JP2004085048A - 極低温冷凍装置、及び、その運転方法 - Google Patents

極低温冷凍装置、及び、その運転方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2004085048A
JP2004085048A JP2002245498A JP2002245498A JP2004085048A JP 2004085048 A JP2004085048 A JP 2004085048A JP 2002245498 A JP2002245498 A JP 2002245498A JP 2002245498 A JP2002245498 A JP 2002245498A JP 2004085048 A JP2004085048 A JP 2004085048A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
compressor
pressure
pressure side
cryogenic refrigeration
refrigeration apparatus
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2002245498A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3976649B2 (ja
Inventor
Masamichi Ando
安東　正道
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Heavy Industries Ltd filed Critical Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority to JP2002245498A priority Critical patent/JP3976649B2/ja
Publication of JP2004085048A publication Critical patent/JP2004085048A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3976649B2 publication Critical patent/JP3976649B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B2309/00—Gas cycle refrigeration machines
    • F25B2309/002—Gas cycle refrigeration machines with parallel working cold producing expansion devices in one circuit

Abstract

【課題】インバータ圧縮機を用いた極低温冷凍装置の少数台運転時に安定した性能が得られるようにする。
【解決手段】圧縮機１０の高圧側と低圧側の差圧ΔＰが設定値以上に上昇した時は、圧縮機の運転周波数を下限値で固定し、圧縮機と冷凍機２１〜２５の間に設けた、高圧側と低圧側を連通するバイパス弁３０による制御に切換える。
【選択図】　　　図２

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、極低温冷凍装置、及び、その運転方法に係り、特に、圧縮機から複数の冷凍機へ供給される差圧をインバータにより制御するようにした極低温冷凍装置、及び、その運転方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
動作ガスの圧力変化と体積変化との位相差を利用して極低温を発生するギフォード・マクマホン（ＧＭ）式やパルス管式の冷凍機が知られている。このような冷凍機を、半導体製造装置のスパッタリング装置等のような大型の装置の複数箇所に設置する場合、各冷凍機毎に、該冷凍機に高圧及び低圧を供給する圧縮機を設けるのではなく、コスト低減及び省エネルギーを目的として、図１に示す如く、１台の圧縮機１０で圧縮され、高圧ライン１２及び低圧ライン１４を介して供給されるガス（例えばヘリウムガス）を、多数の冷凍機２１−２５に供給することが考えられている。
【０００３】
この際、圧縮機１０をインバータにより供給差圧ΔＰが一定になるよう制御することが考えられており、そのような圧縮機をインバータ圧縮機と称する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、インバータ圧縮機には、機械的共振や焼付き防止のため、運転周波数に下限値がある。そこで、圧縮機の容量や運転周波数を、冷凍機の最大同時運転台数に合わせて設定すると、少数台運転の場合、圧縮機の運転周波数が下限値となり、差圧制御ができなくなる。すると、供給差圧ΔＰの上昇を招き、冷凍装置の適正運転ができない恐れがある。そのため、最低運転台数を設ける必要が生じ、任意の台数による運転ができないという問題点を有していた。
【０００５】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、インバータ圧縮機を用いた場合でも、冷凍機の少数台運転を可能とすることを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、インバータにより供給差圧が一定になるよう制御される圧縮機と、該圧縮機から圧力が供給される複数の冷凍機とを備えた極低温冷凍装置であって、前記圧縮機と冷凍機の間に、高圧側と低圧側を連通するバイパス通路を設けることにより、前記課題を解決したものである。
【０００７】
又、前記の極低温冷凍装置を備えたことを特徴とするクライオポンプ、超伝導マグネット、核磁気共鳴イメージング（ＭＲＩ）装置、計測装置を提供するものである。
【０００８】
本発明は、又、圧縮機から複数の冷凍機へ供給される差圧をインバータにより制御するようにした極低温冷凍装置の運転方法であって、高圧側と低圧側の差圧が設定値以上に上昇した時は、圧縮機の運転周波数を下限値で固定し、圧縮機と冷凍機の間に設けた、高圧側と低圧側を連通するバイパス弁による制御に切換えるようにして、前記課題を解決したものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００１０】
本実施形態は、図１に示したような極低温冷凍装置において、図２に示す如く、圧縮機１０と冷凍機２１〜２５の間に、高圧ライン１２と低圧ライン１４とを連通するバイパス弁３０と、高圧ライン１２の圧力Ｐ１を監視する高圧側圧力計３２と、低圧ライン１４の圧力Ｐ２を監視する低圧側圧力計３４とを設けたものである。
【００１１】
前記バイパス弁３０としては、例えば高圧ライン１２と低圧ライン１４の差圧ΔＰが、機械的に設定された所定圧力を超えた時に開かれる、いわゆるインラインリリーフバルブを用いることができる。
【００１２】
又、前記バイパス弁３０として、前記高圧側圧力計３２と低圧側圧力計３４の出力Ｐ１、Ｐ２に応じて圧力を調整する圧力調整弁を用いることもできる。この場合には、コストはかかるが、制御は確実である。なお、高圧側圧力計３２と低圧側圧力計３４を独立して設けるのではなく、差圧ΔＰを直接測定可能な差圧計を設けて、圧力計の数を減らしても良い。
【００１３】
このようにして、高圧ライン１２と低圧ライン１４の供給差圧ΔＰを監視し、圧縮機１０の運転周波数が下限値となり、差圧がある一定値Ｂ以上に上昇した場合は、圧縮機１０の運転周波数を下限値で固定とし、バイパス弁３０による差圧制御（バイパス制御と称する）に切換える。又、圧縮機１０が固定周波数に切換えられていた場合、冷凍機の運転台数が増えると差圧ΔＰが減少することがあるが、差圧がある一定値Ｃ以下となった場合は、バイパス弁３０を閉じ、再びインバータ圧縮機１０による差圧制御（インバータ（ＩＮＶ）制御と称する）に切換える。
【００１４】
図３に運転状態の例を示す。時刻ｔ０〜ｔ１間は、運転台数が従来の最低運転台数（例えば２台）以上なので、従来と同様にインバータ圧縮機１０により差圧ΔＰを目標値Ａとする差圧制御（ＩＮＶ制御）を行う。時刻ｔ１で最低運転台数未満の１台となると、差圧ΔＰが上昇してくるので、設定値Ｂになった時刻ｔ２で、圧縮機の運転周波数を最低回転数に固定して、バイパス弁３０による差圧制御（バイパス制御）に切換える。時刻ｔ２で運転台数が増えて最低運転台数以上になると、差圧ΔＰが低下してくるので、設定値Ｃになった時刻ｔ４で、バイパス弁３０を閉じて、ＩＮＶ制御を再開する。
【００１５】
このようにして、インバータ圧縮機１０の運転周波数が下限値となった場合においても、バイパス弁３０で差圧を一定に制御できるので、極低温冷凍装置が少数台運転の場合でも、極低温冷凍装置から安定した性能を得ることができる。
【００１６】
なお、前記バイパス弁３０の種類はインラインリリーフバルブや圧力調整弁に限定されず、図４に示す如く、オリフィス４０（４１）と開閉弁４２（４３）の組合せを用いてもよい。この際、図４に示したように、口径の異なるオリフィス４０、４１を、それぞれ開閉弁４２、４３で開閉することによって、バイパス量を変えることもできる。
【００１７】
本発明の適用対象は、クライオポンプを用いたスパッタリング装置に限定されず、超伝導マグネット（例えばＭＣＺ等）、ＭＲＩ装置、計測装置（例えばＸ線回折測定装置、光透過測定装置、フォトルミネッセンス測定装置、超伝導体測定装置、ホール効果測定装置）等にも適用できることは明らかである。
【００１８】
【発明の効果】
本発明によれば、インバータ差圧制御とバイパスによる差圧制御を切換えることによって、極低温冷凍装置の少数台運転時に安定した性能を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】１台のインバータ圧縮機で複数の冷凍機を運転するようにした冷凍装置の構成を示すブロック線図
【図２】本発明の実施形態の構成を示すブロック線図
【図３】前記実施形態の作用を説明するためのタイムチャート
【図４】前記実施形態の変形例で用いられるバイパス弁を示す構成図
【符号の説明】
１０…インバータ圧縮機
１２…高圧ライン
１４…低圧ライン
２１〜２５…冷凍機
３０…バイパス弁
３２…高圧側圧力計
３４…低圧側圧力計
４０、４１…オリフィス
４２、４３…開閉弁

Claims (6)

  1. インバータにより供給差圧が一定になるよう制御される圧縮機と、
    該圧縮機から圧力が供給される複数の冷凍機とを備えた極低温冷凍装置であって、
    前記圧縮機と冷凍機の間に、高圧側と低圧側を連通するバイパス通路が設けられていることを特徴とする極低温冷凍装置。
  2. 請求項１に記載の極低温冷凍装置を備えたことを特徴とするクライオポンプ。
  3. 請求項１に記載の極低温冷凍装置を備えたことを特徴とする超伝導マグネット。
  4. 請求項１に記載の極低温冷凍装置を備えたことを特徴とする核磁気共鳴イメージング装置。
  5. 請求項１に記載の極低温冷凍装置を備えたことを特徴とする計測装置。
  6. 圧縮機から複数の冷凍機へ供給される差圧をインバータにより制御するようにした極低温冷凍装置の運転方法であって、
    高圧側と低圧側の差圧が設定値以上に上昇した時は、圧縮機の運転周波数を下限値で固定し、圧縮機と冷凍機の間に設けた、高圧側と低圧側を連通するバイパス弁による制御に切換えることを特徴とする極低温冷凍装置の運転方法。
JP2002245498A 2002-08-26 2002-08-26 極低温冷凍装置、及び、その運転方法 Expired - Fee Related JP3976649B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002245498A JP3976649B2 (ja) 2002-08-26 2002-08-26 極低温冷凍装置、及び、その運転方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002245498A JP3976649B2 (ja) 2002-08-26 2002-08-26 極低温冷凍装置、及び、その運転方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004085048A true JP2004085048A (ja) 2004-03-18
JP3976649B2 JP3976649B2 (ja) 2007-09-19

Family

ID=32053673

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002245498A Expired - Fee Related JP3976649B2 (ja) 2002-08-26 2002-08-26 極低温冷凍装置、及び、その運転方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3976649B2 (ja)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008035817A1 (en) * 2006-09-22 2008-03-27 Teijin Pharma Limited Oxygen concentrator
JP2010133689A (ja) * 2008-12-04 2010-06-17 Ind Technol Res Inst 冷凍装置のインバータ省エネ温度制御装置
US20130180275A1 (en) * 2012-01-12 2013-07-18 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Method for Controlling a Heat-Transfer Fluid-Compression Device of a Cryogenic Machine
JP2014508274A (ja) * 2011-03-04 2014-04-03 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド ヘリウム管理制御システム
CN104034078A (zh) * 2013-03-04 2014-09-10 住友重机械工业株式会社 超低温制冷装置及超低温制冷装置的控制方法
JP2014173819A (ja) * 2013-03-12 2014-09-22 Sumitomo Heavy Ind Ltd クライオポンプシステム、クライオポンプシステムの運転方法、及び圧縮機ユニット
JP2018127929A (ja) * 2017-02-07 2018-08-16 住友重機械工業株式会社 極低温冷凍機のための圧縮機ユニット、及びクライオポンプシステム
WO2019163742A1 (ja) * 2018-02-20 2019-08-29 住友重機械工業株式会社 極低温冷凍機
WO2020009110A1 (ja) * 2018-07-03 2020-01-09 住友重機械工業株式会社 極低温冷凍機の圧縮機
US20220107119A1 (en) * 2020-10-01 2022-04-07 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Cryocooler and control method of cryocooler
CN115371313A (zh) * 2022-08-08 2022-11-22 中船重工鹏力（南京）超低温技术有限公司 一种制冷机控制方法及制冷机

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62106261A (ja) * 1985-11-05 1987-05-16 三洋電機株式会社 冷凍装置
JPS6341772A (ja) * 1986-08-08 1988-02-23 株式会社東芝 極低温冷凍機
JPS6346351A (ja) * 1986-08-12 1988-02-27 株式会社東芝 極低温冷凍機
JPH03217763A (ja) * 1990-01-22 1991-09-25 Sanyo Electric Co Ltd 極低温用冷凍装置
JPH0618108A (ja) * 1992-06-30 1994-01-25 Sanyo Electric Co Ltd 極低温冷凍装置
JPH09229503A (ja) * 1996-02-20 1997-09-05 Daikin Ind Ltd 極低温冷凍装置
JP2000121192A (ja) * 1998-10-21 2000-04-28 Daikin Ind Ltd 極低温冷凍装置
JP2002106991A (ja) * 2000-09-29 2002-04-10 Sanyo Electric Co Ltd ヘリウム圧縮機ユニット

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62106261A (ja) * 1985-11-05 1987-05-16 三洋電機株式会社 冷凍装置
JPS6341772A (ja) * 1986-08-08 1988-02-23 株式会社東芝 極低温冷凍機
JPS6346351A (ja) * 1986-08-12 1988-02-27 株式会社東芝 極低温冷凍機
JPH03217763A (ja) * 1990-01-22 1991-09-25 Sanyo Electric Co Ltd 極低温用冷凍装置
JPH0618108A (ja) * 1992-06-30 1994-01-25 Sanyo Electric Co Ltd 極低温冷凍装置
JPH09229503A (ja) * 1996-02-20 1997-09-05 Daikin Ind Ltd 極低温冷凍装置
JP2000121192A (ja) * 1998-10-21 2000-04-28 Daikin Ind Ltd 極低温冷凍装置
JP2002106991A (ja) * 2000-09-29 2002-04-10 Sanyo Electric Co Ltd ヘリウム圧縮機ユニット

Cited By (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008035817A1 (en) * 2006-09-22 2008-03-27 Teijin Pharma Limited Oxygen concentrator
US8070864B2 (en) 2006-09-22 2011-12-06 Teijin Pharma Limited Oxygen concentrator
JP2010133689A (ja) * 2008-12-04 2010-06-17 Ind Technol Res Inst 冷凍装置のインバータ省エネ温度制御装置
US10900699B2 (en) 2011-03-04 2021-01-26 Edwards Vacuum Llc Helium management control system
JP2021081179A (ja) * 2011-03-04 2021-05-27 エドワーズ バキューム リミテッド ライアビリティ カンパニー ヘリウム管理制御システム
KR20140048859A (ko) * 2011-03-04 2014-04-24 브룩스 오토메이션, 인크. 헬륨 관리 제어 시스템
JP7199457B2 (ja) 2011-03-04 2023-01-05 エドワーズ バキューム リミテッド ライアビリティ カンパニー 冷媒システムの冷媒の供給を制御する方法及び冷凍器システム
JP2014508274A (ja) * 2011-03-04 2014-04-03 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド ヘリウム管理制御システム
CN104094066A (zh) * 2011-03-04 2014-10-08 布鲁克机械公司 氦气管理控制系统
KR102044759B1 (ko) * 2011-03-04 2019-11-14 브룩스 오토메이션, 인크. 헬륨 관리 제어 시스템
JP2017083171A (ja) * 2011-03-04 2017-05-18 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド ヘリウム管理制御システム
CN104094066B (zh) * 2011-03-04 2018-06-08 布鲁克机械公司 氦气管理控制系统
KR20190026961A (ko) * 2011-03-04 2019-03-13 브룩스 오토메이션, 인크. 헬륨 관리 제어 시스템
US10113781B2 (en) 2011-03-04 2018-10-30 Brooks Automation, Inc. Helium management control system
KR101956305B1 (ko) * 2011-03-04 2019-03-08 브룩스 오토메이션, 인크. 헬륨 관리 제어 시스템
US20130180275A1 (en) * 2012-01-12 2013-07-18 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Method for Controlling a Heat-Transfer Fluid-Compression Device of a Cryogenic Machine
CN104034078B (zh) * 2013-03-04 2017-03-22 住友重机械工业株式会社 超低温制冷装置及超低温制冷装置的控制方法
CN104034078A (zh) * 2013-03-04 2014-09-10 住友重机械工业株式会社 超低温制冷装置及超低温制冷装置的控制方法
JP2014173819A (ja) * 2013-03-12 2014-09-22 Sumitomo Heavy Ind Ltd クライオポンプシステム、クライオポンプシステムの運転方法、及び圧縮機ユニット
JP2018127929A (ja) * 2017-02-07 2018-08-16 住友重機械工業株式会社 極低温冷凍機のための圧縮機ユニット、及びクライオポンプシステム
JP2019143867A (ja) * 2018-02-20 2019-08-29 住友重機械工業株式会社 極低温冷凍機
CN111712678A (zh) * 2018-02-20 2020-09-25 住友重机械工业株式会社 超低温制冷机
WO2019163742A1 (ja) * 2018-02-20 2019-08-29 住友重機械工業株式会社 極低温冷凍機
US11333405B2 (en) * 2018-02-20 2022-05-17 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Cryocooler
WO2020009110A1 (ja) * 2018-07-03 2020-01-09 住友重機械工業株式会社 極低温冷凍機の圧縮機
US20220107119A1 (en) * 2020-10-01 2022-04-07 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Cryocooler and control method of cryocooler
US11846458B2 (en) * 2020-10-01 2023-12-19 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Cryocooler and control method of cryocooler
CN115371313A (zh) * 2022-08-08 2022-11-22 中船重工鹏力（南京）超低温技术有限公司 一种制冷机控制方法及制冷机
CN115371313B (zh) * 2022-08-08 2024-03-01 中船重工鹏力（南京）超低温技术有限公司 一种制冷机控制方法及制冷机

Also Published As

Publication number Publication date
JP3976649B2 (ja) 2007-09-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7555911B2 (en) Cryogenic refrigerator
TWI583903B (zh) Very low temperature refrigeration equipment, and very low temperature refrigeration device control method
US20090158752A1 (en) Variable power cryogenic refrigerator
US20080196420A1 (en) Flashgas Removal From a Receiver in a Refrigeration Circuit
JP2004085048A (ja) 極低温冷凍装置、及び、その運転方法
JP5943865B2 (ja) クライオポンプシステム、クライオポンプシステムの運転方法、及び圧縮機ユニット
KR100784129B1 (ko) 멀티 시스템 냉동기의 운전방법, 장치 및 냉동장치
JP4445187B2 (ja) 極低温冷凍機
JP5595680B2 (ja) 圧力調整装置および磁気共鳴イメージング装置
JP3573384B2 (ja) 極低温冷凍装置
US20220316768A1 (en) Adiabatic demagnetization apparatus
GB2463033A (en) Method of operating a cryogenic refrigerator with multiple refrigeration stages
JPH062972A (ja) 極低温冷凍機
JP2873388B2 (ja) 冷凍機及びその冷凍能力の調整方法
JP3670536B2 (ja) 極低温冷却装置
JPH05335636A (ja) 超電導マグネット装置
JPS63306361A (ja) 蓄冷器式冷凍装置
JPH01142367A (ja) 極低温冷却装置
JPH06283769A (ja) 超電導磁石の冷凍システム
JP3765945B2 (ja) 冷凍機の運転制御装置
JP2000337716A (ja) 複合型冷媒回路設備
JPH07167512A (ja) 複合型冷媒回路設備の制御装置
DeGraff et al. SCRF Cryogenic Operating Experience at FNPL
JPH01137162A (ja) 極低温冷媒回収装置
JPH01127862A (ja) 極低温冷凍装置における膨張弁の制御方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20041110

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060919

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20061117

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20070220

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070322

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20070426

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070612

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070619

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100629

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3976649

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100629

Year of fee payment: 3

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100629

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110629

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110629

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120629

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120629

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130629

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees