1242679 A7 __B7 五、發明説明（1 ) 〔發明之領域〕 本發明係有關於，非常適於進行兩個電氣零件之電氣 連接之電氣零件之實裝裝置，及該電氣零件之實裝方法。 〔先.前之技術〕 在說明習知之電氣零件之實裝裝置，及該電氣零件之 實裝方法之前，依據圖1 1先說明電氣零件之連接構造。 如圖1 1所示，於玻璃等之絕緣板1上，形成由 I TO膜（由氧化銦所構成之透明電阻膜）等所構成之是 複數之導電配線2、3，而構成一個電氣零件4。 又，於框體5之下面，形成複數之導電體（凸塊）（ bump) 6、7，而構I C晶片等之另外一個電氣零件8。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 然後，該電氣零件8係使其導電體6、7面對絕緣板 1上之導電配線2、3，藉由混入導電粒子9之熱硬化環 氧黏合劑等所構成之熱硬化型各向異性導電體1 〇，黏合 電氣零件4與8，同時，藉由導電粒子9，連接位於上下 位置之導電體6與導電配線2、及導電體7與導電配線3 而構成。 依據圖1 7〜圖2 0，說明爲了獲得這樣之連接構造 所用之習知電氣零件之實裝裝置，及該電氣零件之實裝方 法。v 習知之電氣零件之實裝裝置，係如圖1 7至圖2 0所 示，具有平坦的支撐台50;及於下面有平坦面，以對於 上述支撐台可上下動之方式被支撐之按壓頭5 1，該按壓 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐)~:4 · 1242679 A7 B7 五、發明説明（2 ) 頭51，於過熱之狀態下’藉由空壓汽缸（未圖示）’以 一定速度下降。 像這樣之實裝裝置之電氣零件之實裝方法’以圖1 7 至圖2 0作說明。 首先，如圖1 7所示，於平坦之支撐台5 0上，依序 載置上述電氣零件4、片狀之上述熱硬化型各向異性導電 體（以後，簡稱ACF) 10、電氣零件8。 其次，第1工程，如圖1 8所示，將被加熱到約 2 2 0 °C之按壓頭5 1，藉由空壓汽缸，以稍微慢一點之 一定之移送速度（約30mm/lsec)，下降下方， 頂接於電氣零件8。 其次，第2工程，係將一定之按壓壓力加於按壓頭 5 1，以按壓頭5 1按壓電氣零件8。 於是，藉由被加熱之按壓頭5 1，電氣零件8被加熱 ，其次，藉由被加熱之電氣零件8，ACF10被加熱， ACF 1 0成爲液體狀。 經漭部中央標準局員工消費合作社印¾ (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 因此，按壓頭5 1下降，同時，於導電配線2、3與 導電體6、7之間之導電粒子9被壓碎，如圖1 1 (B) 所示，成爲導電配線2、3與導電體6、7被電氣加熱之 狀態。 然後，第3工程係，冷卻被加熱之按壓頭5 1。 於是，AC F硬化，成爲電氣零件4與8連接之狀態 ，同時，成爲導電配線2、3與導電體6、7被連接之狀 苜、g 〇 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1242679 A7 B7 五、發明説明（3 ) 其次’第4工程，係使按壓頭5 1向上方上升時，則 電氣零件之實裝結束。 〔發明所欲解決之問題〕 如上所述，習知之電氣零件之實裝裝置及實裝方法中 ，係被加熱之按壓頭51以一定之之稍微慢之移送速度移 動者，所以，作業效率很差，生產性很差，此係其問題。 又，以一定之稍慢之移送速度，按壓頭5 1自然地頂 接電氣零件8，所以，按壓頭5 1之下面之平坦面，不會 損害到與支撐台5 〇之平坦面之平行度，而且，以此狀態 ，藉由一定之壓力，加壓電氣零件8，所以，按壓頭51 以不損害平行度之狀態，按壓電氣零件8、A C F 1 0及 電氣零件4。 而，以此狀態下，當A C F 1 〇成爲液狀，則會產生 於電氣零件之一端測，導電粒子9被壓碎，於另一端側導 電粒子9不被壓碎之事態產生，因此，會產生導電配線2 、3與導電體6、7間之電氣之連接成爲不安定之問題。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (許先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，於習知之電氣零件之實裝方法中，藉由被加熱之 按壓頭5 1，片狀之熱硬化型各向異性導電體1 0自然地 被液狀化，所以，該黏合劑膨脹，於電氣零件8與4之間 ，產生氣泡，使電氣零件8與4間之黏合力變弱，此爲其 問題點。 又，由於急速之液狀化，所以電氣零件間之空氣殘留 於該處，而成爲氣泡，使電氣零件4與8間之黏合力變弱 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1242679 A7 B? 五、發明説明（4 ) 〇 更者，藉由急速之液狀化，按壓頭5 1急速下降，因 此，按壓頭8 1無法垂直移動，所以，產生於電氣零件之 一端側，導電粒子9被壓碎，於另一端側，導電粒子不會 被壓碎之情況，因此，產生導電配線2、3與導電體6、 7間之電氣連接不安定之問題。 〔解決問題之手段〕 解決上述問題之第1解決手段，係具備有：按壓電氣 零件所用之按壓頭；及將該按壓頭加熱所用之加熱器；及 測定上述按壓頭對電氣零件之按壓力之壓力測定構件；及 控制上述按壓頭之移送速度之移送速度控制構件。 又，第2解決手段，係具備有：測量上述按壓頭對電 氣零件之按壓時間、及/或加熱時間之計時器；及控制上 述加熱器之溫度之溫度控制構件。 經濟部中央標準局員工消費合作社印1i (請先閱讀背面之注意事項#填寫本頁) f 又，第3解決手段，係將載置於熱硬化型各向異性導 電體上之電氣零件予以按壓之被加熱之按壓頭，一邊階段 地加壓至成爲規定壓力，一邊按壓上述電氣零件。 又’第4解決手段，係將載置於熱硬化型各向異性導 電體上之電氣零件予以按壓之被加熱之按壓頭，一邊階段 地加壓至成爲規定壓力，一邊按壓上述電氣零件。 又’第5解決手段，係將載置於熱硬化型各向異性導 電體上之電氣零件予以按壓之被加熱之按壓頭，以施加於 上述按壓頭之第1壓力，按壓上述電氣零件，接著將比上 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐）7 1242679 B7 五、發明説明（5 ) 述第1壓力高之第2壓力施加於上述按壓頭，按壓上述電 氣零件。 又，第6解決手段，係使上述第1壓力爲上述第2壓 力之1/3左右之壓力。 更者第7解決手段，係使上述按壓頭高速下降至載置 於熱硬化型各向異性導電體上之電氣零件之附近，接著， 使該按壓頭緩緩下降，使按壓頭輕輕接觸上述電氣零件。 又解決上述課題之手段，係使熱硬化型各向異性導電 體成爲半慶化狀態之後，一邊將該半硬化狀態之熱硬化型 各向異性導電體加熱，一邊加壓，進行兩個電氣零件之電 氣連接。 又’解決手段，係具備有：於具有導電配線之絕緣板 上’形成半硬化狀態之熱硬化型各向異性導電體之工程； 及於該半硬化狀態之熱硬化型各向異性導電體上，載置 I C晶片等之電氣零件，一邊將該電氣零件加熱一邊加壓 之工程。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (¾先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，解決手段，係上述絕緣板上，載製片狀之上述熱 硬化型各向異性導電體，以按壓頭將該熱硬化型各向異性 導電體加熱，加壓，成爲半硬化狀態，又，將上述電氣零 件以按壓頭，加熱、加壓。 又’解決手段，係與使上述熱硬化型各向異性導電體 成爲半硬化狀態所用之加熱溫度相比，使將上述電氣零件 加熱之溫度更高者。 又，解決手段，係藉由8 0 - 1 2 0 °C，使上述熱硬 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐)~g · ' 1242679 , A7 _ B7 五、發明説明（6 ) 化型各向異性導電體成爲半硬化狀態，同時，以8 0 — 2 5 0 °C，進行上述電氣零件之加熱。 〔實施例〕 其次，說明本發明之電氣零件之實裝裝置及該電氣零 件之實裝方法之前，圖1 1、圖1 2，說明該實裝方法被 應用之電氣零件之連接構造。 首先，圖1 1係本發明之實裝方法被應用之電氣零件 之連接構造之一之說明圖，該圖之（A)爲重要部位之平 面圖，（B)爲重要部位之剖面圖，該圖11所示之連接 構造，係如前所述，於玻璃等之絕緣板上，形成由I T 0 膜（氧化銦所構成之透明電阻膜）等所構成之複數之導電 配線2、3，而構成一個電氣零件4。 又，框體5的下面，形成複數之導電體（凸塊）6、 7，構成I C晶片等之另一個電氣零件8。 經漭部中央標準局員工消費合作社印製 (讀先閲讀背而之注意事項再填寫本頁) 然後，該電氣零件8係使其導電體6、7面對絕緣板 1上之導電配線2、3，藉由混入導電粒子9之熱硬化環 氧黏合劑等所構成之熱硬化型各向異性導電體（以後稱爲 ACF) 10，接合電氣零件4與8，同時，藉由導電粒 子9，連接位於上下位置之導電體6與導電配線2、及導 電體^與導電配線3而構成。 又，圖1 2係本發明之實裝方法被應用之電氣零件之 連接構造之另一個說明圖，圖（A)爲重要部位之平面圖 ，（：B)爲重要部位之剖面圖，圖12所示者係於可橈性 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0x297公楚）-9 - " 1242679 A7 B7 五、發明説明（7 ) 之絕緣基板1 1上，形成由銀等所構成之複數個之導電配 線12，而構成一個電氣零件13，又，於可橈性之絕緣 基補強板1 4上，形成由銀等所構成之複數個之導電配線 1 5，而構成另一個電氣零件1 6。 然後，該電氣零件1 6，係使其導電配線1 5面對另 一方之電氣零件1 3之導電配線1 2，藉由混入導電粒子 9之熱硬化環氧接著劑等所構成之熱硬化型各向異性導電 體10，黏合電氣零件13與16，同時，藉由導電粒子 9，連接位於土下位置之導電配線1 5與導電配線1 2而 構成。 依據圖1說明爲了要獲得這樣之連接構造所用之本發 明之電氣零件之實裝裝置，該實裝裝置係具備有：有平坦 面之支撐台2 0，及於下面有平坦面，利用伺服馬達可對 上述支撐台2 0上下動之按壓頭2 1，及與該按壓頭2 1 有關係之控制部2 2。 然後，該控制部2 2具備有：控制將上述按壓頭2 1 加熱之加熱器所用之溫度控制構件，及控制上述按壓頭 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填艿本頁) 2 1之移送速度之移送速度控制構件，及測定按壓頭2 1 之加壓力所用之壓力測定構件，及測量按壓頭2 1按壓時 間及加熱時間所用之計時器。 其次，依據圖2至圖5，以圖1 1所示之電氣零件之 連接構造爲例，說明電氣零件之實裝方法。 圖2至圖5係表示本發明之電氣零件之實裝方法之說 明圖。其實裝方法，首先，如圖3所示，於平坦之支撐台 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -10· 1242679 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（8 ) 2 0上，依序載置電氣零件4、ACF 1 〇、電氣零件8 〇 其次，第1工程，係將被加熱至約2 2 0 °c之按壓頭 21，介由移送速度控制構件，以高速（約20mm/ s e c )下降至電氣零件8之附近。 其次，第2工程，係從上述之狀態起，如圖4所示， 到按壓頭2 1輕輕接觸到電氣零件8爲止，介由移送速度 控制部，緩緩地（約20//m/s e c)使按壓頭2 1向 下方移動。 藉此工程，按壓頭2 1之移動搖動變的很成很少，其 平坦面，以與支撐台2 0之平坦面平行之狀態，輕輕地接 觸電氣零件8。 其次，第3工程，係如圖4所示，以介由壓力測定構 件與計時器，於規定時間，慢慢增加壓力，直到成爲規定 壓力爲止之方式，將壓力施加於按壓頭2 1，以按壓頭 2 1按壓電氣零件8。 然後，當成爲規定壓力時，藉由規定時間、其壓力， 以按壓頭2 1，按壓電氣零件8。於此工程中，由於係一 邊慢慢加壓直到成爲規定壓力爲止，一邊按壓電氣零件8 ，所以，按壓頭2 1之平坦面，與支撐台2 0之平坦面平 行之樣態提昇，且，以維持這種狀態向下方移動。 又，以規定壓力，以規定時間、按壓頭21，按壓電 氣零件8時，藉由按壓頭2 1，電氣零件8被加熱，其次 ，藉由被加熱之電氣零件8，ACF 1 〇被加熱， (誚先閱讀背面之注意事項再填巧本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -11 - 1242679 A7 B7 五、發明説明（9 ) ACF10成爲液體狀。 因此，按壓頭2 1下降，同時，導電配線2、3與導 電體6、7之間之導電粒子9被壓碎，如圖1 1 (B)所 示’成爲導電配線2、3與導電體6、7被電氣連接之狀 肯g 〇 其次，第4工程，係將按壓頭2 1冷卻。 然後，藉由此工程，ACF硬化，電氣零件4與8成 爲被粘著之狀態，同時，成爲導電配線2、3與導電體6 、7被連接之圖11(B)之狀態。 其次，第5工程，係如圖5所示，如果將按壓頭2 1 向上方移動，則電氣零件之實裝完成。 又，於上述之第3工程，係以慢慢加壓到規定壓力者 來作說明，但是，以到規定壓力爲止，階段地增加壓力之 方式，將壓力加於按壓頭2 1，也可以有同樣之作用。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (讀先閱讀背而之注意事項再填寫本頁) 對於本發明之電氣零件之實裝裝置之第2實施例，依 據圖6說明，則該實裝裝置，係如同上述之實施例，具有 :有平坦面之支撐台3 0，及於下面有平坦面，對於上述 支撐台，藉由伺服馬達可以上下動之按壓頭3 1，及與該 按壓頭3 1有關係之控制部3 2。 然後，該控制部3 2，具備有：控制加熱上述按壓頭 3 1之加熱器所用之溫度控制構件，及控制上述按壓頭 3 1之移送速度之移送速度控制構件，及測定按壓頭3 1 之加壓力所用之壓力測定構件，及測量按壓頭3 1之按壓 時間及加熱時間所用之計時器。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）· ^ 1242679 A 7 B7 經浐部中央標準局員工消f合作社印製 五、發明説明（10 ) 其次，以圖1 1示之電氣零件之連接構造爲例，依據 圖7 -圖1 1，說明該實施裝置之電氣零件之第2實裝方 法。 圖7 -圖1 1都是表示本發明之電氣零件之實裝方法 之說明圖。其實裝方法，首先，如圖8所示，於平坦之支 撐台30上，將電氣零件4、ACF10、電氣零件8依 序予以載置。 其次，第1工程，係將被加熱到約2 2 0 °C之按壓頭 3 1，介由移送速度控制構件，以高速（約2 0 m m/ s e c )下降到電氣零件8附近。 其次，第2工程，係從上述之狀態起，如圖9所示， 直到按壓頭3 1輕輕接觸電氣零件8爲止，介由移送速度 控制構件，緩緩地（約2 0 # m/ s e c )將按壓頭3 1 向下方移動。 藉由此工程，按壓頭3 1之移動搖動變的非常小，其 平坦面以與支撐台3 0之平坦面平行之狀態，輕輕地接觸 電氣零件8。 其次，第3工程，係如圖9所示，介由壓力測定構件 與計時器，以規定時間，將第1壓力（約2、5kg)施 加於按壓頭3 1，以按壓頭3 1按壓電氣零件8。 然後，於該工程中，由於係以第1壓力（約2、5 kg)按壓電氣零件8，所以，按壓頭31之平坦面，其 與支撐彈3 0之平坦面之平行樣態提昇，而且，以將此維 持之狀態，向下方移動。 (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） -13- 1242679 A7 B7 五、發明説明（11 ) 其次，第4工程，係以規定之時間，以第2壓力（約 8、Okg)按壓電氣零件8。 於是，介由按壓頭3 1使電氣零件8被加熱，接著.， 藉由被加熱之電氣零件8使AC F 1 〇被加熱， ACF10成爲液體狀。 因此，按壓頭3 1下降，同時，導電配線2、3與導 電體6、7之間之導電粒子9被壓碎，如圖1 1 (B)所 示，導電配線2、3與導電體6、7成爲被電氣連接之狀 態。 其次，第5工程，係將按壓頭3 1冷卻。 然後，藉由該工程，A C F 1 0硬化，成爲電氣零件 4與8被粘著之狀態，同時，成爲導電配線2、3與導電 體6、7被連接之圖1 1 (B)之狀態。 其次，第6工程，係如圖1 0所示，將按壓頭3 1向 上方移動，則電氣零件之實裝結束。 以圖1 1所示之電氣零件之連接構造爲例，依據圖 1 3 —圖1 6，說明本發明之電氣零件之第3之實裝方法 〇 經濟部中央標進局員工消費合作社印1i (讀1閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖1 3 -圖1 6都是表示本發明之電氣零件之實裝方 法之說明圖。其實裝方法，首先，第1工程，係如圖1 3 所示i於平坦之支撐台上所放置之絕緣板7 2之導電配線 74、75上，載置片狀之熱硬化型各向異性導電體70 0 其次，第2工程，係如圖1 4所示，將被加熱到8 0 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）_ 14 1242679 A7 B7 五、發明説明（12 ) 一 1 2 0°C之按壓頭8 0向下方移動，然後，將該按壓頭 8 0之平坦部頂接於熱硬化型各向異性導電體7 0 ,然後 (請先閱讀背面之注;δ事項再填寫本頁) ，以按壓頭8 0只按壓一點熱硬化型各向異性導電體7 0 〇 於是，熱硬化型各向異性導電體7 0，以保持於片狀 之原型之狀態，成爲泥狀之有黏性之半硬化狀態，同時， 成爲於該半硬化狀態下，熱硬化型各向異性導電體7 0接 著於絕緣板7 2之狀態。 其次，第3工程，係如圖1 5所示，於該半硬化狀態 之熱硬化型各向異性導電體7 0之上，將另一方之電氣零 件5，載置成該導電體62、63，與絕緣板7 1之導電 配線7 4、7 5相對者。 接著，最終工程之第4工程，係如圖1 6所示，將被 加熱到180 — 250 °C之按壓頭81，向下方移動，以 使按壓頭8 1之平坦部與電氣零件5頂接之狀態，以按壓 頭8 1，將電氣零件5按壓。 經濟部中央標進局員工消費合作社印製 然後，利用按壓頭8 1按壓時，半硬化狀態之熱硬化 型各向異性導電體7 0發輝緩衝器之作用，熱硬化型各向 異性導電體7 0慢慢地延伸，藉此，使按壓頭8 1向正確 之垂直方向移動，同時，成爲電氣零件5與絕緣板7 2之 間之太部分之空氣被排除之狀態0 之後，藉由被加熱至比半硬化狀態還要高之溫度之按 壓頭8 1，電氣零件5被加熱，接著，藉由被加熱之電氣 零件5，半硬化狀態之熱硬化型各向異性導電體7 0被加 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）. 1242679 A7 B7 五、發明説明（13 ) 熱，熱硬化型各向異性導電體7 0成爲液體狀。 這時之按壓頭8 1之移動，係比習知者緩慢，而，於 導電配線74、7 5與導電體6 2、6 3之間之導電粒子 9被壓碎，導電配線74、75與導電體62、6 3成爲 被以電氣連接之狀態。 然後，如果將被加熱之按壓頭8 1冷卻，則熱硬化型 各向異性導電體7 0會硬化，電氣零件5與絕緣基板7 2 ，成爲被接著之狀態，如果將按壓頭8 1向上方移動，則 電氣零件之實裝結束。 〔發明之效果〕 依據本發明之電氣零件之實裝裝置，藉由設置測定按 壓頭之按壓力之壓力測定構件，及控制移送速度之移送速 度控制構件，而可以將按壓頭之按壓力與移送速度自由地 變更成所希望之値，而可以提供適用於電氣零件之連接之 實裝裝置。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (¾先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，藉由設置測量按壓頭之按壓時間、或加熱時間之 計時器，及控制加熱器之溫度之溫度控制構件，而可以自 由地變更按壓頭之按壓時間及加熱溫度，而可以提供更適 用於電氣零件之連接之實裝裝置。 又，依據本發明之電氣零件之實裝方法，以按壓頭一 邊以慢慢地加壓到規定壓力，一邊按壓電氣零件，或以按 壓頭階段地加壓到規定壓力，一邊按壓電氣零件，或一邊 以按壓頭首先以第1之壓力按壓電氣零件，其次，以比第 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） •16· 1242679 A7 B7 五、發明説明（14 ) 1壓力高之第2壓力按壓電氣零件之方式來進行，首先， 進行預備加壓，其次，係以正加壓，所以，可以提高支撐 台與按壓頭之平行角，可以提供確實地電氣零件之連接。 又，藉由使按壓頭之第1壓力成爲第2壓力之1/3 左右，而可以獲得支撐台與按壓頭之平行度良好者，可以 提供電氣零件之連接確實者。 又，因爲係將按壓頭高速下降至電氣零件附近，接著 ，使按壓頭輕輕地與電氣零件接觸，所以，不只是作業效 率提高，生產性良好，而且當按壓頭頂接於電氣零件時， 可以使按壓頭之移動搖動減少，可以提供電氣零件之連接 更確實者。 又，依據本發明之電氣零件之實裝方法，使熱硬化型 各向異性導電體成爲半硬化狀態後，一邊將其加熱，一邊 加壓，來進行電氣零件之連接，所以，可以使氣泡變的非 常少，接著性良好，而且可以使電氣之連接更確實。 經濟部中央標率局員工消費合作社印製 (对先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，藉由於絕緣板上形成半硬化狀之熱硬化型各向異 性導電體之工程，及一邊將熱硬化型各向異性導電體加熱 一邊加壓之工程，而可以使兩個電氣零件間之空氣被排除 ，使氣泡變的更少，可以確實地將兩個電氣零件連接，而 且藉由半硬化狀態之熱硬化型各向異性導電體之存在，成 爲按懕頭之移動時之緩衝器，可以正確地垂直移動按壓頭 ，可以進行均一之導電粒子之壓碎，可以提供電氣連接確 實者。 又，由於係於絕緣板上，載置片狀之熱硬化型各向異 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） •17- 1242679 α7 Β7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（15 ) 性導電體，使其成爲半硬化狀態，所以其作業簡單，而且 ，熱硬化型各向異性導電體接著於絕緣板，其後之作業容 易。 又，由於與使熱硬化型各向異性導電體成爲半硬化狀 態所用之加熱溫度相比，係使電氣零件之加熱溫度提高， 所以，可以使熱硬化型各向異性導電體之液體化順利進行 ，可以使導電粒子之壓碎良好。 更者，以8 0 - 1 2 0 °C，使成爲半硬化狀態，又以 1 8 0 - 2 5 0 °C使成爲液體狀，所以，熱硬化型各向異 性導電體可以獲得有適度黏度之緩衝性良好之半硬化狀體 ，而且，可以成爲平順之液體化狀。 〔圖示說明〕 圖1係說明本發明之電氣零件之實裝裝置之槪要之說 明圖。 圖2係說明本發明之電氣零件之實裝裝置之工程之說 明圖。 圖3係表示本發明之電氣零件之實裝方法之說明圖。 圖4係表示本發明之電氣零件之實裝方法之說明圖。 圖5係表示本發明之電氣零件之實裝方法之說明圖。 圖6係表示本發明之實裝裝置之第2實施例之槪要之 說明圖。 Η 7係表示本發明之實裝裝置之第2實施例之工程之 說明圖。 (对先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -18- 1242679 A7 B7 經濟部中央標準局S工消費合作社印掣 五、發明説明（16 ) 圖8係表示本發明之電氣零件之實裝方法之第2實施 例之說明圖。 圖9係表示本發明之電氣零件之實裝方法之第2實施 例之說明圖。 圖1 0係表示本發明之電氣零件之實裝方法之第2實 施例之說明圖。 圖1 1係應用本發明之實裝方法之電氣零件之連接構 造之一之說明圖。 - 圖1 2係應用本發明之實裝方法之電氣零件之連接構 造之另一之說明圖。 圖1 3係表示本發明之電氣零件之第3實裝方法之第 1工程之說明圖。 圖1 4係表示本發明之電氣零件之第3實裝方法之第 2工程之說明圖。 圖1 5係表示本發明之電氣零件之第3實裝方法之第 3工程之說明圖。 圖1 6係表示本發明之電氣零件之第3實裝方法之第 4工程之說明圖。 圖17係表示習知之電氣零件之實裝裝置與實裝方法 之說明圖。 圖18係表示習知之電氣零件之實裝裝置與實裝方法 之說明圖。 圖19係表示習知之電氣零件之實裝裝置與實裝方法 之說明圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐）_巧 (讀先閱讀背面之注意事項再填艿本頁) 訂 1242679 A7 B? 五、發明説明（17 ) 圖2 0係表示習知之電氣零件之實裝方法之工程之說 明圖。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 [ 符 號 之 說 明 1 絕 緣 板 2 - 3 導 電配 線 4 電 氣 零 件 5 框 體 6 - 7 導 電體 8 電 氣 零 件 9 導 電 粒 子 1 0 熱 硬 化型 各 向異性導電體（ACF) 2 〇 、 3 〇 支 撐 台 2 1 3 1 按 壓 頭 2 2 > 3 2 控 制 部 (許先閱讀背而之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -20-