TWI266083B - Color filter partition walls and method for manufacturing the same, color filter and method for making the same - Google Patents

Description

•1266083 九、發明說明： Λ • 【發明所屬之技術領域】 ‘ 本發明涉及一種彩色濾光片晝素間之分隔牆及其製造方法，彩色濾光 片及其製造方法。 【先前技術】 由於液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)為非主動發光之元件，必 須透過内部之背光源提供光源，搭配驅動1C與液晶控制形成黑、白兩色之 灰1¾顯示’再透過彩色遽光片（C〇i〇r Filter)之紅(R)、綠(G)、藍(B)三種顏色 層提供色相，形成彩色顯示晝面，因此彩色濾光片為液晶顯示器彩色化之 關鍵零組件。 目前 顔料分散方法 ” 先丽技術之彩色濾光片製備方法主要有 (Pigment-dispersed Method)以及噴墨方法(Ink jet Method) 〇 顏料分散方法係將彩色光阻(C〇i〇r Resist)以旋轉塗佈之方式塗佈於基 板上，經由曝光顯影之方式製備成色塊(c〇1〇r义從）。彩色光阻係將彩色顏 料句勻刀政於其中之光阻，具有照光反應與熱硬化之特性。rGB三色彩色 ，阻必需經過三道塗佈、曝光、顯影製程，最後形成彩色據光片。顏料分 散方法由讀程赫以及設備成本高之缺點，已逐漸射墨方法取代。 喷墨方法為使用-喷墨裝置將含有RG_色層之墨水同時喷射於一基 ^上之黑色矩_，墨水滴被脫水後於該基板上形成著色之RGB顏色層圖 ，。使用噴墨方法能夠-次形成RGB顏色層，使得製備過程大量簡化，成 本大幅降低。故，喷墨方法具有製程簡化、環保、節省原料之諸多優點。 睛參閱第-圖，在使时墨方法製作彩色濾光片的時候，為使rgb顏 再曰加至> 一層之南分子材料以作為隔離 ， 片的品質。 刀佈不均勻的狀況，進而影響彩色濾光 1266083 有鑑於此，提供-種與墨水接觸角大之彩色濾光片畫素間之 其製造方法，及-齡色縣片畫侧之分_與脉接 ^ 光片及其製造綠料必要。 ^色 【發明内容】 以下將以實施例說明一種與墨水接觸角大之彩色遽光片畫素 ，及其製造方法，以及-種彩㈣光片畫素間之分隔牆與墨水接觸角大之 彩色渡光片及其製造方法。 -種彩色濾、光片畫素間之分隔牆，其中，該彩色濾光片畫素間之 牆所用材料包含下顺絲示之聚魏絲其衍生物： ^ Ri 、

I R3 Si — 〇 4- R4

I ^ R2 、其中’ Ri、R2分別代表烧基或苯環基，r3、仏分別代表包含c、η、〇 或Ν之有機官能基，η-1 , 整數。 y種衫色濾光#畫素間之分隔牆的製造方法，包括下列步驟：提供一 基板；將含有下舰式絲之聚魏錢其衍生物之絲材料塗佈於該基 板上形成一光阻層：

Ri R3 -- Si 0 — R4 R2 '、古’ ^、心分別代表燒基或苯環基，Rs、心分別代表包含c、H、〇或^^ =機S此基’n^l ’且4整數；將具有預定圖案之光罩設置於該光阻層 ^源之間^對該光阻層進行曝光；顯影該光阻層製得複數分隔牆。 y種彩色渡光片晝素間之分隔牆的製造方法，包括下列步驟：提供一 ’將第；光阻材料塗佈於該基板上，形成―第—光阻層；將具有預定 二之光罩設置於該第—光阻層與絲之間，對該第一光阻層進行曝光； -衫並固化該第-光阻層，製得複數第—分隔牆；將含有下列通式表示之 l266〇83

Ri 聚矽氧烧或其衍生巧紐材料塗佈於絲板上形成 一第二光阻層 R3

Si 0 - - R4 R2 二私物基，R3、〜雜樹。、Η、_ 此土 η=，且η為整數；顯影並固化該第二光阻層， 數弟一分隔牆與第二分_岭之分_。 而氣純 y種¥色濾、光#晝相之分隔牆的製造方法，包括下列麵：提供一 二反’將第-光阻材料塗佈於該基板上，形成—第—光阻層；將具有預定 回案之光罩設置於該第-光阻層與光源之間，對該第—光阻層進行曝光； ^影，固化該第-光阻層，製得複數第一分隔牆；將含有下列通絲示之 ’石夕氧烧或其衍生物，光崎料塗條該基板±形成—塗佈材料層：

Ri ，

I R3 -- Si — 〇 — R4

I

Lr2 其中，心、R2分別代表烷基或苯環基，Rs、^分別代表包含c、H、 之有機官能基，n-1，且η為整數；固化該塗佈材料層，從而製得複數第一 分隔牆與塗佈材料層組合之分隔牆。 一種彩色瀘、光片，其包括複數晝素，各晝素間設置有分隔牆，其中， 該分隔牆所用材料包含下列通式表示之聚矽氧烷或其衍生物： r Ri ^

I R3 Si Ο — R4 R2 η 其中，&、&分別代表烷基或苯環基，&、^分別代表包含C、Η、〇或>^ 之有機官能基，n^l，且η為整數。 一種彩色濾光片的製造方法，包括下列步驟：提供一基板；將含有下 l266〇83 列通式表示之聚矽氧烷或其衍生物之光阻材料塗佈於該基板上形成一光随 層：

Ri

I —0 -- R4 R3 一- Si

L R2 A 其中’ Ri、&分別代表烷基或苯環基，分別代表包含c、Η、（^或^^ 之有機官能基，η-1，且η為整數；將具有預定圖案之光罩設置於該光阻層 與光源之間，對該光阻層進行曝光；顯影該光阻層製得複數分隔牆；藉由 噴墨方式將墨水注入該分隔牆之間；固化該墨水。 一種彩色濾光片的製造方法，包括下列步驟：提供一基板；將第_光 阻材料塗佈於該基板上，形成一第一光阻層；將具有預定圖案之光罩設置 =該第一光阻層與光源之間，對該第一光阻層進行曝光；顯影並固化該第 光阻層，製得複數第一分隔牆；將含有下列通式表示之聚矽氧烷或其衍 生物之光阻材料塗佈於該基板上形成一第二光阻層： Γ Ri Ί R3 - - Si — 〇 -- R4 其中’ &、R2分別代表院基或苯環基，、I分別代表包含c、H、〇姻 之有機官能基’⑵，且η為整數；⑽彡顧化該第二光阻層，從而製得複 數第=分隔牆與第二分隔牆組合之分隔牆；藉由喷墨方式將墨水注入該第 分隔牆與第二分隔牆組合之分隔牆之間；固化該墨水。 -種彩色濾、光片的製造方法，包括下列步驟：提供_基板 阻材料塗佈於絲板上，形成―第—光阻層；將具有預賴案之光置 於該第-光Μ與光源之間，對該第—光阻層進行曝光；顯 該 一光阻層’製籠數第-分_ ;將含訂舰式麵之聚 生物之光阻材料塗佈於該基板上，形成一塗佈材料層： 儿汊/、 1266083

Ri r3 一一 Si — 0 -- R4 LR2 Λ 其中’ Ri、R2分別代表烧基或苯環基，r3、仏分別代表包含c、Η、〇或^^ 之有機官能基，n^l，且η為整數；固化該塗佈材料層，從而製得複數第一 分隔牆與塗佈材料層組合之分隔牆；藉由喷墨方式將墨水注入該第一分隔 牆與塗佈材料層組合之分隔牆之間；固化該墨水。 相較於先前技術，利用所述通式表示之聚矽氧烷或其衍生物製作之彩 φ 色濾光片晝素間之分隔牆與墨水之間的接觸角得到很大提昇，同時降低了 墨水於蒸發時的流動效應，從而顏料在基板上的分佈也更為均勻，提高了 彩色濾光片的品質。 【實施方式】 一種彩色濾光片晝素間之分隔牆，其中，該彩色濾光片晝素間之分隔 牆所用材料包含下列通式表示之聚矽氧烷或其衍生物： ^ Ri Ί

I R3 — Si — Ο -- R4 其中，ngl，且n為整數，Rl、&分別代表烷基或苯環基，私、仏分別代表 包含C、Η、0或N之有機官能基，例如：， ΚΟΚ，RCOOn，NH2，NHR，OH ’ COOH，OR ’ COOR，其中R表示烷基。 在此，彩色濾光片畫素間之分隔牆可以係堆疊排佈之多層結構，^層 所用材料包括壓克力樹脂、聚亞醯胺、環氧樹脂及聚乙烯醇中一種或多種^ 其中至少一層所用材料含有上述通式表示之聚石夕氧烧或其衍生物。 -種彩色滤光片，其包括複數晝素，各畫素間設置有分隔牆，該分隔 牆所用材料包含上述通式表示之妙氧烧或其衍生物。在此，彩色滤光片 上各畫素間之分隔牆可以係堆疊排佈之多層結構，各層材料包^克 力樹脂、聚亞醯胺、環氧樹脂及聚乙烯醇中一種或多種，其中至少一層所 10 1266083 述通式表示之聚秒氧烧或其衍生物。 二“、、第—圖’本發明彩色滤光片晝素間之分隔牆的製造方法第一實 = _以下步驟：提供一基板31(3，該基板310可以係玻璃基板；將含有 二石夕氧烧或其衍生物之光阻材#塗佈於該基板310上，形成一光 阻層300，如H 一回一 Μ 、一圖^所不；將具有預定圖案之光罩360設置於該光阻層300 對該光阻層獅進行曝光，使該光阻層上未被光罩360上之 二二遮擋，光阻層3_光，而被其遮獅光阻層3⑻免於光的照射， 細可細紫外光，如第二圖(1))所示，·棚顯影方式將就圖案或 光阻層去除，這決定於翻光輯料的性質，若為正型光阻 ^太、之光阻層絲，若為負型光阻就將非預定®案之光阻層去 、自|例中將非預疋圖案之光阻層獅去除，並固化該光阻層300，從 传分隔牆33G，每相鄰的兩分隔牆33C)之間形成空間，如第二圖⑹ πίΐ蚀八!^提供之基板31G上可以具有黑轉，通過_相應的光罩360， 聚石夕氧i或於陣上。上述光阻材料中除了含有通式表示之 及令乙二^了物之外，料以含有錢力概、聚亞_、環氧樹脂 及聚乙浠醇中一種或多種之混合。 ⑽本發郷色遽光片畫素間之分隔牆的製造方法第二實 © I I町父驟.提供一基板41〇，該基板41〇 ^ η料塗佈於該基板上，形成一第一光阻層響，如s(a)=， 材枓可以係上述通式表示之聚石夕氧燒或其衍生物之光阻材料、壓 if、聚亞_'環氧樹脂及聚乙烯醇中—種或多種之混合；將且有 ϊϊΓΐίΓΓ ^ 進二曝先’使該第-光阻層400,上未被光罩上之預定圖案遮撐的第 阻曰400曝光’而被其遮擋的第—光阻層伽，免於光的照射，在此 採用紫外光’如第三圖(b)所示；將非預細案之第—光阻層铜二、 固化該第-光阻層術，從而製得複數第—分隔牆伽，，每相鄰的兩第一二 隔牆43〇,之間形成空間’如第三圖(〇所示；將含有上述通式表示= ，或其衍生物之光輯料塗佈於該基板上，形成〜第二光_ = 第二圖(d)所示；利用顯影方式將每相鄰的兩第一分隔牆·，之間3之光阻材 11 1266083 ，去除’從而形成第—分隔牆43〇,與第二分隔〇之 牆’如第三圖(e)及第三圖⑦所示。 ° 、、、& :、、、斤需之分隔 光阻材料塗基ΐ5!0 T基板510可以係玻璃基板；將第: :Ή·靖於絲板51〇上，形成一第一光阻層5〇〇，，如 克賴紅料絲紅妙魏或諸錄之紐材料Γ壓 曰、聚亞醯胺、環氧樹脂及聚乙烯醇 柯:$ 之光⑽設觸—光__光細，對第 im吏該第一光阻層着上未被光罩560上之預定圖案遮擋的第9-光 r I膝"'光，而被其遮播的第一光阻層500,免於光的照射，在此，光源可 =ίΓΓί，)所示；將非預細案之第—光阻層划，去除:並 光阻層500,，從而製得複數第—分隔牆53G，，每相鄰的兩第一分 =530之間形成空間’如第四圖⑹所示；將含有上述通式表示之聚石夕氧 何生物之光阻材料塗佈於該基板510上，形成一塗佈材料層53〇 ;固 化該塗佈材料層53〇，從而每個第一分隔牆53〇,及其上之含有上述通式表示 之聚魏絲其触物之光阻材料形成所f之分隔牆，如第四輯^示^ •請參照第五圖，本發明彩色濾光片的製造方法第一實施例包括以下步 驟·、首先’按照上述之彩色縣片晝素間之分隔牆的製造方法第一實施例 所述之步驟於基板610上形成複數分隔牆63〇，如第五圖^)、作）、所示； 利用噴墨裝置，例如熱泡式喷墨裝置或者壓電式喷墨裝置，將需要的顏色 的墨水640注入分隔牆630之間的空間内，並利用固化裝置，例如加熱裝置 或者發光裝置，將該墨水640烘乾或交連或二者兼有之，以形成顏料分佈均 勻之顏色層，且墨多640與分场牆630的接觸色大，在此，墨水640與分隔牆 630的接觸角可以達到4〇度以上，如第五圖(d)所示。 請參照第六圖，本發明彩色濾光片的製造方法第二實施例包括以下步 驟：首先，按照上述之彩色濾光片畫素間之分隔牆的製造方法第二實施例 所述之步驟於基板710上形成複數第一分隔牆73〇,及第二分隔牆73〇之組 合；利用喷墨裝置，例如熱泡式喷墨裝置或者壓電式喷墨裝置，將需要的 顏色的墨水740注入第一分隔牆730’及第二分隔牆730之組合之間的空間 12 1266083

内’並利用固化裝置，例如加熱裳置或者發光裝置，將該墨水74〇烘乾或交 連或-者兼有之，以形成顏料分佈均勻之顏色層，且墨水谓與第一分隔牆 73〇’及第二分_73〇之組合的接則大，在此，墨水74績第_分隔牆73〇, 及第二分隔牆730之組合的接觸角亦可以達到4〇度以上。

請參照第七圖，本發明彩色遽光片的製造方法第三實施例包括以下步 驟·、首先’按照上述之彩色縣#晝素間之分隔牆的製造方法第三實施例 所述之步驟於基板_上形成複數第—分隔牆83()，及塗佈㈣層83〇之組 合；利时墨裝置，例如熱泡式喷墨裝置或者壓電式喷墨裝置，將需要的 顏色的墨水840注人第-分隔牆_，及塗佈材料層_之組合之間的空間 内，並利用固化裝置，例如加熱裝置或者發光裝置，將該墨水_供乾或交 連或二者兼有之，以形成顏料分佈均勻之顏色層，且墨水8獅第一分 830,及塗佈材料層830之組合的接觸角大，在此，墨水84〇與第一分隔牆· 及塗佈材料層830之組合的接觸角亦可以達到4〇度以上。 以上所述含有上述通式表示之聚魏烧讀生物亦包括以不同重複單 元所形成之絲合體、三元絲合體或多元絲合體#，其巾至 複單元為聚矽氧烷之結構，即：

其中，Ri、R2分別代表烷基或苯環基。 綜上所述’本發明符合發明專利要件，爰依法提出專利 上所述者僅林發明之實财式，本發.細述 為限，舉凡減本案賴之人士，在·本案發 變化，皆應包含独下之巾請專繼圍内。 排之#修飾或 【圖式簡單說明】 第-圖係先前技術之彩色濾、光片之晝素單元之示音圖。 第二圖⑻至(c)係本發明彩色遽光片畫素間之分隔Γ的製造方法第眚 施例流程示意圖。 柯旧叔攻方法第一實 13 1266083 施例流程示意圖 施例嶋本㈣祕献u相分《㈣造方法第三 實 圖 第五_至_本發卿色濾光片賴造綠第—實闕流程示意 畫素ί^ίϊΓ彩色濾'光片的製造方法第二實施例所得彩色滤光片之 2=明彩色濾光片的製造方法第三實 之 ί素早70之不意圖。

【主要元件符號說明】 光阻層 300,400， 光罩 360, 460, 560, 660 墨水 640,740,840 第一分隔牆 430’，530’，730’，830， 基板 310, 410, 510, 610, 710, 81〇 第一光阻層 分隔牆 塗佈材料層 第二分隔牆 400，，500, 330, 630， 530, 830 430, 730

Claims (1)

1. l266〇83 十、申請專利範圍： 種彩色;慮光片畫素間之分隔牆，該彩色漉光片畫素間之分隔牆所用材 料包含下列通式表示之聚矽氧烷或其衍生物： Ri ^I R3 -- Si 一 〇 -- R4

   A λ 其中，&、R2分別代表烷基或苯環基，R3、I分別代表包含c、Η、〇或^^ 之有機官能基，n^l，且η為整數。 如申請專利範圍第1項所述之彩色遽光片晝素間之分隔牆，其中所述R3、 R4分別表示職，腦^，職|〇011，職，咖〇汉，顺2，臟， OH ’ COOH，OR ’ COOR其中之一，化為烷基。 3·，申請專利範圍第1項所述之彩色渡光片畫素間之分隔牆，其中所述聚石夕 氧烧之衍生物包括以不同重複單元所形成之共聚合體、三元共聚合體或 多兀共聚合體，其中至少有-重複單元為聚魏烧之結構，即： RiI SiI r2 Λ ο 其中，Ri、R2分別代表烷基或苯環基。 4.如申請專利範圍第丨項所述之彩色滤光片晝素間之分隔牆，其所述材料進 -步含有壓克力_、聚亞_、環氧樹脂騎乙_中 5·如=專概® %樹叙彩⑽光“相之分_，其帽述分隔 賭為夕層結構’其中至少-層含摘述通式絲 請，範_項所述之彩色滤光片晝素間之分所了述二 牆=塗覆-光阻㈣’該植㈣含麵料式麵之㈣氧烧或其 衍生物 15 ^266083 7·— 種德滤光片畫素間之分隔牆的製造方法，包括下列步驟：提供一基 i上式表不之峨烧或其議之光輯料塗佈於該基 Γ Ri I R3 ο R4 Si I r2 t機分=表炫基或苯^基，R3、仏分別代表包含C、Η、〇或N 層與光糊，戦_嶋編纖f 阻 ^申請細娜觸物&編細伽；^^ ==範項所述之彩色滤光片畫素間之分隔牆的製造方法，其 中斤述承夕乳烷之何生物包括以不同重複單元 ；：聚合體或多元共聚合體，其中至少有—重複單元為聚結Γ Ri I Si — 〇 一一 r2 其中，1、&分別代表烷基或苯環基。 鳩峨方法，其 11 申 __ ⑽申糊㈣觸物湖細職分咖製造方法其 1266083 中’曝光係以紫外光作為光源。 13.::i=r。所™ m濾、光片畫素間之分隔牆的製造方法，包括下列步驟：提供-夷 板’將弟-光阻材料塗佈於該基板上，形成一第一光阻層·將具 圖案之光罩設置於該第-光阻層與光源之間，對該第—絲 ，;顯影並固化該第一光阻層，製得複數分隔牆;將含有;歹二 =不之聚魏絲細生物之光阻材料塗佈於該基板上‘ Ri Rs Si — Ο — R4 r2 其中，&、R2分別代表烷基或苯環基，R3、I分別代表包含c、Η、〇或Ν 之有機官能基，nd，且η為整數；顯影並固化該第二光阻層，從 複數第一分隔牆與第二分隔牆組合之分隔牆。 15.如申請專利細第14項所述之彩⑽光片晝素間之分_的製造方法， 其中所述 R3、R4 分別表示 RNH2，RNHR，ROH，RC〇〇H，R〇R，Rax)R， NH2，NHR，OH ’ COOH，OR，COOR其中之一，尺為烷基。 I6·如申請專雜圍第14項所述之彩色航#晝素間之分隔牆的製造方法， 其中所述聚矽氧烷之衍生物包括以不同重複單元所形成之共聚合體、三 元共聚合體或多元共聚合體，其中至少有-重複單元為㈣氧燒之結 構，即： … Ri Si —0 R2 其中，Ri、R2分別代表烧基或苯環基。 17.如申請專利範圍弟14項所述之彩色濾、光片晝素間之分隔牆的製造方法 17 1266083 18.-種德濾光片畫素間之分隔牆的製造方法，包括下列步驟·提 =將第-光阻材料塗佈於該基板上，形成_第—光阻層；將具有預^ 圖案之光罩設置難第-光阻層與絲之間，對該第—雜層進 光；顯影並固化該第-光阻層，製得複數第一分隔牆；將含有^ ^ 表不之聚石夕氧烧或其衍生物之光阻材料塗佈於該基板上形成一塗佈材^ 層· Ri R3 - - Si 一 〇 -- R4 r2 其中’ R!、R2分別代表烷基或苯環基，r3、&分別代表包含c、H、〇_ 之有機官能基，—，JLn為整數；固化該塗佈材料層，從而製得複數 一分隔牆與塗佈材料層組合之分隔牆。 19·如申請專概圍第18項所述之彩色濾光片畫棚之分_的製造方法， 其中所述R3、R4分別表示RNH2，RNHR，ROH，RCOOH，nan，neaon， NH2，NHR，OH ’ COOH，OR，COOR其中之一，尺為烷基。 構，即： 2〇·如申請專纖圍第18項所述之彩色濾、光片畫素間之分隔牆ς製造方法， 其中所述聚石夕氧烧之衍生物包括以不同重複單元所形成之共聚合體、二 元共聚合體或多元共聚合體，其中至少有一重複單元為聚矽氧烷之結 上达 .Θγτ · Ri Si — ο — R2 其中，Ri、R2分別代表烷基或苯環基。 21.如申请專利範圍第18項所述之彩色渡光片畫素間之分隔踏的製造方法， 其中第一光阻材料係上述通式表示之聚矽氧烷或其衍生物之光阻材料、 1266083 壓克力樹脂、聚亞醯胺、環氧樹脂及聚乙烯醇中一種或多種。 22.—種彩色濾光片，其包括複數晝素，各晝素間設置有分隔踏，其中，該 分隔牆所用材料包含下列通式表示之聚矽氧烷或其衍生物： R3 Ri I Si I r2 o R4 其中，Ri、R2分別代表絲或^環基，r3、&分別代表包含C、H、〇或 N之有機官能基，n-i，且11為整數。 23.如申請專利範圍第22項所述之彩色滤光片，其中所述&、仏分別表示 COOH，OR，COOR其中之_，R為院基。 述之彩色編，其中所_姐之衍生物 二共聚合體、三元共聚合體或多元共聚合 體，其中至少有-重複單元為聚石夕氧烧之結構，即： Ri 1 ο Si I r2 其中，Rl、R2分別代表燒基或笨環基。 壓 克項3 ，其中所述材料進-步含有 26. 如申請專利範圍第22項所述之^乙^辦—種或多種。 構，其中至少一層含有所述、兩/應光片，其中所述分隔牆為多層結 27. 如申請專利範圍第22項所述^ =聚石夕氧烧或其衍生物。 光阻材料，該光阻材料含有1光片，其中所述分隔牆表面塗覆一 28·—種彩色濾光片的製造方 I气表示之聚石夕氧烧或其衍生物。 去’包括下列步驟：提供一基板；將含有下列 l266〇83 通式表不之聚矽氧烷或其衍生物之光阻材料塗佈於該基板上，形成一光 阻層： r3 —- Si — 〇 -- R4 I Jn

   其中，Ri、R2分別代表烷基或苯環基，r3、分別代表包含C、H、〇*N 之有機官能基，n^l，且n為整數；將具有預定圖案之光罩設置於該光阻 ^與光源之間，對該光阻層進行曝光；顯影該光阻層製得複數分隔牆； 藉由喷墨方式將墨水注入該分隔牆之間；固化該墨水。 29·如申請專利範圍第28項所述之彩色濾光片的製造方法，其中所述馬鳴 分別表示RNH2，RNHR，RQH，RCQOH，RQR，RCQQR , NH2，NHR， OH ’ COOH，OR，COOR其中之一，化為烷基。 30·如申凊專利範圍第π項所述之彩色濾光片的製造方法，其中所述聚石夕氧 烧之衍生物包括以不同重複單元所形成之共聚合體、三元共聚合體或多 讀聚合體，其巾至少有-重複單元為聚魏歧結構，即： Ri ο — Si I r2 其中，私、R2分別代表烷基或笨環基。 儿如申請專利範圍第28項所述之彩色濾'光片的製造方法，其中，所述 上具有一黑矩陣’複數分隔牆形成於該黑矩卩車上。’、 32·如申請專職圍第28類述之彩色濾光#的製造 紫外光作為光源。 ^ 33·如申請專利範圍第28項所述之彩色濾光片 置或發光裳置HI化各個分隔牆之間的墨水。 ’，、讀由加熱裝 34.-種彩色濾'光片的製造方法，包括下列步驟：提供—基板；將第一光阻 20 1266083 材料塗佈於該基板上，形成一第一光阻層；將具有預定圖案之光罩設置 於該第一光阻層與光源之間，對該第一光阻層進行曝光；顯影並固化該 第一光阻層，製得複數第一分隔牆；將含有下列通式表示之聚矽氧烷或 其衍生物之光阻材料塗佈於該基板上形成一第二光阻層：

   其中，凡、R2分別代表烷基或笨環基，&、^分別代表包含C、η、〇*N 之有機官能基’ nd，且n為整數；顯影並固化該第二光阻層，從而製得 複數第-分隔牆與第二分隔牆纟且合之分隔牆；藉由喷墨^^將墨水注入 該第-分隔牆與第二分隔牆組合之分隔騰之間；固化該墨水。 35.如申請專利範圍第Μ項所述之彩色濾光片的製造方法，其中所述R3、仏 分別表示 RMVRNHR’RGmax^ROR’ROx^NHrNHR， OH，COOH，〇R ’ COOR其中之一，尺為烷基。 36·如申請專利範圍第34項所述之彩色航片的製造方法，直中所述聚石夕氧 烧之衍生物包括以不同重複單元·狀共聚合體、三元轉合體或多 兀共聚合體’其中至少有-重複單元為聚石夕氧烧之結構，即： Ri I Si -ο- Ι R2 其中，&、&分別代表烷基或苯環基。 之聚㈣烧或其衍生物之光阻材料、壓克力樹脂、聚 亞醯胺、壞氧树脂及聚乙稀醇中一種或多種。 38.-種彩色_的製造方法，包括下列步驟:提供—基板；將第一光阻 21 1266083 材料，佈於該基板上，形成-第-光阻層；將具有預定圖案之光罩設置 ，該第一光阻層與光源之間，對該第一光阻層進行曝光；顯影並固化該 第「光阻層，製得複數第一分隔牆；將含有下列通式表示之聚矽氧烷或 其衍生物之光阻材料塗佈於該基板上形成一塗佈材料層： Ri I r3 - - Ο — R4 Si R2 其中，R!、R2分別代表烷基或苯環基，Rs、l分別代表包含C、H、卩或^^ 之有機官能基，nd，且η為整數；固化該塗佈材料層，從而製得複數第 -分隔牆與塗佈材料層組合之分隔牆；藉由喷墨方式將墨水注入該第一 分隔牆與塗佈材料層組合之分隔牆之間；固化該墨水。 39·如申請專利範圍第％項所述之彩色濾光片的製造方法，其中所述私鳴 分別表示 ΚΝ^’ΚΝΗΚπΟΗΐΟΟΗ,ΚΟΚ,καχ^,·，^， OH，COOH，OR，COOR其中之一，尺為烷基。 仉如申請專利範圍第38項所述之彩色渡光片的製造方法，其中所述聚石夕氧 包Ϊ3”複單元所形成之共聚合體、三元共聚合體或多 7045體〜、中至>、有-重複單元為聚石夕氧烧之結構，即： Ri Si Ο r2 -y 其中，R4、R2分別代表烷基或笨環基。 41·如申請專利範圍第38項所述之彩色渡光片的製造方法， 料係上述通式表示之聚矽氧烷或直行♦彡 ，、 材 亞酿胺、環氧樹脂及聚乙烯醇光阻材料、壓克力樹脂、聚 22