TWI247871B - Very low temperature refrigerator - Google Patents

Description

1247871 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於極低溫冷凍機，特別係關於適宜使用在 低溫泵、超傳導磁鐵、極低溫測量裝置、簡易液化機等之 中，可以進行溫度調節的極低溫冷凍機。 【先前技術】 極低溫冷凍機，一般而言，具備：收容蓄冷材同時在 內部具有膨脹室的膨脹室冷凍機組、及收容壓縮機本體的 壓縮機組；前述冷凍機組，被安裝在必須冷卻的裝置或容 器等處。而且，藉由壓縮機組被壓縮成高壓的冷媒氣體， 送至冷凍機組，在此，該高壓的冷媒氣體藉由蓄冷材冷卻 後，使其膨脹而進一步冷卻，再使該低溫的冷媒氣體回到 壓縮機，而藉由反覆進行該冷凍循環而得到極低溫。 利用如此的冷凍機來進行溫度調節的情形，以往係利 用在冷凍機組內配置電熱器，加入熱負載來調節溫度。 然而，由於是在極低溫的環境下使用，電熱器的可靠 度低，反覆地發生絕緣不良或是由此所導致的漏電而緊急 停止等的情況。 又，作爲其他的方法，如日本特開2000-121192所述 ，考慮以變頻器控制壓縮機本體的旋轉數，調整氣體流量 ，來進行溫度調整。此種方法，以1台壓縮機組來運轉1 台冷凍機組的情況是有效的，但是在以1台或複數台壓縮 機組來運轉複數台的冷凍機組的情況，則會有無法進行各 (2) 1247871 個冷凍機組的溫度調整之問題點。 進而’在以1台或複數台壓縮機組來運轉複數台的冷 凍機組的情況，由於各冷凍機組啓動時的閥動定時（valve timing)仍然一樣，所以在各冷凍機組中流動的氣體流量發 生偏差（當吸氣定時（timing)重疊時，先被吸氣的冷凍機 組的流量大），而會有冷凍機組間的冷凍能力產生偏差的 問題點。 【發明內容】 本發明係爲了解決前述以往的問題點而開發出來，其 第1課題係藉由設在常溫部的溫度控制機構，作成可以調 節溫度。 本發明的第2課題係對於以1台或複數台的壓縮機組 來運轉複數台的冷凍機組之情況，消除冷凍機組之間的偏 差。 本發明的第3課題係更進一步地降低消耗電力。 本發明，針對極低溫冷凍機，藉由具備： 被設置在電源和管理冷凍機組的吸排氣循環時間之吸 排氣閥驅動用馬達之間，用來改變該吸排氣閥驅動用馬達 的頻率之手段； 檢測出冷凍機組的熱負載部之溫度的溫度感測器；及 對應該溫度感測器的輸出訊號，來控制用來改變前述 吸排氣閥驅動用馬達的頻率之手段的控制器，來解決前述 第1課題。 -5- (3) 1247871 又’在以1台或複數台壓縮機組來運轉複數台冷凍機 組的情況，利用構成使用前述手段的冷凍機組，來解決前 述第2課題。 又，本發明，針對一種極低溫冷凍機，藉由使用一種 壓縮機組，該壓縮機組具備： 被設置在電源和壓縮機組的壓縮機本體馬達之間，用 來改變該壓縮機本體馬達的頻率之手段； 被安裝在用來連接前述壓縮機本體的吐出口和冷凍機 組的冷媒供給口之高壓冷媒管中的高壓壓力感測器； 被安裝在用來連接前述壓縮機本體的吸入口和冷凍機 組的冷媒排出口之低壓冷媒管中的低壓壓力感測器；及 對應前述高壓壓力感測器和前述低壓壓力感測器的輸 出訊號，來控制用來改變前述壓縮機本體馬達的頻率之手 段的控制器； 且由複數台申請專利範圍第1項所述的冷凍機組、及 1台或複數台前述壓縮機組所構成，來解決前述第3課題 〇 又，本發明，針對一種極低溫冷凍機，藉由使用一種 壓縮機組，該壓縮機組具備： 被設置在電源和壓縮機組的壓縮機本體馬達之間，用 來改變該壓縮機本體馬達的頻率之手段； 被安裝在用來連接前述壓縮機本體的吐出口和冷凍機 組的冷媒供給口之高壓冷媒管、及用來連接前述壓縮機本 體的吸入口和冷凍機組的冷媒排出口之低壓冷媒管之間的 (4) 1247871 壓差壓力感測器；及 對應該壓差壓力感測器的輸出訊號，來控制用來改變 前述壓縮機本體馬達的頻率之手段的控制器； 且由複數台申請專利範圍第1項所述的冷凍機組、及 1台或複數台前述壓縮機組所構成，來解決前述第3課題 〇 又，本發明利用提供一種具備前述冷凍機組或極低溫 冷凍機的低溫泵，來解決前述第1課題，進而解決前述第 2、3課題。 又，本發明利用提供一種低溫泵，該低溫泵的特徵係 具備= 檢測低溫泵的低溫板的任意位置的溫度之溫度感測器 ;及 對應該溫度感測器的輸出，將用來改變管理冷凍機組 的吸排氣循環時間之吸排氣閥驅動用馬達的頻率之手段， 加以控制的控制器。藉以解決前述第1課題，進而解決前 述第2、3課題。 又，利用提供一種超傳導磁鐵，其特徵爲具備前述冷 凍機組或極低溫冷凍機的超傳導磁鐵，來解決前述第！課 題，進而解決前述第2、3課題。 又’本發明利用提供一種超傳導磁鐵，該超傳導磁鐵 的特徵係具備： 檢測超傳導磁鐵的任意位置的溫度之溫度感測器；及 對應該溫度感測器的輸出，將用來改變管理冷凍機組 (5) 1247871 的吸排氣循環時間之吸排氣閥驅動用馬達的頻率之手段， 加以控制的控制器。藉以解決前述第1課題，進而解決前 述第2、3課題。 又，利用提供一種其特徵爲具備前述冷凍機組或極低 溫冷凍機的極低溫測量裝置，來解決前述第1課題，進而 解決前述第2、3課題。 又，本發明利用提供一種極低溫測量裝置，其特徵爲 具備= 檢測極低溫測量裝置的任意位置的溫度之溫度感測器 ;及 羊寸應該溫度感測益的輸出’將用來改變管理冷凍機組 的吸排氣循環時間之吸排氣閥驅動用馬達的頻率之手段， 加以控制的控制器。藉以解決前述第1課題，進而解決前 述第2、3課題。 又’利用提供一種其特徵爲具備前述冷凍機組或極低 溫冷凍機的簡易液化機，來解決前述第1課題，進而解決 前述第2、3課題。 又，本發明利用提供一種簡易液化機，其特徵爲具備 檢測簡易液化機的任意位置的溫度之溫度感測器；及 對應該溫度感測器的輸出，將用來改變管理冷凍機組 的吸排氣循環時間之吸排氣閥驅動用馬達的頻率之手段， 加以控制的控制器。藉以解決前述第1課題，進而解決前 述第2、3課題。 -8- (6) 1247871 又’利用提供一種簡易液化機，其特徵爲具備： 簡易液化機的蓄液容器內的液面檢測手段；及 對應該液面檢測手段的輸出，將用來改變管理冷凍機 組的吸排氣循環時間之吸排氣閥驅動用馬達的頻率之手段 ，加以控制的控制器。藉以解決前述第1課題，進而解決 前述第2、3課題。 【實施方式】 (實施發明的最佳形態） 以下’參照圖面詳細地說明本發明的實施形態。 本發明的第1實施形態，如第1圖所示，係將本發明 應用在調整2段G-M ( Gifford . MacMahon )循環冷凍機 的冷凍機組1 0的1段低溫部1 1的溫度之情況，而具備： 被設置在電源2 0和管理冷凍機組1 〇的吸排氣循環時間之 吸排氣閥驅動用馬達1 4之間的變頻器22、檢測出冷凍機 組1 0的熱負載部亦即1段低溫部i i的溫度之溫度感測器 24、及對應該溫度感測器24的輸出而反饋控制前述變頻 器22的輸出頻率之控制器26。在圖中，符號12爲前述 冷凍機組1 0的2段低溫部。 在本實施形態中，變頻器22的輸出頻率，係對應由 溫度感測器24所檢測出來的1段低溫部1 1的溫度，而藉 由控制器26進行反饋控制，並藉由吸排氣閥驅動用馬達 1 4，調整冷凍機組1 〇的吸排氣的循環時間。因此，當i 段低溫部1 1的溫度比目標値低時，利用增加冷凍機的吸 -9 - 1247871 (7) 排氣時間的循環時間，能夠提高1段低溫部11的溫度。 相反的，當1段低溫部11的溫度比目標値高時’利用縮 短冷凍機的吸排氣時間的循環時間，能夠降低1段低溫部 1 1的溫度。 第2圖表示使負載由1 5 W變化成5 W、0W時的情況 之1段低溫部的溫度（稱爲1段溫度）的變化狀態。如以 往般地使冷凍機的旋轉數固定在72rpm的情況，1段溫度 ，如虛線所示，隨著負載的減少而從100.9降溫至65 K、 45K ;相對於此，藉由本發明，當使冷凍機的旋轉數在負 載爲 5K、0K的情況下，分別下降至42rpm、30rpm，則 如實線所示，能夠將1段溫度維持在大約爲1 00 K。 接著，說明本發明的第2實施形態。 本實施形態，如第3圖所示，係將本發明應用在以1 台壓縮機組30來運轉3台的2段G-Μ循環冷凍機的冷凍 機組l〇A、10B、10C的情況；在各冷凍機組10A、10B、 10C中，與第1實施形態同樣地，設有：變頻器22A、 22B、 22 C ；溫度感測J器24A、 24B、24C ；及控制J器26A 、26B 、 26C 。 在本實施形態中，各冷凍機組，由於能夠將吸排氣的 循環時間控制成可以使1段低溫部的溫度變成目標値，所 以能夠消除冷凍機組間的偏差。 接著，說明本發明的第3實施形態。 本實施形態，如第4圖所示，係將本發明應用在以1 台壓縮機組30來運轉3台的2段G-Μ循環冷凍機的冷凍 -10- (8) 1247871 機組10A、10B、10C的情況；在各冷凍機組10A、10B、 10C中，與第1實施形態同樣地，設有：變頻器22A、 22B、22C ；溫度感、Μ 器 24Α、24Β、24C ；及控帋[1 器 26Α 、26Β 、 26C 。 在本實施形態中，進而具備：被設置在電源20和壓 縮機組30之間的第2變頻器40 ;分別被配設在用來連結 壓縮機組30和冷凍機組10Α、10Β、10C的作動氣體配管 之高壓氣體配管3 2和低壓氣體配管3 4上的壓力感測器 42、44 ;及根據該壓力感測器42、44的輸出訊號，算出 高壓氣體和低壓氣體之間的壓差，而利用控制第2變頻器 40的輸出頻率，調整壓縮機的旋轉數，來調整壓差的第2 控制器46。 在本實施形態中，首先，冷凍機的冷凍能力，由於係 根據高壓氣體和低壓氣體的壓差來決定，所以藉由壓力感 測器4 2、4 4的輸出來將壓差控制在一定値。此時，熱負 載小的冷凍機組，利用變頻器22Α、22Β或22C來使其吸 排氣的循環時間變長，使氣體流量變少，能夠調整至所要 求的溫度。此時，由於減少在該冷凍機組內流動的氣體量 ，壓差會變大，但是由於爲了使壓差保持一定而藉由第2 變頻器40使壓縮機組3 0的旋轉數下降，能夠降低整體的 消費電力。 若根據本實施形態，能夠同時謀求··藉由設置在各冷 凍機組中的變頻器22Α、22Β、22C來進行各冷凍機組的 溫度調節；及除了藉此消除各個冷凍機組之間的偏差以外 -11 - (9) 1247871 ，藉由設在壓縮機組3 0處的第2變頻器4 0來達成消耗電 力的降低。 接著，說明本發明的第4實施形態。 本實施形態，如第5圖所示，係將本發明應用在以1 台壓縮機組30來運轉3台的2段G-Μ循環冷凍機的冷凍 機組10Α、10Β、10C的情況；在各冷凍機組10Α、10Β、 10C中，與第1實施形態同樣地，設有：變頻器22A、 22B > 22C ;溫度感測J器24A、24B、24C ;及控帋ij器26A 、26B 、 26C 。 在本實施形態中，進而具備：被設置在電源20和壓 縮機組3 0之間的第2變頻器4 0 ;分別被配設在用來連結 壓縮機組30和冷凍機組10A、10B、10C的作動氣體配管 之高壓氣體配管32和低壓氣體配管34上的壓差壓力感測 器48、44 ;及根據該壓差壓力感測器48的輸出訊號，控 制第2變頻器40的輸出頻率，調整壓縮機組3 0的旋轉數 ，來調整壓差的第2控制器46。 在本實施形態中，首先，冷凍機的冷凍能力，由於係 根據高壓氣體和低壓氣體的壓差來決定，所以藉由壓差壓 力感測器48的輸出來將壓差控制在一定値。此時’熱負 載小的冷凍機組，利用變頻器2 2 A、2 2 B或2 2 C來使其吸 排氣的循環時間變長，使氣體流量變少，能夠調整至所要 求的溫度。此時，由於減少在該冷凍機組內流動的氣體量 ，壓差會變大，但是由於爲了使壓差保持一定而藉由第2 變頻器40使壓縮機組3 0的旋轉數下降，能夠降低整體的 -12- (10) 1247871 消費電力。 若根據本實施形態，能夠同時謀求：藉由設置在各冷 凍機組中的變頻器22 A、22 B、22C來進行各冷凍機組的 溫度調節；及除了藉此消除各個冷凍機組之間的偏差以外 ，藉由設在壓縮機組30處的第2變頻器40來達成消耗電 力的降低。 接著，將本發明應用在低溫泵中的第5實施形態表示 於第6圖。 此圖係將本發明的第3實施形態應用在低溫泵；具有 與第4圖所示之相同的構成、作用的部分，以相同的符號 來表示，而省略關於該部分的說明。 在本實施形態中，符號50A、50B、50C係安裝有冷 凍機組l〇A、10B、10C的泵容器；而符號52A、52B、 5 2 C則爲例如在半導體製造設備中被進行真空排氣的處理 室。溫度感測器24A ' 24B、24C，並不限定於冷凍機組 的1段或2段的熱負載部，而被安裝在低溫泵的低溫板的 任意位置。 若根據本實施形態，如第3實施例所述，能夠謀求： 藉由設置在各冷凍機組中的變頻器22A、22B、22C來進 行各冷凍機組的溫度調節；以及除了藉此消除各個冷凍機 組之間的偏差以外，藉由設在壓縮機組3 0處的第2變頻 器4 0來達成消耗電力的降低。 再者，在本實施形態中，低溫泵和冷凍機組，係以！ 對1的方式組合；但是，也可以應用在相對於1台低溫泵 •13- (11) 1247871 ，使用複數台冷凍機組的系統。又，也能夠應用第1實施 形態、第2實施形態、及第4實施形態。 接者’將本發明應用在超傳導磁鐵上的第6實施形態 表示於第7圖。此圖係將本發明的第3實施形態應用在超 傳導磁鐵；具有與第4圖所示之相同的構成、作用的部分 ，以相同的符號來表示，而省略關於該部分的說明。 在本實施形態中，符號60A、60B、60C係安裝有冷 凍機組l〇A、10B、10C的超傳導磁鐵；而符號62A、62B 、62C則爲例如爲核磁共振圖像（MRI)裝置。溫度感測器 24A、24B、24C，並不限定於冷凍機組的1段或2段的熱 負載部，而被安裝在超傳導磁鐵的任意位置。 若根據本實施形態，如第3實施例所述，能夠謀求： 藉由設置在各冷凍機組中的變頻器22A、22B、22C來進 行各冷凍機組的溫度調節；以及除了藉此消除各個冷凍機 組之間的偏差以外，藉由設在壓縮機組3 0處的第2變頻 器40來達成消耗電力的降低。 再者，在本實施形態中，超傳導磁鐵和冷凍機組，係 以1對1的方式組合；但是，也可以應用在相對於1台超 傳導磁鐵，使用複數台冷凍機組的系統。又，也能夠應用 第1實施形態、第2實施形態、及第4實施形態。 在此，係以醫療領域中所使用的MRI來說明，但是 本發明也可以應用在其他領域所使用的超傳導磁鐵（例如 MCZ 等）。 接著，將本發明應用在極低溫測量裝置中的第7實施 -14- (12) 1247871 形態表示於第8圖。此圖係將本發明的第3實施形態 在極低溫測量裝置；具有與第4圖所示之相同的構成 用的部分，以相同的符號來表示，而省略關於該部分 明。 在本實施形態中，符號70A、70B、70C係安裝 凍機組1 0A、1 OB、1 0C的極低溫測量裝置（例如X線 測量裝置、光透過測量裝置、光激發測量裝置、超傳 測量裝置、霍耳效應測量裝置等）。溫度感測器24A、 、24C，並不限定於冷凍機組的1段或2段的熱負載 而被安裝在極低溫測量裝置的任意位置。 若根據本實施形態，如第3實施例所述，能夠謀 藉由設置在各冷凍機組中的變頻器22 A、22 B、 來進行各冷凍機組的溫度調節；以及除了藉此消除各 凍機組之間的偏差以外，藉由設在壓縮機組3 0處的 變頻器40來達成消耗電力的降低。 再者，在本實施形態中，極低溫測量裝置和冷凍 ’係以1對1的方式組合；但是，也可以應用在相對 台極低溫測量裝置，使用複數台冷凍機組的系統。又 能夠應用第1實施形態、第2實施形態、及第4實施 〇 接著，將本發明應用在簡易液化機中的第8實施 表示於第9圖。此圖係將本發明的第3實施形態應用 易液化機；具有與第4圖所示之相同的構成、作用的 ’以相同的符號來表示，而省略關於該部分的說明。 應用 、作 的說 有冷 繞射 導體 24B 部， 求： 22C 個冷 第2 機組 於1 ，也 形態 形態 在簡 部分 -15- 1247871 (13) 在本實施形態中，符號80A、80B、80C係安裝有冷 凍機組10A、10B、10C的蓄液容器；而符號82A、82B、 82C則爲氣體管線。溫度感測器24A、24B、24C，並不限 定於冷凍機組的1段或2段的熱負載部，而被安裝在簡易 液化機的任意位置。 若根據本實施形態，如第3實施例所述，能夠謀求： 藉由設置在各冷凍機組中的變頻器22A、22B、22C來進 行各冷凍機組的溫度調節；以及除了藉此消除各個冷凍機 組之間的偏差以外，藉由設在壓縮機組3 0處的第2變頻 器40來達成消耗電力的降低。 在本實施形態中，取代溫度感測器24A、24B、24C ，如第1 0圖所示的第9實施形態，將液面感測器28A、 28B、28C安裝在上述蓄液容器80A、80B、80C的內部， 利用根據該液面感測器的輸出來進行控制，可以得到與第 3實施形態同樣的效果。 再者，在本實施形態中，簡易液化機和冷凍機組，係 以1對1的方式組合；但是，也可以應用在相對於1台簡 易液化機，使用複數台冷凍機組的系統。又，也能夠應用 第1實施形態、第2實施形態、及第4實施形態。 在前述實施形態中，雖然皆是做成控制2段G-Μ循 環冷凍機，但是本發明的適用對象並不被限定於此，當然 能夠普遍地適用在冷凍機（例如單段G-Μ循環冷凍機、3 段G-Μ循環冷凍機、變形蘇爾末循環冷凍機、脈動管式 冷凍機等）的溫度控制。又，管理吸排氣的循環時間的機 -16- (14) 1247871 構，也不限定於吸排氣閥驅動用馬達。 〔發明之效果〕 (產業上的利用可能性） 若根據本發明，由於構成溫度控制機構的變頻器和控 制器等，係位於常溫部，所以與將電熱器設置在低溫部的 情況相比，能夠以可靠度高的方法來進行冷凍機的溫度調 節。又，即使是在以1台或複數台的壓縮機組來運轉複數 台冷凍機組的情況，各個冷凍機組可以進行溫度調節，而 能夠消除冷凍機組間的偏差。 特別是組合壓縮機組的變頻控制的情況，由於將壓縮 機的旋轉數調整成可以得到系統的最佳氣體流量，故能夠 減少消耗電力。 【圖式簡單說明】 第1圖係表示關於本發明的極低溫冷凍機的第1實施 形態的構成之方塊圖。 第2圖係表示將第1實施形態的效果和習知例加以比 較的線圖。 第3圖係表示本發明的第2實施形態的構成的管路圖 〇 第4圖係表示本發明的第3實施形態的構成的管路圖 〇 第5圖係表示本發明的第4實施形態的構成的管路圖 -17- (15) 1247871 第6圖係本發明的第5實施形態亦即低溫泵的槪略構 成圖。 第7圖係本發明的第6實施形態亦即超傳導磁鐵的槪 略構成圖。 第8圖係本發明的第7實施形態亦即極低溫測量裝置 的槪略構成圖。 第9圖係本發明的第8實施形態亦即簡易液化機的槪 略構成圖。 第1 〇圖係在本發明的第9實施形態亦即簡易液化機 中，使用液面計的情況的槪略構成圖。 〔符號說明〕 10、10A、10B、10C :冷凍機組 1 1 : 1段低溫部 1 2 : 2段低溫部 14、14A、14B、14C :吸排氣閥驅動用馬達 20 :電源 22、22A、22B、22C :變頻器 24、24A、24B、24C :溫度感測器 26、26A、26B、26C ：控制器 28A、28B、28C :液面感測器 3 0 :壓縮機組 32 :高壓氣體配管 -18- (16) (16)1247871 3 4 :低壓氣體配管 40 :第2變頻器 4 2、4 4 :壓力感測器 46 :第2控制器 4 8 :壓差壓力感測器 50A、50B、50C ：泵容器 52A、52B、52C ：處理室 60A、60B、60C ：超傳導磁鐵 62A、62B、62C:核磁共振圖像（MRI)裝置 70A、70B、70C :極低溫測量裝置 80A、80B、8 0C ：蓄液容器 8 2 A、8 2 B、8 2 C :氣體管線

Claims (1)

1. (1) 1247871 拾、申請專利範圍 1 · 一種冷凍機組，其特徵爲具備： 被設置在電源和管理冷凍機組的吸排氣循環時間之吸 排氣閥驅動用馬達之間，用來改變該吸排氣閥驅動用馬達 的頻率之手段； 檢測出冷凍機組的熱負載部之溫度的溫度感測器；及 對應該溫度感測器的輸出訊號，來控制用來改變前述 吸排氣閥驅動用馬達的頻率之手段的控制器。 2 · —種低溫泵，其特徵爲： 具備申請專利範圍第1項所述的冷凍機組。 3 · —種極低溫冷凍機，其特徵爲： 使用一種壓縮機組，該壓縮機組具備： 被設置在電源和壓縮機組的壓縮機本體馬達之間，用 來改變該壓縮機本體馬達的頻率之手段； 被安裝在用來連接前述壓縮機本體的吐出口和冷)東機 組的冷媒供給口之高壓冷媒管中的高壓壓力感測器； 被安裝在用來連接前述壓縮機本體的吸入口和冷凍機 組的冷媒排出口之低壓冷媒管中的低壓壓力感測器；及 對應前述高壓壓力感測器和前述低壓壓力感測器的輸 出訊號，來控制用來改變前述壓縮機本體馬達的頻率之手 段的控制器； 且由複數台申請專利範圍第1項所述的冷凍機組、及 1台或複數台前述壓縮機組所構成。 4 . 一種極低溫冷凍機，其特徵爲： -20- (2) 1247871 使用一種壓縮機組，該壓縮機組具備： 被設置在電源和壓縮機組的壓縮機本體馬達之間，用 來改變該壓縮機本體馬達的頻率之手段； 被安裝在用來連接前述壓縮機本體的吐出口和冷凍機 組的冷媒供給口之高壓冷媒管、及用來連接前述壓縮機本 體的吸入口和冷凍機組的冷媒排出口之低壓冷媒管之間的 壓差壓力感測器；及 對應該壓差壓力感測器的輸出訊號，來控制用來改變 則述壓縮機本體馬達的頻率之手段的控制器； 且由複數台申請專利範圍第1項所述的冷凍機組、及 1台或複數台前述壓縮機組所構成。 5 · —種低溫泵，其特徵爲： 具備申請專利範圍第3項或第4項所述的極低溫冷凍 機。 6 ·如申請專利範圍第5項所述的低溫泵，其中具備 檢測低溫泵的低溫板的任意位置的溫度之溫度感測器 ;及 對應該溫度感測器的輸出，將用來改變管理冷凍機組 的吸排氣循環時間之吸排氣閥驅動用馬達的頻率之手段， 加以控制的控制器。 7 · —種超傳導磁鐵，其特徵爲： 具備申請專利範圍第1項所述的冷凍機組。 8 · —種超傳導磁鐵，其特徵爲： •21 - (3) 1247871 具備申請專利範圍第3項或第4項所述的極低溫冷凍 9 ·如申請專利範圍第7項或第8項所述的超傳導磁 鐵，其中具備： 檢測超傳導磁鐵的任意位置的溫度之溫度感測器；及 對應該溫度感測器的輸出，將用來改變管理冷凍機組 的吸排氣循環時間之吸排氣閥驅動用馬達的頻率之手段， 加以控制的控制器。 1 〇 · —種極低溫測量裝置，其特徵爲： 具備申請專利範圍第1項所述的冷凍機組。 1 1 · 一種極低溫測量裝置，其特徵爲： 具備申請專利範圍第3項或第4項所述的極低溫冷凍 機。 1 2 ·如申請專利範圍第1 〇項或第1 1項所述的極低溫 測量裝置，其中具備： 檢測極低溫測量裝置的任意位置的溫度之溫度感測器 ;及 對應該溫度感測器的輸出，將用來改變管理冷凍機組 的吸排氣循環時間之吸排氣閥驅動用馬達的頻率之手段， 加以控制的控制器。 1 3 . —種簡易液化機，其特徵爲： 具備申請專利範圍第1項所述的冷凍機組。 1 4 · 一種簡易液化機，其特徵爲： 具備申請專利範圍第3項或第4項所述的極低溫冷凍 -22- (4) 1247871 機。 1 5 ·如申請專利範圍第1 3項或第1 4項所述的簡易液 化機，其中具備： 檢測簡易液化機的任意位置的溫度之溫度感測器；及 對應該溫度感測器的輸出，將用來改變管理冷凍機組 的吸排氣循環時間之吸排氣閥驅動用馬達的頻率之手段， 加以控制的控制器。 1 6 ·如申請專利範圍第1 3項或第1 4項所述的簡易液 化機，其中具備： 簡易液化機的蓄液容器內的液面檢測手段；及 對應該液面檢測手段的輸出，將用來改變管理冷凍機 組的吸排氣循環時間之吸排氣閥驅動用馬達的頻率之手段 ，加以控制的控制器。 -23-