KR100488435B1

KR100488435B1 - 서비스방법, 서비스시스템 및 제조/검사장치

Info

Publication number: KR100488435B1
Application number: KR10-2001-0009593A
Authority: KR
Inventors: 안도히로요시
Original assignee: 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼
Priority date: 2000-08-24
Filing date: 2001-02-26
Publication date: 2005-05-11
Also published as: JP2002075820A; TWI243301B; US20040260660A1; US20010047216A1; US6751514B2; KR20020016491A

Abstract

본 발명은 제조/검사장치 도입시의 초기비용 및 장치도입 후의 정밀도유지를 도모할 수 있는 서비스방법, 서비스시스템 및 제조/검사장치를 제공하는 것이다.

이를 위하여 본 발명에서는 반도체웨이퍼, 반도체디바이스, 노광용 마스크 또는 액정 디바이스 등의 제품을 제조 또는 검사하는 제조/검사장치를 사용할 때의 서비스방법으로서, 물리적 기억매체에 기억된 상기 제조/검사장치에 의해 제조 또는 검사된 상기 제품의 제조 또는 검사의 난이도 정보와, 상기 제조/검사장치의 가동정보에 의거하여 상기 제조/검사장치의 사용에 대한 요금을 설정한다.

Description

서비스방법, 서비스시스템 및 제조/검사장치{SERVICE METHOD, SERVICE SYSTEM AND MANUFACTURING/TESTING APPARATUS}

본 발명은 반도체웨이퍼, 반도체디바이스, 노광용 마스크, 액정 디바이스 등을 제조 또는 검사하는 제조/검사장치, 이들 제조/검사장치의 사용에 대한 서비스시스템 또는 서비스방법에 관한 것이다.

종래에 있어서 반도체웨이퍼, 반도체디바이스, 노광용 마스크, 액정 디바이스 등을 제조 또는 검사하는 제조/검사장치는 이들 제품의 제조공장내의 소정의 라인에 복수대 설치되어 완전히 로컬한 오퍼레이션환경에 있었다. 또는 복수대가 근거리 통신망에 의해 접속되어 워크스테이션에 의해 이들의 가동상태가 관리되어 있더라도, 공장내의 근거리 통신망에 접속된 범위내에서 제어되는 환경에 있었다. 따라서 상기 각 제품의 제조업자는 제조/검사장치의 제조업자로부터 장치를 구입하여 각 제품의 제조업자, 즉 제조/검사장치의 유저가 제조공정을 구축하고 있었다.

한편, 일례로서 전자현미경을 사용한 검사장치나 전자선 묘획장치와 같은 큰 시스템장치를 도입하는 경우, 이들 가격이 고가이기 때문에, 구입자의 부담이 크다. 또 장치를 구입한 후, 소망의 제조정밀도나 검사정밀도를 달성하기 까지는 이것들의 장치를 잘 아는 숙련자에 의한 조정이 필요하는 경우가 많다. 또한 한 번 달성한 정밀도를 계속 유지하기 위해서는 장치상태를 항상 감시하여 필요에 따른 조정을 실시할 필요가 있다. 그리고 이들 조정을 행하는 작업자의 숙련도의 향상을 위해 장치의 구입자는 작업자의 교육을 할 필요가 있고, 이 비용부담도 크다. 따라서 구입자는 작업자를 장치 제조업자로부터 파견받아 비용부담을 경감하는 것이 행해지고 있다. 그러나 장치 제조업자는 많은 작업자를 고용하고 있는 것은 아니기 때문에 장치의 판매대수가 많은 경우에는 작업자의 파견에 의한 고객서비스가 불충분하게 된다는 문제가 있었다.

본 발명은 이와 같은 제조/검사장치의 도입시의 초기비용의 저감 및 장치도입 후의 정밀도 유지를 도모할 수 있는 서비스방법, 서비스시스템 및 제조/검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 실시형태는,

반도체웨이퍼, 반도체디바이스, 노광용 마스크 또는 액정 디바이스 등의 제품을 제조 또는 검사하는 제조/검사장치에 있어서,

상기 제품의 제조 또는 검사된 수량을 나타내는 처리정보, 상기 제품의 제조 또는 검사의 정밀도를 나타내는 정밀도 정보, 상기 제조/검사장치의 가동상태를 나타내는 가동정보, 상기 제조/검사장치의 제조 또는 검사 시의 장치가동제어에 필요한 교정치를 나타내는 교정정보중의 적어도 어느 하나의 정보를 기억하는 기억장치를 구비한 것이다.

또 본 발명의 다른 실시형태는,

반도체웨이퍼, 반도체디바이스, 노광용 마스크 또는 액정 디바이스 등의 제품을 제조 또는 검사하는 제조/검사장치를 사용할 때의 서비스방법으로서, 물리적기억매체에 기억된 상기 제조/검사장치에 의해 제조 또는 검사된 상기 제품의 제조 또는 검사의 난이도 정보와, 상기 제조/검사장치의 가동정보에 의거하여, 상기 제조/검사장치의 사용에 대한 요금을 설정하는 것이다.

고가의 제조·검사장치의 도입 시의 초기비용을 저감시키기 위해서는 이른바 종량제와 같이 장치의 사용상황에 따라 과금한다는 방법을 고려할 수 있다. 종래의 반도체웨이퍼, 반도체디바이스, 노광용 마스크, 액정 디바이스 등의 제조·검사장치에서는 외부 통신망에 접속되어 있지 않기 때문에 장치의 사용상황을 외부로부터 모니터하여 사용료를 산출한다는 것은 불가능하였다. 그러나 인터넷 등의 외부 통신망에 용이하게 접속할 수 있는 현재의 환경이면 이를 통해 장치가동상황 등을 외부로부터 모니터하여 사용요금을 설정하고, 이를 초기비용을 대신하여 청구하는 것이 가능해져 초기비용의 저감과 장치도입 후의 정밀도 유지의 양립이 가능해지고, 게다가 작업자의 파견이 불필요하게 되기 때문에 장치 제조업자의 서비스부담의 저감도 가능해진다.

여기서 사용요금의 설정에 있어서는 종래의 서비스의 난이도와 상관관계에 있는 것이 바람직하다. 예를 들면 반도체디바이스의 회로패턴을 전자선 묘획장치로 묘획하는 경우에, 선폭이 가는 정도, 또는 인접한 선의 치수 변화가 큰 정도, 제조 정밀도를 향상시키기 어려우므로 장치의 정밀도 유지를 위해서는 서비스 작업자의 숙련도나 부담도에 크게 의존한다. 따라서 장치 제조업자에 있어서는 제조 또는 검사하는 난이도 정보에 의거하여 요금을 설정하는 것이 요구된다.

그리고 예를 들면 전자선 묘획장치에서는 묘획한 패턴정보를 장치 자신이 데이터로서 유지하고 있기 때문에 이 정보로부터 제조한 제품의 질적인 평가가 가능해진다. 즉, 묘획한 패턴의 최소치수나 장치의 교정허용치 설정, 교정의 보정잔량 등으로부터 미세하고 정밀도가 엄격한 제품의 판별에 대하여, 가령 소정기간의 제품의 처리매수가 적더라도 정밀도가 높은 묘획을 행하고 있는 경우에는 장치의 구입자, 즉 유저에 있어서도 부가가치가 높은 제품을 제조하고 있다고 판단하여 그것에 적당한 사용요금을 유저에게 청구하여 지불받는 것이 가능하게 될 것이다.

이와 같은 과금시스템은 유저의 초기비용을 저감하는 데 효과가 있을 뿐만 아니라, 장치 제조업자도 장치가 가동하고 있는 한 정기적 수입을 얻을 수 있기 때문에 유저에 대한 러닝서비스가 하기 쉽다는 장점도 생긴다.

장치 사용료를 산출하기 위하여 장치로부터 인출하는 정보는, 동시에 장치의 정밀도 정보, 가동상황이기도 하기 때문에, 이 정보를 사용하여 거의 실시간의 서비스 또는 유저 어시스트도 가능하여 상기한 정기적 수입의 효과와 함께 종래보다도 시간적으로도, 질적으로도 세심한 사용자 지원이 가능하게 된다.

또한 장치의 제어컴퓨터를 직접 통신망에 접속하여 상기 사용허락, 유저 서포트시스템을 운용하는 것은 가능하나, 대부분의 경우 보안적인 요청으로 유저정보가 기억되어 있는 장치제어 컴퓨터를 직접 외부 통신망에 접속하는 것은 피하려 한다. 통상은 외부 통신망에 접속하기 위한 전용서버를 설치하나, 현재 해커 등의 침입에 대하여 통신으로 접속되어 있는 환경은 어떠한 대책을 강구하더라도 안전하다고는 하기 어렵다.

이와 같은 상황으로부터 상기 통신망을 사용한 서비스시스템을 실제로 운용하기 위해서는 안전한 정보보안시스템이 전제가 된다.

본 발명에서는 이 점에 관하여 MO, CD-RW, DVD-RW 등의 물리적 미디어를 거쳐 상기 통신망접속 전용서버에 정보를 전달함으로써, 미리 정해져 있는 정보만이 외부로 전달되도록 하고 있다. 또 외부로부터 직접 장치제어 컴퓨터를 볼 수 없기 때문에 해커의 침입도 최악이더라도 전용서버까지로 그쳐, 장치의 가동에 장해를 주는 일은 없다.

이하, 본 발명의 일 실시예를 도면에 의거하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 실시예의 장치구성의 일례를 나타내는 도면이다. 도 1에 있어서 반도체디바이스의 제조장치, 예를 들면 전자선 묘획장치(1)가 반도체제조라인(11)에 설치된다.

반도체제조라인(11)에는 주지와 같이 CVD 등의 각종 반도체제조장치, 검사장치가 설치되어 있다. 본 실시예에서는 일례로서 전자선 묘획장치를 설명하나, 이것에 한정되는 것이 아니라, 모든 제조/검사장치의 경우에도 동일한 효과를 초래하는 것이다.

또 본 실시예에서는 반도체디바이스의 제조라인을 일례로 하였으나, 반도체웨이퍼, 노광용 마스크, 액정 디바이스 등의 정밀한 제조, 검사기술을 필요로 하는 제품에 있어서도 동일한 효과를 초래하는 것이다.

그런데 도 1에 있어서, 전자선 묘획장치(1)는 납입회사 또는 제조회사(이하「제조회사」라 한다)로부터 초기비용이 영 또는 낮은 금액으로 유저의 반도체제조라인(11)에 설치된다. 이 설치에 필요한 비용을 회수하기 위하여 반도체제조장치 사용허락시스템(100)이 설치되어 사용허락사용료 계산에 필요한 각종 정보가 장치제어컴퓨터(2)를 거쳐 제조회사측으로 정보통신된다.

장치제어컴퓨터로부터의 상기 각종 정보는 물리적 미디어(4)를 거쳐, 또는 통신회선을 거쳐 직접적으로 전용서버(3)에 축적된다. 전용서버(3)에 축적된 정보는 인터넷, 인트라넷 등의 통신망(5)을 거쳐 제조회사의 사용허락을 위한 컴퓨터시스템(10)에 송신된다. 이 컴퓨터시스템(10)은 전용서버(8), 제조회사의 호스트컴퓨터(6), 고객별 데이터베이스(7)에 의해 주로 구성된다.

통신망(5)을 거쳐 송신된 정보는 전용서버(8)에 축적되어 고객별 데이터베이스(7)에 축적된 데이터와 함께 호스트컴퓨터(6)에 있어서의 처리에 사용되고, 장치의 사용허락료가 매일, 매주, 매달 등 일정 기간에 걸쳐 계산되어 인자(印字)됨과 동시에 통신망(5)을 거쳐, 또는 우송(郵送)수단에 의해 유저에게 전달되어 청산처리가 이루어지게 된다.

이상과 같이 장치제어컴퓨터(2)는 무엇인가의 수단으로 외부 통신망에 접속되어 있는 전용서버(3)에 데이터를 전송하는 수단을 가진다. 이는 예를 들면 유저가 물리적 미디어(4)를 장치제어컴퓨터로부터 전용서버(3)에 수동으로 이동시키는 방법이어도 좋다.

전용서버(3)는 인터넷 등의 외부 통신망(5)에 접속되어 있고, 이것은 예를 들면 동일 유저중의 다른 묘획장치에도 접속되어 있다.

한편 제조회사측에는 이 통신망에 접속되어 있는 다른 컴퓨터시스템(10)이 있어 이것은 고객계약에 따라 필요한 정보를 정기적으로 송신받고 있다.

실제의 운용예로서 장치의 가동상황으로부터 사용료를 산출하여 유저에게 통지(청구)하는 예를 든다.

도 2에 장치제어컴퓨터(1)로부터 송신되는 정보의 데이터구성을 나타낸다.

제 1 정보그룹(21)은 장치의 가동정보로서, 기본적으로 유저정보이다. 이것이 수량적 팩터(factor)가 된다. 먼저 장치의 사용료를 산출하기 위해서는 장치가 처리한 웨이퍼 또는 마스크의 매수 정보가 필요하다. 통상은 처리매수가 많을 수록 사용요금이 높아진다.

다음에 장치의 가동시간 정보가 필요하다. 즉, 처리매수가 적은 경우에도 장치의 가동시간이 긴 경우는 마찬가지로 사용요금을 높게 청구하게 된다. 또는 이들 정보로부터 단위시간당의 처리매수를 산출하여 사용요금을 설정하도록 하여도 좋다.

이에 더하여 웨이퍼 또는 마스크 1매당의 총묘획 쇼트수를 알 수 있으면, 총묘획 쇼트수를 정보로서 사용한다. 또는 처리매수와 가동시간의 양쪽의 정보를 포함하는 것으로 하여 총묘획 쇼트수로 사용요금을 산출하는 방법도 있다.

이와 같이 웨이퍼 또는 마스크의 처리매수와 장치의 가동시간, 즉 실제로 묘획을 행한 시간, 1매당의 총 쇼트수를 앎으로써 장치의 기본적 사용료를 산출하기 위한 수량을 구할 수 있다.

제 2 정보그룹(22)은 제품의 그레이드정보이다. 이것은 원래 개시되지 않는 유저정보이나, 전자선 묘획장치의 경우는 장치 자신의 교정허용치 정보, 구성보정잔량 등으로부터 대강의(rough) 조정으로 제품묘획을 행하였는지 미세한 조정으로 제품묘획을 행하였는지를 어느 정도 예상할 수 있다. 이 범주의 정보로서 제품정보와는 별도로 치수 정밀도나 위치 정밀도로서 목표 정밀도를 메모와 같이 묘획작업내에 기입하게 하는 것도 가능하다. 이와 같은 정보는 직접 제품의 정보로는 되지 않기 때문에 비교적 유저가 개시하기 쉬운 정보라고 예상할 수 있다.

전자선 묘획장치가 아닌 상기 정보를 기록하는 기억장치를 구비하지 않은 장치의 경우는 정보를 기록하는 기억장치를 부가하면 동일한 것이 가능하다.

이와 같은 제품그레이드정보와 상기한 장치가동정보로부터 어떠한 그레이드의 제품을 어느 정도 제조하였는 지를 알 수 있어 장치의 사용요금을 위한 질적 그레이드를 산출할 수 있다.

제 3 정보그룹(23)은 장치상태정보이다. 이 정보는 사용요금을 산출하는 질적그레이드를 나타내나, 네거티브요인으로서 작용한다. 단, 소정의 기준점을 영이라고 생각하면 포지티브 또는 네거티브요인으로서 처리할 수도 있다. 또 상기 요인, 즉 계수를 영으로 하는 것은 제조회사와 유저 사이의 판매 시의 계약에 의거하는 조건에 달려있다. 이 정보군은 장치의 상태를 나타내는 것으로, 교정이력을 분석하면 열화하고 있는 정밀도도 알 수 있다. 이 카테고리의 정보는 주로 유저지원에 사용된다. 예를 들면 이 정보군에 장치에서 사용하고 있는 할로겐램프 등의 수명이 있는 물품의 누적사용시간을 넣어 두면, 수명이 다하기 전에 유저에게 통지하여 부품교환을 제안하거나, 더 나아가 수명부품의 자동발주도 가능하다.

또 장치에서 발생한 에러로그(error log)를 수집하여 분석하면, 하드웨어의 열화부위를 사전에 특정하는 것도 가능하다. 이와 같은 서비스는 미리 제조회사와 유저의 계약에 의해 요금시스템에 포함시켜 두면, 정기적인 수입원이 될 뿐만 아니라, 유저 에 대해서는 거의 실시간의 서비스를 24시간 제공하는 것이 가능하다.

이상은 본 발명의 실시예의 개요이며, 이하 본 발명을 사용한 과금시스템에 대하여 구체적으로 설명한다.

도 3에 처리플로우를 나타낸다. 본 실시예에서는 장치제어컴퓨터로부터 외부 통신망 접속용 전용서버로의 데이터전송은 예를 들면 물리적 미디어에 의해 장치제어컴퓨터가 제어하는 로봇핸드에 의해 행하여지는 것으로 한다.

먼저, 단계(31)에서 유저와 개시정보내용, 엑세스빈도, 제품그레이드에 대한요금체계, 옵션의 서비스내용 등에 대하여 협의하여 계약을 체결한다. 계약의 체결에 의해 유저 ID를 부여한다. 이 ID는 미리 장치제어컴퓨터에 설정해 둔다.

단계(32)에서 장치제어컴퓨터는 소정의 시간, 또는 타이밍으로 상기 장치가동정보, 제품그레이드정보, 장치상태정보를 수집하여 단계(33)에서 상기 유저 ID를 부여하여 패키지화한다. 이 때 데이터를 압축하여 데이터용량을 저감시켜도 좋다. 패키지화한다는 의미는, 소정의 규정에 따라 일련의 정보를 한 개의 파일에 저장하여 명칭을 붙인다는 것이다. 단계(34)에서 패키지화된 정보는 장치제어컴퓨터에 접속되어 있는 물리적 미디어, 예를 들면 DVD-RW 드라이브에 의해 DVD-RW에 기록된다. 또한 장치제어컴퓨터는 DVD-RW 핸들링용 로봇을 제어하여 DVD-RW를 외부 통신망접속 전용서버가 관리하고 있는 DVD-RW 드라이브에 삽입한다.

단계(35)에서 외부통신 전용서버는 이 경우 정기적으로 DVD-RW 드라이브에 엑세스하여 DVD-RW가 삽입되어 있을 때에는 그 중 소정규칙의 명칭의 폴더를 인터넷 등의 통신망을 거쳐 제조회사측 호스트컴퓨터에 전송한다.

단계(36)에서 상기 호스트컴퓨터는 보내져 온 폴더를 필요에 따라 풀어 유저 ID 및 그 유저 ID의 액세스권한을 확인한다. 다음에 장치가동정보, 제품그레이드정보, 장치상태정보를 각각 장치별 로그파일에 기억한다.

장치별 로그파일(41)은 예를 들면 도 4와 같이 구성되어 있다. 도 4에 있어서의 장치상태정보에는 수율정보를 넣는 경우와 외부요인으로서 독립시켜 계산하는 경우가 있다.

본 실시예는 장치사용료의 산출이기 때문에 이들 정보중에서 단계(37)에서 묘획처리매수, 가동시간 및 총 쇼트수를 추출하여 소정의 알고리즘에 따라 사용요금의 계산을 행한다.

알고리즘의 예를 도 5에 나타낸다. 도 5에 나타내는 바와 같이 요금계산 알고리즘에는 몇개의 예를 생각할 수 있다. 여기에 나타내는 예는 일례에 불과하다.

또한 상기 호스트컴퓨터는 단계(38)에서 수집정보와 상기 계산결과에 의거하여 유저에 대한 사용요금 리포트(61)를 작성한다.

이 예를 도 6에 나타낸다. 사용요금 리포트(61)는 고객 ID(62), 집계일 (63), 사용요금(64), 계산조건(65)을 포함한다. 계산조건에는 처리매수, 가동시간, 총 쇼트수, 제품그레이드계수, 장치상태계수, 계산알고리즘의 채용예 등이 인자(印字) 또는 화면표시된다.

마지막으로 상기 호스트컴퓨터는 단계(39)에서 상기 리포트를 통신망을 사용하여 상기 전용서버에 전송한다. 유저가 따로 외부 통신망에 접속 가능한 컴퓨터를 가지고 있는 경우는 전송지는 이 컴퓨터이어도 좋다.

이상을 정기적으로 반복하여 장치의 사용료를 유저에게 통지하나, 필요에 따라 월말이나 기말에 청구서를 겸한 집약정보를 정기요금 리포트로서 유저에게 통지하여도 좋다.

이 예를 도 7에 나타낸다. 도 7에 나타내는 월사용요금 리포트(71)에는 고객 ID(72), 집계기간(73), 사용요금(74), 계산조건(75)이 표시된다. 이 예에 있어서는 평균(제품)그레이드계수, 평균장치상태계수를 사용하고 있다.

다음에 서비스시스템의 예를 구체적으로 설명한다. 도 8에 플로우를 나타낸다.

제일 먼저, 단계(81)에서 유저와 계약을 체결하고 유저 ID를 부여하는 것은 상기예와 동일하다. 과금시스템과 맞추어 운용하는 경우에는 동일한 유저 ID 이어도 좋다.

운용에 있어서는 단계(82)에서 장치제어컴퓨터가 장치가동정보, 제품그레이드정보, 장치상태정보를 수집하여 DVD-RW 등의 물리적 미디어를 거쳐 외부 통신망접속 전용서버에 전송하는 것은 과금시스템과 동일하다. 또 상기 전용서버가 제조회사의 호스트컴퓨터에 이 데이터를 전송하는 점도 완전히 동일하다.

제조회사측 호스트컴퓨터는 단계(83)에서 상기예와 마찬가지로 유저 ID의 확인을 행한 후, 각 정보를 장치별 로그파일에 저장한다. 이하 단계(84 내지 86)까지는 도 3의 경우와 동일하다.

서비스시스템의 경우는 단계(87)에서 저장된 장치상태정보로부터 다음과 같은 데이터를 인출한다.

(1) 수명이 있는 물품의 누적사용시간정보

예를 들면 할로겐램프 등은 점등시간의 누적을 앎으로써 교환이 필요한 시기가 가까워지면 통지할 수 있다. 또 평균점등시간을 계산함으로써 정기점검시에 교환이 필요한 지의 여부를 판단하여 통지할 수 있다.

(2) 교정이력

예를 들면 전류밀도측정이력으로부터 전자 소스의 수명을 판단하여 칩교환시기를 통지할 수 있다. 또는 빔치수 보정량의 이력으로부터 컬럼 내부의 클리닝, 또는 부품교환시기를 통지할 수 있다.

(3) 에러정보

경미한 장치의 에러정보로부터 요인해석결과와 대책방법에 관하여 정보를 제공할 수 있다. 예를 들면 장치표준 교정마크의 검출에러가 자주 발생하고 있는 경우, 이 교정마크의 오염을 요인으로 추정할 수 있기 때문에 사용하는 교정마크를 바꿀 것을 제안할 수 있다.

이상과 같은 정보는 단계(88)에서 예를 들면 도 9에 나타내는 화면에 의해 유저에게 통지된다.

도 9에 나타내는 서비스리포트(91)에는 고객 ID(92), 일시(93), 수명이 있는 물품의 정보(94), 교정이력정보(95), 에러정보(96)가 도면에 나타내는 바와 같이 표시된다.

과금시스템의 예와 마찬가지로 이 리포트는 상기 전용서버에 전송하여도 좋고, 유저가 소유하는 컴퓨터에 직접 전송하여도 좋다.

유저 어시스트시스템의 예를 도 10에 나타낸다.

도 10에 나타내는 유저 어시스트시스템 리포트(101)에는 고객 ID(102), 일시 (103), 코멘트(104)가 도면에 나타내는 바와 같이 표시된다.

장치제어컴퓨터가 정보를 수집하여 전용서버를 거쳐 외부 통신망을 경유하여 제조회사의 호스트컴퓨터에 각종 정보를 전송하는 점은 상기한 예와 동일하다. 유저 어시스트시스템에서 특유의 사항은 이 정보중에 유저의 요망, 코멘트정보가 포함되어 있는 점이다. 유저는 예를 들면 도 10에 나타내는 바와 같은 화면에 필요사항을 입력함으로써 장치 정밀도 향상을 위한 튜닝정보나 파라미터설정 정보를 받을 수 있다.

이 경우, 정보를 받은 제조회사의 호스트컴퓨터는 유저의 요망정보를 로그로서 개별 파일에 저장한 후, 요망내용만을 유출하여 담당부문으로 전송하여 회답을 청구한다. 담당부문은 직접 유저에게 전화나 전자메일 등으로 회답하게 되나, 따로 상기 호스트컴퓨터에 회답완료의 통지를 하여 고객정보로그에 기록한다. 호스트컴퓨터에는 이 정보로부터 일정시간, 예를 들면 24시간 이내에 회답이 없는 항목에 대하여 폴로업(follow-up)을 하는 기능을 설치하여도 좋다.

이상과 같은 호스트컴퓨터의 처리는 물론, 프로그램으로서 작성해 두는 것이 바람직하나, 전용 오퍼레이터가 처리를 하여도 좋다.

다음에 호스트컴퓨터시스템(10)에 있어서의 사용요금의 계산방법에 대하여 도 11을 사용하여 설명한다. 도면에 있어서 장치가동정보에 의해 나타내는 수량을 X, 제품그레이드정보에 의해 나타내는 제품그레이드계수를 a, 장치상태정보에 의해 나타내는 장치상태계수를 b, a와 b에 의해 나타내는 제품그레이드를 (a-b) Y, 과금을 위한 계수를 k로 한다. 도 11(i)에 있어서는 장치상태정보중에 수율정보를 포함하고 있다. 도 11(ii)에 있어서는 장치상태정보중에 수율정보를 포함하지 않고 수율정보에 의거하는 수율계수를 Z로 하여 외부 요인으로서 독립시키고 있다.

도 11(i)에 나타나는 예에 있어서는 사용요금(M)은,

M = {X ×(a-b)Y} ×k (단, b는 0을 포함한다)로 계산되고, 이것이 원칙계산방법이 된다.

도 11(ii)에 나타내는 예에 있어서는 사용요금(M)은,

M = {X ×(a-b)Y} ×Z ×k (단, b는 0을 포함한다)

Z = 1 ±α (α는 1보다 작은 계수)

가 된다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명의 실시예에 의하면 고객이나 장치의 정보를 외부통신망을 거쳐 제조회사 호스트컴퓨터와 연결함으로써, 장치도입 시의 초기비용의 저감이나, 장치도입 후의 상태관리, 정밀도 유지 등의 서비스, 고객요망에 대한 정보제공 등을 원활하게 행하는 수 있어 종합적인 유저서포트를 실현할 수가 있다.

본 발명에 의하면, 제조/검사장치의 도입 시의 초기비용 및 장치도입 후의 정밀도 유지를 도모할 수 있는 서비스방법, 서비스시스템 및 제조·검사장치를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예를 나타내는 시스템 구성도,

도 2는 장치제어컴퓨터가 수집하는 정보의 내용을 나타내는 데이터 구성도,

도 3은 과금시스템의 플로우차트,

도 4는 유저 개별정보 파일의 정보 구성예를 표시하는 화면도,

도 5는 장치사용 요금계산 알고리즘의 예를 나타내는 화면도,

도 6은 사용요금 리포트의 예를 나타내는 화면도,

도 7은 정기요금 리포트의 예를 나타내는 화면도,

도 8은 서비스시스템의 플로우차트,

도 9는 서비스 리포트의 예를 나타내는 화면도,

도 10은 유저 어시스트의 예를 나타내는 화면도,

도 11은 사용요금 계산방법을 나타내는 모식도이다.

Claims

반도체웨이퍼, 반도체디바이스, 노광용 마스크, 액정 디바이스 등의 제품을 제조하는 장치와 연결되어 가동정보를 전송하는 장치제어 컴퓨터;

상기 장치제어 컴퓨터로부터 상기 가동정보를 수신하는 전용서버;

상기 전용서버와 연결되어 사용요금을 산출하는 호스트 컴퓨터를 포함하고,

상기 호스트 컴퓨터는 상기 가동정보로서 상기 제품의 처리매수에 의해 나타내는 수량을 X, 제품그레이드정보로서 치수 정밀도, 교정허용치, 맞춤 정밀도, 위치 정밀도 등에 의해 나타내는 제품그레이드계수를 a, 장치상태정보로서 각종 교정·보정 잔량, 교정조건 파라미터, 교정이력, 수명이 있는 물품의 누계사용시간, 발생에러정보, 수율 등에 의해 나타내는 장치상태계수를 b로 하여 질적그레이드를(a-b)Y로 하였을 때에, k를 계수로 하여

{X ×(a-b)Y} k (단, b는 0을 포함한다)

의 산출을 행하고 그 결과에 의거하여 상기 장치의 사용요금을 산출하는 것을 특징으로 하는 서비스시스템.
반도체웨이퍼, 반도체디바이스, 노광용 마스크, 액정 디바이스 등의 제품을 제조하는 장치와 연결되어 가동정보를 전송하는 장치제어 컴퓨터;

상기 장치제어컴퓨터로부터 상기 가동정보를 수신하는 전용서버;

상기 전용서버와 연결되어 사용요금을 산출하는 호스트 컴퓨터를 포함하고,

상기 호스트 컴퓨터는 상기 가동정보로서 상기 제품의 처리매수에 의해 나타내는 수량을 X, 제품그레이드정보로서 치수 정밀도, 수율을 제외한 교정허용치, 맞춤 정밀도, 위치 정밀도 등에 의해 나타내는 제품그레이드계수를 a, 장치상태정보로서 각종 교정보정잔량, 교정조건 파라미터, 교정이력, 수명이 있는 제품의 누계사용시간, 발생에러정보 등에 의해 나타내는 장치상태계수를 b로 하고 질적그레이드를(a-b)Y로 하고 수율에 대하여 나타내는 수율계수를 Z( = 1 ±α(α는 1보다 작다))로 하였을 때에, k를 계수로 하여,

{X ×(a-b)Y} ×Z ×k (단, b는 0을 포함한다)

의 산출을 행하여 그 결과에 의거하여 상기 장치의 사용요금을 산출하는 것을 특징으로 하는 서비스시스템.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,

상기 b는 영이 아니라고 정의하는 것을 특징으로 하는 서비스시스템.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,

상기 서비스시스템은 상기 X, a, b, (a-b)Y, k 에 대한 정보를 기록하는 데이터베이스를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 서비스시스템.
제 2항에 있어서,

상기 서비스시스템은 상기 X, a, b, (a-b)Y, Z, k 에 대한 정보를 기록하는 데이터베이스를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 서비스시스템.
반도체웨이퍼, 반도체디바이스, 노광용 마스크, 액정 디바이스 등의 제품을 제조하는 장치의 가동정보로서 상기 제품의 처리매수에 의해 나타내는 수량을 X, 제품그레이드정보로서 치수 정밀도, 교정허용치, 맞춤 정밀도, 위치 정밀도 등에 의해 나타내는 제품그레이드계수를 a, 장치상태정보로서 각종 교정·보정잔량, 교정조건 파라미터, 교정이력, 수명이 있는 제품의 누계사용시간, 발생에러정보, 수율 등에 의해 나타내는 장치상태계수를 b로 하고 질적그레이드를(a-b)Y로 하였을 때에 k를 계수로 하여,

{X ×(a-b) Y} k (단, b는 0을 포함한다)

의 산출을 행하고 그 결과에 의거하여 상기 장치의 사용요금을 산출하는 것을 특징으로 하는 서비스방법.
반도체웨이퍼, 반도체디바이스, 노광용 마스크, 액정 디바이스 등의 제품을 제조하는 장치의 가동정보로서 상기 제품의 처리매수에 의해 나타내는 수량을 X, 제품그레이드정보로서 치수 정밀도, 수율을 제외한 교정허용치, 맞춤 정밀도, 위치 정밀도 등에 의해 나타내는 제품그레이드계수를 a, 장치상태정보로서 각종 교정·보정잔량, 교정조건 파라미터, 교정이력, 수명이 있는 물품의 누계사용시간, 발생에러정보 등에 의해 나타내는 장치상태계수를 b로 하여, 질적그레이드를(a-b) Y로 하고 수율에 대하여 나타내는 수율계수를 Z( = 1 ±α(α는 1보다 작다))로 하였을 때에, k를 계수로 하여,

{X ×(a-b) Y} ×Z ×k (단, b는 0을 포함한다)

의 산출을 행하여 그 결과에 의거하여 상기 장치의 사용요금을 산출하는 것을 특징으로 하는 서비스방법.
제 6항 또는 제 7항에 있어서,

상기 b는 영이 아니라고 정의하는 것을 특징으로 하는 서비스방법.
제 6항 또는 제 7항에 있어서,

상기 X, a, b, (a-b) Y, k 에 대한 정보를 기록하는 데이터베이스를 사용하는 것을 특징으로 하는 서비스방법.
제 7항에 있어서,

상기 X, a, b, (a-b) Y, Z, k 에 대한 정보를 기록하는 데이터베이스를 사용하는 것을 특징으로 하는 서비스방법.
반도체웨이퍼, 반도체디바이스, 노광용 마스크 또는 액정 디바이스 등의 제품을 제조하는 제조장치를 사용할 때의 서비스방법으로서, 상기 제조장치에 의해 제조된 상기 제품의 검사정보를 물리적 기억매체 또는 정보통신망을 거쳐 취득하고, 그 검사정보에 의거하여 상기 제조장치의 동작조건을 제어하여 상기 제조장치의 가동정보를 정보통신망을 거쳐 취득하고, 그 가동정보와 상기 검사정보에 의거하여 상기 제조장치의 사용요금을 결정하는 것을 특징으로 하는 서비스방법.
반도체웨이퍼, 반도체디바이스, 노광용 마스크 또는 액정 디바이스 등의 제품을 검사하는 검사장치를 사용할 때의 서비스방법으로서, 상기 검사장치에 의해 검사된 상기 제품의 검사정보를 물리적 기억매체 또는 정보통신망을 거쳐 취득하고, 그 검사정보에 의거하여 상기 검사장치의 동작조건을 제어하여 상기 검사장치의 가동정보를 정보통신망을 거쳐 취득하고, 상기 가동정보와 상기 검사정보에 의거하여 상기 검사장치의 사용요금을 결정하는 것을 특징으로 하는 서비스방법.
반도체웨이퍼, 반도체디바이스, 노광용 마스크 또는 액정 디바이스 등의 제품을 제조 또는 검사하는 제조/검사장치에 있어서,

상기 제품의 제조 또는 검사된 수량을 나타내는 처리정보, 상기 제품의 제조 또는 검사의 정밀도를 나타내는 정밀도정보, 상기 제조·검사장치의 가동상태를 나타내는 가동정보, 상기 제조·검사장치의 제조 또는 검사 시의 장치가동제어에 필요한 교정치를 나타내는 교정정보중의 적어도 어느 하나의 정보를 기억하는 기억장치를 구비하고,

통신망을 통해 전용서버 및 호스트 컴퓨터와 연결되는 것을 특징으로 하는 제조/검사장치.
제 13항에 있어서,

상기 기억장치는 운반이 용이한 기억매체인 것을 특징으로 하는 제조/검사장치.
제 13항에 있어서,

상기 기억장치에 기억된 정보는 상기 전용서버에 포함된 송신유닛을 통해 상기 호스트 컴퓨터로 송신되는 것을 특징으로 하는 제조/검사장치.
제 15항에 있어서,

상기 송신유닛은 광역 통신망에 접속되는 것을 특징으로 하는 제조/검사장치.
제 15항에 있어서,

상기 송신유닛으로부터 송신된 정보에 의거하여 상기 호스트 컴퓨터는 상기 제조·검사장치의 사용에 대한 요금을 산출하는 것을 특징으로 하는 제조/검사장치.
제 17항에 있어서,

상기 제조/검사장치에 의해 실현 가능한 정밀도보다 상기 정밀도 정보의 정밀도가 낮은 경우는 상기 호스트 컴퓨터는 상기 요금을 낮게 설정하는 것을 특징으로 하는 제조/검사장치.
제 13항에 있어서,

상기 기억장치에 기억된 정보에 의거하여 상기 호스트 컴퓨터는 상기 제조/검사장치의 사용에 대한 요금을 설정하는 것을 특징으로 하는 제조/검사장치.
제 19항에 있어서,

상기 제조/검사장치에 의해 실현 가능한 정밀도보다 상기 정밀도정보의 정밀도가 낮은 경우는 상기 호스트 컴퓨터는 상기 요금을 낮게 설정하는 것을 특징으로 하는 제조/검사장치.
반도체웨이퍼, 반도체디바이스, 노광용 마스크 또는 액정 디바이스 등의 제품을 제조 또는 검사하는 제조/검사장치에 의해 제조 또는 검사된 상기 제품의 수량을 나타내는 처리정보, 상기 제품의 제조 또는 검사의 정밀도를 나타내는 정밀도정보, 상기 제조·검사장치의 가동상태를 나타내는 가동정보, 상기 제조·검사장치의 제조 또는 검사 시의 장치가동제어에 필요한 교정치를 나타내는 교정정보의 적어도 어느 하나의 정보에 의거하여 상기 제조/검사장치의 사용에 대한 요금이 설정되는 것을 특징으로 하는 서비스방법.
제 21항에 있어서,

상기 제조/검사장치에 의해 실현 가능한 정밀도보다 상기 정밀도정보의 정밀도가 낮은 경우는 상기 요금이 낮게 설정되는 것을 특징으로 하는 서비스방법.
제 21항에 있어서,

상기 처리정보, 상기 정밀도정보, 상기 가동정보, 상기 교정정보의 적어도 하나는 운반이 용이한 기억매체에 기억되는 것을 특징으로 하는 서비스방법.
제 21항에 있어서,

상기 처리정보, 상기 정밀도정보, 상기 가동정보, 상기 교정정보의 적어도 하나는 송신유닛에 의해 송신되는 것을 특징으로 하는 서비스방법.
제 24항에 있어서,

상기 송신유닛은 광역 통신망에 접속되는 것을 특징으로 하는 서비스방법.
제 25항에 있어서,

상기 요금은 상기 송신유닛으로부터 송신된 정보에 의거하여 설정되는 것을 특징으로 하는 서비스방법.
반도체웨이퍼, 반도체디바이스, 노광용 마스크 또는 액정 디바이스 등의 제품을 제조 또는 검사하는 제조/검사장치를 사용할 때의 서비스방법으로서, 물리적기억매체에 기억된 상기 제조/검사장치에 의해 제조 또는 검사된 상기 제품의 제조 또는 검사의 난이도 정보와, 상기 제조·검사장치의 가동정보에 의거하여 상기 제조/검사장치의 사용에 대한 요금을 설정하는 것을 특징으로 하는 서비스방법.
반도체웨이퍼, 반도체디바이스, 노광용 마스크 또는 액정 디바이스 등의 제품을 제조 또는 검사하는 제조/검사장치에 있어서, 이 제조/검사장치에 의해 제조 또는 검사된 상기 제품의 제조 또는 검사의 난이도 정보를 물리적 기억매체에 기억하는 기억장치와, 상기 제조/검사장치의 가동정보를 송신하는 송신유닛을 구비한 것을 특징으로 하는 제조/검사장치.
반도체웨이퍼, 반도체디바이스, 노광용 마스크 또는 액정 디바이스 등의 제품을 제조 또는 검사하는 제조/검사장치의 사용에 대한 요금을 설정하는 서비스시스템에 있어서,

상기 제조/검사장치에 의해 제조 또는 검사된 상기 제품의 제조 또는 검사의 난이도 정보를 기억한 물리적 기억매체의 데이터를 판독하는 판독장치와, 송신된 상기 제조/검사장치의 가동정보를 수신하는 수신유닛과, 상기 물리적 기억매체의 데이터와 상기 가동정보에 의거하여 상기 제조/검사장치의 사용에 대한 요금을 설정하는 연산장치를 구비한 것을 특징으로 하는 서비스시스템.
제 29항에 있어서,

상기 연산장치에 의해 설정된 요금을 송신하는 송신유닛을 구비한 것을 특징으로 하는 서비스시스템.
제조/검사장치에 의해 제조 또는 검사되는 반도체웨이퍼, 반도체디바이스, 노광용 마스크, 액정 디바이스 등의 제품의 처리매수 등의 상기 제조/검사장치의 장치가동정보, 치수 정밀도, 교정허용치, 맞춤 정밀도 및 위치 정밀도 등의 제품 그레이드정보, 교정잔량, 보정잔량, 교정조건, 교정이력 등의 장치상태정보를 수집하는 장치제어컴퓨터와, 수집된 상기 장치가동정보와 상기 제품그레이드정보와 상기장치상태정보를 통신망을 거쳐 수신하여 유지하는 데이터베이스와, 이 데이터베이스의 정보에 의거하여 상기 제조/검사장치의 사용요금을 산출하는 컴퓨터를 구비한 것을 특징으로 하는 서비스시스템.
제조/검사장치에 의해 제조 또는 검사되는 반도체웨이퍼, 반도체디바이스, 노광용 마스크, 액정 디바이스 등의 제품의 처리매수 등의 상기 제조/검사장치의 장치가동정보, 치수 정밀도, 교정허용치, 맞춤 정밀도 및 위치 정밀도 등의 제품그레이드정보, 교정잔량, 교정조건, 교정이력, 수명이 있는 제품의 누적사용시간 등의 장치상태정보를 수집하는 장치제어컴퓨터와, 수집된 상기 장치가동정보와 상기제품그레이드정보와 상기 장치상태정보를 통신망을 거쳐 수신하여 유지되는 데이터베이스와, 이 데이터베이스의 정보에 의거하여 상기 제조/검사장치에 필요한 메인티넌스작업을 추출하는 컴퓨터를 구비한 것을 특징으로 하는 서비스시스템.
제조/검사장치에 의해서 제조 또는 검사되는 반도체웨이퍼, 반도체디바이스, 노광용 마스크, 액정 디바이스 등의 제품의 처리매수 등의 상기 제조/검사장치의 장치가동정보, 치수 정밀도, 교정허용치, 맞춤 정밀도 또는 위치 정밀도 등의 제품그레이드정보, 교정잔량, 보정잔량, 교정조건, 교정이력 및 발생한 에러정보 등의 장치상태정보를 수집하는 장치제어컴퓨터와, 수집된 상기 장치가동정보와 상기 제품그레이드정보와 상기 장치상태정보를 통신망을 거쳐 수신하여 유지되는 데이터베이스와, 이 데이터베이스의 정보에 의거하여 상기 제조/검사장치의 단점 요인을 해석하는 컴퓨터를 구비한 것을 특징으로 하는 서비스시스템.
제조/검사장치에 의해 제조 또는 검사되는 반도체웨이퍼, 반도체디바이스, 노광용 마스크, 액정 디바이스 등의 제품의 처리매수 등의 상기 제조/검사장치의 장치가동정보, 치수 정밀도, 교정허용치, 맞춤 정밀도 또는 위치 정밀도 등의 제품그레이드정보, 교정잔량, 보정잔량, 교정조건, 교정이력 등의 장치상태정보를 수집하는 장치제어컴퓨터와, 수집된 상기 장치가동정보와 상기 제품그레이드정보와 상기 장치상태정보를 통신망을 거쳐 수신하여 유지되는 데이터베이스와, 이 데이터베이스의 정보에 의거하여 상기 제조/검사장치에 필요한 튜닝작업을 추출하는 컴퓨터를 구비한 것을 특징으로 하는 서비스시스템.
제 34항에 있어서,

상기 장치제어컴퓨터는 전용서버를 거쳐 통신망에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 서비스시스템.
제 35항에 있어서,

상기 장치제어컴퓨터는 물리적 미디어를 거쳐서만 상기 전용서버에 정보를 전달하는 것을 특징으로 하는 서비스시스템.
제 35항에 있어서,

상기 물리적 미디어는 상기 장치제어컴퓨터가 제어하는 로딩기구에 의해 상기 전용서버에 로드, 언로드되는 것을 특징으로 하는 서비스시스템.
제 34항에 있어서,

상기 컴퓨터에 접속된 GUI 화면내에 적어도

(1) 웨이퍼 또는 마스크의 처리매수

(2) 웨이퍼 1매 또는 마스크 1매당의 총 쇼트수

(3) 치수 정밀도, 위치 정밀도, 맞춤 정밀도 등으로부터 규정되는 제품그레이드계급

(4) 각종 교정, 보정잔량으로부터 책정되는 장치컨디션정보

(5) 상기 정보로부터 산출된 장치사용 요금표시 또는 장치사용 허락통지의 정보가 포함되는 것을 특징으로 하는 서비스시스템.
제 34항에 있어서,

상기 컴퓨터에 접속된 GUI 화면내에 적어도

(1) 웨이퍼 또는 마스크의 처리매수

(2) 웨이퍼 1매 또는 마스크 1매당의 총 쇼트수

(3) 치수 정밀도, 위치 정밀도, 맞춤 정밀도 등으로부터 규정되는 장치그레이드계급

(4)각종 교정, 보정잔량으로부터 책정되는 장치컨디션정보

(5) 수명이 있는 제품의 누적사용시간

(6) 교정이력으로 열화가 인정되는 정밀도 항목

(7) 발생한 에러이력 및 복구상황

(8) 상기 수명이 있는 제품의 누적사용시간정보로부터 추정되는 수명이 있는 물품의 교환 필요시기

(9) 상기 열화가 인정되는 제어항목에 대한 조정, 교정수단

(10) 상기 에러정보로부터 추정하는 장치 단점 부위

의 정보가 포함되는 것을 특징으로 하는 서비스시스템.
제 34항에 있어서,

상기 컴퓨터에 접속된 GUI 화면내에 적어도

(1) 웨이퍼 또는 마스크의 처리매수

(2) 웨이퍼 1매 또는 마스크 1매당의 총쇼트수

(3) 치수 정밀도, 위치 정밀도, 맞춤 정밀도 등으로부터 규정되는 장치그레이드계급

(4) 각종 교정, 보정잔량으로부터 책정되는 장치컨디션정보

(5) 교정이력으로부터 추정할 수 있는 정밀도 열화부위

(6) 상기 정보로부터 추정할 수 있는 조정필요 부위와 조정방법의 정보가 포함되는 것을 특징으로 하는 서비스시스템.