TWI243301B

TWI243301B - Service method, service system and manufacturing/inspection apparatus

Info

Publication number: TWI243301B
Application number: TW090103942A
Authority: TW
Inventors: Hiroyoshi Ando
Original assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 2000-08-24
Filing date: 2001-02-21
Publication date: 2005-11-11
Also published as: JP2002075820A; KR20020016491A; US20010047216A1; US20040260660A1; KR100488435B1; US6751514B2

Description

1243301 A7 B7 五、發明説明（1 ) 【發明所屬技術領域】 I--------_衣II (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係關於製造或檢查半導體晶圓、半導體裝置、曝光用光罩、液晶裝置等之製造/檢查裝置、對於這些製造/檢查裝置之使用之檢修系統或檢修方法。【習知技術】習知上製造或檢查半導體晶圓、半導體裝置、曝光用光罩、液晶裝置等之製造/檢查裝置被複數台設置於這些產品之製造工廠內之指定的生產線，全部爲區域性之操作環境。或複數台藉由區域網路被接續，即使藉由工作站管理這些之稼動狀態，也不過是在被接續於工廠內之區域網路之範圍內被控制之環境。因此，上述各產品之製造業者由製造/檢查裝置之製造業者購入裝置，各產品之製造業者，即製造/檢查裝置之使用者構築製造工程。争經濟部智慧財產局員工消費合作社印製另一方面，作爲其之一例，在導入如使用電子顯微鏡之檢查裝置或電子射線掃描裝置之大系統裝置之情習，這些之價格高之故，購入者之負擔大。又，購入裝置後’在到達所期望之製造精度或檢查精度爲止，很多需要藉由熟知這些裝置之熟練者之調整之情形。進而，爲了繼續維持一度達成之精度，需要經常監視裝置狀態，實施因應需要之調整。而且，爲了進行這些調整之做業者之熟練度之提升，需要裝置之購入者或作業者之教育，此成本負擔也大。因此，購入者由裝置製造業者要求派遣作業者’進行減輕成分負擔。但是，裝置製造業者並非雇用很多之作業者本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -4- A7 1243301 B7 五、發明説明（2 ) 之故，在裝置之販賣台數多之情形，有藉由作業者之派遣之顧客檢修不充分之問題。【發明欲解決之課題】本發明之目的在於提供：可以謀求這些製造/檢查裝置之導入時之初期成本之降低以及裝置導入後之精度維持之檢修方法、檢修系統、以及製造/檢查裝置。【解決課題用之手段】本發明之實施形態爲：一種製造或檢查半導體晶圓、半導體裝置、曝光用光罩或液晶裝置等之產品之製造/檢查裝置，具備：記憶表示前述產品之被製造或檢查之數量之處理資訊、表示前述產品之製造或檢查之精度之精度資訊、表示前述製造/檢查裝置之稼動狀態之稼動資訊、表示前述製造/檢查裝置之製造或檢查時之裝置稼動控制所必要之校正値之校正資訊之至少其中一種之資訊之記憶裝置。又，本發明之其它實施形態爲：一種使用製造或檢查半導體晶圓、半導體裝置、曝光用光罩或液晶裝置等之產品的製造/檢查裝置之際的檢修方法，依據藉由物理地被記憶於記憶媒體之前述製造/檢查裝置被製造或檢查之前述產品之製造或檢查之難易資訊，以及前述製造/檢查裝置之稼動資訊，設定對於前述製造/檢查裝置之使用之費用。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I-r------罐衣--：I.^---1T------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -5- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1243301 A7 B7 五、發明説明（3 ) 爲了降低高價之製造、檢查裝置之導入時之初期成本，可以考慮如所謂之數量制地依據裝置之使用狀況收費之手段◦在習知之半導體晶圓、半導體裝置、曝光用光罩、液晶裝置等之製造、檢查裝置中，未被接續於外部通訊網之故，不可能由外部監視裝置之使用狀況算出使用費。但是，如果是可以容易接續於網際網路等之外部通訊網之最近之環境，透過此由外部監視裝置稼動狀況等，設定使用費用，代替初期成本可以請求此，可以兼顧初期成本之降低與裝置導入後之精度維持，進而，不需要作業者之派遣之故，裝置製造業者之檢修負擔之降低也變得可能。此處，在使用費用之設定之際，期望與習知之檢修之難易度有相關關係。例如，以電子射線掃描裝置描繪半導體裝置之電路圖案之情形，線寬愈細或鄰接線之尺寸變化愈大，要提升製造精度變得更困難，爲了裝置之精度維持，檢修作業者之熟練度或負擔度大有關係。因此，對於裝置製造業者，期望依據製造或檢查之難易資訊以設定費用〇而且，例如，在電子射線掃描裝置中，裝置本身將描繪之圖案當成資料保存之故，由此資訊可以成爲製造之產品之質的評價。即，由描繪之圖案的最小尺寸或裝置之校正容許値設定、校正之補正殘留量等，可以做微細而且精度嚴格之產品之判別，例如即使在指定期間之產品之處理片數少，進行精度高之描繪之情形，對於裝置之購入者，即使用者判斷製造附加價値高之產品，能夠對使用者請求本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） ---,-------Φ------1T------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -6 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1243301 . A7 B7 五、發明説明（4) 與其相符之使用費用，要求支付該費用。此種收費系統不單有可以降低使用者之初期成本之效果外，裝置製造業者只要裝置有稼動，便可以獲得定期之收入之故，也產生對於使用者之運轉檢修變得容易之優點〇爲了算出裝置使用廢油裝置取得之資訊同時有裝置之精度資訊、稼動狀況之故，使用此資訊之幾乎即時的檢修或使用者支援變成可能，與前述之定期的收入效果相乘，比起習知，在時間、質方面之細微的使用者支援變成可能〇又，將裝置之控制電腦直接接續於通訊網可以運用上述使用許諾、使用者支援系統，在幾乎全部之情形，由於安全之要求，希望避免將記憶使用者資訊之裝置控制電腦直接接續於外部通訊網。雖然通常設置接續於外部通訊網用之專用伺服器，但是對於最近之駭客等之侵入，以通訊被接續之環境即使採用哪種對策，不能說是安全的。由此種狀況，爲了實際運用利用前述通訊網之檢修系統，係以安全之資訊安全系統爲前提。在本發明中，關於此點，係藉由透過1^〇、〇〇 — R W、D V D - R W等之物理媒體以對前述通訊網接續專用伺服器前達資訊，只使預先決定之資訊被傳達於外部。又，無法由外部直接看到裝置控制電腦之故，駭客之侵入即使在最壞之情況，也止於專用伺服器，不會對裝置之稼動產生障礙。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ' --,-------ΦI—^--^I—1T------蠢 (請先閱讀背面之注意事項存填寫本貢) A7 1243301 ___ B7 五、發明説明（5 ) 【發明之實施形態】以下，依據圖面說明本發明之一實施例。圖1係顯示本發明之實施例之裝置構成之一例圖。圖 1中，半導體裝置之製造裝置，例如電子射線描繪裝置1 被設置於半導體生產線1 1。在半導體生產線1 1如周知般地，設置：C V D等之各種半導體製造裝置、檢查裝置。在本實施例中，雖說明其一例之電子射線描繪裝置，但是並不限定於此，在全部之製造/檢查裝置之情形都可以得到同樣之效果。又，在本實施例中，雖舉半導體裝置之生產線爲一例，但是在半導體晶圓、曝光用光罩、液晶裝置等之需要精密的製造、檢查技術之產品，也帶來同樣之效果。那麼於圖1中，電子射線描繪裝置1由交貨公司或製造商（以下，稱爲「製造商」）以初期成本爲零或低之金額被設置於使用者之半導體生產線1 1。爲了回收此設置所需要之費用，設置半導體製造裝置使用許諾系統1 〇〇，使用許諾使用費計算所必要之各種資訊透過裝置控制電腦2被資訊通報於製造商側。由裝置控制電腦來之前述各種資訊透過物理媒體4或透過通訊線路直接被儲存在專用伺服器3。被儲存在專用伺服器3之資訊透過網際網路、企業內網路等之通訊網5 ，被傳送於製造商之使用許諾用之電腦系統1 〇。此電腦系統1 0係藉由專用伺服器8、製造商之主機電腦6、顧本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） " -8 - I 訂 . (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1243301 A7 B7 五、發明説明（6 ) 客別資料庫7所構成。透過通訊網5被傳送之資訊被儲存在專用伺服器8，與被儲存在顧客別資料庫7之資料一齊地被使用於主電腦 6之處理，裝置之使用許諾費用橫跨每日、每週、每月等一定期間被計算、被印刷之同時，透過通訊網5或藉由郵寄手段被傳達於使用者，以進行結帳。如上述般地，裝置控制電腦2具有對以某種手段被接續於外部通訊網之專用伺服器3傳送資料之手段。此例如可以爲：使用者以手動將物理媒體4由裝置控制電腦移動於專用伺服器3之方法。專用伺服器3被接續於網際網路等之外部通訊網5，此例如也可以被接續於同一使用者內之別的描繪裝置。另一方面，在製造商側具有被接續於此通訊網之別的電腦系統1 0，此依循顧客契約定期接收必要之資訊。作爲實際之運用例，舉：由裝置之稼動狀況算出使用費用而通知（請求）使用者之例。圖2係顯示由裝置控制電腦1被傳送之資訊的資料構成。第1資訊群組2 1爲裝置之稼動資訊，基本上爲使用者資訊。此成爲數量因素。首先，爲了算出裝置之使用費用’需要裝置處理之晶圓或光罩之片數資訊。通常處理片數愈多使用費用愈高。接著，需要裝置之稼動時間資訊。即，即使處理片數少之情形’裝置之稼動時間長之情形，同樣地請求高的使本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I---------------IT------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -9 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1243301 A7 A7 B7 五、發明説明（7 ) 用費用。或也可以由這些資訊算出每單位時間之處理片數，以設定使用費用。除此之外，如了解晶圓或光罩每一片之總掃描次數，將總掃描次數當成資訊使用。或也有作爲包含處理片數與稼動時間之兩方的資訊者，以總掃描次數算出使用費用之方法。如此，藉由知道晶圓或光罩之處理片數與裝置之稼動時間，即實際進行掃描之時間、每一片之總次數，可以求得算出裝置之基本使用費用之數量。第二資訊群組2 2係產品之等級資訊。此雖係本來未被公開之使用者資訊，但是在電子射線描繪裝置之情形，由裝置本身之校正容許値資訊、構成補正殘餘等，可以某種程度預想是否以粗略調整進行產品掃描，或以精密調整進行產品掃描。此範疇之資訊可以與產品資訊不同地另外以尺寸精度或位置精度將目標精度如備註般地寫入描繪工作內。此種資訊不直接成爲產品之資訊之故，可以預想爲使用者比較容易公開之資訊。在非電子射線描繪裝置而係不具備記錄上述資訊之記憶裝置之裝置的情形，如附加記錄資訊之記憶裝置，同樣之情形爲可能。由此種產品等級資訊與前述之裝置稼動資訊，可以知道以哪種程度製造哪種等級之產品，可以算出裝置之使用費用之質的等級。第三資訊群組2 3係裝置狀態資訊。此資訊雖係顯示本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） —：-------Φ------1T------^9— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -10- 1243301 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（8) 算出使用費用之質的等級，卻是作用爲負面因素。但是，如以某基準點爲零來考慮’也可以作爲正面或負面因素來處理。又，以此因素，即係數爲零係依據製造商與使用者間之販賣時之契約條件而定。此資訊群係顯示裝置之狀況者’如分析校正履歷也可以知道逐漸劣化之精度。此範疇之資訊主要被使用於使用者支援。例如，於此資訊群放入裝置使用之鹵素燈等之有壽命品之累積使用時間，在壽命到達之前通知使用者，提案零件更換，進而，也可以進行壽命零件之自動訂購。又，如收集分析在裝置所發生之錯誤日誌，也可以事即特疋硬體之劣化部位。如將此種之檢修預先藉由製造商與使用者之契約放入費用系統，不單成爲定期之收入來源 ’對於使用者，幾乎可以2 4小時提供即時之檢修。以上雖係本發明之實施例之槪要，在以下具體說明使用本發明之收費系統。圖3係顯示處理流程。在本實施例中，由裝置控制電腦對外部通訊網接續用專用伺服器之資料傳送例如設爲藉由物理媒體，由裝置控制電腦控制之機械手而進行者。首先，在步驟3 1與使用者就公開資訊內容、存取頻度、對於產品等級之費用體系、操作之檢修內容等進行協議簽訂契約。藉由契約之簽訂，賦予使用者I D。此I D 預先設定在裝置控制電腦。在步驟3 2，裝置控制電腦以指定之時間或定時（ timing )收集前述裝置稼動資訊、產品等級資訊、裝置狀本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -----------------IT------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -11 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1243301 A7 _________B7 五、發明説明（9 ) 態資訊’在步驟3 3 ，賦予前述使用者I D套裝化。此時也可以壓縮資料以減低資料容量。套裝化之意義係依循指定之規定’將一連串之資訊儲存在一個檔案，賦予名稱。在步驟3 4 ’被套裝化之資訊被記錄在被接續於裝置控制電腦之物理媒體，例如藉由D V D - R W驅動器被記錄在 DVD - RW。進而，裝置控制電腦控制DVD - RW處理用機械手，將D V D - R W插入外部通訊網接續專用伺服器管理之D V D - R W驅動器。在步驟3 5 ，外部通訊專用伺服器在此情形，定期地存取D V D - R W驅動器，在D V D - R W被插入之情形 ’將其中之指定規則之名稱的文件夾（f〇lder )透過網際網路等之通訊網傳送於製造商側主機電腦。在步驟3 6 ，前述主機電腦因應需要解凍被傳送來之文件夾，確認使用者I D以及該使用者I D之存取權。接著，將裝置稼動資訊、產品等級資訊、裝置狀態資訊分別記憶在裝置別的日誌檔案。裝置別日誌檔案4 1例如如圖4般地構成。圖4之裝置狀態資訊有放入成品率資訊之情形以及作爲外部要素使之獨立而計算之情形。本實施例爲裝置使用費之算出之故，由這些資訊之中，在步驟3 7分離描繪處理片數、稼動時間以及總掃描數，依循指定之算術進行使用費用之計算 0 圖5係顯示算術例。在步驟3 8依據收集資訊與上述計算結果，製作對於使用者之使用費用報告6 1。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---：-------Φ------1T------^9. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -12- A7 1243301 ____ B7_ 五、發明説明（1Q) 圖6顯示此例◦使用費用報告6 1包含：客戶 I D 6 2、合計日6 3、使用費用6 4、計算條件6 5。計算條件爲處理片數、稼動時間、總掃描數、產品等級係數、裝置狀態係數、計算算術之採用例等被印刷或畫面顯示。最後，前述主機電腦在步驟3 9使用通訊網將前述報告傳送於前述專用伺服器。使用者在另外具有可以接續於外部通訊網之電腦之情形，傳送目的地也可以爲此電腦。定期重複以上，對使用者通知裝置之使用費，也可以因應需要，在月末或期末將兼爲請求書之彙總資訊當成定期費用報告通知使用者。圖7顯示此例。在圖7所顯示之月次使用費用報告 7 1中，顯示：客戶I D 7 2、合計期間7 3、使用費用 7 4、計算條件7 5。此例係使用平均（產品）等級係數、平均裝置狀態係數。’ 接著，具體說明檢修系統之例。圖8顯示流程圖。最初在步驟8 1與用者訂定契約，賦予使用者I D與前例相同。在與收費系統配合運用之情形，也可以爲相同之使用者I D。關於運用，在步驟8 2，裝置控制電腦收集裝置稼動資訊、產品等級資訊、裝置狀態資訊，透過D V D — R w 等之物理媒體傳送於外部通訊網接續專用伺服器者係與收費系統相同。又，前述專用伺服器對製造商之主機電腦傳送此資料之點也完全相同。本紙張尺度適用中國國^標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -- -13- II-------0------、玎------S. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1243301 A7 ___ B7 __ 五、發明説明（Ή ) 製造商側主機電腦在步驟8 3進行前述相同之使用者 I D之確認後，將各資訊儲存在裝置別日誌檔案。以下由步驟8 4至8 6與圖3之情形相同。檢修系統之情形，在步驟8 7由被儲存之裝置狀態資訊引出如下之資料。 (1 )有壽命名之累積使用時間資訊例如，鹵素燈等藉由知道點燈時間之累積，需要更換之時期一接近，可以進行通知。又，藉由計算平均點燈時間，判斷在定期檢修時是否需要更換，可以進行通知。 (2 )校正履歷例如，由電流密度量測履歷判斷電子源之壽命，可以通知晶片更換時期。或由光束尺寸補正量之履歷可以通知柱內部之淸潔或零件更換時期。 (3 )錯誤資訊由輕微之裝置的錯誤資訊關於要因解析結果與對策方法可以提供資訊。例如，多次發生裝置標準校正標記之檢測錯誤之情形，可以推測此校正標記之污染爲要因之故，可以提案更換使用之校正標記。以上之資訊在步驟8 8例如藉由圖9所示之畫面被通知給使用者。圖9所示之檢修報告9 1中，客戶I D 9 2、日期時間9 3、有壽命資訊9 4、校正履歷資訊9 5、錯誤資訊 9 6如圖不般地被顯示著。與收費系統之例相同地，此報告也可以傳送於前述專本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公瘦) ' -- -14 - II-------Φ------1T------Φ. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1243301 Δ7 Α7 Β7 五、發明説明（12 ) 用伺服器，也可以直接被傳送於使用者所有之電腦° 在圖1 0所示之使用者支援系統報告1 〇 1中’客戶 I D 1 0 2、曰期時間1 〇 3、註釋1〇4如圖示般地被顯示著。裝置控制電腦收集資訊，透過專用伺服器在經過外部通訊網之情況下，對製造商之主機電腦傳送各種資訊之點係與前述之例相同。使用者支援系統所特有之事項爲在此資訊之中包含：使用者之期望、註釋資訊之點。使用者例如藉由在如圖1 0所示之畫面輸入必要事項，可以接受裝置精度提升用之調機資訊或參數設定資訊。在此情形，接受資訊之製造商之主機電腦將使用者之期望資訊當成日誌儲存於個別檔案後，只流出期望內容轉送於擔當部門，請求回答。擔當部門直接對使用者以電話或電子郵件等回答，另外對前述主機電腦做回答完了之通知，記錄於顧客資訊日誌。也可以在主機電腦設置由此資訊起在一定時間，例如2 4小時以內沒有回答之項目，進行跟催之機能。以上之主機電腦之處理當然期望做成爲程式，也可以由專用操作者進行處理。接著’利用圖1 1說明主機電腦系統1 0之使用費用之計算方法。圖中’將藉由裝置稼動資訊被表示之數量設爲X、將藉由產品等級資訊被表示之產品等級係數設爲a 、將藉由裝置狀態資訊被表示之裝置狀態係數設爲b、將藉由a與b被表不之產品等級設爲（^ 一 b ) Y，將收費本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公楚） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本貢) 訂畢. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -15- 1243301 A7 B7 五、發明説明（13) 用之係數設爲k。圖1 1 ( 1 )中係於裝置狀態資訊中包含產品率資訊。在圖1 1 ( i i )中係於裝置狀態資訊中不包含產品率資訊，將依據產品率資訊之產品率係數當成 Z，作爲外部要因使之獨立。在圖1 1 ( i )所示之例中，使用費用Μ係由： M = {Xx (a— b) Y} xk (但是，b 包含 0) 而被計算，此成爲原則計算方法。在圖11 (i i)所示之例中，使用費用Μ係成爲： M = {Xx (a — b) Y} xZxk (但是，b 包含 0 ) z = 1 土 α ( α係比1小之係數）。如上述般地，如依據本發明，藉由將顧客或裝置之資訊透過外部通訊網與製造商主機電腦連結，可以圓滑進行裝置導入時之初期成本之降低，或裝置導入後之狀態管理、精度維持等之檢修、對於顧客期望之資訊提供等，能夠實現綜合之使用者支援。【發明之效果】如依據本發明，能夠提供：可以謀求製造/檢查裝置之導入時之初期成本以及裝置導入後之精度維持之檢修方法、檢修系統、以及製造、檢查裝置。【圖面之簡單說明】圖1係顯示本發明之一實施例之系統構成圖。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -16 A7 B7 !2433〇1 五、發明説明（14 ) 圖2係顯示裝置控制電腦收集之資訊的內容之貪料構成_。圖3係收費系統之流程圖。圖4係顯示使用者個別資訊檔案之資訊構成例之畫面圖。圖5係顯示裝置使用費用計算算術之例之畫面圖。圖6係顯示使用費用報告例之畫面圖。圖7係顯示定期費用報告例之畫面圖。圖8係檢修系統之流程圖。圖9係顯示檢修報告例之畫面圖。圖10係顯示使用者支援例之畫面圖。圖1 1係顯示使用費用計算方法之模型圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製主要元件對照表 1 電子射線描繪裝置 2 裝置控制電腦 3 專用伺服器 4 物理媒體 5 通訊網 6 主機電腦 7 顧客別資料庫 8 專用伺服器 10 電腦系統 11 半導體生產線本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 17- 1243301 A7 B7五、發明説明（15 )100 半導體製造裝置使用許諾系統 ^ϋ· ϋϋ ϋι_— n^l n^i 11_1 I— mu βι^ϋ —^ϋ ϋϋ ϋϋ ϋϋ ϋ— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) # 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） -18-

Claims

1243301 A8 R8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 . 一種檢修系統，其特徵爲具備：具有：作爲製造半導體晶圓、半導體裝置、曝光用光罩、液晶裝置等之產品之裝置的稼動資訊，將藉由該產品之處理片數被表示之數量設爲X、作爲產品等級資訊，將藉由尺寸精度、校正容許値、配合精度、位置精度等被表不之產品等級係數設爲a、作爲裝置狀態資訊，將藉由各種校正、補正殘留量、校正條件參數、校正履歷、有壽命累計使用時間、產生錯誤資訊、產品率等被表示之裝置狀態係數設爲b、將質的等級設爲（a - b ) Y時，設k爲係數，進行下列計算： {Xx (a — b) Y} xk (但是，b 包含〇） ’依據該結果算出前述裝置之使用費用之機能之電腦。 2 · —種檢修系統，其特徵爲具備：具有：作爲製造半導體晶圓、半導體裝置、曝光用光卓、液晶裝置等之產品之裝置的稼動資訊，將藉由該產品之處理片數被表示之數量設爲X、作爲產品等級資訊，將藉由尺寸精度、除了產品率之校正容許値、配合精度、位置精度等被表示之產品等級係數設爲a、作爲裝置狀態資訊，將藉由各種校正、補正殘留量、校正條件參數、校正履歷、有壽命累計使用時間、產生錯誤資訊等被表示之裝置狀知係數設爲b、將質的等級設爲（a — b ) γ時，關於產品率’將表不之產品率係數設爲Ζ (=1±α (^係比1小之係數））、設k爲係數，本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -------訂------II , 經濟部智慧財產局員工消費合作社印勒衣 -19- 1243301 A8 B8 C8 D8 夂、申請專利範圍進行下列計算： {Xx (a—b) Y} xk (但是，b 包含〇） ’依據該結果算出前述裝置之使用費用之機能之電腦。 3 ·如申請專利範圍第1項或第2項記載之檢修系統 ’其中前述b被定義爲不爲零。 4 ·如申請專利範圍第1項或第2項記載之檢修系統 ’其中具備記錄前述X、a、b、（a — b) Y、k之資訊之資料庫。 5 ·如申請專利範圍第2項記載之檢修系統，其中具備記錄前述X、a、b、（ a 一 b ) γ、z、k之資訊之資料庫。 6 · —種檢修方法，其特徵爲·· 作爲製造半導體晶圓、半導體裝置、曝光用光罩、液晶裝置等之產品之裝置的稼動資訊，將藉由該產品之處理片數被表示之數量設爲X、作爲產品等級資訊，將藉由尺寸精度、校正容許値、配合精度、位置精度等被表示之產品等級係數設爲a、作爲裝置狀態資訊，將藉由各種校正、補正殘留量、校正條件參數、校正履歷、有壽命累計使用時間、產生錯誤資訊、產品率等被表示之裝置狀態係數 5受爲b、將負的等級设爲（a — b ) Y時，設k爲係數，進行下列計算： {Xx (a—b) Y} xk (但是，b 包含〇），依據該結果算出前述裝置之使用費用。 7 . —種檢修方法，其特徵爲：本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -------訂---------. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -20- 1243301 A8 B8 C8 __ D8 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 作爲製造半導體晶圓、半導體裝置、曝光用光罩、液晶裝置等之產品之裝置的稼動資訊，將藉由該產品之處理片數被表示之數量設爲X、作爲產品等級資訊，將藉由尺寸精度、除了產品率之校正容許値、配合精度、位置精度等被表示之產品等級係數設爲a 、作爲裝置狀態資訊，將藉由各種校正、補正殘留量、校正條件參數、校正履歷、有壽命累計使用時間、產生錯誤資訊等被表示之裝置狀態係數設爲b、將質的等級設爲（a - b ) Y時，關於產品率，將表示之產品率係數設爲Z (二1 土 α ( α係比1小之係數））、設k爲係數，進行下列計算： {XX (a — b) Y} xk (但是，b 包含〇) ，依據該結果算出前述裝置之使用費用。 8 .如申請專利範圍第6項或第7項記載之檢修方法，其中前述b被定義爲不爲零。 9 .如申請專利範圍第6項或第7項記載之檢修方法，其中具備記錄前述X、a 、b、（ a — b ) Y、k之資訊之資料庫。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 〇 .如申請專利範圍第7項記載之檢修方法，其中具備記錄前述X、a 、b、（ a - b ) Y、Z、k之資訊之資料庫。 1 1 · 一種在使用製造半導體晶圓、半導體裝置、曝光用光罩或液晶裝置等之產品之製造裝置之際的檢修方法，其特徵爲： -21 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（公釐） 1243301 A8 P)8 C8 D8 六、申請專利範圍透過物理之記憶媒體或資訊通訊網取得藉由前述製造裝置被製造之前述產品之檢查資訊，依據該檢查資訊，控制前述製造裝置之動作條件，透過資訊通訊網取得前述製造裝置之稼動資訊，依據該稼動資訊與前述檢查資訊，決定前述製造裝置之使用費用。 12 . —種在使用檢查半導體晶圓、半導體裝置、曝光用光罩或液晶裝置等之產品之檢查裝置之際的檢修方法，其特徵爲：透過物理之記憶媒體或資訊通訊網取得藉由前述檢查裝置被檢查之前述產品之檢查資訊，依據該檢查資訊，控制前述檢查裝置之動作條件，透過資訊通訊網取得前述檢查裝置之稼動資訊，依據該稼動資訊與前述檢查資訊，決定前述檢查裝置之使用費用。 1 3 . —種製造/檢查裝置，其係製造或檢查半導體晶圓、半導體裝置、曝光用光罩或液晶裝置等之產品之製造/檢查裝置，其特徵爲具備：記憶：表示前述產品之被製造或檢查之數量之處理資訊、表示前述產品之製造或檢查之精度之精度資訊、表示前述製造、檢查裝置之稼動狀態之稼動資訊、表示前述製造、檢查裝置之製造或檢查時之裝置稼動控制所必要之校正値之校正資訊之至少其一之資訊之記憶裝置。 1 4 .如申請專利範圍第1 3項記載之製造/檢查裝置，其中前述記憶裝置爲可以容易搬運之記憶媒體。 1 5 .如申請專利範圍第1 3項記載之製造/檢查裝本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線II 經濟部智慧財產局員工消費合作社印剩衣 -22- 1243301 A8 B8 C8 1)8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣々、申請專利範圍置，其中具備傳送被記憶在前述記憶裝置之資訊之傳送單元。 1 6 .如申請專利範圍第1 5項記載之製造/檢查裝置，其中前述傳送單元被接續於廣域通訊網。 1 7 .如申請專利範圍第1 5項記載之製造/檢查裝置，其中依據藉由前述傳送單元被傳送之資訊，設定對於前述製造、檢查裝置之使用之費用。 1 8 .如申請專利範圍第1 7項記載之製造/檢查裝置，其中依據藉由前述製造/檢查裝置可以實現之精度，在前述精度資訊之精度低之情形，前述費用被設定爲低。 1 9 .如申請專利範圍第1 3項記載之製造/檢查裝置，其中依據被記憶在前述記憶裝置之資訊，設定對於前述製造/檢查裝置之使用之費用。 2 〇 .如申請專利範圍第1 9項記載之製造/檢查裝置，其中依據藉由前述製造/檢查裝置可以實現之精度，在前述精度資訊之精度低之情形，前述費用被設定爲低。 2 1 . —種檢修方法，其特徵爲：依據：表示藉由製造或檢查半導體晶圓、半導體裝置、曝光用光罩或液晶裝置等之產品之製造/檢查裝置被製造或檢查之數量之處理資訊、表示前述產品之製造或檢查之精度之精度資訊、表示前述製造、檢查裝置之稼動狀態之稼動資訊、表示前述製造、檢查裝置之製造或檢查時之裝置稼動控制所必要之校正値之校正資訊之至少其一之資訊，設定對於前述製造/檢查裝置之使用之費用。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ϋ ϋ ϋ n n 一50、* n 1· -ϋ ·ϋ ϋ I ϋ I n ϋ ϋ n I— in ϋ ϋ ϋ ϋ n I— I II— ϋ n 1-- - I ϋ -n I -23- 1243301 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 1)8六、申請專利範圍 2 2 .如申請專利範圍第2 1項記載之檢修方法，其中依據藉由前述製造/檢查裝置可以實現之精度，在前述精度資訊之精度低之情形，前述費用被設定爲低。 2 3 .如申請專利範圍第2 1項記載之檢修方法，其中前述處理資訊、前述精度資訊、前述稼動資訊、前述校正資訊之至少其一係被記憶在容易搬運之記憶媒體。 2 4 .如申請專利範圍第2 1項記載之檢修方法，其中前述處理資訊、前述精度資訊、前述稼動資訊、前述校正資訊之至少其一係藉由傳送單元被傳送。 2 5 .如申請專利範圍第2 4項記載之檢修方法，其中前述傳送單元係被接續於廣域通訊網。 2 6 .如申請專利範圍第2 5項記載之檢修方法，其中前述費用係依據由前述傳送單元被傳送來之資訊而被設定。 2 7 . —種檢修方法，其係使用製造或檢查半導體晶圓、半導體裝置、曝光用光罩或液晶裝置等之產品之製造 /檢查裝置之際之檢修方法，其特徵爲：依據被記憶在物理記憶媒體之藉由前述製造/檢查裝置被製造或檢查之前述產品之製造或檢查之難易資訊，以及前述製造、檢查裝置之稼動資訊，設定對於前述製造/ 檢查裝置之使用之費用。 2 8 . —種製造/檢查裝置，其係製造或檢查半導體晶圓、半導體裝置、曝光用光罩或液晶裝置等之產品之製造/檢查裝置，其特徵爲具備： (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

--------訂---------. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -24- 1243301 A8 R8 (:8 1)8 六、申請專利範圍將藉由該製造/檢查裝置被製造或檢查之前述產品之製造或檢查之難易資訊記憶在物理記憶媒體之記憶裝置，以及傳送前述製造/檢查裝置之稼動資訊之傳送單元。 2 9 . —種檢修系統，其係設定對於製造或檢查半導體晶圓、半導體裝置、曝光用光罩或液晶裝置等之產品之製造/檢查裝置之使用之費用之檢修系統，其特徵爲具備讀出記憶藉由該製造/檢查裝置被製造或檢查之前述產品之製造或檢查之難易資訊之物理記憶媒體之資料之讀出裝置，以及接收被傳送之前述製造/檢查裝置之稼動資訊之接收單元，以及依據前述物理記憶媒體之資料與前述稼動資訊，設定對於前述製造/檢查裝置之使用之費用之運算裝置。 3 0 .如申請專利範圍第2 9項記載之檢修系統，其中具備傳送藉由前述運算裝置被設定之費用之傳送單元。 3 1 . —種檢修系統，其特徵爲具備：收集：藉由製造/檢查裝置被製造或檢查之半導體晶圓、半導體裝置、曝光用光罩、液晶裝置等之產品之處理片數等之前述製造/檢查裝置之裝置稼動資訊、尺寸精度、校正容許値、配合精度以及位置精度等之產品等級資訊、校正殘留量、補正殘留量、校正條件、校正履歷等之裝置狀態資訊之裝置控制電腦；以及透過通訊網接收保持被收集之前述裝置稼動資訊與前述產品等級資訊與前述裝置狀態資訊之資料庫；以及依據該資料庫之資訊算出前述製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -25- 1243301 A8 R8 C8 1)8 六、申請專利範圍造/檢查裝置之使用費用之電腦。 3 2 · —種檢修系統，其特徵爲具備收集：藉由製造/檢查裝圓、半導體裝置、曝光用光罩片數等之前述製造/檢查裝置、校正容許値、配合精度以及、校正殘留量、補正殘留量、命品之累積使用時間等之裝置以及透過通訊網接收保持被收述產品等級資訊與前述裝置狀該資料庫之資訊分離前述製造置被製造或檢查之半導體晶、液晶裝置等之產品之處理之裝置稼動資訊、尺寸精度位置精度等之產品等級資訊校正條件、校正履歷、有壽狀態資訊之裝置控制電腦；集之前述裝置稼動資訊與前態資訊之資料庫；以及依據 /檢查裝置所必要之維修作請先閱讀背面之注意事項

頁經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 業之電腦 .一種檢修系統，其特徵爲具備收集：藉由製造/檢查裝置被製造或檢查之半導體晶圓、半導體裝置、曝光用光罩、液晶裝置等之產品之處理片數等之前述製造/檢查裝置之裝置稼動資訊、尺寸精度、校正容許値、配合精度以及位置精度等之產品等級資訊、校正殘留量、補正殘留量、校正條件、校正履歷以及產生之錯誤資訊等之裝置狀態資訊之裝置控制電腦；以及透過通訊網接收保持被收集之前述裝置稼動資訊與前述產品等級資訊與前述裝置狀態資訊之資料庫；以及依據該資料庫之資訊解析前述製造/檢查裝置之不良要因之電腦。種檢修系統，其特徵爲具備：收集：藉由製造/檢查裝置被製造或檢查之半導體晶本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -26- 1243301 H8 C8 1)8 六、申請專利範圍圓、半導體裝置、曝光用光罩、液晶裝置等之產品之處理片數等之前述製造/檢查裝置之裝置稼動資訊、尺寸精度 '申父正容許値、配合精度以及位置精度等之產品等級資訊、校正殘留量、補正殘留量、校正條件、校正履歷等之裝置狀態資訊之裝置控制電腦；以及透過通訊網接收保持被收集之前述裝置稼動資訊與前述產品等級資訊與前述裝置狀態資訊之資料庫；以及依據該資料庫之資訊分離前述製造/檢查裝置所必要之調機作業之電腦。 3 5 ·如申請專利範圍第3 4項記載之檢修系統，其中前述裝置控制電腦係透過專用伺服器被接續於通訊網。 3 6 ·如申請專利範圍第3 5項記載之檢修系統，其中前述裝置控制電腦只透過物理媒體對前述專用伺服器傳送資訊。 3 7 ·如申請專利範圍第3 5項記載之檢修系統，其中前述物理媒體係藉由前述裝置控制電腦控制之裝載機構被裝載、卸載於前述專用伺服器。 3 8 ·如申請專利範圍第3 4項記載之檢修系統，其中在被接I買於則述電腦之G U I畫面內至少包含下歹丨】杳巧 (1 )晶圓或光罩之處理片數 (2 )晶圓每一片或光罩每一片之總掃描次數 (3 )由尺寸精度、位置精度、配合精度等所被規定之產品等級資訊 (4 )由各種校正、補正殘留量被制定之裝置狀況;^ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）請先閱讀背面之注意事項

頁經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 27- 1243301 as B8 C8 __ 1)8 六、申請專利範圍訊 (5 )由上述資訊被算出之裝置使用費用表示或裝置使用許諾通知資訊。 3 9 ·如申請專利範圍第3 4項記載之檢修系統，其中在被接續於前述電腦之G U I畫面內至少包含下列資訊 (1 )晶圓或光罩之處理片數 (2 )晶圓每一片或光罩每一片之總掃描次數 (3 )由尺寸精度、位置精度、配合精度等所被規定之產品等級資訊 (4 )由各種校正、補正殘留量被制定之裝置狀況資訊 (5 )有壽命品之累積使用時間 (6 )以校正履歷可以確認劣化之精度項目 (7 )發生之錯誤履歷以及恢復狀況 (8 )由上述有壽命品累積使用時間資訊被推測之有壽命品之更換必要時期本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

正校整周之巨項制控之認確被化劣述上於 S 彐夸 9 /(V 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製段手位 β. 咅良不置裝之測 rc二推訊資誤錯述上由 \)/ 〇 ο 接 4 被在中其訊 , 資統列系下修含檢包之少載至記內項面 4 畫 3 I 第 U 圍 G 範之利腦專電請述申前如於數片日二理處之罩光或圓晶 -28- 1243301 A8 B8 C8 1)8 六、申請專利範圍 (2 )晶圓每一片或光罩每一片之總掃描次數 (3 )由尺寸精度、位置精度、配合精度等所被規定之產品等級資訊 (4 )由各種校正、補正殘留量被制定之裝置狀況資訊 (5 )由校正履歷可以推測之精度劣化部位 (6 )由上述資訊可以推測之調整必要部位與調整方法。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂----I----線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -29-