JP2002106991A - ヘリウム圧縮機ユニット - Google Patents
ヘリウム圧縮機ユニットInfo
- Publication number
- JP2002106991A JP2002106991A JP2000299941A JP2000299941A JP2002106991A JP 2002106991 A JP2002106991 A JP 2002106991A JP 2000299941 A JP2000299941 A JP 2000299941A JP 2000299941 A JP2000299941 A JP 2000299941A JP 2002106991 A JP2002106991 A JP 2002106991A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- helium
- helium compressor
- compressor
- refrigerator
- compressor unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2309/00—Gas cycle refrigeration machines
- F25B2309/002—Gas cycle refrigeration machines with parallel working cold producing expansion devices in one circuit
Landscapes
- Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 １台のヘリウム圧縮機ユニットで、多様な冷
凍機に、ロス少なく対応できる構成を有したヘリウム圧
縮機ユニットを提供する。 【解決手段】 ヘリウム圧縮機１１から吐出されたヘリ
ウムガスを冷凍機５Ａ〜５Ｄに供給可能に構成されたヘ
リウム圧縮機ユニット１において、ヘリウム圧縮機１１
がモータ駆動周波数を可変制御できる圧縮機で構成さ
れ、冷凍機５Ａ〜５Ｄの負荷に応じてモータ駆動周波数
を可変するコントローラ５３を備えた。
凍機に、ロス少なく対応できる構成を有したヘリウム圧
縮機ユニットを提供する。 【解決手段】 ヘリウム圧縮機１１から吐出されたヘリ
ウムガスを冷凍機５Ａ〜５Ｄに供給可能に構成されたヘ
リウム圧縮機ユニット１において、ヘリウム圧縮機１１
がモータ駆動周波数を可変制御できる圧縮機で構成さ
れ、冷凍機５Ａ〜５Ｄの負荷に応じてモータ駆動周波数
を可変するコントローラ５３を備えた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ヘリウムガスを圧
縮するヘリウム圧縮機を備えたヘリウム圧縮機ユニット
に関する。
縮するヘリウム圧縮機を備えたヘリウム圧縮機ユニット
に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ヘリウムガスを圧縮するヘリウ
ム圧縮機を備えるヘリウム圧縮機ユニットであって、複
数台の冷凍機にヘリウムガスを供給可能に構成されたヘ
リウム圧縮機ユニットが知られている。
ム圧縮機を備えるヘリウム圧縮機ユニットであって、複
数台の冷凍機にヘリウムガスを供給可能に構成されたヘ
リウム圧縮機ユニットが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この種のものでは、複
数台の冷凍機の内、何台か、またはそのすべてが運転停
止、或いは分離された場合、その冷凍機分のヘリウムガ
スが余剰となり、冷媒回路の高圧／低圧の圧力差が拡大
し、ヘリウム圧縮機の負荷が増加し、所要電力が増加す
るという問題がある。
数台の冷凍機の内、何台か、またはそのすべてが運転停
止、或いは分離された場合、その冷凍機分のヘリウムガ
スが余剰となり、冷媒回路の高圧／低圧の圧力差が拡大
し、ヘリウム圧縮機の負荷が増加し、所要電力が増加す
るという問題がある。
【０００４】また、このヘリウム圧縮機ユニットは、冷
凍機が１０Ｋ（−２６３℃）程度に冷却された状態で、
必要なガス量を供給するように設定されている。
凍機が１０Ｋ（−２６３℃）程度に冷却された状態で、
必要なガス量を供給するように設定されている。
【０００５】従って、３００Ｋ程度の常温から運転を開
始し、そこから１０Ｋに至る冷却途中の段階では、ヘリ
ウムガスの密度が大きくガスが余剰となる。この場合
も、上述と同様に、冷媒回路の高圧／低圧の圧力差が拡
大し、ヘリウム圧縮機の負荷が増加し、所要電力が増加
するという問題がある。
始し、そこから１０Ｋに至る冷却途中の段階では、ヘリ
ウムガスの密度が大きくガスが余剰となる。この場合
も、上述と同様に、冷媒回路の高圧／低圧の圧力差が拡
大し、ヘリウム圧縮機の負荷が増加し、所要電力が増加
するという問題がある。
【０００６】大型のヘリウム圧縮機ユニットに小型の冷
凍機を少数台接続した場合等、ヘリウム圧縮機ユニット
と冷凍機の容量が不適合の場合、冷媒回路内の高圧／低
圧の圧力差が、常時大きい状態に維持され、これもまた
余分な電力を消費することになるという問題がある。
凍機を少数台接続した場合等、ヘリウム圧縮機ユニット
と冷凍機の容量が不適合の場合、冷媒回路内の高圧／低
圧の圧力差が、常時大きい状態に維持され、これもまた
余分な電力を消費することになるという問題がある。
【０００７】そこで、本発明の目的は、上述した従来技
術が有する課題を解消し、１台のヘリウム圧縮機ユニッ
トで、多様な冷凍機に、ロス少なく対応できる構成を有
したヘリウム圧縮機ユニットを提供することにある。
術が有する課題を解消し、１台のヘリウム圧縮機ユニッ
トで、多様な冷凍機に、ロス少なく対応できる構成を有
したヘリウム圧縮機ユニットを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
ヘリウム圧縮機から吐出されたヘリウムガスを冷凍機に
供給可能に構成されたヘリウム圧縮機ユニットにおい
て、ヘリウム圧縮機がモータ駆動周波数を可変制御でき
る圧縮機で構成され、冷凍機の負荷に応じてモータ駆動
周波数を可変するコントローラを備えたことを特徴とす
る。
ヘリウム圧縮機から吐出されたヘリウムガスを冷凍機に
供給可能に構成されたヘリウム圧縮機ユニットにおい
て、ヘリウム圧縮機がモータ駆動周波数を可変制御でき
る圧縮機で構成され、冷凍機の負荷に応じてモータ駆動
周波数を可変するコントローラを備えたことを特徴とす
る。
【０００９】請求項２記載の発明は、請求項１記載のも
のにおいて、上記コントローラが、高圧側圧力センサ、
低圧側圧力センサ、冷凍機の温度センサ、冷凍機の運転
台数検知センサ、冷凍機の回転数検知センサ、ヘリウム
圧縮機の電流検知センサ及び電圧検知センサの内、少な
くとも一つのセンサの入力によって、モータ駆動周波数
を可変することを特徴とする。
のにおいて、上記コントローラが、高圧側圧力センサ、
低圧側圧力センサ、冷凍機の温度センサ、冷凍機の運転
台数検知センサ、冷凍機の回転数検知センサ、ヘリウム
圧縮機の電流検知センサ及び電圧検知センサの内、少な
くとも一つのセンサの入力によって、モータ駆動周波数
を可変することを特徴とする。
【００１０】請求項３記載の発明は、請求項１記載のも
のにおいて、上記コントローラが、手動入力スイッチの
入力の切り替えによって、上記モータ駆動周波数を可変
することを特徴とする。
のにおいて、上記コントローラが、手動入力スイッチの
入力の切り替えによって、上記モータ駆動周波数を可変
することを特徴とする。
【００１１】本発明では、冷凍機の負荷が変動した場
合、上記圧縮機の能力が可変されるため、当該圧縮機の
負荷が調整され、それを駆動するための消費電力が調整
され、省エネルギー化が図られる。
合、上記圧縮機の能力が可変されるため、当該圧縮機の
負荷が調整され、それを駆動するための消費電力が調整
され、省エネルギー化が図られる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【００１３】図１において、１はヘリウム圧縮機ユニッ
トを示している。このヘリウム圧縮機ユニット１には、
供給管２および戻り管３を介して、例えば複数台のクラ
イオポンプ用冷凍機、液体ヘリウムの凝縮用冷凍機、マ
グネットや半導体素子の直冷用冷凍機等の冷凍機５Ａ〜
５Ｄが接続されている。
トを示している。このヘリウム圧縮機ユニット１には、
供給管２および戻り管３を介して、例えば複数台のクラ
イオポンプ用冷凍機、液体ヘリウムの凝縮用冷凍機、マ
グネットや半導体素子の直冷用冷凍機等の冷凍機５Ａ〜
５Ｄが接続されている。
【００１４】ヘリウム圧縮機ユニット１は、ヘリウムガ
スを圧縮するヘリウム圧縮機１１を有している。このヘ
リウム圧縮機１１から吐出されたヘリウムガスは冷却用
熱交換器１２に供給され、ここで水冷ジャケット１３を
循環する冷却水と熱交換して冷却される。この冷却用熱
交換器１２で冷却されたヘリウムガスはオイルセパレー
タ１４に供給され、ここで潤滑用オイルが分離される。
この分離されたオイルはオイル管１５を通じてヘリウム
圧縮機１１の吸込管に戻される。
スを圧縮するヘリウム圧縮機１１を有している。このヘ
リウム圧縮機１１から吐出されたヘリウムガスは冷却用
熱交換器１２に供給され、ここで水冷ジャケット１３を
循環する冷却水と熱交換して冷却される。この冷却用熱
交換器１２で冷却されたヘリウムガスはオイルセパレー
タ１４に供給され、ここで潤滑用オイルが分離される。
この分離されたオイルはオイル管１５を通じてヘリウム
圧縮機１１の吸込管に戻される。
【００１５】オイルセパレータ１４を経たヘリウムガス
はアドソーバ１６に供給され、このアドソーバ１６から
供給管２を通じて冷凍機５Ａ〜５Ｄに供給される。
はアドソーバ１６に供給され、このアドソーバ１６から
供給管２を通じて冷凍機５Ａ〜５Ｄに供給される。
【００１６】例えば、クライオポンプにおいては、高純
度ヘリウムガスを圧縮機１１で圧縮（２０Ｋｇ／ｃｍ2
程度）し、常温程度まで冷却後、オイル等の不純物を取
り除き、冷凍機５Ａ〜５Ｄのシリンダ内で膨張（５〜１
０Ｋｇ／ｃｍ2 程度）させることにより極低温を得るこ
とができる。
度ヘリウムガスを圧縮機１１で圧縮（２０Ｋｇ／ｃｍ2
程度）し、常温程度まで冷却後、オイル等の不純物を取
り除き、冷凍機５Ａ〜５Ｄのシリンダ内で膨張（５〜１
０Ｋｇ／ｃｍ2 程度）させることにより極低温を得るこ
とができる。
【００１７】冷凍機５Ａ〜５Ｄを経たヘリウムガスは戻
し管３を通じてバッファタンク１７に集合し、圧縮機１
１に戻される。
し管３を通じてバッファタンク１７に集合し、圧縮機１
１に戻される。
【００１８】オイルセパレータ１４とアドソーバ１６と
をつなぐ高圧管１８と、バッファタンク１７につながる
低圧管１９とが差圧弁２０で連結されている。この差圧
弁２０は、高圧／低圧の圧力差が一定値を越えた場合、
弁体を自動的に開放させ、高圧管１８内のヘリウムガス
の一部を、冷凍機５Ａ〜５Ｄをバイパスさせて、点線で
示すように低圧管１９に導く構造を備えている。
をつなぐ高圧管１８と、バッファタンク１７につながる
低圧管１９とが差圧弁２０で連結されている。この差圧
弁２０は、高圧／低圧の圧力差が一定値を越えた場合、
弁体を自動的に開放させ、高圧管１８内のヘリウムガス
の一部を、冷凍機５Ａ〜５Ｄをバイパスさせて、点線で
示すように低圧管１９に導く構造を備えている。
【００１９】本実施形態では、ヘリウム圧縮機１１がモ
ータ駆動周波数を可変制御可能な、例えばインバータ制
御による圧縮機で構成されている。
ータ駆動周波数を可変制御可能な、例えばインバータ制
御による圧縮機で構成されている。
【００２０】本実施形態では、例えばすべての冷凍機５
Ａ〜５Ｄが運転している場合、ヘリウム圧縮機１１はモ
ータ駆動周波数が増大し、高出力で運転され、略１００
％の能力でヘリウムガスが冷凍機５Ａ〜５Ｄに供給され
る。
Ａ〜５Ｄが運転している場合、ヘリウム圧縮機１１はモ
ータ駆動周波数が増大し、高出力で運転され、略１００
％の能力でヘリウムガスが冷凍機５Ａ〜５Ｄに供給され
る。
【００２１】一方、例えば２台の冷凍機５Ａ、５Ｂが運
転停止した場合、この運転停止の情報が入力装置５１か
ら出力され、コントローラ５３が、インバータ制御手段
２８に周波数減少信号を出力する。これにより、ヘリウ
ム圧縮機１１のモータ駆動周波数が減少し、低出力で運
転され、例えば５０％の能力でヘリウムガスが冷凍機５
Ｃ〜５Ｄに供給される。
転停止した場合、この運転停止の情報が入力装置５１か
ら出力され、コントローラ５３が、インバータ制御手段
２８に周波数減少信号を出力する。これにより、ヘリウ
ム圧縮機１１のモータ駆動周波数が減少し、低出力で運
転され、例えば５０％の能力でヘリウムガスが冷凍機５
Ｃ〜５Ｄに供給される。
【００２２】これによれば、ヘリウム圧縮機１１の負荷
が減少し、所要電力が減少するので、省エネルギ化が図
られる。
が減少し、所要電力が減少するので、省エネルギ化が図
られる。
【００２３】なお、例えば一台の冷凍機５Ａだけが運転
する場合、本実施形態では、ヘリウム圧縮機１１は、２
５％出力で運転され、略２５％の能力でヘリウムガスが
冷凍機５Ａに供給される。
する場合、本実施形態では、ヘリウム圧縮機１１は、２
５％出力で運転され、略２５％の能力でヘリウムガスが
冷凍機５Ａに供給される。
【００２４】このヘリウム圧縮機ユニット１は、冷凍機
が１０Ｋ（−２６３℃）程度に冷却された状態で、必要
なガス量を供給するように設定されている。
が１０Ｋ（−２６３℃）程度に冷却された状態で、必要
なガス量を供給するように設定されている。
【００２５】従って、３００Ｋ程度の常温から運転を開
始し、そこから１０Ｋに至る冷却途中の段階では、ヘリ
ウムガスの密度が大きくガスが余剰となる。この場合
も、上述と同様に、冷媒回路の高圧／低圧の圧力差が拡
大し、ヘリウム圧縮機の負荷が増加し、所要電力が増加
するが、本実施形態では、１０Ｋに至る冷却途中の段階
で、ヘリウム圧縮機１１のモータ駆動周波数を減少し、
低出力で運転させることにより、低能力でヘリウムガス
を冷凍機５Ａ〜５Ｄに供給し、ヘリウム圧縮機１１の負
荷を減少し、所要電力を減少することができる。
始し、そこから１０Ｋに至る冷却途中の段階では、ヘリ
ウムガスの密度が大きくガスが余剰となる。この場合
も、上述と同様に、冷媒回路の高圧／低圧の圧力差が拡
大し、ヘリウム圧縮機の負荷が増加し、所要電力が増加
するが、本実施形態では、１０Ｋに至る冷却途中の段階
で、ヘリウム圧縮機１１のモータ駆動周波数を減少し、
低出力で運転させることにより、低能力でヘリウムガス
を冷凍機５Ａ〜５Ｄに供給し、ヘリウム圧縮機１１の負
荷を減少し、所要電力を減少することができる。
【００２６】大型のヘリウム圧縮機ユニット１に小型の
冷凍機５を少数台接続した場合等、ヘリウム圧縮機ユニ
ット１と冷凍機５の容量が不適合の場合、冷媒回路内の
高圧／低圧の圧力差が、常時大きい状態に維持され、こ
れもまた余分な電力を消費することになる。この場合、
本実施形態では、ヘリウム圧縮機１１のモータ駆動周波
数を減少し、低出力で運転させることにより、ヘリウム
圧縮機１１の負荷を減少して、所要電力を減少し、省エ
ネルギ化を図ることができる。
冷凍機５を少数台接続した場合等、ヘリウム圧縮機ユニ
ット１と冷凍機５の容量が不適合の場合、冷媒回路内の
高圧／低圧の圧力差が、常時大きい状態に維持され、こ
れもまた余分な電力を消費することになる。この場合、
本実施形態では、ヘリウム圧縮機１１のモータ駆動周波
数を減少し、低出力で運転させることにより、ヘリウム
圧縮機１１の負荷を減少して、所要電力を減少し、省エ
ネルギ化を図ることができる。
【００２７】例えば２台の冷凍機５Ａ、５Ｂが運転停止
した場合、この運転停止の情報は、上記のように入力装
置５１から出力される。
した場合、この運転停止の情報は、上記のように入力装
置５１から出力される。
【００２８】ここで、入力装置５１には、夫々図示は省
略したが、冷媒回路中の高圧側圧力センサ、低圧側圧力
センサ、或いは冷凍機の温度センサ、冷凍機の運転台数
検知センサ、冷凍機の回転数検知センサ、さらにはヘリ
ウム圧縮機の電流検知センサ及び電圧検知センサの内、
少なくとも一つのセンサが接続される。いずれかのセン
サの検知信号によって、運転停止の情報を取得し、この
情報によって、ヘリウム圧縮機１１のモータ周波数を可
変することが可能になる。入力装置５１は手動入力スイ
ッチとしてもよい。手動切り替えによっても、ヘリウム
圧縮機１１のモータ周波数を可変することが可能にな
る。
略したが、冷媒回路中の高圧側圧力センサ、低圧側圧力
センサ、或いは冷凍機の温度センサ、冷凍機の運転台数
検知センサ、冷凍機の回転数検知センサ、さらにはヘリ
ウム圧縮機の電流検知センサ及び電圧検知センサの内、
少なくとも一つのセンサが接続される。いずれかのセン
サの検知信号によって、運転停止の情報を取得し、この
情報によって、ヘリウム圧縮機１１のモータ周波数を可
変することが可能になる。入力装置５１は手動入力スイ
ッチとしてもよい。手動切り替えによっても、ヘリウム
圧縮機１１のモータ周波数を可変することが可能にな
る。
【００２９】以上、一実施形態に基づいて本発明を説明
したが、本発明はこれに限定されるものでないことは明
らかである。
したが、本発明はこれに限定されるものでないことは明
らかである。
【００３０】
【発明の効果】本発明によれば、冷凍機の負荷が変動し
た場合、圧縮機の能力が可変されるため、当該圧縮機の
負荷が調整され、それを駆動するための消費電力が調整
され、省エネルギー化が図られる。
た場合、圧縮機の能力が可変されるため、当該圧縮機の
負荷が調整され、それを駆動するための消費電力が調整
され、省エネルギー化が図られる。
【図１】本発明によるヘリウム圧縮機ユニットの一実施
形態を示す回路図である。
形態を示す回路図である。
１ ヘリウム圧縮機ユニット ５Ａ〜５Ｄ 冷凍機 １１ ヘリウム圧縮機 １２ 冷却用熱交換器 １４ オイルセパレータ １６ アドソーバ １７ バッファタンク ２０ 差圧弁 ５１ 入力装置 ５３ コントローラ
Claims (3)
- 【請求項１】 ヘリウム圧縮機から吐出されたヘリウム
ガスを冷凍機に供給可能に構成されたヘリウム圧縮機ユ
ニットにおいて、 ヘリウム圧縮機がモータ駆動周波数を可変制御できる圧
縮機で構成され、 冷凍機の負荷に応じてモータ駆動周波数を可変するコン
トローラを備えたことを特徴とするヘリウム圧縮機ユニ
ット。 - 【請求項２】 上記コントローラが、高圧側圧力セン
サ、低圧側圧力センサ、冷凍機の温度センサ、冷凍機の
運転台数検知センサ、冷凍機の回転数検知センサ、ヘリ
ウム圧縮機の電流検知センサ及び電圧検知センサの内、
少なくとも一つのセンサの入力によって、モータ駆動周
波数を可変することを特徴とする請求項１記載のヘリウ
ム圧縮機ユニット。 - 【請求項３】 上記コントローラが、手動入力スイッチ
の入力の切り替えによって、上記モータ駆動周波数を可
変することを特徴とする請求項１記載のヘリウム圧縮機
ユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000299941A JP2002106991A (ja) | 2000-09-29 | 2000-09-29 | ヘリウム圧縮機ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000299941A JP2002106991A (ja) | 2000-09-29 | 2000-09-29 | ヘリウム圧縮機ユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002106991A true JP2002106991A (ja) | 2002-04-10 |
Family
ID=18781683
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000299941A Pending JP2002106991A (ja) | 2000-09-29 | 2000-09-29 | ヘリウム圧縮機ユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002106991A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004085048A (ja) * | 2002-08-26 | 2004-03-18 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 極低温冷凍装置、及び、その運転方法 |
| JP2007502960A (ja) * | 2003-08-20 | 2007-02-15 | ライボルト ヴァキューム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 真空装置 |
| US7555911B2 (en) | 2002-08-20 | 2009-07-07 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryogenic refrigerator |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6346351A (ja) * | 1986-08-12 | 1988-02-27 | 株式会社東芝 | 極低温冷凍機 |
| JPH01111183A (ja) * | 1987-10-23 | 1989-04-27 | Hitachi Ltd | 液化ガス貯蔵容器 |
| JPH03117875A (ja) * | 1989-09-29 | 1991-05-20 | Sanyo Electric Co Ltd | 冷蔵庫 |
| JPH11108479A (ja) * | 1997-09-30 | 1999-04-23 | Toshiba Corp | 蓄冷式冷凍機及びその運転方法 |
| JP2000121192A (ja) * | 1998-10-21 | 2000-04-28 | Daikin Ind Ltd | 極低温冷凍装置 |
-
2000
- 2000-09-29 JP JP2000299941A patent/JP2002106991A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6346351A (ja) * | 1986-08-12 | 1988-02-27 | 株式会社東芝 | 極低温冷凍機 |
| JPH01111183A (ja) * | 1987-10-23 | 1989-04-27 | Hitachi Ltd | 液化ガス貯蔵容器 |
| JPH03117875A (ja) * | 1989-09-29 | 1991-05-20 | Sanyo Electric Co Ltd | 冷蔵庫 |
| JPH11108479A (ja) * | 1997-09-30 | 1999-04-23 | Toshiba Corp | 蓄冷式冷凍機及びその運転方法 |
| JP2000121192A (ja) * | 1998-10-21 | 2000-04-28 | Daikin Ind Ltd | 極低温冷凍装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7555911B2 (en) | 2002-08-20 | 2009-07-07 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryogenic refrigerator |
| JP2004085048A (ja) * | 2002-08-26 | 2004-03-18 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 極低温冷凍装置、及び、その運転方法 |
| JP2007502960A (ja) * | 2003-08-20 | 2007-02-15 | ライボルト ヴァキューム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 真空装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3948919B2 (ja) | 可変速駆動装置を備えた冷却システムの少なくとも１つの圧縮機を制御する方法および装置 | |
| KR100718448B1 (ko) | 액체 냉각 장치의 온도 제어 장치 | |
| JP3192130B2 (ja) | 冷凍コンテナおよび冷凍システムの運転方法 | |
| JP6067423B2 (ja) | 極低温冷凍装置、クライオポンプ、核磁気共鳴画像装置、及び極低温冷凍装置の制御方法 | |
| JPH07198216A (ja) | ２ステージ型冷凍装置の制御装置および制御方法 | |
| EP3712541B1 (en) | Heat pump system | |
| JP2000234814A (ja) | 蒸気圧縮式冷凍装置 | |
| JPH08210753A (ja) | 高効率独立冷却サイクル（Ｈｉｇｈ ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｍｕｌｔｉ−ｅｖａｐｏｒａｔｏｒｃｙｃｌｅ：Ｈ．Ｍ．ＣＹＣＬＥ）を持つ冷蔵庫の運転制御回路及びその運転制御方法 | |
| US20040103676A1 (en) | Method for controlling cooling/heating of heat pump system | |
| JP2002106991A (ja) | ヘリウム圧縮機ユニット | |
| JP3837298B2 (ja) | スクリュ冷凍機 | |
| JP2003065618A (ja) | 熱搬送装置 | |
| JP2002081773A (ja) | ヘリウム圧縮機ユニット | |
| JP2005127654A (ja) | 冷凍冷蔵庫 | |
| JPH0335519B2 (ja) | ||
| JP2003279185A (ja) | 極低温冷凍機 | |
| KR100389640B1 (ko) | 에어컨의 냉방용량 조절 시스템 및 그 방법 | |
| JP2001033138A (ja) | 冷凍装置 | |
| JP4726658B2 (ja) | 冷凍システム | |
| KR100251567B1 (ko) | 2단계감압장치가구비된냉동사이클및그제어방법 | |
| JPH0620051Y2 (ja) | 容量制御式冷凍装置 | |
| KR100364530B1 (ko) | 냉장고 | |
| JPH01262386A (ja) | 並列圧縮式冷凍装置 | |
| JP2003042505A (ja) | 空調装置およびその運転制御方法 | |
| JPH07305906A (ja) | スクロール冷凍機 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041026 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050315 |