-〇—C—CH (AL11)- ch3

(AL11M CH3 -CH-o—ch3 (AL1D-7 CH3 •CH-0-CH2-CH3 (AL11H0 CH3 —CH - 〇(CH2)2〇H3 (AL11H3 (AL1D-5 CH3 ch2

I —CH—0—CH3 (AL11)- 8 ch3 ch2 —CH—0-CH2-CH3 (AL11H1 CH3 ch2

I —CH - 〇{CH2)2CH3 (AL11H4 CH3 —CH—0 (AL11H7 一CH2-〇(CH2)2CH， (AL 11)-3 CH3 ch3 (ch2)2 —CH-ο—CH3 (AL1D-9 CH3 (CH2)2 —CH-〇-CH2-CH^ (AL11H2 CH3 (?H2)2 —CH—〇(GH2)2CH3 (AL11H5 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財4局g(工消費合作社印製 ch3 ，ά 一 o-ch2-ch3 CH3 (AL11H9

CH3 _c—o—ch3 CH3 (AL1D-18 CH3 ch2

I •CH - 〇 (AL11)-22 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1273350 A7 B7 五、發明説明（23 ) 基體樹脂之羥基之1%以上可以一般（AL 11a AL1 lb )表示之酸不穩定基，在分子間或分子內交聯。 R29 R29 C"*f〇—R3)^一~0—A+O+R31—十 或 R (AL11a) R29 I ——C—0 R30

•R 31 R29 B—A+ B 十 R31—C 十i3〇e 經濟部智慧財4局員工消費合作社印製 (AL11b) (式中R 29、R 3°爲獨立之氫原子或碳數1〜8之直鏈狀 、支鏈狀或環狀之烷基。或R 29與R 3°鍵結可形成環， 形成環時，R 29與R 3°係碳數1〜8之直鏈狀或支鏈狀 之伸烷基。R 31爲碳數1〜1 0之直鏈狀、支鏈狀或環 狀之伸烷基；f爲0〜10之整數。A爲 e + 1價之碳數1〜5 0之脂肪族或脂環飽和烴基、 芳香族烴基或雜環基，這些基可夾有雜原子，又，與碳原 子鍵結之氫原子之一部份可被羥基、羧基、羰基或鹵素原 子所取代。B爲一C0 —〇一、一NHCO —〇一或一N H C 0 N Η - ) 。e爲l〜7之整數。 一般式（ALll-a )，（ ALll-b )表示之交聯型縮醛例 如有式（AL11 ) -24〜（ALII ) -31 所示。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -27- T1 273350 A7 B7 五、發明説明（ 24 ch3 ch3 *~cH一Ο一CH2CH2 —Ο—CH—

(AL11)-25 CH3 ch3 —(!：H«H2CH2CH2CH2—^0—iH— (AL11)-26 ch3 ch3 一(!：H — O —CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2 —O—CH— (AL11)-27 CH3 —d：H-0 - ch2ch2o(AL11)-28 ch3 —d：H«H2CH2〇(AL11)-29

IXT OCH2CH2—0

Jh- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝_

，och2ch2—o CH3 '0 一d：H —o—ch2ch2o 八 och2ch2—〇

JhL ch3 訂 (AL11)-30 經濟部智慧財/$局g(工消費合作社印製 ch3 -CH—0

CH3 iii- )-CH2CH20(AL11)-31 ch2 )CH2CH2——〇—CH - 式（AL 12)所示之第三烷基例如有第三丁基、三乙 基碳醯基 乙基降冰片烷基、1—甲基環己基、1 一乙 基環戊基、2- ( 2-甲基）金剛烷基、2- ( 2-乙基）金剛烷 基、第三戊基等或下述一般式（AL12) -1〜（AL12) -18 所示者。 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -38- 1273350 A7 B7 五、發明説明（25 R 32

R 33 R^r33 ?32

R 33 R32 r33tb (AL12H (ALl2)-2 (AL12H3 (AL12h4 (t

(AL12)-7 (AL12) - 8 (AL12)-5 (ALl2)-6

(AL12) - 9

R32 n33 R

R32 „33 R

(AL12H1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} -裝·

(AL12H0

(AL12)-13 (AL12H4 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(AL12H2

32 32 tr) r) f、） (AL12H6 (AL12H7 (AL12H8 R 32爲相同或不同之碳數1〜8之直鏈狀、支鍵狀或 環狀之烷基、或碳數6〜20之芳基或方院基° R ^ 爲不存在或獨立之碳數1〜2〇之直鏈狀、支鏈狀或環狀之 烷基。R 34爲碳數6〜20之芳基或芳院基。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） ^9- 1273350 A7 B7

五、發明説明（26 ) 伊爾fr十Wrrf (AL12M9 (AL12)-20 如（AL12 ) -19、（ AL12 ) -20所示，含有2價以上之 伸烷基或伸芳基之R 36,聚合物之分子間或分子內可交聯 。式（12) -19之R 32係與前述相同，R 36爲碳數1〜20之 直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基或伸芳基，可含有氧原子 、硫原子、氮原子等之雜原子。2爲1〜3之整數。 R 32、R 33、R 34、R 35可含有氧、硫、氮等之雜原 子。具體如下述（13) -1〜（13) -7所示。 —ecH2 )4 oh —ecH2 )2〇(ch2)3ch3 — CH2 ~)^CH2〇H

(13H (13)-2 —eCH2 )2〇(CH2)2OH —tCHz )6 〇H (13)-4 (13)-5 (13)-3

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財度局員工消費合作社印製

(13)-7 本發明使用之基體樹脂理想爲含矽原子之高分子結構 體。含矽之聚合物例如含矽之酸不穩定基之聚合物。含砍 之酸不穩定基例如第一爲碳數1〜6之三烷基矽烷基，具體 例有三甲基矽烷基、三乙基砂烷基、二甲基-第三丁基矽 烷基等。也可使用以下所示之含矽之酸不穩定基。 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1273350 A7 B7 五、發明説明（27

R ,37 -R38 R37-

R

3-ShR I 41 R41

R"1 CH2 R ^40 (A-4) (A-5) (A-6) 上式中，R 37、R 38係獨立之氫原子或碳數1〜20之 烷基。R 39、R 4°、R 41爲相同或不同之碳數1〜20之烷 基或鹵烷基、碳數6〜20之芳基或式中之矽原子與矽氧烷 鍵結或矽乙烯鍵結合之含矽基或三甲基矽烷基。R 37與 R 38鍵結可形成環。 (A-4) 、（A-5) 、（A-6)具體如下述。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財4工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -3+ 1273350 A7 B7 五、發明説明（ 28 H? - CH3 ?H2 H3C-S1-CH3 HoC-Si-CHa H3C-Si^CH3 h2c ch2 HC 一 CH3 I ch2 I CH3 (A—4)-1 ch3 (A-4)_2 CH〇 (A-4)-3

H3C-〒一⑽ CH2 H3C-Si-CH3 CH3 (A-4M HC — CH3 CH2 9H3 H3c-S^〇-Si-CH3 CH3 CH3 (A - 4) - 7 HC^CH3 ch2 ch3 Ϊη2 ^ ch3 ch2 ^?h3 H3C-Si-〇-Si-CH3 H3C-Si-CH3 H3C-S,-〇-S.-〇-S C I 〖· 丄· I rw« r.Un CH3 H3C> 'CH3 (A-4)-5 H2p H3C、g ' HaC7 XCH3 (A-4)-6 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝· H3C—C—CH3

-丨——·〜·” T—— —υ—ι I」 0H3 ch3 CH3 ch3 ch3 ch3 (A-4)-8 (A-4h9 (A-5H H3C-C-CH3 GH2 ch2 .π7 pu u p CH2 CH3 CH2 CH3 CH3 H3Hc3f)H^-Si-CH3 H3C-Si--Si^Si-CH3 J " I ». Π3〇 T' I 、 H3C-Si-〇-S«-〇-S,-CH3 CH3 ch3 ch3 ch3 味C iH3CH3 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 H^c PH3 H3CkCH3 (A-4)-12 h0 - CH3 CH3 CH2 CH3 _Si—〇—Si—CH3 HC—CHa CHz HC 〇-Si"CH H3C-S1 〇 rw H3〇x /° °\ /CH3 CH3 H3q CH2 pH, Si K Si—Si—CH3 H3C λ / CH3 ；/ i. Vw 0、sr0(i〇: H3C-C-CH3 H3C CHz H3C(j^CH3 (A - 4)-13 0(10) bHa (A~5)-2 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 0 CH3

HaC'-Si—CH3 CH3 (A-5H !273350 A7 B7 五、發明説明（29 ) 可使用以（A-7 )或（A-8 )表示之環狀之含矽之酸不 穩定基。

FT A-7 -43 „44

R A，8 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝

R R 54係獨立之碳數1〜20之直鏈狀、支鏈狀或

環狀之烷基。R 4 3

R

R 4 7

R 4 8

R 5 1

R 5 2

R 53係獨立之氫原子或碳數1〜20之直鏈狀、支鏈狀或環狀 之烷基。R 45、R 46、R 49、R 5Q係氫原子、碳數1〜20 之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基、氟化之碳數1〜20之烷 基或碳數6〜20之芳基。p、q、r、s係0〜10之整數，1$ P+q + s$20o (A-7) 、（ A-8)具體如下述。 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 127335〇 A7 B7 五、 發明説明（3〇

(A-7)H

Si

(A-7)-2

(A-8h2

Su (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

(A-8H

(A-8M

Sr ) SL (A-8)-3

(A-8)~5 經 濟 部 智 慧 財 4 局 (A-8)-6 酸不穩定基例如有碳數1〜6之三烷基矽烷基，具體例 有三甲基矽烷基、三乙基矽烷基、二甲基一第三丁基矽院 基等。 本發明使用之含矽之聚合物例如第二可使用對酸安定 之含矽之重覆單位。對酸安定之含矽之重覆單位如下述。 消 合 社 印製 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -64- l27335〇 A7 B7 五、 發明説明（31

R (9H 〇55 R60 -Si-R5fl

⑼一 3 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) R59 (9)-5 數 R 基 基 R 55係氫原子、甲基、氟原子或三氟甲基，R 56係碳 〜20之二價之烴基。直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基。 、R 58、R 59爲相同或不同之碳數1〜20之烷基、芳 含氟原子之烷基、含矽原子之烴基、或含矽氧烷鍵之 R 57與R 58、R 58與R 59、或R 57與R 59分別鍵結可 形成環。R 25爲單鍵或碳數1〜4之伸烷基。Η爲0或1 經濟部智慧財4笱員工消費合作社印製 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X29*7公釐） 65 1273350 A7 B7 CH2 <pH2 CH3 HaC-Si-o-Si-CHa CH3 ch3 (10)-2 (pH2 CH3 ?H3 H3C—Si—〇—Si—〇—Si—CHg CH〇 CHa CH3 (10) - 4 ?H3h2 ?H2h2 ?H3 -Si—C—Si—C—Si—CH3 ch3 ch2 ch3 H3C—〒一 CH3 CH3 (10)-6 經濟部智慧財4局員工消費合作杜印製 五、發明説明（32

ch2 ch3

H3C*—Si—〇—Si—CH3 CH3 ch3 (10H ?h3 ?h2 ?h3 H3C—Si-*-〇--Si--〇--Si—CH3 ch3 ch3 ch3 (10)-3 ?h3 ch2 ch3 H3〇^Si—〇—Si—〇—Si—CH3 H3C CH3 0 CH3 Η3〇—Si—CH3 CH3 (10)-5 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ch2 —Si(CH3 h3c、q/· P Si (T、

H3C -气丨一CH3 ch3 (10)-7

HA 〇 一H3C-^ 、〇、严 h3c水 J、CH3 H3C/ 八 3 h3c ch3 (10)-9

^V-sicCH3 邮一/Si 〇Vch3 HA|i I 丨、ch3HiW<CH3 CH^ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 5& 1273350 A7 B7

五、發明説明（33 )令） W

H2 9Hg 9Hg * ^ H3C-Si-〇-Si-CH3 H3C-Si-C-Si-CH3 H3C-S1-〇-Si-〇-Si-CH， CH3 CH3 CH3 CH3 CH3 ch3 ch3 (10)-12 (1〇)~13 ch3 9H3 9h〇 ?Ha H3C-Si-〇-Si-〇-Si-CH3 H3C-Si-〇-Si-〇-Si-CH3 CH3 ch3 CH3 〜-a (10)-11

(10H4 ch3 9 ch3 H3C-S1-CH3 CH3 (10)-15

VI ch3 h2 h2?H3 ha (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· H3C-Si-C-Si-C-Si-CH3 CH3 ch2 H3C、 〇

Si H3C-S1-CH3 H3C 〇、sr0 VCH3 Si 1 xch3 (10)-16 H3c \ CHa 、^1 (10)-17 經濟部智慧財4¾員工消費合作社印製 H〇C HgCn /° ^Si H3C \。 Η3σ (10)-18 >-0、/ ,ch3 丨 、su \ 、ch3 p si—〆 1 、ch3 CH〇 CH3 h3c. \c. 丨、ch2 / V H3CH2C—si H3C〆、 (10H9

sr J^2 ch3 -ch3 •ch3 ··線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1273350 A7 B7 經濟部智慧財1¾¾工消費合作社印製 五、發明説明（34) 本發明使用之基體樹脂可使用一種或2種以上之高分 子化合物。使用多種高分子化合物可調整光阻材料之性會g 。也可使用分子量、分散度不同之多種高分子化合物。基 體樹脂用之高分子化合物之分子量以氣層色譜分析儀（ GPC )分析，以聚苯乙烯換算得到。理想之重量平均分子 量爲5,000〜100,000。5,000以下時，有時成膜性、解像性 差，超過1 00,000時，有時解像性劣化。基體樹脂使用含砂 聚合物時，含矽聚合物之理想的重量平均分子量之範圍也 相同。 本發明之光阻材料中可含有與上述一般式（1)表示 之銃鹽、碘鑰鹽不同之以往所提案之酸產生劑。 酸產生劑之化合物例如有 i·下述一般式（Pla-1) 、（Pla-2)或（Plb)之鑰鹽 ii·下述一般式（P2)之二偶氮甲烷衍生物、 iii·下述一般式（P3)之乙二肟衍生物、 iv.下述一般式（P4)之雙磺醯衍生物、 ν·下述一般式（P5)之N -羥基醯亞胺化合物之磺酸 酯衍生物、 vi. 々-酮磺酸衍生物、 vii. 二硕衍生物、 viii. 硝基苄基磺酸酯衍生物、 ix. 磺酸酯衍生物等。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

JL 裝. 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210><297公釐） 1273350 A7 B7 五、發明説明（35) -甲獅 R101a—S^R10U R10Ia—f^R_ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) P1a，1 P1a-2 (式中，R1Qla、R1Qlb、R1(Me係獨立之各自爲碳數1至12 之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基、烯基、羰烷基或羰烯基 ，碳數6至20之芳基，或碳數7至12之芳烷基或芳羰烷 基等，這些基團中氫原子之一部份或全部可被烷氧基等所 取代。又，Rim與RUh可形成環，形成環時，Riaib、 係分別自爲碳數1至6之伸烷基。爲非親核性對向離子 )° 經濟部智慧財產笱員工消費合作社印製 上記R1()la、R1()lb、R1()1M系彼此相同或不同，具體例如 烷基之甲基、乙基、丙基、異丙基、正丁基、第二丁基、 第三丁基、戊基、己基、庚基、辛基、環戊基、環己基、 環庚基、環丙基甲基、4-甲基環己基、環己甲基、原菠院 基、金剛烷基等。烯基例如有乙烯基、烯丙基、丙儲基、 丁烯基、己烯基、環己烯基等。羰烷基例如有2_鑛基環 戊基、2-羰基環己基等、2-羰基丙基、2-環戊基_2_鑛基乙 基、2 -環己基- 2- ¾基乙基、2- (4 -甲基環己基）_2_簾基乙 基等；芳基例如有苯基、萘基等或，對-甲氧基苯基、間_ 甲氧基苯基、鄰-甲氧基苯基、乙氧基苯基、對_第三丁氧 基苯基、間·第三丁氧苯基等之院氧苯基，甲基苯基、 3- 甲基苯基、4-甲基苯基、乙基苯基、4-第三丁基苯基、 4- 丁基苯基、二甲基苯基等之烷基苯基，甲基萘基、乙基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1273350 A7 __B7_ 五、發明説明（36 ) 萘基等之烷基萘基，甲氧基萘基、乙氧基萘基等之院氧基 萘基，二甲基萘基、二乙基萘基等之二烷基萘基，二甲氧 基蔡基、—乙氧基蔡基等之—^院氣基蔡基；芳院基例如有 苄基、苯基乙基、苯乙基等；芳羰烷基例如有2_苯基 鑛乙基、2- ( 1-萘基）-2-鑛乙基、2- (2 -萘基）-2-鑛乙基 等2-芳基-2-羰乙基等。K-非親核性對向離子，例如氯化 物離子、溴化物離子等之鹵化物離子，三氟甲酸酯、 1，1，1·三氟乙烷磺酸酯、九氟丁烷磺酸酯等之氟烷基磺酸 酯’甲苯磺酸酯、苯磺酸酯、4 -氟苯磺酸酯、ι，2,3,4,5-五 氟苯磺酸酯等之芳基磺酸酯，甲磺醯酯、丁烷磺酸酯等之 烷基磺酸酯。

Ri〇2a R102b R1〇4a—S^—R^S—R1〇4b K' K" P1b (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

(式中，R 10 2; R1()2b係分別獨立之碳數1至8之直鏈狀 經濟部智慧財產^78工消費合作社印製 支鏈狀或環狀烷基；R1(n爲碳數1至10之直鏈狀、支鏈 狀或環狀伸烷基；R1()4a、R1()4b係分別獨立之碳數3至7之 2-羰烷基；k_爲非親核性對向離子）。 上記R1Q2a、R1Q2b之具體例如有甲基、乙基、丙基、 異丙基、正丁基、第二丁基、第三丁基、戊基、己基、庚 基、辛基、環戊基、環己基、環丙基甲基、4-甲基環己基 、環己基甲基等。R1”之具體例如有伸甲基、伸乙基、伸 丙基、伸丁基、伸戊基、伸己基、伸庚基、伸辛基、伸壬 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） AQ- 1273350 A7 ____ B7 五、發明説明（37 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 基、1，4-伸環己基、1，2-伸環己基、1，3-伸環己基、丨，4·伸 環辛基、1，4-伸環己二甲基等。R1()4a、R1(Mb例如有2-羰基 丙基、2-羰基環戊基、2-羰基環己基、2-羰基環庚基等。 係與式（Pla-Ι)及（Pla-2)所說明之內容相同。 R]Q5-S〇^i-SO^R]06 P2 (式中，R1 °5、R1。6係獨立之碳數1至12之直鏈狀、支鏈 狀或環狀烷基或鹵化烷基，碳數6至20之芳基或鹵化芳 基或碳數7至12之芳烷基）。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 R1Q5、R1Q6之烷基例如有甲基、乙基、丙基、異丙基 、正-丁基、第二丁基、第三丁基、戊基、己基、庚基、 辛基、環戊基、環己基、環庚基、原菠烷基、金剛烷基等 ;鹵化烷基例如有三氟甲基、M，卜三氟乙基、M，卜三氯 乙基、九氟丁基等；芳基例如有苯基、對-甲氧苯基、間-甲氧苯基、鄰-甲氧苯基、乙氧苯基、對-第三-丁氧苯基 、間-第三-丁氧苯基等之烷氧苯基；2-甲基苯基、3-甲基 苯基、4 -甲基苯基、乙基苯基、4-第三丁基苯基、4-丁基 苯基、二甲基苯基等之烷基苯基；鹵化芳基例如有氟苯基 、氯苯基、1，2,3,4,5-五氟苯基等；芳烷基例如有苄基、 苯乙基等。 r108r109 r107—S〇2-〇—N=0一C=N—〇^〇2^R107 P3 Μ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2l〇x297公釐） 1273350 A7 B7 五、發明説明（38 ) (式中以()7、尺1()8、111°9係分別獨立之碳數1至12之直鏈 狀、支鏈狀、環狀烷基或鹵化烷基，碳數6至20之芳基 或鹵化芳基或碳數7至12之芳烷基；R1()8、R1()9可相互鍵 結形成環狀結構，形成環狀結構時，R1()8、R1()9係分別爲 碳數1至6之直鏈狀、支鏈狀之伸烷基）。

Rl〇7、RlQ8、之院基、鹵化院基、芳基、鹵化芳基 、芳烷基例如與R1()5、R1()6所說明之內容相同的基；又， R1Q8、R1()9之伸烷基則如伸甲基、伸乙基、伸丙基、伸丁 基、伸己基等。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

P4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，R1()la、R1Qlb係與上記內容相同）。 ο

II ϊ ρ5 (上式中，R11()爲碳數6至10之伸芳基、碳數1至6之 伸烷基或碳數2至6之伸烯基，這些基之氫原子之一部份 或全部可被碳數1至4之直鏈狀或支鏈狀之烷基或碳數1 至4之直鏈狀或支鏈狀之烷氧基、硝基、乙醯基或苯基所 取代；R111爲碳數1至8之直鏈狀、支鏈狀或取代之烷基 、碳數1至8之直鏈狀、支鏈狀或取代之烯基或碳數1至 8之直鏈狀、支鏈狀或取代之烷氧烷基、苯基、或萘基’ 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 43： A273350 A7 ___B7 五、發明説明（39 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 适些基之氫原子之一部份或全部可被碳數1至4之烷基或 碳數1至4之院氧基；或碳數1至4之院基、碳數1至4 之院氧基、硝基、乙醯基取代之苯基；或碳數3至5之雜 芳基；或可被氯原子、氟原子所取代）。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印髮 其中，R]1°之伸芳基例如有1，2-伸苯基、1,8-伸萘基 等；伸烷基例如有伸甲基、1，2-伸乙基、i，3-伸丙基、l，4-伸丁基、卜苯基-1,2 -伸乙基、原菠院-2,3 -二基等；伸烯基 例如1，2-伸乙烯基、1-苯基-1，2 -伸乙烯基、5 -原菠烯- 2,3-二基等。R111之烷基係與R1Qla至R 1Q1。之內容相同，烯基 例如乙烯基、1-丙烯基、烯丙基、1-丁烯基、3-丁烯基、 異丁烯基、1-戊烯基、3-戊烯基、4-戊烯基、二甲基烯丙 基、1-己烯基、3 -己烯基、5 -己烯基、1-庚烯基、3 -庚烯 基、6-庚烯基、7-辛烯基等；烷氧烷基例如有甲氧甲基、 乙氧甲基、丙氧甲基、丁氧甲基、戊氧甲基、己氧甲基、 庚氧甲基、甲氧乙基、乙氧乙基、丙氧乙基、丁氧乙基、 戊氧乙基、己氧乙基、甲氧丙基、乙氧丙基、丙氧丙基、 甲氧丁基、乙氧丁基、丙氧丁基、甲氧戊基、乙氧戊基、 甲氧己基、甲氧庚基等。 又，可被取代之碳數1至4之烷基例如有甲基、乙基 、丙基、異丙基、正-丁基、異丁基、第三丁基等，碳數 1至4之烷氧基例如有甲氧基、乙氧基、丙氧基、異丙氧 基、正-丁氧基、異丁氧基、第三丁氧基等；可被碳數1 至4之烷基、烷氧基、硝基或乙醯基所取代之苯基例如有 苯基、甲苯基、對-第三丁氧苯基、對-乙醯苯基、對-硝 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（210X297公釐） 1273350 A7 B7 五、發明説明（4Q) 基苯基等；碳數3至5之雜芳基例如吡啶基、呋喃基等。 具體而言，鑰鹽例如有三氟甲烷磺酸二苯基碘鑰、三 氟甲烷磺酸（對-第三丁氧苯基）苯基碘鑰、對-甲苯磺酸 二苯基碘鐵、對-甲苯磺酸（對-第三丁氧苯基）苯基碘鐵 、三氟甲焼磺酸三苯基銃、三氟甲烷磺酸（對-第三丁氧 苯基）二苯基銃、三氟甲烷磺酸雙（對-第三丁氧苯基） 苯基銃、三氟甲烷磺酸三（對-第三丁氧苯基）銃、對-甲 苯磺酸三苯基銃、對-甲苯磺酸（對-第三丁氧苯基）二苯 基锍、對-甲苯磺酸雙（對-第三丁氧苯基）苯基銃、對-甲苯磺酸三（對-第三丁氧苯基）銃、九氟丁烷磺酸三苯 基毓、丁烷磺酸三苯基銃、三氟甲烷磺酸三甲基銃、對-甲苯磺酸三甲基銃、三氟甲烷磺酸環己甲基（2-羰基環己 基）锍、對-甲苯磺酸環己甲基（2-羰基環己基）銃、三 氟甲烷磺酸二甲基苯基锍、對-甲苯磺酸二甲基苯基銃、 三氟甲烷磺酸二環己基苯基銃、對-甲苯磺酸二環己基苯 基硫、二氟甲院磺三萘基硫、三氟甲院磺酸環己甲基（2-羰基環己基）銃、三氟甲烷磺酸（2-原菠烷基）甲基（2-羰基環己基）銃、乙烯雙〔甲基（2-羰環戊基）銃三氟甲 烷磺酸酯〕、1，2乂萘基羰甲基四氫噻吩鐵三氟甲烷磺酸酯 等。 二偶氮甲烷衍生物例如有雙（苯磺醯基）二偶氮甲烷 、雙（對-甲苯磺醯基）二偶氮甲烷、雙（二甲苯磺醯基 )二偶氮甲烷、雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（環 戊基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（正丁基磺醯基）二偶氮甲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局W工消費合作社印製

1273350 A7 B7 五、發明説明（41 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 院、雙（異丁基磺醯基）二偶氮甲院、雙（第二丁基磺醯 基）二偶氮甲院、雙（正丙基磺醯基）二偶氮甲院、雙（ 異丙基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（第三丁基磺醯基）二偶 氮甲院、雙（正戊基磺醯基）二偶氮甲焼、雙（異戊基礦 酸基）一偶氮甲院、雙（第二戊基磺醯基）二偶氮甲院、 雙（第三戊基磺醯基）二偶氮甲烷、1-環己基磺醯基 (第三丁基磺醯基）二偶氮曱烷、1-環己基磺醯基-1-( 第三戊基磺醯基）二偶氮甲烷、1-第三-戊基磺醯基-1-( 第三丁基磺醯基）二偶氮甲烷等。 乙二肟衍生物例如有雙-0-(對-甲苯磺醯基）-α -二 甲基乙二肟、雙-〇-(對·甲苯磺醯基）-α ·二苯基乙二肟 、雙_〇·（對-甲苯磺醯基）二環己基乙二肟、雙- 〇·（ 對-甲苯磺醯基）-2,3-戊二醇乙二肟、雙-〇-(對-甲苯磺 醯基）-2-甲基-3,4-戊二酮乙二肟、雙-〇-(正丁烷磺醯基 )-α·二甲基乙二肟、雙-〇-(正丁烷磺醯基）-α-二乙基 乙二肟、雙-〇-(正丁烷磺醯基）-α-二環己基乙二肟、 雙-0-(正丁烷磺醯基）-2,3-戊二醇乙二肟、雙-〇-(正丁 經濟部智慧財1局g(工消費合作社印製 基 甲 - 2 I Λ—y 基 醯 磺 烷 乙 醇 二 戊 雙 醯 磺 烷 甲 -<3乙肟 }基二 基甲乙 乙 基 甲 基 醯 醯乙 -(磺基 -0烷甲 雙己二 Ϊ適 尺 ife> 紙 I本 肟雙 雙 〇 三 第 乙 基 甲 磺基=: 烷醯· 甲擴 α 氟院)- (HN3S -(氟醯-0一一-一 0 雙 1，烷 基 、 甲肟 全 基 α二氟 * I 彡乙對基基，ί 醯甲0-1 1 - 磺 烷 辛 氟 雙 乙 基 甲 準 標 家 S Ν 冬_-45 雙磺 、 苯 15基 一釐 公 環α乙 (· 基 0-}甲 - 基二 雙罾 · 、磺 α 15苯 > 二 V基 1273350 A7 __ ______B7__ 五、發明説明（42 ) 二肟、雙-〇_ (對-第三丁基苯磺醯）_ α _二甲基乙二肟 雙-〇-(二甲苯磺醯基）· α •二甲基乙二肟、雙·〇_ (樟腦 磺醯基）-α-二甲基乙二聘等。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 雙磺醯衍生物例如有雙萘基磺醯甲烷、雙三氟甲基磺 醯甲烷、雙甲基磺醯甲烷、雙乙基磺醯甲烷、雙丙基磺醯 甲烷、雙異丙基磺醯甲烷、雙，對_甲苯磺醯甲烷、雙苯磺 醯甲烷等。 /3 -酮硕衍生物例如有2_環己基羰基-2-(對-甲苯磺 醯）丙烷、2-異丙基磺醯基_2-(對-甲苯磺醯基）丙烷等 〇 二硕衍生物例如有二苯基二碾、二環己基二硕等。 硝基苄基磺酸酯衍生物例如有對-甲苯磺酸2,6_二硝 基苄酯、對-甲苯磺酸2,4-二硝基苄酯等 磺酸酯衍生物例如有1，2,3-三（甲烷磺醯氧基）苯、 1，2,3-三（三氟甲烷磺醯氧基）苯、1，2,3-三（對-甲苯磺 醯氧基）苯等。 經濟部智慧財1局工消費合作社印製 Ν-羥基醯亞胺化合物之磺酸酯衍生物例如有Ν-羥基 琥珀醯亞胺甲烷磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺三氟甲烷磺酸 酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺乙烷磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺 卜丙烷磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺2-丙烷磺酸酯、Ν-羥基 琥珀醯亞胺1-戊烷磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺1-辛烷磺 酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺對-甲苯磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯 亞胺對-甲氧苯基磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺2-氯乙烷磺 酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺苯基磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1273350 A7 B7 五、發明説明（43 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 胺-2,4,6-三甲基苯磺酸酯、N-羥基琥珀醯亞胺1-萘磺酸酯 、N-羥基琥珀醯亞胺2-萘磺酸酯、N-羥基-2-苯基琥珀醯 亞胺甲烷磺酸酯、N-羥基馬來醯亞胺甲烷磺酸酯、N-羥基 馬來醯亞胺乙烷磺酸酯、N-羥基-2-苯基馬來醯亞胺甲烷 磺酸酯、N-羥基谷氨醯亞胺甲烷磺酸酯、N-羥基谷氨醯亞 胺苯磺酸酯、N-羥基鄰苯二甲醯亞胺甲烷磺酸酯、N-羥基 鄰苯二甲醯亞胺苯磺酸酯、N-羥基鄰苯二甲醯亞胺三氟甲 烷磺酸酯、N-羥基鄰苯二甲醯亞胺對-甲苯磺酸酯、N-羥 基萘基醯亞胺甲烷磺酸酯、N-羥基萘基醯亞胺苯磺酸酯、 N-羥基-5-原菠烯基-2,3-二羧基醯亞胺甲烷磺酸酯、屮羥 基-5-原菠烯基-2,3-二羧基醯亞胺三氟甲烷磺酸酯、N_羥 基-5-原菠烯基-2,3-二羧基醯亞胺對-甲苯磺酸酯等。 經濟部智慧財產^7員工消費合作社印製 理想爲使用三氟甲烷磺酸三苯基銃、三氟甲院磺酸（ 對-第三丁氧苯基）二苯基锍、三氟甲烷磺酸三（對_第三 丁氧苯基）銃、對-甲苯磺酸三苯基銃、對-甲苯磺酸（ 對-第三丁氧苯基）二苯基銃、對-甲苯磺酸三（對-第三 丁氧苯基）銃、三氟甲烷磺酸三萘基銃、三氟甲院磺酸環 己基甲基（2-鑛基環己基）锍、二氟甲焼磺酸（2_原疲院 基）甲基（2-羰基環己基）銃、1，2、萘羧甲基四氫硫苯鐵 三氯甲院等鑰鹽；雙（苯磺醯基）二偶氮甲焼、雙彳對^ 甲苯磺醯基）二偶氮甲烷、雙（環己基磺醯基）二偶氮甲 烷、雙（正丁基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（異丁基碼釀基 )二偶氣甲院、雙（第一丁基磺醯基）二偶氮甲院、雙（ 正丙基磺醯基）一偶氣甲院、雙（異丙基磺驢基）二丨禺简^ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1273350 A7 B7 五、發明説明（44 ) 甲烷、雙（第三丁基磺醯基）二偶氮甲烷等二偶氮甲烷衍 生物；雙-〇-(對-甲苯磺醯基）-α-二甲基乙二肟、雙- 〇-(正丁烷磺醯基）-α-二甲基乙二肟等乙二肟衍生物；雙 萘基磺酸甲烷等雙磺酸衍生物等；Ν-羥基琥珀醯亞胺甲烷 磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺三氟甲烷磺酸酯、Ν-羥基琥珀 醯亞胺1-丙烷磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺2-丙烷磺酸酯 、Ν-羥基琥珀醯亞胺1-戊烷磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺 對-甲苯磺酸酯、Ν-羥基萘基醯亞胺甲烷磺酸酯、Ν-羥基 萘基醯亞胺苯磺酸酯等Ν-羥基亞胺化合物之酯衍生物。 又，上述酸產生劑可單獨1種或組合2種以上使用。 鐵鹽有提高矩形性之優良效果，二偶氮甲烷衍生物及乙二 肟衍生物降低駐波之效果優異，兩者之組合可對外形進行 微調整。 上記酸產生劑之添加量係以與上述式（1 )之硫*鹽之 合計量的形態表示，對基體樹脂100重量份時，理想爲〇·1 〜15重量份，更理想爲0.5〜8重量份。若低於〇·1重量 份時，有時感度低的情形產生，高於1 5重量份時，透明性 降低，有時使光阻材料之解像性能降低。 本發明所使用之有機溶劑只要是可溶解基體樹脂 '酸 產生劑、其他添加劑等之有機溶媒即可使用。這種有機溶 劑例如有環己酮、甲基-2-正戊酮等酮類；3 -甲氧基丁醇 、3-甲基-3-甲氧基丁醇、1-甲氧基-2-丙醇、卜乙氧基-2-丙醇等醇類；丙二醇單甲醚、乙二醇單甲醚、丙二醇單乙 醚、乙二醇單乙醚、丙二醇二甲醚、二乙二醇二甲醚等之 ---------- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 經濟部智慧財產局B(工消費合作社印製 1273350 A7 B7 五、發明説明（45) 醚類；丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、乳酸 乙酯、丙酮酸乙酯、乙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙 氧基丙酸乙酯、乙酸第三丁酯、丙酸第三丁酯、丙酸乙二 醇-單第三丁醚乙酸酯等之酯類，這些可單獨使用1種或 混合2種以上使用，且不限定於這些有機溶劑。 本發明除了這些溶劑中對光阻成份中之酸產生劑之溶 解性最優良之二乙二醇二甲醚或1-乙氧基-2-丙醇外，可 使用安全溶劑之丙二醇單甲醚乙酸酯及其混合溶劑。 有機溶劑之使用量係對於基體樹脂100重量份時，使 用200至1，000重量份，特別理想爲400至800重量份。 本發明之光阻材料中可添加溶解控制劑。溶解控制劑 係重量平均分子量100〜1，000，較佳爲150〜800，且含有 分子內具有2個以上苯酚性羥基之化合物之該苯酚性羥基 之氫原子之整體之0〜100莫耳％被酸不穩定基取代，或分 子內具有羧基之化合物之該羧基之氫原子之整體之80〜 1 〇〇莫耳％被酸不穩定基取代的化合物。 苯酚性羥基或羧基之氫原子被酸不穩定基取代之取代 率，平均爲苯酚性羥基或羧基整體之〇莫耳％以上，理想爲 30莫耳％以上，其上限爲100莫耳％，更理想爲80莫耳％ 〇 此時具有2個以上苯酚性羥基之化合物或具有羧基之 化合物，較理想爲下述式（D1)〜（D14)表示者。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 經濟部智慧財4局a(工消費合作社印製 =^49- 1273350 A7 B7 五、發明説明（46

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝_ 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

ατΗD12

(CH2)hCOOH

D13

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -50 - 1273350 經濟部智慧財/i^7a:工消費合作社印^ A7 _____B7____五、發明説明（47 ) (式中R2()1、R2。2各係分別獨立之氫原子、或碳數1至8 之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基；r2°3爲氫原子、或碳數1 至8之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基、或-(R2°7) kCOOH ( k爲〇或1) ; R2°4爲-(CH2) i-(I爲2〜10的整數）、 碳數6至10之伸芳基、簾基、擴醯基、氧原子或硫原子 ;R2°5爲碳數1至10之伸烷基、碳數6至10之伸芳基、 羰基、磺醯基、氧原子或硫原子；R2°6爲氫原子、碳數1 至8之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基、或分別被羥基所取代 之苯基或萘基；R2°7爲碳數1至10之直鏈狀或支鏈狀伸 烷基；R2°8爲氫原子或羥基；j爲0至5之整數；u爲0或 1 ; s、t、s ’、t ’、s ’ ’、t ’ ’ 係分別爲滿足 s +1 = 8、s ’ +1 ’ = 5、 s" + t" = 4，且爲各苯基骨架中至少具有一個羥基之數；α 爲式（D8) 、（D9)之化合物之分子量爲1〇〇至ι，〇〇〇之 數。） 上記式中，R2Q1、R2°2例如有氫原子、甲基、乙基、 丁基、丙基、乙烯基、環己基等；R2()3例如有與、 R2°2相同之基，或-C〇〇H、-dCOOH、R2。4例如有伸乙基 '伸苯基、幾基、磺醯基、氧原子、硫原子等；R2。5例如 有伸甲基、或與R2()4相同之基；R2Q6例如有氫原子、甲基 、乙基、丁基、丙基、乙烯基、環己基、分別被羥基取代 之苯基、萘基等。 溶解阻止劑之酸不穩定基例如有與基體聚合物相同之 酸不穩定基，但是可與基體聚合物相同或不同。也可添加 2種以上不同之溶解阻止劑。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂 線 木紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1273350 A7 _____B7 五、發明説明（48 ) 上述溶解阻止劑之添加量係對於基體樹脂1 00重量份 時，添加0至50重量份，較佳爲5至50重量份，更佳爲 10至30重量份，可單獨或混合2種以上使用。添加量爲 5重量份以下時，有時無法提高解像性，超過50重量份時， 有時圖案之膜會減少，解像度有降低的情形。 又，上述溶解阻止劑係由對於具有苯酚性羥基或羧基 之化合物，使用有機化學處方導入酸不穩定基來合成。 此外，本發明之光阻材料中可再添加鹼性化合物。 理想之鹼性化合物例如有可抑制因酸產生劑產生之酸 擴散至光阻膜內之擴散速度的化合物。添加鹼性化合物可 抑制光阻膜中酸之擴散速度，提高解像度，或抑制曝光後 之感度變化，降低基板或環境之依賴性，提昇曝光寬容許 度或圖案之外形等。 這種鹼性化合物例如有第一級、第二級、第三級脂肪 族胺類，混合胺類、芳香族胺類、雜環胺類，具有羧基之 含氮化合物、具有磺醯基之含氮化合物、具有羥基之含氮 化合物、具有羥苯基之含氮化合物、醇性含氮化合物、醯 胺衍生物、醯亞胺衍生物等。 具體而言，第一級脂肪胺例如有氨、甲基胺、乙基胺 、正丙基胺、異丙基胺、正丁基胺、異丁基胺、第二丁基 胺、第三丁基胺、戊基胺、第三戊基胺、環戊基胺、己基 胺、環己基胺、庚基胺、辛基胺、壬基胺、癸基胺、月桂 基胺、十六烷基胺、甲二胺、乙二胺、四伸乙基戊胺等。 第二級脂肪胺族類例如有二甲基胺、二乙基胺、二正 gro (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 訂 線 經濟部智慧时是笱吕(工消費合作Η印¾ 本纸張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1273350 A7 _B7_ 五、發明説明（49 ) 丙基胺、二異丙基胺、二正丁基胺、二異丁基胺、二第二 丁基胺、二戊基胺、二環戊基胺、二己基胺、二環己基胺 、二庚基胺、二辛基胺、二壬基胺、二癸基胺、二月桂基 胺、二鯨蠟基胺、N，N-二甲基甲二胺、Ν，Ν·二甲基乙二胺 、Ν，Ν-二甲基四伸乙基戊胺等。 第三級脂肪族胺類例如有三甲基胺、三乙基胺、三正 丙基胺、三異丙基胺、三正丁基胺、三異丁基胺、三第二 丁基胺、三戊基胺、三環戊基胺、三己基胺、三環己基胺 、三庚基胺、三辛基胺、三壬基胺、三癸基胺、三月桂基 胺、三鯨蠟基胺、11^小^-四甲基甲二胺、11^，化，^^四 甲基乙二胺、Ν，Ν，Ν’，Ν’-四甲基四伸乙基戊胺等。 混合胺類例如有二甲基乙基胺、甲基乙基丙基胺、戊 基胺、苯乙基胺、苄基二甲基胺等。 芳香族胺類及雜環胺類之具體例如苯胺衍生物（例如 苯胺、Ν-甲基苯胺、Ν-乙基苯胺、Ν-丙基苯胺、Ν，Ν-二甲基苯胺、2-甲基苯胺、3-甲基苯胺、4-甲基苯胺、乙 基苯胺、丙基苯胺、三甲基苯胺、二硝基苯胺、3-硝基苯 胺、4-硝基苯胺、2,4-二硝基苯胺、2,6-二硝基苯胺、3,5-二硝基苯胺、Ν，Ν -二甲基苯胺等）、二苯基（對甲苯基 )胺、甲基二苯基胺、三苯基胺、苯二胺、萘基胺、二胺 基萘、吡咯衍生物（例如吡咯、2 Η -吡咯、1 ·甲基吡咯、 2,4-二甲基吡咯、2,5-二甲基吡咯、Ν-甲基吡咯等）、噁 唑衍生物（例如噁唑、異噁唑等）、噻唑衍生物（例如噻 唑、異噻唑等）、咪唑衍生物（例如咪唑、4-甲基咪唑、 _________gg___ 本紙張尺度適用中國國家標隼（CMS ) A4規格（210X297公釐） _ _ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 線 經濟部智慧財是局貞工消費合作社印製 1273350 A7 B7 五、發明説明（5Q ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智^財4笱肖工消費合作社印災 4-甲基-2_苯基咪唑等）、吡唑衍生物、呋喃衍生物、吡 咯啉衍生物（例如吡咯啉、2-甲基-：1 -吡咯啉等）、吡咯 烷衍生物（例如吡咯烷、N ·甲基吡咯烷、吡咯烷酮、N -甲基吡咯烷酮等）、咪唑啉衍生物、咪唑並吡啶衍生物、 吡啶衍生物（例如吡啶、甲基吡啶、乙基吡啶、丙基吡啶 、丁基吡啶、4-(1-丁基苄基）吡啶、二甲基吡啶、三甲 基吡啶、三乙基吡啶、苯基吡啶、3 -甲基· 2 -苯基吡啶、4 -第三丁基吡啶、二苯基吡啶、戊基吡啶、甲氧基吡啶、丁 氧基吡啶、二甲氧基吡啶、1-甲基-2-吡咯酮、4-吡咯烷酮 吡啶、1-甲基-4-苯基吡啶、2· ( 1-乙基丙基）吡啶、氨基 吡啶、二甲基氨基吡啶等）、噠嗪衍生物、嘧啶衍生物、 吡嗪衍生物、吡唑啉衍生物、吡唑烷衍生物、哌啶衍生物 、哌嗪衍生物、嗎啉衍生物、吲哚衍生物、異吲哚衍生物 、1 Η -吲唑衍生物、吲哚啉衍生物、喹啉衍生物（例如 喹啉、3 -喹啉羧腈等）、異喹啉衍生物、噌啉衍生物、11奎 唑啉衍生物、喹喔啉衍生物、酞嗪衍生物、嘌呤衍生物、 喋啶衍生物、咔唑衍生物、菲繞啉衍生物、吖啶衍生物、 吩嗪衍生物、1，1 0-菲繞啉衍生物、腺嘌呤衍生物、腺苷 衍生物、鳥嘌呤衍生物、鳥苷衍生物、脲嘧啶衍生物、脲 嗪衍生物等。 又，具有羧基之含氮化合物，例如有胺基苯甲酸 '吲 哚羧酸、氨基酸衍生物（例如尼古丁酸、丙氨酸' 精氨酸 、天冬氨酸、枸椽酸、甘氨酸、組氨酸、異賴氨酸、甘氨 醯白氨酸、白氨酸、蛋氨酸、苯基丙氨酸、蘇氨酸、賴氨 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS〉Α4規格（210X297公釐） 1273350 A7 B7 五、發明説明（51 ) 酸、3-氨基吡啶-2-羧酸、甲氧基丙氨基）等。 具有磺酸基之含氮化合物例如3 -吡啶磺酸、對甲苯 磺酸哦B定鐵等。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 具有羥基之含氮化合物，具有羥苯基之含氮化合物、 醇性含氮化合物等例如有2-羥基吡啶、胺基甲酚、2,4-喹 啉二醇、3 -吲哚甲醇氫化物、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙 醇胺、N -乙基二乙醇胺、N，N -二乙基乙醇胺、三丙醇 胺、2，2、亞醯胺基二乙醇、2 -胺基乙醇、3 ·胺基-1 -丙醇、 4-胺基-1-丁醇、4- ( 2-羥乙基）嗎啉、2- ( 2-羥乙基）吡 啶、1 - ( 2 -羥乙基）哌嗪、1 -〔 2 - ( 2 -羥乙氧基）乙基〕 哌嗪、哌嗪乙醇、1 - ( 2 -羥乙基）吡咯烷、1 - ( 2 -羥乙基 )-2·吡咯烷酮、3-吡咯烷酮基-1,2-丙二醇、3-吡咯烷酮 基-1，2-丙二醇、8-羥久洛尼啶、3-嗎啶醇、3·托品醇、1-甲基-2-吡啶乙醇、1-氮雜環丙烷乙醇、N - ( 2·羥乙基） 肽醯亞胺、N - ( 2-羥乙基）異尼古丁醯胺等。 醯胺衍生物例如有甲醯胺、N -甲基醯胺、N，N -二 甲基醯胺、乙醯胺、N -甲基乙醯胺、Ν，Ν·二甲基乙醯 胺、三甲基乙醯胺、戊醯胺等。 經濟部智慧財凌局，』：工消費合作社印災 醯亞胺衍生物例如有酞醯亞胺、琥珀醯酵亞胺、馬來 醯亞胺等。 可再添加1種或2種選自下式（Β ) -1所示之鹼性化 合物。 N (X)m (Y) 3-m (B)-1 本紙汝尺度適用中國國家標孪（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1273350 A7 B7____ 五、發明説明（52 ) (式中m=l、2或3 ;側鏈X可相同或不同，以下述一般式 (X) -1〜（X) -3表示。側鏈Y爲相同或不同之氫原子 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 或直鏈狀、支鏈狀或環狀之碳數1至20的院基’該院基 可含有羥基或醚基。X彼此可鍵結形成環） (式中R3°°、R3。2、R3Q5爲獨立之碳數1至4之直鏈狀 、支鏈狀之伸烷基；R3(M、R3°4爲獨立之氫原子、或碳數1 至20之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基，可含有1個或多 個羥基、醚基、酯基或內酯環；R3°3可爲單鍵或碳數1至 4之直鏈狀或支鏈狀之伸烷基。R3°6爲碳數1至20之直鏈 狀、支鏈狀或環狀之烷基，可含有1個或多個羥基、醚基 、酯基或內酯環）。 • 「 0 " —:R30°.O—R3011 —R302〇-R3W-LR304 (ΧΗ (χ)-2 ~R305L〇_r306 (Χ)-3 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 一般式（Β) -1所示之化合物之具體例如有三（2-甲 氧基甲氧乙基）胺、三{2- (2-甲氧基乙氧基）乙基}胺 、三{2-(2-甲氧基乙氧甲氧基）乙基丨胺、三丨2-(1-甲氧基乙氧基）乙基丨胺、三丨2-(1·乙氧基乙氧基）乙 基}胺、三丨2-(1·乙氧基丙氧基）乙基}胺、三〔2-{ 2- ( 2-羥乙氧基）乙氧基丨乙基〕胺、4,7,13,16,2 1,24-六 氧雜-1,10-二氮雜二環〔8,8,8〕二十六烷、4,7，13，18-四氧 雜-1，10·二氮雜二環〔8,5,5〕二十烷、1，4，1〇，13-四氧- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 1273350 經濟部智慧財產局g(工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（53 ) 7,16-二氮雜二環十八烷、卜氮雜-12-冠-4、1-氮雜-15-冠-5 、1-氮雜-18-冠-6、三（2-曱醯氧乙基）胺’三（2·乙醯 氧乙基）胺，三（2-丙醯氧乙基）胺，三（2-丁醯氧乙基 )胺，三（2-異丁醯氧乙基）胺，三（2-戊醯氧乙基）胺 ，三（2-己醯氧乙基）胺，N，N-雙（2·乙醯氧乙基）2-( 乙醯氧乙醯氧基）乙基胺，三（2-甲氧羰氧乙基）胺’三 (2-第三丁氧羰氧乙基）胺，三[2- (2-羰丙氧基）乙基] 胺，三[2-(甲氧羰甲基）氧乙基]胺，三[2-(第三丁氧羰 甲氧基）乙基]胺，三[2-(環己氧基羰基甲氧基）乙基]胺 ，三（2-甲氧基羰基乙基）胺，三（2-乙氧基羰基乙基） 胺，N，N-雙（2-羥乙基）2-(甲氧基羰基）乙基胺’ N，N-雙（2-乙醯氧基乙基）2-(甲氧羰基）乙基胺，N，N-雙（ 2-羥乙基）2-(乙氧羰基）乙基胺，N，N-雙（2-乙醯氧乙 基）2-(乙氧羰基）乙基胺，N，N-雙（2-羥乙基）2·(甲 氧乙氧羰基）乙基胺，N，N-雙（2-羥乙基）2-(羥基乙氧 羰基）乙基胺，N，N-雙（2-乙醯氧乙基）2-(乙醯氧乙氧 羰基）乙基胺，N，N-雙（2-羥乙基）2-[(甲氧羰基）甲氧 羰基]乙基胺，N，N-雙（2-乙醯氧乙基）2-[(甲氧羰基） 甲氧羰基]乙基胺，N，N-雙（2-羥乙基）2·(羰丙氧羰基） 乙基胺，N，N-雙（2-乙醯氧乙基）2-(羰丙氧羰基）乙基 胺，N，N -雙（2 -羥乙基）2-(四氫氧茂甲氧羰基）乙基胺 ，N，N-雙（2-羥乙基）2-[2-(羰基四氫呋喃-3-基）氧羰 基]乙基胺，N，N-雙（2·乙醯氧乙基）2-[ ( 2-羰基四氫呋 喃-3-基）氧羰基]乙基胺，N，N-雙（2-羥乙基）2- ( 4-羥 -：-—---67-- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1273350 A7 B7____ 五、發明説明（54 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 基丁氧羰基）乙基胺，Ν，Ν·雙（2·甲醯氧乙基）2- ( 4-甲 醯氧丁氧羰基）乙基胺，Ν，Ν-雙（2-甲醯氧乙基）2-(甲 醯氧乙氧羰基）乙基胺，Ν，Ν-雙（2-甲氧乙基）2-(甲氧 羰基）乙基胺，Ν·( 2-羥乙基）雙[2-(甲氧羰基）乙基] 胺，Ν- (2-乙醯氧乙基）雙[2·(甲氧羰基）乙基]胺，Ν-(2-羥乙基）雙[2-(乙氧羰基）乙基]胺，Ν- ( 2-乙醯氧 乙基）雙[2-(乙氧羰基）乙基]胺，Ν- (3-羥基·卜丙基） 雙[2-(甲氧羰基）乙基]胺，Ν- (3-乙醯氧基-1-丙基）雙 [2-(甲氧羰基）乙基]胺，Ν-(甲氧乙基）雙[2-(甲氧羰 基）乙基]胺，Ν-丁基雙[2- (2-甲氧乙氧羰基）乙基]胺’ Ν-甲基雙（2·乙醯氧乙基）胺，Ν-乙基雙（2·乙醯氧乙基 )胺，Ν-甲基雙（2·三甲基乙醯氧氧乙基）胺，Ν-乙基雙 [2-(第三丁氧羰氧基）乙基]胺，三（甲氧羰甲基）胺’ 三（乙氧羰甲基）胺，Ν-丁基雙（甲氧羰甲基）胺，Ν-己 基雙（甲氧羰甲基）胺，/3-(二乙基胺）-5-戊內醯胺， 但是不受此限。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 可再添加1種或2種以上選自下述一般式（B) -1所 示之具有環狀構造之鹼性化合物。

(B)-2 (式中，X係與前述相同；R3°7爲碳數2至20之直鏈狀、 支鏈狀之伸烷基，可含有1個或多個羰基、醚結構、酯結 構或硫醚結構。） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5& 1273350 A7 B7 經濟部智慧財4局員工消費合作社印製 五、發明説明（55) B-2之具體例如有ι_[2-(甲氧甲氧基）乙基]吼咯院 、1-[2-(甲氧甲氧基）乙基]哌啶、心[八（甲氧甲氧基） 乙基]嗎啉、卜[2-[ 2-(甲氧乙氧基）甲氧基]乙基]哦咯烷 、1-[2-[2-(甲氧乙氧基）甲氧基]乙基]哌啶、4-[2-[2-( 甲氧乙氧基）甲氧基]乙基]嗎啉、乙酸2-(1-吡咯基）乙 酯、乙酸2-哌啶基乙酯、乙酸2-嗎啉乙酯、蟻酸2- ( 1-吡咯基）乙酯、丙酸2-哌啶基乙酯、乙醯氧乙酸2-嗎啉 乙酯、甲氧基乙酸2- ( 1-吡咯基）乙酯、4-[2-(甲氧羰氧 基）乙基]嗎啉、l-[2- ( t-丁氧羰氧基）乙基]哌啶、4-[2- (2-甲氧乙氧羰氧基）乙基]嗎啉3-(1-吡咯基）丙酸 甲酯、3 -哌啶基丙酸甲酯、3 -嗎啉基丙酸甲酯、3 -(硫基 嗎啉基）丙酸甲酯、2-甲基-3- ( 1-吡咯基）丙酸甲酯、3-嗎啉基丙酸乙酯、3 -哌啶基丙酸甲氧羰基甲酯、3 - ( 1 -吡 咯基）丙酸2-羰基四氫呋喃-3-基、3-嗎啉基丙酸2-甲氧 基乙酯、3-(卜吡咯基）丙酸2-(2-甲氧乙氧基）乙酯、 3 -嗎啉基丙酸丁酯、3 -哌啶基丙酸環己酯、α -(卜吡咯基 )甲基-Τ - 丁內酯、/5 -哌啶基-Τ - 丁內酯、/3 -嗎啉基-5 -戊內酯、1 -吡咯基乙酸甲酯、哌啶基乙酸甲酯、嗎啉基乙 酸甲酯、硫基嗎啉基乙酸甲酯、1 -吡咯基乙酸乙酯、嗎啉 基乙酸2-甲氧基乙酯等。 又，可再添加1種或2種以上選自具有下述一般式（ B ) -3至（B ) -6所示之含氰基之鹼性化合物。 準 標 家 國 國 中 用 適 度 尺 張 紙 本 釐 公 7 9 2 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂 Φ -59- 1273350 Α7 Β7 五、發明説明（ 56

N-fR r3-m 〇3〇ejj_ (Β)-5 式中，X、r3Q7 o—r309-cn

0_r309~cn 經濟部智慧財產局Β (工消費合作社印製 m係與前述相同；、r3°9係分別獨 立之碳數1至4之直鏈狀、支鏈狀之伸烷基。） 含有氰基之鹼的具體例如有3-(二乙基胺）丙腈、 N，N -雙（2 -經乙基）-3 -胺基丙腈、n，N -雙（2 -乙醯氧乙基 )-3-胺基丙腈、N，N-雙（2-甲醯氧乙基）-3-胺基丙腈、 N，N-雙（2 -甲氧乙基）-3-胺基丙腈、N，N-雙[2-(甲氧甲 氧基）乙基]-3 -胺基丙腈、N-(2 -氰乙基）-Ν-(2·甲氧乙 基）-3-胺基丙酸甲酯、Ν-(2-氰乙基）-Ν-(2·羥乙基）. 3·胺基丙酸甲酯、Ν- (2·乙醯氧乙基）-Ν· (2-氰乙基）_ 3·胺基丙酸甲酯、Ν- (2-氰乙基）-Ν-乙基-3-胺基丙腈、 Ν- ( 2-氰乙基）-Ν- ( 2-羥乙基）-3-胺基丙腈、Ν- ( 2-乙 醯氧乙基）-Ν- (2-氰乙基）-3-胺基丙腈、Ν- (2-氰乙基 )-Ν- ( 2-甲醯氧乙基）-3-胺基丙腈、Ν- ( 2·氰乙基） (2-甲氧乙基）-3-胺基丙腈、Ν- ( 2-氰乙基）-Ν-[2-(甲 氧甲氧基）乙基]-3-胺基丙腈、Ν- ( 2-氰乙基）-Ν- ( 3-羥 基卜丙基）-3-胺基丙腈、Ν-(3-乙醯氧基-1·丙基）-Ν-( 2-氰乙基）-3-胺基丙腈、Ν- (2-氰乙基）-Ν- (3-甲醯氧 ______ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ29?公釐） 1273350 A7 B7__ 五、發明説明（57 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 基-1·丙基）-3 -胺基丙腈、N-(2 -氰乙基）四氫呋喃 基-3-胺基丙腈、N，N-雙（2 -氰乙基）-3-胺基丙腈、二乙 基胺乙腈、N，N-雙（2-羥乙基）胺基乙腈、N，N-雙（2-乙 醯氧乙基）-3-胺基乙腈、N，N-雙（2-甲醯氧乙基）-3-胺 基乙腈、N，N-雙（2 -甲氧乙基）-3-胺基乙腈、N，N-雙[2· (甲氧甲氧基）乙基]-3-胺基乙腈、N-氰甲基-N- (2-甲氧 乙基）-3-胺基丙酸甲酯、N-氰甲基-N- ( 2-羥乙基）-3-胺 基丙酸甲酯、N- (2 -乙醯氧乙基）-N-氰甲基-3-胺基丙酸 甲酯、N-氰甲基-N- (2-羥乙基）胺基乙腈、N- (2-乙醯 氧乙基）-N-(氰甲基）胺基乙腈、N·氰甲基）-N-(2-甲 醯氧乙基）-3-胺基乙腈、N-氰甲基-N· (2 -甲氧乙基）胺 基乙腈、N-氰甲基-N-[ 2-(甲氧甲氧基）乙基]胺基乙腈、 經濟部智慧財4局Β(工消費合作社印^ N -氰甲基-N- ( 3 -羥基1-丙基）-3 -胺基乙腈、N· ( 3 -乙醯 氧基-1-丙基）-Ν·(氰甲基）-胺基乙腈、N-氰甲基- N-( 3-甲醯氧基-1·丙基）胺基乙腈、N，N-雙（氰甲基）胺基乙 腈、1-吡咯烷基丙腈、1-哌啶基丙腈、心嗎啉基丙腈、卜 吡咯烷基乙腈、1-哌啶基乙腈、4-嗎啉基乙腈、3-二乙基 胺丙酸氰甲酯、Ν，Ν·雙（2-羥乙基）-3-胺基丙酸氰甲酯、 Ν，Ν-雙（2·乙醯氧乙基）-3-胺基丙酸氰甲酯、Ν，Ν-雙（2-甲醯氧乙基）-3·胺基丙酸氰甲酯、Ν，Ν-雙（2-甲氧乙基 )-3-胺基丙酸氰甲酯、Ν，Ν-雙[2-(甲氧甲氧基）乙基]-3-胺基丙酸氰甲酯、3-二乙基胺丙酸2·氰乙基、Ν，Ν-雙（2-羥乙基）-3-胺基丙酸2-氰乙基、Ν，Ν-雙（2-乙醯氧乙基 )-3 -胺基丙酸2 -氰乙基、Ν，Ν -雙（2 -甲釀缉乙基）-3 -月女 -G1 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 1273350 A7 B7 五、發明説明（58 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 基丙酸2-氰乙基、N，N-雙（2-甲氧乙基）-3-胺基丙酸2-氰乙基、N，N-雙[2-(甲氧甲氧基）乙基]-3-胺基丙酸2-氰 乙基、卜吡咯烷基丙酸氰甲酯、1·哌啶基丙酸氰甲酯、心 嗎啉基丙酸氰甲酯、卜吡咯烷基丙酸2-氰乙基、1-哌啶基 丙酸2 -氰乙基、4 -嗎啉基丙酸2 -氰乙基。 上記鹼性化合物之添加量係對於酸產生劑1重量份時， 添加0.001至10重量份，較佳爲0.01至1重量份。添加 量未達0.001重量份時，有時無法充分得到添加劑之效果 ，超過10重量份時，解像度或感度可能會降低。 又，本發明之光阻材料中可添加分子內具有以EC-COOH基表示之基的化合物（有機物）。 分子內具有以三C-COOH表示之基的化合物，例如可 使用1種或2種以上選自下述I群及II群之化合物，但 並不限定於此些化合物。添加本成份可提高光阻之PED 安定性，並可改善氮化膜基板上之邊緣粗糙度。 〔I群〕 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 下述一般式（A 1)〜（A 10)所示之化合物之苯酚 性羥基之氫原子的一部分或全部被-R4(M-cooh ( R4()1爲碳 數1至10之直鏈狀或支鏈狀之伸烷基）取代所成，且分 子中之苯酚性羥基（C )與以ξ C-COOH所示之基（D ) 之莫耳比爲C/ ( C + D ) = 0.1〜1.0的化合物。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 62- 1273350 A7 B7 五、發明説明（ 〔II 群〕 59 下述一般式（A 11 ) (A 1 5 )所示之化合物 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財/i局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1273350 A7 B7 五、發明説明（ (OH) 60

A1 〇4〇3R y=\ /〇H)t2 R—s2-^ R404^JR4〇2s2 A2 ,403 〇H)t2/=^f/=>(〇H)t2^sk/T\^R402$2 R s2

R

402 ^όΗ)^ A3 r°4〇^405>〇f (〇H)t2 R4〇2s2 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A4

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） €4 1273350 A7 B7___ 五、發明説明（61 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (式中R4°8爲氫原子或甲基；R4°2、r4°3係分別爲氫原子 或碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀之烷基或碳數1至8之直 鏈狀或支鏈狀之烯基；R4°4爲氫原子、碳數1至8之直鏈 狀或支鏈狀之烷基或碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀之烯基 ，或-(R4Q9) k-C〇〇R’基（R’爲氫原子或- R4Q9-C〇〇H，k爲0 或1) ; R4。5爲-(CH2)i-(i=2〜10的整數）、碳數6至 經濟部智慧財產局g(工消費合作社印製 10之伸芳基、羰基、磺醯基、氧原子或硫原子；R4°6爲碳 數1至10之伸烷基、碳數6至10之伸芳基、羰基、磺醯 基、氧原子或硫原子；R4°7爲氫原子、碳數1至8之直鏈 狀或支鏈狀之烷基、碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀之烯基 、或分別被羥基取代之苯基或萘基；R 4()9爲碳數1至10 之直鏈狀或支鏈狀之伸烷基；R41(3爲氫原子、碳數1至8 之直鏈狀或支鏈狀之烷基、碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀 之烯基或-R411-C〇〇H基；R411爲碳數1至1〇之直鏈狀或 支鏈狀之伸烷基；j爲0至5之整數；u爲0或1; si、tl 、s2、t2、s3、t3、s4、t4 係分別滿足 sl+tl=8、s2+t2 =5、s3+t3=4、s4+t4=6，且爲各苯基骨架中至少具有 1個經基之數。/c爲式（A6)化合物之重量平均分子量 1,000〜5,000之數；λ爲式（A7)化合物之重量平均分子 量 1,000 〜10,000 之數。） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 6& 1273350 A7 B7 五、發明説明（62 )

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (上式中R4°2、R4°3、R411係與前述相同；R412爲氫原子或 羥基；s5、t5爲s5-0、t520，且滿足s5+t5=5之數， h’爲0或1 ) 本成份之具體例如下述一般式AI-1〜14及AII-1〜10 所示化合物，但不限於這些化合物。 經濟部智慈財/1局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 66· 1273350 A7 B7 五、發明説明（63 )

OR"CO

AM

R"

R”

R” 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

AH1 AH 2 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

)R" MR〇—^^—CH2C00Rm A卜14 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 6?

AIH3 1273350 A7 B7 五、發明説明（64 ) (上式中R"爲氫原子或CH 2 CO OH基，各化合物中，R" 之10〜100莫耳％爲CH2COOH基，a、/c係與前述相 同） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局a(工消費合作社印製

Η

本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1273350 A7 __B7_ 五、發明説明（65 ) 上述分子內具有以^C-COOH表示之基的化合物可單 獨使用1種或將2種以上組合使用。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 上述分子內具有以eC-COOH表示之基之化合物的添 加量係對於基質樹脂1〇〇重量份時，添加〇〜5重量份，較 佳爲0.1〜5重量份，更佳爲0.1〜3重量份，最佳爲0.1 〜2重量份，超過5重量份時會使光阻材料之解像性降低 。又，本發明之光阻材料中可配合作爲添加劑之炔醇衍生 物，藉此可提高保存安定性。 炔醇衍生物可使用以下述一般式（SI)、 （S2)所75 之化合物。 R504 R502 r501-c^-S-r503 r505-6-c*c-0-r503 0-(CH2CH2〇)yH H(OCH2CH2)x-0 0-<CH2CH20)yH S1 S2 (上式中R5Q1、R5°2、R5°3、R5°4、R5Q5係分別爲氫原子、 或爲碳數1至8之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基；X、Y 爲0或正數，且滿足下述數値。〇$Χ$30，0$Υ$30，0 ^ X+ 40)。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 炔醇衍生物較佳者爲 Surfynol61，Surfynol 82’ Surfynol 104，Surfynol 104E，Surfynol 104H，Surfynol 104A，Surfynol TG，Surfynol PC，Surfynol 440，Surfynol 465，Surfynol 485 ( Air Products andChemicals Inc.製）、 Surfynol El004 (日信化學工業（株）製）等。 上述炔醇衍生物之添加量係在光阻材料100重量!^中 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 6& 1273350 A7 B7 五、發明説明（66 ) 爲0·01至2重量％ ，更佳爲0.02至1重量％ 。低於0.01 重量％時，有時無法得到充份之塗布性及保存安定性之改 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 善效果，超過2重量％時有時會使光阻材料之解像性降低 〇 本發明之光阻材料中，除了上述成分外，可添加提高 塗佈性所常用之界面活性劑之任意成份。又，此任意成份 之添加量係在不妨礙本發明效果之範圍內之一般添加量。 界面活性劑以非離子性者爲佳，例如全氟烷基聚氧乙 烯乙醇、氟化烷酯、全氟烷基胺氧化物、全氟烷基ΕΟ加 成物（式中ΕΟ爲環氧乙烷的簡稱）、含氟有機矽氧烷系 化合物等。伊J如 FRORARD 「FC-430」、「FC-431」（皆 爲住友3Μ公司製）、SARFR〇N「S-141」、「S-145」（ 皆爲旭硝子公司製）、UNIDYNE「DS-401」、「DS-403」 、「DS-451」（皆爲大金工業公司製）、Magfac「F-8151 」（大日本油墨公司製）、「X-70-092」、「X-7 0-09 3 」（皆爲信越化學工業公司製）等。其中較佳者爲 FRORARD「FC-430」（住友 3M 公司製）、「X-70-093」 (信越化學工業公司製）。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 使用本發明之光阻材料形成圖型時，可採用公知微影 技術，例如於矽晶圓等基板上以旋轉塗佈等方法塗佈厚度 0.3〜2.0// m之膜厚，此膜厚於加熱板上以60〜180°C、1 〜10分鐘、較佳爲80〜150 °C、1〜5分鐘進行預烤。其 次在上述光阻膜上覆蓋欲形成目的圖型之光罩後，以KrF 或ArF準分子雷射以曝光量1〜l〇〇mJ/cm 2左右，較佳 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ^- 1273350 A7 ____B7 五、發明説明（67 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 爲5〜50mJ/ cm 2照射後，在加熱板上以6〇〜ι8(Γ(：、1〜 5分鐘，較佳爲80〜150 °C、1〜3分鐘進行後曝光烘烤（ PEB)。使用0.1〜5重量％ ，較佳爲2〜3重量％四甲基 氫氧化銨（ΤΗ AM )等之鹼性水溶液之顯影液，以〇1〜3 分鐘、較佳爲0.5〜2分鐘，藉由浸漬（dip )法、攪拌（ puddle)法、噴灑法（Spray)法等常用顯影法進行顯影，於基 板上形成目的之圖型。超出上述範圍之上限或下限時，有 時無法得到目的之圖型。 【實施例】 以下以合成例、實施例及比較例具體說明本發明，但 本發明並不受下述實施例所限制。 合成例1 2-羰基-2-苯基乙基硫雜環五鑰溴化物水溶液之合成 經濟部智慧財產局員工消費合作社印％ 將2-溴苯乙酮4.97g( 0.025莫耳）溶解於硝基甲烷 9.5g中。室溫下添加四氫噻吩2.2g ( 0_025莫耳），此狀態 下，室溫熟成2小時。藉由反應之進行，反應液固化。添加 水70g及二乙醚50g溶解固形物。分批採取水層再添加二 乙醚50g洗淨，除去親油性之雜質。 使用此水溶液進行各種與雙過氟烷基硫醯亞胺之陰離 子交換。 2-羰基-2-苯基乙基硫雜環五鑰溴化物雙（過氟乙基磺醯 -—- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 1273350 A7 B7 五、發明説明（68 ) 基）醯亞胺之合成 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 上述之2-羰基-2-苯基乙基硫雜環五鑰溴化物水溶液 中添加雙（過氟乙基磺醯基）醯亞胺9· 5g ( 0.025莫耳） 時，油狀物產生分離。此油狀物使用二氯甲烷100g萃取。 有機層以50g的水洗淨4次，有機層以旋轉蒸發器濃縮得 到油狀物15g。此油狀物中添加二乙醚50g產生結晶，再以 減壓過濾結晶，經乾燥得到白色結晶13g。收率66% 。 製得之試料以 TOF-MS分析。測定裝置爲 Kratos Kompact Probe MALDI-TOFMS，陽離子、陰離子之加速電壓 爲5kV、質量校正爲C6〇、以直線飛行。得到陽離子之 207.3之質量波峰、379.9之陰離子波峰，陽離子之質量與 2-羰基-2-苯基乙基硫雜環五鑰溴化物一致，陰離子與雙（ 過氟乙基磺醯基）醯亞胺之質量一致。 IR與1 H-NMR之分析結果如下述。 IR (薄膜）：2^ =3 07 7、3031、2975、2929、1687、1598、 1 5 83、1452、1430、1 386、1351、1 332、1 230、1174、 1141、1 083 ' 995、975、906、883、775、755 ' 740、684 、640、613、568、536、524cm'1 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 :H-NMR (300MHz，CDCh) : 5 =7.6 1 7-7.666ppm (Ha，1H、 三重線）、7.424-7.482ppm (Hb、2H、3 重線）、7·911-7·935ρριη (He、2H、二重線）、5· 117ppm (Hd、2H、一重 線）、3.473-3.720ppm (He、4H、多重線）、2.256- 2.500 (Hf、4H、多重線） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 1273350 A7 B7 五、發明説明（69 )

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 合成例2 2·羰基-2-苯基乙基硫雜環五鑰溴化物雙（過氟正丁基磺 醯基）醯亞胺之合成 上述之2-羰基-2-苯基乙基硫雜環五鑰溴化物水溶液 中添加雙（過氟正丁基磺醯基）醯亞胺14.5g ( 0.025莫耳 )時，油狀物產生分離。此油狀物使用二氯甲烷150g萃取 。有機層以80g的水洗淨4次，有機層以旋轉蒸發器濃縮 得到油狀物18g。此油狀物中添加二乙醚50g產生結晶，再 以減壓過濾結晶，經乾燥得到白色結晶13.5g。收率68% 。 經濟部智慧財度局員工消費合作社印製 製得之試料以TOF-MS分析。得到陽離子之207.3之 質量波峰、579.9之陰離子波峰，陽離子之質量與2-羰基-2-苯基乙基硫雜環五鑰溴化物一致，陰離子與雙（過氟正 丁基磺醯基）醯亞胺之質量一致。 IR與j-NMR之分析結果如下述。 IR (薄膜）:=3066 ' 3 043、3023、2966、2921、1685、 1 598、1 5 83、1452、1430、1 3 86、1 3 59、1 326 ' 1 290、 1 25 7、1214、1197、1153、1062、1035、991、887、875、 806、73 8、721、701、68 8、651 ' 636、615 ' 595、576、 536、5 1 2cm’1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） 1273350 A7 B7 五、發明説明（7〇 ) 1H-NMR (300MHz，CDCh) : δ =7.61 7-7.666ppm (Ha，1H、 三重線）、7.424-7.482ppm (Hb、2H、3 重線）、7.911-7.935ppm (He、2H、二重線）、5· 117ppm (Hd、2H、一重 線）、3.473-3.720ppm (He、4H、多重線）、2.256-2.500 (Hf、4H、多重線）

實施例 對於以下述式表示之銃鹽、碘鑰盤（PAG1〜9 )所形 成之光阻，評價其感度及解像度。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1273350 A7 B7 五、發明説明（ 71

rP rF ?F2〇F3 -3 Of^o； ；f2cf3 CF2〇F3 (PAG 3) 0 0 J CF2CF3 "1 ^f2cf3 (PAG 4) (PAG 2)

丨9F3 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

cf2cf； §〇2 CF2CF2CF2CF3 ：2〇F2CF3

(PAG 7)

Nxf〇2>〇2 CF2CF2CF2CF3 (PAG 6)

fF3 >〇2 >〇2 5F3 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

pF2CF3 ϊ〇ζ }〇2 ：F2CF3

(PAG 10) (PAG 11) (PAG 12) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210X297公釐） T273350 A7 --—--— —_ B7 五、發明説明（72 )

(PAG 16) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 經濟部智慧財/1局轉工消費合作社印^ 實施例1〜40光阻之解像性評價 以上述式表示之锍鹽、碘鑰鹽（pAG1〜9 )爲酸產生 劑，以下述式表示之聚合物（Polymer 1〜26)爲基體樹脂 使用，以下述式表示之溶解抑制劑（Drr 1〜4 )、鹼性化 合物、一般式表示之分子內具有W^C-COOH表示之基的 化合物（ACC1、2)，這些以表所示之組成溶解於含有FC-430 (住友3M公司製）〇.(H重量％之溶媒中，調製光阻材 料，各組成物以〇 · 2 // m鐵氟隆製過濾器過濾，分別製得光 阻液。 衣纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 訂 -線 1273350 A7 B7 五、發明説明（73 ) 經濟部智慧財4局吕(工消費合作社印％ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

H p'H3 Hv /CH3 h)i T7^\/di

H

H

CH3 Vdi H

H CH3 H '

P

H CH3 Η H (> (fdt 0 "θί12 H J3.

P

0

(Polymer 1) (b1 =0.40. d1 =0.60, Mw=11,200) (Polymer 2) (b 1=0.50, d 1=0.50, Mw=11,800) (Polymer 3) (b1=0.50, d1=0.50, Mw=10,900) H (Polymer 4) (d1=0.30, d2=0.35, e=0.35, Mw=10.500)

H

(Polymer 5) Tdl (b1=0.40, d1=0.30, d2=0.30, Mw=12,500)

Η H

0!

(Polymer 5) (d2=0.35t b2=0.15, e=0.50f Mw=8t300) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1273350 A7 B7 五、發明説明（ 74

(Polymer 7) (a2=O.IO, b2=0.30, d1=0.60t Mw=27,600)

(Polymer 8) (b2=0.40, d2=0.60, Mw= 18,300)

CH2)J-b3

(b3=0.50, d3=0.50, Mw=29f100) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財/1^昼：工消費合作社印製

(Polymer 10) (d2=0.50, e=0.50, Mw=8,300) (a2=0.10, b2=0.30, d 1=0.60, Mw=27,600) (b2=0.40f d2=0.60, Mw= 18,300) 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1273350 A7 B7 五、發明説明（75 )

(Polymer 13) (b3=0.40, d3=0.60, Mw=29.100) (Polymer 14) (d1=0.40, S=0.20, e=0.40 Mw=10,200) H CH3

Η Η

(Polymer 15) (d1=0.45, S=0.10, a=0.45 Mw= 12,200) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) Η CH3 H 一

(Polymer 16) (d 1=0.45, S=0.10, e=0.45 Mw=14,200〉 經濟部智慧財/1^7肖工消費合作社印災 H CH3 H 一

(Polymer 17) (d 1=0.45. S=0.10, e=0.45 Mw=10,200) (Polymer 18) (d1=0.45. S=0.10. β^0.45 Mw=12,600) 1/ 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 79- 1273350 A7 B7 五、發明説明（76

H CH3 "Θ(^d1 H Η ρΗ3 十d1 Η (Polymer 19) (f1=0.70, d1=0.30, Mw= 14200) (Polymer 20) (f 1=0.65, d 1=0.35, Mw=13600)

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慈財產局員工消費合作社印焚

(Polymer 21) (f1=0.65, g2=0.20, d 1=0.15, Mw= 12200) (Polymer 22) (f1 =0.70, g1=0.15, d1=0.15 Mw=8900) (Polymer 23) (f 1=0.70, g1=0.13 d1=0.1Z Mw=9800) 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） 册 1273350 A7 B7 五、發明説明（ 77

Η (Polymer 24) (f 1=0.85, d1=0.15, Mw= 10900) Η Η Η

ΟΗ Η

(Polymer 25) (f 1=0.65 f2=0.35, Mw=11000) °Τ°Ί Η Η ΗΤ1 ^ Η

Η 2 IT

Η

(Polymer 26) (f1 =0.55, f2=0.20 f3=0.15, Mw=11000) °r^ °ty 經濟部智慧財凌局：^工消费合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） I27335〇 A7 B7 五 、發明説明（ 78

C02H (ACC 1)

(DRR 2) (DRR 1)

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 線 經濟部智慧財走局自：工消費合作社印製 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公瘦） 對於使用Polymer 1〜18之光阻進進行ArF (波長 1 93nm )曝光。 矽基版上塗佈抗反射膜溶液（shipurey公司製AR19 )，以200°C、烘烤60秒製作之抗反射膜（82nm膜厚） 基板上以旋轉塗佈法塗佈光阻溶液，使用加熱板以110°C、 烘烤60秒，製作300nm膜厚之光阻膜。此光阻膜使用 ArF準分子雷射微步進機（Nikon公司製，NA = 0.5 5、 σθ.7)進行曝光，以110°C，烘烤60秒（PEB)後，使用 -82-- 1273350 經濟部智慧財/i^7:H工消費合作社印¾ A7 B7五、發明説明（79 ) 2.38重量％之四甲基氫氧化銨水溶液進行30秒顯影。 光阻之評價係0 · 2 μ m之群組之線空間以1 : 1解像之 曝光量爲最佳曝光量（Eop、m〗/cm2)，此曝光量之線空間 的最小線寬（μιη )爲評價光阻的解像度，測定同樣曝光量 之線空間1 : 1 0之單線之線寬，群組之線寬減去單線之線 寬的數値爲單線圖案與密集圖案之尺寸差（I/G偏差）。 測定群組線的凹凸作爲線邊緣粗糙度。結果如表1所示。 Ki*F曝光實施例 對於使用 Polymer 19〜26之光阻進進行KrF (波長 248nm )曝光。 矽基版上塗佈抗反射膜溶液（blewerscience公司製 DUV-30)，以200°C、烘烤60秒製作之抗反射膜（55nm膜 厚）基板上以旋轉塗佈法塗佈光阻溶液，使用加熱板以1 10 t、烘烤60秒，製作400nm膜厚之光阻膜。此光阻膜使用 KrF準分子雷射掃描器（Nikon公司製S203B，NA = 0.68、 s = 0.75)進行曝光，以110°C，烘烤60秒（PEB)後，使用 2.38重量％之四甲基氫氧化銨水溶液進行60秒顯影。 光阻之評價係0.18 μιη之群組之線空間以1 : 1解像之 曝光量爲最佳曝光量（Eop、mJ/cm2)，此曝光量之分離之 線空間的最小線寬（μιη )爲評價光阻的解像度，測定同樣 曝光量之線空間1 : 10之單線之線寬，群組之線寬減去單 線之線寬的數値爲單線圖案與密集圖案之尺寸差（I/G偏 差）。測定群組線的凹凸作爲線邊緣粗糙度。結果如表2 68--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部智慧財/i^7s工消費合作社印踅 1273350 A7 —_ B7 五、發明説明（80 ) 所示。 各光阻之組成及評價結果如表1所示。表1中，鹼性 化合物及溶劑如下述。 PGMEA :丙二醇甲基醚乙酸酯 CyH〇：環己酮 PG/EL : PGMEA 70%與乳酸乙酯30%之混合溶劑 TBA :三丁胺 TEA :三乙醇胺 TMMEA:三甲氧基甲氧基乙基胺 TMEMEA :三甲氧基乙氧基甲氧乙基胺 AAA ··三（2-乙醯氧乙基）胺 AACN: N，N-雙（2-乙醯氧乙基）-3-胺丙腈 比較例 爲了比較，評價以下述式表示之锍鹽（PAG10〜15)製 成光阻時之感度及解像性。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

一適 度 尺 ¾ 紙 I本 準 標 家 國 國 一釐 一公 1273350 A7 B7 五、發明説明（ 81

0 經濟部智慧財/i局Μ工消費合作社印¾ —0S02—C4F9 ό (PAG 15) 比較例1〜6 使用上述式表示之锍鹽（PAG 10〜15 )以上述表3相 同之組成調製光阻，與上述同樣以ArF準分子雷射微步進 機曝光，評價感度及解像性。 各光阻之組成及評價結果如表3所示。 由表1、2及3之結果得知本發明之光阻材料之感度 及解像性高於以往光阻材料，且線邊緣粗糙度及I/G偏差 也優於以往光阻材料。 〔發明之效果〕 添加本發明之酸產生劑之光阻材料具有解像性優異， 單一圖案與密集圖案之尺寸差小，且線邊緣粗糙度低的特 徵。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財/illra:工消費合作社印製 1273350 A7 B7 五、發明説明（82 ) 〔表1〕 實施例 樹脂 (重量份） 酸產生劑 (重量份） 溶解阻止劑 或有機酸 (重量份） 鹼性 化合物 (重量份） 溶劑 (重量份） 最佳 露光量 (mJ/cm2) 解像度 (Mm) I/G偏差 (nm) 線邊緣 粗糙度 (nm) 1 Polymer 1 PAG1 TBA PGMHA 35.0 0.15 25 5.0 (80) (1.5) (0.10) (480) 2 Polymer 1 PAG2 TBA PGMEA 31.0 0.15 29 6.0 (80) (1.5) (0.10) (480) 3 Polymer 1 PAG3 TBA PGMEA 28.0 0.15 35 6.3 (80) (1.5) (0.10) (480) 4 Polymer 1 PAG4 TBA PGMEA 45.0 0.15 20 7.2 (80) (1.5) (0.10) (480) 5 Polymer 1 PAG5 TBA PGMEA 42.0 0.15 19 8.2 (80) (2) (0.10) (480) 6 Polymer 1 PAG6 TBA PGMEA 50.0 0.16 12 8.5 (80) (2) (0.10) (480) 7 Polymer 1 PAG7 TBA PGMEA 50.0 0.16 29 8.5 (80) (2) (0.10) (480) 8 Polymer 1 PAG8 TBA PGMEA 50.0 0.16 35 3.6 (80) (2) (0.10) (480) 9 Polymer 1 PAG9 TBA PGMEA 50.0 0.16 40 4.2 (80) (2) (0.10) (480) 10 Polymer 1 PAG10 TBA PGMEA 32.0 0.16 45 3.1 (80) (4) (0.10) (480) 11 Polymer 1 PAG 11 TBA PGMEA 65.0 0.16 42 3.0 (80) (6) (0.10) (480) 12 Polymer 1 PAG 12 TBA PGMEA 28.0 0.16 41 3.5 (80) (3) (0.10) (480) 13 Polymer 1 PAG 13 TBA PGMEA 45.0 0.16 42 3.6 (80) (7) (0.10) (480) 14 Polymer 1 PAG14 TBA PGMEA 35.0 0.16 45 3.3 (80) (7) (0.10) (480) 15 Polymer 1 PAG 15 TBA PGMEA 31.0 0.16 48 3.8 (80) (6) (0.10) (480) 16 Polymer 1 PAG 16 TBA PGMEA 55.0 0.16 41 3.5 (80) (6) (0.10) (480) 17 Polymer 1 PAG 10 TBA PGMEA 28.0 0.16 39 3.7 (80) (2) (0.10) (480) PAG1 (2) 18 Polymer 1 PAG 10 TBA PGMHA 26.0 0.16 42 3.8 (80) (2) (0.10) (480) PAG12 (1) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1273350 A7 B7 經濟部智慈財/i局a(工消費合作社印製 五、發明説明（83 ) 〔表2〕 實施例 樹脂 (重童份） 酸產生劑 (重量份） 溶解阻止劑 或有機酸 (重量份） 鹼性 化合物 (重量份） 溶劑 (重量份） 最佳 露光量 (mJ/cm2) 解像度 (Mm) I/G偏差 (nm) 線邊緣 粗糙度 (nm) 19 Polymer 1 PAG10 TBA PGMEA 42. 0 0.16 32 4.2 (80) (2) (0.10) (480) PAG15 (1) 20 Polymer 2 PAG1 TBA PGMEA 22.0 0.16 33 3.6 (80) (1.5) (0.10) (480) 21 Polymer 3 PAG1 TBA PGMEA 15.0 0.15 38 2. 2 (80) (1.5) (0.10) (480) 22 Polymer 4 PAG1 TBA PGMEA 25.0 0.15 13 8. 8 (80) (1.5) (0.10) (480) 23 Polymer 5 PAG1 TBA PGMEA 39.0 0.17 19 5.6 (80) (1.5) (0.10) (480) 24 Polymer 6 PAG1 TBA PGMEA 29.0 0.17 30 6.3 (80) (1.5) (0.10) (480) 25 Polymer 7 PAG1 TBA CyHO 25.0 0.15 35 5.6 (80) (1.5) (0.10) (560) 26 Polymer 8 PAG1 TBA CyHO 22.0 0.15 38 6.3 (80) (1.5) (0.10) (560) 27 Polymer 9 PAG1 TBA CyHO 22.0 0.18 42 3.2 (80) (1.5) (0.10) (560) 28 Polymer 10 PAG1 TBA PGMEA 19.0 0.16 30 6.6 (80) (1.5) (0.10) (480) 29 Polymer 11 PAG1 TBA CyHO 28.0 0.16 45 5.5 (80) (1.5) (0.10) (560) 30 Polymer 12 PAG1 TBA CyHO 15.0 0.18 46 5.8 (80) (1.5) (0.10) (560) 31 Polymer 13 PAG1 TBA CyHO 19.0 0.18 48 5. 5 (80) (1.5) (0.10) (560) 32 Polymer 14 PAG1 TBA PGMEA 29.0 0.15 22 8. 8 (80) (1.5) (0.10) (480) 33 Polymer 15 PAG1 TBA PGMEA 32.0 0.15 12 9.8 (80) (1.5) (0.10) (480) 34 Polymer 16 PAG1 TBA PGMEA 26.0 0.15 20 8. 8 (80) (1.5) (0.10) (480) 35 Polymer 17 PAG1 TBA PGMEA 29.0 0.17 25 5.6 (80) (1.5) (0.10) (480) 36 Polymer 18 PAG1 TBA PGMEA 25. 0 0.18 28 5. 1 (80) (1. 5) (0.10) (480) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣紙乐尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1273350 A7 B7 經濟部智慧財/i^7a (工消費合作社印¾ 五、發明説明（84 〔表3〕 實施例 樹脂 (重量份） 酸產生劑 (重量份） 溶解阻止劑 或有機酸 (重量份） 鹼性 化合物 (重量份） 溶劑 (重量份） 最佳 露光量 (mJ/cm2) 解像度 (Mm) I/G偏差 (nm) 線邊緣 粗糙度 (nm) 37 Polymer 1 PAG1 TEA PGMEA 30.0 0.15 26 4. 8 (80) (1.5) (0.10) (480) 38 Polymer 1 PAG1 TMMEA PGMEA 25.0 0.15 22 4. 7 (80) (1.5) (0.13) (480) 39 Polymer 1 PAG1 TMHMEA PGMEA 26.0 0.15 21 4. 6 (80) (1.5) (0.20) (480) 40 Polymer 1 PAG1 AAA PGMEA 30.0 0.14 21 4. 1 (80) (1.5) (0.10) (480) 41 Polymer 1 PAG1 AACN PGMEA 32.0 0.14 20 4. 8 (80) (1.5) (0.10) (480) 42 Polymer 7 PAG1 TEA CyHO 29.0 0.15 33 5.6 (80) (1.5) (0.10) (560) 43 Polymer 7 PAG1 DRR1 TEA CyHO 20.0 0.15 38 3. 8 (64) (1.5) (16) (0.10) (560) 44 Polymer 7 PAG1 DRR2 TEA CyHO 19.0 0.15 40 3.3 (64) (1. 5) (16) (0.10) (560) 45 Polymer 7 PAG1 DRR3 TEA CyHO 22.0 0.15 39 3.6 (64) (1.5) (16) (0.10) (560) 46 Polymer 7 PAG1 DRR4 TEA CyHO 22.0 0.15 45 3.6 (64) (1.5) (16) (0.10) (560) 47 Polymer 4 PAG1 TEA PGMEA 22.0 0.15 12 7.6 (80) (2) (0.10) (480) 48 Polymer 4 PAG1 ACC1 TEA PGMEA 21.0 0.15 15 5.2 (80) (2) (2) (0.10) (480) 49 Polymer 4 PAG1 ACC2 TEA PGMEA 20.0 0.15 16 5.5 (80) (2) (2) (0.10) (480) 50 Polymer 8 PAG1 TEA PGMEA 22.0 0.15 30 6.3 (80) (2) (0.10) (480) 51 Polymer 8 PAG1 ACC1 TEA PGMEA 21.0 0.16 32 4.4 (80) (2) (2) (0.10) (480) 52 Polymer 8 PAG1 ACC2 TEA PGMEA 20.0 0.16 34 4. 8 (80) (2) (2) (0.10) (480) 53 Polymer 3 . PAG1 TEA PGMEA 18.0 0.16 33 6.3 (40) (1. 5) (0.10) (480) Polymer 5 (40) 54 Polymer 5 PAG1 TEA PGMEA 16.0 0.16 38 5.2 (40) (1.5) (0.10) (480) Polymer 6 (40) ^衣 ： 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X 297公釐） =-88-^ 1273350 A7 B7 五、發明説明（85 〔表4〕 經濟部智慧財/|苟肖工消費合作社印¾ 實施例 樹脂 (重量份） 酸產生劑 (重量份） 溶解阻止劑 或有機酸 (重量份） 鹼性化 合物 (重量份） 溶劑 (重量份） 最佳 露光量 (mJ/cm2) 解像度 (μ m ) I/G偏差 (nm) 線邊緣 粗糙度 (nm) 55 Polymer 5 PAG1 TEA CyHO 31.0 0.15 35 4.4 (40) (1.5) (0.10) (560) polymer 8 (40) 56 Polymer 5 PAG1 TEA CyHO 28.0 0.15 33 6. 6 (40) (1.5) (0.10) (560) Polymer 9 (40) 57 Polymer 19 PAG6 TMMEA PGMEA 35.0 0.15 25 5.0 (80) (4.0) (0.10) (560) 58 Polymer 20 PAG6 TMMEA PGMEA 31.0 0.15 29 6.0 (80) (4.0) (0.10) (560) 59 Polymer 21 PAG6 TMMEA PGMEA 28.0 0.15 33 6.3 (80) (4.0) (0.10) (560) 60 Polymer 22 PAG6 TMMEA PGMEA 45.0 0.15 21 7.2 (80) (4.0) (0.10) (560) 61 Polymer 23 PAG6 TMMEA PGMEA 42.0 0.15 20 8· 2 (80) (4. 0) (0.10) (560) 62 Polymer 24 PAG6 TMMEA PGMEA 50.0 0.16 18 8. 5 (80) (4.0) (0.10) (560) 63 Polymer 25 PAG6 TMMEA PGMEA 33.0 0.15 22 4. 8 (80) (4. 0) (0.10) (560) 64 Polymer 26 PAG6 TMMEA PGMEA 18.0 0.16 21 3.2 (80) (4. 0) (0.10) (560) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 線 麝‘ 衣纸乐尺度適用中國國家標準（CN’S ) A4規格（210X 297公釐） 1273350 A7 B7 五、發明説明（86) 〔表5〕 實施例 樹脂 (重量份） 酸產生劑 (重量份） 溶解阻止劑 或有機酸 (重量份） 鹼性 化合物 (重量份） 溶劑 (重量份） 最佳 露光量 (mJ/cm2) 解像度 (Mm) I/G偏差 (nm) 線邊緣 粗糙度 (nm) 1 Polymer 1 PAG 10 TBA PGMEA 9. 1 0.16 128 5.8 (80) (1) (0.10) (480) 2 Polymer 1 PAG11 TBA PGMEA 9.9 0.16 145 4.9 (80) (1) (0.10) (480) 3 Polymer 1 PAG 12 TBA PGMEA 9.0 0.16 45 9.5 (80) (1) (0.10) (480) 4 Polymer 1 PAG 13 TBA PGMEA 9.4 0.16 168 4.3 (80) (1) (0.10) (480) 5 Polymer 1 PAG14 TBA PGMEA 8.9 0.16 22 16.9 (80) (1) (0.10) (480) 6 Polymer 1 PAG 15 TBA PGMEA 9.2 0.16 18 16.9 (80) (1) (0.10) (480) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財走局肖工消費合作社印焚 〔圖面之簡單說明〕 圖1係表示改變線間距及酸擴散距離時之線尺寸變化 之模擬計算的結果，25〜70nm爲酸擴散距離。 圖2係酸擴散距離改爲18〜70nm時之光阻斷面之模 擬計算的結果。 本纸張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X 297公釐）

Claims (1)

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六、申請專利範圍1 第9 1 1 375 30號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國95年5月2曰修正 1. 一種光酸產生劑化合物，其特徵係以下述一般式（1 )表示， ψΐ s〇2 V S〇2 & (1) (R1爲碳數2〜8之伸烷基，R2爲單鍵、氧原子、氮原 子或碳數1〜4之伸烷基，R 3爲碳數1〜8之直鏈狀、支鏈 狀或環狀之烷基、或碳數6〜10之芳基、碳數1〜4之烷 基、碳數1〜4之氟化之烷基、碳數1〜4之烷氧基、碳數 1〜4之氣化之院氧基、可被硝基、氰基、氟原子、苯基 、取代苯基、乙醯基或苯醯氧基取代，Rf:、Rf2其中之一 或兩者爲含有至少一個以上之氟原子之碳數1〜20之直鏈 狀、支鏈狀或環狀之烷基、可含有羥基、羧基、酯基、醚 基或芳基、Rf!或Rf2僅有其中之一爲至少含有一個以上 之氟原子之碳數1〜20之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基時， 本紙張尺度適用中國國家檩準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲·#背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1273350 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 2 另一爲碳數1〜20之直鍵狀、支鍵狀或環狀之院基、可八 有羥基、羧基、酯基、醚基、或芳基，Rf與Rf2鍵結可开^ 成環）。 2 ·如申請專利範圍第1項之光酸產生劑化合物，g中 R1爲碳數4或5之伸烷基。 3 ·如申請專利範圍第1項之光酸產生劑化合物，g中 R 3爲苯基或萘基。 4. 一種化學增幅正型光阻材料，其係由含有基體樹月匕 、酸產生劑及溶劑所成之化學增幅正型光阻材料，其特彳^ 係該酸產生劑爲產生含氟基之烷基醯亞胺酸。 5. 如申請專利範圍第4項之化學增幅正型光阻材半斗 其中該酸產生劑爲以下述一般式（1)或一般式（2)表$ 之鐵鹽， ------ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •訂* 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 R3\ 一2

Μ η ⑵ (上式中Rf!、Rf2其中之一或兩者爲含有至少一個以上之 氟原子之碳數1〜20之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基、可 含有羥基、羧基、酯基、醚基或芳基、Rf!或Rfa僅有其 本纸張尺度適用中國國家摞準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -2 - 8 88 8 ABCD 1273350 六、申請專利範圍 3 中之一爲含有至少一個以上之氟原子之碳數1〜2〇之直鏈 狀、支鏈狀或環狀之烷基時，另一爲碳數1〜20之直鏈狀 、支鏈狀或環狀之烷基、可含有羥基、羧基、酯基、醚基 或芳基，RL與1^2鍵結可形成環，R 1爲碳數2〜8之伸烷基， R2爲單鍵或氧原子、氮原子、碳數1〜4之伸烷基，R 3 爲碳數1〜8之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基、碳數6〜 10之芳基、碳數1〜4之烷基、碳數1〜4之氟化之烷基 '碳數1〜4之烷氧基、碳數1〜4之氟化之烷氧基、可被 硝基、氰基、氟原子、苯基、苯基、乙醯基或苯醯氧基取 代，R 4爲相同或不同之碳數1〜12之直鏈狀、支鏈狀或環 狀之烷基、可含有羰基、酯基、醚基、硫醚基或雙鍵，或 碳數6〜12之芳基或碳數7〜20之芳烷基，ΝΓ爲碘鑰或锍 ，η爲2或3 )。 6·如申請專利範圍第4或5項之化學增幅正型光阻材 料，其中該基體樹脂爲不溶或難溶於顯影液，且利用酸可溶 於顯影液。 7 ·如申請專利範圍第4或5項之化學增幅正型光阻材 料，其中該基體樹脂爲選自由聚羥基苯乙烯及其羥基之一 部分或全部被酸不穩定基取代之聚羥基苯乙烯衍生物、聚 丙烯酸及其酯、聚甲基丙烯酸及其酯、丙烯酸與甲基丙烯 酸之共聚物及其酯、環烯烴與馬來酸酐之共聚物、環烯烴 與馬來酸酐與丙烯酸酯之共聚物、環烯烴與馬來酸酐與甲 基丙烯酸酯之共聚物、環烯烴與馬來酸酐與丙烯酸酯與甲 基丙烯酸酯之共聚物、環烯烴與順丁烯二醯亞胺之共聚物 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -3 - 1273350 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 4 、環烯烴與順丁烯二醯亞胺與丙烯酸酯之共聚物、環烯烴 與順丁烯二醯亞胺與甲基丙烯酸酯之共聚物 '環烯烴與順 丁烯二醯亞胺與丙烯酸酯與甲基丙烯酸酯之共聚物、聚降 冰片烷及開環歧化開環聚合物所成群中之一種以上之高分 子聚合物。 8 ·如申請專利範圍第4或5項之化學增幅正型光阻材 料，其中該基體樹脂爲含矽原子之高分子結構體。 9 ·如申請專利範圍第4或5項之化學增幅正型光阻材 料，其中近一步含有鹼性化合物。 1 〇 ·如申請專利範圍第4或5項之化學增幅正型光阻 材料，其中近一步含有阻溶劑。 1 1 · 一種圖案之形成方法，其特徵爲包括以下步驟： 將如申請專利範圍第4〜1 0項中任一項之化學增幅正 型光阻材料塗布於基板上之步驟；加熱處理後，經由光罩 以波長300 nm以下之高能量線進行曝光之步驟；加熱處 理後’使用顯影液顯影之步驟。 ----- C請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張又度適用中國國家摞準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -4-