1267445 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關液滴配置裝置，光電面板，光電裝置， 電子機器’液滴配置方法，光電面板的製造方法，及電子 機器的製造方法。 【先前技術】 以往’在製造液晶面板時，於密封劑所圍繞的範圍内 滴下液晶的裝置，例如有分配器。但，在使用分配器時， 雖可於某一定量以某程度的精度來滴下液晶，但若爲滴下 該量以下的量，則噴出量的精度方面欠缺可靠性。並且， 以分配器來滴下液晶時，所滴下的痕跡（滴痕）會就如此 地形成斑紋。 在特開平5-28 1 5 62號公報中揭示有利用噴墨之液晶 面板的製造方法，該噴墨可高精度噴出一滴極微量的液晶 液滴。此公報中記載有使噴出液晶液滴的噴墨本體掃描成 0· 5mm間距的線狀，而使液晶的液滴線狀載置於基板上。 【專利文獻1】 特開平5-28 1 562號公報 【發明內容】 (發明所欲解決的課題） 爲了避免上述利用分配器來滴下液狀體（液晶）時所 產生的滴痕，而針對噴墨方式之液狀體（液晶）的塗佈來 -4- (2) 1267445 進行檢討。本發明者在進行以噴墨方式來滴下液晶的實驗 時，取得以下所述有關滴痕的結果。 亦即，如圖25所示，使設有複數個噴嘴54的噴墨噴 頭（以下簡稱爲「噴頭」）52如箭頭Ya所示對基材1進 行掃描，然後如箭頭Yb所示從各噴嘴5 4來噴出液晶 (液滴）。如此一來，在基材1上形成液晶的薄膜之後， 若使經由規定的步驟而完成的液晶面板點燈，則對基材1 而言沿著描繪方向的條紋（斑紋）1 54會被確認出。在上 述實驗中雖所滴下的液狀體爲液晶，但即使是液晶以外的 液狀體，照樣會有和上述條紋（斑紋）同樣的問題發生。 本發明的目的是在於提供一種在藉由包含噴墨方式的 液滴噴出方式來塗佈液晶而成的光電面板中不會產生條紋 或斑紋之液晶的液滴配置方法，液晶的液滴配置裝置及光 電面板。 本發明之其他的目的是在於提供一種在藉由包含噴墨 方式的液滴噴出方式來塗佈液狀體而成光電面板中不會產 生條紋或斑紋之液滴配置方法，液滴配置裝置及光電面 板。 本發明之另外其他的目的是在於提供一種不會導致藉 由包含噴墨方式的液滴噴出方式來塗佈液狀體而成的光電 面板品質降低之液滴配置方法，液滴配置裝置及光電面 板0 (用以解決課題的手段） -5- (3) 1267445 本發明之液狀物的液滴配置裝置，係將由液晶所構成 的液滴配置於基板者，其特徵爲： 以上述液滴到達上述基板之前的上述液滴的直徑以下 的第1間距，且以互相隣接的上述液滴能夠到達之方式來 配置上述液滴。 又，本發明的液滴配置裝置，係將由液晶所構成的液 滴配置於基板者，其特徵爲： 當上述液滴到達上述基板時的上述液滴的直徑爲第1 直徑，由上述第1直徑暈開時的上述液滴的直徑爲比上述 第1直徑更大的第2直徑時，以互相隣接的上述液滴到達 上述基板時上述第1直徑的上述液滴可互相接觸之方式， 以上述第1直徑以下的第2間距來配置上述液滴。 又，於本發明的液滴配置裝置中具備：掃描於掃描方 向的液滴噴出噴頭， 分別由具有上述液滴噴出噴頭的複數個噴嘴來噴出上 述液滴，該複數個噴嘴係以第3間距來配置於與上述掃描 方向交叉的副掃描方向， 上述第3間距係設定成不會超過上述第1間距或上述 第2間距的値。 又，於本發明的液滴配置裝置中具備：以第4間距來 掃描於掃描方向，而以上述第4間距來噴出上述液滴的液 滴噴出噴頭， 上述第4間距係設定成不會超過上述第1間距或上述 第2間距的値。 -6 - (4) 1267445 又，於本發明的液滴配置裝置中具備：掃描於掃描方 向，而來噴出上述液滴的液滴噴出噴頭， 以連結到達上述基板之互相鄰接於上述掃描方向的上 述液滴的中心位置的假想直線能夠與上述掃描方向交叉之 方式來配置上述液滴。 又，於本發明的液滴配置裝置中，當上述液滴到達上 述基板時的上述液滴的直徑爲第1直徑，由上述第1直徑 暈開時的上述液滴的直徑爲比上述第1直徑更大的第2直 徑時，以到達上述基板時的上述第1直徑的上述液滴的輪 廓全體能夠接觸於鄰接至該液滴的上述第1直徑的上述液 滴之方式來配置上述液滴。 又，於本發明的液滴配置裝置中具備··掃描於掃描方 向，而來噴出上述液滴的液滴噴出噴頭， 當上述掃描方向的複數號的上述液滴被噴出時，與上 述掃描方向的奇數號的上述液滴被噴出時相較之下，以僅 到達上述基板時的上述液滴的直徑的大槪一半來使上述液 滴噴出噴頭偏移於與上述掃描方向交叉的副掃描方向之狀 態下噴出上述液滴。 又，於本發明的液滴配置裝置中具備：噴出上述液 滴，且掃描於掃描方向的第1及第2液滴噴出噴頭互相固 定於以僅到達上述基板時的上述液滴的直徑的大槪一半而 偏移於與上述掃描方向交叉的副掃描方向的位置之噴頭 群， 使上述噴頭群對上述基板掃描於上述掃描方向，在噴 -7- (5) 1267445 出上述掃描方向的奇數號的上述液滴時，從上述第1液滴 噴出噴頭噴出上述液滴，在噴出上述掃描方向的偶數號的 上述液滴時，從上述第2液滴噴出噴頭噴出上述液滴。 又，於本發明的液滴配置裝置中具備：掃描於掃描方 向的液滴噴出噴頭， 上述液滴係分別由具有上述液滴噴出噴頭的複數個噴 嘴來噴出上述液滴，該複數個噴嘴係以第3間距來配置於 與上述掃描方向交叉的副掃描方向， 在上述液滴噴出噴頭的上述複數個噴嘴所開口的面， 以垂直的旋轉軸爲旋轉中心來使上述液滴噴出噴頭旋轉， 在上述複數個噴嘴的配列方向與上述掃描方向之間賦予一 角度，設定比上述第3間距更小的第5間距， 上述第5間距係設定成對應於到達上述基板之前的上 述液滴的直徑，上述基板係按照從上述液滴噴出噴頭所噴 出的上述液滴的量或噴出速度而變化。 又，本發明之光電面板的特徵係具備： 基板；及 薄膜，其係對上述基板，藉由液狀體的液滴來形成， 該液狀體的液滴係包含利用液滴噴出噴頭來噴出的液晶； 上述液滴係以當上述液滴到達上述基板時的上述液滴 的直徑爲第1直徑，由上述第1直徑暈開時的上述液滴的 直徑爲比上述第1直徑更大的第2直徑時，以互相隣接的 上述液滴到達上述基板時上述第1直徑的上述液滴可互相 接觸之方式來配置。 -8- (6) 1267445 又，本發明之光電裝置的特徵係具備上述本發明的光 電面板。 又，本發明之電子機器的特徵係具備上述本發明的光 電裝置。 又，本發明的液滴配置方法，係將包含液晶的液狀物 的液滴配置於基板者，其特徵爲： 當上述液滴到達上述基板時的上述液滴的直徑爲第1 直徑，由上述第1直徑暈開時的上述液滴的直徑爲比上述 第1直徑更大的第2直徑時，以互相隣接的上述液滴到達 上述基板時上述第1直徑的上述液滴可互相接觸之方式來 配置上述液滴。 又，本發明之光電面板的製造方法的特徵係具備： (a) 由液滴噴出噴頭來將彩色濾光片材料的液滴噴 出至基材之步驟；及 (b) 由上述液滴噴出噴頭來將液晶的液滴噴出至上 述彩色濾光片上之步驟； 上述（b )係當上述液滴到達上述彩色濾光片上時的 上述液滴的直徑爲第1直徑，由上述第1直徑暈開時的上 述液滴的直徑爲比上述第1直徑更大的第2直徑時，以互 相隣接的上述液滴到達上述彩色濾光片上時上述第1直徑 的上述液滴可互相接觸之方式來配置上述液滴。 又，本發明之電子機器的製造方法的特徵係具備：在 以申請專利範圍第1 4項所記載之光電面板的製造方法來 製造的光電面板中安裝安裝零件，而來製造電子機器之步 -9- (7) 1267445
【實施方式】 以下，參照圖面來詳細說明本發明。但，並非本發明 並非限於此實施形態。並且，就本發明的電子光學面板而 言，例如有液晶顯示面板。 (實施形態1 ) 以下，本發明之液滴噴出方法的一實施形態是針對利 用噴墨方式的液晶滴下方法來進行説明。第1實施形態是 在藉由噴墨來進行液晶的滴下時供以防止產生滴下痕跡的 技術。 首先，參照圖1來說明有關利用本實施形態的液晶滴 下方法所製造的液晶面板（電子光學面板100)。 如圖1所示，電子光學面板100是在基材1上將彩色 濾光片11形成於表面的彩色濾光片基板10a與其對向配 置的對向基板10b之間封入液晶12。在彩色濾光片基板 10a與對向基板l〇b之間配置間隔件13，使兩基板的間隔 t於全面大致形成一定。 並且，在彩色濾光片基板l〇a形成有彩色濾光片保護 膜20 (以下稱謂CF保護膜），用以保護形成於基材1上 的彩色濾光片11。而且，在CF保護膜20上形成有 IT014及配向膜16。CF保護膜20具備：由形成IT014 時的高温來保護彩色濾光片11之機能’及使彩色濾光片 -10- (8) 1267445 U間的凹凸形成平坦，而來抑止ITO 14的斷線及配向膜 16的面磨不良之機能。 圖2及圖3是表示本實施形態之電子光學面板及電子 機器的製造方法的説明圖。圖4是表示本實施形態之電子 光學面板及電子機器的製造方法的流程圖。圖5是表示本 實施形態之液滴噴出裝置的説明圖。 首先，如圖2(a)所示，在基材1上藉由光蝕刻微 影或噴墨，柱塞等的液滴噴出來形成彩色濾光片11 (步 驟 S101 )。 其次，爲了提高彩色濾光片11與塗佈於其上的液狀 保護膜材料的浸潤性，如圖2 ( b )所示，對彩色濾光片 11施以表面改質處理（步驟S1 02)，使提高對保護膜材 料的浸潤性。若浸潤性差，則保護膜材料會容易凝集，因 此保護膜材料會無法均一塗佈於彩色濾光片11上。並 且，保護膜材料會難以浸透至彩色濾光片1 1間，有可能 於該部份產生氣泡，因而造成電子光學面板的顯示畫像品 質降低。在本實施形態中雖是藉由使用UV燈3來照射紫 外線光而施以表面改質處理，但除此以外亦可適用氧氣電 漿處理。特別是因爲利用氧氣電漿處理連彩色濾光片11 上的殘渣也可以去除，因此CF保護膜20的品質會變 好。 彩色濾光片1 1與塗佈於其上的液狀保護膜材料的浸 潤性可以對彩色濾光片1 1之保護膜材料的接觸角P來規 定（參照圖2(c))。在本實施形態之電子光學面板的 -11 - (9) 1267445 製造方法中，上述接觸角β最好爲i 〇度以下。若爲此範 圍，則可使保護膜材料充分浸透至彩色濾光片11間’且 保護膜材料可以均一的厚度來形成於彩色濾光片11上’ 因此可形成高品質的CF保護膜20。 若表面改質處理終了，則如圖2 ( d )所示，藉由液 滴噴出來將液狀的保護膜材料塗佈於彩色濾光片11上 (步驟 S103 )。 在此之保護膜材料的塗佈是藉由噴墨法的液滴噴出來 進行。該保護膜材料的液滴塗佈方法及液滴配置方法可採 用與後述之液晶的塗佈及配置相同的方法。或者亦可取而 代之，採用噴墨方式之保護膜材料的液滴塗佈方法及液滴 配置方法。 若將保護膜材料塗佈於彩色濾光片基板l〇a上，則爲 了使保護膜材料中的溶媒揮發，而使保護膜材料乾燥（步 驟S104)。在本實施的形態中，如圖2(e)所示，使塗 佈保護膜材料的液滴之基材1載置於加熱板67上，而使 保護膜材料中的溶媒揮發。此刻，爲了使CF保護膜20 的表面形成平滑，最好是以較低的温度花某程度的時間來 使乾燥。具體而言，最好爲70°C以下的溫度，5分以上的 時間。又，爲了使CF保護膜20的表面狀態更爲平滑， 最好爲50°C以下的溫度，1〇分以上的時間，又，以30°C 以下的溫度，1小時以上的時間更爲理想。又，乾燥並非 限於加熱板67，亦可藉由紅外線加熱器的加熱來乾燥， 或使乾燥於烤爐内。如此一來，可使保護膜材料中的溶媒 -12- (10) 1267445 揮發，而來對彩色濾光片基板l〇a形成CF保護膜20。 其次，如圖3 ( f)所示，往CF保護膜20上形成 IT014及配向膜16(步驟S105)。 在此之配向膜16的材料塗佈是藉由噴墨法的液滴噴 出來進行。該配向膜1 6之材料的液滴塗佈方法及液滴配 置方法可採用與後述之液晶的塗佈及配置相同的方法。或 者亦可取而代之，採用噴墨方式之配向膜16的材料液滴 塗佈方法及液滴配置方法。 然後，進行配向膜16的面磨（步驟S106 )。 其次，如圖3 ( g )所示，在配向膜16的上面，利用 網版印刷等來形成密封材32。在此，密封材32是使用紫 外線硬化型樹脂（步驟S 1 07 )。 若密封材的形成終了，則會如圖3 ( h )所示，藉由 液滴噴出來將液晶 33塗佈於配向膜 16上（步驟 S1 08 )。在此，在作爲液滴而噴出的液晶33中混入有形 成間隔件1 3的間隔件材料。 在此，利用圖5來說明有關液晶的塗佈。 在本實施形態中，液滴的噴出爲使用噴墨法。如圖5 (a)所示，液滴噴出裝置5〇具備液滴噴出噴頭52及載 物台60。由槽56經供給管道58來將混入間隔件材的液 晶供給至液滴噴出噴頭52。 如圖5 ( b )所示，液滴噴出噴頭52是在配列寬度η 之間以一定的間距Ρ來配列有複數個噴嘴54。並且，各 個噴嘴54具備壓電元件（未圖示），根據來自控制裝置 -13- (11) 1267445 65的指令，由任意的噴嘴54來噴出液晶的液滴。而且， 使賦予壓電元件的驅動脈衝變化，藉此可使從噴嘴54噴 出的液晶噴出量變化。又，控制裝置6 5亦可使用個人電 腦或工作站。 參照圖6，圖7來説明有關此液滴噴出噴頭52的構 成例。如圖6，圖7所示，液滴噴出噴頭52例如具備不 鏽鋼製的噴嘴板1 3 1與振動版1 3 2，隔著間隔構件（蓄池 板）133來接合兩者。在噴嘴板133與振動板132之間， 藉由間隔構件來形成複數個空間134及蓄液處135。各空 間1 3 4與蓄液處1 3 5的内部充滿液狀材料（未圖示），各 空間134與蓄液處135是經由供給口 136來連通。並且， 在噴嘴板131形成有供以從各空間134來噴出液狀材料 111的微小孔的噴嘴54。另一方面，在振動板132形成有 用以供給塗佈液1 1 1至蓄液處1 3 5的孔1 3 7。 在與對向於振動板132的空間的面呈相反對側的面 上，如圖6，圖7所示，接合有壓電元件（壓電元件） 138。如圖7所示，此壓電元件138是位於一對的電極 1 3 9，1 3 9之間，若通電，則會彎曲成突出於外側。又， 根據如此構成來接合壓電元件138的振動板132會與壓電 元件1 3 8形成一體，而同時往外側彎曲’藉此空間1 34的 内部容積會増大。因此，相當於空間134内所増大的容積 份量的液狀材料會從蓄液處1 3 5經由供給口 1 3 6來流入。 又，若從如此的狀態來解除往壓電元件1 3 8的通電，則壓 電元件1 3 8與振動板1 1 3會一起回到原本的形狀。因此’ -14- (12) 1267445 空間1 3 4也會回到原本的容積，所以空間内部之塗佈液 111的壓力會上昇，液狀材料的噴霧狀液滴會從噴嘴54 往基材1噴出。 又，液滴噴出噴頭52的方式，亦可爲利用上述壓電 元件的壓電噴射形態以外的方式，藉由超音波馬達或線性 馬達等來賦予振動，或者藉由在槽内施加壓力來從上述微 小孔噴出塗佈液1 1 1的液晶。在此，槽内的液晶最好是事 先施以脫泡處理。又，液滴噴出噴頭52的構成亦可爲所 謂的泡沬噴射（R )方式，亦即對槽内的液晶乃至液晶與 低黏性揮發性液體的混合物進行加熱，而藉由該物質的膨 脹·發泡來從微小孔射出液晶。 又，液滴噴出噴頭52是以垂直於該噴頭中心的旋轉 軸A爲旋轉中心，而可旋轉於旋轉軸A的周圍。如圖5 (c)所示，若使液滴噴出噴頭52旋轉於旋轉軸A的周 圍，而賦予噴嘴54的配列方向及X方向一角度Θ，則噴 嘴54的間距可形成P’=PxSine。藉此，可按照液晶的塗 佈區域及塗佈條件來變更噴嘴54的間距。所被施以配向 處理之附透明電極的基板1會被配置於載物台60。載物 台60可移動於Y方向（副掃描方向），且可以垂直於載 物台60中心的旋轉軸B爲旋轉中心來旋轉於旋轉軸B的 周圍。 液滴噴出噴頭52會往返於圖中X方向（主掃描方 向），其間以噴嘴54的配列寬度Η來將液晶的液滴噴出 至配向膜1 6上。若以一次的掃描來塗佈液晶，則載物台 -15- (13) 1267445 60會於Y方向上僅移動噴嘴54的配列寬度Η，藉此液滴 噴出噴頭52會往下個區域噴出液晶。液滴噴出噴頭52的 動作，噴嘴54的噴出及載物台60的動作是藉由控制裝置 65來控制。若事先使該等動作形式程式化，則可容易按 照液晶的塗佈區域及塗佈條件來變更塗佈圖案。可藉由重 複進行上述動作來將液晶塗佈於應塗佈的全區域。 參照圖8來說明有關液滴噴出噴頭52之噴嘴54的間 距，及主掃描方向（描繪方向）的掃描間距。 圖8是表示從液滴噴出噴頭52所噴出之液晶的液滴 滴下的狀態平面圖。在彩色濾光片基板l〇a的配向膜16 上，液晶的液滴是在主掃描方向（X方向）上以ΙΟμπι的 間隔，在副掃描方向（Υ方向）上以1〇〇μιη的間隔來滴 下。此情況，副掃描方向之液滴的間隔y是與噴嘴54的 間距P相同，主掃描方向之液滴的間隔X是依據液滴噴出 噴頭52的掃描速度與噴出頻率。 其次，說明有關本實施形態的特徴之一，亦即以噴墨 方式噴出之液晶的液滴配置。 首先，參照圖9及圖10來説明圖25所示的實驗。圖 9是表示使用於圖25的實驗之液滴噴出噴頭52及基材1 上的液滴71之一狀態側面圖。圖10爲圖9的平面圖。 若從噴頭52的噴嘴54來噴出液晶的液滴，而滴下於 基材1上，則該液滴會以其滴下點爲中心來圓狀地瞬間暈 開，形成規定直直徑da的液滴71。如圖9及圖1 〇所 示，若鄰接的液滴7 1彼此接觸，則該等的液滴7 1會彼此 -16- (14) 1267445 由該接觸位置連結而形成一體，如圖11所示，形成單一 的薄膜72。 因此，爲了形成單一的薄膜72，必須以相隣的液滴 7 1能夠彼此接觸之方式來設定噴嘴54間的間距p 1。在本 例中，對應於從噴嘴54噴出的每一滴液晶的量而於基材 1上充分暈開後的液滴71的直直徑da爲ΙΟΟμπι，因此噴 嘴54間的間距pi也會設定成ΙΟΟμιη。 實驗結果，若從設定成上述間距pi的噴嘴54噴出液 晶的液滴，則會如預期，液滴71會彼此連結而形成一 體，取得圖11所示之單一的薄膜72。由實驗過程的此時 間點來看，可形成涵蓋所期望的塗佈範圍之薄膜72，且 無特別的問題產生。但，對形成有該薄膜72的基材1施 以後述的規定步驟（步驟S 1 09〜S 1 1 1 )而作成液晶面 板，使該液晶面板點燈時，會顯現如圖25所示的條紋或 斑紋154。 其次，參照圖12來說明有關從噴頭52的噴嘴54來 噴出附著於基材1上的液晶狀態。 圖12(a)是表示從噴頭52的噴嘴54來噴出液晶的 液滴的狀態。從噴嘴5 4噴出時之液晶的液滴1 1 1的直徑 爲 3 0 〜4 0 μηι。 圖12(b)是表示從噴嘴54噴出的液晶的液滴111 附著於基材1的瞬間（液晶的液滴1 1 1最初接觸於基材1 的時間點）的狀態。附著於基材1的瞬間的液晶的液滴 111的直徑爲30〜40 μιη，與從圖12(a)所示的噴嘴54 -17- (15) 1267445 噴出時的液晶的液滴1 1 1的直徑無變化。 圖1 2 ( c )是表示液晶的液滴1 1 1滴下於基材1後暈 開的狀態。在基材1上暈開的液滴111的直徑爲1 〇〇pm 前後。 如圖12 ( b )及（a )所示，在附著的瞬間，液滴i i i 會以從噴頭52噴出的液滴直徑（30〜40 μχη)來衝擊於基 材1，然後如圖12 ( c )所示，瞬間暈開。圖12 ( a )所 示之液滴111的噴出時的液滴直徑爲30〜40 μιη，在圖12 (b )所示之附著的瞬間，該大小的液滴會衝擊於基材i 而暈開（圖1 2 ( c ))。 圖13的符號a是表示圖12(b)所示之附著瞬間的 液滴1 1 1部份，其直徑爲30〜40 μιη。圖13的符號b是表 示圖12 ( c )所示暈開後的液滴1 1 1部份，其直徑爲 1 ΟΟμπι 前後。 如圖5 ( c )所示，本實施形態的液滴噴出噴頭52會 旋轉於旋轉軸 Α的周圍，藉此可變更設定噴嘴的間距 P’。其次所述將噴嘴54間的間距各變化成複數個値時之 用以確認條紋或斑紋1 54的產生之實驗因爲具有圖5 (c )所示的構成所以可實現。 亦即，本發明者是將噴嘴54間的間距P’設定成複數 個値來進行實驗，檢驗此刻之條紋或斑紋1 54的發生量。 其結果，可取得以下所述的見解。如圖14所示，在進行 噴墨方式之液晶的描繪時，若使噴嘴間距或噴出間隔（主 掃描方向的間距）配合附著後之暈開的液滴直徑（附著直 -18- (16) 1267445 徑：上述例爲100 μιη前後，圖13的符號b)，則於附著 後的部份（上述例爲3 0〜4 0 μπι的部份，圖1 3的符號a ) 不會產生斑紋，但在暈開的部份（移動至暈開後連結至相 鄰的液滴爲止的部份，圖1 3的符號b )會產生斑紋。此 與上述圖25的狀態對應。 因此，如圖1 5所示，在藉由噴墨方式來進行液晶的 描繪時，會分別使副掃描方向（與主掃描方向正交的方 向）的噴出間隔（當噴頭具有複數個噴嘴時爲該等的噴嘴 間距）及主掃描方向的噴出間隔形成暈開前之即將附著之 前（=剛附著之後）的液滴直徑（上述例中爲30〜40μιη， 圖1 5及圖1 3的符號a)以下的間隔，超過該間隔，液晶 的液滴11 1不會配置（附著，滴下）於基材1。亦即，並 非使副掃描方向及主掃描方向的各個間距配合附著直徑 (圖13及圖14的符號b)，而是配合即將附著之前的液 滴直徑（圖13及圖15的符號a)以下來將液晶的液滴 111配置於基材1上。 又，圖1 4中雖僅表示有關噴嘴間距的問題，而未圖 示有關主掃描方向的間距問題，但可想像成與有關噴嘴間 距的問題相同。亦即，如圖14所示，當噴嘴間距過廣 時，在超過符號91所示之即將附著之前的液滴直徑（圖 14及圖13的符號a)的區域中會形成有延伸於主掃描方 向的條紋或斑紋（參照圖25 )，相對的’當主掃描方向 的間距過廣時會形成有延伸於副掃描方向的條紋或斑紋 (兩間距過廣時皆會於兩方向形成條紋或斑紋）° -19- (17) 1267445 圖1 5是表示分別使噴嘴間距及主掃描方向的間距配 合即將附著之前的液滴直徑（圖1 5及圖13的符號a )以 下時的狀態。在圖1 5中，由於附著暈開前之狀態的液滴 連結，因此可防止條紋或斑紋的發生。 圖1 5是表示分別將噴嘴間距及主掃描方向的間距設 定成比即將附著之前的液滴直徑（圖1 5及圖1 3的符號 a )更小時的狀態，但各間距並非一定比即將附著之前的 液滴直徑更小。 在圖15中，雖隣接之上述液滴（圖15及圖13的符 號a)彼此重疊，但非必須重疊。如圖16所示，爲了上 述液滴（圖15及圖13的符號a)彼此連結來形成單一的 薄膜，只要隣接之上述液滴（圖15及圖13的符號a)彼 此接觸即可。 如圖16所示，當噴頭52形成有複數個噴嘴54時， 以噴嘴54間的間距Py奁作爲上述“暈開前之即將附著之 前（=剛附著之後）的液滴直徑（圖13的符號a )以下的 間隔”。並且，在描繪方向（主掃描方向：參照圖1〇的箭 頭Yc )上，有關噴出液滴的間隔（間距）Px也是同樣的 作爲上述“暈開前之即將附著之前（=剛附著之後）的液滴 直徑（圖13的符號a)以下的間隔”。 若以圖16及圖15所示的方法來描繪，則會因爲液滴 暈開前者與相隣的液滴暈開前者重疊，所以不會顯現滴 痕。如上述，在描繪時進行液滴111的配置（滴至基材 i )時，會以相隣的液滴1 1 1彼此的間隔（主掃描方向及 -20- (18) 1267445 副掃描方向）能夠形成“暈開前的液滴直徑以下”之方式來 進行。 在此，“暈開前的液滴直徑”是按照從噴頭52噴出之 液滴111的量或噴出速度而變化。如圖5(c)所示，可 使噴頭5 2旋轉於旋轉軸A的周圍’而按照“暈開前的液滴 直徑，，（按照從噴頭52噴出之液滴111的量或噴出速度而 變化者）來設定噴嘴5 4的間距P ’。 圖1 7是表示本實施形態的變形例。 本變形例是與圖15及圖16相異，主掃描方向的第偶 數列的暈開前之即將附著之前（=剛附著之後’以後簡稱 「即將附著之前」）的液滴（圖13的符號a)與第奇數 列的暈開前之即將附著之前的液滴（圖1 3的符號a)相 較之下，大槪只有暈開前之即將附著之前的液滴（圖13 的符號a)的直直徑的一半，被滴下至偏移於副掃描方向 的位置。 圖1 8是表示使圖1 7之液滴的滴下中心位置互相接近 的配置。在圖15中，以元件符號92所示的四個圓弧圍繞 的區域並非上述液滴（圖13及圖15的符號a)，而是由 此暈開的部份。因此，理論上會形成微小的斑紋。相對 的，在圖18中，某任意的上述液滴（圖13及圖17的符 號a)，其外周部會在周方向全域與其他上述液滴（圖13 及圖17的符號a)重疊。因此不會產生斑紋。 其方法有兩個。第一個方法是在描繪第偶數列的上述 液滴（圖13的符號a )時，如圖17的箭頭Ye所示，與 -21 - (19) 1267445 描繪第奇數列的上述液滴（圖1 3的符號a )時相較之 下’使噴頭5 2相對性地對基板僅偏移液滴（圖1 3的符號 Ο的直直徑一半於副掃描方向進行描繪者。 第二個方法，如圖19所示，使一對的（複數個）噴 頭52彼此僅以上述液滴（圖1 3的符號a )直直徑的一半 來偏移於副掃描方向的位置固定而成的噴頭群52a對基材 1進行掃描（主掃描）。在描繪第奇數列的上述液滴（圖 13的符號a)時，使上述上述液滴從該噴頭群52a中的第 1噴頭52的噴嘴54噴出，在描繪第偶數列的上述液滴 (圖13的符號a)時，使上述液滴從該噴頭群52a中的 第2噴頭52的噴嘴54噴出。 如上述，本實施形態中，附著（滴下）於基材1之後 暈開前狀態的液滴1 1 1會以能夠滴至與鄰接於該液滴1 11 的其他液滴1 1 1相同狀態（附著之後暈開前的狀態）者彼 此接觸的位置之方式來噴出。 其次，說明有關本實施形態的特徵之一，亦即以噴墨 方式來塗佈液晶的液滴時的塗佈方法。 在此防止產生液晶的滴下斑紋。此滴下斑紋是產生於 以主掃描（進行副掃描的前後）所分別描繪的膜的境界部 份之改行條紋。 在解析上述問題的原因時，可得知在藉由第一次的主 掃描所描繪的部份，於基板上會產生液晶（液狀體）與空 氣的界面，該部份會形成液晶（液狀體）的滴下斑紋。 在此，對一單位之塗佈範圍（塗佈區域，例如單一的 -22- (20) 1267445 晶片）全體的描繪爲可只以單一次的主掃描來完成者。 如上述，在應塗佈液晶（液狀體）的範圍中，若超過 噴墨噴頭的噴嘴形成的範圍，而以第二次的主掃描來描繪 第一次的主掃描無法描繪的區域，則會產生液晶（液狀 體）的滴下（塗佈）斑紋。以下參照圖來進行説明。 圖20是表示在晶圓101上形成有複數個晶片102 時。複數個晶片1 02會分別例如作爲行動電話機用的液晶 面板。利用形成於液滴噴出噴頭52的複數個噴嘴54來對 複數個晶片1 02同時噴出液晶的液滴。 此情況，爲了提高量產性，而於一次的主掃描（X方 向），使用從液滴噴出噴頭52的延伸方向的一端側到另 一端側的所有噴嘴54，儘可能廣範圍地對晶圓1 〇 1上的 晶片102塗佈液滴。 在圖20中，從晶圓10 1的左端開始，晶片102會排 列成符號l〇2a，102b，102c ...1022的列。此情況，如同 圖所示，若使液滴噴出噴頭52的一端部側的噴嘴54對準 晶片102a的液滴配置位置，則液滴噴出噴頭52的另一端 部側的噴嘴54會位於晶片102c的途中位置。 爲了提高量產性，在液滴噴出噴頭52之圖20所示的 配置狀態中可以全體的噴嘴54作爲使用對象。亦即，以 第一次的主掃描來對晶片l〇2a及102b的全體區域，及晶 片102c的途中區域塗佈液滴，以第二次的主掃描來對晶 片102c所剩下的一半及晶片l〇2d以後塗佈液滴。如此以 從液滴噴出噴頭52的長度方向的一端部至另一端部爲止 -23- (21) 1267445 的全體噴嘴54作爲使用對象之下，可減少晶圓1 〇 1上的 複數個晶片1 02全部塗佈時所需要的主掃描次數。此方法 適於量產性，通常一般採用此方法。 但，如圖21所示，上述方法是以2(複數）次的主 掃描來對一個晶片1 〇2c塗佈液晶的液滴。因此，在晶片 l〇2c中應塗佈液晶的區域（塗佈區域）内，在以第一次 的主掃描所塗佈之液晶的塗佈區域的端部會產生與空氣的 界面105。之後，雖會進行第二次的主掃描，而於該界面 105的部份也會塗佈液晶的液滴，但該界面105的部份會 形成滴下（塗佈）斑紋。 在此，上述所謂的塗佈區域是意指應塗佈液晶（液狀 體）的區域，爲避免發生塗佈斑紋的面積最大單位的區域 (本例分別爲晶片l〇2a〜102z)。換言之，所謂的塗佈 區域是意指其全面爲應一樣塗佈的面積最大單位（本例爲 晶片，但包含以1個晶圓來構成單一的基板時的基板）的 區域。塗佈區域一般爲單一的面板内的顯示區域。 因此，本實施形態如圖2 1及圖22所示，當複數個塗 佈區域（本例爲晶片102a〜102z)中有無法以一次的主 掃描來塗佈其所有區域的塗佈區域（本例爲晶片102c ) 時，不會以該次的主掃描來對該塗佈區域（本例爲晶片 102c )塗佈液晶的液滴。這是爲了防止產生滴下斑紋。 亦即，如圖22所示，在液滴噴出噴頭52只能涵蓋至 晶片102c的途中位置的狀態下進行液滴噴出噴頭52的主 掃描時，晶片1 02c會無法以該一次的主掃描來塗佈所有 -24- (22) 1267445 的區域。在如此的狀況中，當該主掃描被進行時，會控制 成無法從位於晶片l〇2c上之元件符號54b所示的噴嘴來 噴出液晶的液滴。藉此，可使液晶與空氣的界面無法形成 於晶片102c上，而得以防止產生塗佈斑紋。 通常一般由量產性的觀點來看，是在從位於晶片上的 噴嘴來噴出液晶的液滴之下壓低主掃描的次數，但本實施 形態是縱使多少犧牲量產性，還是要以品質（防止液晶的 塗佈斑紋）爲優先。 如以上所述，此初次的主掃描是在晶片102a及102b 塗佈液滴。並且，符號54a所示的噴嘴原本在此圖的位置 的主掃描中爲不噴出液滴的噴嘴（與以往同樣處理）。這 是因爲符號54a所示的噴嘴位置並非應噴出液滴的區域 (晶片不存在）。 其次，從圖22所示的位置，液滴噴出噴頭52會在箭 頭Y方向上進行副掃描，其結果，如圖23所示，在前次 (第1次的主掃描）未被塗佈的晶片l〇2c中，若液滴噴 出噴頭52到達其全體區域可以第2次的主掃描來塗佈的 位置時，則會在第2次的主掃描中對該晶片102c進行液 滴的塗佈。 在此第2次的主掃描中也是與第1次的主掃描時同樣 的，在複數個塗佈區域（本例爲晶片l〇2a〜102z)中， 若有無法以一次的主掃描來塗佈其所有區域的塗佈區域 (本例爲晶片l〇2e )時，不會對該塗佈區域（本例爲晶 片102e)進行以其主掃描來塗佈液晶的液滴之動作。往 -25- (23) 1267445 後則同樣進行第3次以後的主掃描。 上述例是在各次的主掃描時對各2列的晶片1〇2噴出 液晶的液滴（第1次爲晶片102a及102b，第2次爲l〇2c 及102d)，且不會從對應於第3列晶片102的位置之噴 嘴54來噴出液晶的液滴（第1次爲晶片l〇2c，第2次爲 l〇2e)。當液晶的液滴的塗佈對象與圖20的晶圓1〇1相 異時，亦即當晶圓上的晶片大小或配置與圖20相異時， 在各次的主掃描時，到底對何列的晶片噴出液晶的液滴， 且到底不會從對應於第何列晶片的位置之噴嘴54來噴出 液晶的液滴，會隨著改變。在此，例如可由以下的式子來 求取在各次的主掃描時應噴出液晶的液滴之晶片的列數。 求取符合nxdl+(n-l) xd2SL之η的最大値。 如圖20所示，dl爲晶片102的寬度（沿著液滴噴出 噴頭52的延伸方向之晶片102的邊長，更正確爲應形成 晶片102的液晶膜的區域寬度），d2爲晶片102間的間 隔（更正確爲應形成互相隣接之晶片1 02的液晶膜的區域 彼此的間隔），L爲液滴噴出噴頭52的延伸方向的長度 (更正確爲液滴噴出噴頭52的延伸方向的一端部的噴嘴 54與另一端部的噴嘴54之間的長度）。 在第1次的主掃描中，至該第η列的晶片爲止塗佈液 滴，且不會從對應於第（η+1)列的晶片位置的噴嘴54噴 出液滴。 在第2次的主掃描中，以該第（η+1)列爲起算點， 至第η列（n+1-l+n)的晶片爲止塗佈液滴，且不會從對 -26- (24) 1267445 應於第（n+l-l+n+1 )列的晶片位置的噴嘴54噴出液滴。 在圖20的例子中，下列的式子會成立，因此η的最 大値爲2。
2xdl+ ( 2-1 ) xd2 ^ L
3xdl+ ( 3-1 ) xd2>L 在第1次的主掃描中，至該第2列的晶片（i〇2a及 102b)爲止塗佈液滴，且不會從對應於第（2 + 1=3)列的 晶片（102c)位置的噴嘴54噴出液滴。 在第2次的主掃描中，以該第（2 + 1=3)列爲起算 點，至第2列（2 + 1-1+2 = 4)的晶片（l〇2c及l〇2d)爲止 塗佈液滴，且不會從對應於第（2 + 1-1+2+1=5)列的晶片 (10 2e)位置的噴嘴54噴出液滴。 如上述，對複數列的晶片1 02塗佈液滴時之各次的主 掃描是對符合nxdl+(n-l) xd2SL之η的最大値的各列 來進行。藉此，不會有某一個晶片102爲複數次主掃描所 塗佈。並且，上述η的値可由操作員來事先輸入程式，按 照該輸入的η値來進行液滴噴出噴頭52之液滴的塗佈。 亦即，在進行單一次的主掃描時，取晶片（塗佈區 域）102來看，在單一的晶片102内進行塗佈的區域與未 進行塗佈的區域雙方皆不存在。取任何的晶片1 02來看， 其單一的晶片102内的所有塗佈區域一定是藉由單一次的 主掃描來塗佈。藉此，在該單一的塗佈區域上，由於未形 成有液狀體（液晶）與氣相的界面，因此掃描的接縫不會 成爲斑紋來出現於顯不區域。 -27- (25) 1267445 又，圖20的液滴噴出噴頭52所形成之噴嘴54間的 間距乃於各晶片1 02上，如圖1 5所示，液晶的液滴暈開 前者會與旁邊的液滴暈開前者重疊，且主掃描方向的噴出 間隔也會如此進行。 又，圖20的液滴噴出噴頭52所形成之噴嘴54間的 間距亦可於各晶片102上，如圖18所示，液晶的液滴暈 開前者會與旁邊的液滴暈開前者重疊，且主掃描方向的噴 出間隔也會如此進行。此情況，如圖1 8所示，某任意液 晶的上述液滴（圖13及圖17的符號a)其外周部會在周 方向全域與其他液晶的上述液滴（圖1 3及圖1 7的符號 a )重疊。 圖24是表示本實施形態的變形例。 在圖21中，液滴噴出噴頭52的長度L比單一塗佈區 域的寬度dl更大，可以1次的主掃描來至少塗佈1個塗 佈區域的全體區域。相對的，在圖24中，在單一的晶圓 201上形成單一的基板202。在圖24的例子中，塗佈區域 (基板202 )比圖20的塗佈區域（晶片102)更大。爲了 以單一次的主掃描來塗佈塗佈區域的全體區域，而必須在 與基板2 02的寬度dl’同樣的範圍內形成噴嘴。 當單一的液滴噴出噴頭52的長度比基板202的寬度 dl’更小時，會使複數個液滴噴出噴頭52A，52B連結， 而使噴嘴5 3能夠位於與寬度d Γ相同的範圍。又，如圖 20所示，當單一的液滴噴出噴頭52的長度比塗佈區域 (晶片102)的晶片寬度dl更大時，爲了能以單一次的主掃 -28- (26) 1267445 描來塗佈更廣範圍的塗佈區域，可連結複數個液滴噴出噴 頭52 〇 此情況’所被連結之複數個液滴噴出噴頭52A，52B 的噴嘴54的間距（1)，（3)相同，設置成符合規定的間距 (參照圖15及圖18)。 又，複數個液滴噴出噴頭52A，52B的連結部的噴嘴 間距（2 )是設置成與所被規定之噴嘴間距（1 )相同長 度。例如’ （1) = (2) = ( 3 ) =30 〜40μιη。 如以上所述，當噴墨噴頭在進行複數次掃描後於顯示 區域滴下液晶時，該顯示區域内依掃描次數會產生液晶與 空氣的界面，該部份會形成描繪斑紋，但本實施形態是在 1次的描繪（掃描）下於面板的顯示範圍内全部進行液晶 滴下，藉此可使液晶與空氣的界面不會形成於顯示區域 内，防止產生液晶的滴下斑紋。 又，當描繪範圍爲較廣的範圍時，可連結複數個噴頭 來當作1個噴頭，而使無描繪的改行作業，進而能夠避免 改行的部份產生滴下斑紋。 如上述，若液晶的液滴塗佈終了，而形成圖1 1及圖 3(i)所示的單一薄膜，則會前進至其次的步驟。亦即， 經由塗佈液晶的彩色濾光片基板l〇a與對向基板l〇b的貼 合步驟（步驟S109)來完成電子光學面板100。 其次，如圖3(j)所示，在完成的電子光學面板100 上安裝導線或FC(Flexible Cable)基板7，或驅動IC5 (步驟S 1 1 0 )。然後，如圖3 ( k )所示，安裝至行動電 -29- (27) 1267445 話或PDA等的電子機器9，而來完成該等的電子機器（步 驟 S 1 1 1 ) 〇 本實施形態是以液晶的液滴爲對象，針對噴墨的滴下 位置來進行説明。這是因爲液晶滴下於配向膜上時所顯現 的條紋或斑紋會特別形成問題。尤其是液晶所造成問題的 理由，有可能是因爲液晶與所接觸的配向膜（例如聚醯亞 胺3%，溶劑97% )的材料不和，或者在液晶的液滴中不 含溶劑而以原液滴下所致。 但，有關噴墨的滴下位置之本發明並非限於液晶的液 滴。亦即，對於藉由噴墨塗佈法而噴出的液滴而言可廣泛 地適用。藉由噴墨塗佈法而塗佈的液滴有各種形態者。其 中，例如在製造光電面板（液晶顯示裝置或有機EL面 板）時所需之光阻劑膜（Ιμπι程度），塗層膜（ΙΟμπι以 下）及配向膜等的基板全面上均一塗佈者，亦即供以構成 所謂整體膜的液滴，或者在彩色濾光片會或有機EL材料 (發光材料墨水：烘烤後爲數十nm )的各畫素内供以形 成層膜的液滴。又，噴墨塗佈法可廣泛適用於工業用，亦 即除了光電面板的製造以外，可適用於構成必要的光阻劑 膜等的液狀膜之液滴等。本發明可廣泛適用於該等的液 滴。 (本發明的適用對象） 可適用本發明的電子光學面板之電子機器，除了行動 電話機以外，例如還有所謂 PDA (Personal Digital -30- (28) 1267445
Assistants )的攜帶型資訊機器或攜帶型個人電腦，個人 電腦，數位相機，車載用監視器，數位攝影機，液晶電 視，取景器型或監視器直視型的攝影機，汽車衛星導航裝 置，呼叫器，電子記事本，計算機，打字機，工作站，電 視電話’ p〇s終贿機寺使用光電裝置的電子光學面板之機 器。因此，該等電子機器的電性連接構造當然可適用本發 明。 又，該電子光學面板爲透過型或反射型的電子光學面 板，以未圖示的照明裝置作爲背光使用。即使爲主動矩陣 型的彩色電子光學面板也仕同樣的。例如，在上述各實施 形態中雖皆顯示被動矩陣型的電子光學面板，但本發明的 電子光學裝置同樣可適用於主動矩陣型的電子光學面板 (例如具備作爲開關元件的TFT (薄膜電晶體）或TFD (薄膜二極體）之電子光學面板）。又，非僅限於透過型 或反射型的電子光學面板，例如電激發光裝置，無機電激 發光裝置，電漿顯示器裝置，電泳顯示裝置，電場放出顯 示裝置，LED顯示裝置等，可於每個複數個畫素控制顯示 裝置的各種光電裝置中同樣可適用本發明。 【圖式簡單說明】 圖1是表示本發明之一實施形態的電子光學面板的構 造部份剖面圖。 圖2是表示本實施形態之電子光學面板的製造方法的 部份説明圖 -31 - (29) 1267445 圖3是表示本實施形態之電子光學面板及電子機器的 製造方法的部份説明圖。 圖4是表示本實施形態之電子光學面板及電子機器的 製造方法的流程圖。 圖5是表示本實施形態之液滴噴出裝置的説明圖。 圖6是表示本實施形態之液滴噴出裝置的液滴噴出噴 頭的立體圖。 圖7是表示本實施形態之液滴噴出裝置的液滴噴出噴 頭的剖面圖。 圖8是表示本實施形態之液滴噴出裝置的液滴噴出噴 頭的説明圖。 圖9是表示有關本實施形態之實驗例的側面圖。 圖1〇是表示有關本實施形態之實驗例的平面圖。 圖11是表示在本實施形態中形成有薄膜的狀態平面 圖。 圖12是表示從本實施形態的液滴噴出噴頭所噴出的 液滴的狀態側面圖。 圖13是表示在本實施形態中滴下於基板的液滴的平 面圖。 圖14是表示有關本實施形態之實驗例的其他平面 圖。 圖1 5是表示本實施形態之液滴的配置例的平面圖。 圖1 6是表示本實施形態之液滴的其他配置例的平面 圖。 -32- (30) 1267445 圖1 7是表示本實施形態之液滴的另外其他配置例的 平面圖。 圖1 8是表示本實施形態之液滴的另外其他配置例的 平面圖。 圖1 9是表示本實施形態之液滴的另外其他配置例的 平面圖。 圖20是表示本實施形態之液滴的噴出例平面圖。 圖2 1是表示本實施形態之液滴的噴出例説明圖。 圖22是說明本實施形態之液滴的噴出例的一動作的 説明圖。 圖23是說明本實施形態之液滴的噴出例的其他動作 的説明圖。 圖24是表示本實施形態之液滴的其他噴出例的平面 圖。 圖25是表示有關本實施形態之實驗例的其他平面 圖。 【符號說明】 1 :基材 9 ： 電子機器 10a ： 彩色濾光片基板 11: 彩色濾光片 20 ： 彩色濾光片保護膜（CF保護膜） 52 ： 液滴噴出噴頭 -33- (31) 1267445 54 : 噴嘴 100 : 電子光學面板 -34-